JP2009038823A - Piezoelectric oscillator - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は表面実装型圧電発振器の改良に関し、特に圧電振動素子と、発振回路を構成する回路部品を備えた圧電発振器の構成を簡略化して小型化を達成した表面実装型圧電発振器に関する。 The present invention relates to an improvement of a surface-mounted piezoelectric oscillator, and more particularly to a surface-mounted piezoelectric oscillator that achieves miniaturization by simplifying the configuration of a piezoelectric oscillator including a piezoelectric vibration element and circuit components that constitute an oscillation circuit.
携帯電話機等の移動体通信機器の普及に伴う低価格化及び小型化の急激な進展により、これらの通信機器において周波数制御デバイスとして使用される水晶発振器等の圧電発振器に対しても、低価格化、小型化、及び薄型化の要請が高まっている。このような要請に対しては、水晶振動子の他に、周波数調整回路、周波数温度補償回路等を含む発振回路を集積化、IC化した回路部品を一つのパッケージ内に収納して、コンパクト化を図っている。 Due to the rapid progress in cost reduction and miniaturization accompanying the widespread use of mobile communication devices such as cellular phones, the price of piezoelectric oscillators such as crystal oscillators used as frequency control devices in these communication devices has also been reduced. There is an increasing demand for downsizing and thinning. In response to such demands, in addition to crystal resonators, an oscillation circuit including a frequency adjustment circuit, a frequency temperature compensation circuit, etc. is integrated, and circuit components made into ICs are housed in a single package for compactness. I am trying.
[第1の従来例]
図5に示した従来の圧電発振器は、凹陥部2と段差部3を備えたパッケージ本体1の内底面にIC化した回路部品4をフリップチップ方式等によって実装すると共に、凹陥部2の内壁に設けた段差3上の電極に圧電振動素子5の一端を導電性接着剤Bにより片持ち支持し、更にパッケージ本体1の外枠上面に金属蓋6を固定することによって凹陥部2を気密封止した構成を備えている(例えば、特開平7−336179号公報)。この圧電発振器は、同じ凹陥部2内の内底面に回路部品4を実装すると共に、回路部品4の直上位置に圧電振動素子5が位置するように段差3上に支持することによりコンパクト化を図っている。
しかし、このタイプの圧電発振器にあっては、凹陥部内壁から段差3が内側へ向けて突出する構造であり、且つ、凹陥部内底面に回路部品4を搭載する際に段差3との接触を避ける為、段差3と回路部品との間に十分なスペースを確保しておく必要があるため、パッケージ全体の平面積の減縮には限界がある。従って、圧電発振器に対して更なる小型化が求められた場合には、対応し切れないという問題があった。
[First Conventional Example]
In the conventional piezoelectric oscillator shown in FIG. 5, a
However, this type of piezoelectric oscillator has a structure in which the
また、図6は特開平10−173475号公報に記載された圧電発振器の構成略図であり、凹陥部12を有したセラミックパッケージ本体11の内底面に実装したチップ部品(チップコンデンサ、或はチップ抵抗)13の上面に圧電振動素子14の一端を導電性接着剤B等によって電気的機械的に固定し、パッケージ本体11の外枠上面に金属蓋15をシーム溶接等によって固定した構成を有する。
しかし、この従来例にあっては、圧電振動素子14の長手方向長に対して大幅に短い寸法のチップ部品13にて支持する構造である為、圧電振動素子14の一端部をチップ部品13の上面に水平な姿勢に位置決め載置した上で導電性接着剤Bによって接着固定する際に、導電性接着剤Bが硬化するまでは治具等を用いて圧電振動素子14の一端部を押えて水平な姿勢に維持し続ける必要がある。仮に、導電性接着剤Bの硬化前に圧電振動素子を押える力を解除すると、圧電振動素子の自重によって先端部が垂れ下がり、圧電振動素子の前記一端部及びチップ部品13の上面から導電性接着剤が剥離して接着不良、或は圧電振動素子の脱落を起こす虞れがある。このような不具合を解決する為には、接着剤が硬化するまで圧電振動素子の一端部をチップ部品上に押え続けなければならないという煩雑な手順が必要とされた。しかし、バッチ処理によって大量生産する工程中において、全てのパッケージ内の圧電振動素子を押え続ける作業を組み込むことは、生産性を低下させる原因となっていた。
また、この従来例にあっては、チップ部品13の中央部よりも右寄りの位置に圧電振動素子の一端部が固定されている。換言すれば、圧電振動素子とチップ部品13がオーバーラップする幅W2が短いため、チップ部品13が圧電振動素子の一端部から左側に突出する長さ分だけパッケージ本体11として大型のものを使用する必要があり、発振器の小型化を妨げる要因となっている。
FIG. 6 is a schematic diagram of a piezoelectric oscillator described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-173475. A chip component (chip capacitor or chip resistor) mounted on the inner bottom surface of the
However, in this conventional example, since the structure is supported by the
In this conventional example, one end of the piezoelectric vibration element is fixed at a position on the right side of the center of the
[第2の従来例]
次に、他の圧電発振器として、例えば特開2000−151283公報には、上下に凹陥部を有した縦断面形状がH型のセラミックパッケージの上側の凹陥部内に圧電振動素子を収容して気密封止する一方で、下側の凹陥部の天井面にIC化した回路部品を実装した構造が開示されている。
更に、同公報には、回路部品を実装したパッケージと圧電振動素子を収容したパッケージを上下位置関係で結合させた2段重ね構造の圧電発振器が開示されている。
更に、図5に示した如きパッケージ本体1の凹陥部2内に回路部品4を収容する一方、段差3上に図示しないパッケージ化された圧電振動子を搭載し、更にパッケージ本体1の凹陥部2を金属蓋6によって閉止したタイプの発振器も知られている。
上記各圧電発振器は、回路部品と圧電振動素子をパッケージ内において上下位置関係に配列することによって圧電発振器全体の平面積を小型化している点で共通している。更に、これらの発振器に共通する構造は、パッケージの凹陥部の外壁部を構成する外枠の上面に対して金属蓋をシーム溶接等によって固定して凹陥部を気密封止している点である。
しかし、パッケージ本体の外形をいかに小型化したとしても、パッケージ本体の外壁を構成する外枠上面と金属蓋との間の封止部の接合面積の小面積化、換言すれば、外枠上面の幅方向寸法(図5のW1)の減縮化には限界がある為、パッケージ本体の平面積を小型化して凹陥部の容量を小さくする場合には、それに応じて圧電振動素子の面積を小型化する必要がある。
しかしながら、圧電振動素子の面積を小型化すると、圧電振動素子をパッケージ内に接続する際に使用する導電性接着剤が励振電極に近接した状態となる為、振動エネルギーを励振電極の部分に集中させることができなくなり、発振器の特性に悪影響が生じる。更に、セラミックパッケージと水晶等の圧電材料から成る圧電基板を導電性接着剤によって接続するため、各材料の熱膨張係数の違いによって圧電振動素子に対して熱歪みが発生し、特性に悪影響を及ぼす。
