JP2009066565A - Flow path selector device, liquid exchanging method, liquid droplet ejecting apparatus - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent a liquid after being exchanged from mixing with another liquid when exchanging the liquids. <P>SOLUTION: A flow path selector device 100 comprises a valve sheet member 110 (a first member) having a plurality of flow-in paths 112 (the first flow paths) for passing the liquids, a revolving valve 120 (a second member) disposed revolvably to the valve sheet member 110 and movably in the revolving axis direction, and having a flow-out path 121 (a second flow path) for passing the liquids by communicating with any of a plurality of the flow-in paths 112, and a driving part 130 for moving the revolving valve 120, wherein the revolving valve 120 is disposed at a communicating position selectively communicating with the flow-out path 121 and any of a plurality of the flow-in paths 112 according to its revolved position, and at a closing position closing a plurality of the flow-in paths 112 by moving in the revolving axis direction to the valve sheet member 110. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、複数の流入路から流出路に連通させる流入路を選択して切り換える流路切換
器、該流路切換器を用いた液状体交換方法、該流路切換器で交換した液の液滴をワークへ
吐出する液滴吐出装置に関する。 The present invention relates to a flow path switching device that selects and switches an inflow path that communicates from a plurality of inflow paths to an outflow path, a liquid material exchange method that uses the flow path switching device, and a liquid that has been replaced by the flow path switching device. The present invention relates to a droplet discharge device that discharges droplets onto a workpiece.

特許文献１に示すように、液滴吐出ヘッドからパネル基板などのワークに機能液の液滴
を吐出して着弾させることにより、該ワークにパターンを形成する工業応用の液滴吐出装
置（インクジェット描画装置）がある。この種の液滴吐出装置は、機能液の液滴を吐出す
る液滴吐出ヘッドと、該液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給部とを備えている
。 As shown in Patent Document 1, a droplet discharge device for industrial application (inkjet drawing) that forms a pattern on a workpiece by discharging droplets of functional liquid from a droplet discharge head onto a workpiece such as a panel substrate. Device). This type of liquid droplet ejection apparatus includes a liquid droplet ejection head that ejects functional liquid droplets, and a functional liquid supply unit that supplies the functional liquid to the liquid droplet ejection head.

上記のような液滴吐出装置では、一台の液滴吐出装置で、異なる複数種類のワークへの
描画処理を順次に行うことがある。その場合、描画処理を施すワークの種類を変更する度
に、液滴吐出ヘッドに供給する機能液の種類を交換する必要がある。特に、多品種少量生
産に用いる液滴吐出装置では、このような機能液の交換を頻繁に行わなければならない。 In the above-described droplet discharge device, drawing processing on a plurality of different types of workpieces may be sequentially performed with one droplet discharge device. In that case, it is necessary to exchange the type of the functional liquid supplied to the droplet discharge head every time the type of the work subjected to the drawing process is changed. In particular, in a droplet discharge device used for multi-product small-quantity production, such functional liquid must be frequently exchanged.

そこで、機能液供給部は、異なる種類の機能液を貯留する複数の液貯留タンクと、各液
貯留タンクに接続した個別の配管とを備えるとともに、個別の配管の中から液滴吐出ヘッ
ドに連通させる配管を選択して切り換える切換器を備えるようにすることが考えられる。
これにより、液滴吐出ヘッドからの液滴の吐出に際して、切換器による配管の切り換えで
複数の機能液から所望の機能液を選択して液滴吐出ヘッドに供給できる。 Therefore, the functional liquid supply unit includes a plurality of liquid storage tanks for storing different types of functional liquids and individual pipes connected to the liquid storage tanks, and communicates with the droplet discharge head from the individual pipes. It is conceivable to provide a switching device that selects and switches the piping to be switched.
As a result, when a droplet is discharged from the droplet discharge head, a desired functional liquid can be selected from a plurality of functional liquids and supplied to the droplet discharge head by switching the piping by the switch.

上記のような切換器に適用可能な構成例として、特許文献２に記載の切換弁がある。特
許文献２に記載の切換弁は、複数の流路を有する弁箱に一の流路を有する回転弁体が回転
自在に装着されており、回転弁体の回転によって、一の流路が複数の流路のいずれかと選
択的に連通する。ところが、特許文献２の切換弁では、回転弁体の回転によって回転弁体
の流路が弁箱の各流路に順番に連通するため、これを液滴吐出装置の切換器に適用すると
、機能液の交換の際に所望する機能液の流路が液滴吐出ヘッドに連通する前に、一旦、他
の機能液の流路が液滴吐出ヘッドに連通する場合がある。そうすると、他の機能液が液滴
吐出ヘッドに流入し、交換後の機能液に混入する。 As a configuration example applicable to the switching device as described above, there is a switching valve described in Patent Document 2. In the switching valve described in Patent Document 2, a rotary valve body having one flow path is rotatably mounted on a valve box having a plurality of flow paths, and a plurality of one flow path is formed by rotation of the rotary valve body. Selectively communicate with one of the flow paths. However, in the switching valve of Patent Document 2, since the flow path of the rotary valve body communicates in turn with each flow path of the valve box by the rotation of the rotary valve body, There may be a case where another functional liquid flow path communicates with the liquid droplet ejection head before the desired functional liquid flow path communicates with the liquid droplet ejection head when the liquid is exchanged. Then, another functional liquid flows into the droplet discharge head and is mixed into the functional liquid after replacement.

このような他の機能液の混入を防止するには、個別の配管に開閉弁を取り付け、機能液
の交換の際に所望しない機能液の流路を開閉弁で閉じるようにすればよい。しかしながら
、開閉弁で流路を閉じても、開閉弁と切換器との間にある機能液の液滴吐出ヘッドへの流
入は防止できない。また、個別の配管にそれぞれ開閉弁を設置すると、機能液供給部の部
品点数が増える上に、機能液を交換する際に各開閉弁を個別に開閉操作する必要があり、
装置の取り扱いが煩雑になる。
特開２００３−２６６７３号公報 特開平５−１３３４８２号公報 In order to prevent such mixing of other functional liquids, an open / close valve may be attached to an individual pipe, and an undesired functional liquid flow path may be closed by the open / close valve when the functional liquid is replaced. However, even if the flow path is closed by the on-off valve, the inflow of the functional liquid between the on-off valve and the switch to the droplet discharge head cannot be prevented. In addition, if each on-off valve is installed in an individual pipe, the number of parts in the functional fluid supply section will increase, and it will be necessary to open and close each on-off valve individually when replacing the functional fluid.
The handling of the apparatus becomes complicated.
JP 2003-26673 A JP-A-5-133482

本発明は上述の点に鑑みてなされたものでありその目的は、簡単な構成で、液状体を交
換する際に交換後の液状体に他の液状体が混ざることを効果的に防止できる流路切換器、
及び該流路切換器による液状体交換方法、及び該流路切換器を備える液滴吐出装置を提供
することにある。 The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a flow that can effectively prevent another liquid from being mixed with the replaced liquid when the liquid is replaced. Road switch,
Another object of the present invention is to provide a liquid material exchange method using the flow path switching device and a droplet discharge device including the flow path switching device.

上記課題を解決するため本発明の流路切換器は、液状体を流通させる複数の第１流通路
を有する第１部材と、第１部材に対して回転可能かつ回転軸方向に移動可能に設置され、
複数の第１流通路のいずれかと連通し、液状体を流通させる第２流通路を有する第２部材
とを備え、第２部材は、第１部材に対する回転軸方向の移動で、その回転位置に応じて第
２流通路が複数の第１流通路のいずれかと選択的に連通する連通位置と、複数の第１流通
路を塞ぐ閉鎖位置と、に配置されることを特徴とする。 In order to solve the above problems, a flow path switching device according to the present invention is provided with a first member having a plurality of first flow passages for circulating a liquid material, and capable of rotating with respect to the first member and moving in the direction of the rotation axis. And
A second member having a second flow passage that communicates with any of the plurality of first flow passages and circulates the liquid material, and the second member is moved in the rotational axis direction relative to the first member, and is moved to the rotation position. Accordingly, the second flow path is disposed at a communication position where the second flow path selectively communicates with any of the plurality of first flow paths and a closed position where the plurality of first flow paths are closed.

この構成によれば、第２流通路に連通する第１流通路を切り換える際に、第２部材を閉
鎖位置に配置して回転させることで、第１流通路を塞いだ状態で第２流通路を移動させる
ことができる。これにより、第２流通路を所望する第１流通路以外の第１流通路と連通さ
せずに済む。したがって、液状体の交換の際、交換後の液状体に他の液状体が混ざること
を効果的に防止できる。また、第２流通路に連通する第１流通路の切り換えの際にすべて
の第１流通路を塞いだ状態で切り換えが行えるので、各第１流通路に連通する流路に開閉
手段を設ける必要がなく、流路切換器の周辺の構成が簡単になる。 According to this configuration, when the first flow passage communicating with the second flow passage is switched, the second flow passage is closed in the state where the first flow passage is closed by rotating the second member disposed at the closed position. Can be moved. Thereby, it is not necessary to connect the second flow path with the first flow path other than the desired first flow path. Therefore, when replacing the liquid material, it is possible to effectively prevent other liquid materials from being mixed with the liquid material after the replacement. In addition, since switching can be performed with all the first flow passages closed when switching the first flow passages communicating with the second flow passages, it is necessary to provide opening / closing means in the flow passages communicating with the first flow passages. Therefore, the configuration around the flow path switching device is simplified.

また、上記の流路切換器では、第１部材は、第２部材を回転可能かつ回転軸方向に移動
可能な状態で収納する収納部を有し、第２部材は、収納部内で回転軸周りの外周面が収納
部の内周面に当接して回転し、複数の第１流通路は収納部の内周面に開口し、第２流通路
は第２部材の外周面に開口してもよい。 Further, in the above flow path switching device, the first member has a storage portion that stores the second member in a state in which the second member can be rotated and moved in the direction of the rotation axis, and the second member is around the rotation axis in the storage portion. The plurality of first flow passages open to the inner peripheral surface of the storage portion, and the second flow passages open to the outer peripheral surface of the second member. Good.

この構成によれば、第２流通路に連通する第１流通路を所望する以外の第１流通路に連
通させずに切り換えることが可能な流路切換器を簡単な構成で実現できる。 According to this configuration, a flow path switching device that can switch the first flow path communicating with the second flow path without communicating with the first flow path other than the desired one can be realized with a simple configuration.

また、上記の流路切換器では、複数の第１流通路の前記開口は、収納部の内周面におけ
る回転軸の軸方向の同一位置に配列されていてもよい。 Moreover, in said flow-path switching device, the said opening of a some 1st flow path may be arranged in the same position of the axial direction of the rotating shaft in the internal peripheral surface of a accommodating part.

この構成によれば、第２部材の第１部材に対する回転位置に応じて第２流通路に連通す
る第１流通路を選択できるので、第１流通路の選択が簡単に行えるようになる。 According to this structure, since the 1st flow path connected to a 2nd flow path can be selected according to the rotation position with respect to the 1st member of a 2nd member, selection of a 1st flow path can be performed easily.

また、上記の流路切換器では、第２部材は、閉鎖位置でのみ回転可能に構成されていて
もよい。 Moreover, in said flow-path switching device, the 2nd member may be comprised so that rotation is possible only in a closed position.

この構成によれば、連通位置で第２部材が回転しない。したがって、連通位置で一の第
１流通路に連通している第２流通路が誤って他の第１流通路に連通することを防止できる
。また、第２流通路に連通する第１流通路を切り換える際に、第２流通路が所望する第１
流通路以外の第１流通路に連通することを確実に防止できるようになる。 According to this configuration, the second member does not rotate at the communication position. Therefore, it is possible to prevent the second flow passage communicating with one first flow passage at the communication position from erroneously communicating with another first flow passage. Moreover, when switching the 1st flow path connected to a 2nd flow path, a 2nd flow path is desired 1st.
It is possible to reliably prevent communication with the first flow path other than the flow path.

また、本発明の上記流路切換器を用いた液状体交換方法は、第２部材を連通位置に配置
して、複数の第１流通路のうち一の第１流通路を第２流出路に連通させて第１流通路の液
状体を第２流通路へ流通させる手順と、第２部材を閉鎖位置へ移動して複数の第１流通路
を塞ぐ手順と、閉鎖位置で第２部材の回転により複数の第１流通路のうち他の流通路を選
択する手順と、第２部材を連通位置へ移動して、第２流通路を選択した第１流通路に連通
させて第１流通路の液状体を第２流通路へ流通させる手順とを有することを特徴とする。 Further, in the liquid material exchange method using the flow path switching device of the present invention, the second member is disposed at the communication position, and one of the plurality of first flow paths is used as the second outflow path. A procedure for communicating the liquid material in the first flow path to the second flow path, a procedure for moving the second member to the closed position and closing the plurality of first flow paths, and a rotation of the second member in the closed position. The procedure of selecting another flow path from among the plurality of first flow paths by moving the second member to the communication position and connecting the second flow path to the selected first flow path of the first flow path And a procedure for circulating the liquid material to the second flow passage.

この液状体交換方法によれば、第２流通路へ流通させる液状体を交換する際に第１流通
路を塞いだ状態で第２流通路を移動させるので、第２流通路を所望する第１流通路以外の
第１流通路と連通させずに済む。したがって、第２流通路へ流通させる液状体を交換する
際に交換後の液状体に他の液状体が混ざるおそれがなくなる。 According to this liquid material exchange method, the second flow passage is moved in a state where the first flow passage is closed when the liquid material to be circulated to the second flow passage is exchanged. It is not necessary to communicate with the first flow path other than the flow path. Therefore, there is no possibility that another liquid material is mixed with the liquid material after the replacement when the liquid material flowing through the second flow passage is replaced.

