JP2009032962A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体装置は、半導体基板11上に形成された素子分離領域12と、素子分離領域に取り囲まれたp型領域を有する活性領域13A及びn型領域を有する活性領域13Cと、p型領域を有する活性領域13A上に形成されたn型ゲート電極16Aを有するn型MOSトランジスタと、n型領域を有する活性領域13C上に形成されたp型ゲート電極16Cを有するp型MOSトランジスタと、素子分離領域12上に形成されたp型抵抗体16Dとを備えている。p型抵抗体16Dの内部応力は、p型ゲート電極16Cの内部応力よりも大きい。
【選択図】図1
Description
K.Ota et al.、IEDM2002、p.27 C.Ortolland et al.、VLSI2006、p.98-97
以下、本発明の実施形態に係る半導体装置及びその製造方法について、図1を参照しながら説明する。図1(a)〜(f)は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。以降、本実施形態の半導体装置の製造方法について述べる。
12 素子分離領域
13A、13B、13C 活性領域
15 ゲート絶縁膜
16 ゲート電極形成膜
16A n型ゲート電極
16B、16C p型ゲート電極
16D p型抵抗体
18A n型エクステンション領域
18B、18C p型エクステンション領域
20A、20B、20C、20D サイドウォール膜
21A n型ソース・ドレイン領域
21B、21C p型ソース・ドレイン領域
23 下地絶縁膜
24 ストレッサー膜
25 シリサイド防止膜
26 金属膜
27 金属シリサイド膜
A n型MOSトランジスタ領域
B p型MOSトランジスタ領域
C p型MOSトランジスタ領域
D p型抵抗素子領域
Claims (17)
- 半導体基板と、
前記半導体基板内に形成された素子分離領域と、
前記素子分離領域に取り囲まれた前記半導体基板からなる第1の活性領域と、
前記素子分離領域に取り囲まれた前記半導体基板からなる第2の活性領域と、
前記第1の活性領域上に形成され、n型不純物が導入されたシリコンからなるn型ゲート電極を有するn型MOSトランジスタと、
前記第2の活性領域上に形成され、p型不純物が導入されたシリコンからなる第1のp型ゲート電極を有する第1のp型MOSトランジスタと、
前記素子分離領域上に形成され、p型不純物が導入されたシリコンからなり、内部応力が前記第1のp型ゲート電極の内部応力よりも大きいp型抵抗体とを備えている半導体装置。 - 前記n型ゲート電極は、前記n型ゲート電極の下方であって、前記第1の活性領域の表面部に形成されるチャネル領域をゲート長方向に引っ張る内部応力を有する請求項1に記載の半導体装置。
- 前記n型MOSトランジスタは、前記n型ゲート電極上に形成された第1の金属シリサイド膜を有し、
前記第1のp型ゲート電極上及び前記p型抵抗体上には、金属シリサイド膜が形成されていない請求項1又は2に記載の半導体装置。 - 前記n型MOSトランジスタは、前記n型ゲート電極の側面上に形成された第1のサイドウォールと、前記第1の活性領域における前記第1のサイドウォールの外側方下の領域に形成されたn型ソース・ドレイン領域と、前記n型ソース・ドレイン領域上に形成された第2の金属シリサイド膜とを有し、
前記第1のp型MOSトランジスタは、前記第1のp型ゲート電極の側面上に形成された第2のサイドウォールと、前記第2の活性領域における前記第2のサイドウォールの外側方下の領域に形成されたp型ソース・ドレイン領域とを有し、
前記p型ソース・ドレイン領域上には金属シリサイド膜が形成されていない請求項1〜3のうちいずれか1つに記載の半導体装置。 - 前記素子分離領域に取り囲まれた前記半導体基板からなる第3の活性領域と、
前記第3の活性領域上に形成され、p型不純物が導入されたシリコンからなる第2のp型ゲート電極と、前記第2のp型ゲート電極上に形成された第3の金属シリサイド膜とを有する第2のp型MOSトランジスタとをさらに備えている請求項1〜4のうちいずれか1つに記載の半導体装置。 - 前記第1のp型ゲート電極に含まれるp型不純物の活性化率は、前記p型抵抗体に含まれるp型不純物の活性化率よりも大きい請求項1〜5のうちいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記第1のp型ゲート電極のラマン分光のピークは、前記p型抵抗体のラマン分光のピークよりも高波数である請求項1〜6のうちいずれか1つに記載の半導体装置。
- 半導体基板内に素子分離領域、第1の活性領域、及び第2の活性領域を形成した後、前記半導体基板の全面上に、ゲート絶縁膜及びシリコンからなるゲート電極形成膜を堆積する工程(a)と、
