JP2009064590A - 有機el表示パネルの製造方法 - Google Patents
有機el表示パネルの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009064590A JP2009064590A JP2007229368A JP2007229368A JP2009064590A JP 2009064590 A JP2009064590 A JP 2009064590A JP 2007229368 A JP2007229368 A JP 2007229368A JP 2007229368 A JP2007229368 A JP 2007229368A JP 2009064590 A JP2009064590 A JP 2009064590A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- organic
- layer
- display
- region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 41
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 89
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 92
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 22
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 claims description 4
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 55
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 21
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 19
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 19
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 description 13
- 239000010408 film Substances 0.000 description 9
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 7
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 7
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 5
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 2
- 239000010405 anode material Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- IBHBKWKFFTZAHE-UHFFFAOYSA-N n-[4-[4-(n-naphthalen-1-ylanilino)phenyl]phenyl]-n-phenylnaphthalen-1-amine Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C2=CC=CC=C2C=CC=1)C1=CC=C(C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C3=CC=CC=C3C=CC=2)C=C1 IBHBKWKFFTZAHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K tri(quinolin-8-yloxy)alumane Chemical compound [Al+3].C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1 TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
【課題】安価で、かつ、製造歩留まりを改善する有機EL表示装置の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】第1絶縁基板GL1の主面上に複数の表示画素からなる表示部DYPと、表示部DYPから延びた引き出し電極と、引き出し電極上に配置された剥離層L2とを形成する第1基板形成工程と、第2絶縁基板GL2の主面に封止材L3を成膜する第2基板形成工程と、第1絶縁基板GL1と第2絶縁基板GL1とをそれぞれの主面が対向するように配置し、封止材L2を硬化させて第1基板と第2基板とを一体とするパネル形成工程と、パネルの表示部DYPを含む第1領域A1と引き出し電極および剥離層L2が配置された領域を含む第2領域A2との境界で、第2絶縁基板GL2を割断する工程と、第2領域A2に配置された第2絶縁性基板GL2、封止材L3、および剥離層L2を取り除く工程とを有する有機EL表示パネルの製造方法。
【選択図】 図5
【解決手段】第1絶縁基板GL1の主面上に複数の表示画素からなる表示部DYPと、表示部DYPから延びた引き出し電極と、引き出し電極上に配置された剥離層L2とを形成する第1基板形成工程と、第2絶縁基板GL2の主面に封止材L3を成膜する第2基板形成工程と、第1絶縁基板GL1と第2絶縁基板GL1とをそれぞれの主面が対向するように配置し、封止材L2を硬化させて第1基板と第2基板とを一体とするパネル形成工程と、パネルの表示部DYPを含む第1領域A1と引き出し電極および剥離層L2が配置された領域を含む第2領域A2との境界で、第2絶縁基板GL2を割断する工程と、第2領域A2に配置された第2絶縁性基板GL2、封止材L3、および剥離層L2を取り除く工程とを有する有機EL表示パネルの製造方法。
