JP2009031808A - Exposure apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、基板上にマスクのパターンを露光転写する露光装置に関し、特に、例えば液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等の大型のフラットパネルディスプレイ等の基板上にマスクのパターンを近接(プロキシミティ)露光転写するのに好適な近接露光装置に関する。 The present invention relates to an exposure apparatus that exposes and transfers a mask pattern onto a substrate, and in particular, performs proximity exposure transfer of a mask pattern onto a substrate such as a large flat panel display such as a liquid crystal display or a plasma display. The present invention relates to a proximity exposure apparatus suitable for the above.
近接露光は、被露光材としての基板を近接露光装置の基板保持部に保持すると共に、該基板をマスクステージのマスク保持部に保持されたマスクに接近させて両者のすき間を例えば数10μm〜数100μmにし、次いで、マスクの基板から離間する側から照射装置によって露光用の光をマスクに向けて照射することにより該基板上に該マスクに描かれたパターンを露光転写するようにしたものである。 In the proximity exposure, the substrate as an exposure material is held by the substrate holding unit of the proximity exposure apparatus, and the substrate is brought close to the mask held by the mask holding unit of the mask stage so that a gap between both is several tens of μm to several Then, the pattern drawn on the mask is exposed and transferred onto the substrate by irradiating the exposure light toward the mask with an irradiation device from the side away from the substrate of the mask. .
上記従来の露光装置においては、一枚のマスクに対して一箇所の基板保持部で基板を保持して露光を行うことから、露光の効率化を図るためには、複数台の露光装置を設置する必要があるが、複数台の露光装置を設置すると、露光装置は高価なため、装置コストが高騰してしまう。
本発明はこのような不都合を解消するためになされたものであり、露光の高能率化を図ることができると共に、装置コストの低減を図ることができる露光装置を提供することを目的とする。
In the above conventional exposure apparatus, exposure is performed by holding the substrate with one substrate holding part for one mask, so in order to improve the exposure efficiency, multiple exposure apparatuses are installed. However, if a plurality of exposure apparatuses are installed, the exposure apparatus is expensive, and the apparatus cost increases.
The present invention has been made in order to eliminate such inconveniences, and it is an object of the present invention to provide an exposure apparatus capable of improving the efficiency of exposure and reducing the cost of the apparatus.
上記目的を達成するために、請求項1に係る発明は、被露光材としての基板を保持する基板保持部と、露光すべきパターンを有するマスクをマスク保持部を介して保持するマスクステージと、前記マスクのパターンを前記基板に露光転写すべく露光用の光を前記マスクに向けて照射する照射手段と備えた露光装置において、前記基板保持部を複数箇所配置すると共に、複数の前記基板保持部を個別に露光位置に配置すべく前記マスクに対して相対移動させる移動手段と、複数の前記基板保持部の内のいずれかが前記露光配置に配置されたときに、該露光位置に配置されてない前記基板保持部に対して前記基板を搬入、搬出する基板搬送部とを備え、前記移動手段は、複数の前記基板保持部を搭載する移動テーブルと、該移動テーブルを移動可能に支持する案内軸と、前記移動テーブルを前記案内軸に沿って移動させる駆動制御手段とを有し、前記基板搬送部は、基板のプリアライメントを行うプリアライメント装置と、該プリアライメント装置でプリアライメントを終了した後の基板を前記基板保持部に搬入すると共に、露光終了後の基板を前記基板保持部から搬出する基板ローダとを備えていることを特徴とする。 In order to achieve the above object, an invention according to claim 1 includes a substrate holding unit that holds a substrate as a material to be exposed, a mask stage that holds a mask having a pattern to be exposed through the mask holding unit, and In an exposure apparatus provided with irradiation means for irradiating exposure light toward the mask to expose and transfer the pattern of the mask onto the substrate, a plurality of the substrate holding portions are arranged and a plurality of the substrate holding portions And a moving means for moving the substrate relative to the mask individually to be placed at the exposure position, and when any one of the plurality of substrate holders is placed at the exposure position, A substrate transfer unit that carries the substrate into and out of the non-substrate holding unit, and the moving means includes a moving table on which the plurality of substrate holding units are mounted, and the moving table is movable. And a drive control means for moving the moving table along the guide shaft. The substrate transport unit includes a pre-alignment device that pre-aligns the substrate, and a pre-alignment device that performs pre-alignment. A substrate loader is provided for loading the substrate after completion of alignment into the substrate holding portion and unloading the substrate after completion of exposure from the substrate holding portion.
