JP2009015945A - Magnetic disk and magnetic disk unit - Google Patents

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Nobuyuki Kanto
信之 神頭
Masakazu Taguchi
雅一 田口
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a high recording density without any inconvenience for a magnetic disk having a structure of a recording layer whose recording magnetic section for data tracks is physically separated by a non recording section. <P>SOLUTION: The magnetic disk 1 comprises the recording layer 13 in a double-layer structure made by laminating a lower recording layer 131 and an upper recording layer 132 while the lower recording layer 131 and the upper recording layer 132 have recording magnetic sections 131A and 132A formed to make concentric data tracks along the disk circumferential direction and non-recording sections 131B and 132B formed to physically separate the recording magnetic sections 131A and 132A adjacent in the disk radial direction. The recording magnetic section 132A formed on the upper recording layer 132 is disposed away from the recording magnetic section 131A formed on the lower recording layer 131 in the disk radial direction without overlapping in the disk in-plane direction. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、ハードディスクなどの記憶装置を構成するための磁気ディスク、およびこの磁気ディスクを備えた磁気ディスク装置に関する。   The present invention relates to a magnetic disk for configuring a storage device such as a hard disk, and a magnetic disk device including the magnetic disk.

ハードディスクなどの記憶装置を構成するための記録媒体として、磁気ディスク(磁気記録媒体)が知られている。磁気ディスクは、ディスク基板と所定の磁性構造を有する記録層とを含む積層構造を有する。コンピュータシステムにおける情報処理量の増大に伴い、磁気ディスクについては高記録密度化ないし大容量化の要求が高まっている。   A magnetic disk (magnetic recording medium) is known as a recording medium for configuring a storage device such as a hard disk. The magnetic disk has a laminated structure including a disk substrate and a recording layer having a predetermined magnetic structure. With increasing amount of information processing in computer systems, there is an increasing demand for higher recording density or larger capacity for magnetic disks.

磁気ディスクへのデータ記録に際しては、磁気ディスクの記録面に対して記録用の磁気ヘッドが近接配置(浮上配置)され、当該磁気ヘッドにより、記録層に対し、その保磁力より強い記録磁界が印加される。磁気ディスクに対して磁気ヘッドを相対移動させつつ磁気ヘッドからの記録磁界の向きを順次反転させることにより、記録層のデータ記録領域において、磁化方向が順次反転する複数の記録マーク(磁区)がディスク周方向に連なって形成される。このとき、記録磁界方向を反転させるタイミングが制御されることにより、各々に所定の長さで記録マークが形成される。このようにして、記録層において、磁化方向の変化として所定のデータが記録される。   When recording data on a magnetic disk, a magnetic head for recording is arranged close to the recording surface of the magnetic disk (floating arrangement), and a recording magnetic field stronger than the coercive force is applied to the recording layer by the magnetic head. Is done. By reversing the direction of the recording magnetic field from the magnetic head while sequentially moving the magnetic head relative to the magnetic disk, a plurality of recording marks (magnetic domains) whose magnetization directions are sequentially reversed are recorded in the data recording area of the recording layer. It is formed continuously in the circumferential direction. At this time, by controlling the timing of reversing the recording magnetic field direction, a recording mark is formed with a predetermined length in each. In this manner, predetermined data is recorded as a change in the magnetization direction in the recording layer.

また、磁気ディスクの技術分野においては、高記録密度化を図るのに好ましい媒体として、ディスクリートトラックメディア(DTM)が知られている(例えば、特許文献1を参照)。DTMにおいては、記録層中に記録磁性部からなるデータトラックが形成され、隣接するデータトラックが非磁性材料あるいは溝からなる非記録部によって物理的に分離された構造のデータ領域を有する。このようにトラックが分離された構成によれば、記録時には隣接するデータトラックへの書き込みにより記録済みのデータが消失ないし劣化するというクロスライト現象が抑制され、再生時には隣接するデータトラックからの余分な信号を読み込んでしまうというクロストーク現象が抑制され、隣接トラック間での干渉を低減することができる。   In the technical field of magnetic disks, a discrete track medium (DTM) is known as a preferable medium for achieving a high recording density (see, for example, Patent Document 1). In the DTM, a data track including a recording magnetic portion is formed in a recording layer, and a data region having a structure in which adjacent data tracks are physically separated by a non-recording portion including a nonmagnetic material or a groove. According to the structure in which the tracks are separated in this way, the cross-write phenomenon in which recorded data is lost or deteriorated by writing to the adjacent data track at the time of recording is suppressed, and an excess from the adjacent data track at the time of reproduction is suppressed. The crosstalk phenomenon that a signal is read is suppressed, and interference between adjacent tracks can be reduced.

DTMにおいて高記録密度化(大容量化)に際してトラック密度をさらに高めようとすると、例えば媒体プロセスが困難になるという不都合があった。   In the DTM, if the track density is further increased when the recording density is increased (capacity increase), for example, there is a disadvantage that the medium process becomes difficult.

特開2006−79805号公報JP 2006-79805 A

本発明は、上記した事情のもとで考え出されたものであって、データトラックを構成する記録磁性部が非記録部によって物理的に分離された構造の記録層を備えた磁気ディスクにおいて、不都合なく高記録密度化を図ることを目的とする。   The present invention has been conceived under the circumstances described above, and in a magnetic disk including a recording layer having a structure in which a recording magnetic part constituting a data track is physically separated by a non-recording part, The object is to increase the recording density without inconvenience.

上記課題を解決するため、本発明では、次の技術的手段を講じている。   In order to solve the above problems, the present invention takes the following technical means.