【選択図】 図5
Description
本発明は、有機EL表示パネルの製造方法に関する。
液晶表示装置等のディスプレイに比べて高速応答及び広視野角化が可能な自己発光型のディスプレイとしてエレクトロルミネセンス(EL:electroluminescence)表示装置の開発が盛んに行われている。有機EL表示装置は、有機EL表示パネルと有機EL表示パネルを駆動する駆動回路とから構成される。
有機EL表示パネルは、ガラス等の支持基板上に、表示画素をマトリクス状に配置して構成される表示部と、表示部を囲む外周部とを有するアレイ基板と、アレイ基板と対向して配置される封止基板とを備えている。
有機EL表示パネルは水分による劣化が激しいため、従来、アレイ基板と封止基板との間に透湿性の低い充填材を用いることで有機EL素子への水分の浸透を抑制する固体封止方式の有機EL表示パネルが提案されている(特許文献1参照)。
固体封止方式で封止を行なう有機ELパネルの場合、絶縁性基板に下側電極(陽極)を成膜し、陽極上に正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層等の有機層、更に、これらの有機層上に上側電極(陰極)を成膜して、マトリクス状に配置された表示画素からなる表示部を備えたアレイ基板を形成する。このアレイ基板と封止材を成膜した透明の対向基板とを所定の位置で貼り合わせて有機ELパネルを形成する方法がある。
上記の有機EL表示パネルのアレイ基板を形成する過程において、表示画素に駆動信号を供給する引き出し電極を、表示部からアレイ基板の端部に延びるように形成する。アレイ基板と対向基板との貼り合わせ後に、引き出し電極が配置された領域と対向する対向基板片を割断することによって引き出し電極の駆動信号入力端子が取り出される。
すなわち、封止材が引き出し電極上に触れると封止基板片を取り除くことが困難となるため、封止材を引き出し電極に触れないようパターニングされる必要がある。そのため、封止材は、スクリーン印刷法やディスペンサー法によって成膜され、アレイ基板と貼り合わせてから加熱や紫外線照射によって硬化される。
特開平5−182759号公報
しかし、上記構成の場合、対向基板を形成する際に、封止材はディスペンサー法などによって成膜されるので、パターニング形成や位置合わせ用のアライメントマークなどが必要となり、有機EL表示パネルを安価に製造することが困難であった。また、封止材の成膜時やアレイ基板と対向基板との貼り合わせ時には高精度な位置精度が要求され、製造歩留まりが低下する場合があった。
本発明は上記問題点に鑑みて成されたものであって、安価で、かつ、製造歩留まりを改善する有機EL表示装置の製造方法を提供することを目的とする。
本発明の態様による有機EL表示パネルの製造方法は、第1絶縁基板の主面上に複数の表示画素からなる表示部と、前記表示部から延びた引き出し電極と、前記引き出し電極上に配置された剥離層とを形成する第1基板形成工程と、第2絶縁基板の主面に封止材を成膜する第2基板形成工程と、前記第1絶縁基板と前記第2絶縁基板とをそれぞれの主面が対向するように配置し、前記封止材を硬化させて前記第1基板と前記第2基板とを一体とするパネル形成工程と、前記パネルの前記表示部を含む第1領域と前記引き出し電極および前記剥離層が配置された領域を含む第2領域との境界で、前記第2絶縁基板を割断する工程と、前記第2領域に配置された前記第2絶縁性基板、前記封止材、および前記剥離層を取り除く工程とを有する。
本発明によれば、安価で、かつ、製造歩留まりを改善する有機EL表示装置の製造方法を提供することができる。
以下に、本発明の一実施形態に係る有機EL表示パネルの製造方法について、図面を参照して説明する。本実施形態に係る製造方法では、400mm×500mmの大きさのマザーパネルを形成し、このマザーパネル1枚から、図1および図2に示すような有機EL表示パネルPNLを48枚製造する。
図1および図2に示すように、本実施形態に係る製造方法で形成される有機EL表示パネルPNLは、アレイ基板PL1と、アレイ基板PL1に対向して配置された対向基板PL2とを有している。図1に示すように、有機EL表示パネルPNLは、アレイ基板PL1上にマトリクス状に配置された表示画素(図示せず)からなる表示部DYPを含む第1領域A1と、表示部DYPから延びる引き出し電極(図示せず)を含む第2領域A2とを有している。
図2に示すように、アレイ基板PL1と対向基板PL2とは、第1領域A1において対向して配置されている。また、図1に示すように、アレイ基板PL1は、対向基板PL2の端縁Eから延びて配置されている。実装時には、アレイ基板PL1上若しくは有機EL表示パネルPNLの外部に配置される駆動回路から引き出し電極に、表示部DYPへの駆動信号が供給される。
最初に、48面分のアレイ基板PL1となる第1マザー基板を製造する。まず、400mm×500mmの大きさの絶縁性基板GL1を用意する。絶縁性基板GL1上に、複数の導電層および絶縁層から成るスイッチング素子層LSWを形成する。
本実施形態に係る製造方法では、スイッチング素子層LSWの導電層および絶縁層を所定の形状にパターンニングして、表示部DYPのそれぞれの表示画素に配置される低温ポリシリコンTFT(Thin Film Transistor)、および、第2領域A2においてアレイ基板PL1上に配置される各種配線を形成する。
さらに、このスイッチング素子層LSW上に、樹脂製平滑層LR、反射層(図示せず)、陽極およびその他の配線となる第1導電層LE1、リブ層(図示せず)をそれぞれ所定の膜厚で成膜し、所定の形状にパターンニングする。なお、本実施形態に係る製造方法では、陽極材料としてITO(Indium Tin Oxide)を用いている。
上記の製造過程において、樹脂製平滑層LRをパターンニングする際にコンタクトホール(図示せず)を形成し、下層に配置されたスイッチング素子層LSWと、上層に配置される第1導電層LE1によって形成される陽極とを導通させるようにする。本実施形態に係る製造方法では、樹脂製平滑層LRのコンタクトホールを介して、陽極と低温ポリシリコンTFTのドレイン電極とを導通させている。
