JP2009009670A - Clamp mechanism of magnetic head assembly, and inspection device using the same - Google Patents

Clamp mechanism of magnetic head assembly, and inspection device using the same Download PDF

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Toshinori Sugiyama
敏教 杉山
Toru Miyajima
徹 宮嶋
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a clamp mechanism of magnetic head assembly and an inspection device using the same in which automation of exchange work of a magnetic head can be performed. <P>SOLUTION: In this invention, when an attachment base part of the magnetic head assembly is placed on a head clamp mount from an upper part of the head clamp mount, clamp can be performed by energy of a spring. Thereby, the attachment base mount of the magnetic head assembly may be transported to a position of the head clamp mount by a handling robot or the like, in also positioning of the attachment base part, the attachment hole may be corresponded to a position coordinate of a positioning pin. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

この発明は、磁気ヘッドアッセンブリのクランプ機構およびこれを用いる検査装置に関し、詳しくは、磁気ヘッドアッセンブリ（磁気ヘッド＋サスペンションスプリング）がヘッドクランプ台に装着された磁気ヘッドの検査装置あるいは磁気ディスクの検査装置において、磁気ヘッドアッセンブリの交換作業の自動化をすることが可能な磁気ヘッドアッセンブリのクランプ機構に関するものである。   BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head assembly clamping mechanism and an inspection apparatus using the same, and more particularly to a magnetic head inspection apparatus or a magnetic disk inspection apparatus in which a magnetic head assembly (magnetic head + suspension spring) is mounted on a head clamp base. The present invention relates to a clamp mechanism for a magnetic head assembly capable of automating the replacement operation of the magnetic head assembly.

最近においては、磁気ディスクの高密度化が進み、現在では数百ギガオーダのハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）が主流となってきている。このような磁気ディスクの高記録密度化に伴い、磁気ヘッドの浮上量は低下してきている。
最近では、１５ｍｍ〜２０ｍｍ程度のサスペンションスプリングの先端に０．数ｍｍ〜１ｍｍ角程度の大きさのスライダが付き、薄膜磁気ヘッドとディスクの間隔は、数ｎｍ〜十ｎｍの距離までに接近してきている。
このようなＨＤＤの情報記録媒体としての磁気ディスクと、ＨＤＤにおいてデータの読み書きを行う磁気ヘッド（磁気ヘッドアッセンブリ）とは、製造段階でそれぞれの検査装置により精密な性能検査が行われている。
また、ＨＤＤは、現在では自動車製品や家電製品、音響製品の分野にまで浸透し、２．５インチから１．８インチに、さらには１．０インチ以下のハードディスク駆動装置が各種製品に内蔵され、使用されている。それによりＨＤＤの低価格化と大量生産化の要請がある。そのため、磁気ヘッド検査装置にあっても多量の磁気ヘッドを効率よく検査でき、かつ、検査装置を小型化せよとの要請がある。
磁気ディスクあるいは磁気ヘッドの検査効率を向上するために、複数の検査デッキを設けて検査デッキ間で磁気ヘッドからの信号を分配しあるいは切換えて処理をする検査装置はすでに公知である（特許文献１，２）。
特開２００１−５２３１９号公報 特開２００６−１７９１０７号公報 Recently, the density of magnetic disks has been increased, and hard disk drives (HDDs) on the order of several hundred gigabytes are now mainstream. As the recording density of such a magnetic disk increases, the flying height of the magnetic head is decreasing.
Recently, at the tip of a suspension spring of about 15 mm to 20 mm, 0. A slider having a size of several mm to 1 mm square is attached, and the distance between the thin film magnetic head and the disk is approaching a distance of several nm to 10 nm.
Such a magnetic disk as an information recording medium of the HDD and a magnetic head (magnetic head assembly) for reading and writing data in the HDD are subjected to precise performance inspection by respective inspection devices at the manufacturing stage.
In addition, HDDs have now penetrated into the fields of automobile products, home appliances, and acoustic products, and various types of hard disk drive devices of 2.5 inches to 1.8 inches and 1.0 inches or less are built into various products. ,in use. As a result, there is a demand for lower prices and mass production of HDDs. For this reason, there is a demand for efficiently inspecting a large number of magnetic heads even in the magnetic head inspection apparatus and reducing the size of the inspection apparatus.
In order to improve the inspection efficiency of a magnetic disk or a magnetic head, an inspection apparatus that has a plurality of inspection decks and distributes or switches signals from the magnetic head among the inspection decks is already known (Patent Document 1). , 2).
JP 2001-52319 A JP 2006-179107 A