また、請求項2に係る発明は、被露光材としての基板を保持する基板保持部と、露光すべきパターンを有するマスクをマスク保持部を介して保持するマスクステージと、前記マスクのパターンを前記基板に露光転写すべく露光用の光を前記マスクに向けて照射する照射手段と備えた露光装置において、前記基板保持部を複数箇所配置すると共に、複数の前記基板保持部を個別に露光位置に配置すべく前記マスクに対して相対移動させる移動手段と、複数の前記基板保持部の内のいずれかが前記露光配置に配置されたときに、該露光位置に配置されてない前記基板保持部に対して前記基板を搬入、搬出する基板搬送部とを備え、前記移動手段は、複数の前記基板保持部を搭載する移動テーブルと、該移動テーブルを移動可能に支持する案内軸と、前記移動テーブルを前記案内軸に沿って移動させる駆動制御手段とを有し、前記案内軸をベース上に形成し、当該ベースを前記移動テーブル毎に分解して輸送可能とするように分割し前記基板搬送部は、基板のプリアライメントを行うプリアライメント装置と、該プリアライメント装置でプリアライメントを終了した後の基板を前記基板保持部に搬入すると共に、露光終了後の基板を前記基板保持部から搬出する基板ローダとを備えていることを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, there is provided a substrate holding unit that holds a substrate as an exposed material, a mask stage that holds a mask having a pattern to be exposed through the mask holding unit, and a pattern of the mask. In an exposure apparatus provided with an irradiation means for irradiating exposure light toward the mask for exposure transfer onto a substrate, the substrate holding portions are arranged at a plurality of locations, and the plurality of substrate holding portions are individually placed at exposure positions. A moving means that moves relative to the mask to be arranged, and when any one of the plurality of substrate holding portions is arranged in the exposure arrangement, the substrate holding portion that is not arranged in the exposure position. A substrate transport unit that carries the substrate in and out, and the moving unit includes a moving table on which the plurality of substrate holding units are mounted, and a guide shaft that movably supports the moving table. Drive control means for moving the moving table along the guide shaft, the guide shaft is formed on a base, and the base is divided for each moving table so as to be transportable and divided. The substrate transport unit carries a pre-alignment apparatus that performs pre-alignment of the substrate, and a substrate after completion of pre-alignment by the pre-alignment device to the substrate holding unit, and the substrate after the exposure from the substrate holding unit. And a substrate loader to be carried out.
さらに、請求項3に係る発明は、被露光材としての基板を保持する基板保持部と、露光すべきパターンを有するマスクをマスク保持部を介して保持するマスクステージと、前記マスクのパターンを前記基板に露光転写すべく露光用の光を前記マスクに向けて照射する照射手段と備えた露光装置において、前記基板保持部を複数箇所配置すると共に、複数の前記基板保持部を個別に露光位置に配置すべく前記マスクに対して相対移動させる移動手段と、複数の前記基板保持部の内のいずれかが前記露光配置に配置されたときに、該露光位置に配置されてない前記基板保持部に対して前記基板を搬入、搬出する基板搬送部とを備え、前記移動手段は、複数の前記基板保持部を搭載する移動テーブルと、該移動テーブルを移動可能に支持する案内軸と、前記移動テーブルを前記案内軸に沿って移動させる駆動制御手段とを有し、前記案内軸をベース上に形成し、当該ベースを前記移動テーブル毎に分解して輸送可能とするように分割するとともに、分割した前記ベースの組み立て時に上面の高さが一致するように平面度を調整し、且つ前記基板搬送部は、基板のプリアライメントを行うプリアライメント装置と、該プリアライメント装置でプリアライメントを終了した後の基板を前記基板保持部に搬入すると共に、露光終了後の基板を前記基板保持部から搬出する基板ローダとを備えていることを特徴とする。
Furthermore, the invention according to
本発明によれば、複数の基板保持部の内のいずれかが露光配置に配置されたときに、露光位置に配置されてない基板保持部に対して基板搬送部によって基板を搬入、搬出することで、従来の一台の露光装置で複数枚の基板に露光を行う場合に比べて、基板の搬入、搬出に要する時間が大幅に削減されて露光の高能率化を図ることができ、しかも、従来の露光装置を複数台設置する場合に比べて、高価な露光光学系やマスクステージ等が一台分で足りるため、装置コストの低減を図ることができる。 According to the present invention, when any of the plurality of substrate holding units is arranged in the exposure arrangement, the substrate carrying unit carries the substrate in and out of the substrate holding unit not arranged in the exposure position. Thus, compared to the case of exposing a plurality of substrates with a single conventional exposure apparatus, the time required for loading and unloading the substrate can be greatly reduced, and the efficiency of exposure can be improved. Compared with the case where a plurality of conventional exposure apparatuses are installed, an expensive exposure optical system, a mask stage, etc. are sufficient for one, so that the apparatus cost can be reduced.