また、第2領域A2に配置されたスイッチング素子層LSWおよび第1導電層LE1をパターンニングすることによって、第1マザー基板の第2領域A2に配置される引き出し電極を形成する。さらに、引き出し電極の端部には、実装時に駆動回路からの駆動信号が入力される駆動信号入力端子を形成する。
次に、リブ層形成後の基板を、抵抗加熱方式の有機EL成膜装置にセットし、正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層等の複数の有機層を含む有機EL層L1を形成する。
本実施形態に係る製造方法では、正孔輸送層として、例えば、膜厚200nmとなるようにα−NPDを蒸着により成膜し、正孔輸送層上に発光層兼、電子輸送層として、例えば、膜厚が50nmとなるようにAlq3を蒸着により成膜し、さらに、電子注入層兼、ITOダメージバッファ層として、例えば、膜厚が2nmとなるようにMgAgを蒸着により成膜する。これらの各層を、所定の形状にパターンニングして有機EL層L1を形成した。
ここで、有機EL層L1を蒸着する際に、それぞれの第1マザー基板の第1領域と第2領域とに渡って有機EL層L1の少なくとも一層が形成されるようなマスクパターンを使用した。すなわち、有機EL層L1の少なくとも一層を第1マザー基板の第1領域A1と第2領域A2に渡って形成し、図3に示すように、第2領域A2に配置された剥離層L2を形成した。したがって、剥離層L2は、第1マザー基板の第2領域においてスイッチング素子層LSWおよび第1導電層LE1によって形成された引き出し電極上に配置される。
なお、剥離層L2は、有機EL層L1を構成する、正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層等の一層で形成されていても良く、これらの層のうちの複数の層が積層されて形成されても良い。
さらに、有機EL層L1を成膜済みの基板に、プラズマコーティング法を用いてITO成膜を施し、陰極となる第2導電層LE2を形成し、第1マザー基板を製造した。本実施形態に係る製造方法では、例えば膜厚100nmでITOを成膜した。
図2に示すように、第2導電層LE2は、その下層に設けられたコンタクトホールによって、スイッチング素子層LSWあるいは第1導電層によって形成された電極と導通している。すなわち、第2導電層LE2によって形成される陰極には、スイッチング素子層LSWあるいは第1導電層により形成された電極を介して駆動回路から駆動信号が供給される。
次に、48枚の対向基板PL2となる第2マザー基板を製造する。まず、第1マザー基板の表示領域全体を覆うことのできるカバーガラスGL2を準備した。このカバーガラスGL2全体に固体封止充填材L3として紫外線(UV)硬化型樹脂をスクリーン印刷法によって成膜し第2マザー基板を形成した。
その後、第1マザー基板と第2マザー基板との貼りあわせを行い、所定の紫外線を照射することによって、固体封止充填材L3を硬化し、マザーパネルを製造した。このように形成されたマザーパネルを、有機EL表示パネルPNLの外形寸法で割断し、図3に示すような48枚のパネルを形成した。
次に、図4に示すように、カバーガラスGL2を第1領域A1と第2領域A2との境界で割断した。さらに、カバーガラスGL2の割断後に、図5に示すように、カバーガラスGL2、固体封止充填材L3、および剥離層L2の第2領域A2に配置された部分を取り除いて、第2領域において引き出し電極の駆動信号入力端子を取り出し、有機EL表示パネルPNLを製造した。
上記のように製造した有機EL表示パネルPNLについて、カバーガラスGL2、固体封止充填材L3、および剥離層L2の第2領域A2に配置された部分を取り除いた後に、引き出し電極上に固体封止充填材L3が残っていないか確認した。さらに、固体封止充填材L3が残渣のなかった有機EL表示パネルPNLについて、駆動回路を実装して表示確認を行なった。
その結果、本実施形態に係る製造方法によって製造された有機EL表示パネルPNLでは、図6に示すように、48枚の有機EL表示パネルPNL中の40枚のパネルで、引き出し電極上に固体封止充填材L3が残っていなかった。さらに、その固体封止充填材L3の残渣がなかった40枚の有機EL表示パネルPNL中で、良好な表示が確認できたものは37枚であった。
これに対し、第2領域A2において引き出し電極上に剥離層L2を形成しない以外は上記の実施形態に係る製造方法と同様の製造方法で、比較例としての有機EL表示パネルを製造した。
この剥離層L2を形成しなかった有機EL表示パネルについて、対向基板、および固体封止充填材L3の第2領域A2に配置された部分取り除いた後に、上記の実施形態に係る製造方法で製造した有機EL表示パネルPNLと同様に、引き出し電極上に固体封止充填材L3が残っていないかを確認し、さらに固体封止充填材L3の残渣がなかった有機EL表示パネルについて駆動回路を実装して表示確認を行った。
その結果、剥離層L2を形成しなかった有機EL表示パネルでは、図6に示すように、48枚の有機EL表示パネル中の1枚のパネルは、剥離層バルクでカバーガラスを剥がすことができたが、その他の47枚のパネルは引き出し電極上のカバーガラスが剥がれず割れてしまい、良好な表示を確認する事が出来なかった。さらに、カバーガラスを剥がすことが出来た1枚の有機EL表示パネルについても、良好な表示を確認することは出来なかった。
すなわち、本実施形態に係る製造方法のように、有機EL表示パネルPNLの第2領域A2において、アレイ基板PL1の引き出し電極上に剥離層L2を形成する事で、カバーガラスGL2の全面に固体封止充填材L3を成膜しても、引き出し電極を傷めることなく固体封止充填材L3を取り除くことができる。
すなわち、本実施形態の製造方法によれば、引き出し電極を取り出すためにスクリーン印刷法やディスペンサー法などによってカバーガラスGL2に固体封止充填材を成膜することなく、駆動回路と引き出し電極との良好な導通状態を確認する事ができ、良好な表示状態を得ることができた。
