JP2009059799A - 半導体レーザ素子の選別方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 伝送性能の高い半導体レーザ素子を容易に選別することができる半導体レーザ素子の選別方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る半導体レーザ素子1の選別方法は、変調器集積型の半導体レーザ素子を選別する半導体レーザ素子1の選別方法であって、半導体レーザ素子1のレーザ光53の発光スペクトルの発光強度のうち、サイドモードにおける発光強度の最大値と最小値とを測定し、最大値と最小値との比率に基づいて半導体レーザ素子1を選別する。発明者らは、半導体レーザ素子1のレーザ光53の発光スペクトルの発光強度のうち、サイドモードにおける発光強度の最大値と最小値との比率と、断熱チャープ量との間に、相関関係があることを新たに見出した。そこで、上記比率を利用して、断熱チャープ量が0付近のものを選び出すことで、伝送性能の高い半導体レーザ素子を容易に選別することができる本発明に想到した。
【選択図】 図4
【解決手段】 本発明に係る半導体レーザ素子1の選別方法は、変調器集積型の半導体レーザ素子を選別する半導体レーザ素子1の選別方法であって、半導体レーザ素子1のレーザ光53の発光スペクトルの発光強度のうち、サイドモードにおける発光強度の最大値と最小値とを測定し、最大値と最小値との比率に基づいて半導体レーザ素子1を選別する。発明者らは、半導体レーザ素子1のレーザ光53の発光スペクトルの発光強度のうち、サイドモードにおける発光強度の最大値と最小値との比率と、断熱チャープ量との間に、相関関係があることを新たに見出した。そこで、上記比率を利用して、断熱チャープ量が0付近のものを選び出すことで、伝送性能の高い半導体レーザ素子を容易に選別することができる本発明に想到した。
【選択図】 図4
Description
本発明は、変調器が集積された半導体レーザ素子の選別方法に関する。
従来、この技術の分野における半導体レーザ素子は、例えば、下記特許文献1に開示されている。この公報に記載の半導体レーザ素子は、分布帰還型レーザ(DFBレーザ)と電界吸収型変調器(EA変調器)とがモノリシックに集積されたEA変調器集積型DFBレーザ素子(EML)であり、DFBレーザを連続発振させた状態で変調器にパルス電圧を印加してレーザ変調をおこなう。
このような半導体レーザ素子においては、その発振波長はDFBレーザの発振波長に依存し、DFBレーザの発振波長は、実効屈折率と回折格子の周期から決定されるブラッグ波長と素子両端面における反射光の強度と位相とによって決定される。この半導体レーザ素子では、直接変調型のレーザ素子と異なりDFBレーザに印加する電流を変化させることがないため、それに伴う屈折率変化に起因した静的なチャープ(断熱チャープ、adiabatic chirp)が生じない。さらには、直接変調型のレーザ素子よりもαパラメータが小さいことから、EML半導体レーザ素子は、特に長距離通信に用いる発光素子として優れている。
特開2001−320124号公報
しかしながら、EA変調器がDFBレーザから見た前方端面の一部に相当するため、EA変調器へのパルス電圧の印加により、DFBレーザへの反射強度が変調される。その結果、EA変調器への印加電圧が低い透過動作時では素子端面における反射光が発振波長の決定に寄与し、一方、EA変調器への印加電圧が高い吸収動作時では素子端面における反射光が(通常、10%程度まで)減衰されるため、上記2つの動作時の間で発振波長がずれて、それが断熱チャープとして観測されることになる。なお、このずれ量は、EA変調器とDFBレーザの境界における端面位相、EA変調器の光学長で決定される実効的な端面位相により、大きく変化する。実効的な端面位相は、加工精度の問題からその制御が非常に困難であり、それにより素子ごとに断熱チャープ量のバラツキがあった。
この断熱チャープ量のバラツキは、発明者らのおこなった実験によれば、図7に示すように、低反射膜の反射率(図7のグラフの横軸)が高いほど大きくなる。そして、断熱チャープ量が0から大きく離れた素子に関しては、その伝送性能が実用上不十分であるため、製品不良として排除する必要がある。特に、2.5Gbps以上の変調速度を有する高速デジタル変調を用いた伝送システムにおいては、この伝送の光源として用いられるEML半導体レーザ素子の断熱チャープ量が大きいと、伝送システムのパワーペナルティが大きくなり伝送システムの品質が劣化するという問題が生じる。従って、このような伝送システムでは断熱チャープ量の小さいEML半導体レーザ素子が求められるが、断熱チャープ量の実測には多大な手間と時間を要するため、断熱チャープ量が0付近である伝送性能の高い半導体レーザ素子を選別することは非常に困難であった。