本発明の第1の側面によって提供される磁気ディスクは、下層記録層および上層記録層が積層された2層構造の記録層を備え、当該下層記録層および上層記録層は、それぞれ、ディスク周方向に沿って同心円状のデータトラックを構成するように形成された記録磁性部と、ディスク径方向に隣接する前記記録磁性部を物理的に分離するように形成された非記録部と、を有するように構成された磁気ディスクであって、前記上層記録層に形成された記録磁性部は、前記下層記録層に形成された記録磁性部に対してディスク面内方向において重ならないようにディスク径方向にずれた位置に設けられていることを特徴としている。   The magnetic disk provided by the first aspect of the present invention includes a recording layer having a two-layer structure in which a lower recording layer and an upper recording layer are laminated, and the lower recording layer and the upper recording layer are each in the disk circumferential direction. And a non-recording portion formed so as to physically separate the recording magnetic portions adjacent to each other in the disk radial direction. The recording magnetic part formed in the upper recording layer is arranged in the disk radial direction so as not to overlap the recording magnetic part formed in the lower recording layer in the disk in-plane direction. It is characterized by being provided at a shifted position.

好ましくは、前記下層記録層の厚さは、前記上層記録層の厚さより大とされている。   Preferably, the thickness of the lower recording layer is larger than the thickness of the upper recording layer.

好ましくは、前記下層記録層の記録磁性部および前記上層記録層の記録磁性部は、CoCrPtを含むグラニュラ膜から構成されており、前記下層記録層の記録磁性部におけるPtの組成比は、前記上層記録層の記録磁性部におけるPtの組成比よりも小とされている。   Preferably, the recording magnetic part of the lower recording layer and the recording magnetic part of the upper recording layer are composed of a granular film containing CoCrPt, and the composition ratio of Pt in the recording magnetic part of the lower recording layer is the upper layer recording layer. The composition ratio is smaller than the Pt composition ratio in the recording magnetic part of the recording layer.

好ましくは、前記下層記録層および上層記録層のうちのいずれか一方にのみトラッキング制御に用いられるサーボ領域が設けられている。   Preferably, a servo area used for tracking control is provided only in one of the lower recording layer and the upper recording layer.

好ましくは、前記上層記録層の非記録部は、ディスク径方向に隣接する記録磁性部間に形成された溝部からなる。   Preferably, the non-recording portion of the upper recording layer includes a groove portion formed between the recording magnetic portions adjacent in the disk radial direction.

本発明の第2の側面によれば、磁気ディスク装置が提供される。この磁気ディスク装置は、下層記録層および上層記録層が積層された2層構造の記録層を備えた磁気ディスクと、この磁気ディスクに対してデータの読み書きをそれぞれ独立して行うためのリード素子およびライト素子を有する磁気ヘッドと、を備えた磁気ディスク装置であって、前記磁気ディスクの前記下層記録層および上層記録層は、それぞれ、ディスク周方向に沿って同心円状のデータトラックを構成するように形成された記録磁性部と、ディスク径方向に隣接する前記記録磁性部を物理的に分離するように形成された非記録部と、を有するように構成され、前記上層記録層に形成された記録磁性部は、前記下層記録層に形成された記録磁性部に対してディスク面内方向において重ならない位置に設けられており、前記磁気ヘッドは、通電による発熱に起因する熱膨張でリード素子およびライト素子を突出させるためのヒータを備えることを特徴としている。   According to a second aspect of the present invention, a magnetic disk device is provided. This magnetic disk apparatus includes a magnetic disk having a two-layered recording layer in which a lower recording layer and an upper recording layer are stacked, a read element for independently reading and writing data from and to the magnetic disk, and A magnetic head having a write element, wherein the lower recording layer and the upper recording layer of the magnetic disk constitute concentric data tracks along the circumferential direction of the disk. A recording magnetic portion formed on the upper recording layer, the recording magnetic portion being formed, and a non-recording portion formed so as to physically separate the recording magnetic portions adjacent in the disk radial direction. The magnetic part is provided at a position that does not overlap the recording magnetic part formed in the lower recording layer in the disk in-plane direction. It is characterized in that it comprises a heater for projecting the read element and the write element in thermal expansion due to the heat generated by electric.

本発明のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。   Other features and advantages of the present invention will become more apparent from the detailed description given below with reference to the accompanying drawings.

以下、本発明の好ましい実施の形態を、図面を参照して具体的に説明する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1は、本発明に係る磁気ディスク1を含んで構成された磁気ディスク装置の一例を示す全体斜視図であり、図2は、図1の磁気ディスク1のディスク径方向に沿った部分拡大断面図である。磁気ディスク装置Xは、磁気ディスク1、磁気ヘッド2、スピンドルモータ3、スイングアーム4、アクチュエータ5、およびディスクコントローラ6を備えて構成されている。磁気ディスク1は、その複数枚が所定の間隔を空けて上下に重ねられており、各磁気ディスク1は、表裏両面が記録面とされている。磁気ヘッド2は、磁気ディスク1に対してデータを読み書きするものであり、磁気ディスク1の記録面と対向するように各スイングアーム4の先端に設けられている。スピンドルモータ3は、磁気ディスク1を高速回転させるためのものである。スイングアーム4は、磁気ヘッド2を磁気ディスク1の略径方向に往復移動させるものであり、アクチュエータ5によって敏速に動作させられる。アクチュエータ5は、例えばボイスコイルモータなどからなる。ディスクコントローラ6は、磁気ヘッド2、スピンドルモータ3、ならびにアクチュエータ5を駆動制御するものであり、CPUやメモリなどを備えたマイクロコンピュータ、あるいはマイクロコンピュータと同等の機能を備えたワイヤードロジック回路で構成される。   FIG. 1 is an overall perspective view showing an example of a magnetic disk device including a magnetic disk 1 according to the present invention, and FIG. 2 is a partially enlarged cross section along the disk radial direction of the magnetic disk 1 of FIG. FIG. The magnetic disk device X includes a magnetic disk 1, a magnetic head 2, a spindle motor 3, a swing arm 4, an actuator 5, and a disk controller 6. A plurality of magnetic disks 1 are stacked one above the other at a predetermined interval, and each magnetic disk 1 has recording surfaces on both front and back sides. The magnetic head 2 reads / writes data from / to the magnetic disk 1 and is provided at the tip of each swing arm 4 so as to face the recording surface of the magnetic disk 1. The spindle motor 3 is for rotating the magnetic disk 1 at high speed. The swing arm 4 reciprocates the magnetic head 2 in the substantially radial direction of the magnetic disk 1 and is rapidly operated by the actuator 5. The actuator 5 is composed of, for example, a voice coil motor. The disk controller 6 controls the drive of the magnetic head 2, the spindle motor 3, and the actuator 5, and is composed of a microcomputer equipped with a CPU and memory, or a wired logic circuit equipped with functions equivalent to those of the microcomputer. The