さらに、従来は、固体封止充填材の成膜時や、第1マザー基板と第2マザー基板との貼り合わせ時には高精度な位置精度が要求されたが、本実施形態に係る製造方法によれば、カバーガラスGL2の全面に固体封止充填材が成膜されればよく、従来の方法と比較して位置制度が要求されないため、製造歩留まりを改善することができる。
さらに、本実施形態に係る製造方法では、剥離層L2は表示画素の構成の一部である有機EL層L1の少なくとも一層と同時に形成されるため、剥離層L2を形成するために製造工程を増加させることがなく、製造歩留まりを低下させることがないとともに、スクリーン印刷法やディスペンサー法によって成膜する必要がなく、さらに、新たな材料を追加することがないため安価に有機EL表示パネルを製造することができる。
すなわち、本実施形態に係る有機EL表示装置の製造方法では、安価で、かつ、製造歩留まりを改善する有機EL表示装置の製造方法を提供することができる。
なお、この発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。
PNL…EL表示パネル、DYP…表示部、A1…第1領域、A2…第2領域、L2…剥離層、L3…固体封止充填材、PL1…アレイ基板、GL1…絶縁性基板(第1絶縁性基板)、PL2…対向基板PL、GL2…カバーガラス(第2絶縁性基板)。
Claims (2)
- 第1絶縁基板の主面上に複数の表示画素からなる表示部と、前記表示部から延びた引き出し電極と、前記引き出し電極上に配置された剥離層とを形成する第1基板形成工程と、
第2絶縁基板の主面に封止材を成膜する第2基板形成工程と、
前記第1絶縁基板と前記第2絶縁基板とをそれぞれの主面が対向するように配置し、前記封止材を硬化させて前記第1基板と前記第2基板とを一体とするパネル形成工程と、
前記パネルの前記表示部を含む第1領域と前記引き出し電極および前記剥離層が配置された領域を含む第2領域との境界で、前記第2絶縁基板を割断する工程と、
前記第2領域に配置された前記第2絶縁性基板、前記封止材、および前記剥離層を取り除く工程とを有する有機EL表示パネルの製造方法。 - 前記第1基板形成工程は、第1導電層を形成する工程と、前記第1導電層上に複数の有機層を含む有機EL層を形成する工程と、前記発光層上に第2導電層を形成する工程と、をさらに備え、
前記剥離層は前記有機EL層の少なくとも一層と同時に形成される請求項1記載の有機EL表示パネルの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007229368A JP2009064590A (ja) | 2007-09-04 | 2007-09-04 | 有機el表示パネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007229368A JP2009064590A (ja) | 2007-09-04 | 2007-09-04 | 有機el表示パネルの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009064590A true JP2009064590A (ja) | 2009-03-26 |
Family
ID=40559011
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007229368A Pending JP2009064590A (ja) | 2007-09-04 | 2007-09-04 | 有機el表示パネルの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009064590A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103370985A (zh) * | 2011-02-21 | 2013-10-23 | 松下电器产业株式会社 | 有机电致发光器件 |
KR20150107616A (ko) * | 2014-03-13 | 2015-09-23 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 표시 장치의 제작 방법, 및 전자 기기의 제작 방법 |
JP2016095389A (ja) * | 2014-11-14 | 2016-05-26 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置の製造方法、表示装置の端子露出方法および表示装置 |
JP2016154227A (ja) * | 2015-02-13 | 2016-08-25 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 機能パネル、機能モジュール、発光モジュール、表示モジュール、位置情報入力モジュール、発光装置、照明装置、表示装置、情報処理装置、機能パネルの作製方法 |
JP2017162842A (ja) * | 2012-05-04 | 2017-09-14 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置の作製方法 |
US10510992B2 (en) | 2012-05-04 | 2019-12-17 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing light-emitting device |
-
2007
- 2007-09-04 JP JP2007229368A patent/JP2009064590A/ja active Pending
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103370985A (zh) * | 2011-02-21 | 2013-10-23 | 松下电器产业株式会社 | 有机电致发光器件 |
CN103370985B (zh) * | 2011-02-21 | 2016-09-28 | 松下知识产权经营株式会社 | 有机电致发光器件 |