Next, as another piezoelectric oscillator, for example, in Japanese Patent Laid-Open No. 2000-151283, a piezoelectric vibration element is accommodated in an upper concave portion of an H-shaped ceramic package having a concave portion on the upper and lower sides and hermetically sealed. On the other hand, there is disclosed a structure in which circuit components made into an IC are mounted on the ceiling surface of the lower recessed portion.
Further, this publication discloses a two-stage stacked piezoelectric oscillator in which a package in which circuit components are mounted and a package in which a piezoelectric vibration element is accommodated are coupled in a vertical position relationship.
Further, the
Each of the piezoelectric oscillators is common in that the planar area of the entire piezoelectric oscillator is reduced by arranging circuit components and piezoelectric vibration elements in a vertical relationship within the package. Furthermore, a structure common to these oscillators is that the concave portion is hermetically sealed by fixing a metal lid to the upper surface of the outer frame constituting the outer wall portion of the concave portion of the package by seam welding or the like. .
However, no matter how the outer shape of the package body is reduced, the joint area of the sealing portion between the upper surface of the outer frame and the metal lid constituting the outer wall of the package body is reduced, in other words, the upper surface of the outer frame. Since there is a limit to the reduction of the width direction dimension (W1 in FIG. 5), when the package main body is downsized to reduce the capacity of the recessed portion, the area of the piezoelectric vibration element is reduced accordingly. There is a need to.
However, when the area of the piezoelectric vibration element is reduced, the conductive adhesive used when the piezoelectric vibration element is connected to the package is in a state close to the excitation electrode, so that the vibration energy is concentrated on the excitation electrode portion. Cannot be performed, and the characteristics of the oscillator are adversely affected. Furthermore, since the ceramic package and a piezoelectric substrate made of a piezoelectric material such as quartz are connected by a conductive adhesive, thermal distortion occurs in the piezoelectric vibration element due to the difference in thermal expansion coefficient of each material, which adversely affects the characteristics. .
本発明は上記に鑑みてなされたものであり、第1の従来例に対応する第1の課題は、チップ部品等の小型の回路部品上に圧電振動素子の一端部を導電性接着剤によって支持する際に、未硬化状態にあるために導電性接着剤による保持力が弱い期間中に、圧電振動素子の自重によって接着部が剥離する不具合を解消することにある。換言すれば、接着部の剥離を防止する為に接着剤が硬化するまで治具等によって押え続けるという煩雑な作業を不要として生産性を高めることを課題とする。また、チップ部品の一部が圧電振動素子から横方向に突出することにより、その分だけパッケージが大型化するという不具合を解消することを課題とする。
次に、第2の従来例に対応する第2の課題は、回路部品と圧電振動素子を上下位置関係で配置してパッケージ化した場合に、パッケージを更に小型化しようとすると、圧電振動素子の面積を小型化する必要が発生し、その結果圧電振動素子の特性に悪影響が発生するという不具合を解決することにある。
The present invention has been made in view of the above, and a first problem corresponding to the first conventional example is that one end of a piezoelectric vibration element is supported by a conductive adhesive on a small circuit component such as a chip component. In this case, the problem is that the adhesive part peels off due to the weight of the piezoelectric vibration element during the period when the holding force by the conductive adhesive is weak because it is in an uncured state. In other words, an object of the present invention is to increase productivity by eliminating the need for a complicated operation of continuing pressing with a jig or the like until the adhesive is cured in order to prevent peeling of the bonded portion. It is another object of the present invention to solve the problem that a part of the chip component protrudes laterally from the piezoelectric vibration element, thereby increasing the size of the package.
Next, a second problem corresponding to the second conventional example is that when the circuit component and the piezoelectric vibration element are arranged in a vertical positional relationship and packaged, if the package is further reduced in size, It is necessary to reduce the area, and as a result, to solve the problem that the characteristics of the piezoelectric vibration element are adversely affected.
