JP2009059884A - 電子回路 - Google Patents

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Abstract

【課題】製造が容易であり、かつ擬似的にスピントランジスタの動作が可能な電子回路を提供すること。
【解決手段】本発明は、電界効果トランジスタ20と、電界効果トランジスタ20のソースSに接続された磁気抵抗素子10と、を具備する電子回路である。本発明によれば、磁気抵抗素子10の磁化状態により、電界効果トランジスタ20のゲート−ソース間に印加される電圧を制御できる。電界効果トランジスタ20の電流駆動能力をの磁化状態で制御できることから擬似的にスピントランジスタとしての動作が可能となる。また、電界効果トランジスタ20と磁気抵抗素子10から電子回路を構成するため、容易に製造することができる。
【選択図】図1

Description

本発明は、電子回路に関し、特に電界効果トランジスタと磁気抵抗素子とを有する電子回路に関する。
非特許文献1には、スピントランジスタが開示されている。スピントランジスタは、強磁性体と半導体との接合を用いて半導体中にスピンを注入し、注入されたスピンによる電流を用いてトランジスタ動作させる。また、スピン状態に依存する磁気抵抗効果等を利用し、出力電流を制御することができる。このようなスピントランジスタを用いることにより様々な機能を有する電子回路を実現することができる。例えば、特許文献1には、スピントランジスタの磁化状態を平行磁化と反平行磁化に変化させることにより不揮発に機能を再構成できる論理回路が開示されている。
電子情報通信学会誌 Vol.88. No.7. 2005 P541−550 再表2004/086625号明細書
しかしながら、高効率のスピン注入が可能な強磁性体と半導体との接合を形成することは容易ではなく、スピントランジスタを実現することは難しい。また、スピントランジスタにおける磁気電流比と呼ばれる平行磁化と反平行磁化における出力電流の変化率は、トランジスタに加える電圧に依存する場合が多く、論理回路への応用上の課題となる。例えば、特許文献1の図5(A)および図5(B)のように、論理回路に用いるには、平行磁化と反平行磁化とで電流−電圧特性が相似形に変化することが好ましい。
本発明は上記課題に鑑み、製造が容易であり、かつ擬似的にスピントランジスタの動作が可能な電子回路を提供することを目的とする。
本発明は、電界効果トランジスタと、一端が前記電界効果トランジスタのソースに接続された磁気抵抗素子と、を具備することを特徴とする電子回路である。本発明によれば、磁気抵抗素子の磁化状態により、電界効果トランジスタのゲート−ソース間に印加される電圧を制御できる。電界効果トランジスタの電流駆動能力を磁気抵抗素子の磁化状態で制御できることから擬似的にスピントランジスタとしての動作が可能となる。また、電界効果トランジスタと強磁性トンネル接合から電子回路を構成するため、容易に製造することができる。
上記構成において、前記電界効果トランジスタのソースから前記磁気抵抗素子に流れる電流による前記磁気抵抗素子の電圧降下により、前記電界効果トランジスタのゲート−ソース間に印加される電圧を制御できる構成とすることができる。
上記構成において、前記磁気抵抗素子は、強磁性トンネル接合である構成とすることができる。また、上記構成において、前記強磁性トンネル接合の磁化状態により、電流駆動能力を制御できる構成とすることができる。
上記構成において、前記強磁性トンネル接合素子が反平行磁化の場合の前記電界効果トランジスタのドレイン電流は、前記強磁性トンネル接合の他端に対する前記電界効果トランジシタのドレインの電圧である擬似ドレイン−ソース間電圧が大きくなった場合に、前記強磁性トンネル接合素子が平行磁化の場合の前記電界効果トランジスタのドレイン電流に漸近しない構成とすることができる。
上記構成において、前記磁気抵抗素子は、前記磁気抵抗素子に電流を流すことにより磁化状態を制御できる構成とすることができる。