しかも、基板搬送部を、基板のプリアライメントを行うプリアライメント装置と、該プリアライメント装置でプリアライメントを終了した後の基板を前記基板保持部に搬入すると共に、露光終了後の基板を前記基板保持部から搬出する基板ローダとで構成したので、基板保持部とは別のプリアライメント装置で基板のプリアライメントを行うことができる。
また、移動テーブルを案内する案内軸をベースに形成し、このベースを移動テーブルごとに分解して輸送可能とするように分割することにより、移動テーブル毎に分解して輸送することができる。
In addition, the substrate transport unit carries the pre-alignment device that performs pre-alignment of the substrate and the substrate after pre-alignment by the pre-alignment device into the substrate holding unit, and holds the substrate after completion of exposure to the substrate Since the substrate loader is carried out from the unit, the substrate can be pre-aligned by a pre-alignment apparatus different from the substrate holding unit.
Further, by forming a guide shaft for guiding the moving table as a base and dividing the base so that the moving table can be disassembled and transportable, the moving table can be disassembled and transported.
以下、本発明の実施の形態の一例を図を参照して説明する。図1は本発明の第1の実施の形態である近接露光装置を説明するための平面図、図2は図1のY軸方向から見た図、図3は本発明の第2の実施の形態である近接露光装置を説明するための平面図、図4はリニアモータ部の詳細断面図、図5は分割位置での連結構造を示す一部を破断した図、図6は本発明の第3の実施の形態である近接露光装置を説明するための平面図である。 Hereinafter, an example of an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view for explaining a proximity exposure apparatus according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a view seen from the Y-axis direction of FIG. 1, and FIG. 3 is a second embodiment of the present invention. FIG. 4 is a detailed cross-sectional view of the linear motor unit, FIG. 5 is a partially broken view showing the connection structure at the dividing position, and FIG. It is a top view for demonstrating the proximity exposure apparatus which is 3rd Embodiment.
本発明の第1の実施の形態である近接露光装置は、図1及び図2に示すように、被露光材としての基板Wを保持する基板保持部1を上面に有する基板ステージ2を搭載したX軸移動テーブル3と、露光すべきパターンを有するマスクMをマスク保持部4を介して保持するマスクステージ5と、マスクMのパターンを基板Wに露光転写すべく露光用の光をマスクMに向けて照射する照射装置6と備える。
As shown in FIGS. 1 and 2, the proximity exposure apparatus according to the first embodiment of the present invention is equipped with a
X軸移動テーブル3は、この実施の形態では、マスクステージ5のX軸方向の両側にそれぞれ1台ずつ、合計2台配置されており、それぞれ裏面にリニアガイド装置のスライダ(図示せず)が取り付けられ、該スライダはX軸方向に長い長方形状のベース7上にX軸方向に沿って平行に設置された2本の案内レール(案内軸)8に転動体(図示せず)を介して跨架されている。これにより、2台のX軸移動テーブル3が、2本の案内レール8にX軸方向に沿って移動可能に支持されている。
In this embodiment, two X-axis moving tables 3 are arranged on each side of the
また、X軸移動テーブル3と基板ステージ2との間には、基板ステージ2の単純な上下動作を行うことにより該基板ステージ2を予め設定した位置までマスクMと基板Wとのすき間の計測を行うことなく昇降させる上下粗動装置(図示せず)と、基板ステージ2を上下に微動させてマスクMと基板Wとの対向面間のすき間を所定量に微調整する上下微動装置(図示せず)が設置されている。
Further, between the X-axis moving table 3 and the
ベース7の一方の長辺側には、マスクステージ5のマスク保持部4に対してマスクMを搬入、搬出するためのマスクローダ9が設置され、他方の長辺側には、各X軸移動テーブル3毎にそれぞれ基板ステージ2上の基板保持部1に対して基板Wを搬入、搬出するための2台の基板ローダ(基板搬送部)10が設置されている。また、基板ローダ10の隣接する位置には、基板Wのプリアライメント装置11が設置されている。
On one long side of the
なお、X軸移動テーブル3を案内レール8に沿って移動させる駆動制御手段としては、例えば、ボールねじ装置、該ボールねじ装置のねじ軸を回転駆動するモータ及び該モータを制御する制御装置の組合せや、リニアモータと該リニアモータを制御する制御装置の組合せ等を用いることができる。
ボールねじ装置を使用する場合、左右のX軸移動テーブル3のそれぞれに対応してモータ、ボールねじ装置等、X軸移動テーブル3の移動に必要な構成を設けることにより、それぞれ独立に駆動可能とする。リニアモータを使用する場合は、ベース7側に配設されるリニアモータのステータは両X軸移動テーブル3で共用することができ、リニアモータの可動子はそれぞれのX軸移動テーブル3の下面に一組ずつ設けることにより、それぞれ独立に駆動可能とするのが好ましい。
