JP2009012916A - Conveying system - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent a conveying vehicle from being inclined in lateral transference in a conveying system. <P>SOLUTION: This conveying system comprises a track portion 300 laid in the ceiling, a traveling portion 110 travelling in the track portion, a main body portion 130 fitted to the travelling portion, suspending from the travelling portion, a conveying portion 120 having a loading part 140 to be extended from the main body portion on a side of the track portion to be loaded with a conveyed material 400, an outrigger portion 200 provided freely to be moved toward the track portion in a position close to an edge of a surface of the main body portion opposite to the track portion in a direction opposite to the direction, wherein the center of gravity of the conveying portion is moved by extension of the loading portion, and an outrigger driving means for moving the outrigger portion to abut on the track portion. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、例えば半導体装置製造用の各種基板等を搬送する搬送車を備えた搬送システムの技術分野に関する。   The present invention relates to the technical field of a transfer system including a transfer vehicle for transferring various substrates for manufacturing semiconductor devices, for example.

この種の搬送システムとして、天井に敷設された軌道上を走行する懸垂式の搬送車（ＯＨＴ：Overhead Hoist Transfer）によって被搬送物を搬送するものがある。そして、上述したような搬送システムにおいては、軌道の真下以外に設置された被搬送物の移載（以下、適宜「横移載」と称する）を可能とするものがある。   As this type of transport system, there is a system that transports an object to be transported by a suspended transport vehicle (OHT: Overhead Hoist Transfer) that travels on a track laid on a ceiling. In some transport systems as described above, there is one that enables transfer of a transported object installed other than directly below the track (hereinafter referred to as “lateral transfer” as appropriate).

例えば特許文献１では、搬送車の下部に水平面で運動可能な移載手段を設けることにより、横移載を可能とする技術が開示されている。また特許文献２では、搬送車の側方に天井バッファを設け、昇降台を天井バッファ上まで移動することで横移載を可能とする技術が開示されている。更に特許文献３では、軌道の側方に物品載置台を設けることで横移載を可能とする技術が開示されている。   For example, Patent Document 1 discloses a technique that enables lateral transfer by providing transfer means that can move in a horizontal plane at the lower part of a transport vehicle. Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-228561 discloses a technology that enables a horizontal transfer by providing a ceiling buffer on the side of the transport vehicle and moving the lifting platform to the ceiling buffer. Further, Patent Document 3 discloses a technique that enables lateral transfer by providing an article mounting table on the side of the track.

特開平１１−１８０５０５号公報JP-A-11-180505 特開２００５−２０６３７１号公報JP 2005-206371 A 特開２００６−２８２３０３号公報JP 2006-282303 A

しかしながら、上述したような横移載を行う際には、搬送車の側方に被搬送物が移載されることとなるため、重心が移動して搬送車が傾いてしまうおそれがある。搬送車が傾いてしまうと、搬送車が正常に走行できなくなる他、例えば被搬送物が衝撃によって破損或いは故障してしまうおそれがあるという技術的問題点がある。また、載置部が本体部に対し昇降可能である場合には、本体部の傾きによって載置部の位置が大きく変化し、被搬送物を被搬送物台等に移載する際の位置合わせ等が困難となってしまうという技術的問題点がある。   However, when performing the horizontal transfer as described above, the object to be transferred is transferred to the side of the transport vehicle, so that the center of gravity may move and the transport vehicle may tilt. If the transport vehicle is tilted, there is a technical problem that the transport vehicle cannot run normally, and the transported object may be damaged or broken due to an impact, for example. In addition, when the mounting unit can be moved up and down with respect to the main body, the position of the mounting unit greatly changes due to the inclination of the main body, and alignment when the transferred object is transferred to the transferred object table or the like. There is a technical problem that it becomes difficult.

本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、横移載の際に搬送車が傾いてしまうことを防止可能な搬送システムを提供することを課題とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems, for example, and an object of the present invention is to provide a transport system that can prevent the transport vehicle from being tilted during lateral transfer.

本発明の搬送システムは上記課題を解決するために、天井に敷設された軌道部と、該軌道部を走行する走行部と、該走行部に吊り下がる形で取り付けられた本体部及び該本体部から前記軌道部の側方に伸長して前記被搬送物を載置可能である載置部を有する搬送部と、前記軌道部に対向する前記本体部の面における、前記載置部が伸長することによって前記搬送部の重心が移動する方向とは反対方向の縁寄りに設けられており、前記軌道部に向かって移動可能なアウトリガ部と、前記載置部が伸長する際に、前記軌道部に当接するように前記アウトリガ部を移動させるアウトリガ駆動手段とを備える。   In order to solve the above problems, a transport system of the present invention has a track portion laid on the ceiling, a travel portion that travels on the track portion, a main body portion that is attached to the travel portion in a suspended manner, and the main body portion. The placement portion on the surface of the main body portion facing the track portion and the transfer portion having a placement portion on which the object to be transferred can be placed by extending to the side of the track portion from Accordingly, the track portion is provided near the edge in the direction opposite to the direction in which the center of gravity of the transport portion moves, and the outrigger portion movable toward the track portion, and the placement portion extends when the placing portion extends. And an outrigger driving means for moving the outrigger portion so as to abut against the outer trigger.

本発明に係る搬送システムによれば、その動作時に、先ず天井に敷設された軌道部を走行部が走行することで、搬送部による被搬送物の搬送が行われる。搬送部は、走行部に吊釣り下がる形で取り付けられた本体部及び軌道部の側方に伸長して被搬送物を載置可能である載置部を有しており、軌道部の側方に設置された被搬送物を載置して搬送することが可能である。尚、ここでの「側方に伸長」とは、典型的には水平方向であるが、厳密な水平方向を意味するものではなく、軌道部から側方に外れる限り、斜め下方や斜め上方への伸長であってもよい。即ち、載置部は、典型的である水平に伸長しての横移載を行ってもよいし、変則的である斜めに伸長しての横移載を行ってもよい。また、載置部は伸長せずに載置することも可能である。   According to the transport system of the present invention, during the operation, first, the travel unit travels on the track portion laid on the ceiling, so that the transported object is transported by the transport unit. The transport unit has a main body unit that is attached to the traveling unit so as to hang down and a mounting unit that extends to the side of the track unit and is capable of mounting an object to be transported. It is possible to place and transport the object to be transported installed on the machine. The term “extend laterally” as used herein is typically a horizontal direction, but does not mean a strict horizontal direction, and may be obliquely downward or obliquely upward as long as it deviates laterally from the track. It may be an extension of. That is, the placement unit may perform horizontal transfer that is typically extended horizontally, or may perform horizontal transfer that is an irregular extension. Further, it is possible to place the placement unit without extending.

ここで特に、上述した横移載を行う場合には、載置部が側方に伸長することによって搬送部の重心が移動する。このため、走行部に吊り下がる形で取り付けられた搬送部は、重心が移動した方向に傾く。更に、伸長した載置部に被搬送物が載置されることで、より傾きは大きくなる。或いは、実際には傾かなくても、傾こうとする方向に力（言い換えれば、モーメント或いはトルク）が働いて、加重の均衡がくずれたり、装置の歪みや軋みの原因となる。   Here, in particular, in the case of performing the above-described lateral transfer, the center of gravity of the transport unit moves as the mounting unit extends sideways. For this reason, the conveyance part attached in the form suspended from the traveling part inclines in the direction in which the center of gravity has moved. Furthermore, the inclination is further increased by placing the transported object on the extended placement portion. Alternatively, even if the robot does not actually tilt, a force (in other words, moment or torque) acts in the direction of tilting, and the load balance is lost, which causes distortion and stagnation of the device.