本発明は、2つの電源線の間に接続されたドライバーとロードとを有し、前記ドライバーと前記ロードとのうち少なくとも一方が前記電子回路であることを特徴とする電子回路である。本発明によれば、電源を遮断してもデータを不揮発性に保持できる不揮発性メモリや不揮発的に論理機能を保持できる構成可能論理回路などを構成できる。
上記構成において、前記ドライバーと前記ロードとから構成された相補型インバータを具備する構成とすることができる。また、上記構成において、前記相補型インバータは、前記磁気抵抗素子の磁化状態により論理閾値が可変である構成とすることができる。この構成によれば、相補型インバータを利用して、磁気抵抗素子の磁化状態で論理機能を再構成し、この論理機能を不揮発に保持することを特徴とする再構成可能論理回路を構成できる。
上記構成において、前記相補型インバータを有する双安定回路を具備する構成とすることができる。さらに、上記構成において、前記磁気抵抗素子は、磁化状態によって、前記双安定回路の状態を不揮発的に記憶できる構成とすることができる。
本発明は、2つの電源線の間に接続されたドライバーとロードとを有し、前記ドライバーと前記ロードとのうち少なくとも一方が前記電子回路であり、前記電子回路の強磁性トンネル接合の磁化状態で論理機能を再構成し、前記強磁性トンネル接合は、前記論理機能を不揮発的に記憶することを特徴とする電子回路である。
本発明は、前記電子回路の前記電界効果トランジスタのゲートに接続されたワード線と、前記電界効果トランジスタのドレインに接続されたビット線と、を具備することを特徴とする電子回路である。本発明によれば、MRAMを構成することができる。
本発明によれば、磁気抵抗素子の磁化状態により、電界効果トランジスタのゲート−ソース間に印加される電圧を制御できる。したがって、電界効果トランジスタの電流駆動能力を磁気抵抗素子の磁化状態で制御できることから擬似的にスピントランジスタとしての動作が可能となる。また、電界効果トランジスタと強磁性トンネル接合から電子回路を構成するため、容易に製造することができる。
以下、本発明の実施例について図面を参照に説明する。
スピントランジスタと同様の機能を実現するため、MOSFET(Metal Oxide Semiconductor FET)と強磁性トンネル接合を用いることを検討した。MOSFETと強磁性トンネル接合との集積化は、例えばMRAM(Magnetic Random Access Memory)の技術を用いれば容易に実現することができる。MOSFETと強磁性トンネル接合を用いる場合、MOSFETのソース側に強磁性トンネル接合を接続する場合と、MOSFETのドレイン側に強磁性トンネル接合を接続する場合が考えられる。実施例1では、MOSFETのソースに強磁性トンネル接合の一端が接続され、比較例では、MOSFETのドレインに強磁性トンネル接合が接続されている。
図1は、実施例1の回路図である。図1を参照に、MOSFET20のソースSに強磁性トンネル接合10の一端(図1では強磁性電極の自由磁化層16側)が接続されている。MOSFET20のドレインDは第3端子T3に、ゲートGは第2端子T2に接続されている。強磁性トンネル接合10の他端(図1では固定磁化層12側)は第1端子T1に接続されている。なお、強磁性電極の自由磁化層16側が第1端子に接続され、強磁性電極の固定磁化層12側がMOSFET20のソースSに接続されてもよい。
MOSFET20は、不図示のシリコン基板、ゲート酸化膜、ゲート電極、ソースおよびドレインを有している。n型MOSFETの場合では、シリコン基板内のp型ウエル上にゲート酸化膜を介しゲート電極が設けられている。ゲート電極両側のシリコン基板内にn型拡散領域であるソースおよびドレインが設けられている。このように、以下n型MOSFETを例に説明するが、MOSFET20はp型MOSFETでもよい。