図2に示すように、磁気ディスク1は、ディスク基板11、軟磁性層12、および記録層13を含む積層構造を有し、ディスクリートトラックメディアとして構成されたものである。   As shown in FIG. 2, the magnetic disk 1 has a laminated structure including a disk substrate 11, a soft magnetic layer 12, and a recording layer 13, and is configured as a discrete track medium.

ディスク基板11は、主に、磁気ディスク1の剛性を確保するための部位であり、例えば、アルミニウム合金、またはガラスよりなる。   The disk substrate 11 is a part for ensuring the rigidity of the magnetic disk 1 and is made of, for example, an aluminum alloy or glass.

軟磁性層12は、記録時等に稼働する磁気ヘッドからの磁束を再び当該磁気ヘッドに還流させる磁路をディスク内に効率よく形成するためのものであり、高透磁率を有して大きな飽和磁化を有するとともに小さな保磁力を有する軟磁性材料よりなる。軟磁性層12を構成するための軟磁性材料としては、例えば、CoZrNb、FeC、FeNi、FeCoB、FeCoSiC、およびFeCo−AlOが挙げられる。軟磁性層12の厚さは例えば20〜100nmである。   The soft magnetic layer 12 is used to efficiently form a magnetic path in the disk that recirculates the magnetic flux from a magnetic head that operates during recording or the like to the magnetic head. It is made of a soft magnetic material having magnetization and a small coercive force. Examples of the soft magnetic material for forming the soft magnetic layer 12 include CoZrNb, FeC, FeNi, FeCoB, FeCoSiC, and FeCo—AlO. The thickness of the soft magnetic layer 12 is, for example, 20 to 100 nm.

記録層13は、下層記録層131と上層記録層132とが積層された2層構造とされている。下層記録層131は、複数の記録磁性部131Aおよび複数の非記録部131Bを有する。記録磁性部131Aは、ディスク周方向に沿って同心円状に配置され、垂直磁気異方性を有してデータトラックを構成する。記録磁性部131Aの構成材料としては、主成分としてCoを含む磁性材料を採用するのが好ましい。そのような磁性材料としては、例えばCoCrPt−SiO2を挙げることができ、CoCrPt合金の組成比は、例えばCo7585Cr515Pt10である。当該磁性材料は、垂直磁気異方性を有するグラニュラ構造をとり得る。非記録部131Bは、所定の非磁性材料が充填された部位であり、記録磁性部131A間に介在する。非記録部131Bを構成する非磁性材料としては、例えばSiO2を挙げることができる。このように、下層記録層131においては、隣接するデータトラックとしての記録磁性部131Aは非記録部131Bによって物理的に分離されており、これら記録磁性部131Aおよび非記録部131Bにより、ユーザデータを記録するためのデータ領域が構成される。なお、下層記録層131の各部の寸法の一例を挙げると、厚さが15〜20nm程度、トラックピッチTpが50〜200nm程度、記録磁性部131Aのディスク径方向の幅が20〜95nm程度、非記録部131Bのディスク径方向の幅が30〜105nm程度であり、非記録部131Bの幅は、記録磁性部131Aの幅よりも大とされている。 The recording layer 13 has a two-layer structure in which a lower recording layer 131 and an upper recording layer 132 are stacked. The lower recording layer 131 has a plurality of recording magnetic parts 131A and a plurality of non-recording parts 131B. The recording magnetic part 131A is concentrically arranged along the circumferential direction of the disk and has a perpendicular magnetic anisotropy to constitute a data track. As a constituent material of the recording magnetic part 131A, it is preferable to employ a magnetic material containing Co as a main component. Examples of such a magnetic material include CoCrPt—SiO 2, and the composition ratio of the CoCrPt alloy is, for example, Co 75 to 85 Cr 5 to 15 Pt 10 . The magnetic material may have a granular structure having perpendicular magnetic anisotropy. The non-recording portion 131B is a portion filled with a predetermined non-magnetic material and is interposed between the recording magnetic portions 131A. As the nonmagnetic material constituting the non-recording portion 131B, for example, SiO 2 can be cited. As described above, in the lower recording layer 131, the recording magnetic part 131A as an adjacent data track is physically separated by the non-recording part 131B, and user data is transferred by the recording magnetic part 131A and the non-recording part 131B. A data area for recording is configured. As an example of the dimensions of each part of the lower recording layer 131, the thickness is about 15 to 20 nm, the track pitch Tp is about 50 to 200 nm, and the width of the recording magnetic part 131A in the disk radial direction is about 20 to 95 nm. The width of the recording portion 131B in the disk radial direction is about 30 to 105 nm, and the width of the non-recording portion 131B is larger than the width of the recording magnetic portion 131A.