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、伝送性能の高い半導体レーザ素子を容易に選別することができる半導体レーザ素子の選別方法を提供することを目的とする。
本発明に係る半導体レーザ素子の選別方法は、変調器集積型の半導体レーザ素子を選別する半導体レーザ素子の選別方法であって、半導体レーザ素子のレーザ光の発光スペクトルの発光強度のうち、サイドモードにおける発光強度の最大値と最小値とを測定し、最大値と最小値との比率に基づいて半導体レーザ素子を選別する。
発明者らは、半導体レーザ素子のレーザ光の発光スペクトルの発光強度のうち、サイドモードにおける発光強度の最大値と最小値との比率と、断熱チャープ量との間に、相関関係があることを新たに見出した。そこで、上記比率を利用して、断熱チャープ量が0付近のものを選び出すことで、伝送性能の高い半導体レーザ素子を容易に選別することができる本発明に想到した。
また、最大値と最小値との比率と断熱チャープ量との相関データを予め準備し、その相関データを参照して半導体レーザ素子を選別する態様でもよい。この場合には、相関データの参照により高い精度での選別をおこなうことができる。
また、半導体レーザ素子は、その変調器側の端面に低反射膜が形成され、そのレーザ側の端面に高反射膜が形成されている態様でもよい。
本発明によれば、伝送性能の高い半導体レーザ素子を容易に選別することができる半導体レーザ素子の選別方法が提供される。
以下、添付図面を参照して本発明を実施するにあたり最良と思われる形態について詳細に説明する。なお、同一又は同等の要素については同一の符号を付し、説明が重複する場合にはその説明を省略する。
図1は、本実施形態に係る半導体レーザ素子の選別方法の選別対象である半導体レーザ素子1を示す斜視図である。また、図2は、図1に示した半導体レーザ素子1のII−II線断面図である。
図1及び図2に示すように、半導体レーザ素子1は、分布帰還型レーザ(以下、「DFBレーザ」)10及び電界吸収型変調器(以下、「EA変調器」)20がモノリシックに集積された変調器集積型の半導体レーザ素子である。
DFBレーザ10及びEA変調器20は、同一のn型の基板30上に集積されている。DFBレーザ10とEA変調器20との間には分離部40が設けられている。分離部40は、イオン注入などの手法により高抵抗化されており、それによりDFBレーザ10及びEA変調器20が電気的に分離されている。
DFBレーザ10は、n型基板30上に順次に積層された光ガイド層11、活性層12、光ガイド層13及びp型の第1クラッド層14を有する。光ガイド層13とp型クラッド層14との界面には回折格子13aが設けられている。DFBレーザ10は、この回折格子13aの周期に応じて定まる発振波長のレーザ光を生成する。光ガイド層11,13は、このレーザ光を活性層12に閉じ込める分離閉じ込めヘテロ構造(Separate Confinement Hetero-structure:SCH)層として機能する。
EA変調器20は、基板30上に順次に積層された光ガイド層21、活性層22、光ガイド層23及びp型の第1クラッド層24を有する。活性層22は、DFBレーザ10の活性層12と端面同士を突き合わせて接合されている。活性層12と活性層22とは光学的に結合されており、共通の光軸を有している。したがって、活性層22は、活性層12で生成されたレーザ光を受け取る。活性層22は、活性層12で生成されたレーザ光を増幅する作用を有するとともに、印加電界の強度に応じて変化する吸収係数を有する光変調層としても動作する。以下では、適宜、活性層22を光変調層とも呼ぶこととする。光変調層22は、SCH層である上下の光ガイド層21,23の間に挟まれている。これによりレーザ光が光変調層22に閉じ込められる。
DFBレーザ10の各半導体層11〜14から成る多層半導体W1は、変調器20の各半導体層21〜24からなる多層半導体W2と境界面S3において接合されている。これらの多層半導体W1,W2とn型基板30とは、それぞれpn接合構造を形成する。本実施形態では、分離部40は、それぞれEA変調器20と同じ半導体層から構成されている。図2では、回折格子13aは、光ガイド層13とp型クラッド層14との間に形成されている。しかし、回折格子13aは、基板30と光ガイド層11との間に設けてもよい。
n型基板30、p型第1クラッド層14,24は、活性層12,22、光ガイド層11,21及び光ガイド層13,23よりも低い屈折率を有する。また、活性層12,22は共通の光軸を有する。基板30のうち光ガイド層11,21と隣接する部分は、n型クラッド層として機能する。このため、レーザ光は、これらの活性層、光変調層および光ガイド層に閉じ込められつつ光軸に沿って伝搬する。このように、多層半導体W1,W2は光導波路として機能する。