仮に、搬送部が傾いたままで動作を行ったとすると、例えば本体部と軌道部とが接触することで、正常な走行が妨げられたり、衝撃等によって被搬送物が破損或いは故障してしまうおそれがある。しかも、横移載を行ったままの状態で走行することも、搬送システムの初期設定（例えば、ティーチング）や調整の際における、載置部の位置合わせ若しくは位置調整又は角度合わせや角度調整の際に、必須である又は望まれるところである。   If the operation is performed with the transport section tilted, for example, the main body section and the track section may come into contact with each other, which may prevent normal travel or damage or failure of the transported object due to impact or the like. is there. In addition, it is also possible to travel with the lateral transfer being performed, in the initial setting (for example, teaching) or adjustment of the transfer system, in the case of positioning or position adjustment, angle adjustment or angle adjustment of the mounting portion. It is essential or desired.

しかるに本発明では特に、軌道部に対向する本体の面における、重心が移動する方向とは反対方向の縁寄りにアウトリガ部が設けられている。尚、載置部が複数方向に伸長可能である場合には、重心が移動する方向が複数存在することとなるため、アウトリガ部が複数設けられてもよい。アウトリガ部は前記軌道部に向かって移動可能であり、載置部が伸長する際に、アウトリガ駆動手段によって、軌道部に当接するように移動させられる。典型的には、アウトリガ部が鉛直方向上向きに移動させられることによって、軌道部の下面に当接する。   However, in the present invention, in particular, the outrigger portion is provided near the edge in the direction opposite to the direction in which the center of gravity moves on the surface of the main body facing the track portion. In addition, when the mounting part can be extended in a plurality of directions, there are a plurality of directions in which the center of gravity moves, and thus a plurality of outrigger parts may be provided. The outrigger portion is movable toward the track portion, and is moved so as to come into contact with the track portion by the outrigger driving means when the placement portion extends. Typically, the outrigger portion is brought into contact with the lower surface of the track portion by being moved upward in the vertical direction.

アウトリガ部が軌道部に当接することで、アウトリガ部が軌道部及び本体部夫々を支える状態となり、軌道部及び本体部が互いに接触してしまうことを防止する。アウトリガ部が軌道部に当接することで生じる抗力或いは反力によって、横移載の重心移動により発生する力（言い換えれば、モーメント或いはトルク）との均衡を保つことが可能となる訳である。よって、搬送部が重心の移動によって傾くことを防止することが可能となる。尚、アウトリガ部は、より縁寄りに設けられる方がよいが、伸長によって移動した重心よりも縁に近い位置であれば、上述した効果を得ることが可能である。   When the outrigger portion comes into contact with the track portion, the outrigger portion supports the track portion and the main body portion, thereby preventing the track portion and the main body portion from contacting each other. It is possible to maintain a balance with the force (in other words, moment or torque) generated by the lateral movement of the center of gravity due to the drag or reaction force generated by the outrigger portion coming into contact with the track portion. Therefore, it is possible to prevent the conveyance unit from being inclined due to the movement of the center of gravity. The outrigger portion is preferably provided closer to the edge, but the above-described effect can be obtained if the outrigger portion is closer to the edge than the center of gravity moved by extension.

以上説明したように、本発明に係る搬送システムによれば、載置部が伸長した際にアウトリガ部が軌道部と当接するように移動させられるため、横移載の際に搬送車が傾いてしまうことを防止することが可能である。   As described above, according to the transport system according to the present invention, the outrigger unit is moved so as to come into contact with the track unit when the mounting unit extends, so that the transport vehicle is inclined during the lateral transfer. Can be prevented.

本発明の搬送システムの一態様では、前記載置部は、前記本体部に対して昇降可能である。   In one aspect of the transport system of the present invention, the placement unit can be raised and lowered with respect to the main body.

この態様によれば、例えば載置部には昇降ベルト等が設けられており、本体部に対して昇降可能とされている。即ち、本体部と異なる高さにある被搬送物を把持したり、本体部と異なる高さにある被搬送物台等に被搬送物を移載することが可能である。   According to this aspect, for example, the placing portion is provided with the lifting belt and the like, and can be raised and lowered with respect to the main body portion. In other words, it is possible to grip a transferred object at a height different from that of the main body, or to transfer the transferred object to a transferred object table or the like at a height different from that of the main body.

仮に、載置部が本体部から降下されている際に本体部が傾斜すると、載置部の位置も大きく変化することとなり、載置部と被搬送物との互いの位置、或いは被搬送物と被搬送物台との互いの位置を合わせることが著しく困難となるおそれがある。   If the main body is tilted when the mounting portion is lowered from the main body, the position of the mounting portion also changes greatly, and the position of the mounting portion and the transported object, or the transported object. There is a risk that it will be extremely difficult to align the positions of the carrier and the transported object table.

しかるに本態様では特に、アウトリガ部によって、本体部が傾いてしまうことを防止することが可能である。よって、載置部が伸長して降下されている場合であっても、載置部の位置が大きく変化してしまうことがない。従って、被搬送物を確実に把持する、或いは確実に被搬送物台に移載することが可能である。   However, in this embodiment, in particular, the outrigger portion can prevent the main body portion from being inclined. Therefore, even when the placement unit is extended and lowered, the position of the placement unit does not change greatly. Therefore, it is possible to reliably hold the object to be conveyed or transfer it to the object table.

本発明の搬送システムの他の態様では、前記アウトリガ部における前記軌道部と接触する部分は、ローラである。   In another aspect of the transport system of the present invention, the portion of the outrigger portion that contacts the track portion is a roller.

この態様によれば、アウトリガ駆動部によって移動されたアウトリガ部が軌道部と接触する部分はローラであり、好ましくは走行方向に転動可能に取り付けられることによって、軌道部上において回転することで、接触した状態であっても走行部の走行を妨げない。このため、載置部を伸長している場合に、アウトリガ部で本体部の傾きを防止しつつ走行することが可能となる。このような効果は、例えば被搬送物を載置する際の走行部の停止位置等の教示（所謂、ティーチング）を行う際に顕著に発揮される。   According to this aspect, the portion where the outrigger portion moved by the outrigger drive portion contacts the track portion is a roller, and preferably by rotating on the track portion by being attached so as to be able to roll in the traveling direction, Even if it is in a contacted state, it does not hinder the traveling of the traveling unit. For this reason, when the mounting portion is extended, the outrigger portion can travel while preventing the tilt of the main body portion. Such an effect is remarkably exhibited, for example, when teaching (so-called teaching) such as a stop position of the traveling unit when placing an object to be conveyed.

本発明の搬送システムの他の態様では、前記アウトリガ部における前記軌道部と接触する部分は、弾性体を含んでいる。   In another aspect of the transport system of the present invention, a portion of the outrigger portion that contacts the track portion includes an elastic body.

