JP2009032755A - 板状のフィンを有する放熱器の製造方法 - Google Patents

板状のフィンを有する放熱器の製造方法 Download PDF

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Abstract


【課題】 金属材の任意の部位に、スクラップを発生させることなく複数の放熱フィンを形成することができる板状のフィンを有する放熱器の製造方法を提供する。
【解決手段】 熱伝導率が良好な金属板2と掘り起こし工具5とを所定の角度を有した状態で金属板2の一端側2aよりも離間した所定位置に掘り起こし工具5を挿入して小寸な小形フィン3を形成し、掘り起こし工具5の刃部5aが所定の深さに達するまで複数枚の小形フィン3を順次形成する。その後、小形フィン3に続き、掘り起こし工具5により板状の放熱フィン4を一体に起立形成するフィン形成工程を順次繰り返して金属板2に複数の放熱フィン4を連続して形成する。このとき、複数の小形フィン3及び複数の放熱フィン4は、各フィンの基部が金属板2に一体に連結させるのでスクラップを発生させることがない。
【選択図】 図1

Description

本発明は、例えば電子部品等から生ずる熱を効率的に放熱するための放熱器に関し、詳しくは、掘り起こし工具によって金属板に一体に起立形成した板状の放熱フィンを有する放熱器の製造方法に関する。
例えば、半導体集積回路等の電子部品から生ずる熱を放熱するために、従来一般に実用に供されている放熱器は、ベース上に多数の櫛歯状の放熱フィンを垂直に立設している。この放熱器を電子部品等に直接又は間接的に接合することによって、放熱器の放熱フィンを介して外方に放熱するようにしている。この放熱器は、通常、アルミニウムからなる熱伝導率が良好な金属材を、押し出し加工や鋳造加工を施すことによって製造されている。
また、削り起こし工具を用いて放熱フィンを形成する放熱器の製造方法は、特開2001−156224(特許文献1)や特開2005−142247号公報(特許文献2)に開示されている。特許文献1に示された放熱器の製造方法は、基板部の上面側に突提状のフィン形成用被削部が形成されたアルミニウム合金押出形材からなるヒートシンク素材が用いられ、上記フィン形成用被削部をバイト等の切削工具を用いて削り起こし、それによって複数のフィンが形成される。
特許文献2に示された放熱器の製造方法は、熱伝導率が良好なフープ状金属板と、移動方向の先端側に刃部が形成された掘り起こし工具とを、所定の角度を有した状態で相対移動させて、フープ状金属板を掘り下げることにより、板状の放熱フィンを一体に起立形成し、次に、放熱フィンが起立形成された被加工面よりも形成ピッチ分の上流側から、フープ状金属板と掘り起こし工具とを相対移動させて、フープ状金属板を掘り起こすことにより次の板状の放熱フィンを一体に起立形成し、以後、この掘り起こし工程を順次繰り返すことによりフープ状金属板に複数の放熱フィンが連続して形成される。
前述した従来の放熱器の製造方法において、特許文献1に示された複数のフィンは、ヒートシンク素材の表面に複数のフィンが同じ高さで形成され、ヒートシンク素材の前端から前方のフィンまでの間は平坦に形成されている。このような同じ高さのフィンを形成しようとすると、図7に示すように、まず、フィン形成用被削部100の前端部100aに傾斜面101を形成しなければならない。この傾斜面101は、切削工具102を用いてフィン形成用被削部100を複数回切削することにより形成するが、切削によって高さの低い肉薄なフィン状のスクラップ103が必然的に形成される。
通常の場合、フィンを削り起こすときは、フィン形成用被削部100及び切削工具102に切削油が付与される。ところが、スクラップ103は、肉薄に形成されることから、除去したフィン状のスクラップ103が、図8に示すように、フィン形成用被削部100や切削工具102に付着することがある。このため、エアー等を用いてスクラップ103を除去しようとするが、スクラップ103が肉薄のために切削油によって吸着され、除去できないことがある。特に図8に示すように、スクラップ103がフィン形成用被削部100と切削工具102の間に付着した場合には、フィンを削り起こすことができないか、或いは変形した不良のフィンを形成する問題が生ずる。