従来の磁気ヘッド検査装置は、１キャリッジに、１スピンドルあるいは２スピンドルであり、各スピンドル対応に１測定部という構成を採っている。そして、磁気ヘッドは、磁気ヘッドアッセンブリ単位で検査終了後に検査対象となる新しい磁気ヘッドアッセンブリと検査済みのものとが交換される。この場合の交換は、現在のところ人手による手作業となっている。
磁気ヘッドの交換中はテストは中止され、磁気ヘッドからの読出信号を受ける測定部はテスト待ち状態に入る。そのため、磁気ヘッドアッセンブリ（磁気ヘッド）の検査効率が落ちる。一方、磁気ヘッドアッセンブリは小さくなり、ヘッドキャリッジのアームの先にあるヘッドクランプ台へ取付孔（突起孔）を介して行う取付作業、そこからの取外作業の作業性はよくない。そのため、ヘッド検査のスループットは、この磁気ヘッドアッセンブリの交換作業に左右されてしまうと言っても過言ではない。 A conventional magnetic head inspection apparatus has one spindle or two spindles for one carriage, and has a configuration of one measuring unit corresponding to each spindle. Then, the magnetic head is exchanged for a new magnetic head assembly to be inspected and an inspected one after completion of the inspection in units of magnetic head assemblies. The replacement in this case is currently manual work by hand.
During the replacement of the magnetic head, the test is stopped, and the measurement unit that receives the read signal from the magnetic head enters a test waiting state. Therefore, the inspection efficiency of the magnetic head assembly (magnetic head) decreases. On the other hand, the magnetic head assembly is small, and the workability of the attaching work and the removing work from the attaching work (projecting hole) to the head clamp base at the tip of the arm of the head carriage is not good. For this reason, it is no exaggeration to say that the throughput of the head inspection depends on the replacement work of the magnetic head assembly.

そこで、磁気ヘッドアッセンブリの交換作業を自動化することが考えられるが、ハンドリングロボット等により磁気ヘッドアッセンブリをトレイ（あるいはパレット）から取出してヘッドキャリッジのヘッドクランプ台へ自動的に位置付けて取付け、そこから自動的に取外しを行うには、ハンドリングロボットに高い位置決め精度が要求される。
しかも、ヘッドクランプ台と磁気ヘッドアッセンブリのクランプ機構は、ヘッドアクセスの場合の移動質量やヘッドロードと関係しているので自由に設計し、変更することが実際上は難しい。特に、自動化に際してはハンドリングロボットとヘッドクランプ台との磁気ヘッドアッセンブリの受渡し動作とクランプ動作は、現在あるばねによるクランプ動作あるいはその機構を前提として解決していかなければならない問題がある。
以上の問題は、磁気ディスク検査装置の磁気ヘッドアッセンブリの交換をする場合にも当てはまる。
この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決するものであって、磁気ヘッドの検査装置あるいは磁気ディスクの検査装置において、磁気ヘッドの交換作業の自動化をすることが可能な磁気ヘッドアッセンブリのクランプ機構およびこれを用いる検査装置を提供することにある。 Therefore, it is conceivable to automate the replacement work of the magnetic head assembly. However, the magnetic head assembly is taken out from the tray (or pallet) by a handling robot or the like, and is automatically positioned and mounted on the head clamp base of the head carriage. In order to perform removal in an automatic manner, the handling robot is required to have high positioning accuracy.
Moreover, since the clamp mechanism of the head clamp base and the magnetic head assembly is related to the moving mass and head load in the case of head access, it is practically difficult to design and change it freely. In particular, in automation, there is a problem that the delivery operation and the clamping operation of the magnetic head assembly between the handling robot and the head clamping table must be solved on the premise of the clamping operation by the existing spring or its mechanism.
The above problem also applies when the magnetic head assembly of the magnetic disk inspection apparatus is replaced.
An object of the present invention is to solve such problems of the prior art, and in a magnetic head inspection apparatus or a magnetic disk inspection apparatus, a magnetic head capable of automating a magnetic head replacement operation. An object of the present invention is to provide an assembly clamping mechanism and an inspection apparatus using the same.

このような目的を達成するためのこの発明の磁気ヘッドアッセンブリのクランプ機構およびこれを用いる検査装置の特徴は、起立する位置決めピンと、ばねと、ヘッドクランプ台に載置された磁気ヘッドアッセンブリの取付基部の磁気ヘッドと反対側の後端部が突当てられる突当部とがヘッドクランプ台に設けられ、位置決めピンに取付孔を嵌合させて取付基部を介して磁気ヘッドアッセンブリをヘッドクランプ台に載置し、位置決めピンを突当部に向かってヘッドクランプ台において垂直な面内でばねの付勢により回動させることで磁気ヘッドアッセンブリを傾いた位置決めピンと突当部との間でクランプするものである。   In order to achieve such an object, the magnetic head assembly clamping mechanism and the inspection apparatus using the same of the present invention are characterized by standing positioning pins, springs, and mounting bases of the magnetic head assembly mounted on the head clamping base The head clamp base is provided with an abutting part against which the rear end of the opposite side of the magnetic head is abutted. The mounting hole is fitted to the positioning pin, and the magnetic head assembly is mounted on the head clamp base via the mounting base. The magnetic head assembly is clamped between the inclined positioning pin and the abutting portion by rotating the positioning pin toward the abutting portion by a spring bias in a vertical plane on the head clamp base. is there.