この態様によれば、アウトリガ駆動部によって移動されたアウトリガ部が軌道部と接触する部分は弾性体を含んでおり、軌道部と本体部とが接触することによる衝撃や傷を防止する。弾性体は、例えばウレタンゴムやシリコンゴム等であり、柔軟性、耐摩耗性、潤滑性等を考慮した上で材質を決定することによって、上述した効果をより高めることが可能である。   According to this aspect, the portion where the outrigger portion moved by the outrigger driving portion contacts the track portion includes the elastic body, and prevents an impact and a scratch due to the contact between the track portion and the main body portion. The elastic body is, for example, urethane rubber or silicon rubber, and the above-described effects can be further enhanced by determining the material in consideration of flexibility, wear resistance, lubricity, and the like.

本発明の搬送システムの他の態様では、前記アウトリガ部は、偏心シャフトに接続されており、前記アウトリガ駆動手段は、前記偏心シャフトを回転させることで、前記アウトリガ部を移動させる。   In another aspect of the transport system of the present invention, the outrigger portion is connected to an eccentric shaft, and the outrigger driving means moves the outrigger portion by rotating the eccentric shaft.

この態様によれば、アウトリガ部は、偏心シャフトに接続されている。そして、アウトリガ駆動手段によって、偏心シャフトが回転させられることで、アウトリガ部が移動される。このように構成することで、アウトリガ部をより容易に移動させることが可能となる。また、アウトリガ部及びアウトリガ駆動手段の構成を単純化できるため、コストの削減及び装置の小型化を実現することが可能である。   According to this aspect, the outrigger portion is connected to the eccentric shaft. And an outrigger part is moved because an eccentric shaft is rotated by an outrigger drive means. By comprising in this way, it becomes possible to move an outrigger part more easily. In addition, since the configuration of the outrigger portion and the outrigger driving means can be simplified, it is possible to reduce costs and downsize the apparatus.

本発明の搬送システムの他の態様では、前記アウトリガ部は、ピニオンと噛み合わされたラックに接続されており、前記アウトリガ駆動手段は、前記ピニオンを回転させることで、前記アウトリガ部を移動させる。   In another aspect of the transport system of the present invention, the outrigger portion is connected to a rack meshed with a pinion, and the outrigger driving means moves the outrigger portion by rotating the pinion.

この態様によれば、アウトリガ部は、ピニオンと噛み合わされたラックと接続されている。そして、アウトリガ駆動手段によって、ピニオンが回転させられることでラックが駆動し、ラックに接続されたアウトリガ部が移動される。このように構成することで、アウトリガ部をより容易に移動させることが可能となる。また、アウトリガ部及びアウトリガ駆動手段の構成を単純化できるため、コストの削減及び装置の小型化を実現することが可能である。   According to this aspect, the outrigger portion is connected to the rack meshed with the pinion. Then, the rack is driven by the pinion being rotated by the outrigger driving means, and the outrigger portion connected to the rack is moved. By comprising in this way, it becomes possible to move an outrigger part more easily. In addition, since the configuration of the outrigger portion and the outrigger driving means can be simplified, it is possible to reduce costs and downsize the apparatus.

本発明の搬送システムの他の態様では、前記アウトリガ部は、アクチュエータに接続されており、前記アウトリガ駆動手段は、前記アクチュエータを制御することで、前記アウトリガ部を移動させる。   In another aspect of the transport system of the present invention, the outrigger unit is connected to an actuator, and the outrigger driving unit moves the outrigger unit by controlling the actuator.

この態様によれば、アウトリガ部は、例えば電動式、電磁気式、油圧式、空圧式、機械式などのアクチュエータに接続されている。そして、アウトリガ駆動手段によって、アクチュエータが制御されることで、アウトリガ部が移動される。このように構成することで、アウトリガ部をより容易に移動させることが可能となる。また、アウトリガ部及びアウトリガ駆動手段の構成を単純化できるため、コストの削減及び装置の小型化を実現することが可能である。   According to this aspect, the outrigger portion is connected to an actuator such as an electric type, an electromagnetic type, a hydraulic type, a pneumatic type, and a mechanical type. And an outrigger part is moved because an actuator is controlled by an outrigger drive means. By comprising in this way, it becomes possible to move an outrigger part more easily. In addition, since the configuration of the outrigger portion and the outrigger driving means can be simplified, it is possible to reduce costs and downsize the apparatus.

本発明の搬送システムの他の態様では、前記アウトリガ部は、カムと噛み合わされるており、
前記アウトリガ駆動手段は、前記カムを制御することで、前記アウトリガ部を移動させる。 In another aspect of the transport system of the present invention, the outrigger portion is meshed with a cam,
The outrigger driving means moves the outrigger portion by controlling the cam.

この態様によれば、アウトリガ部はカムと噛み合わされている。そして、アウトリガ駆動手段がカムを回転させることにより、アウトリガ部が軌道部に接触するように移動される。このように構成することで、アウトリガ部をより容易に移動させることが可能となる。また、アウトリガ部及びアウトリガ駆動手段の構成を単純化できるため、コストの削減及び装置の小型化を実現することが可能である。   According to this aspect, the outrigger portion is meshed with the cam. Then, the outrigger drive means rotates the cam, so that the outrigger portion is moved so as to contact the track portion. By comprising in this way, it becomes possible to move an outrigger part more easily. In addition, since the configuration of the outrigger portion and the outrigger driving means can be simplified, it is possible to reduce costs and downsize the apparatus.

本発明の搬送システムの他の態様では、前記アウトリガ部が前記軌道部に接触したことを検出する接触検出手段を更に備える。   In another aspect of the transport system of the present invention, the transportation system further includes contact detection means for detecting that the outrigger portion has contacted the track portion.

この態様によれば、アウトリガ部が軌道部に当接するように移動された際に、接触検出手段によって、アウトリガ部が軌道部に接触したことが検出される。即ち、アウトリガ部によって、本体部が傾いてしまうことを適切に防止できているか否かを知ることが可能である。   According to this aspect, when the outrigger portion is moved so as to contact the track portion, it is detected by the contact detection means that the outrigger portion has contacted the track portion. That is, it is possible to know whether or not the main body portion can be appropriately prevented from being tilted by the outrigger portion.

アウトリガ部と接触する軌道部は、分岐点や合流点において途切れている場合があり、そのような地点においては、移動されたアウトリガ部が、軌道部に接触できないという事態が発生するおそれがある。このような場合に、本態様では特に、アウトリガ部が軌道部に接触したことが検出されないため、アウトリガ部による傾きを防止するという効果が適切に得られていないことを知ることができる。よって、本体部を移動させる等、アウトリガ部が軌道部に接触するように、何らかの対策を施すことが可能となる。   The track portion that contacts the outrigger portion may be interrupted at a branch point or a merge point. At such a point, there is a possibility that the moved outrigger portion cannot contact the track portion. In such a case, in particular, in this aspect, since it is not detected that the outrigger portion has contacted the track portion, it can be known that the effect of preventing the tilting by the outrigger portion is not properly obtained. Therefore, some measures can be taken so that the outrigger portion contacts the track portion, such as moving the main body portion.