上記課題を解決するため、本発明の請求項1は、底部に外部電極を有すると共に上部に該外部電極と導通したIC搭載用の導通パッドを備えたパッケージ本体と、該パッケージ本体の前記導通パッド上に導通接続されるICチップと、該ICチップ上部の上部電極に対して導電性接着剤又は導体バンプによって少なくとも一端縁を支持された圧電振動素子と、該ICチップ及び圧電振動素子を含むパッケージ本体上面を気密封止する蓋部材と、を備え、前記ICチップは、前記圧電振動素子の前記一端縁から重心位置までの距離を越える長さを有していることを特徴とする。
請求項2は、前記圧電振動素子は、超薄肉の振動部及び該振動部の外周を一体的に保持する環状厚肉部を備えた圧電基板と、該圧電基板の振動部に形成した励振電極と、該環状厚肉部の下面に配置されて前記励振電極と導通するパッド電極と、を備え、前記環状厚肉部下面に設けた前記パッド電極を前記ICチップ上部の電極と電気的機械的に接続したことを特徴とする。
請求項3は、前記圧電振動素子は、短冊状の圧電基板と、該圧電基板の振動部に形成した励振電極と、該圧電基板の下面適所に配置されて前記励振電極と導通するパッド電極と、を備え、前記パッド電極を前記ICチップ上部の上部電極と電気的機械的に接続したことを特徴とする。
請求項4は、前記圧電振動素子は、前記ICチップの全長をほぼ覆うように配置されていることを特徴とする。
請求項5は、前記圧電振動素子の一端縁を前記ICチップ上部の電極に接続することにより圧電振動素子の他端縁をICチップ端縁からオーバーハングさせた表面実装型圧電発振器において、前記パッケージ本体上に、前記圧電振動素子の他端縁の直下に張り出した段差を配置し、該段差の高さを前記ICチップの高さよりも高くしたことを特徴とする。
請求項6は、発振回路を構成する回路素子を備えたシリコン基板と、該シリコン基板の底部に設けた外部電極と、該シリコン基板上面に配置されて該外部電極と導通した上部電極と、を備えたICチップと、前記シリコン基板と整合又は、前記シリコン基板の内側に整合する平面形状を有すると共に上下面に凹陥部を備
え、凹陥部内底面の振動部に励振電極を備え、更に前記上部電極と対応する下面に励振電極と導通したパッド電極を備えた圧電振動素子と、該圧電振動素子と整合する平面形状を備えた蓋と、から成り、前記ICチップ上に、前記圧電振動素子と前記蓋を順次重ねて前記上部電極と上記パッド電極とを接合し、更に圧電振動子上面に前記蓋を接合したことを特徴とする。
請求項7は、前記外部電極を除いた前記圧電発振器の外面を絶縁膜によって被覆したことを特徴とする。
請求項8は、前記圧電振動素子の上面を全面電極としたことを特徴とする。
In order to solve the above-mentioned problems, a first aspect of the present invention provides a package main body having an external electrode at the bottom and a conductive pad for mounting an IC connected to the external electrode at the top, and the conductive pad of the package main body. An IC chip electrically connected to the upper side; a piezoelectric vibration element having at least one edge supported by a conductive adhesive or a conductor bump with respect to an upper electrode on the IC chip; and a package including the IC chip and the piezoelectric vibration element A lid member that hermetically seals the upper surface of the main body, and the IC chip has a length that exceeds a distance from the one end edge of the piezoelectric vibration element to the position of the center of gravity.
According to a second aspect of the present invention, the piezoelectric vibrating element includes a piezoelectric substrate having an ultrathin vibrating portion and an annular thick portion that integrally holds an outer periphery of the vibrating portion, and an excitation formed on the vibrating portion of the piezoelectric substrate. An electrode and a pad electrode disposed on the lower surface of the annular thick portion and electrically connected to the excitation electrode, and the pad electrode provided on the lower surface of the annular thick portion is connected to an electrode on the upper part of the IC chip and an electrical machine It is characterized by being connected.
According to a third aspect of the present invention, the piezoelectric vibration element includes a strip-shaped piezoelectric substrate, an excitation electrode formed on a vibration portion of the piezoelectric substrate, a pad electrode that is disposed at an appropriate position on the lower surface of the piezoelectric substrate, and is electrically connected to the excitation electrode. The pad electrode is electrically and mechanically connected to the upper electrode on the IC chip.
According to a fourth aspect of the present invention, the piezoelectric vibration element is disposed so as to substantially cover the entire length of the IC chip.
5. The surface mount type piezoelectric oscillator in which one end edge of the piezoelectric vibration element is connected to an electrode on the IC chip so that the other end edge of the piezoelectric vibration element is overhanged from the edge of the IC chip. A step projecting directly below the other end edge of the piezoelectric vibration element is disposed on the main body, and the height of the step is made higher than the height of the IC chip.
According to a sixth aspect of the present invention, a silicon substrate including circuit elements constituting an oscillation circuit, an external electrode provided on the bottom of the silicon substrate, and an upper electrode disposed on the top surface of the silicon substrate and connected to the external electrode, It has an IC chip and a planar shape that aligns with the silicon substrate or aligns with the inside of the silicon substrate, and has recesses on the top and bottom surfaces
Further, a piezoelectric vibration element having an excitation electrode in the vibration part on the inner bottom surface of the recess and a pad electrode connected to the excitation electrode on the lower surface corresponding to the upper electrode, and a planar shape matching the piezoelectric vibration element were provided. A lid, and the piezoelectric vibration element and the lid are sequentially stacked on the IC chip to join the upper electrode and the pad electrode, and the lid is joined to the upper surface of the piezoelectric vibrator. To do.