このようにこの発明にあっては、単に、ヘッドクランプ台の上部からヘッドクランプ台に磁気ヘッドアッセンブリを取付基部を載置すればばねの付勢で位置決めピンを傾かせて突当部との間でクランプすることができる。これにより、ヘッドクランプ台の位置に磁気ヘッドアッセンブリの取付基部をハンドリングロボット等で搬送すれば容易にヘッドクランプ台に載置でき、取付基部の位置決めもその取付孔の位置を位置決めピンの位置座標に対応させれば済む。
この場合、ハンドリングロボットに吸着コレットを設けて、取付基部を吸着コレットに吸着された状態で前記ヘッドクランプ台に載置して吸着を解除するようにすれば、前記磁気ヘッドアッセンブリの前記クランプ時には前記吸着コレットが前記ヘッドクランプ台の上にあって前記吸着コレットによる吸着が解除された状態でクランプすることができる。このことで位置決めクランプの精度を向上させることができる。
その結果、磁気ヘッドの検査装置あるいは磁気ディスクの検査装置において、磁気ヘッドの交換作業の自動化をすることが可能となる。 As described above, according to the present invention, the magnetic pin assembly is simply mounted on the head clamp base from the top of the head clamp base, and the positioning pin is tilted by the bias of the spring so that it is not in contact with the abutting part. It can be clamped with. As a result, if the mounting base of the magnetic head assembly is transported to the position of the head clamp base by a handling robot or the like, it can be easily placed on the head clamp base, and the positioning of the mounting base is also set to the position coordinates of the positioning pin. All you need to do is deal with it.
In this case, if the handling robot is provided with a suction collet, and the attachment base is placed on the head clamp table in a state of being sucked by the suction collet, the suction is released, and when the magnetic head assembly is clamped, The suction collet can be clamped in a state where the suction collet is on the head clamp table and the suction by the suction collet is released. This can improve the accuracy of the positioning clamp.
As a result, the magnetic head replacement operation can be automated in the magnetic head inspection apparatus or the magnetic disk inspection apparatus.

図１は、この発明の一実施例のリニア方式の場合の磁気ヘッドアッセンブリのクランプ機構の平面図、図２は、ハンドリングロボットに吸着コレットをヘッドクランプ台に載置してクランプする場合の断面説明図、図３は、この発明の一実施例のインライン方式の場合の磁気ヘッドアッセンブリのクランプ機構の側面断面図である。
図１において、１０は、磁気ヘッド検査装置あるいは磁気ディスク検査装置の検査ステージであって、１はヘッドクランプ台、２は、首振り位置決め機構、３は突当ブロック、４は貫通孔（図２（ａ）参照）、５は半球状の突起（図２（ａ）参照）、６はエアシリンダ、７は磁気ヘッドアッセンブリを支持するヘッドアーム（あるいはキャリッジアーム、以下ヘッドアーム）、８は円筒の吸着コレット（図２（ａ），図２（ｂ）参照）、１１は磁気ヘッドアッセンブリ、そして１２は磁気ディスクである。
磁気ヘッドアッセンブリ１１は、磁気ヘッド１１１を先頭に搭載し、根本に取付基部１１２が設けられ、取付基部１１２には取付孔１１３が穿孔されている。
また、ヘッドクランプ台１は、キャリッジアーム７の先端部にボルトねじ等で固定されている。
なお、図１の場合は、磁気ディスク１２に対するヘッドローディングの仕方は、磁気ヘッドアッセンブリ１１の方向が磁気ディスク１２の半径方向（Ｘ軸方向）に一致し、これに沿って行われるリニア方式となっている。 FIG. 1 is a plan view of a clamp mechanism of a magnetic head assembly in the case of a linear system according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view when a suction collet is placed on a head clamp table and clamped on a handling robot. FIGS. 3A and 3B are side sectional views of the clamping mechanism of the magnetic head assembly in the case of the in-line method according to the embodiment of the present invention.
In FIG. 1, 10 is an inspection stage of a magnetic head inspection device or a magnetic disk inspection device, 1 is a head clamp base, 2 is a swing positioning mechanism, 3 is an abutment block, 4 is a through hole (FIG. 2). (See (a)), 5 is a hemispherical protrusion (see FIG. 2 (a)), 6 is an air cylinder, 7 is a head arm (or carriage arm, hereinafter referred to as a head arm) that supports a magnetic head assembly, and 8 is a cylinder. The suction collet (see FIGS. 2A and 2B), 11 is a magnetic head assembly, and 12 is a magnetic disk.
The magnetic head assembly 11 has the magnetic head 111 mounted at the head, a mounting base 112 is provided at the base, and a mounting hole 113 is drilled in the mounting base 112.
The head clamp base 1 is fixed to the tip of the carriage arm 7 with a bolt screw or the like.
In the case of FIG. 1, the head loading method for the magnetic disk 12 is a linear system in which the direction of the magnetic head assembly 11 coincides with the radial direction (X-axis direction) of the magnetic disk 12 and is performed along this direction. ing.