また、本発明は、ワークに機能液の液滴を吐出する液滴吐出装置であって、複数の種類
の機能液を貯留する複数の液貯留部と、上記いずれかに記載の流路切換器と、液滴吐出部
と、複数の機能液貯留部と流路切換器を接続する複数の機能液流路と、液滴吐出部と流路
切換器を接続する一の共通流路とを有し、各機能液流路は、流路切換器の各第１流通路に
接続され、共通流路は、流路切換器の第２流通路に接続されていることを特徴とする。 Further, the present invention is a droplet discharge device that discharges droplets of a functional liquid onto a workpiece, and a plurality of liquid storage units that store a plurality of types of functional liquid, and the flow path switching device according to any one of the above And a droplet discharge unit, a plurality of functional liquid channels connecting the plurality of functional liquid storage units and the channel switch, and a common channel connecting the droplet discharge unit and the channel switch. Each functional liquid flow path is connected to each first flow path of the flow path switch, and the common flow path is connected to a second flow path of the flow path switch.

この構成によれば、液滴吐出装置の液滴吐出部に供給する機能液を交換する際に簡単な
手順で機能液を交換でき、かつ、交換後の機能液に他の機能液が混ざるおそれがない。し
たがって、機能液の頻繁な交換が必要な多品種少量生産に用いる液滴吐出装置にこの構成
を適用すれば、液滴吐出装置の運転の効率を向上させ、生産性を上げることができる。ま
た、異なる種類の機能液が混ざらずに済むので、液滴吐出装置で製造されるパネルなどの
製品の品質が良くなる。 According to this configuration, when the functional liquid supplied to the droplet discharge unit of the droplet discharge apparatus is replaced, the functional liquid can be replaced with a simple procedure, and another functional liquid may be mixed with the replaced functional liquid. There is no. Therefore, if this configuration is applied to a droplet discharge device used for high-mix low-volume production that requires frequent replacement of the functional liquid, the operation efficiency of the droplet discharge device can be improved and the productivity can be increased. In addition, since different types of functional liquids do not have to be mixed, the quality of products such as panels manufactured by the droplet discharge device is improved.

上記液滴吐出装置では、複数の機能液貯留部のうち少なくとも１つは、洗浄液を貯留す
る洗浄液貯留部であってもよい。 In the droplet discharge device, at least one of the plurality of functional liquid reservoirs may be a cleaning liquid reservoir that stores a cleaning liquid.

この構成によれば、液滴吐出装置に供給する機能液を交換する際に洗浄液貯留部を液滴
吐出装置に連通させることで、流路切換弁や液滴吐出装置を洗浄できる。このように、流
路の切り換えで流路切換弁や液滴吐出装置を洗浄できるので、機能液の交換を短時間で効
率良く行うことができ、液滴吐出装置の稼働率を向上させることが可能となる。 According to this configuration, the flow path switching valve and the droplet discharge device can be cleaned by communicating the cleaning liquid reservoir with the droplet discharge device when the functional liquid supplied to the droplet discharge device is replaced. As described above, since the flow path switching valve and the droplet discharge device can be cleaned by switching the flow channel, the functional liquid can be replaced efficiently in a short time, and the operating rate of the droplet discharge device can be improved. It becomes possible.

上記液滴吐出装置の液滴排出部は、インクジェットヘッドを備えている。   The droplet discharge unit of the droplet discharge device includes an inkjet head.

本発明の流路切換器、液交換方法、液滴吐出装置によれば、簡単な構成あるいは方法で
、液状体を交換する際に交換後の液状体に他の液状体が混ざることを効果的に防止できる
。 According to the flow path switching device, the liquid exchange method, and the droplet discharge device of the present invention, it is effective to mix other liquid materials with the exchanged liquid material when exchanging the liquid material with a simple configuration or method. Can be prevented.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
〔第１実施形態：流路切換器〕
図１は、本発明の一実施形態にかかる流路切換器の概略構成例を示す図で、（ａ）は平
面図、（ｂ）及び（ｃ）は、（ａ）のＡ−Ａ断面図である。流路切換器１００は、弁座部
材（第１部材）１１０と、該弁座部材１１０に対して回転可能かつ回転軸方向に移動可能
に設置された回転弁（第２部材）１２０と、回転弁１２０を駆動する駆動部１３０とを備
えて構成されている。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[First embodiment: Channel switching device]
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration example of a flow path switching device according to an embodiment of the present invention, in which (a) is a plan view, and (b) and (c) are AA cross-sectional views of (a). It is. The flow path switching device 100 includes a valve seat member (first member) 110, a rotary valve (second member) 120 installed so as to be rotatable with respect to the valve seat member 110 and movable in the rotation axis direction, And a drive unit 130 for driving the valve 120.

弁座部材１１０は、中心部に円柱形状の凹部からなる収納部１１１が形成された略円筒
形状の部材である。弁座部材１１０には、複数の流入路１１２（第１流通路）が形成され
ている。各流入路１１２は、弁座部材１１０の中心軸から該中心軸に直交する外側に向か
って放射状に形成されている。各流入路１１２は、収納部１１１の内周面に設けた開口１
１２ａから弁座部材１１０の外周面に設けた開口１１２ｂへ直線状に連通している。本実
施形態では、流入路１１２は、弁座部材１１０の円周方向で等間隔（９０度間隔）に４個
形成されている。各流入路１１２は、開口１１２ｂに接続された配管１１３を介してタン
ク（図示せず）などの液体源に接続されている。各タンクには、異なる種類の液が貯留さ
れている。これにより、各流入路１１２は、異なる種類の液を流入させるようになってい
る。 The valve seat member 110 is a substantially cylindrical member having a storage portion 111 formed of a cylindrical recess at the center. A plurality of inflow passages 112 (first flow passages) are formed in the valve seat member 110. Each inflow passage 112 is formed radially from the central axis of the valve seat member 110 toward the outside perpendicular to the central axis. Each inflow path 112 has an opening 1 provided on the inner peripheral surface of the storage portion 111.
12a communicates with the opening 112b provided on the outer peripheral surface of the valve seat member 110 in a straight line. In the present embodiment, four inflow passages 112 are formed at equal intervals (90 degree intervals) in the circumferential direction of the valve seat member 110. Each inflow path 112 is connected to a liquid source such as a tank (not shown) via a pipe 113 connected to the opening 112b. Each tank stores a different kind of liquid. Thereby, each inflow path 112 flows in a different kind of liquid.

回転弁１２０は、弁座部材１１０の収納部１１１に収納される略円柱形状の部材である
。回転弁１２０は、収納部１１１に収納される際に中心軸周りの外周面１２０ａが収納部
１１１の内周面１１１ａに当接し、外周面１２０ａと内周面１１１ａとの間が液密状態に
なる。回転弁１２０は、収納部１１１内で中心軸（回転軸）周りに回転可能になっている
。また、回転軸の軸方向にスライド移動可能になっている。 The rotary valve 120 is a substantially cylindrical member that is accommodated in the accommodating portion 111 of the valve seat member 110. When the rotary valve 120 is stored in the storage unit 111, the outer peripheral surface 120a around the central axis abuts on the inner peripheral surface 111a of the storage unit 111, and the space between the outer peripheral surface 120a and the inner peripheral surface 111a is in a liquid-tight state. Become. The rotary valve 120 is rotatable around the central axis (rotary axis) in the storage unit 111. Further, it can slide in the axial direction of the rotation shaft.

回転弁１２０には一個の流出路１２１（第２流通路）が形成されている。流出路１２１
は、回転弁１２０の外周面１２０ａに設けた開口１２１ａから回転弁１２０の上面１２０
ｂに設けた開口１２１ｂに連通し、両開口１２１ａ，１２１ｂの間が回転弁１２０内で略
直角に屈曲する流路になっている。流入路１１２は、開口１２１ｂに接続された配管１２
３を介して液を供給する供給先へ連通している。 The rotary valve 120 is formed with one outflow passage 121 (second flow passage). Outflow 121
The upper surface 120 of the rotary valve 120 from the opening 121a provided on the outer peripheral surface 120a of the rotary valve 120.
The opening 121 b provided in b is communicated with an opening 121 b, and a passage between the openings 121 a and 121 b is bent at a substantially right angle in the rotary valve 120. The inflow path 112 is connected to the pipe 12 connected to the opening 121b.
3 is connected to a supply destination for supplying the liquid.

回転弁１２０を駆動する駆動部１３０は、モータ及びシリンダ（図示せず）などの駆動
源を備えて構成され、回転弁１２０に固定されたシャフト１３１を回転軸周りに回転させ
るとともに回転軸方向に進退移動させる。このシャフト１３１の回転及び回転軸方向の移
動によって、回転弁１２０が回転軸周りに回転するとともに回転軸方向にスライド移動す
る。 The drive unit 130 that drives the rotary valve 120 includes a drive source such as a motor and a cylinder (not shown), and rotates the shaft 131 fixed to the rotary valve 120 around the rotary axis and in the direction of the rotary axis. Move forward and backward. As the shaft 131 rotates and moves in the direction of the rotation axis, the rotary valve 120 rotates around the rotation axis and slides in the direction of the rotation axis.

回転弁１２０は、回転軸方向のスライド移動によって、図１（ｂ）に示す連通位置と図
１（ｃ）に示す閉鎖位置とに配置される。連通位置では、回転弁１２０が収納部１１１内
における回転軸方向の一端（図では下端）に位置し、閉鎖位置では、回転弁１２０が収納
部１１１内における回転軸方向の他端（図では上端）に位置する。 The rotary valve 120 is arranged at a communication position shown in FIG. 1B and a closed position shown in FIG. At the communication position, the rotary valve 120 is positioned at one end (lower end in the drawing) in the storage unit 111 and at the closed position, the rotary valve 120 is positioned at the other end (upper end in the drawing) in the storage unit 111. ).

流入路１１２の開口１１２ａは、収納部１１１の内周面１１１ａにおける回転軸方向の
一の位置（一の高さ位置）で回転方向に沿って等間隔（９０度間隔）に配列されている。
一方、流出路１２１の開口１２１ａは、回転弁１２０が連通位置にあるときに、該開口１
２１ａの回転軸方向の位置（高さ位置）が流入路１１２の開口１１２ａの回転軸方向の位
置と一致するように形成されている。 The openings 112a of the inflow passage 112 are arranged at equal intervals (90-degree intervals) along the rotation direction at one position (one height position) in the rotation axis direction on the inner peripheral surface 111a of the storage portion 111.
On the other hand, the opening 121a of the outflow passage 121 is open when the rotary valve 120 is in the communication position.
The position (height position) in the rotation axis direction of 21 a is formed so as to coincide with the position in the rotation axis direction of the opening 112 a of the inflow passage 112.

これにより、回転弁１２０が連通位置にあるとき、回転弁１２０の回転位置に応じて流
出路１２１が流入路１１２のいずれかと選択的に連通する。一方、回転弁１２０が閉鎖位
置にあるときは、回転弁１２０の回転位置に関わらず、すべての流入路１１２が回転弁１
２０の外周面１２０ａで塞がれる。また、流出路１２１も弁座部材１１０の内周面１１１
ａで塞がれる。 Thus, when the rotary valve 120 is in the communication position, the outflow path 121 is selectively communicated with any of the inflow paths 112 according to the rotational position of the rotary valve 120. On the other hand, when the rotary valve 120 is in the closed position, all the inflow paths 112 are connected to the rotary valve 1 regardless of the rotational position of the rotary valve 120.
The outer peripheral surface 120a of the 20 is closed. Further, the outflow path 121 is also an inner peripheral surface 111 of the valve seat member 110.
Blocked with a.

この流路切換器１００には、図示は省略するが、回転弁１２０の回転を閉鎖位置でのみ
許容し、回転軸方向の他の位置での回転を許容しないロック機構を設けるとよい。このロ
ック機構によれば、回転弁１２０の連通位置での回転を防止できる。このロック機構は、
例えば、駆動部１３０に設けるストッパー機構などにより、シャフト１３１が突出した位
置でのみ該シャフト１３１の回転を許容するように構成する。 Although not shown, the flow path switch 100 may be provided with a lock mechanism that allows the rotation of the rotary valve 120 only at the closed position and does not allow rotation at other positions in the rotation axis direction. According to this lock mechanism, rotation of the rotary valve 120 at the communication position can be prevented. This locking mechanism
For example, the stopper 131 or the like provided in the drive unit 130 is configured to allow the rotation of the shaft 131 only at the position where the shaft 131 protrudes.

上記構成の流路切換器１００で、流出路１２１から流出させる液を切り換える手順を説
明する。図２は、この手順を説明するための図である。まず、同図（ａ）に示すように、
回転弁１２０を連通位置に配置する。この状態で、回転弁１２０の回転位置に応じて流出
路１２１が一の流入路１１２に連通し、該流入路１１２の液が流出路１２１から流出する
。 A procedure for switching the liquid flowing out from the outflow path 121 by the flow path switching device 100 having the above-described configuration will be described. FIG. 2 is a diagram for explaining this procedure. First, as shown in FIG.
The rotary valve 120 is disposed at the communication position. In this state, the outflow path 121 communicates with one inflow path 112 according to the rotational position of the rotary valve 120, and the liquid in the inflow path 112 flows out from the outflow path 121.

流出路１２１から流出させる液の種類を切り換えるには、同図（ｂ）に示すように、回
転弁１２０を閉鎖位置へスライド移動させる。これにより、各流入路１１２と流出路１２
１とが塞がれる。そこから、同図（ｃ）に示すように、回転弁１２０を回転させ、流出路
１２１の開口１２１ａを所望の流入路１１２の開口１１２ａに対応する位置に配置する。
その後、同図（ｄ）に示すように、回転弁１２０を回転軸方向にスライド移動させて連通
位置へ戻す。これにより、流出路１２１が所望の流入路１１２と連通し、流入路１１２の
液を流出路１２１から流出させることができる。流出路１２１から流出させる液をさらに
他の液に変更する場合は、上記と同じ手順を繰り返す。 In order to switch the type of liquid flowing out from the outflow passage 121, the rotary valve 120 is slid to the closed position as shown in FIG. Thereby, each inflow path 112 and outflow path 12
1 is blocked. From there, the rotary valve 120 is rotated and the opening 121a of the outflow passage 121 is arranged at a position corresponding to the desired opening 112a of the inflow passage 112, as shown in FIG.
Thereafter, as shown in FIG. 4D, the rotary valve 120 is slid in the direction of the rotation axis and returned to the communication position. Thereby, the outflow path 121 communicates with the desired inflow path 112, and the liquid in the inflow path 112 can flow out of the outflow path 121. When changing the liquid flowing out from the outflow path 121 to another liquid, the same procedure as described above is repeated.