強磁性トンネル接合10は、強磁性電極のピン層である固定磁化層12、トンネル障壁層14および強磁性電極のフリー層である自由磁化層16が積層して構成されている。固定磁化層12および自由磁化層16としては、強磁性体金属またはハーフメタル強磁性体を用いることができる。例えば、フルホイスラー合金やCoFeBなどを用いることができる。トンネル障壁層14には、MgOまたはAl等の絶縁膜を用いることができる。固定磁化層12は磁化方向を変更できない層であり、自由磁化層16は磁化方向を変更可能な層である。固定磁化層12と自由磁化層16の磁化方向が同じ(平行磁化)場合、強磁性トンネル接合10の抵抗は低抵抗値Rpとなる。強磁性電極の固定磁化層12と強磁性電極の自由磁化層16の磁化方向が反対(反平行磁化)の場合、強磁性トンネル接合10の抵抗は高抵抗値Rapとなる。ここで、一般的には、Rp<Rapである。
MOSFET型のスピントランジスタとして、スピンMOSFETがあるが、図1の回路は擬似的にスピンMOSFETと同等の動作をすることから、ここでは、擬似的にスピンMOSFET(擬似スピンMOSFET)と呼ぶ。第1端子T1に対し第3端子T3に加わる電圧を擬似ドレイン−ソース間電圧V、第3端子T3から第1端子T1に流れる電流をドレイン電流I、第1端子T1に対し第2端子T2に加わる電圧を擬似ゲート−ソース間電圧Vとする。MOSFET20のソースSに対し第2端子T2に加わる電圧をゲート−ソース間電圧VGS0とする。
強磁性トンネル接合10のトンネル磁気抵抗比TMRは、以下のように定義する。
TMR=(Rap−Rp)/Rp
一般的に強磁性トンネル接合10に印加される電圧が小さいほどTMRは大きくなる。零近傍の非常に小さな印加電圧におけるTMRは、印加電圧とともに小さくなり、TMRがちょうど1/2になる印加電圧をVhalfといい、TMRの印加電圧依存性の指標に用いる。
磁気電流比γMCは、以下のように定義する。
γMC=(I −I AP)/I AP
ここで、I は平行磁化の場合のドレイン電流、I APは反平行磁化の場合のドレイン電流である。
図2は、比較例の回路図である。実施例1の図1に対し、MOSFET20aのドレイン側に強磁性トンネル接合10aが接続されている。その他の構成は実施例1と同じである。
図3は、実施例1における強磁性トンネル接合10を負荷とみなした場合の負荷曲線の模式図を示す。図3において、実線がMOSFET20のドレイン電流I−ゲート−ソース間電圧VGS0特性に対応する。破線は強磁性トンネル接合10が平行磁化のとき(抵抗値がRp)の強磁性トンネル接合10の電流−電圧特性に対応する。点線は強磁性トンネル接合10が反平行磁化のとき(抵抗値がRap)に対応する。ここでは、簡単のため強磁性トンネル接合の抵抗は平行磁化と反平行磁化のそれぞれで印加電圧によらず一定値の抵抗値をとるとした。強磁性トンネル接合の抵抗値が印加電圧依存性を持っていても、同様に解析できる。実線と破線との交点が平行磁化の場合の動作点Vpであり、実線と点線との交点が反平行磁化の場合の動作点Vapである。MOSFET20のゲートGに同じ擬似ゲート−ソース間電圧Vを加えても、MOSFET20のゲート−ソース間に実際に印加されるゲート−ソース間電圧VGS0は強磁性トンネル接合10の磁化状態に依存して、平行磁化の場合ではVp、反平行磁化の場合ではVapとなる。したがって,MOSFET20を流れるドレイン電流Iは,平行磁化と反平行磁化では異なり、強磁性トンネル接合10の磁化状態でMOSFET20の電流駆動能力を制御できる。
図4(a)および図4(b)は、それぞれ実施例1および比較例において擬似ドレイン−ソース間電圧Vに対するドレイン電流Iをシミュレーションした結果を示す図である。シミュレーションは、MOSFET20のチャネル長が70nm、チャネル幅が1μm、ゲート絶縁膜厚が1.6nm(以下のシミュレーションも同じ)、磁気抵抗比TMRが1000%、Vhalfが1Vについて行った。図4(a)および図4(b)においては、擬似ゲート−ソース間電圧が0Vから1Vまで0.2Vステップで変化する場合を図示している。破線は平行磁化、点線は反平行磁化の場合を示している。図4(a)のように、実施例1においては、強磁性トンネル接合10を平行磁化と反平行磁化とに変化させることにより、MOSFET20の電流駆動能力を変化させることができる。また、反平行磁化の場合の出力特性は平行磁化における出力特性をほぼ相似状に縮小した特性となっている。