The drive control means for moving the X-axis moving table 3 along the
When a ball screw device is used, each of the left and right X-axis moving tables 3 can be driven independently by providing a configuration necessary for moving the X-axis moving table 3 such as a motor and a ball screw device. To do. When a linear motor is used, the stator of the linear motor arranged on the
ここで、駆動制御手段は、各X軸移動テーブル3の基板保持部1に保持された基板Wを個別に露光位置Pに配置すべく、各X軸移動テーブル3の案内レール8に沿ったX軸方向の移動を独立に制御すると共に、露光位置Pにある基板保持部1を前記マスクに対してX軸方向にステップ移動させるようにX軸移動テーブル3の移動を制御する。
そして、2台のX軸移動テーブル3の内の一方が露光配置Pに配置されたときに、該露光位置Pに配置されてない他方のX軸移動テーブル3の基板保持部1に対して基板ローダ10による基板Wの搬入又は搬出が行われる。
Here, the drive control means is configured to arrange X along the
When one of the two X-axis movement tables 3 is arranged in the exposure arrangement P, the substrate is relative to the substrate holder 1 of the other X-axis movement table 3 not arranged in the exposure position P. The
次に、作動を説明する。なお、ここでは、X軸方向に2ステップ露光を行う場合を例に採る。また、左側のX軸移動テーブル3の基板保持部1には、プリアライメント装置11でプリアライメントがなされた基板Wが基板ローダ10によって搬入されて該基板保持部1の真空吸着部等に保持されているものとする。
まず、図1及び図2において、左側のX軸移動テーブル3を駆動制御手段によってマスクM下方の1ショット目の露光位置PまでX軸方向に沿って移動させて該X軸移動テーブル3上の基板保持部1に保持された基板WをマスクMに対向配置し、次に、露光制御装置(図示せず)が、図示しないアライメント調整機構、上下粗動装置及び上下微動装置等によりマスクMと基板Wとの位置合わせ(アライメント)及びマスクMの下面と基板Wの上面とのギャップ調整を行い、次に、前記位置合わせができ、且つすき間量が目標値になった状態で照射装置6から1ショット目の露光用の光をマスクMに向けて照射して該マスクMのパターンを基板に露光転写する。
Next, the operation will be described. Here, a case where two-step exposure is performed in the X-axis direction is taken as an example. In addition, the substrate W that has been pre-aligned by the
First, in FIG. 1 and FIG. 2, the left X-axis movement table 3 is moved along the X-axis direction to the exposure position P of the first shot below the mask M by the drive control means. The substrate W held on the substrate holding unit 1 is placed opposite to the mask M, and then an exposure control device (not shown) is connected to the mask M by an alignment adjustment mechanism, a vertical coarse motion device, a vertical fine motion device, etc. (not shown). The alignment (alignment) with the substrate W and the gap adjustment between the lower surface of the mask M and the upper surface of the substrate W are performed, and then the alignment can be performed and the
露光後、露光制御装置によって上下粗動装置を制御して基板ステージ2を下降させてマスクMの下面と基板Wの上面とのすき間量を一定量拡大し、この状態で、駆動制御手段によって左側のX軸移動テーブル3をマスクMに対して1ステップ量だけ送り、基板ステージ2上の基板Wを2ショット目の露光位置Pに配置する。
その後、露光制御装置が、上記1ショット目の場合と同様に、マスクMと基板Wとの位置合わせ(アライメント)及びギャップ調整を行い、次に、前記すき間量が目標値になった状態で照射装置6から2ショット目の露光用の光をマスクMに向けて照射して該マスクMのパターンを基板Wに露光転写する。
After the exposure, the vertical controller is controlled by the exposure control device to lower the
Thereafter, as in the case of the first shot, the exposure control apparatus performs alignment (alignment) and gap adjustment between the mask M and the substrate W, and then performs irradiation with the gap amount at the target value. The exposure light for the second shot is irradiated from the
このように、左側の基板保持部1に保持された基板Wの露光が行われている間に、右側のプリアライメント装置11によってプリアライメントされた次に露光を行う基板Wが、右側の基板ローダ10により右側の基板保持部1に搬入、保持される。