JP2017162842A (ja) * | 2012-05-04 | 2017-09-14 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置の作製方法 |
JP2019135727A (ja) * | 2012-05-04 | 2019-08-15 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置の作製方法 |
US10510992B2 (en) | 2012-05-04 | 2019-12-17 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing light-emitting device |
JP2020170719A (ja) * | 2012-05-04 | 2020-10-15 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置の作製方法 |
KR20150107616A (ko) * | 2014-03-13 | 2015-09-23 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 표시 장치의 제작 방법, 및 전자 기기의 제작 방법 |
JP2015187720A (ja) * | 2014-03-13 | 2015-10-29 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置の作製方法、および電子機器の作製方法 |
KR102292148B1 (ko) | 2014-03-13 | 2021-08-24 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 표시 장치의 제작 방법, 및 전자 기기의 제작 방법 |
JP2016095389A (ja) * | 2014-11-14 | 2016-05-26 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置の製造方法、表示装置の端子露出方法および表示装置 |
US9601715B2 (en) | 2014-11-14 | 2017-03-21 | Japan Display Inc. | Method of manufacturing display device, method of exposing terminal of display device and display device |
JP2016154227A (ja) * | 2015-02-13 | 2016-08-25 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 機能パネル、機能モジュール、発光モジュール、表示モジュール、位置情報入力モジュール、発光装置、照明装置、表示装置、情報処理装置、機能パネルの作製方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101267529B1 (ko) | 플렉서블한 유기전계 발광소자 제조 방법 | |
KR102334815B1 (ko) | 발광 장치 및 박리 방법 | |
US9276047B2 (en) | Method for manufacturing flexible display device | |
JP4465367B2 (ja) | 有機電界発光表示装置及びその製造方法 | |
JP4713534B2 (ja) | 有機電界発光表示装置及び有機電界発光表示装置の製造方法 | |
JP6843710B2 (ja) | 表示装置、および表示装置の製造方法 | |
KR101800285B1 (ko) | 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 | |
US20170373125A1 (en) | Flexible display device and method of manufacturing the same | |
US20200243782A1 (en) | Display device, and manufacturing method of display device | |
KR20150002037A (ko) | 유기전계 발광소자의 제조 방법 및 그 방법에 의해 제조된 유기전계 발광소자 | |
JP2010027599A (ja) | 有機発光ディスプレイ装置及びその製造方法 | |
JP2009164107A (ja) | 有機el表示装置 | |
US9219104B2 (en) | Self-emissive display and manufacturing method thereof | |
JP2008124419A (ja) | 有機電界発光表示装置及び有機電界発光表示装置の製造方法 | |
WO2019012769A1 (ja) | 表示装置、および表示装置の製造方法 | |
JP2009187941A (ja) | 有機発光ディスプレイ装置及びその製造方法 | |
JP2011165681A (ja) | 有機電界発光表示装置及びその製造方法 | |
US20170338441A1 (en) | Display device and manufacturing method thereof | |
JP6462325B2 (ja) | 表示装置の製造方法および表示装置の端子露出方法 | |
JP5407649B2 (ja) | 電気光学装置およびその製造方法、電子機器 | |
JP2009064590A (ja) | 有機el表示パネルの製造方法 | |
JP2010244850A (ja) | 有機el表示装置 | |
JP2007273400A (ja) | 光デバイスの製造方法、および光デバイス | |
JP2019020509A (ja) | 表示装置および表示装置の製造方法 | |
JP2011123150A (ja) | 電気光学装置の製造方法 |