また、特許文献2に示された板状の放熱フィンの形成方法においても、フープ状金属板の一端側から放熱フィンを形成する場合には、一端側に低い高さのフィン状スクラップを形成すると共に除去することから、特許文献1の場合と同様に、肉薄のスクラップフィンを除去することが困難となり、しかも、スクラップフィンが介在して、次に形成する放熱フィンが変形もしくは削り起し不能となる問題が生ずる。
特開2001−156224号公報 特開2005−142247号公報
上述した特許文献1及び2に示されるように、ヒートシンク素材としての金属板に板状のフィンを形成するとき、金属板に一端側には、まず、スクラップとなる肉薄のフィンを形成すると共に除去する必要がある。ところが、肉薄のスクラップフィンが切削油によってヒートシンク素材としての金属板やバイト等の切削工具に付着することがあり、次のフィンを形成するときの障害となり、正常なフィンが形成できない問題がある。また、切削油が接着機能を有するので、スクラップフィンが除去できず、残存する場合があり、切削工具の刃部に付着したままフィンを削り起こすと、切削工具を破損させる問題がある。
そこで、本発明の課題は、金属材の任意の部位に、スクラップを発生させることなく複数の放熱フィンを形成することができる板状のフィンを有する放熱器の製造方法を提供することにある。
上記の課題を解決するために、請求項1の発明にかかる板状のフィンを有する放熱器の製造方法は、熱伝導率が良好なアルミニウムや銅等の金属板と、移動方向の先端側に刃部が形成された掘り起こし工具とを備え、上記金属板と上記掘り起こし工具とを所定の角度を有した状態で相対移動させて、上記掘り起こし工具の刃部により上記金属板を掘り下げることにより、板状の放熱フィンを一体に起立形成すると共に、上記放熱フィンの起立形成によって形成された被加工面よりも形成ピッチ分の上流側から、上記金属板と上記掘り起こし工具とを相対移動させ、上記掘り起こし工具により上記金属板を掘り起こすことにより次の板状の上記放熱フィンを一体に起立形成し、以後掘り起こし工程を順次繰り返して上記金属板に複数の上記放熱フィンを連続して形成する放熱器の製造方法であって、
上記金属板と上記掘り起こし工具とを所定の角度を有した状態で上記金属板の一端側よりも離間した所定位置に上記掘り起こし工具を挿入し、基部が上記金属板に連結した小寸な複数枚の小形フィンを順次形成し、
上記掘り起こし工具の刃部が所定の深さに達した後は、上記被加工面よりも形成ピッチ分の上流側から上記金属板と上記掘り起こし工具とを相対移動させて板状の上記放熱フィンを一体に起立形成するフィン形成工程を順次繰り返して上記金属板に複数の上記放熱フィンを連続して形成することを要旨としている。
また、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、複数枚の上記小形フィンは、上記金属板の一端側よりも離間した所定位置から上記放熱フィンの位置まで順次高さを大きく形成したことを要旨としている。
さらに、請求項3に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、フィン形成工程において、上記掘り起こし工具により上記金属板に上記放熱フィンを起立形成するとき、上記放熱フィンの基端側の板厚が厚く先端に至るに従って漸次薄く形成すると共に上記放熱フィンの少なくとも基端側を両側方向に膨出させ、上記放熱フィンを内壁に接合することを要旨としている。
さらにまた、請求項4に記載の発明は、請求項1または2のいずれかに記載の発明において、上記掘り起こし工具の幅は、上記金属板の幅よりも狭く形成され、複数の上記放熱フィンの両側に上記金属板が有する板厚の鍔部が形成されることを要旨としている。
本発明にかかる板状のフィンを有する放熱器の製造方法によれば、金属板の一端側よりも離間した所定位置に掘り起こし工具を挿入して形成される小寸な小形フィンの基部が金属板に一体に連結されるので、肉薄なスクラップフィンの発生が未然に防止される。そのため、スクラップを除去する作業が不要になると共に、スクラップが金属板或いは掘り起こし工具に付着することによって生ずる放熱フィンの変形や掘り起こし形成が不能になるといった問題を解消することが可能となる。
金属板の一端側よりも離間した所定位置から放熱フィンの位置まで、複数枚の小形フィンの高さを順次大きく形成することにより、複数枚の小形フィンの頂部によって斜面が形成されるので、小形フィン側から冷却媒体を受けやすくなり、放熱効率の高い放熱器を形成することが可能となる。