以上説明したように、本態様に係る搬送システムによれば、移動されたアウトリガ部が軌道部に接触しているか否かを知ることができるため、横移載の際に搬送車が傾いてしまうことを、より好適に防止することが可能である。   As described above, according to the transport system according to this aspect, since it is possible to know whether or not the moved outrigger portion is in contact with the track portion, the transport vehicle is inclined during the lateral transfer. This can be prevented more suitably.

上述した接触検出手段を更に備える態様では、前記接触検出手段は、前記アウトリガ部が押下されていることを検出するように構成してもよい。   In the aspect further including the contact detection means described above, the contact detection means may be configured to detect that the outrigger portion is pressed.

このように構成すれば、アウトリガ部と軌道部との接触の検出は、アウトリガ部が軌道部から押下されていることを検出することによって行われる。   If comprised in this way, the detection of a contact with an outrigger part and a track | orbit part will be performed by detecting that the outrigger part is pushed down from a track | orbit part.

アウトリガ部は軌道部に当接するように移動されるため、接触した際には軌道部から抗力を受けて押下される。従って、押下されていることから、アウトリガ部が軌道部に接触していることを検出することが可能となる。   Since the outrigger portion is moved so as to come into contact with the track portion, when it comes into contact, the outrigger portion is pushed down by receiving a drag force from the track portion. Therefore, since it is pressed, it can be detected that the outrigger portion is in contact with the track portion.

押下されたことを検出するように構成することで、例えば光学式センサや接触式センサ等を用いた単純な構成によって、アウトリガ部が軌道部に接触したことを検出することが可能となる。   By configuring so as to detect that the button has been pressed, it is possible to detect that the outrigger portion has contacted the track portion by a simple configuration using, for example, an optical sensor or a contact sensor.

上述した接触検出手段がアウトリガ部の押下を検出する態様では、前記アウトリガ部が移動されていない際に、前記アウトリガ部を前記軌道部に接触しない範囲で前記軌道部に近付けるように付勢する付勢手段を更に備えるように構成してもよい。   In the aspect in which the contact detection means detects the pressing of the outrigger portion, when the outrigger portion is not moved, the outrigger portion is energized so as to approach the track portion within a range not contacting the track portion. You may comprise so that a biasing means may be further provided.

このように構成すれば、アウトリガ部がアウトリガ駆動手段によって移動されていない際に、アウトリガ部は軌道部に接触しない範囲で軌道部に近付くように付勢される。付勢手段は、典型的にはバネであり、その復元力によってアウトリガ部を付勢する。   If comprised in this way, when the outrigger part is not moved by the outrigger drive means, the outrigger part is urged so as to approach the track part in a range not contacting the track part. The urging means is typically a spring and urges the outrigger portion by its restoring force.

上述したように付勢しておけば、軌道と接触したアウトリガ部は、軌道部から押下されることで、付勢した分だけ押し戻される。よって、軌道部から押下されていることを、より容易に検出することが可能となる。従って、アウトリガ部が軌道と接触していることをより好適に検出することが可能である。   If energized as described above, the outrigger portion that has come into contact with the track is pushed back from the track portion by the amount energized. Therefore, it is possible to more easily detect that the track has been pressed from the track portion. Therefore, it is possible to more suitably detect that the outrigger portion is in contact with the track.

本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。   The operation and other advantages of the present invention will become apparent from the best mode for carrying out the invention described below.

以下では、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

＜第１実施形態＞
先ず、第１実施形態に係る搬送システムの構成について、図１及び図２を参照して説明する。ここに図１は、搬送システムの構成を示す側面図であり、図２は横移載を行う際の搬送システムの構成を示す側面図である。 <First Embodiment>
First, the configuration of the transport system according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. 1 is a side view showing the configuration of the transfer system, and FIG. 2 is a side view showing the configuration of the transfer system when performing horizontal transfer.

図１において、第１実施形態に係る搬送システムは、走行ローラ１１５を有する走行部１１０と、本体部１３０、移動部１４０、把持部１５０、昇降ベルト１６０及び落下防止部１７０を有する搬送部１２０と、アウトリガ部２００と、軌道部３００とを備えて構成されている。   In FIG. 1, the transport system according to the first embodiment includes a travel unit 110 having a travel roller 115, a transport unit 120 having a main body unit 130, a moving unit 140, a gripping unit 150, a lifting belt 160, and a fall prevention unit 170. The outrigger unit 200 and the track unit 300 are provided.

軌道部３００は、天井に敷設されており、例えば鉄やステンレス等の金属から構成される。   The track part 300 is laid on the ceiling and is made of a metal such as iron or stainless steel, for example.

走行部１１０は、例えば図示しないモータ等によって走行ローラ１１５を回転させることで、軌道部３００内を走行する。   The traveling unit 110 travels in the track unit 300 by rotating the traveling roller 115 by, for example, a motor (not shown).

搬送部１２０は、本体部１３０が走行部１１０に吊り下がる形で取り付けられており、本体部１３０の下面に移動部１４０が設けられている。移動部１４０の内部には、把持部１５０が昇降ベルト１６０によって取り付けられている。また移動部１４０の下方には、被搬送物４００の落下を防止する落下防止部１７０が設けられている。尚、移動部１４０、把持部１５０、昇降ベルト１６０及び落下防止部１７０は本発明の「載置部」の一例である。   The transport unit 120 is attached such that the main body 130 is suspended from the traveling unit 110, and a moving unit 140 is provided on the lower surface of the main body 130. Inside the moving unit 140, a gripping unit 150 is attached by a lifting belt 160. Further, below the moving unit 140, a fall prevention unit 170 that prevents the transported object 400 from falling is provided. The moving unit 140, the gripping unit 150, the elevating belt 160, and the fall prevention unit 170 are examples of the “mounting unit” in the present invention.

図２において、搬送部１２０は、移動部１４０を本体部１３０の側方に伸長して、被搬送物４００の横移載を行うことも可能である。また、昇降ベルト１６０の巻出し及び巻取りを行うことで、本体部１３０と高さの異なる位置にある被搬送物４００を移載することも可能である。落下防止部１７０は、被搬送物４００の移載を行う場合には、移載の妨げとならないように縮小させる、或いは移動部１４０の内部に収納させることが可能である。   In FIG. 2, the transport unit 120 can extend the moving unit 140 to the side of the main body unit 130 to perform the lateral transfer of the transported object 400. In addition, by performing unwinding and winding of the elevating belt 160, it is also possible to transfer the transported object 400 at a position different in height from the main body 130. When the transfer object 400 is transferred, the fall prevention unit 170 can be reduced so as not to hinder the transfer, or can be stored inside the moving unit 140.

アウトリガ部２００は、本体部１３０の軌道部３００に対向する面に設けられており、移動されることによって、軌道部３００と接触可能である。また、アウトリガ部２００における軌道部３００と接触する部分は、ローラである。   The outrigger unit 200 is provided on the surface of the main body unit 130 that faces the track unit 300, and can contact the track unit 300 by being moved. Moreover, the part which contacts the track part 300 in the outrigger part 200 is a roller.

次に、第１実施形態に係る搬送システムの動作について、引き続き図１及び図２を参照して説明する。尚、ここでは搬送部１２０が被搬送物４００の横移載を行う場合を例にとり説明する。   Next, the operation of the transport system according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. Here, a case where the transport unit 120 performs horizontal transfer of the transported object 400 will be described as an example.

