JP2009037813A - 有機el装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板10上に、少なくとも一方が透明または半透明の一対の電極間に発光層を含む有機EL層22を挟んで構成した有機EL素子20と、有機EL素子20に接する少なくとも1層の無機物膜を含み、有機EL素子20を封止する封止層30と、を形成する際に、封止層30中の有機EL素子20に接する第1の封止膜31を対向ターゲット式スパッタ法で形成し、封止層30中の他の無機物膜を対向ターゲット式スパッタ法以外の他の成膜方法で形成する。
【選択図】 図1
Description
色素系材料としては、たとえば、シクロペンダミン誘導体、テトラフェニルブタジエン誘導体化合物、トリフェニルアミン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ピラゾロキノリン誘導体、ジスチリルベンゼン誘導体、ジスチリルアリーレン誘導体、ピロール誘導体、チオフェン環化合物、ピリジン環化合物、ペリノン誘導体、ペリレン誘導体、オリゴチオフェン誘導体、トリフマニルアミン誘導体、オキサジアゾールダイマー、ピラゾリンダイマーなどが挙げられる。
金属錯体系材料としては、たとえば、イリジウム錯体、白金錯体などの三重項励起状態からの発光を有する金属錯体、アルミキノリノール錯体、ベンゾキノリノールベリリウム錯体、ベンゾオキサゾリル亜鉛錯体、ベンゾチアゾール亜鉛錯体、アゾメチル亜鉛錯体、ポルフィリン亜鉛錯体、ユーロピウム錯体など、中心金属に、アルミニウム(Al)、亜鉛(Zn)、ベリリウム(Be)などまたはテルビウム(Tb)、ユーロピウム(Eu)、ジスプロシウム(Dy)などの希土類金属を有し、配位子にオキサジアゾール、チアジアゾール、フェニルピリジン、フェニルベンゾイミダゾール、キノリン構造などを有する金属錯体などを挙げることができる。
高分子系材料としては、ポリパラフェニレンビニレン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリパラフェニレン誘導体、ポリシラン誘導体、ポリアセチレン誘導体、ポリフルオレン誘導体、ポリビニルカルバゾール誘導体、上記色素体や金属錯体系発光材料を高分子化したものなどが挙げられる。
ドーパント材料としては、たとえば、ペリレン誘導体、クマリン誘導体、ルブレン誘導体、キナクリドン誘導体、スクアリウム誘導体、ポルフィリン誘導体、スチリル系色素、テトラセン誘導体、ピラゾロン誘導体、デカシクレン、フェノキサゾンなどを挙げることができる。
正孔注入層を形成する材料としては、フェニルアミン系、スターバースト型アミン系、フタロシアニン系、酸化バナジウム、酸化モリブデン、酸化ルテニウム、酸化アルミニウムなどの酸化物、アモルファスカーボン、ポリアニリン、ポリチオフェン誘導体などが挙げられる。
正孔輸送層を構成する材料としては、ポリビニルカルバゾールもしくはその誘導体、ポリシランもしくはその誘導体、側鎖もしくは主鎖に芳香族アミンを有するポリシロキサン誘導体、ピラゾリン誘導体、アリールアミン誘導体、スチルベン誘導体、トリフェニルジアミン誘導体、ポリアニリンもしくはその誘導体、ポリチオフェンもしくはその誘導体、ポリアリールアミンもしくはその誘導体、ポリピロールもしくはその誘導体、ポリ(p−フェニレンビニレン)もしくはその誘導体、またはポリ(2,5−チエニレンビニレン)もしくはその誘導体などが例示される。
電子輸送層を構成する材料としては、公知のものが使用でき、オキサジアゾール誘導体、アントラキノジメタンもしくはその誘導体、ベンゾキノンもしくはその誘導体、ナフトキノンもしくはその誘導体、アントラキノンもしくはその誘導体、テトラシアノアンスラキノジメタンもしくはその誘導体、フルオレノン誘導体、ジフェニルジシアノエチレンもしくはその誘導体、ジフェノキノン誘導体、または8−ヒドロキシキノリンもしくはその誘導体の金属錯体、ポリキノリンもしくはその誘導体、ポリキノキサリンもしくはその誘導体、ポリフルオレンもしくはその誘導体などが例示される。
電子注入層としては、発光層の種類に応じて、Ca層の単層構造からなる電子注入層、または、Caを除いた周期律表IA族とIIA族の金属であり且つ仕事関数が1.5〜3.0eVの金属およびその金属の酸化物、ハロゲン化物および炭酸化物の何れか1種または2種以上で形成された層とCa層との積層構造からなる電子注入層を設けることができる。仕事関数が1.5〜3.0eVの、周期律表IA族の金属またはその酸化物、ハロゲン化物、炭酸化物の例としては、リチウム、フッ化リチウム、酸化ナトリウム、酸化リチウム、炭酸リチウムなどが挙げられる。また、仕事関数が1.5〜3.0eVの、Caを除いた周期律表IIA族の金属またはその酸化物、ハロゲン化物、炭酸化物の例としては、ストロンチウム、酸化マグネシウム、フッ化マグネシウム、フッ化ストロンチウム、フッ化バリウム、酸化ストロンチウム、炭酸マグネシウムなどが挙げられる。