活性層12及び光変調層22は、多重量子井戸(Multiple Quantum Well:MQW)構造を有している。これらのMQW構造及び回折格子13aの構造は、所定の発振波長の光を生成してレーザ増幅するように決定される。本実施形態では、温度25℃の下でのDFBレーザ10の発振波長が1550nmである。言い換えると、DFBレーザ10の活性層12の多重量子井戸は、1550nmのバンドギャップ波長を有している。一方、光変調層22の多重量子井戸は、DFBレーザ10の発振波長よりも小さい吸収端波長(バンドギャップ波長)を有する。
図2に示すように、半導体レーザ素子1は、p型の第2クラッド層31を更に有する。第2クラッド層31は、DFBレーザ10、EA変調器20及び分離部40に対して共通に設けられている。第2クラッド層31は、第1クラッド層と共に、レーザ光を光ガイド層、活性層および光変調層に閉じ込めるために役立つ。
第2クラッド層31のうち、DFBレーザ10に対応する部分には、コンタクト層32aを介して、DFBレーザ10用の電極33が設けられている。この電極33は、DFBレーザ10に電流を注入するために使用される。また、第2クラッド層31のうち、変調器20に対応する部分には、コンタクト層32bを介して、EA変調器20用の電極34が設けられている。この電極34はは、EA変調器20にバイアス電圧を印加するために使用される。第2クラッド層31のうち、電極33,34の残余領域には絶縁膜35が形成されており、電極33,34が互いに絶縁されている。さらに、基板30の裏面には、DFBレーザ10及びEA変調器20に共通に使用される電極36が形成されている。
そして、図1に示すように、上述した多層半導体W1,W2はメサ構造をなしており、その両側には、p型埋め込み層37とn型埋め込み層38とで構成される電流狭窄用の埋め込み層が形成されている。
また、図2に示すように、半導体レーザ素子1は、レーザ共振器を構成する二つの端面S1,S2、すなわち互いに対向する反射面S1と出力面S2とを有している。出力面S2は、EA変調器20の端面であり、EA変調器20のDFBレーザ10に接合された端面(すなわち、境界面S3)の反対側に位置する。反射面S1は、DFBレーザ10の端面であり、DFBレーザ10のEA変調器20に接合された端面(すなわち、境界面S3)の反対側に位置する。
ここで、出力面S2には、チャープ低減のため反射防止(Anti-reflection:AR)コーティングの低反射膜C2が形成されている。そのため、活性層12で生成されたレーザ光に対する出力面S2の反射率が低く(例えば、0.01〜5%程度)抑えられている。一方、反射面S1には高反射(HighReflection:HR)コーティングの高反射膜C1が形成されている。そのため、反射面S1は活性層12で生成されたレーザ光を高い反射率(例えば、30〜80%程度)で反射する。
次に、図3を参照しつつ、DFBレーザ10の活性層12で生成されたレーザ光を変調する方法について説明する。図3は、半導体レーザ素子1を用いた光変調システム50を示す概略構成図である。
光変調システム50は、半導体レーザ素子1に加えてレーザ駆動回路51および変調器駆動回路52を有している。レーザ駆動回路51は、DFBレーザ10に電気的に接続されており、電極33を通じて活性層12に電流51aを注入してレーザ発振を生じさせ、それによりレーザ光を生成させる。変調器駆動回路52は、電極34を通じてEA変調器20にパルス状のバイアス電圧52aを印加し、それによりEA変調器20を駆動する。
具体的には、以下のようにして変調がおこなわれる。まず、レーザ駆動回路51からDFBレーザ10に電流が注入され、それに応じてレーザ光が生成される。このレーザ光は活性層12内を伝搬し、EA変調器20の光変調層22に入射する。変調器駆動回路52は、変調された逆方向バイアス電圧52aを電極34を通じてEA変調器20に印加する。そのため、EA変調器20は逆方向バイアス電圧52aに応じてレーザ光を変調する。このようにして変調されたレーザ光53は出力面S2から放出される。
以上のようにして出力面S2から出射されるレーザ光53の発振スペクトルは、図4に示すようなスペクトルとなる。図4のスペクトルは、実使用条件である80mAで測定したものである。この図4からわかるとおり、半導体レーザ素子1の発振スペクトルには、主モードよりも短波側にサイドモードの複数のスペクトルピークが存在する。発明者らは、このサイドモードの発光強度の最大値と最小値との比率Rと、半導体レーザ素子1の断熱チャープ量との間に相関関係があるとの推測の下に、以下のような実験をおこなった。
すなわち、上述した半導体レーザ素子1と同様の素子を複数準備し、それらの試料について、上記比率Rとして、発振スペクトルの主モードから短波側1.5〜5nmの範囲に存在するスペクトルピーク(発光強度の最大値)とボトム(発光強度の最小値)との比率(山谷比、dBの差)を算出した上で、その断熱チャープ量を測定した。その測定結果は、図5のグラフに示すとおりであった。ここで、図5のグラフの横軸は上記比率Rであり、縦軸は断熱チャープ量(GHz)である。