図１において、第１実施形態に係る搬送システムの動作時には、先ず被搬送物４００を移載していない搬送部１２０が、走行部１１０によって被搬送物４００を移載する位置に移動される。この際、アウトリガ部２００は軌道部３００とは接触していない。また、搬送部１２０の重心は、本体部１３０のほぼ中心の位置となっている。   In FIG. 1, during the operation of the transport system according to the first embodiment, first, the transport unit 120 to which the transported object 400 has not been transferred is moved to a position to transfer the transported object 400 by the traveling unit 110. At this time, the outrigger portion 200 is not in contact with the track portion 300. In addition, the center of gravity of the conveyance unit 120 is substantially the center position of the main body 130.

図２において、搬送部１２０は、先ず移動部１４０を本体部１３０の側方に移動（即ち、伸長）させる。続いて、昇降ベルト１６０を巻出すことによって、把持部１５０を被搬送物台等に設置された被搬送物４００の位置まで降下させ、被搬送物４００を移載する。この際、移動部１４０の伸長と共に、搬送部１２０の重心は伸長と同じ方向（即ち、図における右方向）に移動する。このため、走行部１１０から吊り下げられている搬送部１２０は、移動した重心を中心にして傾こうとする。   In FIG. 2, the transport unit 120 first moves (that is, extends) the moving unit 140 to the side of the main body unit 130. Subsequently, the lifting belt 160 is unwound to lower the gripping part 150 to the position of the object to be conveyed 400 installed on the object to be conveyed, and transfer the object to be conveyed 400. At this time, the center of gravity of the transport unit 120 moves in the same direction as the extension (that is, in the right direction in the drawing) along with the extension of the moving unit 140. For this reason, the conveyance unit 120 suspended from the traveling unit 110 tends to tilt around the moved center of gravity.

ここで本実施形態では特に、移動部１４０が伸長された際には、アウトリガ部２００が鉛直方向上向きに移動されることで軌道部３００と接触する。搬送部１２０は、アウトリガ部２００を介して軌道部３００からの抗力を受けるため、傾かずに移動部１４０を伸長する前の姿勢を維持することが可能となる。従って、搬送部１２０が傾くことによる被搬送物４００の破損或いは故障等を防止することができる。   Here, particularly in the present embodiment, when the moving unit 140 is extended, the outrigger unit 200 is brought into contact with the track unit 300 by moving upward in the vertical direction. Since the transport unit 120 receives a drag force from the track unit 300 via the outrigger unit 200, the transport unit 120 can maintain the posture before extending the moving unit 140 without tilting. Accordingly, it is possible to prevent damage or failure of the transported object 400 due to the tilt of the transport unit 120.

また、図２に示すように、把持部１５０を降下させて被搬送物を移載する際には特に、搬送部１２０が傾くことによって、昇降ベルト１６０の先端に取り付けられた把持部１５０の位置は大きく変化してしまい、被搬送物４００を把持することが困難となるおそれがある。   In addition, as shown in FIG. 2, the position of the gripper 150 attached to the tip of the elevating belt 160 is lowered particularly when the transport unit 120 is tilted when the gripper 150 is lowered to transfer an object to be transported. May greatly change and it may be difficult to grip the object 400 to be conveyed.

更に、被搬送物を把持した後には、被搬送物４００の重みも加わることで更に重心が移動して、搬送部１２０の傾きは大きくなる。把持した被搬送物４００を被搬送物台等に移載する場合は、被搬送物４００の底面と被搬送物台の載置面との位置を互いに平行に近づくようにした方がよいが、搬送部１２０が傾くことで、把持部１５０の位置も大きく変化するので、このような位置合わせの動作が著しく困難となってしまう。   Furthermore, after gripping the transported object, the weight of the transported object 400 is also added, so that the center of gravity moves further, and the inclination of the transport unit 120 increases. When the gripped object 400 is transferred to the object table or the like, it is better that the positions of the bottom surface of the object 400 and the placement surface of the object table are parallel to each other. Since the position of the gripping part 150 changes greatly by the inclination of the conveying part 120, such an alignment operation becomes extremely difficult.

これに対し、本実施形態では、上述したようにアウトリガ部２００によって、搬送部１２０が傾くことを防止することができる。このため、被搬送物４００を把持部１５０によって把持する際に、被搬送物４００と把持部１５０との位置合わせがより正確に行える。また、把持した被搬送物４００を被搬送物台等に移載する場合にも、被搬送物４００と被搬送物台との位置合わせがより正確に行える。従って、被搬送物４００の移載をより確実に行うことが可能となる。   On the other hand, in this embodiment, as described above, the outrigger unit 200 can prevent the conveyance unit 120 from being inclined. For this reason, when the transported object 400 is gripped by the gripping unit 150, the transported object 400 and the gripping unit 150 can be more accurately aligned. Also, when the gripped object 400 is transferred to a object table or the like, the object 400 and the object table can be more accurately aligned. Therefore, it becomes possible to transfer the transferred object 400 more reliably.

更に、アウトリガ部２００における軌道部３００と接触する部分はローラであるため、アウトリガ部２００が軌道部３００と接触している場合においても、走行部１１０による走行が可能である。よって、横移載を行った状態でも搬送部１２０を傾かせずに走行させることが可能である。このように横移載を行った状態のままで円滑に走行可能であると、ティーチングの際に便利である。   Furthermore, since the portion of the outrigger portion 200 that contacts the track portion 300 is a roller, the traveling portion 110 can travel even when the outrigger portion 200 is in contact with the track portion 300. Therefore, it is possible to run the transport unit 120 without tilting even in a state where the lateral transfer is performed. In this way, it is convenient for teaching to be able to travel smoothly in the state where the lateral transfer is performed.

次に、アウトリガ部２００の詳細な構成及び動作について図３及び図４を参照して説明する。ここに図３はアウトリガ部の全体構成を示す上面図であり、図４は、偏心シャフトによるアウトリガ部の駆動を示す側面図である。   Next, a detailed configuration and operation of the outrigger unit 200 will be described with reference to FIGS. 3 and 4. FIG. 3 is a top view showing the entire configuration of the outrigger portion, and FIG. 4 is a side view showing driving of the outrigger portion by the eccentric shaft.

図３において、アウトリガ部２００は、ローラ２１０と、シャフト２２０と、ベベルギア２３０と偏心シャフト２４０とを備えて構成されている。尚、シャフト２２０には、本発明の「アウトリガ駆動部」の一例であるモータが接続されている。また、ローラ２１０の表面（即ち、軌道部３００と接触する面）は、ウレタンゴムによって構成されている。   In FIG. 3, the outrigger unit 200 includes a roller 210, a shaft 220, a bevel gear 230, and an eccentric shaft 240. The shaft 220 is connected to a motor that is an example of the “outrigger drive” according to the present invention. Further, the surface of the roller 210 (that is, the surface in contact with the track portion 300) is made of urethane rubber.