上層記録層132は、複数の記録磁性部132Aおよび複数の非記録部132Bを有する。記録磁性部132Aは、下層記録層131の記録磁性部131Aと同様の材料で構成され、かつ、同様の構造とされており、垂直磁気異方性を有してデータトラックを構成する。ただし、記録磁性部132Aの構成材料(CoCrPt合金)におけるPtの組成比は、下層記録層131の記録磁性部131AのCoCrPt合金におけるPtの組成比よりも大とされている。記録磁性部132AにおけるCoCrPt合金の組成比は、例えばCo6575Cr515Pt20である。非記録部132Bは、記録磁性部132Aの間に位置する溝部からなる。非記録部132Bには、下層記録層131の非記録部131Bと異なり、非磁性材料が充填されていない。非記録部132Bのディスク径方向の幅は、記録磁性部132Aのディスク径方向の幅よりも大とされている。また、記録磁性部132Aは、下層記録層131の記録磁性部131Aに対し、ディスク径方向においてトラックピッチTpの半分ずれて位置している。これにより、記録磁性部132Aは、記録磁性部131Aに対してディスク面内方向において重ならない位置に設けられている。また、上層記録層132の厚さは、下層記録層131の厚さよりも小とされている。なお、上層記録層132の各部の寸法の一例を挙げると、厚さが10〜15nm程度、記録磁性部132Aの幅が20〜95nm程度、非記録部132Bの幅が30〜105nm程度である。 The upper recording layer 132 has a plurality of recording magnetic parts 132A and a plurality of non-recording parts 132B. The recording magnetic part 132A is made of the same material as that of the recording magnetic part 131A of the lower recording layer 131 and has the same structure, and has a perpendicular magnetic anisotropy and constitutes a data track. However, the Pt composition ratio in the constituent material (CoCrPt alloy) of the recording magnetic part 132A is set to be larger than the Pt composition ratio in the CoCrPt alloy of the recording magnetic part 131A of the lower recording layer 131. The composition ratio of CoCrPt alloy in the recording magnetic portion 132A is, for example, Co 65 ~ 75 Cr 5 ~ 15 Pt 20. The non-recording part 132B is composed of a groove located between the recording magnetic parts 132A. Unlike the non-recording portion 131B of the lower recording layer 131, the non-recording portion 132B is not filled with a nonmagnetic material. The width of the non-recording portion 132B in the disk radial direction is larger than the width of the recording magnetic portion 132A in the disk radial direction. Further, the recording magnetic part 132A is located at a position shifted by half the track pitch Tp in the disk radial direction with respect to the recording magnetic part 131A of the lower recording layer 131. Thus, the recording magnetic part 132A is provided at a position that does not overlap the recording magnetic part 131A in the in-disk direction. Further, the thickness of the upper recording layer 132 is smaller than the thickness of the lower recording layer 131. As an example of the size of each part of the upper recording layer 132, the thickness is about 10 to 15 nm, the width of the recording magnetic part 132A is about 20 to 95 nm, and the width of the non-recording part 132B is about 30 to 105 nm.

上層記録層132にはまた、磁気ヘッド2のトラッキング制御に用いられる図示しないサーボ領域が形成されている。当該サーボ領域は、磁性部および非磁性部からなる所定の磁気パターンが作り込まれたものであり、磁気ディスク1におけるデータの記録再生の際には、サーボ領域において得られた各種信号に基づいて磁気ヘッド2のディスク径方向への位置決めがなされる。   In the upper recording layer 132, a servo area (not shown) used for tracking control of the magnetic head 2 is also formed. The servo area is formed with a predetermined magnetic pattern composed of a magnetic part and a non-magnetic part. When recording / reproducing data on the magnetic disk 1, the servo area is based on various signals obtained in the servo area. The magnetic head 2 is positioned in the disk radial direction.

このような構成の磁気ディスク1は、例えばスタンパを用いたナノインプリントリソグラフィ法によって製造される。ナノインプリントリソグラフィ法においては、まず、スタンパを作製する。スタンパの作製においては、例えば基板上のレジスト膜に電子ビーム描画装置によって所定パターンを露光形成した後、当該レジスト膜に現像処理を施してレジストパターンを形成する。次に、このレジストパターンをマスクとして上記基板にRIEなどのドライエッチングを施して凹部を形成し、レジストパターンを除去する。これにより、所定パターンの凹部を有する基板(スタンパの原盤)が得られる。次に、当該基板に対して電鋳処理を行うことにより、ニッケルなどの金属からなるスタンパが得られる。スタンパの表面には、上記基板の凹凸形状が転写されており、上記基板の凹部に対応する箇所において凸部が形成される。本実施形態においては、上記の方法により、磁気ディスク1の下層記録層131を形成するための下層用スタンパと、上層記録層132を形成するための上層用スタンパとが作製される。これらスタンパは、非磁性化させる部位(非記録部131B,132B、およびサーボ領域の非磁性部)を凸部とする所定の凹凸パターンを有する。   The magnetic disk 1 having such a configuration is manufactured by, for example, a nanoimprint lithography method using a stamper. In the nanoimprint lithography method, a stamper is first manufactured. In the production of the stamper, for example, a predetermined pattern is exposed and formed on a resist film on a substrate by an electron beam drawing apparatus, and then the resist film is developed to form a resist pattern. Next, using this resist pattern as a mask, the substrate is subjected to dry etching such as RIE to form a recess, and the resist pattern is removed. As a result, a substrate having a predetermined pattern of recesses (stamper master) is obtained. Next, a stamper made of a metal such as nickel is obtained by electroforming the substrate. The uneven shape of the substrate is transferred onto the surface of the stamper, and a convex portion is formed at a location corresponding to the concave portion of the substrate. In the present embodiment, the lower layer stamper for forming the lower recording layer 131 of the magnetic disk 1 and the upper layer stamper for forming the upper recording layer 132 are manufactured by the above method. These stampers have a predetermined concavo-convex pattern in which the portions to be demagnetized (the non-recording portions 131B and 132B and the non-magnetic portion of the servo area) are convex portions.