流路切換器１００によれば、流出路１２１に連通する流入路１１２を切り換える際に、
流入路１１２を塞いだ状態で切り換えを行うことができる。これにより、流出路１２１が
所望の流入路１１２に連通する前に他の流入路１１２に連通することがなくなる。したが
って、流出路１２１から流出させる液を交換する際に、交換後の液に他の液が混ざるおそ
れがない。 According to the flow path switching device 100, when switching the inflow path 112 communicating with the outflow path 121,
Switching can be performed while the inflow path 112 is closed. This prevents the outflow path 121 from communicating with the other inflow paths 112 before communicating with the desired inflow path 112. Therefore, when the liquid flowing out from the outflow path 121 is replaced, there is no possibility that another liquid is mixed with the liquid after replacement.

また、流路切換器１００によれば、回転弁１２０が閉鎖位置で流入路１１２と流出路１
２１とを塞ぐので、従来の流路切換器のように各流入路１１２に連通する配管に開閉弁を
設ける必要がない。したがって、流路切換器１００や周辺の機器の構成が簡単になる。ま
た、回転弁１２０の回転及び回転軸方向の移動だけで流路の切り換えが行えるので、流路
切換器１００の構成が簡単になる上に、液を交換する際の操作が簡単になる。 Further, according to the flow path switching device 100, the inflow path 112 and the outflow path 1 when the rotary valve 120 is in the closed position.
Therefore, it is not necessary to provide an open / close valve in the piping communicating with each inflow path 112 as in the conventional flow path switching device. Therefore, the configuration of the flow path switching device 100 and peripheral devices is simplified. Further, since the flow path can be switched only by the rotation of the rotary valve 120 and the movement in the rotation axis direction, the configuration of the flow path switching device 100 is simplified and the operation for exchanging the liquid is simplified.

また、流路切換器１００では、複数の流入路１１２の少なくともいずれかを他の流入路
１１２から流入させる液体を洗浄する洗浄液を流入させる流入路１１２とすることが望ま
しい。このように構成することで、液の交換の際に、一旦、流出路１２１を洗浄液の流入
路１１２と連通させれば、流出路１２１やその下流側の配管などの洗浄を行うことができ
る。その後、流出路１２１を所望の液の流入路１１２に連通させても、交換後の液に交換
前の液が混ざらずに済む。 Further, in the flow path switching device 100, it is desirable that at least one of the plurality of inflow paths 112 is an inflow path 112 into which a cleaning liquid for cleaning liquid that flows in from the other inflow paths 112 is allowed to flow. With this configuration, once the outflow path 121 is communicated with the cleaning liquid inflow path 112 when the liquid is exchanged, the outflow path 121 and the piping on the downstream side thereof can be cleaned. Thereafter, even if the outflow path 121 is communicated with the inflow path 112 of the desired liquid, the liquid before replacement does not have to be mixed with the liquid after replacement.

なお、流路切換器１００に上記のロック機構を設ければ、連通位置で一の流入路１１２
に連通している流出路１２１が誤って他の流入路１１２に連通することを防止できる。ま
た、流出路１２１に連通する流入路１１２を切り換える際に、流出路１２１が所望する流
入路１１２以外の流入路１１２に連通することを確実に防止できる。 If the above-described lock mechanism is provided in the flow path switching device 100, one inflow path 112 is provided at the communication position.
It is possible to prevent the outflow passage 121 communicating with the other inflow passage 112 from communicating with the other inflow passage 112 by mistake. Further, when the inflow path 112 communicating with the outflow path 121 is switched, it is possible to reliably prevent the outflow path 121 from communicating with the inflow path 112 other than the desired inflow path 112.

本実施形態の流路切換器１００は４個の流入路１１２を備えているが、流入路の数はこ
れに限らず複数個であれば他の数でもよい。また、流入路１１２や流出路１２１の配置や
形状も上記実施形態に示すものには限定されない。また、本実施形態では、回転弁１２０
を移動させる駆動部１３０を備える場合を説明したが、回転弁１２０を手動で移動させて
流路を切り換えるように構成することも可能である。その場合は、駆動部１３０を省略で
きる。 Although the flow path switching device 100 of this embodiment includes four inflow paths 112, the number of inflow paths is not limited to this, and may be any other number as long as it is plural. Further, the arrangement and shape of the inflow path 112 and the outflow path 121 are not limited to those shown in the above embodiment. In the present embodiment, the rotary valve 120 is also used.
Although the case where the drive unit 130 for moving the valve is provided has been described, it is also possible to manually move the rotary valve 120 and switch the flow path. In that case, the drive unit 130 can be omitted.

また、本実施形態では、流出路を有する流出側部材が回転可能に設置された回転弁１２
０であり、流入路を有する流入側部材が回転弁１２０を回転可能に収納する弁座部材１１
０である場合を説明したが、これとは逆に、流入路を有する流入側部材が回転可能に設置
された部材であり、流出路を有する流出側部材が回転する部材に対して固定された部材で
あってもよい。 Moreover, in this embodiment, the rotary valve 12 in which the outflow side member which has an outflow path was rotatably installed.
0, and the valve seat member 11 in which the inflow side member having the inflow path accommodates the rotary valve 120 rotatably.
The case of 0 was explained, but conversely, the inflow side member having the inflow passage is a member rotatably installed, and the outflow side member having the outflow passage is fixed to the rotating member. It may be a member.

また、本実施形態では、流路切換器１００の回転軸方向を垂直方向に配置した場合を説
明したが、流路切換器１００は回転軸方向を水平方向に配置するなど、他の姿勢で設置す
ることも可能である。 Further, in the present embodiment, the case where the rotation axis direction of the flow path switching device 100 is arranged in the vertical direction has been described, but the flow path switching device 100 is installed in another posture, such as the rotation axis direction being arranged in the horizontal direction. It is also possible to do.

〔第２実施形態：液滴吐出装置〕
図３乃至図５は、本発明の一実施形態にかかる液滴吐出装置１の概略全体構成例を示す
図で、図３はその斜視図であり、図４はその平面図であり、図５はその側面図である。ま
た、図６乃至図８は、液滴吐出装置１が備えるヘッドユニット２０の構成例を示す図で、
図６はその平面図であり、図７は図６のＡ方向から見た側面図であり、図８は図６のＢ方
向から見た側面図である。また図１１は、ヘッドユニット２０に搭載される液滴吐出ヘッ
ド１０の構成例を示す斜視図である。また図１２は、この液滴吐出装置１が備える機能液
供給機構８０の構成例を模式的に示す図である。 [Second Embodiment: Droplet Discharge Device]
3 to 5 are diagrams showing a schematic overall configuration example of the droplet discharge device 1 according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a perspective view thereof, FIG. 4 is a plan view thereof, and FIG. Is a side view thereof. 6 to 8 are diagrams showing examples of the configuration of the head unit 20 provided in the droplet discharge device 1.
6 is a plan view thereof, FIG. 7 is a side view seen from the direction A of FIG. 6, and FIG. 8 is a side view seen from the direction B of FIG. FIG. 11 is a perspective view showing a configuration example of the droplet discharge head 10 mounted on the head unit 20. FIG. 12 is a diagram schematically illustrating a configuration example of the functional liquid supply mechanism 80 provided in the droplet discharge device 1.

液滴吐出装置１は、いわゆるフラットディスプレイなどのパネル基板の製造ラインに組
み込まれる装置であり、機能液の液滴を吐出する液滴吐出ヘッド１０を用いた液滴吐出法
により、ワーク（基板）上に液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素とな
る発光素子などを形成するもので、上記の各図に示すように、ワークに機能液の液滴を吐
出して描画処理を施す液滴吐出ヘッド１０と、該液滴吐出ヘッド１０を取り付けたヘッド
ユニット２０と、該ヘッドユニット２０を搭載したキャリッジユニット３０と、キャリッ
ジユニット３０やワークＷを移動させる移動機構４０と、液滴吐出ヘッド１０の保守整備
を行うメンテナンス機構６０と、液滴吐出ヘッド１０に機能液を供給する機能液供給機構
８０とを備えて構成されている。またこの液滴吐出装置１には、いずれも図示は省略する
が、装置全体を制御する図示しない制御機構のほか、装置の各部に駆動・制御用の圧縮エ
アーを供給するエアー供給手段や、ワークＷを下記する吸着テーブル４５に吸着するため
のエアー吸引を行うエアー吸引装置などの各種の付帯装置も備えられている。また、移動
機構４０の下記するセットテーブル４２上にワークＷをセットする際に用いるワーク認識
カメラ１６や、キャリッジユニット３０に搭載されたヘッドユニット２０の位置補正を行
う図示しないヘッド認識カメラも設置されている。 The droplet discharge device 1 is a device incorporated in a panel substrate production line such as a so-called flat display, and works (substrates) by a droplet discharge method using a droplet discharge head 10 that discharges droplets of functional liquid. A color filter of a liquid crystal display device or a light emitting element that becomes each pixel of an organic EL device is formed on the top. As shown in each of the above drawings, a functional liquid droplet is ejected onto a workpiece to perform a drawing process. A droplet discharge head 10, a head unit 20 to which the droplet discharge head 10 is attached, a carriage unit 30 on which the head unit 20 is mounted, a moving mechanism 40 that moves the carriage unit 30 and the workpiece W, and droplet discharge A maintenance mechanism 60 that performs maintenance of the head 10 and a functional liquid supply mechanism 80 that supplies functional liquid to the droplet discharge head 10 are configured. Although not shown in the drawings, the droplet discharge device 1 includes a control mechanism (not shown) for controlling the entire device, an air supply means for supplying compressed air for driving / control to each part of the device, a work piece, and the like. Various auxiliary devices such as an air suction device that performs air suction for sucking W to the suction table 45 described below are also provided. Further, a workpiece recognition camera 16 used when setting the workpiece W on the set table 42 described below of the moving mechanism 40 and a head recognition camera (not shown) for correcting the position of the head unit 20 mounted on the carriage unit 30 are also installed. ing.

移動機構４０は、図３及び図４に示すように、ワークＷをセットするセットテーブル４
２と、主走査方向であるＸ軸方向に延在してセットテーブル４２を同方向に移動させるＸ
軸テーブル４１と、一対のＹ軸支持ベース５７を備えて副走査方向であるＹ軸方向に延在
するＹ軸テーブル５１と、Ｙ軸テーブル５１に沿って移動自在に支持されたキャリッジユ
ニット３０とを備えている。Ｙ軸テーブル５１は、複数本の支柱５２によってＸ軸テーブ
ル４１を跨ぐように架け渡されており、キャリッジユニット３０は、このＹ軸テーブル５
１上でＹ軸方向に沿って複数個（本実施形態では７個）並べて設置されていて、各キャリ
ッジユニット３０には、複数個の液滴吐出ヘッド１０が取り付けられたヘッドユニット２
０が搭載されている。そして、Ｘ軸テーブル４１とＹ軸テーブル５１の交わる領域がワー
クＷに対して描画を行う描画領域Ｃになっている。一方、Ｙ軸テーブル５１に沿う描画領
域Ｃの一端側には、メンテナンス機構６０の吸引ユニット６２及びワイピングユニット６
３が設置されたメンテナンス架台６４が備えられている。 As shown in FIGS. 3 and 4, the moving mechanism 40 has a set table 4 for setting the workpiece W.
2 and X extending in the X-axis direction, which is the main scanning direction, and moving the set table 42 in the same direction
A shaft table 41, a Y-axis table 51 that includes a pair of Y-axis support bases 57 and extends in the Y-axis direction that is the sub-scanning direction, and a carriage unit 30 that is supported movably along the Y-axis table 51. It has. The Y-axis table 51 is bridged across the X-axis table 41 by a plurality of support columns 52, and the carriage unit 30 includes the Y-axis table 5.
A plurality of (seven in this embodiment) are arranged side by side along the Y-axis direction on the head 1, and each carriage unit 30 has a head unit 2 to which a plurality of droplet discharge heads 10 are attached.
0 is installed. A region where the X-axis table 41 and the Y-axis table 51 intersect is a drawing region C in which drawing is performed on the workpiece W. On the other hand, on one end side of the drawing area C along the Y-axis table 51, the suction unit 62 and the wiping unit 6 of the maintenance mechanism 60 are provided.
A maintenance stand 64 on which 3 is installed is provided.

Ｘ軸テーブル４１は、図３及び図４に示すように、ワークＷをセットするセットテーブ
ル４２と、セットテーブル４２をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸エアースライダ
４３と、Ｘ軸方向に延在し、セットテーブル４２を介してワークＷをＸ軸方向に移動させ
る左右一対のＸ軸リニアモータ（図示せず）と、Ｘ軸リニアモータに並設されてＸ軸エア
ースライダ４３の移動を案内する一対のＸ軸ガイドレール４４とを備えている。このＸ軸
テーブル４１では、Ｘ軸リニアモータを駆動すると、Ｘ軸エアースライダ４３がＸ軸ガイ
ドレール４４にガイドされた状態でＸ軸方向に沿って移動し、セットテーブル４２上のワ
ークがＸ軸方向に移動するようになっている。 3 and 4, the X-axis table 41 includes a set table 42 for setting the workpiece W, an X-axis air slider 43 for slidably supporting the set table 42 in the X-axis direction, and an X-axis direction. A pair of left and right X-axis linear motors (not shown) that extend and move the workpiece W in the X-axis direction via the set table 42, and the X-axis air slider 43 are moved in parallel with the X-axis linear motor. A pair of X-axis guide rails 44 for guiding is provided. In this X-axis table 41, when the X-axis linear motor is driven, the X-axis air slider 43 is moved along the X-axis direction while being guided by the X-axis guide rail 44, and the workpiece on the set table 42 is moved to the X-axis. It is designed to move in the direction.