アウトリガ部２００の駆動時には、先ずモータの回転がシャフト２２０に伝えられる。続いて、シャフト２２０の回転方向が、シャフト２２０に接続されたベベルギア２３０によって変換されて、偏心シャフト２４０に伝えられる。そして、偏心シャフト２４０が回転されることによって、偏心シャフト２４０に接続されたローラ２１０が移動され、軌道部３００に接触する。   When the outrigger unit 200 is driven, the rotation of the motor is first transmitted to the shaft 220. Subsequently, the rotational direction of the shaft 220 is converted by the bevel gear 230 connected to the shaft 220 and transmitted to the eccentric shaft 240. Then, when the eccentric shaft 240 is rotated, the roller 210 connected to the eccentric shaft 240 is moved and contacts the track portion 300.

図４において、駆動前のローラ２１０は、軌道部３００に接触していない状態である。そして、駆動によって偏心シャフト２４０が回転されると、ローラ２１０全体が回転して鉛直方向上向きへと移動することにより、軌道部３００と接触する。軌道部３００に接触したローラ２１０は、ベアリング２１５を軸にして軌道部３００上を回転することが可能である。尚、この際、ローラ２１０の回転軸と偏心軸とが縦に並ぶように（即ち、図に示すように回転軸及び偏心軸を結ぶ直線と軌道部３００における接触面とが垂直になるように）、或いはそれに近付けるようにすることで、ローラ２１０の回転トルクを小さくでき、よりスムーズな回転を実現することが可能となる。   In FIG. 4, the roller 210 before driving is not in contact with the track portion 300. When the eccentric shaft 240 is rotated by driving, the entire roller 210 rotates and moves upward in the vertical direction, thereby coming into contact with the track portion 300. The roller 210 in contact with the track part 300 can rotate on the track part 300 around the bearing 215. At this time, the rotation axis and the eccentric shaft of the roller 210 are aligned vertically (that is, as shown in the figure, the straight line connecting the rotation axis and the eccentric shaft and the contact surface of the track portion 300 are perpendicular to each other). ) Or close to it, the rotational torque of the roller 210 can be reduced, and smoother rotation can be realized.

次に、アウトリガ部２００の変形例について図５及び図６を参照して説明する。ここに図５及び図６は夫々、アウトリガ部の変形例を示す側面図である。尚、図５及び図６においては、モータ等の一部の部材を省略して図示してある。   Next, a modified example of the outrigger unit 200 will be described with reference to FIGS. 5 and 6. 5 and 6 are side views showing modifications of the outrigger portion. In FIGS. 5 and 6, some members such as a motor are omitted.

図５において、ローラ２１０は、ピニオン２５０と噛み合わされたラック２６０に接続されている。このように構成する場合、ピニオン２５０を回転させることによって、ラック２６０及びラック２６０に接続されたローラ２１０が図における上下方向に駆動される。   In FIG. 5, the roller 210 is connected to a rack 260 meshed with the pinion 250. In such a configuration, by rotating the pinion 250, the rack 260 and the roller 210 connected to the rack 260 are driven in the vertical direction in the drawing.

図６において、ローラ２１０は、本発明の「アクチュエータ」の一例である、リニアアクチュエータに接続されており、リニアアクチュエータを制御することによって、ローラ２１０が図における上下方向に駆動される。   In FIG. 6, a roller 210 is connected to a linear actuator, which is an example of the “actuator” of the present invention, and the roller 210 is driven in the vertical direction in the figure by controlling the linear actuator.

このように、アウトリガ部２００の構成は、ローラ２１０を軌道部３００に当接させるような方向に駆動できるものであれば、様々な態様をとることが可能である。   As described above, the configuration of the outrigger unit 200 can take various modes as long as it can be driven in a direction in which the roller 210 is brought into contact with the track unit 300.

以上説明したように、第１実施形態に係る搬送システムによれば、横移載を行う場合等に、搬送車１００の重心がずれて、搬送車１００が傾くことを防止することが可能である。従って、例えば衝撃に弱い半導体等の基板等をより好適に移載し、搬送することが可能である。   As described above, according to the transport system according to the first embodiment, it is possible to prevent the transport vehicle 100 from tilting due to a shift in the center of gravity of the transport vehicle 100 when performing horizontal transfer. . Therefore, for example, a substrate such as a semiconductor that is vulnerable to impact can be transferred and transported more suitably.

＜第２実施形態＞
次に、第２実施形態に係る搬送システムについて、図７から図１１を参照して説明する。ここに図７は、第２実施形態に係る搬送システムにおける、非接触時のアウトリガ部の構成を示す側面図であり、図８は、第２実施形態に係る搬送システムにおける、接触時のアウトリガ部の構成を示す側面図である。また図９は、センサ部の構成を示す側面図であり、図１０及び図１１は、第２実施形態に係る搬送システムの変形例の構成を示す側面図である。尚、図７及び図９、並びに図１０においては、図３から図６において示したようなローラ２１０を駆動するための構成は省略して図示してあり、図１１においては、仕切り板やセンサ部等を省略して図示してある。また、第２実施形態は、上述の第１実施形態と比べて、アウトリガ部の接触を検出するセンサ部を備えている点で異なり、その他の構成及び動作については概ね同様である。このため第２実施形態では、センサ部の構成及び動作について詳細に説明し、その他の構成及び動作については適宜説明を省略する。 Second Embodiment
Next, a transport system according to the second embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 7 is a side view showing a configuration of the outrigger portion at the time of non-contact in the transport system according to the second embodiment, and FIG. 8 is an outrigger portion at the time of contact in the transport system according to the second embodiment. It is a side view which shows the structure of. FIG. 9 is a side view illustrating the configuration of the sensor unit, and FIGS. 10 and 11 are side views illustrating the configuration of a modified example of the transport system according to the second embodiment. 7, 9, and 10, the configuration for driving the roller 210 as shown in FIGS. 3 to 6 is omitted, and in FIG. 11, a partition plate and a sensor are illustrated. The parts are not shown in the figure. The second embodiment differs from the first embodiment described above in that it includes a sensor unit that detects contact of the outrigger unit, and the other configurations and operations are generally the same. For this reason, in 2nd Embodiment, the structure and operation | movement of a sensor part are demonstrated in detail, and description is abbreviate | omitted suitably about another structure and operation | movement.

図７において、第２実施形態に係る搬送システムにおけるアウトリガ部２００は、ローラ２１０と、駆動板５１０と、基準板５２０と、駆動軸５３０と、本発明の「付勢手段」の一例であるバネ５４０と、仕切り板５５０と、本発明の「接触検出手段」の一例であるセンサ部５６０とを備えて構成されている。   In FIG. 7, the outrigger unit 200 in the transport system according to the second embodiment includes a roller 210, a drive plate 510, a reference plate 520, a drive shaft 530, and a spring that is an example of the “biasing means” of the present invention. 540, a partition plate 550, and a sensor unit 560 which is an example of the “contact detection means” of the present invention.

駆動板５１０は、本体部１３０（図１参照）に固定された基準板５２０に駆動軸５３０を介して接続されており、駆動軸５３０回転軸として回転するように駆動可能とされている。尚、駆動板５１０にはローラ２１０及び仕切り板５５０が固定されており、基準板５２０にはセンサ部５６０が固定されている。   The drive plate 510 is connected to a reference plate 520 fixed to the main body 130 (see FIG. 1) via a drive shaft 530, and can be driven to rotate as a drive shaft 530 rotation shaft. The roller 210 and the partition plate 550 are fixed to the drive plate 510, and the sensor unit 560 is fixed to the reference plate 520.