According to a seventh aspect of the present invention, an outer surface of the piezoelectric oscillator excluding the external electrode is covered with an insulating film.
According to an eighth aspect of the present invention, the upper surface of the piezoelectric vibration element is a full surface electrode.
本発明によれば、チップ部品等の小型の回路部品上に圧電振動素子の一端部を導電性接着剤によって支持する際に、未硬化状態にあるために導電性接着剤による保持力が弱い期間中に、圧電振動素子の自重によって接着部が剥離する不具合を解消することができる。換言すれば、接着部の剥離を防止する為に接着剤が硬化するまで治具等によって押え続けるという煩雑な作業を不要として生産性を高めることができる。また、チップ部品の一部が圧電振動素子から横方向に突出することにより、その分だけパッケージが大型化するという不具合を解消することができる。
また、回路部品と圧電振動素子を上下位置関係で配置してパッケージ化した場合に、パッケージを更に小型化しようとすると、圧電振動素子の面積を小型化する必要が発生し、その結果圧電振動素子の特性に悪影響が発生するという不具合を解決することができる。
According to the present invention, when the one end portion of the piezoelectric vibration element is supported on the small circuit component such as the chip component by the conductive adhesive, the holding force by the conductive adhesive is weak because it is in an uncured state. In addition, it is possible to eliminate the problem that the adhesive portion peels due to the weight of the piezoelectric vibration element. In other words, it is possible to increase productivity by eliminating the complicated work of keeping pressing with a jig or the like until the adhesive is cured in order to prevent peeling of the bonded portion. In addition, since a part of the chip component protrudes laterally from the piezoelectric vibration element, it is possible to solve the problem that the package becomes larger by that amount.
Further, when the circuit component and the piezoelectric vibration element are arranged in a vertical position relationship and packaged, if the package is to be further reduced in size, the area of the piezoelectric vibration element needs to be reduced. As a result, the piezoelectric vibration element It is possible to solve the problem of adversely affecting the characteristics.
以下、本発明を図面に示した実施の形態により詳細に説明する。
[第1の実施の形態]
図1(a)は本発明の第1の実施形態に係る表面実装型圧電発振器の縦断面図である。
この表面実装型圧電発振器は、例えば水晶発振器20であり、この水晶発振器20は、セラミック等から成るパッケージ本体(プリント基板)21上に、周波数調整回路、周波数温度補償回路等を含む発振回路を構成する平板状のICチップ22を搭載し、ICチップ22上面に水晶振動素子23を搭載し、更にICチップ22及び水晶振動素子23を含むプリント基板21上面を蓋部材24により封止した構成を有する。
セラミック板等から成るパッケージ本体21は、その下面に外部電極21aを有すると共に、上面にIC搭載用の導通パッド21bを有する。
ICチップ22はベアチップであり、LSI技術によりシリコン基板22a内に発振回路を構成する各回路素子を形成し、且つ、そのシリコン基板22aの下面に外部電極22bを、上面に上部電極22cを備えている。
水晶振動素子23は、超薄肉の振動部25a及び振動部25aの外周縁を一体的に保持する厚肉の環状厚肉部25bから成る水晶基板25と、水晶基板25の振動部25aの表裏面に夫々形成した励振電極26と、各励振電極26から引き出されたリード電極26aと、各リード電極26aを介して各励振電極26と接続され環状厚肉部25bの下面に位置するパッド電極26bと、を備える。パッド電極26bとICチップ22の上部電極22cとを一対一で対峙させて導電性接着剤、半田、バンプ等の接続手段Bによって電気的機械的に接続する。
蓋部材24は金属製又はセラミック製であり、ICチップ22及び水晶振動素子23を含むパッケージ本体21上の空間を気密封止するためにパッケージ本体21上のアース電極21c上に下端面を半田等の封止部材により気密状態を保つよう固定される。
図示のように環状厚肉部下面に設けたパッド電極26bのうち、振動部25aをはさんで対向する位置関係にある2つのパッド電極をICチップ22上に固定する場合にはICチップ22の横方向寸法を水晶振動素子23とほぼ同等の長さに設定する必要がある。この場合、ICチップ22の奥行き寸法は水晶振動素子23の奥行き寸法と同等かそれ以上であってもよいが、水晶振動素子23で傾かず搭載できれば狭くてもよい。
これに対して、同図(b)に示すとおり、一方のパッド電極26bのみをICチップ22上に固定する片持ち支持構造を採用する場合には、ICチップ22の横方向寸法は図示のように水晶振動素子23の横方向寸法よりも大幅に短くてもよいし、水晶振動素子23とほぼ同等であってもよい。
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to embodiments shown in the drawings.
[First Embodiment]
FIG. 1A is a longitudinal sectional view of a surface-mount piezoelectric oscillator according to the first embodiment of the present invention.