(b)陽極/発光層/電子輸送層/陰極
(c)陽極/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/陰極
(d)陽極/正孔注入層/発光層/陰極
(e)陽極/発光層/電子注入層/陰極
(f)陽極/正孔注入層/発光層/電子注入層/陰極
(g)陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/陰極
(h)陽極/正孔輸送層/発光層/電子注入層/陰極
(i)陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子注入層/陰極
(j)陽極/正孔注入層/発光層/電子輸送層/陰極
(k)陽極/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極
(l)陽極/正孔注入層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極
(m)陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/陰極
(n)陽極/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極
(o)陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極
(ここで、/は各層が隣接して積層されていることを示す。以下同じ。)
まず、基板10としてのガラス基板上に、スパッタ法で約150nmの膜厚のITO膜を形成し、フォトリソグラフィ技術とエッチング技術とを用いて所定の形状にパターニングして、陽極21を形成する。ついで、陽極21が形成されたガラス基板(10)を有機溶媒、アルカリ洗剤および超純水で洗浄して乾燥させた後、紫外線/オゾン洗浄装置で紫外線/オゾン洗浄処理を行う。
実施例で製造した有機EL装置と比較対照のために、この比較例で有機EL装置を製造する。なお、ガラス基板(10)上に有機EL素子20を形成し、有機EL素子20上に対向ターゲット式スパッタ法で厚さ1500ÅのITO膜を形成するところまでは実施例と同じである。
20 有機EL素子
21 陽極
22 有機EL層
23 陰極
30〜35,33A,33B 封止膜
36A,36B,36C 無機物膜
37A,37B 有機物膜
38 最上位有機物膜
100 対向ターゲット式スパッタ装置
101 真空チャンバ
102 基板ホルダ
103 ターゲット
104 ターゲットホルダ
105 真空ポンプ
106 ガス供給部
107 電極
108 電源
111 イオン
112 スパッタ粒子
Claims (3)
- 基板上に、少なくとも一方が透明または半透明の一対の電極間に発光層を含む有機エレクトロルミネッセンス(以下、ELということがある)層を挟んで構成した有機EL素子と、前記有機EL素子に接する少なくとも1層の無機物膜を含み、前記有機EL素子を封止する封止層と、を形成して有機EL装置を製造する有機EL装置の製造方法において、
前記封止層中の前記1層の無機物膜を対向ターゲット式スパッタ法で形成し、前記封止層中の他の無機物膜を対向ターゲット式スパッタ法以外の他の成膜方法で形成することを特徴とする有機EL装置の製造方法。 - 基板上に、少なくとも一方が透明または半透明の一対の電極間に発光層を含む有機エレクトロルミネッセンス(以下、ELということがある)層を挟んで構成した有機EL素子と、前記有機EL素子に接する少なくとも1層の無機物膜を含み、前記有機EL素子を封止する封止層と、を形成して有機EL装置を形成する有機EL装置の製造方法において、
前記封止層中の前記1層の無機物膜は、最初に対向ターゲット式スパッタ法で前記有機EL素子を覆うように前記基板上に所定の厚さの第1の被膜を堆積した後に、前記対向ターゲット式スパッタ法とは異なる他の成膜方法によって前記第1の被膜上に前記第1の被膜と同じ材料からなる第2の被膜を堆積して、形成されることを特徴とする有機EL装置の製造方法。 - 前記他の成膜方法は、CVD法またはマグネトロンスパッタ法であることを特徴とする請求項1または2に記載の有機EL装置の製造方法。
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