バネ５４０は、駆動板５１０及び基準板５２０に接続されており、駆動板５１０を基準板５２０に引付けるように（即ち、図中の矢印方向に）付勢している。   The spring 540 is connected to the drive plate 510 and the reference plate 520 and urges the drive plate 510 to be attracted to the reference plate 520 (that is, in the direction of the arrow in the drawing).

仕切り板５５０は、金属の板等であって、付勢された状態でセンサ部５６０に検出されるように配置されている。   The partition plate 550 is a metal plate or the like, and is disposed so as to be detected by the sensor unit 560 in a biased state.

センサ部５６０は、例えば、ローラ２１０が当接していない際の仕切り板５５０の縁部（図７から図９において、下側の縁の付近にある部分）を挟んで対向配置された一対の発光部５６１及び受光部５６２を有する。尚、センサ部５６０は、接触式のセンサ等から構成されてもよい。   The sensor unit 560 is, for example, a pair of light emitting elements disposed opposite to each other with the edge portion of the partition plate 550 when the roller 210 is not in contact (portion in the vicinity of the lower edge in FIGS. 7 to 9). Part 561 and light receiving part 562. The sensor unit 560 may be composed of a contact sensor or the like.

図８において、ローラ２１０が移動されて軌道部３００に接触すると、ローラ２１０は軌道部３００によって押下される。ローラ２１０は駆動板５１０に固定されているため、ローラ２１０が押下されるのに伴い、駆動板５１０も押下される。   In FIG. 8, when the roller 210 is moved and contacts the track portion 300, the roller 210 is pushed down by the track portion 300. Since the roller 210 is fixed to the driving plate 510, the driving plate 510 is also pressed as the roller 210 is pressed.

ここで、駆動板５１０に固定されていた仕切り板５５０の位置も変化し（即ち、図中における仕切り板５５０の右端が、図の上方向に移動する。）、仕切り板５５０はセンサ部５６０によって検出されなくなる。以下に、センサ部５６０による検出について詳細に説明する。   Here, the position of the partition plate 550 fixed to the drive plate 510 also changes (that is, the right end of the partition plate 550 in the drawing moves upward), and the partition plate 550 is moved by the sensor unit 560. It will not be detected. Below, the detection by the sensor part 560 is demonstrated in detail.

図９において、ローラ２１０が軌道部３００に接触していない場合（図７参照）、仕切り板５５０は、センサ部５６０の発光部５６１と受光部５６２との間に位置する。このため、発光部５６１から出射された光は受光部５６２に到達せず、これによりセンサ部５６０は仕切り板５５０を検出する。   In FIG. 9, when the roller 210 is not in contact with the track part 300 (see FIG. 7), the partition plate 550 is located between the light emitting part 561 and the light receiving part 562 of the sensor part 560. For this reason, the light emitted from the light emitting unit 561 does not reach the light receiving unit 562, whereby the sensor unit 560 detects the partition plate 550.

一方、ローラ２１０が軌道部３００に接触している場合（図８参照）、仕切り板５５０は上述したように、図中における上方向に移動する。このため、発光部５６１から出射された光は受光部５６２に到達し、仕切り板５５０はセンサ部５６０によって検出されなくなる。   On the other hand, when the roller 210 is in contact with the track portion 300 (see FIG. 8), the partition plate 550 moves upward in the drawing as described above. For this reason, the light emitted from the light emitting unit 561 reaches the light receiving unit 562, and the partition plate 550 is not detected by the sensor unit 560.

上述したように、仕切り板５５０が、ローラ２１０が軌道部３００に接触していない場合には検出され、接触している場合には検出されないようにすることで、センサ部５６０によって、間接的にローラ２１０が軌道部３００に接触したことを検出することができる。   As described above, the partition plate 550 is detected when the roller 210 is not in contact with the track portion 300, and is not detected when the roller 210 is in contact with the sensor plate 560. It can be detected that the roller 210 has contacted the track portion 300.

図１０において、アウトリガ部２００は、ローラ２１０に接続された仕切り板５５０を、バネ５４０によって基準板５２０側から軌道部３００側に押し上げるように構成してもよい。このような場合、仕切り板５５０はセンサ部５６０によって、ローラ２１０が軌道部３００に接触していない場合には検出されず、接触している場合に検出される。   In FIG. 10, the outrigger unit 200 may be configured to push up the partition plate 550 connected to the roller 210 from the reference plate 520 side to the track unit 300 side by a spring 540. In such a case, the partition plate 550 is not detected by the sensor unit 560 when the roller 210 is not in contact with the track unit 300, but is detected when the roller 210 is in contact.

図１１において、アウトリガ部２００は、ローラ２１０がバネ５４０によって押し下げられるように構成してもよい。例えば、図に示すように本体部１３０（図１参照）等に固定された支持板６１０と、カム６３０に噛み合わされた噛合部６２０との間にバネ５４０が設けられ、ローラ２１０が軌道部３００から遠ざかる側（即ち、図の下側）に付勢されるように構成される。   In FIG. 11, the outrigger unit 200 may be configured such that the roller 210 is pushed down by a spring 540. For example, as shown in the drawing, a spring 540 is provided between a support plate 610 fixed to the main body 130 (see FIG. 1) and the meshing portion 620 meshed with the cam 630, and the roller 210 is connected to the track portion 300. It is comprised so that it may be urged | biased to the side away from (that is, lower side of a figure).

アウトリガ部２００が駆動される際には、カム６３０が駆動モータ６５０によって、回転軸６４０を軸にして回転される。これによって、図に示すようにローラ２１０が押し上げられ、アウトリガ部２００は軌道部３００と接触するように移動される。   When the outrigger unit 200 is driven, the cam 630 is rotated about the rotation shaft 640 by the drive motor 650. As a result, the roller 210 is pushed up as shown in the figure, and the outrigger portion 200 is moved so as to come into contact with the track portion 300.

このように、アウトリガ部２００の構成は、ローラ２１０が軌道部３００に接触したことをセンサ部５６０によって検出できるようなものであれば、様々な態様をとることが可能である。   As described above, the configuration of the outrigger unit 200 can take various forms as long as the sensor unit 560 can detect that the roller 210 has contacted the track unit 300.

以上説明したように、第２実施形態に係る搬送システムによれば、アウトリガ部２００の接触を検出するセンサ部５６０が備えられているため、アウトリガ部２００による搬送部１２０の傾きを防止するという効果が適切に得られているか否かを検出することができる。従って、より好適に搬送部１２０の傾きを防止することが可能である。   As described above, according to the transport system according to the second embodiment, since the sensor unit 560 that detects the contact of the outrigger unit 200 is provided, the effect of preventing the tilt of the transport unit 120 by the outrigger unit 200 is achieved. It is possible to detect whether or not is appropriately obtained. Therefore, it is possible to prevent the conveyance unit 120 from tilting more suitably.

本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う搬送システムもまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be appropriately changed without departing from the gist or concept of the invention that can be read from the claims and the entire specification. It is included in the technical scope of the present invention.