フィン形成工程において、切削フィンの基端側の板厚が厚くなるように形成することにより、切削フィンの少なくとも基端側の両側が膨出するので、放熱フィンの基部の両側が凹所の内壁に押圧され、両側においても金属板の熱が伝導され、放熱効率の高い放熱器を形成することが可能となる。
掘り起こし工具の幅を金属板の幅よりも狭く形成することにより、複数の放熱フィンの両側に金属板が有する板厚の鍔部を形成できる。この鍔部は、放熱器を取り付けたり、放熱フィンの上部に被冠部材を設けてヒートポンプやベーパーチャンバー等の液冷熱交換器を構成することが可能となる。
熱伝導率が良好なアルミニウムや銅等の金属板から、板状のフィンを有する放熱器を製造するには、上記金属板と上記掘り起こし工具とを所定の角度を有した状態で上記金属板の一端側よりも離間した所定位置に上記掘り起こし工具を挿入し、基部が上記金属板に連結した小寸な複数枚の小形フィンを掘り起こし工具の刃部が所定の深さに達するまで順次形成する。その後、小形フィンを形成することによって形成された被加工面よりも形成ピッチ分の上流側から上記金属板と上記掘り起こし工具とを相対移動させて板状の上記放熱フィンを一体に起立形成するフィン形成工程を順次繰り返して上記金属板に複数の上記放熱フィンを連続して形成する。この結果、上記金属板の一端側よりも離間した所定位置から複数の小形フィンに続いて複数の放熱フィンが形成される。このとき、複数の小形フィン及び複数の放熱フィンは、各フィンの基部が金属板に一体に連結している。従って、スクラップを発生させることがない。
次に、図面を参照して本発明にかかる板状のフィンを有する放熱器の製造方法について詳細に説明する。
図1は、本発明によって製造された板状のフィンを有する放熱器の構成を示している。放熱器1に使用する金属素材は、塑性加工が可能であり、しかも熱伝導率が良好な金属素材として、例えば、アルミニウムやアルミニウム合金、銅合金あるいはステンレス鋼等の素材により形成された、所定の板厚を有する金属板2が使用される。
そして、金属板2の一端側2aよりも離間した一方面の所定位置には、複数枚の小寸な小形フィン3に続き、肉薄な板状の放熱フィン4が一体に同じ高さで形成されている。小形フィン3は、金属板2の一端側2aから放熱フィン4側に至るに従って順次高さが大きくなるように形成されている。これら小形フィン3及び放熱フィン4の基端部は、図3及び図4に示すように、金属板2の一方面に形成された凹所2cから一体に連結されている。また、放熱フィン4の先端側はやや湾曲し、これら複数の放熱フィン4は同一角度に形成され、しかも同一間隔に起立形成されている。さらに、放熱器1の複数枚の放熱フィン4は、金属板2に連結された基端部が肉厚に形成され、先端部に至るに従って肉薄に形成されている。
また、小形フィン3及び放熱フィン4の板厚は、金属板2の一方面から掘り起こすことにより形成しているので薄くすることが可能である。例えば、小型電子部品に使用する放熱器の放熱フィン4としては、0.03mm乃至1.0mm程度の板厚が好適である。また、各放熱フィン4の間隔は、0.01mm以上の任意に設定される。なお、各放熱フィン4の板厚または間隔は、各々異なるように形成しても良い。さらに、放熱フィン4の板厚を基端部が厚く、先端部に至るに従って薄く形成すると、基端部は厚いことから熱容量が大きく、金属板2からの熱を受け入れが容易になる。その後、熱を先端部方向へ伝達するに従って順次放熱され、先端部では小さい熱容量であっても容易に放熱させることができる。放熱フィン4は、熱の伝達と放熱に合わせて板厚を変化しているので、放熱効率が高い放熱器1を得ることができる。
次に、図2を参照しながら、放熱器1の製造方法について説明する。前述した金属板2は、放熱器1を形成するために必要な板厚及び幅を有し、図示しないプレス装置に載置される。その後、掘り起こし工具5により小形フィン3及び放熱フィン4を起立形成する。
掘り起こし工具5は、底面側の先端に移動方向と直角な刃部5aが形成されていて、その幅は、金属板2の幅よりも小さく設定されている。また、この掘り起こし工具5は、金属板2の一方面に対して後端側が高くなるように所定の角度θで傾斜させて図示しない駆動装置に取り付けられる。この傾斜角度θは、放熱フィン4の高さ、板厚、或いは、金属板2の材質等によって適宜に設定されるが、概ね5度から20度に設定される。上記掘り起こし工具5の幅方向両側はほぼ直角に形成されているが、刃部5aが形成されている底面側の両側を底面に至るに従って幅狭となるテーパ状、或いは円弧状に形成しても良い。