次いで、ディスク基板11上に軟磁性層12、および下層記録層131となるべき磁性膜を、例えばスパッタリング法により順次積層形成し、当該磁性膜上に第1のレジストを塗布する。次いで、上記下層用スタンパを加熱状態のレジストに押圧することにより、当該スタンパの凹凸パターンがレジストに転写される。ここで、下層用スタンパの凸部に対応する部位のレジストが除去され、磁性膜表面が部分的に露出する。次いで、転写後のレジストパターンをマスクとして例えばドライエッチング施すことにより、磁性膜には、非記録部131Bとなるべき部位に凹部が形成される。次いで、例えばスパッタリング法等により上記凹部に非磁性材料を埋め戻し、レジストパターンを除去して磁性膜の表面を平坦化する。このようにして、上記凹部に非磁性材料が充填された非記録部131Bと、磁性膜の残存部分によって形成された記録磁性部131Aとを含む下層記録層131が形成される。   Next, a magnetic film to be the soft magnetic layer 12 and the lower recording layer 131 is sequentially laminated on the disk substrate 11 by, for example, a sputtering method, and a first resist is applied on the magnetic film. Subsequently, the uneven pattern of the stamper is transferred to the resist by pressing the lower layer stamper against the heated resist. Here, the resist corresponding to the convex portions of the lower stamper is removed, and the surface of the magnetic film is partially exposed. Next, by performing, for example, dry etching using the resist pattern after transfer as a mask, a concave portion is formed in the magnetic film at a portion to be the non-recording portion 131B. Next, the recess is filled with a nonmagnetic material by sputtering, for example, and the resist pattern is removed to flatten the surface of the magnetic film. In this way, the lower recording layer 131 including the non-recording portion 131B in which the concave portion is filled with the nonmagnetic material and the recording magnetic portion 131A formed by the remaining portion of the magnetic film is formed.

次いで、下層記録層131上に上層記録層132となるべき追加の磁性膜を例えばスパッタリング法により形成し、当該磁性膜上に追加のレジストを塗布する。次いで、上記上層用スタンパを加熱状態のレジストに押圧することにより、当該スタンパの凹凸パターンがレジストに転写される。ここで、上層用スタンパの凸部に対応する部位のレジストが除去され、磁性膜表面が部分的に露出する。次いで、転写後のレジストパターンをマスクとして例えばドライエッチングを施すことにより、磁性膜には、非記録部132Bおよびサーボ領域の非磁性部となるべき部位に凹部が形成される。次いで、レジストパターンを除去して磁性膜の表面を平坦化する。このようにして、上記凹部である非記録部132Bおよびサーボ領域の非磁性部と、磁性膜の残存部分によって形成された記録磁性部132Aおよびサーボ領域の磁性部と、を含む上層記録層132が形成される。次いで、例えば上層記録層132および下層記録層131上に保護膜や潤滑剤膜を形成することにより、磁気ディスク1を得ることができる。このように磁気ディスク1の製造においては、下層用スタンパおよび上層用スタンパの2種類のスタンパを用い、2段階の工程を経ることにより、磁気特性の異なる下層記録層131と上層記録層132とを適切に形成することができる。   Next, an additional magnetic film to be the upper recording layer 132 is formed on the lower recording layer 131 by, for example, a sputtering method, and an additional resist is applied on the magnetic film. Next, by pressing the upper layer stamper against the heated resist, the uneven pattern of the stamper is transferred to the resist. Here, the resist corresponding to the convex portions of the upper layer stamper is removed, and the surface of the magnetic film is partially exposed. Next, by performing, for example, dry etching using the resist pattern after transfer as a mask, concave portions are formed in the magnetic film at portions to be the non-magnetic portion 132B and the non-magnetic portion of the servo region. Next, the resist pattern is removed to flatten the surface of the magnetic film. Thus, the upper recording layer 132 including the non-recording portion 132B, which is the concave portion, and the non-magnetic portion of the servo region, and the recording magnetic portion 132A formed by the remaining portion of the magnetic film and the magnetic portion of the servo region, It is formed. Next, for example, by forming a protective film or a lubricant film on the upper recording layer 132 and the lower recording layer 131, the magnetic disk 1 can be obtained. Thus, in the manufacture of the magnetic disk 1, two types of stampers, the lower layer stamper and the upper layer stamper, are used, and the lower layer recording layer 131 and the upper layer recording layer 132 having different magnetic properties are obtained through two steps. It can be formed appropriately.

図3は、磁気ヘッド2の概略構造を示すディスク周方向に沿った部分拡大断面図である。磁気ヘッド2は、データの記録再生をそれぞれ独立して行うライト素子21およびリード素子22と、ヒータ23とを備える。ヒータ23は、例えば絶縁体中に埋設されたコイル231と熱膨張素子232とを有し、コイル231には、図示しない制御部での制御によって所定の電流が流れるように構成されている。熱膨張素子232は、その周囲に比べて熱膨張率の高い材料で構成されており、コイル231への通電による発熱(ジュール熱)に起因して熱膨張するように構成されている。ライト素子21およびリード素子22は、図3において仮想線で表すように、当該熱膨張によって突出する。   FIG. 3 is a partially enlarged cross-sectional view showing the schematic structure of the magnetic head 2 along the circumferential direction of the disk. The magnetic head 2 includes a write element 21 and a read element 22 that perform recording and reproduction of data independently, and a heater 23. The heater 23 includes, for example, a coil 231 and a thermal expansion element 232 embedded in an insulator, and a predetermined current flows through the coil 231 under the control of a control unit (not shown). The thermal expansion element 232 is made of a material having a higher thermal expansion coefficient than the surroundings, and is configured to thermally expand due to heat generation (joule heat) caused by energization of the coil 231. The write element 21 and the read element 22 protrude due to the thermal expansion as shown by phantom lines in FIG.