露光後、露光制御装置は基板ステージを下降させるように上下粗動装置を制御してマスクMの下面と基板Wの上面とのすき間量を一定量拡大し、この状態で、駆動制御手段によって左側のX軸移動テーブル3をX軸方向の左側に移動させて元の位置(搬入、搬出位置)に復帰させると共に、右側のX軸移動テーブル3をマスクM下方の1ショット目の露光位置PまでX軸方向に沿って移動させて該X軸移動テーブル3上の基板保持部1に保持された基板WをマスクMに対向配置し、上記同様の工程で右側の基板保持部1に保持された基板Wのステップ露光を行う。
In this way, while the exposure of the substrate W held by the left substrate holding unit 1 is being performed, the substrate W to be exposed next after being pre-aligned by the right
After the exposure, the exposure control device controls the vertical coarse motion device so as to lower the substrate stage to increase the gap amount between the lower surface of the mask M and the upper surface of the substrate W by a certain amount. The X-axis moving table 3 is moved to the left side in the X-axis direction to return to the original position (loading / unloading position), and the right-side X-axis moving table 3 is moved to the exposure position P of the first shot below the mask M. The substrate W moved in the X-axis direction and held on the substrate holding unit 1 on the X-axis moving table 3 is arranged to face the mask M, and held on the right substrate holding unit 1 in the same process as described above. Step exposure of the substrate W is performed.
また、この右側の基板保持部1に保持された基板Wの露光が行われている間に、元の位置に復帰した左側のX軸移動テーブル3に保持された基板Wは左側の基板保持部1による保持が解除された後、左側の基板ローダ10によって例えば図示しない収納部へ搬出されると共に、左側のプリアライメント装置11によってプリアライメントされた新たな基板Wが左側の基板ローダ10によって左側の基板保持部1まで搬入されて該基板保持部1に吸着保持され、次の露光まで(右側のX軸移動テーブル3の基板Wの露光が終了するまで)待機する。
Further, while the exposure of the substrate W held on the right substrate holding portion 1 is being performed, the substrate W held on the left X-axis moving table 3 that has returned to the original position is the left substrate holding portion. After the holding by 1 is released, the
以下、同様にして、左右の基板保持部1に保持された基板Wへの転写露光が交互に繰り返される。
このようにこの実施の形態では、各X軸移動テーブル3に搭載された二箇所の基板保持部1の内の一方がマスクM下方の露光配置Pに配置されて露光工程が実行されている間に、該露光位置Pに配置されてない基板保持部1に対して基板ローダ10によって基板Wを搬入、搬出するようにしているので、従来の一台の露光装置で複数枚の基板Wに露光を行う場合に比べて、基板Wの搬入、搬出に要する時間を大幅に削減することができ、露光の高能率化を図ることができると共に、従来の露光装置を複数台設置する場合に比べて、高価な露光光学系やマスクステージ等が一台分で足りるため、装置コストの低減を図ることができる。
Thereafter, similarly, the transfer exposure to the substrate W held by the left and right substrate holders 1 is repeated alternately.
Thus, in this embodiment, while one of the two substrate holders 1 mounted on each X-axis moving table 3 is arranged in the exposure arrangement P below the mask M and the exposure process is executed. In addition, since the
次に、図3〜図5を参照して、本発明の第2の実施の形態である近接露光装置について説明する。なお、上記第1の実施の形態と重複或いは相当する部分については、各図に同一符号を付してその説明を省略する。
本発明の第2の実施の形態である近接露光装置は、図3に示すように、二台のX軸移動テーブル3の間でベース7を分割したものであり、この実施の形態では、案内レール8を各X軸移動テーブル3毎に専用に平行配置し、左側のX軸移動テーブル3専用の案内レール8をベース7上にX軸方向に沿って2本平行に設置すると共に、右側のX軸移動テーブル3専用の案内レール8を左側のX軸移動テーブル3専用の2本の案内レール8の外側に位置させてベース7上にX軸方向に沿って2本平行に設置し、各X軸移動テーブル3の専用の案内レール8の間でベース7を分割している。
Next, a proximity exposure apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In addition, about the part which overlaps with the said 1st Embodiment or it corresponds, the same code | symbol is attached | subjected to each figure and the description is abbreviate | omitted.