This surface-mount type piezoelectric oscillator is, for example, a
The
The
The
The
Of the
On the other hand, as shown in FIG. 5B, when a cantilever support structure in which only one
即ち、図1(b)は水晶振動素子を片持ち支持する場合の変形実施形態を示しており、この場合、ICチップ22の長さL1は、水晶振動素子23の左側端縁から重心位置に相当する長さまで短くすることができる。即ち、水晶振動素子23の長さ寸法L2の1/2程度、或は一端部(左端部)を導電性接着剤により支持した状態での水晶振動素子23の重心位置まで、ICチップ22の長さを短くすることにより、導電性接着剤が硬化する前の段階で水晶振動素子23をICチップ上からずれ落ちることなく安定して載置しつつパッド電極26b(水晶振動素子の左端部にのみ配置)の接着固定を実施することが可能となる。従って、バッチ処理により量産する際にも、全てのICチップ22上に水晶振動素子23の接着部を押え続けながら接着剤の硬化を待つという煩雑な工程を省略することができ、量産性を高めることができる。また、使用するICチップとしても、横方向寸法が種々異なるタイプを使用することが可能となり、必ずしも水晶振動素子と同等の面積を有したICチップの使用を強制されることがなく、設計の自由度が高まる。
なお、この実施形態ではパッケージ本体21として平板状のプリント基板を使用しているが、上面に凹陥部を有した箱形のパッケージ本体を用いてもよいことは勿論である。この場合には、パッケージ本体上面を平板状の金属蓋により閉止することとなろう。また、水晶振動素子23を導体バンプにてICチップ22上に固定する際には、導電性接着剤のように硬化時間を要しないので、上述した重心位置を考慮する必要はないが、重心をICチップ上に位置させた方がICチップ22とパッケージ本体21との接続点に加わる自重が均一となるので好ましく、また、水晶振動素子23の左端を可能な限りICチップ22の左端の位置に寄せることにより、全体の小型化が図れる。
That is, FIG. 1B shows a modified embodiment in the case where the quartz resonator element is cantilevered. In this case, the length L1 of the
In this embodiment, a flat printed board is used as the
図1(a)(b)に夫々示した実施形態に係る水晶発振器によれば、パッケージ本体上に搭載したICチップ上に直接水晶振動素子を搭載するので、従来のようにパッケージ本体内壁に水晶振動素子を支持する為の段差を突設する必要がなくなり、また段差間に回路部品を組み込むためのスペースを確保する必要もなくなるので、パッケージの平面形状を小型化することが可能となる。
また、ICチップ22の長さL1は、圧電振動素子23の一端縁(図中左端縁)から重心位置までの距離を越える長さを有する程度に小型であってもよいので、使用するICチップの選択の範囲が広がり、設計の自由度が高くなる。
また、圧電振動素子23の端縁からICチップ22が突出する量をできるだけ少なくし、圧電振動素子23がICチップ22の長さ全長をほぼ覆うように組み付けることにより、ICチップが圧電振動素子23の寸法を越えて横方向に突出する量が減少し、パッケージの平面積を狭くすることができる。
なお、水晶振動素子23の一端縁をICチップ上に導電性接着剤により固定して片持ち支持した場合、接着時には水晶振動素子23がICチップ上面と平行な水平姿勢に保持されていたとしても、接着剤の硬化中に接着剤内に発生する上向きの応力により非接着側の一端縁が少しく上向きに傾斜した状態で固定される。このため、図1(a)(b)のいずれの場合においても接着剤の硬化後には水晶振動素子23の環状厚肉部23bの左端縁を除いた下面はICチップ22の上面から離間した状態で保持される。従って、ICチップの上面と環状厚肉部下面が広い範囲で接触することにより振動部の自由振動が妨げられるという不具合はなくなる。
According to the crystal oscillators according to the embodiments shown in FIGS. 1A and 1B, the crystal resonator element is directly mounted on the IC chip mounted on the package body. It is not necessary to project a step for supporting the vibration element, and it is not necessary to secure a space for incorporating circuit components between the steps, so that the planar shape of the package can be reduced.
Further, the length L1 of the
Further, the amount of protrusion of the
When one end edge of the
次に、図2(a)は図1(a)の水晶発振器の変形実施形態の縦断面図であり、ICチップ22上に搭載する水晶振動素子23として、短冊状(平板状)の水晶基板から成るものを用いた点が図1(a)のものと相違している。
即ち、この実施形態に係る水晶発振器に使用する水晶振動素子23は、平板状の水晶基板27と、水晶基板27の表裏に夫々形成した励振電極27aと、各励振電極27aから両端縁に向けて引き出されたリード電極27bと、各リード電極27bと接続されると共に水晶基板27の下面に配置されたパッド電極27cと、を有する。
この実施形態では、水晶振動素子23の対向する2つの端縁に夫々配置したパッド電極27cをICチップ上面に接着固定する場合を示したが、2つのパッド電極27cを一端縁に沿って配置し、該一端縁に配置した各パッド電極27cを導電性接着剤によりICチップ上面に接着固定することによって片持ち支持するように構成してもよい。この場合、接着作業時には水晶振動素子23の自由端部下面をICチップ上面に接触させて一端縁に設けた各パッド電極27cを導電性接着剤により上部電極22cに固定するが、導電性接着剤が硬化する過程で接着剤内部に発生する上向きの応力により、水晶振動素子の自由端部が上向きに持ち上げられICチップ22と非接触の状態で固定されるため、水晶振動素子23の自由振動がICチップ22によって妨げられることがない。
その他の構成上の特徴、効果等については、図1(a)について述べたことがそのまま当てはまる。
Next, FIG. 2A is a longitudinal sectional view of a modified embodiment of the crystal oscillator of FIG. 1A, and a rectangular (flat plate) crystal substrate is used as the
That is, the
In this embodiment, the case where the
As for other structural features, effects, etc., what has been described with reference to FIG.