図4(b)のように、比較例においては擬似ゲート−ソース間電圧Vが小さい場合、平行磁化と反平行磁化のドレイン電流I とI APはほぼ一致している。このため、強磁性トンネル接合10の磁化状態によってMOSFETの電流駆動能力を制御することはできない。したがって,スピントランジスタとして機能しない。擬似ゲート−ソース間電圧Vを大きくすると、スピントランジスタとして機能するようになる。しかし、擬似ドレイン−ソース間電圧Vが大きい場合は、平行磁化と反平行磁化のドレイン電流の差I −I APは小さくなってしまう。このように、比較例においては、限られた擬似ゲート−ソース間電圧Vおよび擬似ドレイン−ソース間電圧Vの範囲においてのみ強磁性トンネル接合10の磁化状態で大きく電流駆動能力を制御できる。したがって、比較例では、反平行磁化の場合の出力特性が平行磁化における出力特性をほぼ相似に縮小した理想的なスピントランジスタの特性は得られない。
別の見方をすれば、比較例においては、図4(b)のように反平行磁化の場合のドレイン電流I APは、擬似ゲート−ソース間電圧Vが大きくなった場合に、平行磁化の場合のドレイン電流I に漸近するが、実施例1においては、図4(a)のように反平行磁化の場合のドレイン電流I APは、擬似ゲート−ソース間電圧Vが大きくなった場合に、平行磁化の場合のドレイン電流I に漸近しない。
図5は、実施例1における磁気抵抗比TMRに対する磁気電流比γMCをシミュレーションした結果を示す図である。シミュレーションは、MOSFET20のチャネル長が70nm、チャネル幅が1μm、擬似ゲート−ソース間電圧Vが1V、擬似ドレイン−ソース間電圧Vが1V、Vhalfが1Vについて行った。磁気電流比γMCは、磁気抵抗比TMRとともに大きくなる。また、平行磁化での抵抗Rpが大きいほど大きくなる。以下のように、抵抗Rpの大きさは、磁気電流比γMCの大きさとドレイン電流Iの大きさとから定めることができる。
図6は、実施例1における強磁性トンネル接合10の平行磁化での抵抗Rpに対する磁気電流比γMCおよびドレイン電流I 、I APをシミュレーションした結果である。MOSFET20のチャネル長が70nm、チャネル幅が1μm、擬似ゲート−ソース間電圧Vが1V、擬似ドレイン−ソース間電圧Vが1V、磁気抵抗比TMRが1000%、Vhalfが1Vについて行った。抵抗Rpが大きくなるに従い、磁気電流比γMCは大きくなるものの、ドレイン電流I およびI APは小さくなる。このように、抵抗Rpが大きくなるとドレイン電流が低減してしまう。よって、抵抗Rpは、磁気電流比γMCとドレイン電流との兼ね合いを勘案して決定される。例えば、実用上は、磁気電流比γMCが100%程度あれば十分であり、チャネル長が70nm、チャネル幅が1μmのMOSFETであれば、この磁気電流比γMCは抵抗Rpが=0.1kΩ程度でも十分実現できる。
図7は、実施例1および比較例における擬似ドレイン−ソース間電圧Vに対する磁気電流比γMCをシミュレーションした図である。MOSFET20のチャネル長が70nm、チャネル幅が1μm、擬似ゲート−ソース間電圧Vが1V、磁気抵抗比TMRが1000%、Vhalfが1Vについて行った。実線および破線は、それぞれ実施例1および比較例の結果である。比較例においては、擬似ドレイン−ソース間電圧Vが高くなると、擬似ドレイン−ソース間電圧Vとともに磁気電流比γMCが小さくなる。一方、実施例1においては、擬似ドレイン−ソース間電圧Vが高くなっても、擬似ドレイン−ソース間電圧Vが0.5V以上では磁気電流比γMCはほぼ一定である。このように磁気電流比γMCが略一定となるのは、擬似ドレイン−ソース間電圧Vが大きくなっても、MOSFET20のソースから強磁性トンネル接合10に流れる電流による強磁性トンネル接合10の電圧降下による負帰還効果によって強磁性トンネル接合10の擬似ドレイン−ソース間電圧V依存性を小さく抑えることができるためである。これは、強磁性トンネル接合10の電圧降下による負帰還効果によってMOSFET20のゲート−ソース間に印加される電圧VGS0を制御することができるためである。