In the proximity exposure apparatus according to the second embodiment of the present invention, as shown in FIG. 3, a
また、この実施の形態では、図5に示すように、ベース7の分割部分はボルト12によって連結されるが、この場合、両側のベース7の上面の高さが一致するようにスペーサ13等を介装して平面度を調整している。なお、ベース7の分割部分の連結は必ずしも必要ではなく、連結しないことで、各X軸移動テーブル3の動作によって各X軸移動テーブル3間で伝達される振動を抑制させるようにしてもよい。
Further, in this embodiment, as shown in FIG. 5, the divided portions of the
更に、この実施の形態では、図4に示すように、駆動制御手段として、リニアモータ14と該リニアモータ14を制御する制御装置(図示せず)の組合せを採用しており、このリニアモータ14は、ベース7の略中央部にX軸方向に沿って形成された溝15の両側壁に取り付けられたステータとしての複数の永久磁石16と、各X軸移動テーブル3の裏面にX軸方向に沿って設けられた凸条18の両側面に取り付けられた複数の電機子17とを備えており、電機子17への電流を適宜制御することで、各X軸移動テーブル3にX軸方向の推力が付与されるようになっている。なお、リニアモータ14の構成としては、これに限らず、例えば、ベース7側にステータとしての電機子を配し、各X軸移動テーブル3の側に永久磁石を配するようにしてもよい。
Furthermore, in this embodiment, as shown in FIG. 4, a combination of a
このようにこの実施の形態では、各X軸移動テーブル3間でベース7を分割しているので、複数台のX軸移動テーブル3を設置して大型化した装置を各X軸移動テーブル3毎に分解して輸送することができる。例えば、図3に示すように組み込んだ場合での全長が輸送用のコンテナに収容不可能である場合も、分割した個々のX軸移動テーブル3の長さをコンテナに収容可能な長さに設定することにより、輸送可能とできる。
As described above, in this embodiment, since the
また、案内レール8を各X軸移動テーブル3毎に専用に平行配置して、各X軸移動テーブル3の専用の案内レール8の間でベース7を分割しているので、案内レール8を切断しないで済むことになり、この結果、案内レール8の切断面同士の面倒な位置合わせ作業を不要にすることができる。リニアモータのステータ側は分割されることになるが、段差や水平方向のずれが極めて小さくなるように調整する必要のある案内レール8の場合と比べると、分割部分での段差等の影響は小さくて済む。即ち、リニアモータのステータは分割されても問題ない。その他の構成及び作用効果は上記第1の実施の形態と同様である。
Further, the
次に、図6を参照して、本発明の第3の実施の形態である近接露光装置について説明する。なお、上記第1の実施の形態と重複或いは相当する部分については、図に同一符号を付してその説明を省略する。
本発明の第3の実施の形態である近接露光装置は、図6に示すように、各X軸移動テーブル3の上にY軸移動テーブル20を配置し、該Y軸移動テーブル20上に被露光材としての基板Wを保持する基板保持部1を上面に有する基板ステージ2を搭載するようにしたものである。
Next, with reference to FIG. 6, the proximity exposure apparatus which is the 3rd Embodiment of this invention is demonstrated. Note that parts that are the same as or equivalent to those in the first embodiment are given the same reference numerals in the drawings, and descriptions thereof are omitted.
In the proximity exposure apparatus according to the third embodiment of the present invention, as shown in FIG. 6, a Y-axis movement table 20 is arranged on each X-axis movement table 3, and the Y-axis movement table 20 is covered. A
Y軸移動テーブル20の裏面にはリニアガイド装置のスライダ(図示せず)が取り付けられ、該スライダはX軸移動テーブル3上にY軸方向に沿って平行に設置された4本の案内レール(案内軸)8に転動体(図示せず)を介して跨架されている。これにより、Y軸移動テーブル20が、X軸移動テーブル3上の4本の案内レール8にY軸方向に沿って移動可能に支持されている。
A slider (not shown) of a linear guide device is attached to the back surface of the Y-axis moving table 20, and the slider is arranged on four guide rails (parallel to the Y-axis direction) on the X-axis moving table 3 ( It is straddled on a
また、Y軸移動テーブル20と基板ステージ2との間には、基板ステージ2の単純な上下動作を行うことにより該基板ステージ2を予め設定した位置までマスクMと基板Wとのすき間の計測を行うことなく昇降させる上下粗動装置(図示せず)と、基板ステージ2を上下に微動させてマスクMと基板Wとの対向面間のすき間を所定量に微調整する上下微動装置(図示せず)が設置されている。
Further, between the Y-axis moving table 20 and the
ここで、この実施の形態では、Y軸移動テーブル20をステップ送り専用の駆動制御手段(例えば、ボールねじ装置、該ボールねじ装置のねじ軸を回転駆動するモータ及び該モータを制御する制御装置の組合せや、リニアモータと該リニアモータを制御する制御装置の組合せ等)によってY軸方向にステップ移動できるようにしており、これにより、基板ステージ2のX軸及びY軸の2軸のステップ移動を可能にしている。その他の構成及び作用効果は上記第1及び第2の実施の形態と同様である。
なお、本発明は上記各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。
Here, in this embodiment, the Y-axis moving table 20 is driven by a step-only drive control means (for example, a ball screw device, a motor for rotating the screw shaft of the ball screw device, and a control device for controlling the motor) Or a combination of a linear motor and a control device that controls the linear motor), and the step movement of the X axis and the Y axis of the
The present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be appropriately changed without departing from the gist of the present invention.