セットテーブル４２は、図５に示すように、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル４
５と、吸着テーブル４５を回動自在に支持するθテーブル４６とを備えている。吸着テー
ブル４５は厚板状の石盤で構成され、図３及び図４に示すように、その表面にはワークＷ
を吸引するための吸引溝４５ａが形成されている。そしてこの吸引溝４５ａには、上記の
エアー吸引手段に連通する図示しない吸引孔が形成されており、この吸引溝４５ａを介し
てワークＷに吸引力を作用させるようになっている。 As shown in FIG. 5, the set table 42 is a suction table 4 for sucking and setting the work W.
5 and a θ table 46 that rotatably supports the suction table 45. The suction table 45 is constituted by a thick plate-like stone plate, and as shown in FIGS.
A suction groove 45a for sucking the water is formed. A suction hole (not shown) communicating with the air suction means is formed in the suction groove 45a, and a suction force is applied to the workpiece W through the suction groove 45a.

Ｙ軸テーブル５１は、複数のブリッジプレート５３を支持するＹ軸スライダ（図示せず
）と、Ｙ軸支持ベース５７上に設置されて該Ｙ軸スライダを介してブリッジプレート５３
をＹ軸方向に移動させるＹ軸リニアモータ（図示せず）と、該Ｙ軸リニアモータと並んで
Ｙ軸支持ベース５７上に設置され、各Ｙ軸スライダの移動を案内する一対のＹ軸ガイドレ
ール（図示せず）とを備えている。Ｙ軸リニアモータを駆動することで、各Ｙ軸スライダ
がＹ軸ガイドレールで案内されてＹ軸方向に沿って平行移動する。これにより、ブリッジ
プレート５３がＹ軸方向に沿って移動するようになっている。なおこの場合、Ｙ軸リニア
モータの駆動を制御することにより、各ブリッジプレート５３をＹ軸方向に沿って各々独
立に移動させることも可能であるし、すべてのブリッジプレート５３を一体に移動させる
ことも可能である。 The Y-axis table 51 is installed on a Y-axis slider base (not shown) that supports a plurality of bridge plates 53 and a Y-axis support base 57, and the bridge plate 53 is interposed via the Y-axis sliders.
A Y-axis linear motor (not shown) that moves the Y-axis in the Y-axis direction, and a pair of Y-axis guides that are installed on the Y-axis support base 57 along with the Y-axis linear motor and guide the movement of each Y-axis slider Rail (not shown). By driving the Y-axis linear motor, each Y-axis slider is guided by the Y-axis guide rail and translated along the Y-axis direction. Thereby, the bridge plate 53 moves along the Y-axis direction. In this case, by controlling the driving of the Y-axis linear motor, each bridge plate 53 can be moved independently along the Y-axis direction, or all the bridge plates 53 can be moved together. Is also possible.

図９は、キャリッジユニット３０の構成を示す図で、該キャリッジユニット３０をＸ軸
方向の一方の側部から見た側面図である。同図及び図５に示すように、ブリッジプレート
５３には、該ブリッジプレート５３の下面側に垂下する吊設部材５４と、この吊設部材５
４の下端に設置された回転支持機構５５とを介して、ヘッドユニット２０を載置するヘッ
ドユニット載置台５６が取り付けられている。回転支持機構５５は、このヘッドユニット
載置台５６を水平面内で回転可能に支持するように構成されている。なお図示は省略する
が、吊設部材５４には、回転支持機構５５を介してヘッドユニット載置台５６を昇降させ
るヘッドユニット昇降機構が組み込まれており、このヘッドユニット昇降機構によって、
ヘッドユニット載置台５６に載置されたヘッドユニット２０の高さ位置を調整できるよう
になっている。 FIG. 9 is a diagram showing the configuration of the carriage unit 30 and is a side view of the carriage unit 30 as viewed from one side in the X-axis direction. As shown in FIG. 5 and FIG. 5, the bridge plate 53 includes a suspension member 54 that hangs down on the lower surface side of the bridge plate 53, and the suspension member 5.
A head unit mounting table 56 on which the head unit 20 is mounted is attached via a rotation support mechanism 55 installed at the lower end of 4. The rotation support mechanism 55 is configured to support the head unit mounting table 56 so as to be rotatable in a horizontal plane. Although not shown in the figure, the suspension member 54 incorporates a head unit lifting mechanism for lifting the head unit mounting table 56 via the rotation support mechanism 55. By this head unit lifting mechanism,
The height position of the head unit 20 mounted on the head unit mounting table 56 can be adjusted.

ヘッドユニット２０は、図６乃至図８に示すように、ヘッドプレート２１と、該ヘッド
プレート２１に取り付けられる複数個（本実施形態では１２個）の液滴吐出ヘッド１０と
、各液滴吐出ヘッド１０をヘッドプレート２１に取り付けている図７に示すヘッド保持部
材２２とを備えて構成されている。ヘッドプレート２１は、図６に示すようにその一部が
切り欠かれた略長方形の平板状に形成された弁座部材２１ａと、該弁座部材２１ａの長手
方向の両側の辺に取り付けられた一対の支持部材２３，２３と、各支持部材２３の端部に
設けた一対のハンドル２４，２４とを備えて構成されている。ハンドル２４，２４は、こ
のヘッドユニット２０をヘッドユニット載置台５６に載せ込む際に把持するために用いる
ものである。弁座部材２１ａは、ステンレス等の厚板で構成され、その長手方向に沿って
二列に各６個の液滴吐出ヘッド１０を取り付けるための装着開口２５が形成されていると
共に、その適宜位置に、重量を軽減するための抜き孔１９が形成されている。各装着開口
２５は、６個の液滴吐出ヘッド１０の並びに沿ってその軸線が弁座部材２１ａの長手方向
に沿う軸線に対しわずかに傾いて配置されている。また、図９に示すように、このヘッド
ユニット２０は、ヘッドプレート２１の弁座部材２１ａの長手方向が液滴吐出装置１の副
走査方向（Ｙ軸方向）に平行となる向きで、ヘッドユニット載置台５６に載せ込まれるよ
うになっている。 6 to 8, the head unit 20 includes a head plate 21, a plurality of (in this embodiment, 12) droplet discharge heads 10 attached to the head plate 21, and each droplet discharge head. 10 and a head holding member 22 shown in FIG. As shown in FIG. 6, the head plate 21 is attached to a valve seat member 21 a formed in a substantially rectangular flat plate shape with a part cut away, and to both sides in the longitudinal direction of the valve seat member 21 a. A pair of support members 23, 23 and a pair of handles 24, 24 provided at the end of each support member 23 are configured. The handles 24, 24 are used for gripping the head unit 20 when it is placed on the head unit mounting table 56. The valve seat member 21a is made of a thick plate such as stainless steel, and mounting openings 25 for attaching each of the six droplet discharge heads 10 are formed in two rows along the longitudinal direction of the valve seat member 21a. Further, a hole 19 for reducing the weight is formed. Each of the mounting openings 25 is arranged along the arrangement of the six droplet discharge heads 10 so that the axis thereof is slightly inclined with respect to the axis along the longitudinal direction of the valve seat member 21a. Further, as shown in FIG. 9, the head unit 20 is configured so that the longitudinal direction of the valve seat member 21 a of the head plate 21 is parallel to the sub-scanning direction (Y-axis direction) of the droplet discharge device 1. It is placed on the mounting table 56.

これにより、ヘッドプレート２１上で、主走査方向（Ｘ軸方向）に対し所定の角度傾い
た状態で設置された各液滴吐出ヘッド１０が、副走査方向（Ｙ軸方向）に沿って６個ずつ
二列に配列された状態になる。また、各列の液滴吐出ヘッド１０は、副走査方向（Ｙ軸方
向）に対し相互に位置をずらした状態で配置されていて、各液滴吐出ヘッド１０の下記す
る吐出ノズル１５ａが、副走査方向において一部重複した状態で連続するようになってい
る。なお、上記の液滴吐出ヘッド１０の配列パターンは一例であり、各６個の液滴吐出ヘ
ッド１０の全吐出ノズル１５ａによるドットが副走査方向において連続するように構成し
ていれば、これ以外の配列パターンとすることも可能である。また、配列する液滴吐出ヘ
ッド１０の個数やその配列数も任意である。 As a result, six droplet ejection heads 10 installed on the head plate 21 at a predetermined angle with respect to the main scanning direction (X-axis direction) are arranged along the sub-scanning direction (Y-axis direction). It will be in a state of being arranged in two rows. Further, the droplet discharge heads 10 in each row are arranged in a state of being shifted from each other with respect to the sub-scanning direction (Y-axis direction). They are continuous in a partially overlapping state in the scanning direction. The arrangement pattern of the droplet discharge heads 10 described above is an example, and other than this, as long as the dots formed by all the discharge nozzles 15a of each of the six droplet discharge heads 10 are configured to be continuous in the sub-scanning direction. It is also possible to adopt an arrangement pattern of Further, the number of the droplet discharge heads 10 to be arranged and the number of the arrangements are arbitrary.

さらにこのヘッドプレート２１には、各列の液滴吐出ヘッド１０の上部位置に設置した
一対の配管接続アッセンブリ２６，２６と、一対の配管接続アッセンブリ２７，２７が設
けられている。このうち一方の配管接続アッセンブリ２６，２６は、液滴吐出装置１のフ
ィルタ材料供給系に配管接続されており、他方の配管接続アッセンブリ２７，２７は、液
滴吐出装置１の制御系に配線接続されている。なお図６では、一対の配管接続アッセンブ
リ２６，２６のうち、一方の列の各液滴吐出ヘッド１０に取り付けた配管接続アッセンブ
リ２６のみを図示しており、他方の列の各液滴吐出ヘッド１０に取り付けた配管接続アッ
センブリ２６は、その図示を省略している。 Further, the head plate 21 is provided with a pair of pipe connection assemblies 26 and 26 and a pair of pipe connection assemblies 27 and 27 installed at the upper positions of the droplet discharge heads 10 in each row. One of the pipe connection assemblies 26 and 26 is connected to the filter material supply system of the droplet discharge device 1, and the other pipe connection assemblies 27 and 27 are connected to the control system of the droplet discharge device 1. Has been. FIG. 6 shows only the pipe connection assembly 26 attached to each droplet discharge head 10 in one row of the pair of pipe connection assemblies 26, 26, and each droplet discharge head 10 in the other row. The pipe connection assembly 26 attached to is not shown.

各配管接続アッセンブリ２６は、図７に示すように、ヘッドプレート２１の弁座部材２
１ａの長辺方向の両端部に立設した一対のスペーサ２８，２８と、スペーサ２８，２８の
間に渡した押さえプレート２９と、押さえプレート２９に搭載した複数組（６組）の配管
アダプタ３６とで構成されている。各配管アダプタ３６は、その下端のヘッド側接続部分
３６ａをわずかに突出した状態で、各々が押さえプレート２９に固着されている。また、
押さえプレート２９の下側に突出する配管アダプタ３６のヘッド側接続部分３６ａと、押
さえプレート２９の下方に配置された液滴吐出ヘッド１０の間には、配管接続部材３８が
介在している。 As shown in FIG. 7, each pipe connection assembly 26 is connected to the valve seat member 2 of the head plate 21.
A pair of spacers 28, 28 erected at both ends in the long side direction of 1 a, a pressing plate 29 passed between the spacers 28, and a plurality of sets (six sets) of piping adapters 36 mounted on the pressing plate 29 It consists of and. Each piping adapter 36 is fixed to the holding plate 29 with the head side connecting portion 36a at the lower end slightly protruding. Also,
A pipe connection member 38 is interposed between the head side connection portion 36 a of the pipe adapter 36 protruding below the press plate 29 and the droplet discharge head 10 disposed below the press plate 29.

各配管接続アッセンブリ２７は、図８に示すように、ヘッドプレート２１の左右の端部
に立設した屈曲支持部材３７と、屈曲支持部材３７の上端に固定したコネクタベース３２
と、コネクタベース３２上に取り付けた配線コネクタ３３付きの４つのヘッド中継基板３
４とで構成されている。４つのヘッド中継基板３４は、それぞれが図示しないフレキシブ
ルフラットケーブルを介して、下記する各液滴吐出ヘッド１０の２連のヘッド基板１３に
接続されている。なお、図７に示すように、ヘッドユニット２０にはさらに、配管接続ア
ッセンブリ２７を覆う中継基板カバー３５が設けられている。 As shown in FIG. 8, each pipe connection assembly 27 includes a bending support member 37 erected on the left and right ends of the head plate 21, and a connector base 32 fixed to the upper end of the bending support member 37.
And four head relay boards 3 with wiring connectors 33 mounted on the connector base 32
4. Each of the four head relay boards 34 is connected to the two head boards 13 of each droplet discharge head 10 described below via a flexible flat cable (not shown). As shown in FIG. 7, the head unit 20 is further provided with a relay board cover 35 that covers the pipe connection assembly 27.