以上のように、比較例においては、実用的な擬似ドレイン−ソース間電圧Vでは磁気電流比γMCが小さくなってしまいスピントランジスタの代替としての機能を十分に発揮できない。一方、実施例1は、高い擬似ドレイン−ソース間電圧Vにおいても高い磁気電流比γMCを実現することができスピントランジスタの代替としての機能を十分に発揮することができる。
図8は、実施例1および比較例におけるVhalfに対する磁気電流比γMCをシミュレーションした図である。MOSFET20のチャネル長が70nm、チャネル幅が1μm、擬似ゲート−ソース間電圧Vが1V、擬似ドレイン−ソース間電圧Vが1V、磁気抵抗比TMRが1000%について行った。実線および破線は、それぞれ実施例1および比較例の結果である。比較例では、Vhalfを小さくすると一様に磁気電流比γMCが減少する。一方、実施例1では、磁気電流比γMCのVhalfに対する依存性は小さく、Vhalfがある程度小さくなっても磁気電流比γMCを高い状態に維持できる。図8の場合では、Vhalf=0.3Vであっても、十分な磁気電流比γMCが得られている。
以上のように、実施例1においては、図4(a)のように、強磁性トンネル接合10の磁化状態により、擬似スピンMOSFETの電流駆動能力を変化させることができる。また,強磁性トンネル接合10が反平行磁化のとき、擬似スピンMOSFETの出力特性は平行磁化の場合の出力特性をほぼ比例縮小した特性が得られる。
実施例1では、図4(a)のように強磁性トンネル接合が反平行磁化のとき、平行磁化の場合と同様に良好な飽和特性を有する出力特性が得られる。したがって、図7のように磁気電流比γMCの擬似ドレイン−ソース間電圧Vにほとんど依存しない範囲(V>0.6Vの範囲)を有し,大きな擬似ドレイン−ソース間電圧Vであっても磁気電流比γMCを高く維持することができる。
さらに、実施例1では図8のように、Vhalf依存が小さく、小さなVhalfの強磁性トンネル接合を用いることができる.このように、実施例1を用いることにより、スピントランジスタの代替が容易に可能となる。
なお、実施例1において、磁気抵抗素子として強磁性トンネル接合を用いたが、磁気抵抗素子は磁化状態により抵抗値を不揮発に変化可能であればよい。しかしながら、大きな磁気抵抗比を得るためには磁気抵抗素子として強磁性トンネル接合を用いることが好ましい。また、磁気抵抗素子としては、スピン磁化反転法のように、電流を流すことにより磁化状態を制御できる素子であることが好ましい。
さらに、実施例1に係る擬似スピンMOSFETは、MOSFET20と強磁性トンネル接合10とを集積化することで実現できるため、MRAMの製造技術を用い、シリコン基板にMOSFETを作製し、配線層に強磁性トンネル接合10を作製することにより、容易に実現することができる。なお、実施例1はMOSFETを例に説明したが、FETであればMOSFET以外のFETを用いることもできる。
実施例2は、実施例1に係る擬似スピンMOSFETを用いた論理閾値可変インバータ回路の例である。図9は実施例2に係るインバータ回路を示す回路図である。インバータ回路50は2つの電源線VDDとVSSとの間にp型MOSFET20cと実施例1の擬似スピンMOSFET30bとが接続されている。p型MOSFET20cとn型MOSFET20bとのゲートは共通に入力VINに接続され、p型MOSFET20cとn型MOSFET20bとのドレインは共通に出力VOUTに接続されている。図10は、実施例2に係るインバータ回路の入出力特性の模式図である。強磁性トンネル接合10bの磁化状態を変化させることにより、インバータ回路50の論理閾値を変化させることができる。また、強磁性トンネル接合10bは、この論理閾値を不揮発的に記憶することができる。このように、強磁性トンネル接合10bの磁化状態により論理閾値等の論理機能を切り替えることができる。また、強磁性トンネル接合10bは、この論理機能を不揮発的に記憶することができる。