次に、図2(b)は図1(b)の変形実施形態であり、平板状の水晶振動素子23の全長L2よりも大幅に短い寸法L1を有したICチップ22を用いて水晶振動素子23を片持ち支持した構成が特徴的である。
即ち、図2(b)は短冊状の水晶振動素子23を片持ち支持する場合の変形実施形態を示しており、この場合、ICチップ22の長さL1は、水晶振動素子23の左端縁から重心位置までの距離に相当する長さまで短くすることができる。
即ち、水晶振動素子23の長さ寸法L2の1/2程度、或は一端部(左端部)を導電性接着剤により支持した状態での水晶振動素子23の重心位置まで、ICチップ22の長さを短くすることにより、水晶振動素子23をICチップ上に安定して載置しつつ導電性接着剤によるパッド電極26b(水晶振動素子の左端部にのみ配置)の接着固定を実施することが可能となる。
つまり、この場合には、水晶振動素子23の下面は、ICチップ22の右端縁から図面右方へ突出した部分を除き、ICチップ22の図中右端上面に接して載置した際、重心位置がICチップ上にあるので、導電性接着剤が硬化する前の段階で、格別の治具等によって水晶振動素子23をICチップ22上面に押え込まなくても、ICチップ22上から水晶振動素子23がずれ落ちることがなく、接着部が剥離する虞れが一切なくなる。従って、バッチ処理により量産する際にも、全てのICチップ22上に水晶振動素子23の接着部を押え続けながら接着剤の硬化を待つという煩雑な工程を省略することができ、量産性を高めることができる。また、使用するICチップとしても、横方向寸法が種々異なるタイプを使用することが可能となり、必ずしも水晶振動素子と同等の面積を有したICチップの使用を強制されることがなく、設計の自由度が高まる。
なお、この実施形態ではパッケージ本体21として平板状のプリント基板を使用しているが、上面に凹陥部を有した箱形のパッケージ本体を用いてもよいことは勿論である。この場合には、パッケージ本体上面を平板状の金属蓋により閉止することとなろう。
Next, FIG. 2 (b) is a modified embodiment of FIG. 1 (b), and a quartz crystal resonator element using an
That is, FIG. 2B shows a modified embodiment in which the strip-shaped
That is, the length of the
That is, in this case, the lower surface of the
In this embodiment, a flat printed board is used as the
次に、図3は図1又は図2に示した実施形態の変形例であり、この表面実装型圧電発振器は、底部に外部電極21aを有し、上面に凹陥部21Aを備えたパッケージ本体21と、凹陥部21Aの内底面に設けた導通パッド21b上に搭載したICチップ22と、ICチップ22上の上部電極22cに導電接着剤B(或は、バンプ)を用いて一端縁を片持ち支持された水晶振動素子23と、パッケージ本体21の外枠上面に固定されて凹陥部21Aを気密封止する蓋部材24と、を有する。
水晶振動素子23は、図1に示した薄肉振動部を環状厚肉部により支持したタイプと、図2に示した短冊状のタイプいずれであってもよい。
この実施形態に係る発振器の特徴的な構成は、パッケージ本体21の凹陥部21Aの一方の内壁に段差21Bを配置し、ICチップ22の端縁からオーバーハングした水晶振動素子23の他端縁の直下位置に段差21Bの上面が位置するように構成した点である。この段差21Bの高さH2は、凹陥部内底面に搭載されたICチップ22の高さH1よりも少しく高くなるように設定する。
このように構成することにより、水晶振動素子23をICチップ22上にマウントする際に、オーバーハングした他端縁の下面を段差21B上に載置した状態で、一端縁を上部電極22cに接着する作業を行うことができる。このため、水晶振動素子23の下面に成膜された剥離し易い励振電極26a、27aがICチップ上面と擦れて損傷、剥離する等の不具合をなくすることができる。
なお、導電性接着剤Bが硬化した状態では、導電性接着剤内に発生する上向きの応力によって水晶振動素子の他端部は上向きに付勢されるので、硬化後においては水晶振動素子は全体として上向き傾斜姿勢で固定され、その他端部は段差21Bの上面から十分に離間した状態に保持される。
Next, FIG. 3 is a modification of the embodiment shown in FIG. 1 or FIG. 2, and this surface-mount type piezoelectric oscillator has an
The
A characteristic configuration of the oscillator according to this embodiment is that a step 21B is disposed on one inner wall of the recessed
With this configuration, when the
In the state where the conductive adhesive B is cured, the other end portion of the crystal resonator element is urged upward by the upward stress generated in the conductive adhesive. The other end is held in a state sufficiently separated from the upper surface of the step 21B.