搬送システムの構成を示す側面図である。It is a side view which shows the structure of a conveyance system. 横移載を行う際の搬送システムの構成を示す側面図である。It is a side view which shows the structure of the conveyance system at the time of performing horizontal transfer. アウトリガ部の全体構成を示す上面図である。It is a top view which shows the whole structure of an outrigger part. 偏心シャフトによるアウトリガ部の駆動を示す側面図である。It is a side view which shows the drive of the outrigger part by an eccentric shaft. アウトリガ部の変形例を示す側面図（その１）である。It is a side view (the 1) which shows the modification of an outrigger part. アウトリガ部の変形例を示す側面図（その２）である。It is a side view (the 2) showing a modification of an outrigger part. 第２実施形態に係る搬送システムにおける、非接触時のアウトリガ部の構成を示す側面図である。It is a side view which shows the structure of the outrigger part at the time of non-contact in the conveyance system which concerns on 2nd Embodiment. 第２実施形態に係る搬送システムにおける、接触時のアウトリガ部の構成を示す側面図である。It is a side view which shows the structure of the outrigger part at the time of the contact in the conveyance system which concerns on 2nd Embodiment. センサ部の構成を示す側面図である。It is a side view which shows the structure of a sensor part. 第２実施形態に係る搬送システムの変形例の構成を示す側面図（その１）である。It is a side view (the 1) which shows the composition of the modification of the conveyance system concerning a 2nd embodiment. 第２実施形態に係る搬送システムの変形例の構成を示す側面図（その２）である。It is a side view (the 2) showing the composition of the modification of the conveyance system concerning a 2nd embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

１１０…走行部、１１５…走行ローラ、１２０…搬送部、１３０…本体部、１４０…移動部、１５０…把持部、１６０…昇降ベルト、１７０…落下防止部、２００…アウトリガ部、２１０…ローラ、２１５…ベアリング、２２０…シャフト、２３０…ベベルギア、２４０…偏心シャフト、２５０…ピニオン、２６０…ラック、２７０…リニアアクチュエータ、３００…軌道部、４００…被搬送物、５１０…駆動板、５２０…基準板、５３０…駆動軸、５４０…バネ、５５０…仕切り板、５６０…センサ部、６１０…支持板、６２０…噛合部、６３０…カム、６４０…回転軸、６５０…駆動モータ   DESCRIPTION OF SYMBOLS 110 ... Traveling part, 115 ... Traveling roller, 120 ... Conveying part, 130 ... Main part, 140 ... Moving part, 150 ... Gripping part, 160 ... Lifting belt, 170 ... Fall prevention part, 200 ... Outrigger part, 210 ... Roller, 215 ... Bearing, 220 ... Shaft, 230 ... Bevel gear, 240 ... Eccentric shaft, 250 ... Pinion, 260 ... Rack, 270 ... Linear actuator, 300 ... Track part, 400 ... Object to be conveyed, 510 ... Drive plate, 520 ... Reference plate 530 ... drive shaft, 540 ... spring, 550 ... partition plate, 560 ... sensor unit, 610 ... support plate, 620 ... meshing portion, 630 ... cam, 640 ... rotary shaft, 650 ... drive motor

Claims (11)

天井に敷設された軌道部と、
該軌道部を走行する走行部と、
該走行部に吊り下がる形で取り付けられた本体部及び該本体部から前記軌道部の側方に伸長して前記被搬送物を載置可能である載置部を有する搬送部と、
前記軌道部に対向する前記本体部の面における、前記載置部が伸長することによって前記搬送部の重心が移動する方向とは反対方向の縁寄りに設けられており、前記軌道部に向かって移動可能なアウトリガ部と、
前記載置部が伸長する際に、前記軌道部に当接するように前記アウトリガ部を移動させるアウトリガ駆動手段と
を備えることを特徴とする搬送システム。 A track section laid on the ceiling,
A traveling unit traveling on the track unit;
A transport unit having a main body unit attached in a form suspended from the traveling unit, and a mounting unit that extends from the main body unit to the side of the track unit and can mount the object to be transported;
On the surface of the main body portion facing the track portion, the mounting portion is provided near the edge in the direction opposite to the direction in which the center of gravity of the transport portion moves by extending, toward the track portion. A movable outrigger section;
Outrigger driving means for moving the outrigger portion so as to abut on the track portion when the placement portion extends. 前記載置部は、前記本体部に対して昇降可能であることを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。   The transport system according to claim 1, wherein the placement unit can be moved up and down with respect to the main body. 前記アウトリガ部における前記軌道部と接触する部分は、ローラであることを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送システム。   The conveyance system according to claim 1, wherein a portion of the outrigger portion that contacts the track portion is a roller. 前記アウトリガ部における前記軌道部と接触する部分は、弾性体を含んでいることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の搬送システム。   The part which contacts the said track part in the said outrigger part contains the elastic body, The conveyance system as described in any one of Claim 1 to 3 characterized by the above-mentioned. 前記アウトリガ部は、偏心シャフトに接続されており、
前記アウトリガ駆動手段は、前記偏心シャフトを回転させることで、前記アウトリガ部を移動させることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の搬送システム。 The outrigger portion is connected to an eccentric shaft;
5. The transport system according to claim 1, wherein the outrigger driving unit moves the outrigger portion by rotating the eccentric shaft. 6. 前記アウトリガ部は、ピニオンと噛み合わされたラックに接続されており、
前記アウトリガ駆動手段は、前記ピニオンを回転させることで、前記アウトリガ部を移動させることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の搬送システム。 The outrigger portion is connected to a rack meshed with a pinion,
5. The transport system according to claim 1, wherein the outrigger driving unit moves the outrigger portion by rotating the pinion. 6. 前記アウトリガ部は、アクチュエータに接続されており、
前記アウトリガ駆動手段は、前記アクチュエータを制御することで、前記アウトリガ部を移動させることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の搬送システム。 The outrigger portion is connected to an actuator;
5. The transport system according to claim 1, wherein the outrigger driving unit moves the outrigger portion by controlling the actuator. 6. 前記アウトリガ部は、カムと噛み合わされるており、
前記アウトリガ駆動手段は、前記カムを制御することで、前記アウトリガ部を移動させることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の搬送システム。 The outrigger portion is meshed with a cam,
5. The transport system according to claim 1, wherein the outrigger driving unit moves the outrigger portion by controlling the cam. 6. 前記アウトリガ部が前記軌道部に接触したことを検出する接触検出手段を更に備えることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の搬送システム。   The transport system according to any one of claims 1 to 8, further comprising contact detection means for detecting that the outrigger portion is in contact with the track portion. 前記接触検出手段は、前記アウトリガ部が押下されていることを検出することを特徴とする請求項９に記載の搬送システム。   The conveyance system according to claim 9, wherein the contact detection unit detects that the outrigger portion is pressed. 前記アウトリガ部が移動されていない際に、前記アウトリガ部を前記軌道部に接触しない範囲で前記軌道部に近付けるように付勢する付勢手段を更に備えることを特徴とする請求項１０に記載の搬送システム。   The urging means for urging the outrigger portion to approach the track portion within a range not contacting the track portion when the outrigger portion is not moved. Conveying system.
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