前記ゲート電極形成膜のうち、前記第1の活性領域の上方に設けられた部分にn型不純物を導入し、前記第2の活性領域及び前記素子分離領域の上方に設けられた部分にp型不純物をそれぞれ導入する工程(b)と、
前記工程(b)の後に、前記ゲート絶縁膜及び前記ゲート電極形成膜をパターニングして、前記第1の活性領域及び前記第2の活性領域の上に、前記ゲート絶縁膜を介して、n型ゲート電極及び第1のp型ゲート電極をそれぞれ形成するとともに、前記第2の活性領域及び前記素子分離領域の上に、前記ゲート絶縁膜を介して、p型ゲート電極及びp型抵抗体をそれぞれ形成する工程(c)と、
前記n型ゲート電極及び前記p型抵抗体を覆い、前記第1の活性領域のチャネル領域におけるゲート長方向に対して引っ張り応力を与えるストレッサー膜を形成する工程(d)と、
前記半導体基板を熱処理することで、前記ストレッサー膜により印加された引っ張り応力を前記p型抵抗体及び前記第1の活性領域の表面部に、内部応力としてそれぞれ記憶させる工程(e)と、
前記工程(e)の後で、前記ストレッサー膜を除去する工程(f)とを備えている半導体装置の製造方法。 - 前記工程(d)は、前記半導体基板上の全面に前記ストレッサー膜を形成した後、前記第2の活性領域上の前記ストレッサー膜を除去する工程を含む請求項8に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記工程(e)において、前記p型抵抗体に記憶された内部応力は、前記第1のpゲート電極の内部応力よりも大きい請求項8又は9に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記工程(c)の後、且つ、前記工程(d)の前に、前記第1の活性領域における前記n型ゲート電極の側方下の領域にn型エクステンション領域を形成する一方、前記第2の活性領域における前記第1のp型ゲート電極の側方下の領域にp型エクステンション領域を形成する工程(g)をさらに備えている請求項8〜10のうちいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記工程(c)の後、且つ、前記工程(d)の前に、前記n型ゲート電極の側面上に第1のサイドウォールを形成するとともに、前記第1のp型ゲート電極の側面上に第2のサイドウォール膜を形成する工程(h)と、前記工程(h)の後に、前記第1の活性領域における前記第1のサイドウォールの外側方下の領域にn型ソース・ドレイン領域を形成する一方、前記第2の活性領域における前記第2のサイドウォールの側方下の領域にp型ソース・ドレイン領域を形成する工程(i)とをさらに備えている請求項8〜11のうちいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記工程(i)の後に、前記第1のp型ゲート電極、前記p型ソース・ドレイン領域、及び前記p型抵抗体を覆うシリサイド防止膜を形成する工程(j)と、前記工程(j)の後に、前記n型ゲート電極上及び前記n型ソース・ドレイン領域上に金属シリサイド膜を形成する工程(k)をさらに備えている請求項12に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記工程(a)は、前記半導体基板内に第3の活性領域を形成する工程を含み、
前記工程(b)は、前記ゲート電極形成膜のうち、前記第3の活性領域の上方に設けられた部分にp型不純物を導入する工程を含み、
前記工程(c)は、前記ゲート絶縁膜及び前記ゲート電極形成膜をパターニングして、前記第3の活性領域の上に、前記ゲート絶縁膜を介して第2のp型ゲート電極を形成する工程を含み、
前記工程(d)では、前記第3の活性領域の上には前記ストレッサー膜が形成されず、
前記工程(k)は、前記第2のp型ゲート電極上に前記金属シリサイド膜を形成する工程を含む請求項13に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記ストレッサー膜は、窒化シリコン膜である請求項8〜14のうちいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記工程(d)では、前記n型ゲート電極及び前記p型抵抗体の上に下地絶縁膜を形成した後、前記下地絶縁膜上に前記ストレッサー膜を形成する請求項8〜15のうちいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記下地絶縁膜は、酸化シリコン膜である請求項16に記載の半導体装置の製造方法。
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