また、図８に示すように、各配管接続アッセンブリ２６の上側には圧力調節弁５０が設
置されている。なお、図６及び図７では圧力調節弁５０の図示は省略している。この圧力
調節弁５０は、機能液供給機構８０の下記する機能液タンク８１の水頭に影響されること
なく液滴吐出ヘッド１０に機能液を安定して供給するためのもので、機能液タンク８１側
に連通する流入路７３と、液滴吐出ヘッド１０側に連通する流出路７４とを備えている。
図１０は、この圧力調節弁５０の内部構成を示す側断面図である。同図に示すように、圧
力調節弁５０は、流入路７３から連通する１次室７５と、流出路７４に連通する２次室７
６と、これら１次室７５と２次室７６を連通する連通流路７７とをバルブハウジング７８
内に形成している。そして、１次室７５の一方の側面には、外部に面してダイヤフラム７
９が設けられていると共に、連通流路７７には、ダイヤフラム７９により当該連通流路７
７を開閉動作する弁体８６が設置されている。これにより、機能液タンク８１から１次室
７５に導入された機能液は、２次室７６を介して液滴吐出ヘッド１０に供給されるが、そ
の際に、所定の調整基準圧力（ここでは大気圧）によってダイヤフラム７９が変位する。
すると、連通流路７７に設けた弁体８６が開閉動作して、２次室７６の機能液圧力が所定
の圧力（僅かに負圧）になるように２次室７６内の圧力が調整される。 In addition, as shown in FIG. 8, a pressure control valve 50 is installed on the upper side of each pipe connection assembly 26. In addition, illustration of the pressure control valve 50 is abbreviate | omitted in FIG.6 and FIG.7. The pressure control valve 50 is for stably supplying the functional liquid to the droplet discharge head 10 without being affected by the head of the functional liquid tank 81 described below of the functional liquid supply mechanism 80. An inflow path 73 communicating with the side and an outflow path 74 communicating with the droplet discharge head 10 side are provided.
FIG. 10 is a side sectional view showing the internal configuration of the pressure control valve 50. As shown in the figure, the pressure control valve 50 includes a primary chamber 75 communicating with the inflow passage 73 and a secondary chamber 7 communicating with the outflow passage 74.
6 and a communication flow path 77 that communicates the primary chamber 75 and the secondary chamber 76 with a valve housing 78.
Formed inside. Then, one side surface of the primary chamber 75 faces the outside, and the diaphragm 7
9 is provided, and the communication channel 77 is connected to the communication channel 77 by a diaphragm 79.
A valve body 86 that opens and closes 7 is installed. As a result, the functional liquid introduced from the functional liquid tank 81 into the primary chamber 75 is supplied to the droplet discharge head 10 via the secondary chamber 76. At this time, a predetermined adjustment reference pressure (here, The diaphragm 79 is displaced by the atmospheric pressure.
Then, the valve body 86 provided in the communication channel 77 opens and closes, and the pressure in the secondary chamber 76 is adjusted so that the functional fluid pressure in the secondary chamber 76 becomes a predetermined pressure (slightly negative pressure). The

このような圧力調節弁５０を機能液タンク８１と液滴吐出ヘッド１０の間に設置したこ
とによって、上記したように機能液タンク８１の水頭に影響されることなく、液滴吐出ヘ
ッド１０に機能液を安定して供給することが可能となる。すなわち、液滴吐出ヘッド１０
のノズル面１５（図１１参照）の位置と、圧力調節弁５０（ダイヤフラム７９の中心）の
位置との高低差を所定の値とすることで、機能液の供給圧を所定圧に保つことができるよ
うになっている。なお、弁体８６の閉弁時において、１次室７５および２次室７６は縁切
りされており、圧力調節弁５０は、機能液タンク８１側（１次側）で発生した脈動等を吸
収するダンパー機能を有している。また、機能液タンク８１には加圧送液された機能液が
補充されるが、この場合、１次室７５内の圧力が高まることで圧力調節弁５０が閉弁状態
となるため、機能液補充時に液滴吐出ヘッド１０から余分な機能液が排出されないように
することができる。 By providing such a pressure control valve 50 between the functional liquid tank 81 and the droplet discharge head 10, the droplet discharge head 10 can function without being affected by the head of the functional liquid tank 81 as described above. It becomes possible to supply the liquid stably. That is, the droplet discharge head 10
By setting the height difference between the position of the nozzle surface 15 (see FIG. 11) and the position of the pressure control valve 50 (center of the diaphragm 79) to a predetermined value, the supply pressure of the functional liquid can be maintained at a predetermined pressure. It can be done. When the valve body 86 is closed, the primary chamber 75 and the secondary chamber 76 are cut off, and the pressure regulating valve 50 absorbs pulsation and the like generated on the functional liquid tank 81 side (primary side). Has a damper function. In addition, the functional liquid tank 81 is replenished with the functional liquid that has been supplied under pressure. In this case, the pressure in the primary chamber 75 increases and the pressure control valve 50 is closed, so that the functional liquid is replenished. Sometimes, it is possible to prevent excess functional liquid from being discharged from the droplet discharge head 10.

次に、液滴吐出ヘッド１０の構成を説明する。図１１に示すように、液滴吐出ヘッド１
０は、機能液を導入する機能液導入部１２と、機能液導入部１２に連なる２連のヘッド基
板１３と、機能液導入部１２の下方に連なりその内部に機能液で満たされるヘッド内流路
（図示せず）が形成されたヘッド本体１４とを備えている。また、機能液導入部１２には
、機能液タンク８１に連通する配管（下記する共通配管８４）に接続されて機能液導入部
１２に機能液を供給する接続針１１が設置されている。ヘッド本体１４は、キャビティ１
４ａ（ピエゾ圧電素子）と、多数の吐出ノズル１５ａが開口したノズル面１５を有するノ
ズルプレート１４ｂとで構成されている。この液滴吐出ヘッド１０を吐出駆動すると、ピ
エゾ圧電素子に電圧が印加されることによるキャビティ１４ａのポンプ作用によって、ノ
ズル面１５の吐出ノズル１５ａから機能液の液滴が吐出されるようになっている。 Next, the configuration of the droplet discharge head 10 will be described. As shown in FIG. 11, the droplet discharge head 1
Reference numeral 0 denotes a functional liquid introduction section 12 that introduces a functional liquid, two head substrates 13 that are continuous to the functional liquid introduction section 12, and a head internal flow that is continuous below the functional liquid introduction section 12 and is filled with the functional liquid. And a head main body 14 in which a path (not shown) is formed. In addition, a connecting needle 11 that is connected to a pipe (common pipe 84 described below) that communicates with the functional liquid tank 81 and supplies the functional liquid to the functional liquid introducing section 12 is installed in the functional liquid introducing section 12. The head body 14 is a cavity 1
4a (piezoelectric element) and a nozzle plate 14b having a nozzle surface 15 with a large number of discharge nozzles 15a opened. When the droplet discharge head 10 is driven to discharge, functional liquid droplets are discharged from the discharge nozzle 15a of the nozzle surface 15 by the pumping action of the cavity 14a by applying a voltage to the piezoelectric element. Yes.

なお、多数の吐出ノズル１５ａは、等間隔（２ドットピッチ間隔）で整列配置され、２
列の分割ノズル列が形成されていると共に、各分割ノズル列同士は、相互に１ドットピッ
チ分だけその位置がずれて配置されている。これにより、液滴の吐出による１ドットピッ
チ（高解像度）の描画処理が可能となっている。また、ヘッドユニット２０に搭載された
１２×７個の液滴吐出ヘッド１０は、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液（インク）のいずれかに対
応しており、ワークに３色の機能液からなる描画パターンを描画できるようになっている
。 A large number of discharge nozzles 15a are aligned and arranged at equal intervals (2 dot pitch intervals).
The divided nozzle rows are formed, and the divided nozzle rows are arranged so that their positions are shifted by one dot pitch. This makes it possible to perform drawing processing at a 1-dot pitch (high resolution) by discharging droplets. In addition, the 12 × 7 droplet discharge heads 10 mounted on the head unit 20 correspond to any of R, G, and B color functional liquids (inks), and the work is made from three color functional liquids. The drawing pattern can be drawn.

そして、上記構成の液滴吐出ヘッド１０を取り付けた図６に示すヘッドユニット２０を
、図５及び図９に示すＹ軸支持ベース５７に沿って整列した各ブリッジプレート５３に取
り付けたヘッドユニット載置台５６上に載置することで、ヘッドユニット２０をＹ軸方向
に沿って直線状に並べて配置している。本実施形態では、７個のヘッドユニット２０を並
べて配置していることで、１２×７個の全液滴吐出ヘッド１０がＹ軸方向に連続して配列
され、各ヘッドユニット２０の描画ラインがＹ軸方向に連続して１描画ラインが形成され
るようになっている。 A head unit mounting table in which the head unit 20 shown in FIG. 6 to which the droplet discharge head 10 having the above-described configuration is attached is attached to each bridge plate 53 aligned along the Y-axis support base 57 shown in FIGS. 5 and 9. The head unit 20 is arranged in a straight line along the Y-axis direction by being placed on the head 56. In the present embodiment, by arranging the seven head units 20 side by side, the 12 × 7 all droplet discharge heads 10 are continuously arranged in the Y-axis direction, and the drawing lines of the head units 20 are arranged. One drawing line is formed continuously in the Y-axis direction.

次に、メンテナンス機構６０について説明する。メンテナンス機構６０は、図３に示す
ように、液滴吐出ヘッド１０からの液滴の捨て吐出を受けるフラッシングユニット６１と
、液滴吐出ヘッド１０から機能液を吸引して強制的に排出させる吸引ユニット６２と、液
滴吐出ヘッド１０のノズル面１５を払拭するワイピングユニット６３とを備えている。フ
ラッシングユニット６１は、液滴吐出装置１のＸ軸テーブル４１上に設置されていて、吸
引ユニット６２とワイピングユニット６３は、Ｙ軸テーブル５１に沿ってヘッドユニット
２０が移動可能な位置の下側に配設されたメンテナンス架台６４上に設置されている。 Next, the maintenance mechanism 60 will be described. As shown in FIG. 3, the maintenance mechanism 60 includes a flushing unit 61 that receives and discards droplets from the droplet discharge head 10, and a suction unit that sucks and forcibly discharges functional liquid from the droplet discharge head 10. 62 and a wiping unit 63 for wiping the nozzle surface 15 of the droplet discharge head 10. The flushing unit 61 is installed on the X-axis table 41 of the droplet discharge device 1, and the suction unit 62 and the wiping unit 63 are below the position where the head unit 20 can move along the Y-axis table 51. It is installed on the installed maintenance stand 64.

フラッシングユニット６１は、図４に示すように、描画前フラッシングユニット６５と
、定期フラッシングユニット６６とを備えている。描画前フラッシングユニット６５は、
液滴吐出装置１によるワークＷへの描画動作中、ワークＷに機能液を吐出する直前にヘッ
ドユニット２０の全液滴吐出ヘッド１０を吐出駆動してフラッシング処理を行うものであ
り、定期フラッシングユニット６６は、ワークＷの載せ換えの際など描画動作が一時的に
休止される時に、ヘッドユニット２０の全液滴吐出ヘッド１０を吐出駆動してフラッシン
グ処理を行うものである。 As shown in FIG. 4, the flushing unit 61 includes a pre-drawing flushing unit 65 and a regular flushing unit 66. The pre-drawing flushing unit 65 is
During the drawing operation on the workpiece W by the droplet discharge device 1, the flushing process is performed by discharging and driving all the droplet discharge heads 10 of the head unit 20 immediately before discharging the functional liquid onto the workpiece W. The regular flushing unit 66, when the drawing operation is temporarily suspended, such as when the workpiece W is replaced, performs the flushing process by discharging the entire droplet discharge head 10 of the head unit 20.

描画前フラッシングユニット６５は、セットテーブル４２上に設置された機能液を受け
る一対の描画前フラッシングボックス６７，６７を備えている。各描画前フラッシングボ
ックス６７，６７は長方形の細長い箱状に形成されていて、その底部に吸収材（図示せず
）が敷設されている。そして、各描画前フラッシングボックス６７，６７は、ボックス支
持部材（図示せず）を介してその長辺部分が吸着テーブル４５のＹ軸方向に平行な一対の
辺に沿って設置されている。そして、これら描画前フラッシングボックス６７，６７の上
面が、吸着テーブル４５の上面と略同一高さの面になっている。したがって、吸着テーブ
ル４５を介してワークＷをＸ軸方向に往復動させると、ヘッドユニット２０の全液滴吐出
ヘッド１０が、ワークＷに臨む直前に、順次描画前フラッシングボックス６７，６７に臨
み、描画前フラッシングを行うことができるようになっている。 The pre-drawing flushing unit 65 includes a pair of pre-drawing flushing boxes 67 and 67 for receiving the functional liquid installed on the set table 42. Each pre-drawing flushing box 67, 67 is formed in a rectangular elongated box shape, and an absorbent material (not shown) is laid on the bottom thereof. The pre-drawing flushing boxes 67 and 67 are installed along a pair of sides whose long sides are parallel to the Y-axis direction of the suction table 45 via a box support member (not shown). The top surfaces of these pre-drawing flushing boxes 67 and 67 are substantially flush with the top surface of the suction table 45. Therefore, when the workpiece W is reciprocated in the X-axis direction via the suction table 45, all the droplet discharge heads 10 of the head unit 20 face the pre-drawing flushing boxes 67 and 67 immediately before facing the workpiece W, Flushing before drawing can be performed.

定期フラッシングユニット６６は、図５に示すように、定期フラッシングボックス６８
と、Ｘ軸エアースライダ４３に搭載されて定期フラッシングボックス６８を支持する一対
のボックス支柱部材６９とを備えている。定期フラッシングボックス６８は、機能液を受
けるようにその上面が開放された長方形の箱状に形成されていて、底面には、機能液を吸
収する吸収材（図示せず）が敷設されている。またこの定期フラッシングボックス６８は
、ヘッドユニット２０の全液滴吐出ヘッド１０からの定期フラッシングを受けられるよう
に、ヘッドユニット２０の全液滴吐出ヘッド１０を包含し得る大きさに構成されている。
また、ボックス支柱部材６９は、セットテーブル４２と共にＸ軸エアースライダ４３のス
ライダ本体４３ａに固定されており、Ｘ軸エアースライダ４３を移動させると、このボッ
クス支柱部材６９を介して定期フラッシングボックス６８もＸ軸方向に沿って移動するよ
うに構成されている。 As shown in FIG. 5, the regular flushing unit 66 includes a regular flushing box 68.
And a pair of box support members 69 that are mounted on the X-axis air slider 43 and support the regular flushing box 68. The regular flushing box 68 is formed in a rectangular box shape whose upper surface is opened so as to receive the functional liquid, and an absorbent material (not shown) for absorbing the functional liquid is laid on the bottom surface. Further, the regular flushing box 68 is configured to have a size capable of including all the droplet discharge heads 10 of the head unit 20 so as to receive regular flushing from the all droplet discharge heads 10 of the head unit 20.
The box column member 69 is fixed to the slider body 43a of the X-axis air slider 43 together with the set table 42. When the X-axis air slider 43 is moved, the periodic flushing box 68 is also connected via the box column member 69. It is configured to move along the X-axis direction.