まず、図2(A)において二点鎖線で示すように、掘り起こし工具5の刃部5aを金属板2の一端側2aよりも離間した一方面の所定位置に当接させた後、掘り起こし工具5を駆動装置により所定の角度θで矢示の方向で金属板2に挿入させると、掘り起こし工具5の刃部5aが金属板2の一方面に食い込み、図2(A)において実線で示すように、高さが低く肉薄な小形フィン3が起立形成される。このとき、掘り起こし工具5を金属板2に挿入する圧力は、金属板2に対して変形或いはストレスを与えない程度に設定することが望ましい。このため、掘り起こし工具5を挿入する深さd1が浅いことから、小形フィン3の高さは低くなる。そして、第1の小形フィン3の起立形成によって、金属板2には、掘り起こし工具5の傾斜角度に等しい傾斜した被加工面2bが形成される。
次いで、図2(B)に示すように、金属板2と掘り起こし工具5とを相対的に移動し、刃部5aを被加工面2bよりも上流側の掘り起こし代tが得られる位置に当接させる。掘り起こし代tは、0.1mm乃至3.0mm程度に設定している。そして、図2(C)に示すように、掘り起こし工具5を所定の角度で矢示の方向に移動させ、第1の小形フィン3を形成したときよりも深い、深さd2まで食い込ませることにより、第1の小形フィン3よりも高い第2の小形フィン3が起立形成される。その後、小形フィン3の起立形成によって形成される被加工面2bよりも上流側の掘り起こし代tが得られる位置から掘り起こし工具5を移動させ、その前に形成される小形フィン3の起立形成時よりも深く食い込ませて、より高い小形フィン3の起立形成を繰り返す。このような小形フィン3の形成工程は、図2(D)に示すように、刃部5aが所定の深さd3に達した時点で終了させる。
このように、金属板2の一端側2aよりも離間した一方面の所定位置に第1の小形フィン3を形成した後、順次掘り起こし工具5を食い込ませる深さを変えながら複数の小形フィン3を順次形成すると、複数の小形フィン3の高さが徐々に大きくなり、複数枚の小形フィン3の頂部によって仮想的な斜面が形成される。
その後、小形フィン3の起立形成に続いてフィン形成工程に移行し、等しい高さを有する放熱フィン4を形成する。すなわち、図2(E)に示すように、最後に形成された小形フィン3によって形成された被加工面2bよりも上流側の掘り起こし代tが得られる位置から掘り起こし工具5の刃部5aが所定の深さd3に達するまで移動させることにより、所定の高さを有する放熱フィン4が起立形成される。次いで、図2(F)に示すように、掘り起こし工具5を被加工面2bよりも上流側の位置に移動すると共に、所定の深さd3に達するまで移動させる掘り起こし工程を順次繰り返すことにより、複数枚の放熱フィン4が同一角度、かつ、同一間隔に起立形成される。そして、複数枚の放熱フィン4の形成によって、図3及び図4に示すように、金属板2には底面が薄く形成された凹所2cが形成され、両側には内壁2dが形成される。
このフィン形成工程において、掘り起こし工具5によって金属板2に放熱フィン4を起立形成すると、放熱フィン4は、図4に示すように、基端側の板厚が厚く先端に至るに従って漸次薄く形成される。また、図3に示すように、放熱フィン4の基端側は、板厚が厚くなると同時に矢示のように両側方向にも膨出する。このため、放熱フィン4の基端側が内壁2dに圧接的に接合する。この結果、例え放熱フィン4の板厚を0.05mm程度に薄く形成しても、基端側が金属板2に保持されるので、機械的な強度を大きくすることが可能となる。また、放熱フィン4の基端側が金属板2と熱的に接続されるので、放熱効率を高めることが可能となる。
一方、上記小形フィン3とは反対側の放熱フィン4の上流側には、図4に示すように、凹所2cの底面から金属板2の一方面に至る傾斜した被加工面2bが残されている。この被加工面2bであった傾斜面は、放熱面として作用させることができる。また、被加工面2bの後方には、金属板2が有する板厚の鍔部6が形成される。
また、金属板2に形成された複数枚の放熱フィン4の両側には、金属板2が有する板厚の鍔部6が形成される。この鍔部6は、掘り起こし工具5の幅を金属板2の幅よりも狭く設定することにより形成することができる。この結果、図1に示すように、放熱器1に形成される鍔部6は、放熱フィン4と小形フィン3を囲むように形成される。鍔部6は、放熱器1の取り付け、或いは、放熱フィン4の上部に図示しない被冠部材の開口部を面接合すると共に封止して、ヒートポンプやベーパーチャンバー等の液冷熱交換器を構成することができる。