ヘッドクランプ台１には位置決めピン２ａを前後に首を振らせる首振り位置決め機構２が設けられている。なお、ここでの位置決めピン２ａは、図示するように断面が矩形のピンとなっている。
Ｘ軸方向（半径方向）に沿う位置決めがなされた磁気ヘッドアッセンブリ１１を吸着したハンドリングロボット（図示せず）は、首振り位置決め機構２の位置決めピン２ａのＸＹ位置座標を基準にして吸着コレット８を位置決めした後、Ｚ方向に所定量降下することで吸着コレット８によりこの位置決めピン２ａに磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２の取付孔１１３を容易に嵌合させることができる。それにより、磁気ヘッドアッセンブリ１１をヘッドクランプ台１に載置する。 The head clamp base 1 is provided with a swing positioning mechanism 2 that swings the positioning pin 2a back and forth. Here, the positioning pin 2a is a pin having a rectangular cross section as shown in the figure.
A handling robot (not shown) that sucks the magnetic head assembly 11 positioned along the X-axis direction (radial direction) moves the suction collet 8 on the basis of the XY position coordinates of the positioning pin 2a of the swing positioning mechanism 2. After the positioning, the mounting hole 113 of the mounting base 112 of the magnetic head assembly 11 can be easily fitted to the positioning pin 2a by the attracting collet 8 by descending a predetermined amount in the Z direction. Thereby, the magnetic head assembly 11 is mounted on the head clamp base 1.

ヘッドクランプ台１の後部には、突当側面３ａを有する突当ブロック３がヘッドクランプ台１の台座１ａの背後に水平に延びたブラケット部１ｂ（図２（ａ）参照）に載置されボルトねじ等で固定されている。突当ブロック３は、起立したブロックで、磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２の後部端面に対応する先頭位置に水平に突当側面３ａが突出している。
ブラケット部１ｂは、キャリッジアーム７にボルト結合されて支持され、これによりヘッドキャリッジにヘッドクランプ台１が支持される。
磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２は、取付孔１１３と位置決めピン２ａとを嵌合させて台座１ａに載置される。台座１ａには取付基部１１２が載置される凹部５０ｃ（図２（ａ）参照）が設けられている。
首振り位置決め機構２により位置決めピン２ａが垂直面内で図面時計方向に回動して後側に首を振ることで磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２を後ろへと移動させて、磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２の背面を突当側面３ａに突き当てる。これにより、図２（ｂ）に示すように、磁気ヘッドアッセンブリ１１は、傾斜した位置決めピン２ａと突当側面３ａとの間で位置決めされるとともにクランプされる。
このとき、磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２の上部に吸着コレット８があって、これと台座１ａ（図２（ａ），（ｂ）参照）との間で挟まれた状態で吸着コレット８が磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２を案内する役割を果たしながら、磁気ヘッドアッセンブリ１１が位置決めクランプされる。これにより位置決め精度が向上する。
突当側面３ａは、真中に矩形の切欠き３ｂが設けられ、２点で磁気ヘッドアッセンブリ１１の取付基部１１２を押さえる。これに対して断面が矩形の位置決めピン２ａも２点で取付孔１１３と係合し、取付基部１１２は、前後２点で押圧されて精度の高い位置決めがなされる。 At the rear part of the head clamp base 1, an abutment block 3 having an abutment side surface 3a is placed on a bracket part 1b (see FIG. 2A) extending horizontally behind the base 1a of the head clamp base 1 and bolts It is fixed with screws. The abutting block 3 is an upright block, and the abutting side surface 3a projects horizontally at a leading position corresponding to the rear end surface of the mounting base 112 of the magnetic head assembly 11.
The bracket portion 1b is supported by being bolted to the carriage arm 7, whereby the head clamp table 1 is supported by the head carriage.
The mounting base 112 of the magnetic head assembly 11 is placed on the base 1a by fitting the mounting hole 113 and the positioning pin 2a. The base 1a is provided with a recess 50c (see FIG. 2A) on which the mounting base 112 is placed.
The positioning pin 2a is rotated clockwise in the drawing in the vertical plane by the swing positioning mechanism 2 to swing the head to the rear side, thereby moving the mounting base 112 of the magnetic head assembly 11 to the rear, and the magnetic head assembly 11 The back surface of the mounting base 112 is abutted against the abutting side surface 3a. As a result, as shown in FIG. 2B, the magnetic head assembly 11 is positioned and clamped between the inclined positioning pin 2a and the abutting side surface 3a.
At this time, there is an adsorption collet 8 above the mounting base 112 of the magnetic head assembly 11, and the adsorption collet 8 is sandwiched between this and the pedestal 1a (see FIGS. 2A and 2B). The magnetic head assembly 11 is positioned and clamped while serving to guide the mounting base 112 of the magnetic head assembly 11. This improves the positioning accuracy.
The abutting side surface 3a is provided with a rectangular cutout 3b in the middle and presses the mounting base 112 of the magnetic head assembly 11 at two points. On the other hand, the positioning pin 2a having a rectangular cross section is also engaged with the mounting hole 113 at two points, and the mounting base 112 is pressed at two points in the front and rear directions to achieve highly accurate positioning.