例えば、上記各実施の形態では、X軸移動テーブル3を複数台配置して各X軸移動テーブル3に基板保持部1を有する基板ステージ2を搭載した場合を例に採ったが、X軸方向のステップ送りを伴わない露光を行う場合や、X軸移動テーブル3上に、別途、それぞれの基板ステージ2のX軸方向ステップ送りのための駆動制御手段を個々に設けるようにした場合は、必ずしもこのようにする必要はなく、X軸方向に長い一台のX軸移動テーブル上に基板保持部1を有する2台の基板ステージ2を互いにX軸方向に離間配置して搭載するようにしてもよい。
For example, in each of the above embodiments, the case where a plurality of X-axis movement tables 3 are arranged and the
また、上記各実施の形態では、各X軸移動テーブル3毎に基板ローダ10とプリアライメント装置11を設置した場合を例に採ったが、これに代えて、基板ローダ10をX軸方向に沿って移動可能にして一台で済ませるようにしてもよく、この場合、プリアライメント装置11についても一台にしてもよい。
更に、上記各実施の形態では、基板ステージ2をマスクMに対してステップ移動させて各ステップ毎にパターン露光用の光をマスクMに向けて照射する場合を例に採ったが、これに限定されず、ステップ動作を伴わない一括露光方式の場合にも本発明を適用してもよいのは勿論である。
更に、X軸移動テーブル3等の案内を転がり式の案内装置により行うようにしているが、静圧案内等の他の方式でもよい。
Further, in each of the above embodiments, the case where the
Further, in each of the above embodiments, the
Further, the guide of the X-axis moving table 3 or the like is performed by a rolling guide device, but other methods such as a static pressure guide may be used.
W…基板
M…マスク
1…基板保持部
3…X軸移動テーブル
4…マスク保持部
5…マスクステージ
6…照射装置(照射手段)
7…ベース
8…案内レール(案内軸)
10…基板ローダ(基板搬送部)
11…プリアライメント装置
W ... Substrate M ... Mask 1 ...
7 ...
10 ... Substrate loader (substrate transport unit)
11. Pre-alignment device
Claims (3)
前記基板保持部を複数箇所配置すると共に、複数の前記基板保持部を個別に露光位置に配置すべく前記マスクに対して相対移動させる移動手段と、複数の前記基板保持部の内のいずれかが前記露光配置に配置されたときに、該露光位置に配置されてない前記基板保持部に対して前記基板を搬入、搬出する基板搬送部とを備え、
前記移動手段は、複数の前記基板保持部を搭載する移動テーブルと、該移動テーブルを移動可能に支持する案内軸と、前記移動テーブルを前記案内軸に沿って移動させる駆動制御手段とを有し、
前記基板搬送部は、基板のプリアライメントを行うプリアライメント装置と、該プリアライメント装置でプリアライメントを終了した後の基板を前記基板保持部に搬入すると共に、露光終了後の基板を前記基板保持部から搬出する基板ローダとを備えていることを特徴とする露光装置。 A substrate holding unit for holding a substrate as an exposed material; a mask stage for holding a mask having a pattern to be exposed through the mask holding unit; and exposure light for exposing and transferring the mask pattern to the substrate. In an exposure apparatus comprising irradiation means for irradiating the mask toward the mask,
A plurality of the substrate holding portions are arranged, and a moving means for moving the substrate holding portions relative to the mask to individually place the plurality of substrate holding portions at exposure positions, and any one of the plurality of substrate holding portions. A substrate transfer unit that carries the substrate into and out of the substrate holding unit that is not arranged at the exposure position when arranged in the exposure arrangement;
The moving means includes a moving table on which the plurality of substrate holding units are mounted, a guide shaft that movably supports the moving table, and drive control means that moves the moving table along the guide axis. ,
The substrate transport unit carries a pre-alignment device that performs pre-alignment of the substrate, a substrate after pre-alignment by the pre-alignment device is carried into the substrate holding unit, and the substrate after exposure is transferred to the substrate holding unit. An exposure apparatus comprising: a substrate loader that is unloaded from the substrate.