ボックス支柱部材６９は、定期フラッシングボックス６８の上端面がヘッドユニット２
０に搭載された液滴吐出ヘッド１０のノズル面１５の高さ位置よりも僅かに（２〜３ｍｍ
程度）低い位置となるように、定期フラッシングボックス６８を高さ調整可能に支持して
いる。なお、図３及び図４では、Ｘ軸テーブル４１のＸ軸方向の手前側の位置がワーク載
せ換え位置Ｄになっていて、ボックス支柱部材６９は、セットテーブル４２をワーク載せ
換え位置Ｄに臨ませた際に、定期フラッシングボックス６８がヘッドユニット２０に臨む
ようにこれを支持している。これにより、ワークＷの載せ換え中にヘッドユニット２０の
全液滴吐出ヘッド１０の定期フラッシングを行うことができ、液滴吐出ヘッド１０を適切
な状態に維持することが可能となる。 The box column member 69 has the upper end surface of the regular flushing box 68 at the head unit 2.
Slightly (2 to 3 mm) from the height position of the nozzle surface 15 of the droplet discharge head 10 mounted at 0
The regular flushing box 68 is supported so that its height can be adjusted so that it is at a low position. 3 and 4, the position on the near side in the X-axis direction of the X-axis table 41 is the workpiece replacement position D, and the box column member 69 faces the set table 42 to the workpiece replacement position D. When this happens, the regular flushing box 68 is supported so as to face the head unit 20. Thereby, it is possible to perform the regular flushing of all the droplet discharge heads 10 of the head unit 20 while the workpiece W is being replaced, and it is possible to maintain the droplet discharge head 10 in an appropriate state.

次に、吸引ユニット６２は、図４に示すように、各キャリッジユニット３０に搭載され
た各ヘッドユニット２０に対応して複数個設けられており、これらは、メンテナンス架台
６４上でＹ軸方向に沿って整列配置されている。各吸引ユニット６２は、ヘッドユニット
２０に搭載された１２個の液滴吐出ヘッド１０に対応する１２個のキャップ６２ａを有し
、吸引を行うヘッドユニット２０に対して下側から臨み、対応する各キャップ６２ａをそ
れぞれ各液滴吐出ヘッド１０のノズル面１５に密着させるようになっている。また、吸引
ユニット６２を昇降させて液滴吐出ヘッド１０（ノズル面１５）に対してキャップ６２ａ
を離接させる昇降機構（図示せず）と、図１２に示す、密着させたキャップ６２ａを介し
て各液滴吐出ヘッド１０に吸引力を作用させる吸引機構９１とを備えている。 Next, as shown in FIG. 4, a plurality of suction units 62 are provided corresponding to each head unit 20 mounted on each carriage unit 30, and these are arranged in the Y-axis direction on the maintenance frame 64. Aligned. Each suction unit 62 has twelve caps 62a corresponding to the twelve droplet discharge heads 10 mounted on the head unit 20, and faces the head unit 20 that performs suction from the lower side. Each cap 62a is brought into close contact with the nozzle surface 15 of each droplet discharge head 10. Further, the suction unit 62 is moved up and down to cap the droplet 62 with respect to the droplet discharge head 10 (nozzle surface 15).
And an elevating mechanism (not shown) for separating and contacting each other, and a suction mechanism 91 for applying a suction force to each droplet discharge head 10 via the closely contacted cap 62a shown in FIG.

吸引機構９１は、図１２に示すように、キャップ６２ａから回収タンク９２へ機能液を
吸引するチューブポンプ等の吸引ポンプ（吸引駆動源）９３と、キャップ６２ａと吸引ポ
ンプ９３との間の流路（吸引路）に設けられた吸引バルブ（開閉手段）９４及び該吸引バ
ルブ９４の開閉を制御する制御部９４ａと、吸引バルブ９４と吸引ポンプ９３の間に設け
られた吸引異常を検出する吸引圧検出センサー９９と、回収タンク９２に回収された機能
液を機能液ボトル９５へ送出する廃液ポンプ９６と、回収タンク９２内の機能液の上限を
検出するタンク上限検出センサー９７などを備えて構成されている。 As shown in FIG. 12, the suction mechanism 91 includes a suction pump (suction drive source) 93 such as a tube pump that sucks the functional liquid from the cap 62a to the recovery tank 92, and a flow path between the cap 62a and the suction pump 93. A suction valve (opening / closing means) 94 provided in the (suction passage), a controller 94a for controlling the opening and closing of the suction valve 94, and a suction pressure for detecting a suction abnormality provided between the suction valve 94 and the suction pump 93. A detection sensor 99, a waste liquid pump 96 that sends the functional liquid collected in the collection tank 92 to the functional liquid bottle 95, a tank upper limit detection sensor 97 that detects the upper limit of the functional liquid in the collection tank 92, and the like. ing.

この吸引機構９１による機能液の吸引（機能液の強制排出）は、液滴吐出ヘッド１０（
吐出ノズル１５ａ）の目詰まりを解消（防止）するために、所定数のワークＷの描画処理
を行う毎に、又は所定時間の描画処理を行った後で行われる。また、下記する機能液供給
機構８０による機能液の種類の交換を行った際に、流路切換器１００から液滴吐出ヘッド
１０に至る共通配管８４や液滴吐出ヘッド１０に機能液を充填するためにも吸引が行われ
る。さらに、液滴吐出装置１を新設した場合や、液滴吐出ヘッド１０の交換を行った場合
にも吸引が行われる。一方、吸引ユニット６２のキャップ６２ａは、液滴吐出装置１の非
稼動時に、液滴吐出ヘッド１０に被せてこれを保護するためにも用いられる。この場合、
吸引ユニット６２にヘッドユニット２０を臨ませ、液滴吐出ヘッド１０のノズル面１５に
キャップ６２ａを密着させることにより、ノズル面１５を封止して吐出ノズル１５ａの乾
燥を防止する。 The suction of the functional liquid by the suction mechanism 91 (forced discharge of the functional liquid) is performed by the droplet discharge head 10 (
In order to eliminate (prevent) clogging of the discharge nozzles 15a), it is carried out every time a predetermined number of workpieces W are drawn or after a predetermined time of drawing processing. In addition, when the type of functional liquid is exchanged by the functional liquid supply mechanism 80 described below, the common liquid 84 or the liquid droplet ejection head 10 extending from the flow path switch 100 to the liquid droplet ejection head 10 is filled with the functional liquid. For this reason, suction is performed. Furthermore, suction is also performed when the droplet discharge device 1 is newly installed or when the droplet discharge head 10 is replaced. On the other hand, the cap 62a of the suction unit 62 is also used to cover the droplet discharge head 10 to protect it when the droplet discharge apparatus 1 is not in operation. in this case,
The head unit 20 faces the suction unit 62 and the cap 62a is brought into close contact with the nozzle surface 15 of the droplet discharge head 10, thereby sealing the nozzle surface 15 and preventing the discharge nozzle 15a from drying.

さらに、吸引ユニット６２のキャップ６２ａは、液滴吐出ヘッド１０の捨て吐出（予備
吐出）により吐出された機能液を受けるフラッシングボックスとしての機能も備えており
、吸引ユニット６２に臨んだ一部のヘッドユニット２０に対してのみ吸引を行う場合には
、吸引を行わない他のヘッドユニット２０からキャップ６２ａに対して捨て吐出を行わせ
るようになっている。この場合、キャップ６２ａは、昇降機構によってその上面が液滴吐
出ヘッド１０のノズル面１５から僅かに離間する位置まで移動するようになっている。 Further, the cap 62 a of the suction unit 62 also has a function as a flushing box that receives the functional liquid discharged by the discard discharge (preliminary discharge) of the droplet discharge head 10, and a part of the head facing the suction unit 62. In the case of performing suction only on the unit 20, the other head unit 20 that does not perform suction is discarded from the cap 62a. In this case, the cap 62a is moved to a position where the upper surface of the cap 62a is slightly separated from the nozzle surface 15 of the droplet discharge head 10 by the elevating mechanism.

次に、ワイピングユニット６３は、図４に示すように、洗浄液を噴霧したワイピングシ
ート７０で液滴吐出ヘッド１０のノズル面１５を払拭するものであり、ロール状に巻回し
たワイピングシート７０を繰り出しながら巻き取る巻取りユニット７１と、繰り出したワ
イピングシート７０に洗浄液を散布する洗浄液供給ユニット（図示せず）と、洗浄液が散
布されたワイピングシート７０でノズル面１５を拭き取る拭取りユニット７２を備えてい
る。ワイピング動作は、吸引ユニット６２による吸引後などに行われ、ノズル面１５に付
着した汚れを払拭する。また、図３及び図４に示すように、ワイピングユニット６３は吸
引ユニット６２よりも描画領域Ｃに近い側に配設されており、吸引ユニット６２による吸
引後に描画領域Ｃに戻るヘッドユニット２０に臨んで、効率良くワイピング動作を行える
ようになっている。 Next, as shown in FIG. 4, the wiping unit 63 wipes the nozzle surface 15 of the droplet discharge head 10 with the wiping sheet 70 sprayed with the cleaning liquid, and feeds the wiping sheet 70 wound in a roll shape. A winding unit 71 that winds up, a cleaning liquid supply unit (not shown) that sprays the cleaning liquid onto the fed wiping sheet 70, and a wiping unit 72 that wipes the nozzle surface 15 with the wiping sheet 70 sprayed with the cleaning liquid. Yes. The wiping operation is performed after suction by the suction unit 62, and wipes off dirt adhering to the nozzle surface 15. As shown in FIGS. 3 and 4, the wiping unit 63 is disposed closer to the drawing area C than the suction unit 62, and faces the head unit 20 that returns to the drawing area C after being sucked by the suction unit 62. Thus, the wiping operation can be performed efficiently.

また、図示は省略するが、各吸引ユニット６２及びワイピングユニット６３は、メンテ
ナンス架台６４に組み込まれたユニット昇降機構によって昇降自在に支持されており、こ
れらの両ユニット６２、６３を所定の退避位置まで下降させることにより、ユニット自身
のメンテナンスやキャリッジユニット３０に搭載したヘッドユニット２０を交換するため
の作業領域をこれら吸引ユニット６２、ワイピングユニット６３上に確保できるようにな
っている。なお、メンテナンス機構６０としては、上記の各ユニットに加えて、図示及び
詳細な説明は省略するが、液滴吐出ヘッド１０の吐出不良を検査する吐出不良検査ユニッ
トや、液滴吐出ヘッド１０から吐出された液滴の重量を測定する重量測定ユニットなどを
備えても良い。 Although not shown, each suction unit 62 and wiping unit 63 are supported by a unit lifting mechanism incorporated in the maintenance frame 64 so as to be movable up and down, and the two units 62 and 63 are moved to a predetermined retracted position. By lowering, a work area for maintaining the unit itself and replacing the head unit 20 mounted on the carriage unit 30 can be secured on the suction unit 62 and the wiping unit 63. In addition to the above units, the maintenance mechanism 60 omits illustration and detailed explanation, but the discharge failure inspection unit for inspecting the discharge failure of the droplet discharge head 10 or the discharge from the droplet discharge head 10 is omitted. A weight measuring unit for measuring the weight of the formed droplets may be provided.

ここで、上記構成の液滴吐出装置１においてワークに描画処理を行う際の一連の動作に
ついて簡単に説明する。先ず、セットテーブル４２をＸ軸テーブル４１上のワークの載せ
換え位置Ｄに配置して、図示しないワーク搬送機構で搬送されたワークＷをセットテーブ
ル４２上に載置して吸着保持する。そして、Ｘ軸テーブル４１を駆動することで、セット
テーブル４２を介してワークＷを主走査（Ｘ軸）方向に往動させる。このワークＷの往動
と同期して、描画領域Ｃに臨むヘッドユニット２０の液滴吐出ヘッド１０が駆動され、ワ
ークＷに対する機能液滴の選択的な吐出（描画）処理が行われる。ワークＷの往動が終了
すると、Ｙ軸テーブル５１が駆動されて、ヘッドユニット２０がＹ軸方向に沿って所定距
離だけ移動する。そして、再度、Ｘ軸テーブル４１が駆動されると共に、これと同期して
液滴吐出ヘッド１０の吐出駆動が行われることで、ワークＷの復動とワークＷに対する機
能液滴の選択的な吐出が行われる。このように、液滴吐出装置１では、ワークＷの主走査
方向への移動及びこれに同期した液滴吐出ヘッド１０の吐出駆動（主走査）と、ヘッドユ
ニット２０の副走査方向への移動（副走査）とを交互に繰り返すことによって、ワークＷ
に対する描画処理を行うようになっている。 Here, a series of operations when the drawing process is performed on the workpiece in the droplet discharge device 1 having the above configuration will be briefly described. First, the set table 42 is placed at the workpiece replacement position D on the X-axis table 41, and the workpiece W conveyed by a workpiece conveyance mechanism (not shown) is placed on the set table 42 and held by suction. Then, by driving the X-axis table 41, the workpiece W is moved forward in the main scanning (X-axis) direction via the set table 42. In synchronization with the forward movement of the workpiece W, the droplet discharge head 10 of the head unit 20 facing the drawing region C is driven, and the functional droplet selective discharge (drawing) processing for the workpiece W is performed. When the forward movement of the workpiece W is completed, the Y-axis table 51 is driven, and the head unit 20 moves by a predetermined distance along the Y-axis direction. Then, the X-axis table 41 is driven again, and the discharge driving of the droplet discharge head 10 is performed in synchronization with this, so that the work W is returned and the functional droplets are selectively discharged to the work W. Is done. As described above, in the droplet discharge device 1, the movement of the workpiece W in the main scanning direction, the discharge driving (main scanning) of the droplet discharge head 10 in synchronization therewith, and the movement of the head unit 20 in the sub-scanning direction ( By alternately repeating (sub-scanning)
The drawing process is performed on

次に、液滴吐出装置１が備える機能液供給機構８０について説明する。図１２に示す機
能液供給機構８０は、液滴吐出ヘッド１０に機能液を供給するもので、機能液Ｌを貯留す
るための機能液タンク（液貯留タンク）８１と、機能液タンク８１に接続された個別配管
８２とを備えている。これら機能液タンク８１と個別配管８２とで液滴吐出ヘッド１０に
機能液Ｌを供給する配管系統９０が構成されている。機能液タンク８１は、貯留する機能
液Ｌの種類ごとに設置されていて、一の機能液供給機構８０には、機能液タンク８１と個
別配管８２とからなる配管系統９０が複数設置されている。各機能液タンク８１に接続さ
れた個別配管８２は、流路切換器１００に接続されている。また、流路切換器１００と液
滴吐出ヘッド１０との間は一本の共通配管８４で接続されていて、共通配管８４の途中に
は上述した圧力調節弁５０が設置されている。 Next, the functional liquid supply mechanism 80 provided in the droplet discharge device 1 will be described. A functional liquid supply mechanism 80 shown in FIG. 12 supplies functional liquid to the droplet discharge head 10, and is connected to a functional liquid tank (liquid storage tank) 81 for storing the functional liquid L and the functional liquid tank 81. Individual pipes 82 are provided. The functional liquid tank 81 and the individual piping 82 constitute a piping system 90 for supplying the functional liquid L to the droplet discharge head 10. The functional liquid tank 81 is installed for each type of functional liquid L to be stored, and a single functional liquid supply mechanism 80 is provided with a plurality of piping systems 90 including the functional liquid tank 81 and individual pipes 82. . The individual piping 82 connected to each functional liquid tank 81 is connected to the flow path switching device 100. The flow path switch 100 and the droplet discharge head 10 are connected by a single common pipe 84, and the pressure control valve 50 described above is installed in the middle of the common pipe 84.