因みに、例えば集積回路のチップ7を、図3及び図4に二点鎖線で示すように放熱器1の放熱フィン4に対応する他方面に設置することにより、集積回路チップ7から発生する熱が金属板2を介し放熱フィン4に伝達し、放熱フィン4の表面から空中に放熱される。このとき、集積回路チップ7は放熱フィン4の中央部に集中することから、小形フィン3の高さが低くても放熱性能には影響しない。また、放熱フィン4の上流側に残された被加工面2bが形成されていても、放熱性能には影響しないことが実験によって明らかにされている。さらに、小形フィン3及び放熱フィン4の基端部が金属板2の一方面に形成された凹所2cから一体に連結され、しかも、凹所2cと金属板2の一方面との間の板厚が薄く形成されていることから、集積回路チップ7から発生する熱が速やかに小形フィン3及び放熱フィン4に伝達するので、放熱効率が高められることも実験によって明らかにされている。
さらに、刃部5aが形成されている底面側の両側をテーパ状、或いは円弧状に形成した掘り起こし工具5を使用すると、凹所2cと内壁2dとの間にテーパ面或いは円弧面が形成される。特に、ヒートポンプやベーパーチャンバー等の液冷熱交換器に上述した放熱器1を使用した場合、冷却媒体となる液体等の流体が、上記テーパ面或いは円弧面によって円滑に流れ、冷却効率を高めることができる。しかも、掘り起こし工具5の底面側両側をテーパ状、或いは円弧状に形成すると、図3に示した例に比較し、放熱フィン4の基端の両側が内壁2dに圧接する圧力が増加するので、各放熱フィン4の間の空間を互いに独立分離することから、上記冷却媒体を各放熱フィン4間に均一に流通させることが可能となる。
図5は、本発明による板状のフィンを有する放熱器の製造方法において、金属板としてフープ状の金属板10を使用した例を示している。フープ状の金属板10は、前述した実施例と同様に、塑性加工が可能であり、しかも熱伝導率が良好な金属素材として、アルミニウムやアルミニウム合金、銅合金あるいはステンレス鋼等の素材が用いられる。
上記フープ状金属板10においても、前述した実施例と同様に複数の小形フィン3に続き複数の放熱フィン4を形成して第1のフィン群11を形成し、所定の間隔のスペース13を隔てて、複数の小形フィン3に続き複数の放熱フィン4を形成して第2のフィン群12を形成し、その後、所定の間隔のスペース13を隔てながら順次フィン群を形成する。その後、複数のフィン群を形成したフープ状金属板10は、上記スペース13を周知の切断手段によって切断し、図1に示すような放熱器1を形成する。なお、1個のフィン群11を形成した後、周知の切断手段によって切断し、フープ状金属板10の一端側よりも離間した一方面にフィン群12を形成するようにしても良い。
このようにフープ状金属板10を使用することにより、大量生産が可能になる。また、同一又は異なる形状のフィン群を2個以上の複数個形成した後に、スペースを切断しても良い。さらに、1個のフィン群を形成した後、次のフィン群を形成するとき、方向を例えば90度変えて第1のフィン群と第2のフィン群のフィン直角にしても良い。
図6は、本発明による板状のフィンを有する放熱器の製造方法において、金属板の中央から複数の小形フィンに続き複数の放熱フィンを形成し、左右に一対のフィン群を形成した第3の実施例を示している。
図6に示す第3の実施例は、前述した図2に示す形成方法と同様に、金属板20の中央の所定位置に掘り起こし工具5の刃部を当接した後に、掘り起こし工具5の刃部5aを所定の角度で金属板20の一方面に食い込ませ、高さが低く肉薄な小形フィン3を起立形成する。その後、掘り起こし工具5の刃部5aが所定の深さに達するまで複数回にわたり小形フィン3を起立形成する。その後、小形フィン3の起立形成に続いてフィン形成工程に移行し、等しい高さを有する複数枚の放熱フィン4を連続して起立形成し、金属板20の一方端20aから所定の距離に達した時点でフィン形成工程が終了する。このとき、金属板20側には傾斜した被加工面20cが形成されている。この結果、金属板20の中央から一方端側20aには、第1のフィン群21が形成される。
次いで、金属板20の中央から他方端側20aに第2のフィン群22を形成する。このとき、掘り起こし工具5は第1のフィン群21を形成したときとは逆向きに設定する。そして、前述した第1のフィン群21を形成したときと同様に、掘り起こし工具5によって高さが低く肉薄な複数の小形フィン3を順次起立形成する。続いてフィン形成工程に移行し、等しい高さを有する複数枚の放熱フィン4を連続して起立形成する。そして、金属板20の他方端20bから所定の距離に達した時点でフィン形成工程を終了させ、金属板20の他方端20b側には傾斜した被加工面20cを形成する。