[第2の実施の形態]
図4(a)(b)及び(c)は本発明の第2の実施形態に係る表面実装型圧電発振器の斜視図、分解斜視図、及びA−A断面図である。
この表面実装型圧電発振器は、例えば水晶発振器31であり、この水晶発振器31は、周波数調整回路、周波数温度補償回路等を含む発振回路を構成する平板状のICチップ32上に水晶振動素子33、水晶板から成る蓋34を順次積層して一体化した構成を備える。
ICチップ32はベアチップであり、LSI技術によりシリコン基板40上に発振回路を構成する各回路素子を形成し、且つ、そのシリコン基板40の下面に外部電極41を、上面に上部電極42を備えている。
水晶振動素子33は、超薄肉の振動部45の周縁部を厚肉の環状厚肉部46によって一体的に支持した構成を備え、振動部45の表裏中央部には励振電極47、48を形成し、更に各励振電極47、48から引き出されたリード端子47a、48aの終端部にはパッド電極47b、48bが配置されている。各パッド電極47b、48bは、環状厚肉部(厚肉部)46の下面に位置する。水晶振動素子33は、ICチップ32の上面に対して整合状態で密着整合し得るように寸法、形状を設定されると共に、環状厚肉部46の下面に設けたパッド電極47b、48bは、ICチップ32上の各上部電極42と一対一で対応し合うように配置される。
水晶板又はガラスからなる蓋34は、水晶振動素子33の上面に対して密着して整合するように寸法、及び形状を設定されている。
ICチップ32を構成するシリコン基板40と、水晶振動素子33と、水晶板から成る蓋34は、いずれも熱膨張率が同等の材料である。
この水晶発振器31は、ICチップ32上に水晶振動素子33と蓋34を順次重ねて、上部電極32とパッド電極47b、48b間を導電性接着剤、半田等のバインダや、金バンプ等によって接合し、更に蓋34を環状厚肉部46の上面に接着又はバンプ固定することにより完成される。バッチ処理により、大面積のICチップ母材、水晶振動素子母材、及び蓋の母材を用いて製造する場合には、各母材を重ねて所要箇所を接着した後で、各個片毎に切断することにより個々の水晶発振器21を得る。
[Second Embodiment]
4A, 4B, and 4C are a perspective view, an exploded perspective view, and an AA cross-sectional view of a surface-mount piezoelectric oscillator according to a second embodiment of the present invention.
This surface-mount type piezoelectric oscillator is, for example, a
The
The
The
The
In this
なお、上記のようにICチップ32、水晶振動子33及び蓋34間を接着等により接合した場合、各部材間に微細な空隙が発生し、水晶振動素子33の上下の凹所内の気密化が不十分となる虞れがある。そのため、完成した水晶発振器の外面全体(ICチップ32の外部電極41を除く)にSiO2等のシリコン(Si)系の薄膜(絶縁膜)を蒸着、スパッタリング等の手法により均一に成膜して各所に散在する微細な空隙を封止し内部の気密性を保持する。また、外部電極41を除いた導体が外面に露出している部分をシリコン系の薄膜により被覆して絶縁する上でも有効である。そしてこのような構成は、ICチップ、水晶振動素子、蓋、及び蒸着膜がシリコン系材料であり、それぞれの熱膨張係数がほぼ等しいので、加熱等の温度変化によって蒸着膜に亀裂が発生し、気密性が低下するということが起きない。
或は、ICチップ32の外部電極41を除いた発振器外面全体に絶縁樹脂膜(絶縁膜)をモールド被覆して微細な空隙を封止し、且つ露出した導体部分を絶縁被覆するようにしてもよい。また、モールド被覆することにより、各部材間の結合強度を高めることができる。
さらに、図4(d)のように水晶振動素子の一方の面を全面電極47Aとしてもよいし、図4(e)のように蓋と水晶振動素子をいずれも片面に凹陥を有する構造としてもよい。又、ICチップと水晶振動素子の大きさは必ずしも一致している必要はないことは言うまでもない。
Note that when the
Alternatively, an insulating resin film (insulating film) may be mold-coated on the entire outer surface of the oscillator chip except for the
Further, as shown in FIG. 4D, one surface of the crystal resonator element may be a full-
以上の構成を備えた本発明の発振器によれば、図5に示した如き凹陥部を有したパッケージ本体の外枠上面に金属蓋を溶接により固着する構成を採用しない為、少なくともパッケージ本体外枠の幅の合計に相当する面積を小さくし、発振器全体の平面積を小型化することができる。しかも、本発明における発振器の小型化は、水晶振動素子の面積の減縮を伴わない為、従来例にて説明した如き導電性接着剤が励振電極に干渉して振動エネルギーの集中を妨げて発振器の特性を劣化させるという不具合がなくなる。また、ICチップ32、水晶振動素子33、及び蓋34はいずれもシリコン系の材質、即ち、シリコン、水晶、ガラス等からなる為、熱膨張係数がほぼ同等であり、導電性接着剤、半田等によって部材間を接合した時に導電性接着剤等が冷却する際の熱歪みによって水晶振動素子の共振周波数に変動が生じることがない。
また、図示のごとくICチップ32、水晶振動素子33、及び蓋34を重ね合わせて要所を接合しただけの単純な構造である為、バッチ処理による量産に適している。即ち、大面積のICチップ母材と、大面積の水晶振動素子母材と、大面積の蓋母材を、各母材に含まれる個々の個片の位置関係を整合させた状態で積み重ねて所要箇所を接合してから個片毎に分割し、その後個々の発振器の外面に所要の薄膜形成、モールド樹脂の被覆等を施すことにより、発振器が完成する。
According to the oscillator of the present invention having the above-described configuration, since a configuration in which a metal lid is fixed by welding to the upper surface of the outer frame of the package main body having the recessed portion as shown in FIG. The area corresponding to the total width of the oscillators can be reduced, and the plane area of the entire oscillator can be reduced. In addition, since the size reduction of the oscillator in the present invention does not involve reduction in the area of the crystal resonator element, the conductive adhesive as described in the conventional example interferes with the excitation electrode to prevent the concentration of vibration energy and The problem of deteriorating characteristics is eliminated. Further, since the
Further, as shown in the figure, the
20 水晶発振器、21 パッケージ本体(プリント基板)、21a 外部電極、21b 導通パッド、22 ICチップ、22a シリコン基板、22b 外部電極、22c 上部電極、23 水晶振動素子、24 蓋部材、25 水晶基板、25a 振動部、25b 環状厚肉部、26 励振電極、26a リード電極、26b パッド電極、27 水晶基板、27a 励振電極、27b リード電極、27c パッド電極、31 水晶発振器、32 ICチップ、33 水晶振動素子、34 蓋、40 シリコン基板、41 外部電極、42 上部電極、45 振動部、46 環状厚肉部、47 励振電極。 20 crystal oscillator, 21 package body (printed circuit board), 21a external electrode, 21b conductive pad, 22 IC chip, 22a silicon substrate, 22b external electrode, 22c upper electrode, 23 crystal vibration element, 24 lid member, 25 crystal substrate, 25a Vibrating part, 25b annular thick part, 26 excitation electrode, 26a lead electrode, 26b pad electrode, 27 quartz substrate, 27a excitation electrode, 27b lead electrode, 27c pad electrode, 31 crystal oscillator, 32 IC chip, 33 quartz vibrating element, 34 Lid, 40 Silicon substrate, 41 External electrode, 42 Upper electrode, 45 Vibration part, 46 Annular thick part, 47 Excitation electrode.