図２（ａ）の断面図に示すように、台座１ａは貫通孔４により内部が空洞となっていて、首振り位置決め機構２は、位置決めピン２ａと、前記の空洞に設けられた揺動レバー２ｂ、軸ピン２ｃ、そしてコイルばね５ｄとからなる。揺動レバー２ｂの頭部に位置決めピン２ａが植設されて、ヘッドクランプ台１に設けられた貫通孔４に逆Ｔ字型の揺動レバー２ｂが縦に貫通して貫通孔４の孔４ａから位置決めピン２ａの先端部が上部へと頭を出している。揺動レバー２ｂは、貫通孔４の途中で軸ピン２ｃで前後に首振り回動するように軸支されている。
逆Ｔ字型の揺動レバー２ｂの下側端部２ｅは、水平方向に両側に延びていて、後部側は、ブラケット部１ｂの下面との間に圧縮されたコイルばね２ｄが装填されている。このコイルばね２ｄにより位置決めピン２ａは、垂直面内で後側に回動して首を振るように付勢されている（図２（ｂ）の側面断面図参照）。
コイルばね２ｄの位置に対応して揺動レバー２ｂの下側端部２ｅの裏面側には、半球状の突起５が設けられ、この突起５にエアシリンダ６（図１参照）の前進した進退ロッド６ａが接触し、コイルばね２ｄは圧縮された状態にある。この状態で位置決めピン２ａは垂直状態に維持され、図２（ａ）の側面断面図に示すように、正規の座標位置に位置決めされ起立している。このときエアシリンダ６は前進駆動状態にある。 As shown in the sectional view of FIG. 2 (a), the base 1a is hollowed by the through hole 4, and the swing positioning mechanism 2 includes a positioning pin 2a and a swing lever provided in the cavity. 2b, shaft pin 2c, and coil spring 5d. A positioning pin 2a is implanted in the head of the rocking lever 2b, and an inverted T-shaped rocking lever 2b vertically penetrates the through hole 4 provided in the head clamp base 1 so that the hole 4a of the through hole 4 is formed. The tip of the positioning pin 2a protrudes upward. The swing lever 2b is pivotally supported in the middle of the through hole 4 so as to swing back and forth by the shaft pin 2c.
The lower end portion 2e of the inverted T-shaped swing lever 2b extends horizontally on both sides, and a compressed coil spring 2d is loaded between the rear side and the lower surface of the bracket portion 1b. . The positioning pin 2a is urged by the coil spring 2d so as to rotate rearward within the vertical plane and swing the neck (refer to the side sectional view of FIG. 2B).
A hemispherical protrusion 5 is provided on the back surface side of the lower end 2e of the swing lever 2b corresponding to the position of the coil spring 2d, and the air cylinder 6 (see FIG. 1) advances and retreats on the protrusion 5. The rod 6a contacts and the coil spring 2d is in a compressed state. In this state, the positioning pin 2a is maintained in a vertical state, and is positioned and erected at a normal coordinate position as shown in the side sectional view of FIG. At this time, the air cylinder 6 is in the forward drive state.