前記基板保持部を複数箇所配置すると共に、複数の前記基板保持部を個別に露光位置に配置すべく前記マスクに対して相対移動させる移動手段と、複数の前記基板保持部の内のいずれかが前記露光配置に配置されたときに、該露光位置に配置されてない前記基板保持部に対して前記基板を搬入、搬出する基板搬送部とを備え、
前記移動手段は、複数の前記基板保持部を搭載する移動テーブルと、該移動テーブルを移動可能に支持する案内軸と、前記移動テーブルを前記案内軸に沿って移動させる駆動制御手段とを有し、
前記案内軸をベース上に形成し、当該ベースを前記移動テーブル毎に分解して輸送可能とするように分割し
前記基板搬送部は、基板のプリアライメントを行うプリアライメント装置と、該プリアライメント装置でプリアライメントを終了した後の基板を前記基板保持部に搬入すると共に、露光終了後の基板を前記基板保持部から搬出する基板ローダとを備えていることを特徴とする露光装置。 A substrate holding unit for holding a substrate as an exposed material; a mask stage for holding a mask having a pattern to be exposed through the mask holding unit; and exposure light for exposing and transferring the mask pattern to the substrate. In an exposure apparatus comprising irradiation means for irradiating the mask toward the mask,
A plurality of the substrate holding portions are arranged, and a moving means for moving the substrate holding portions relative to the mask to individually place the plurality of substrate holding portions at exposure positions, and any one of the plurality of substrate holding portions. A substrate transfer unit that carries the substrate into and out of the substrate holding unit that is not arranged at the exposure position when arranged in the exposure arrangement;
The moving means includes a moving table on which the plurality of substrate holding units are mounted, a guide shaft that movably supports the moving table, and drive control means that moves the moving table along the guide axis. ,
The guide shaft is formed on a base, the base is disassembled so as to be disassembled and transportable for each moving table, the substrate transport unit includes a pre-alignment device that performs pre-alignment of the substrate, and the pre-alignment device An exposure apparatus comprising: a substrate loader that carries the substrate after completion of pre-alignment into the substrate holding unit and unloads the substrate after completion of exposure from the substrate holding unit.
前記基板保持部を複数箇所配置すると共に、複数の前記基板保持部を個別に露光位置に配置すべく前記マスクに対して相対移動させる移動手段と、複数の前記基板保持部の内のいずれかが前記露光配置に配置されたときに、該露光位置に配置されてない前記基板保持部に対して前記基板を搬入、搬出する基板搬送部とを備え、
前記移動手段は、複数の前記基板保持部を搭載する移動テーブルと、該移動テーブルを移動可能に支持する案内軸と、前記移動テーブルを前記案内軸に沿って移動させる駆動制御手段とを有し、
前記案内軸をベース上に形成し、当該ベースを前記移動テーブル毎に分解して輸送可能とするように分割するとともに、分割した前記ベースの組み立て時に上面の高さが一致するように平面度を調整し、且つ
前記基板搬送部は、基板のプリアライメントを行うプリアライメント装置と、該プリアライメント装置でプリアライメントを終了した後の基板を前記基板保持部に搬入すると共に、露光終了後の基板を前記基板保持部から搬出する基板ローダとを備えていることを特徴とする露光装置。 A substrate holding unit for holding a substrate as an exposed material; a mask stage for holding a mask having a pattern to be exposed through the mask holding unit; and exposure light for exposing and transferring the mask pattern to the substrate. In an exposure apparatus comprising irradiation means for irradiating the mask toward the mask,
A plurality of the substrate holding portions are arranged, and a moving means for moving the substrate holding portions relative to the mask to individually place the plurality of substrate holding portions at exposure positions, and any one of the plurality of substrate holding portions. A substrate transfer unit that carries the substrate into and out of the substrate holding unit that is not arranged at the exposure position when arranged in the exposure arrangement;
The moving means includes a moving table on which the plurality of substrate holding units are mounted, a guide shaft that movably supports the moving table, and drive control means that moves the moving table along the guide axis. ,
The guide shaft is formed on the base, and the base is divided so as to be disassembled and transportable for each moving table, and the flatness is adjusted so that the height of the upper surface coincides when the divided base is assembled. The substrate transport unit adjusts the pre-alignment device that performs pre-alignment of the substrate, and carries the substrate after completion of the pre-alignment by the pre-alignment device to the substrate holding unit, and the substrate after the exposure is completed. An exposure apparatus comprising: a substrate loader carried out from the substrate holder.
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