実施例3は、強磁性トンネル接合10bの磁化状態をスピン注入磁化反転法を用いて電気的に変化させるためのMOSFETを有する例である。図11は実施例3に係る電子回路の例である。実施例2のインバータ回路50の出力VOUTと制御線CTRLとの間にn型MOSFET35が接続されている。FET35のゲートはスイッチ線STに接続されている。電源線VSSと制御線CTRLに相補的に正と零(または2値の電圧値)の電圧を印加し、スイッチ線STによりFET35を導通状態とする。これにより、強磁性トンネル接合10bにFET35から電源線VSSに向かう方向またはこれと反対の方向に電流を流すこととなり、スピン注入磁化反転法を用い強磁性トンネル接合10aの自由磁化層16の磁化状態を変化させることができる。
実施例2および実施例3においては、2つの電源線VDDおよびVSSの間に接続されたドライバーとして擬似トランジスタ30bとロードとしてFET20cを有し、ドライバーが実施例1に係る擬似スピンMOSFET30bである例を示した。ロードがp型MOSFETと強磁性トンネル接合を用いた擬似スピンMOSFETでもよい。さらに、ドライバーおよびロードが両方強磁性トンネル接合を有する擬似スピンMOSFETでもよい。
実施例2および実施例3においては、ドライバーとロードとから構成された相補型インバータ回路を例に説明したが、エンハンスメントモードFETとディプリッションモードFETとからなる電子回路、またはFETと抵抗とからなる電子回路であってもよい。
実施例4は、不揮発性SRAM(Static Random Access Memory)の例である。図12は、実施例4に係る記憶回路の回路図である。実施例2または実施例3に係る論理閾値可変インバータ回路50とインバータ回路52とから双安定回路60が形成されている。双安定回路60には、n型MOSFET40および42を介しそれぞれデータ線DataおよびDataBが接続されている。FET40および42のゲートはワード線WLに接続されている。ワード線WLに正の電圧が印加されると、FET40および42が導通し、双安定回路60にデータ線DataおよびDataBのデータを出力することができる。
実施例4によれば、インバータ回路50の論理閾値を変えることにより、インバータループで構成される双安定回路60の動作点を不揮発的に保持することができる。このように、インバータ回路50内の強磁性トンネル接合は、磁化状態によって、双安定回路60の状態を不揮発的に記憶することができる。
実施例4は双安定回路60を構成する2つのインバータ回路のうち1つが論理閾値可変インバータ回路の例を説明したが、双安定回路60を構成する両方のインバータ回路が論理閾値可変インバータ回路でもよい。
実施例5は、AND/OR再構成可能論理回路の例である。図13は実施例5に係る回路図である。インバータ回路72および74には信号AおよびBが入力される。インバータ回路72および74の出力は、実施例2または実施例3の論理閾値可変インバータ回路70を構成するMOSFETの共通のゲートに入力される。論理閾値可変インバータ回路70の出力は信号Cとして出力される。このような構成により、論理閾値可変インバータ回路70が有する強磁性トンネル接合の磁化状態により、ANDまたはORの論理機能を再構成することができる。また、再構成したANDまたはOR機能を不揮発に保持できる。このように、実施例2または実施例3の論理閾値可変インバータ回路を用いることにより、2入力対称関数機能を再構成し、論理機能を不揮発に保持することができる。
実施例6は、実施例1に係る電子回路をMRAMのメモリセルに用いた例である。図14を参照に、MRAMのメモリセル80は、MOSFET20と強磁性トンネル接合10とからなり、MOSFET20のゲートGにワード線WLがドレインDにビット線BLが接続されている。強磁性トンネル接合10には制御線CTRLが接続されている。メモリセル80にデータを書き込む際は、ワード線WLに正の電圧を印加し、ビット線BLと制御線CTRLとの間に電圧を印加する。これにより、スピン注入磁化反転法により強磁性トンネル接合10の抵抗を低抵抗Rpまたは高抵抗Rapとすることができる。メモリセル80のデータを読み出す際は、ワード線WLに正電圧を印加し、ビット線BLと制御線CTRLとの間を流れる電流を検知する。