エアシリンダ６が後退駆動されると、位置決めピン２ａは、コイルばね２ｄの付勢により、図２（ａ）の側面断面図の状態から図面時計方向に首振り回動をして図２（ｂ）の側面断面図の状態になる。この状態が磁気ヘッドアッセンブリ１１の位置決めクランプ状態である。このときのクランプは、従来のクランプ機構と同様にコイルばね２ｄの弾性力による。
その結果、エアシリンダ６の進退駆動で、ヘッドクランプ台１に載置された磁気ヘッドアッセンブリ１１のコイルばね２ｄによる位置決めクランプとその解除とができる。
なお、エアシリンダ６によるクランプとその解除は制御部（図示せず）によりエアシリンダ６の駆動とその解除により行われる。また、磁気ヘッド１１１は、ヘッドクランプ台１に仰向けにクランプされているので、図２（ａ），図２（ｂ）に示すように、ヘッドキャリッジにより磁気ディスク１２の裏面側に磁気ヘッド１１１がロードされる。
一方、磁気ディスク１２の表面側に磁気ヘッド１１１をロードする場合には、前記の状態でヘッドクランプ台１に磁気ヘッドアッセンブリ１１１をクランプした後にキャリッジアーム７あるいはヘッドクランプ台１を１８０゜反転させることで可能である。 When the air cylinder 6 is driven backward, the positioning pin 2a is swung in the clockwise direction from the state of the side sectional view of FIG. ) Side sectional view. This state is a positioning clamp state of the magnetic head assembly 11. The clamping at this time is based on the elastic force of the coil spring 2d as in the conventional clamping mechanism.
As a result, the positioning clamp by the coil spring 2d of the magnetic head assembly 11 placed on the head clamp base 1 and its release can be performed by the forward and backward driving of the air cylinder 6.
The clamping by the air cylinder 6 and the release thereof are performed by driving the air cylinder 6 and releasing it by a control unit (not shown). Further, since the magnetic head 111 is clamped on the head clamp base 1 in the back direction, the magnetic head 111 is placed on the back surface side of the magnetic disk 12 by the head carriage as shown in FIGS. 2 (a) and 2 (b). Loaded.
On the other hand, when the magnetic head 111 is loaded on the surface side of the magnetic disk 12, the carriage head 7 or the head clamp table 1 is inverted by 180 ° after the magnetic head assembly 111 is clamped on the head clamp table 1 in the above state. Is possible.

図３（ａ），（ｂ）は、図１および図２（ａ）にそれぞれ対応する説明図であって、磁気ヘッドアッセンブリの方向を磁気ディスク１２の円周に沿わせるインライン方式のものである。
インライン方式では通常はランプロードとなるので、磁気ヘッドが磁気ディスク１２の面から待避したところにヘッドクランプ台１が移動している。
そこで、ヘッドの位置決めクランプとその解除がこの待避した位置で行われる。そのため、図１のキャリッジアーム７は、図３（ａ）の平面図にキャリッジアーム７ａとして示すように、クランク状に９０゜折れ曲がっている。なお、７０は、ヘッドキャリッジである。
キャリッジアーム７ａは、この例では、台座１ａに側面で直接結合されていて、これと一体的に形成されている。図３（ｂ）に示されるように図１の背後に水平に延びたブラケット部１ｂは長く延びておらず、キャリッジアームには結合されていない。
なお、図３（ａ）に示す１１４は、磁気ヘッド１１１に接続される電気的な配線としてのフレキシブル印刷配線基板である。
エアシリンダ６は、磁気ヘッドアッセンブリ１１１の磁気ヘッド１１の先の延長線上の下側でヘッドキャリッジ７０を固定するフレーム（図示せず）に取付けられている。
図２（ａ），（ｂ）に示す突起５は、図３（ｂ）に示されるように、キャリッジアーム７ａに下側で揺動レバー２ｂの下側端部２ｅの先端側（図面右側）に設けられ、エアシリンダ６がこれに対向して磁気ヘッドアッセンブリ１１の下側に水平に配置されている。
その他の構成は図１のものと同じである。エアシリンダ６が後退駆動されたときには、図２（ｂ）と同様な姿勢となって、位置決めピン２ａが回動し、磁気ヘッドアッセンブリ１１は、傾斜した位置決めピン２ａと突当側面３ａとの間で位置決めされるとともにクランプされる。 FIGS. 3A and 3B are explanatory diagrams corresponding to FIGS. 1 and 2A, respectively, and are of an inline type in which the direction of the magnetic head assembly is along the circumference of the magnetic disk 12. .
Since the in-line method is usually a ramp load, the head clamp base 1 is moved to the place where the magnetic head is retracted from the surface of the magnetic disk 12.
Therefore, the head positioning clamp and its release are performed at this retracted position. Therefore, the carriage arm 7 in FIG. 1 is bent 90 ° in a crank shape as shown as the carriage arm 7a in the plan view of FIG. Reference numeral 70 denotes a head carriage.
In this example, the carriage arm 7a is directly coupled to the pedestal 1a on the side surface, and is integrally formed therewith. As shown in FIG. 3B, the bracket portion 1b extending horizontally behind FIG. 1 does not extend long and is not coupled to the carriage arm.
In addition, 114 shown in FIG. 3A is a flexible printed wiring board as an electrical wiring connected to the magnetic head 111.
The air cylinder 6 is attached to a frame (not shown) that fixes the head carriage 70 on the lower side of the extension of the magnetic head 11 of the magnetic head assembly 111.
As shown in FIG. 3 (b), the protrusion 5 shown in FIGS. 2 (a) and 2 (b) is located on the lower side of the carriage arm 7a on the lower end 2e of the swing lever 2b (on the right side in the drawing). The air cylinder 6 is disposed horizontally below the magnetic head assembly 11 so as to face the air cylinder 6.
Other configurations are the same as those in FIG. When the air cylinder 6 is driven backward, the positioning pin 2a rotates in the same posture as in FIG. 2B, and the magnetic head assembly 11 is located between the inclined positioning pin 2a and the abutting side surface 3a. And clamped.