Claims (8)
前記ICチップは、前記圧電振動素子の前記一端縁から重心位置までの距離を越える長さを有していることを特徴とする表面実装型圧電発振器。 A package body having an external electrode at the bottom and having a conductive pad for mounting an IC electrically connected to the external electrode at the top; an IC chip electrically connected to the conductive pad of the package body; and an upper part of the IC chip A piezoelectric vibration element having at least one edge supported by a conductive adhesive or a conductor bump with respect to the upper electrode, and a lid member that hermetically seals the upper surface of the package body including the IC chip and the piezoelectric vibration element,
The surface-mount type piezoelectric oscillator, wherein the IC chip has a length exceeding a distance from the one end edge of the piezoelectric vibration element to a position of the center of gravity.
前記環状厚肉部下面に設けた前記パッド電極を前記ICチップ上部の電極と電気的機械的に接続したことを特徴とする請求項1記載の表面実装型圧電発振器。 The piezoelectric vibrating element includes a piezoelectric substrate having an ultrathin vibrating portion and an annular thick portion that integrally holds an outer periphery of the vibrating portion, an excitation electrode formed on the vibrating portion of the piezoelectric substrate, and the annular A pad electrode disposed on the lower surface of the thick portion and electrically connected to the excitation electrode;
2. The surface-mount type piezoelectric oscillator according to claim 1, wherein the pad electrode provided on the lower surface of the annular thick part is electrically and mechanically connected to an electrode on the IC chip.
前記パッド電極を前記ICチップ上部の上部電極と電気的機械的に接続したことを特徴とする請求項1記載の表面実装型圧電発振器。 The piezoelectric vibration element includes a strip-shaped piezoelectric substrate, an excitation electrode formed on a vibration portion of the piezoelectric substrate, and a pad electrode that is disposed at an appropriate position on the lower surface of the piezoelectric substrate and is electrically connected to the excitation electrode.
2. The surface mount piezoelectric oscillator according to claim 1, wherein the pad electrode is electrically and mechanically connected to an upper electrode on the IC chip.
前記パッケージ本体上に、前記圧電振動素子の他端縁の直下に張り出した段差
を配置し、該段差の高さを前記ICチップの高さよりも高くしたことを特徴とする請求項1、2、3又は4記載の表面実装型圧電発振器。 In the surface mount type piezoelectric oscillator in which one end edge of the piezoelectric vibration element is connected to an electrode on the IC chip and the other end edge of the piezoelectric vibration element is overhanged from the edge of the IC chip.
A step projecting directly under the other end edge of the piezoelectric vibration element on the package body
5. The surface mount piezoelectric oscillator according to claim 1, wherein a height of the step is made higher than a height of the IC chip.
前記シリコン基板と整合又は、前記シリコン基板の内側に整合する平面形状を有すると共に上下面に凹陥部を備え、凹陥部内底面の振動部に励振電極を備え、更に前記上部電極と対応する下面に励振電極と導通したパッド電極を備えた圧電振動素子と、
該圧電振動素子と整合する平面形状を備えた蓋と、から成り、
前記ICチップ上に、前記圧電振動素子と前記蓋を順次重ねて前記上部電極と上記パッド電極とを接合し、更に圧電振動子上面に前記蓋を接合したことを特徴とする表面実装型圧電発振器。 An IC chip comprising: a silicon substrate provided with circuit elements constituting an oscillation circuit; an external electrode provided on the bottom of the silicon substrate; and an upper electrode disposed on the silicon substrate and connected to the external electrode; ,
It has a planar shape that aligns with the silicon substrate or matches the inside of the silicon substrate, and has concave and convex portions on the upper and lower surfaces, an excitation electrode on the vibration portion on the inner bottom surface of the concave portion, and excitation on the lower surface corresponding to the upper electrode. A piezoelectric vibration element provided with a pad electrode electrically connected to the electrode;
A lid having a planar shape that matches the piezoelectric vibration element,
A surface-mount type piezoelectric oscillator, wherein the piezoelectric vibration element and the lid are sequentially stacked on the IC chip to join the upper electrode and the pad electrode, and the lid is joined to the upper surface of the piezoelectric vibrator. .
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