MOSFET20aのドレインに強磁性トンネル接合10aを接続した図2の比較例の電子回路を用いたMRAMメモリセルにおいては、以下の課題がある。磁気抵抗比TMRが大きく、Vhalfの大きな強磁性トンネル接合10aにスピン注入磁化反転法を用いた場合、平行磁化から反平行磁化へ変更する場合と反平行磁化から平行磁化へ変更する場合とで、磁化反転に必要な電流密度に大きな差がなくても強磁性トンネル接合10へ印加する電圧に大きな差が生じる。これにより、回路の構成上課題を生じる可能性がある。このようなスピン注入磁化反転法を用いた場合の印加電圧のアンバランスを少なくするためには、Vhalfを小さくすることが考えられるが、Vhalfを小さくすると読み出し速度の低下を招く。
実施例6においては、MOSFET20のソース側に強磁性トンネル接合10を接続しているため、図8のように、Vhalfの小さな強磁性トンネル接合10でも十分に磁気電流比γMCを実現できる。このことから、スピン注入磁化反転法を用いるMRAM(またはスピンRAM))においても、平行磁化から反平行磁化へ変更する場合と反平行磁化から平行磁化へ変更する場合とで強磁性トンネル接合10へ印加する電圧があまり変わらず、かつ読み出し速度の低下のともなわないMRAM(またはスピンRAM)を実現することができる。
以上、発明の好ましい実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
図1は、実施例1の回路図である。 図2は、比較例の回路図である。 図3は、負荷曲線を示す図である。 図4(a)および図4(b)は、それぞれ実施例1および比較例のドレイン特性を示す図である。 図5は、実施例1の磁気抵抗比に対する磁気電流比を示す図である。 図6は、実施例1の抵抗Rpに対する磁気電流比を示す図である。 図7は、実施例1および比較例のドレイン電流に対する磁気電流比を示す図である。 図8は、実施例1および比較例のVhalfに対する磁気電流比を示す図である。 図9は実施例2に係るインバータ回路の回路図である。 図10はインバータ回路の入出力特性の模式図である。 図11は実施例3に係る電子回路の回路図である。 図12は実施例4に係る記憶回路の回路図である。 図13は実施例5に係る論理回路の回路図である。 図14は実施例6に係る論理回路の回路図である。
符号の説明
10 強磁性トンネル接合
12 固定磁化層
14 トンネル障壁層
16 自由磁化層
20 MOSFET
30 擬似スピンMOSFET
50 論理閾値可変インバータ回路
52 インバータ回路
60 双安定回路

Claims (13)

  1. 電界効果トランジスタと、
    一端が前記電界効果トランジスタのソースに接続された磁気抵抗素子と、
    を具備することを特徴とする電子回路。
  2. 前記電界効果トランジスタのソースから前記磁気抵抗素子に流れる電流による前記磁化抵抗素子の電圧降下により、前記電界効果トランジスタのゲート−ソース間に印加される電圧を制御できることを特徴とする請求項1記載の電子回路。
  3. 前記磁気抵抗素子は、強磁性トンネル接合であることを特徴とする請求項1または2記載の電子回路。
  4. 前記強磁性トンネル接合の磁化状態により、電流駆動能力を制御できることを特徴とする請求項3記載の電子回路。
  5. 前記強磁性トンネル接合素子が反平行磁化の場合の前記電界効果トランジスタのドレイン電流は、前記強磁性トンネル接合の他端に対する前記電界効果トランジシタのドレインの電圧である擬似ドレイン−ソース間電圧が大きくなった場合に、前記強磁性トンネル接合素子が平行磁化の場合の前記電界効果トランジスタのドレイン電流に漸近しないことを特徴とする請求項3または4記載の電子回路。
  6. 前記磁気抵抗素子は、前記磁気抵抗素子に電流を流すことにより磁化状態を制御できることを特徴とする請求項1または2記載の電子回路。
  7. 2つの電源線の間に接続されたドライバーとロードとを有し、