以上説明してきたが、実施例の吸着コレットは円筒であるが、コレットは矩形筒のコレットであってもよく、円筒に限定されない。
また、実施例では、吸着コレットにより磁気ヘッドアッセンブリを磁気ヘッドが上となる仰向けにトレイに収納して、磁気ヘッドが上となるようにヘッドクランプ台にセットするようにしているが、この発明は、逆に吸着コレットにより磁気ヘッドアッセンブリを磁気ヘッドが下となる俯せにトレイに収納して、磁気ヘッドが下となるようにヘッドクランプ台にセットするようにしてもよい。この場合には、取付孔の突起が上側となるので、ヘッドクランプ台１の吸着コレット８が上部に待避するか、コレット８の吸着孔は位置決め移動できるように大きなものとするとよい。
なお、この明細書および特許請求の範囲におけるトレイはパレットを含むものであり、容器一般を意味するものとする。 As described above, the suction collet of the embodiment is a cylinder, but the collet may be a rectangular collet, and is not limited to a cylinder.
In the embodiment, the magnetic head assembly is housed in the tray with the magnetic collet on the back with the attracting collet, and set on the head clamp base so that the magnetic head is on the upper side. On the contrary, the magnetic head assembly may be housed in a tray with the magnetic head on the lower side by an attracting collet and set on the head clamp base so that the magnetic head is on the lower side. In this case, since the projection of the mounting hole is on the upper side, it is preferable that the suction collet 8 of the head clamp base 1 is retracted upward, or the suction hole of the collet 8 is made large so that the positioning movement can be performed.
The tray in this specification and claims includes a pallet, and means a general container.

図１は、この発明の一実施例のリニア方式の場合の磁気ヘッドアッセンブリのクランプ機構の平面図である。FIG. 1 is a plan view of a clamp mechanism of a magnetic head assembly in the case of a linear system according to an embodiment of the present invention. 図２は、ハンドリングロボットに吸着コレットをヘッドクランプ台に載置してクランプする場合の断面説明図である。FIG. 2 is an explanatory cross-sectional view when the suction collet is placed on the head clamp table and clamped to the handling robot. 図３は、この発明の一実施例のインライン方式の場合の磁気ヘッドアッセンブリのクランプ機構の側面断面図である。FIG. 3 is a side sectional view of the clamping mechanism of the magnetic head assembly in the case of the in-line method according to the embodiment of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

１…ヘッドクランプ台、２…首振り位置決め機構、
３…突当ブロック、４…貫通孔、
５…半球状の突起、６…エアシリンダ、７…ヘッドアーム、
８…吸着コレット、１０…検査ステージ、
１１…磁気ヘッドアッセンブリ、１２…磁気ディスク
１ａ…台座、２ａ…位置決めピン、３…突当ブロック、３ａ…突当側面、
１１１…磁気ヘッド、１１２…取付基部、
１１３…位置決め用の取付孔。 1 ... Head clamp base, 2 ... Swing positioning mechanism,
3 ... Abutting block, 4 ... Through hole,
5 ... Hemispherical projection, 6 ... Air cylinder, 7 ... Head arm,
8 ... Suction collet, 10 ... Inspection stage,
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Magnetic head assembly, 12 ... Magnetic disk 1a ... Base, 2a ... Positioning pin, 3 ... Abutting block, 3a ... Abutting side surface,
111 ... Magnetic head, 112 ... Mounting base,
113: Mounting holes for positioning.