磁気ディスク1におけるデータの記録再生に際しては、磁気ディスク1の回転にともない磁気ディスク1の記録面に対して磁気ヘッド2が浮上配置される。上層記録層132に対する記録再生時には、上記サーボ領域において得られた各種信号に基づいて磁気ヘッド2の位置を補正しながら所定の記録磁性部132Aの中心(トラック中心)に追従させるトラッキング制御がなされる。そして、記録時には、磁気ヘッド2のライト素子21による記録磁界の印加によって、所定の記録磁性部132Aに複数の記録マークがディスク周方向に連なって形成され、再生時には、リード素子22によって取得した記録磁性部132Aからの磁気信号を処理することにより再生信号が得られる。   When recording / reproducing data on the magnetic disk 1, the magnetic head 2 is placed above the recording surface of the magnetic disk 1 as the magnetic disk 1 rotates. At the time of recording / reproducing with respect to the upper recording layer 132, tracking control is performed to follow the center (track center) of the predetermined recording magnetic part 132A while correcting the position of the magnetic head 2 based on various signals obtained in the servo area. . During recording, a recording magnetic field is applied by the write element 21 of the magnetic head 2 to form a plurality of recording marks in a predetermined recording magnetic portion 132A in the circumferential direction of the disk. During reproduction, the recording marks acquired by the read element 22 are recorded. A reproduction signal is obtained by processing the magnetic signal from the magnetic part 132A.

下層記録層131に対する記録再生時には、上記の上層記録層132におけるトラッキング制御に対し、磁気ヘッド2の位置をトラックピッチTpの半分相当量だけディスク径方向にオフトラックさせることにより、磁気ヘッド2は下層記録層131の記録磁性部131Aの中心に追従させられる。そして、上記上層記録層132の場合と同様にして、磁気ヘッド2のライト素子21またはリード素子22を介して、記録磁性部131Aのデータの記録または再生が行われる。このとき、磁気ヘッド2のヒータ23のコイル231に通電されることにより、図4に示すようにライト素子21およびリード素子22がこれらに対向する記録磁性部131Aに近接するように突出させられる。   At the time of recording / reproducing with respect to the lower recording layer 131, the magnetic head 2 is moved to the lower layer by off-tracking the position of the magnetic head 2 by an amount corresponding to half of the track pitch Tp with respect to the tracking control in the upper recording layer 132. The center of the recording magnetic part 131A of the recording layer 131 is made to follow. In the same manner as in the case of the upper recording layer 132, data is recorded or reproduced in the recording magnetic part 131A through the write element 21 or the read element 22 of the magnetic head 2. At this time, when the coil 231 of the heater 23 of the magnetic head 2 is energized, the write element 21 and the read element 22 are projected so as to be close to the recording magnetic portion 131A facing them as shown in FIG.

本実施形態の磁気ディスク1においては、記録層13が下層記録層131および上層記録層132が積層された2層構造とされているため、記録密度を高めることができ、磁気ディスク1の大容量化を達成することができる。また、上層記録層132の記録磁性部132Aと、下層記録層131の記録磁性部131Aとは、ディスク面内方向に重ならないように物理的に分離されて設けられている。このため、記録磁性部131A,132Aへの記録時において、近接する記録磁性部132A,131Aに対し、漏れ磁界の影響によるクロスライト現象の発生を防止することができる。   In the magnetic disk 1 of this embodiment, since the recording layer 13 has a two-layer structure in which the lower recording layer 131 and the upper recording layer 132 are laminated, the recording density can be increased, and the large capacity of the magnetic disk 1 is achieved. Can be achieved. Further, the recording magnetic part 132A of the upper recording layer 132 and the recording magnetic part 131A of the lower recording layer 131 are physically separated so as not to overlap in the in-plane direction of the disk. For this reason, at the time of recording on the recording magnetic parts 131A and 132A, it is possible to prevent the occurrence of a cross light phenomenon due to the influence of the leakage magnetic field on the adjacent recording magnetic parts 132A and 131A.

磁気ディスク1においては、下層記録層131の厚さが上層記録層132の厚さよりも大とされているため、下層記録層131の記録磁性部131Aは上層記録層132の記録磁性部132Aよりも飽和磁束密度が大きくなる。また、下層記録層131の記録磁性部131AにおけるPtの組成比が上層記録層132の記録磁性部132AにおけるPtの組成比よりも小とされているので、記録磁性部131Aは、記録磁性部132Aよりも保磁力が小さくなる。磁気ディスク装置Xにおいては、下層記録層131が上層記録層132に比べて磁気ヘッド2から離間して位置し、磁気ヘッド2のライトおよびリード素子21,22から下層記録層131までの距離(下層記録層131の磁気スペーシング)が大きくなるところ、上述のように下層記録層131の記録磁性部131Aが相対的に高飽和磁束密度・低保磁力を有するので、下層記録層131についても安定した記録再生特性を維持することができる。   In the magnetic disk 1, since the thickness of the lower recording layer 131 is larger than the thickness of the upper recording layer 132, the recording magnetic portion 131A of the lower recording layer 131 is larger than the recording magnetic portion 132A of the upper recording layer 132. The saturation magnetic flux density increases. Further, since the Pt composition ratio in the recording magnetic portion 131A of the lower recording layer 131 is smaller than the Pt composition ratio in the recording magnetic portion 132A of the upper recording layer 132, the recording magnetic portion 131A includes the recording magnetic portion 132A. The coercive force is smaller than that. In the magnetic disk device X, the lower recording layer 131 is located farther from the magnetic head 2 than the upper recording layer 132, and the distance from the write and read elements 21 and 22 of the magnetic head 2 to the lower recording layer 131 (lower layer). When the magnetic spacing of the recording layer 131 is increased, the recording magnetic portion 131A of the lower recording layer 131 has a relatively high saturation magnetic flux density and low coercive force as described above, so that the lower recording layer 131 is also stable. Recording / reproduction characteristics can be maintained.