流路切換器１００は、接続されている各個別配管８２の中から液滴吐出ヘッド１０に連
通する個別配管８２を選択して切り換えるものである。流路切換器１００の詳細な構成及
び操作手順は第１実施形態で説明したとおりである。各個別配管８２は、それぞれ流路切
換器１００の流入路１１２（図１参照）に接続されており、共通配管８４は、流出路１２
１（図１参照）に接続されている。 The flow path switching unit 100 selects and switches the individual pipe 82 communicating with the droplet discharge head 10 from among the connected individual pipes 82. The detailed configuration and operation procedure of the flow path switching device 100 are as described in the first embodiment. Each individual pipe 82 is connected to the inflow path 112 (see FIG. 1) of the flow path switching device 100, and the common pipe 84 is connected to the outflow path 12.
1 (see FIG. 1).

また、機能液タンク８１のうちの少なくとも一個は、洗浄液Ｌ´が貯留された洗浄液タ
ンク８１ａであり、該洗浄液タンク８１ａには洗浄液配管８２ａが接続されている。ここ
での洗浄液は、機能液としてインクを用いる場合には、該インクの溶媒とすることができ
る。また、アルコールと水の混合液などでもよい。 At least one of the functional liquid tanks 81 is a cleaning liquid tank 81a in which a cleaning liquid L ′ is stored, and a cleaning liquid pipe 82a is connected to the cleaning liquid tank 81a. The cleaning liquid here can be used as a solvent for the ink when ink is used as the functional liquid. Also, a mixture of alcohol and water may be used.

流路切換器１００は、図８に示すように、液滴吐出装置１におけるキャリッジユニット
３０に搭載されたヘッドユニット２０上の圧力調節弁５０の上部位置などに取り付けるこ
とができる。またその一方で、機能液タンク８１は、液滴吐出装置１を設置しているフロ
ア（図示せず）上などに設置することができ、これら流路切換器１００と機能液タンク８
１の間を各個別配管８２で接続する。 As shown in FIG. 8, the flow path switch 100 can be attached to an upper position of the pressure control valve 50 on the head unit 20 mounted on the carriage unit 30 in the droplet discharge device 1. On the other hand, the functional liquid tank 81 can be installed on a floor (not shown) on which the droplet discharge device 1 is installed, and the flow path switch 100 and the functional liquid tank 8 are installed.
1 are connected by individual pipes 82.

次に、上記構成の機能液供給機構８０で、液滴吐出ヘッド１０に供給する機能液の種類
を交換する手順について説明する。ここでは、一の機能液タンク８１から液滴吐出ヘッド
１０に供給されている機能液（インク）で描画処理を行った後で、液滴吐出ヘッド１０に
供給する機能液を他の種類の機能液に交換する場合を説明する。まず、流路切換器１００
によって一の個別配管８２と共通配管８４とが連通している状態で、流路切換器１００の
回転弁１２０を連通位置から閉鎖位置へ移動させ、個別配管８２から流路切換器１００へ
の機能液の流入を停止させる。その状態で、流路切換器１００の回転弁１２０を回転させ
、洗浄液配管８２ａが接続された流入路１１２を選択する。一方で、ヘッドユニット２０
をメンテナンス機構６０の吸引ユニット６２に臨ませて、液滴吐出ヘッド１０に吸引ユニ
ット６２のキャップ６２ａを被せる。その後、流路切換器１００の回転弁１２０を連通位
置へスライド移動させ、共通配管８４と洗浄液配管８２ａとを連通する。キャップ６２ａ
に接続された吸引機構９１で液滴吐出ヘッド１０から洗浄液Ｌ´を吸引することで、流路
切換器１００の流出路１２１と共通配管８４と液滴吐出ヘッド１０とに洗浄液を流通させ
て、これらの洗浄処理を行う。 Next, a procedure for exchanging the type of functional liquid supplied to the droplet discharge head 10 by the functional liquid supply mechanism 80 having the above configuration will be described. Here, after performing the drawing process with the functional liquid (ink) supplied from one functional liquid tank 81 to the droplet discharge head 10, the functional liquid supplied to the droplet discharge head 10 is used as another type of function. A case where the liquid is replaced will be described. First, the flow path switching device 100
In the state where one individual pipe 82 and the common pipe 84 communicate with each other, the rotary valve 120 of the flow path switching device 100 is moved from the communication position to the closed position, and the function from the individual piping 82 to the flow path switching device 100 is achieved. Stop the inflow of liquid. In this state, the rotary valve 120 of the flow path switching unit 100 is rotated to select the inflow path 112 to which the cleaning liquid pipe 82a is connected. On the other hand, the head unit 20
Is put on the suction unit 62 of the maintenance mechanism 60, and the cap 62a of the suction unit 62 is put on the droplet discharge head 10. Thereafter, the rotary valve 120 of the flow path switching unit 100 is slid to the communication position to connect the common pipe 84 and the cleaning liquid pipe 82a. Cap 62a
By sucking the cleaning liquid L ′ from the droplet discharge head 10 by the suction mechanism 91 connected to the flow path, the cleaning liquid is circulated through the outflow path 121 of the flow path switching device 100, the common pipe 84, and the droplet discharge head 10. These cleaning processes are performed.

流路切換器１００の流出路１２１と共通配管８４と液滴吐出ヘッド１０とが洗浄された
ら、吸引機構９１による洗浄液Ｌ´の吸引を停止する。そして、流路切換器１００の回転
弁１２０を閉鎖位置へスライド移動させ、洗浄液配管８２ａが接続された流入路１１２を
閉じる。その後、閉鎖位置で回転弁１２０を回転させ、次に使用する種類の機能液Ｌが貯
留された機能液タンク８１が接続された流入路１１２を選択する。そこから、流路切換器
１００の回転弁１２０を連通位置へスライド移動させて、個別配管８２と共通配管８４を
連通させる。その後、液滴吐出ヘッド１０からキャップ６２ａを介して吸引機構９１で機
能液Ｌを吸引し、共通配管８４及び液滴吐出ヘッド１０に機能液Ｌを流通させる。 When the outflow path 121, the common pipe 84, and the droplet discharge head 10 of the flow path switching device 100 are cleaned, the suction of the cleaning liquid L ′ by the suction mechanism 91 is stopped. Then, the rotary valve 120 of the flow path switching device 100 is slid to the closed position, and the inflow path 112 to which the cleaning liquid pipe 82a is connected is closed. Thereafter, the rotary valve 120 is rotated at the closed position, and the inflow path 112 to which the functional liquid tank 81 storing the type of functional liquid L to be used next is connected is selected. From there, the rotary valve 120 of the flow path switching unit 100 is slid to the communication position to connect the individual pipe 82 and the common pipe 84. Thereafter, the functional liquid L is sucked from the droplet discharge head 10 through the cap 62 a by the suction mechanism 91, and the functional liquid L is circulated through the common pipe 84 and the droplet discharge head 10.

さらに、液滴吐出ヘッド１０に供給する機能液を他の機能液タンク８１に貯留された機
能液Ｌに切り換える際にも、上記と同様の手順を行うようにすればよい。 Further, when the functional liquid supplied to the droplet discharge head 10 is switched to the functional liquid L stored in another functional liquid tank 81, the same procedure as described above may be performed.

本実施形態の液滴吐出装置１が備える機能液供給機構８０では、流路切換器１００を設
けたことにより、液滴吐出ヘッド１０に供給する機能液を交換する際に簡単な手順で機能
液を切り換えることができ、かつ、切り換えた後の機能液に他の機能液が混ざるおそれが
ない。したがって、機能液の頻繁な交換が必要な多品種少量生産を行う場合などに液滴吐
出装置１の運転の効率が向上し、生産性が良くなる。また、異なる種類の機能液が混ざる
おそれが無いので、液滴吐出ヘッド１０から吐出される液滴の質を良好に維持でき、液滴
吐出装置１で生産するパネルなどの品質を向上させることができる。 In the functional liquid supply mechanism 80 provided in the liquid droplet ejection apparatus 1 of the present embodiment, the functional liquid is provided in a simple procedure when the functional liquid supplied to the liquid droplet ejection head 10 is replaced by providing the flow path switching device 100. , And there is no possibility that other functional liquids are mixed with the functional liquid after switching. Therefore, the operation efficiency of the droplet discharge device 1 is improved and the productivity is improved, for example, in the case of performing multi-product small-scale production that requires frequent replacement of the functional liquid. Further, since there is no possibility that different types of functional liquids are mixed, the quality of the droplets discharged from the droplet discharge head 10 can be maintained well, and the quality of the panel produced by the droplet discharge apparatus 1 can be improved. it can.

液滴吐出装置１においては、機能液としてインクを用いる場合、同系統の色のインクで
あっても、描画処理を施すワークの種類ごとに僅かに異なる品種のインクを多種類用意し
て、これを切り換えて使用しなければならない場合がある。その場合、本実施形態の液滴
吐出装置１では、各機能液タンク８１に貯留する機能液として、それぞれの機能液タンク
８１ごとに異なる品種のインクを貯留しておくようにすると良い。またそれ以外にも、液
滴吐出ヘッド１０から吐出するインクを、描画処理を施すワークの種類に応じて必要な濃
度のインクに切り換えて使用するような場合には、各機能液タンク８１に、同系色であっ
て濃度の異なるインクをそれぞれ貯留しておけば良い。さらに、ワークの描画処理を行う
際に、液滴吐出ヘッド１０から吐出するインクの色自体を切り換えることができるように
するためには、各機能液タンク８１に異なる色のインクをそれぞれ貯留しておくことも可
能である。また、本実施形態の機能液供給機構８０で液滴吐出ヘッド１０に供給する機能
液は、上記したインクには限られず、その他にも、配線材料（パターン）や線材形成材料
などの液体材料や他の液体材料などを機能液タンク８１に貯留して、液滴吐出ヘッド１０
に供給するようにしてもよい。 In the droplet discharge device 1, when ink is used as the functional liquid, even if the ink is of the same color, various types of slightly different types of ink are prepared for each type of work to be drawn. It may be necessary to switch between and use. In that case, in the droplet discharge device 1 of the present embodiment, it is preferable to store different types of ink for each functional liquid tank 81 as the functional liquid stored in each functional liquid tank 81. In addition to this, when the ink discharged from the droplet discharge head 10 is used by switching to ink having a necessary concentration according to the type of work to be drawn, each functional liquid tank 81 has It is only necessary to store inks of similar colors and different densities. Furthermore, in order to be able to switch the color of the ink ejected from the droplet ejection head 10 when performing the drawing process of the workpiece, each color ink is stored in each functional liquid tank 81. It is also possible to leave. In addition, the functional liquid supplied to the droplet discharge head 10 by the functional liquid supply mechanism 80 of the present embodiment is not limited to the ink described above, and other liquid materials such as a wiring material (pattern) and a wire forming material, Other liquid materials and the like are stored in the functional liquid tank 81 and the droplet discharge head 10 is stored.
You may make it supply to.

なお、液滴吐出装置１が複数の液滴吐出ヘッド１０を備える場合、上記構成の機能液供
給機構８０から複数の液滴吐出ヘッド１０に一括で機能液が供給されるように構成するこ
とも可能である。即ち、詳細な図示は省略するが、図１２に示す機能液供給機構８０にお
いて、共通配管８４を途中で分岐させてその分岐部の下流側の分岐配管を各液滴吐出ヘッ
ド１０に接続するように構成すればよい。それにより、本実施形態のように複数の液滴吐
出ヘッド１０を備えた大型のパネル基板に描画処理を施す液滴吐出装置１であっても、機
能液供給機構８０の設置数を少なく抑えることが可能となるので、その分、液滴吐出装置
１の小型化や機構の簡単化を図ることができる。 When the droplet discharge device 1 includes a plurality of droplet discharge heads 10, the functional liquid may be supplied to the plurality of droplet discharge heads 10 from the functional liquid supply mechanism 80 having the above configuration. Is possible. That is, although detailed illustration is omitted, in the functional liquid supply mechanism 80 shown in FIG. 12, the common pipe 84 is branched halfway and the branch pipe downstream of the branch portion is connected to each droplet discharge head 10. What is necessary is just to comprise. Thereby, even in the droplet discharge apparatus 1 that performs drawing processing on a large panel substrate having a plurality of droplet discharge heads 10 as in the present embodiment, the number of installed functional liquid supply mechanisms 80 is reduced. Therefore, the size of the droplet discharge device 1 and the mechanism can be simplified accordingly.