Claims (6)

位置決め用の取付孔を取付基部に有する磁気ヘッドアッセンブリをヘッドキャリッジのヘッドクランプ台に前記取付孔を介して前記取付基部を載置して位置決めクランプをする磁気ヘッドアッセンブリのクランプ機構において、
起立する位置決めピンと、ばねと、前記ヘッドクランプ台に載置された前記磁気ヘッドアッセンブリの取付基部の磁気ヘッドと反対側の後端部が突当てられる突当部とが前記ヘッドクランプ台に設けられ、
前記位置決めピンに前記取付孔を嵌合させて前記取付基部を介して前記磁気ヘッドアッセンブリを前記ヘッドクランプ台に載置し、前記位置決めピンを前記突当部に向かって前記ヘッドクランプ台において垂直な面内で前記ばねの付勢により回動させることで前記磁気ヘッドアッセンブリを傾いた前記位置決めピンと前記突当部との間でクランプする磁気ヘッドアッセンブリのクランプ機構。 In a clamp mechanism of a magnetic head assembly in which a magnetic head assembly having a mounting hole for positioning is mounted on a head clamp base of a head carriage via the mounting hole to mount a magnetic head assembly and perform positioning clamping.
The head clamp table is provided with a standing positioning pin, a spring, and an abutting portion against which a rear end portion opposite to the magnetic head of the mounting base of the magnetic head assembly mounted on the head clamp table is abutted. ,
The mounting hole is fitted to the positioning pin, the magnetic head assembly is placed on the head clamp table via the mounting base, and the positioning pin is perpendicular to the abutting portion on the head clamp table. A magnetic head assembly clamping mechanism for clamping the magnetic head assembly between the tilted positioning pin and the abutting portion by rotating the magnetic head assembly by urging the spring in a plane. 前記ヘッドクランプ台は、前記ヘッドキャリッジのヘッドアームに支持され、前記磁気ヘッドアッセンブリは、吸着コレットに吸着された状態で前記ヘッドクランプ台の上部から前記ヘッドクランプ台に載置され、前記磁気ヘッドアッセンブリの前記クランプ時には前記吸着コレットの吸着が解除されていて前記吸着コレットが前記ヘッドクランプ台上にある請求項１記載の磁気ヘッドアッセンブリのクランプ機構。   The head clamp base is supported by a head arm of the head carriage, and the magnetic head assembly is placed on the head clamp base from the top of the head clamp base in a state of being attracted to a suction collet, and the magnetic head assembly The magnetic head assembly clamping mechanism according to claim 1, wherein attraction of the attraction collet is released and the attraction collet is on the head clamp base. さらに、前記位置決めピンが頭部に植設された揺動レバーと進退駆動機構とを有し、前記揺動レバーは、前記ヘッドクランプ台に設けられた貫通孔を貫通して前記位置決めピンが貫通孔から頭を出して配置され、前記貫通孔の内部で軸支されて前記ばねにより付勢されて回動するものであり、前記進退駆動機構が前記揺動レバーに係合して前記ばねにより付勢に抗して前記揺動レバーの回動が阻止され、前記係合が解除されて前記揺動レバーの回動が解除される請求項２記載の磁気ヘッドアッセンブリのクランプ機構。   Further, the positioning pin has a swing lever and a forward / backward drive mechanism implanted in the head, and the swing lever penetrates a through hole provided in the head clamp table and the positioning pin passes through the through hole. It is arranged with its head protruding from the hole, is pivotally supported inside the through-hole and is urged by the spring to rotate, and the advance / retreat drive mechanism is engaged with the swing lever and 3. The magnetic head assembly clamping mechanism according to claim 2, wherein the swinging lever is prevented from rotating against the biasing, and the engagement is released to release the swinging lever. 前記位置決めピンは断面が矩形であり、前記突当部の先端は切欠きがある側面となっている請求項３記載の磁気ヘッドアッセンブリのクランプ機構。   4. The clamp mechanism for a magnetic head assembly according to claim 3, wherein the positioning pin has a rectangular cross section, and the tip of the abutting portion has a side surface with a notch. 請求項１〜４記載の磁気ヘッドアッセンブリのクランプ機構が固定されたヘッドアームを有するヘッドキャリッジにより前記磁気ヘッドアッセンブリにおける磁気ヘッドの検査をする磁気ヘッド検査装置。   5. A magnetic head inspection apparatus for inspecting a magnetic head in the magnetic head assembly by a head carriage having a head arm to which a clamp mechanism of the magnetic head assembly according to claim 1 is fixed. 請求項１〜４記載の磁気ヘッドアッセンブリのクランプ機構が固定されたヘッドアームを有するヘッドキャリッジにより前記磁気ヘッドアッセンブリにおける磁気ヘッドにより磁気ディスクの検査をする磁気ディスク検査装置。     5. A magnetic disk inspection apparatus for inspecting a magnetic disk by a magnetic head in the magnetic head assembly by a head carriage having a head arm to which a clamp mechanism of the magnetic head assembly according to claim 1 is fixed.
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