加えて、磁気ディスク装置Xにおいては、下層記録層131に対する記録再生時には、磁気ヘッド2のヒータ23の作用により、ライトおよびリード素子21,22が突出し、下層記録層131の磁気スペーシングが低減する。このことは、磁気ディスクの高記録密度化および記録再生特性の安定化を図るうえで好適である。なお、下層記録層131に対する記録再生時に磁気ヘッド2と下層記録層131との間に位置する上層記録層132の非記録部132Bは溝部からなるため、ライトおよびリード素子21,22が突出しても非記録部132Bと干渉することはない。   In addition, in the magnetic disk apparatus X, the write and read elements 21 and 22 protrude due to the action of the heater 23 of the magnetic head 2 during recording / reproduction with respect to the lower recording layer 131, and the magnetic spacing of the lower recording layer 131 is reduced. . This is suitable for increasing the recording density and stabilizing the recording / reproducing characteristics of the magnetic disk. Note that the non-recording portion 132B of the upper recording layer 132 located between the magnetic head 2 and the lower recording layer 131 during recording / reproduction with respect to the lower recording layer 131 is formed of a groove, so that even if the write and read elements 21 and 22 protrude. There is no interference with the non-recording part 132B.

図5は、本発明に係る磁気ディスクの他の例を示している。図5においては、上記実施形態と同一または類似の要素には、上記実施形態と同一の符号を付しており、適宜説明を省略する。   FIG. 5 shows another example of the magnetic disk according to the present invention. In FIG. 5, the same or similar elements as those in the above embodiment are denoted by the same reference numerals as those in the above embodiment, and description thereof will be omitted as appropriate.

図5に示された磁気ディスク1’においては、下層記録層131と上層記録層132’とは、同様の構成とされている。すなわち、上層記録層132’においては、非記録部132B’は非磁性材料が充填された構成とされている。下層記録層131の厚さと上層記録層132’の厚さは、実質的に同一とされている。   In the magnetic disk 1 ′ shown in FIG. 5, the lower recording layer 131 and the upper recording layer 132 ′ have the same configuration. That is, in the upper recording layer 132 ', the non-recording portion 132B' is configured to be filled with a nonmagnetic material. The thickness of the lower recording layer 131 and the thickness of the upper recording layer 132 'are substantially the same.

このような構成によれば、磁気ディスク1’の製造においては、下層記録層131の形成および上層記録層132’の形成について同一の工程となる。   According to such a configuration, in manufacturing the magnetic disk 1 ′, the same process is performed for the formation of the lower recording layer 131 and the formation of the upper recording layer 132 ′.

磁気ディスク1’においては、下層記録層131の磁気スペーシングが上層記録層132’の磁気スペーシングよりも大きくなるので、下層記録層131に対して上層記録層132’の場合と同一条件で記録再生を行っても安定した記録再生を行うのが困難となる可能性がある。かかる問題に対しては、記録時に下層記録層131の記録磁性部131Aへの記録周波数を上層記録層132’の記録磁性部132Aへの記録周波数よりも小さくし、記録磁性部131Aに形成される各記録マークの長さを長くすることにより、再生時には、下層記録層131の記録磁性部131Aからも十分な磁気信号を得ることができる。この場合、下層記録層131からの信号と上層記録層132’からの信号とが混在しても、周波数帯域分離によってこれらの信号を分離することができる。   In the magnetic disk 1 ′, the magnetic spacing of the lower recording layer 131 is larger than the magnetic spacing of the upper recording layer 132 ′, so that recording is performed on the lower recording layer 131 under the same conditions as in the upper recording layer 132 ′. Even if playback is performed, it may be difficult to perform stable recording and playback. To solve this problem, the recording frequency of the lower recording layer 131 to the recording magnetic part 131A is set lower than the recording frequency of the upper recording layer 132 ′ to the recording magnetic part 132A during recording, and the recording magnetic part 131A is formed. By increasing the length of each recording mark, a sufficient magnetic signal can be obtained from the recording magnetic portion 131A of the lower recording layer 131 during reproduction. In this case, even if a signal from the lower recording layer 131 and a signal from the upper recording layer 132 ′ are mixed, these signals can be separated by frequency band separation.

以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明の技術的範囲は上記した実施形態に限定されるものではない。本発明に係る磁気ディスクおよび磁気ディスク装置の各部の具体的な構成は、発明の思想から逸脱しない範囲内で種々な変更が可能である。   Although the embodiment of the present invention has been described above, the technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiment. Various modifications can be made to the specific configuration of each part of the magnetic disk and the magnetic disk device according to the present invention without departing from the spirit of the invention.

本発明に係る磁気ディスクを含んで構成された磁気ディスク装置の一例を示す全体斜視図である。1 is an overall perspective view showing an example of a magnetic disk device including a magnetic disk according to the present invention. 図1に示す磁気ディスクの部分拡大断面図である。FIG. 2 is a partial enlarged cross-sectional view of the magnetic disk shown in FIG. 1. 磁気ヘッドの概略構造を示す部分拡大断面図である。It is a partial expanded sectional view which shows schematic structure of a magnetic head. 図2に示す磁気ディスクにおける記録再生時の説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram at the time of recording / reproducing on the magnetic disk shown in FIG. 本発明に係る磁気ディスクの他の例を示す部分拡大断面図である。It is a partial expanded sectional view which shows the other example of the magnetic disc which concerns on this invention.