上記実施形態の機能液供給機構８０が備える機能液タンク８１と個別配管８２とからな
る配管系統９０の設置数は、上記実施形態に示す数には限定されず、液滴吐出ヘッド１０
に供給する機能液の種類に応じて適宜増減することが可能である。また、洗浄液用配管系
統９０ａの設置数も、上記各実施形態で示した１系統には限定されず、複数系統にするこ
とも可能である。また、配管系統９０の設置数に応じて流路切換器１００の設置数や流路
切換器１００が有する流入路１１２の数を変更することができる。 The number of installations of the piping system 90 including the functional liquid tank 81 and the individual piping 82 provided in the functional liquid supply mechanism 80 of the above embodiment is not limited to the number shown in the above embodiment, and the droplet discharge head 10.
It is possible to appropriately increase or decrease depending on the type of functional liquid supplied to the liquid. Further, the number of installation of the cleaning liquid piping system 90a is not limited to one system shown in each of the above embodiments, and a plurality of systems can be used. Further, the number of installed flow path switching devices 100 and the number of inflow paths 112 of the flow path switching device 100 can be changed according to the number of installed piping systems 90.

また、上記各実施形態で示した液滴吐出装置１の具体的な構成は一例であり、本発明に
かかる液滴吐出装置１としては、ワークに機能液の液滴を吐出する液滴吐出ヘッド１０を
備えているものであれば、移動機構４０などの他の部分の具体的な構成は、上記実施形態
とは異なるものであってもよい。また、上記の実施形態で示した流路切換器１００や機能
液タンク８１の設置場所は一例であり、流路切換器１００や機能液タンク８１は、上記以
外の場所に設置することも可能である。 In addition, the specific configuration of the droplet discharge device 1 shown in each of the above embodiments is an example, and the droplet discharge device 1 according to the present invention includes a droplet discharge head that discharges functional liquid droplets onto a workpiece. If it is provided with 10, the specific structure of other parts, such as the moving mechanism 40, may differ from the said embodiment. Moreover, the installation place of the flow path switching device 100 and the functional liquid tank 81 shown in the above embodiment is an example, and the flow path switching device 100 and the functional liquid tank 81 can be installed in a place other than the above. is there.

また、上記各実施形態の液滴吐出装置１では、ヘッドユニット２０の設置個数を７個と
して７連ヘッドユニットを構成している場合を説明したが、ヘッドユニット２０の設置数
は上記以外の個数であっても良く、例えば、１０個のヘッドユニット２０を並べて配置し
て１０連ヘッドユニットを構成することも可能である。 Further, in the liquid droplet ejection apparatus 1 of each of the embodiments described above, the case where the number of head units 20 is set to 7 and the seven-unit head unit is configured has been described. For example, it is also possible to configure a 10-unit head unit by arranging 10 head units 20 side by side.

以上本発明の実施形態を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく
、特許請求の範囲、及び明細書、図面に記載された技術的思想の範囲内において種々の変
形が可能である。なお、直接明細書及び図面に記載のない何れの形状・構造・材質であっ
ても、本願発明の作用・効果を奏する以上、本願発明の技術的思想の範囲内である。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made within the scope of the technical idea described in the claims, the specification, and the drawings. Is possible. It should be noted that any shape, structure, and material not directly described in the specification and drawings are within the scope of the technical idea of the present invention as long as the effects and advantages of the present invention are exhibited.

本発明の一実施形態にかかる流路切換器の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the flow-path switching device concerning one Embodiment of this invention. 流路切換器で流出路から流出させる液を切り換える手順を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the procedure which switches the liquid made to flow out from an outflow path with a flow-path switching device. 本発明の一実施形態にかかる液滴吐出装置の全体構成を示す斜視図である。1 is a perspective view showing an overall configuration of a droplet discharge device according to an embodiment of the present invention. 液滴吐出装置の全体構成を示す平面図である。It is a top view which shows the whole structure of a droplet discharge apparatus. 液滴吐出装置の全体構成を示す側面図である。It is a side view which shows the whole structure of a droplet discharge apparatus. 液滴吐出装置が備えるヘッドユニットの構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the head unit with which a droplet discharge apparatus is provided. ヘッドユニットの構成を示す側面図である。It is a side view which shows the structure of a head unit. ヘッドユニットの構成を示す側面図である。It is a side view which shows the structure of a head unit. キャリッジユニットの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of a carriage unit. 圧力調整弁の内部の構成を示す側断面図である。It is a sectional side view which shows the structure inside a pressure regulating valve. ヘッドユニットに搭載される液滴吐出ヘッドの構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the droplet discharge head mounted in a head unit. 本発明の一実施形態にかかる液滴吐出装置が備える機能液供給機構の構成を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the structure of the functional liquid supply mechanism with which the droplet discharge apparatus concerning one Embodiment of this invention is provided.

符号の説明Explanation of symbols

１ 液滴吐出装置
１０ 液滴吐出ヘッド
１２ 機能液導入部
１３ ヘッド基板
１４ ヘッド本体
１５ ノズル面
１５ａ 吐出ノズル
２０ ヘッドユニット
２１ ヘッドプレート
２６ 配管接続アッセンブリ
２７ 配管接続アッセンブリ
３０ キャリッジユニット
３６ 配管アダプタ
３８ 配管接続部材
４０ 移動機構
４１ Ｘ軸テーブル
４２ セットテーブル
４３ Ｘ軸エアースライダ
４４ Ｘ軸ガイドレール
４５ 吸着テーブル
４６ θテーブル
５０ 圧力調節弁
５１ Ｙ軸テーブル
５３ ブリッジプレート
５４ 吊設部材
５５ 回転支持機構
５６ ヘッドユニット載置台
５７ Ｙ軸支持ベース
６０ メンテナンス機構
６１ フラッシングユニット
６２ａ キャップ
６２ 吸引ユニット
６３ ワイピングユニット
６５ 描画前フラッシングユニット
６６ 定期フラッシングユニット
７３ 流入路
７４ 流出路
７５ １次室
７６ ２次室
７７ 連通流路
７８ バルブハウジング
７９ ダイヤフラム
８０ 機能液供給機構
８１ 機能液タンク
８１ａ 洗浄液タンク
８２ 個別配管
８２ａ 洗浄液配管
８４ 共通配管
８４ 共通配管
８５ チョークバルブ（開閉弁）
８６ 弁体
９０ 配管系統
９０ａ 洗浄液用配管系統
９１ 吸引機構
１００ 流路切換器
１１０ 弁座部材（流入側部材）
１１１ 収納部
１１１ａ 内周面
１１２ 流入路
１１２ａ 開口
１１２ｂ 開口
１１３ 配管
１２０ 回転弁（流出側部材）
１２０ａ 外周面
１２０ｂ 上面
１２１ 流出路
１２１ａ 開口
１２１ｂ 開口
１２３ 配管
１３０ 駆動部
１３１ シャフト DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Droplet discharge device 10 Droplet discharge head 12 Functional liquid introduction part 13 Head board 14 Head main body 15 Nozzle surface 15a Discharge nozzle 20 Head unit 21 Head plate 26 Piping connection assembly 27 Piping connection assembly 30 Carriage unit 36 Piping adapter 38 Piping connection Member 40 Movement mechanism 41 X-axis table 42 Set table 43 X-axis air slider 44 X-axis guide rail 45 Suction table 46 θ table 50 Pressure control valve 51 Y-axis table 53 Bridge plate 54 Suspension member 55 Rotation support mechanism 56 Head unit mounting Table 57 Y-axis support base 60 Maintenance mechanism 61 Flushing unit 62a Cap 62 Suction unit 63 Wiping unit 65 Pre-drawing flushing unit 66 Regular flushing unit 73 Inflow 74 Outflow passage 75 Primary chamber 76 Secondary chamber 77 Communication passage 78 Valve housing 79 Diaphragm 80 Functional liquid supply mechanism 81 Functional liquid tank 81a Cleaning liquid tank 82 Individual piping 82a Cleaning liquid piping 84 Common piping 84 Common piping 85 Choke valve (open / close valve) )
86 Valve body 90 Piping system 90a Cleaning liquid piping system 91 Suction mechanism 100 Flow path switch 110 Valve seat member (inflow side member)
111 Storage portion 111a Inner peripheral surface 112 Inflow passage 112a Opening 112b Opening 113 Piping 120 Rotary valve (outflow side member)
120a Outer peripheral surface 120b Upper surface 121 Outflow passage 121a Opening 121b Opening 123 Piping 130 Drive part 131 Shaft

Claims (8)

液状体を流通させる複数の第１流通路を有する第１部材と、
前記第１部材に対して回転可能かつ回転軸方向に移動可能に設置され、前記複数の第１
流通路のいずれかと連通し、前記液状体を流通させる第２流通路を有する第２部材と、
を備え、
前記第２部材は、前記第１部材に対する前記回転軸方向の移動で、その回転位置に応じ
て前記第２流通路が前記複数の第１流通路のいずれかと選択的に連通する連通位置と、前
記複数の第１流通路を塞ぐ閉鎖位置と、に配置されることを特徴とする流路切換器。 A first member having a plurality of first flow passages for circulating the liquid material;
The plurality of first members are installed so as to be rotatable with respect to the first member and movable in a rotation axis direction.
A second member that communicates with any of the flow passages and has a second flow passage for circulating the liquid material;
With
The second member is a movement position in the rotation axis direction with respect to the first member, and the communication position where the second flow path selectively communicates with any of the plurality of first flow paths according to the rotation position; And a closed position that closes the plurality of first flow passages. 前記第１部材は、前記第２部材を回転可能かつ回転軸方向に移動可能な状態で収納する
収納部を有し、前記第２部材は、前記収納部内で前記回転軸周りの外周面が前記収納部の
内周面に当接して回転し、
前記複数の第１流通路は前記収納部の前記内周面に開口し、前記第２流通路は前記第２
部材の前記外周面に開口することを特徴とする請求項１に記載の流路切換器。 The first member has a storage portion that stores the second member in a state of being rotatable and movable in the direction of the rotation axis, and the second member has an outer peripheral surface around the rotation axis in the storage portion. Rotates in contact with the inner peripheral surface of the storage part,
The plurality of first flow passages open to the inner peripheral surface of the storage portion, and the second flow passage is the second flow passage.
The flow path switching device according to claim 1, wherein the flow path switching device opens on the outer peripheral surface of the member. 前記複数の第１流通路の前記開口は、前記収納部の内周面における前記回転軸の軸方向
の同一位置に配列されていることを特徴とする請求項２に記載の流路切換器。 The flow path switching device according to claim 2, wherein the openings of the plurality of first flow passages are arranged at the same position in the axial direction of the rotation shaft on the inner peripheral surface of the storage portion. 前記第２部材は、前記閉鎖位置でのみ回転可能に構成されていることを特徴とする請求
項１乃至３のいずれかに記載の流路切換器。 The flow path switching device according to any one of claims 1 to 3, wherein the second member is configured to be rotatable only in the closed position. 請求項１乃至４のいずれかに記載の流路切換器を用いた液状体の交換方法であって、
前記第２部材を前記連通位置に配置して、前記複数の第１流通路のうち一の第１流通路
を前記第２流通路に連通させて該第１流通路の液状体を前記第２流通路へ流通させる手順
と、
前記第２部材を前記閉鎖位置へ移動して前記複数の第１流通路を塞ぐ手順と、
前記閉鎖位置で前記第２部材の回転により前記複数の第１流通路のうち他の流通路を選
択する手順と、
前記第２部材を前記連通位置へ移動して、前記第２流通路を前記選択した第１流通路に
連通させて該第１流通路の液状体を前記第２流通路へ流通させる手順と、を有することを
特徴とする液状体交換方法。 A method for replacing a liquid material using the flow path switching device according to any one of claims 1 to 4,
The second member is disposed at the communication position, and a first flow passage of the plurality of first flow passages is communicated with the second flow passage so that the liquid material in the first flow passage is the second. A procedure for distributing to the flow path;
Moving the second member to the closed position to close the plurality of first flow paths;
Selecting another flow path among the plurality of first flow paths by rotation of the second member at the closed position;
Moving the second member to the communication position, communicating the second flow path to the selected first flow path, and circulating the liquid material in the first flow path to the second flow path; A liquid exchange method characterized by comprising: ワークに機能液の液滴を吐出する液滴吐出装置であって、
複数の種類の前記機能液を貯留する複数の機能液貯留部と、
請求項１乃至４のいずれかに記載の流路切換器と、
液滴吐出部と、
前記複数の機能液貯留部と前記流路切換器を接続する複数の機能液流路と、
前記液滴吐出部と前記流路切換器を接続する一の共通流路と、
を有し、
前記各機能液流路は、前記流路切換器の前記各第１流通路に接続され、
前記共通流路は、前記流路切換器の前記第２流通路に接続されていることを特徴とする
液滴吐出装置。 A liquid droplet ejection device that ejects functional liquid droplets onto a workpiece,
A plurality of functional liquid reservoirs for storing a plurality of types of the functional liquid;
The flow path switching device according to any one of claims 1 to 4,
A droplet discharge unit;
A plurality of functional liquid passages connecting the plurality of functional liquid reservoirs and the flow path switch;
One common flow path connecting the droplet discharge section and the flow path switch;
Have
Each functional liquid flow path is connected to each first flow path of the flow path switch,
The liquid droplet ejection apparatus, wherein the common flow path is connected to the second flow path of the flow path switching unit. 前記複数の機能液貯留部のうち少なくとも１つは、洗浄液を貯留する洗浄液貯留部であ
ることを特徴とする請求項６に記載の液滴吐出装置。 The liquid droplet ejection apparatus according to claim 6, wherein at least one of the plurality of functional liquid storage units is a cleaning liquid storage unit that stores a cleaning liquid. 前記液滴吐出部は、インクジェットヘッドを備えていることを特徴とする請求項６に記載
の液滴吐出装置。 The liquid droplet ejection apparatus according to claim 6, wherein the liquid droplet ejection unit includes an inkjet head.

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