図5のグラフから明らかなように、比率Rが所定範囲(4.0以上5.5以下)のときには断熱チャープ量は0GHzに近い値となり、その範囲から外れるに従って次第に断熱チャープ量の大きさ(絶対値)が大きくなる傾向を示した。図6は、比率Rごとの伝熱チャープ量(GHz)の分布を示したグラフであり、(a)は試料全体の分布を示したグラフ、(b)は比率Rが4.0以上5.5以下である試料の分布を示したグラフである。
この図6のグラフから、試料全体は−10GHzから+10GHzまで広範囲に分布しており(図6(a)参照)、比率Rが4.0以上5.5以下である試料は−6GHzから+6GHzまでの間にのみ分布している(図6(b)参照)ことがわかる。つまり、比率Rに基づいて断熱チャープ量の小さい試料のみを選別できることが、以上の実験により確認された。
すなわち、断熱チャープ量の小さい半導体レーザ素子1の製品のみを選別する際には、半導体レーザ素子1を発光させて上記比率Rを求めるだけですむ。そのため、以上の選別方法を利用することで、多大な手間と時間を要する断熱チャープ量の実測をおこなうことなく、断熱チャープ量が小さい(つまり、伝送性能の高い)半導体レーザ素子1を容易に選別することができる。好ましくは、図5に示すようなグラフ(比率Rと断熱チャープ量との相関データ)を予め準備し、このグラフを参照して選別することで、高い精度での断熱チャープ量の類推が可能となり、半導体レーザ素子1の選別をより高い精度でおこなうことができる。
なお、以上の実験では、比率Rを4.0以上5.5以下の範囲として、絶対値が6GHz以下の断熱チャープ量の半導体レーザ素子1が選別される態様を示しているが、比率Rの範囲を適宜変更することによって、所望の範囲の断熱チャープ量を有する半導体レーザ素子1を選別することができる。例えば、断熱チャープ量の基準を「絶対値が4GHz以下」とすることで、シングルモードファイバでの伝送に適した半導体レーザ素子1を選別することができ、断熱チャープ量の基準を「6GHz以上(比率Rが7以上)」とすることで、分散シフトファイバ等での伝送に適した半導体レーザ素子1を選別することができる。
また、絶対値が4GHz以下の断熱チャープ量を有する半導体レーザ素子1のみを求める場合、上記選別方法を用いて大まかな選別をした後、選別された製品について実際に断熱チャープ量の測定をおこなってもよい。この場合でも、全ての製品について断熱チャープ量を調査して選別する場合に比べて、調査の手間と時間を効果的に削減することができる。図6に示した分布図を例にとると、絶対値が4GHz以下の断熱チャープ量は、図6(a)の試料全体では45%の歩留まりであったが、図6(b)の選別後の試料では歩留まりは75%にまで改善された。
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。例えば、スペクトル測定は、必ずしも実使用条件でおこなう必要はなく、5mA程度の低閾値電流を利用することもできる。比率Rと断熱チャープ量との相関データとして、図5のようなグラフの他に、相関関係を示す式(近似式)を用いてもよい。
1…半導体レーザ素子、10…DFBレーザ、20…変調器、C1…高反射膜、C2…低反射膜。
Claims (3)
- 変調器集積型の半導体レーザ素子を選別する半導体レーザ素子の選別方法であって、
前記半導体レーザ素子のレーザ光の発光スペクトルの発光強度のうち、サイドモードにおける発光強度の最大値と最小値とを測定し、前記最大値と前記最小値との比率に基づいて前記半導体レーザ素子を選別する、半導体レーザ素子の選別方法。 - 前記最大値と前記最小値との比率と断熱チャープ量との相関データを予め準備し、その相関データを参照して前記半導体レーザ素子を選別する、請求項1に記載の半導体レーザ素子の選別方法。
- 前記半導体レーザ素子は、その変調器側の端面に低反射膜が形成され、そのレーザ側の端面に高反射膜が形成されている、請求項1又は2に記載の半導体レーザ素子の選別方法。
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JP2007224359A JP2009059799A (ja) | 2007-08-30 | 2007-08-30 | 半導体レーザ素子の選別方法 |
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JP2014053346A (ja) * | 2012-09-05 | 2014-03-20 | Seiko Epson Corp | 短光パルス発生装置、テラヘルツ波発生装置、カメラ、イメージング装置、および計測装置 |
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