符号の説明Explanation of symbols

X 磁気ディスク装置
1,1’ 磁気ディスク
2 磁気ヘッド
3 スピンドルモータ
4 スイングアーム
5 アクチュエータ
6 ディスクコントローラ
11 ディスク基板
12 軟磁性層
13 記録層
21 ライト素子
22 リード素子
23 ヒータ
131 下層記録層
131A 記録磁性部(下層記録層の)
131B 非記録部(下層記録層の)
132,132’ 上層記録層
132A 記録磁性部(上層記録層の)
132B,132B’ 非記録部(上層記録層の)
X Magnetic disk device 1, 1 'Magnetic disk 2 Magnetic head 3 Spindle motor 4 Swing arm 5 Actuator 6 Disk controller 11 Disk substrate 12 Soft magnetic layer 13 Recording layer 21 Write element 22 Read element 23 Heater 131 Lower recording layer 131A Recording magnetic part (Of the lower recording layer)
131B Non-recording part (of the lower recording layer)
132, 132 'Upper recording layer 132A Recording magnetic part (of upper recording layer)
132B, 132B ′ non-recording portion (upper recording layer)

Claims (6)

下層記録層および上層記録層が積層された2層構造の記録層を備え、
前記下層記録層および上層記録層は、それぞれ、ディスク周方向に沿って同心円状のデータトラックを構成するように形成された記録磁性部と、ディスク径方向に隣接する前記記録磁性部を物理的に分離するように形成された非記録部と、を有するように構成された磁気ディスクであって、
前記上層記録層に形成された記録磁性部は、前記下層記録層に形成された記録磁性部に対してディスク面内方向において重ならない位置に設けられていることを特徴とする、磁気ディスク。
A recording layer having a two-layer structure in which a lower recording layer and an upper recording layer are laminated,
Each of the lower recording layer and the upper recording layer physically includes a recording magnetic part formed so as to constitute a concentric data track along the circumferential direction of the disk and the recording magnetic part adjacent to the disk radial direction. A non-recording portion formed so as to be separated from the magnetic disk,
The magnetic disk, wherein the recording magnetic part formed in the upper recording layer is provided at a position that does not overlap the recording magnetic part formed in the lower recording layer in the in-plane direction of the disk.
前記下層記録層の厚さは、前記上層記録層の厚さよりも大きい、請求項1に記載の磁気ディスク。   The magnetic disk according to claim 1, wherein a thickness of the lower recording layer is larger than a thickness of the upper recording layer. 前記下層記録層の記録磁性部および前記上層記録層の記録磁性部は、CoCrPtを含むグラニュラ膜から構成されており、
前記下層記録層の記録磁性部におけるPtの組成比は、前記上層記録層の記録磁性部におけるPtの組成比よりも小さい、請求項1ないし2のいずれかに記載の磁気ディスク。
The recording magnetic part of the lower recording layer and the recording magnetic part of the upper recording layer are composed of a granular film containing CoCrPt,
3. The magnetic disk according to claim 1, wherein a Pt composition ratio in the recording magnetic part of the lower recording layer is smaller than a Pt composition ratio in the recording magnetic part of the upper recording layer.
前記下層記録層および上層記録層のうちのいずれか一方にのみトラッキング制御に用いられるサーボ領域が設けられている、請求項1ないし3のいずれかに記載の磁気ディスク。   4. The magnetic disk according to claim 1, wherein a servo area used for tracking control is provided in only one of the lower recording layer and the upper recording layer. 前記上層記録層の非記録部は、ディスク径方向に隣接する記録磁性部間に形成された溝部からなる、請求項1ないし4のいずれかに記載の磁気ディスク。   5. The magnetic disk according to claim 1, wherein the non-recording portion of the upper recording layer includes a groove formed between recording magnetic portions adjacent to each other in the disk radial direction. 下層記録層および上層記録層が積層された2層構造の記録層を備えた磁気ディスクと、この磁気ディスクに対してデータの読み書きをそれぞれ独立して行うためのリード素子およびライト素子を有する磁気ヘッドと、を備えた磁気ディスク装置であって、
前記磁気ディスクの前記下層記録層および上層記録層は、それぞれ、ディスク周方向に沿って同心円状のデータトラックを構成するように形成された記録磁性部と、ディスク径方向に隣接する前記記録磁性部を物理的に分離するように形成された非記録部と、を有するように構成され、前記上層記録層に形成された記録磁性部は、前記下層記録層に形成された記録磁性部に対してディスク面内方向において重ならない位置に設けられており、
前記磁気ヘッドは、通電による発熱に起因する熱膨張でリード素子およびライト素子を突出させるためのヒータを備えることを特徴とする、磁気ディスク装置。
Magnetic head having a two-layered recording layer in which a lower recording layer and an upper recording layer are laminated, and a magnetic head having a read element and a write element for independently reading and writing data from and to this magnetic disk A magnetic disk device comprising:
The lower recording layer and the upper recording layer of the magnetic disk each have a recording magnetic part formed so as to constitute a concentric data track along the circumferential direction of the disk, and the recording magnetic part adjacent to the radial direction of the disk And a non-recording portion formed so as to physically separate the recording magnetic portion formed in the upper recording layer with respect to the recording magnetic portion formed in the lower recording layer. It is provided at a position where it does not overlap in the disc surface direction.
2. The magnetic disk drive according to claim 1, wherein the magnetic head includes a heater for projecting the read element and the write element by thermal expansion caused by heat generated by energization.
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