このように、金属板20に左右に第1及び第2のフィン群21、22を形成すると、これらのフィン群21、22は小形フィン3及び放熱フィン4が形成されるので、互いに向き合うことから、放熱を行う冷却媒体との作用が変化するので、冷却媒体の流れに応じた放熱器を製造することが可能となる。
以上、本発明を実施例に基づいて具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々変更可能であることは言うまでもない。例えば、金属板として、板状の熱伝導率が良好なアルミニウムや銅等の金属素材の他に、加工が施された或いは後加工が施される、例えば、上記金属素材をコアとするプリント配線基板、発光素子等の発熱を放熱するために金属製保持部材、放熱機能を必要とする筐体等の一部に放熱フィンを形成するようにしても良い。また、前述した実施例においては、複数の放熱フィンを金属板の一端に対して平行に形成したが、所定の角度で形成するようにしても良い。さらに、複数のフィン群を形成するとき、第1のフィン群と第2のフィン群を互いに直行させる等、形成角度を適宜に異ならせて形成しても良い。
本発明にかかる板状のフィンを有する放熱器の一例を示す斜視図である。 (A)乃至(F)は、本発明にかかる板状のフィンを形成する工程を示す工程説明図である。 本発明にかかる放熱器を示す正面断面図である。 本発明にかかる放熱器を示す側断面図である。 フープ状金属板に板状のフィンを形成する状態を示す斜視図である。 金属板に左右一対のフィン群を形成した放熱器を示す側断面図である。 従来の放熱器の形成方法を示す要部断面図である。 従来の放熱器の形成方法における問題点を示す説明図である。
符号の説明
1 放熱器
2 金属板
2a 一方端
2b 被加工面
2c 凹所
2d 内壁
3 小型フィン
4 放熱フィン
5 掘り起こし工具
5a 刃部
t 掘り起こし代

Claims (4)

  1. 熱伝導率が良好なアルミニウムや銅等の金属板と、移動方向の先端側に刃部が形成された掘り起こし工具とを備え、上記金属板と上記掘り起こし工具とを所定の角度を有した状態で相対移動させて、上記掘り起こし工具の刃部により上記金属板を掘り下げることにより、板状の放熱フィンを一体に起立形成すると共に、上記放熱フィンの起立形成によって形成された被加工面よりも形成ピッチ分の上流側から、上記金属板と上記掘り起こし工具とを相対移動させ、上記掘り起こし工具により上記金属板を掘り起こすことにより次の板状の上記放熱フィンを一体に起立形成し、以後掘り起こし工程を順次繰り返して上記金属板に複数の上記放熱フィンを連続して形成する放熱器の製造方法であって、
    上記金属板と上記掘り起こし工具とを所定の角度を有した状態で上記金属板の一端側よりも離間した所定位置に上記掘り起こし工具を挿入し、基部が上記金属板に連結した小寸な複数枚の小形フィンを順次形成し、
    上記掘り起こし工具の刃部が所定の深さに達した後は、上記被加工面よりも形成ピッチ分の上流側から上記金属板と上記掘り起こし工具とを相対移動させて板状の上記放熱フィンを一体に起立形成するフィン形成工程を順次繰り返して上記金属板に複数の上記放熱フィンを連続して形成することを特徴とする板状のフィンを有する放熱器の製造方法。
  2. 複数枚の上記小形フィンは、上記金属板の一端側よりも離間した所定位置から上記放熱フィンの位置まで順次高さを大きく形成した請求項1に記載の板状のフィンを有する放熱器の製造方法。
  3. フィン形成工程において、上記掘り起こし工具により上記金属板に上記放熱フィンを起立形成するとき、上記放熱フィンの基端側の板厚が厚く先端に至るに従って漸次薄く形成すると共に上記放熱フィンの少なくとも基端側を両側方向に膨出させ、上記放熱フィンを内壁に接合する請求項1に記載の板状のフィンを有する放熱器の製造方法。
  4. 上記掘り起こし工具の幅は、上記金属板の幅よりも狭く形成され、複数の上記放熱フィンの両側に上記金属板が有する板厚の鍔部が形成される請求項1または2のいずれかに記載の板状のフィンを有する放熱器の製造方法。
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