    前記ドライバーと前記ロードとのうち少なくとも一方が請求項1から6のいずれか一項記載の電子回路であることを特徴とする電子回路。
  8. 前記ドライバーと前記ロードとから構成された相補型インバータを具備することを特徴とする請求項7記載の電子回路。
  9. 前記相補型インバータは、前記磁気抵抗素子の磁化状態により論理閾値が可変であることを特徴とする請求項8記載の電子回路。
  10. 前記相補型インバータを有する双安定回路を具備することを特徴とする請求項8または9記載の電子回路。
  11. 前記磁気抵抗素子は、磁化状態によって、前記双安定回路の状態を不揮発的に記憶できることを特徴とする請求項10記載の電子回路。
  12. 2つの電源線の間に接続されたドライバーとロードとを有し、
    前記ドライバーと前記ロードとのうち少なくとも一方が請求項3から5のいずれか一項記載の電子回路であり、
    請求項3から5のいずれか一項記載の電子回路の強磁性トンネル接合の磁化状態で論理機能を再構成し、
    前記強磁性トンネル接合は、前記論理機能を不揮発的に記憶することを特徴とする電子回路。
  13. 請求項1記載の電子回路の前記電界効果トランジスタのゲートに接続されたワード線と、
    前記電界効果トランジスタのドレインに接続されたビット線と、を具備することを特徴とする電子回路。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009239751A (ja) * 2008-03-27 2009-10-15 Toshiba Corp 半導体集積回路
JP2010232959A (ja) * 2009-03-27 2010-10-14 Tokyo Institute Of Technology 電子回路

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS566541A (en) * 1979-06-28 1981-01-23 Nec Corp Semiconductor logic circuit
JP3985432B2 (ja) * 2000-06-19 2007-10-03 日本電気株式会社 磁気ランダムアクセスメモリ
JP3834787B2 (ja) * 2001-11-22 2006-10-18 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション 不揮発性ラッチ回路
JP2003281878A (ja) * 2002-03-22 2003-10-03 Tdk Corp 抵抗素子を用いたデータ記憶素子及びその製造方法
KR100506060B1 (ko) * 2002-12-16 2005-08-05 주식회사 하이닉스반도체 낸드형 자기저항 램
DE10320701A1 (de) * 2003-05-08 2004-12-23 Siemens Ag Bauelement mit einer in ihrer Funktionalität konfigurierbaren Schaltungsanordnung, insbesondere Logikschaltungsanordnung
KR100682967B1 (ko) * 2006-02-22 2007-02-15 삼성전자주식회사 자기터널접합 셀을 이용한 배타적 논리합 논리회로 및 상기논리회로의 구동 방법

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009239751A (ja) * 2008-03-27 2009-10-15 Toshiba Corp 半導体集積回路
JP4516137B2 (ja) * 2008-03-27 2010-08-04 株式会社東芝 半導体集積回路
JP2010232959A (ja) * 2009-03-27 2010-10-14 Tokyo Institute Of Technology 電子回路

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