JP2009002771A - Shape measurement method of article and measuring instrument - Google Patents
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Abstract
Description
この発明に係る物品の形状測定方法及び測定装置は、例えばラジアルニードル軸受用の籠型保持器を構成する為の中間素材の如く、比較的小型の物品の外形を精度良く測定する為に利用する。 The method and apparatus for measuring the shape of an article according to the present invention is used to accurately measure the outer shape of a relatively small article such as an intermediate material for constructing a saddle type cage for a radial needle bearing. .
自動車用変速機や各種機械装置の回転支持部のうち、大きなラジアル荷重が加わる部分にラジアルニードル軸受が組み込まれている。例えば自動車の自動変速装置を構成する遊星歯車式変速機は、特許文献1等に記載されて周知の様に、遊星歯車をキャリアに対し、ラジアルニードル軸受により回転自在に支持している。図6は、この様なキャリアに対し遊星歯車を回転自在に支持する、遊星歯車の回転支持装置の1例を示している。この図6に示した構造の場合、キャリア1を構成する互いに平行な1対の支持板2a、2bの円周方向複数個所に、支持軸3の両端部を支持固定している。そして、この支持軸3の中間部周囲に遊星歯車4を、ラジアルニードル軸受5により、回転自在に支持している。
A radial needle bearing is incorporated in a portion to which a large radial load is applied among rotation support portions of a transmission for automobiles and various mechanical devices. For example, a planetary gear type transmission that constitutes an automatic transmission of an automobile supports a planetary gear rotatably with respect to a carrier by a radial needle bearing as described in Patent Document 1 and the like. FIG. 6 shows an example of a planetary gear rotation support device that rotatably supports the planetary gear with respect to such a carrier. In the case of the structure shown in FIG. 6, both end portions of the support shaft 3 are supported and fixed at a plurality of locations in the circumferential direction of a pair of
このラジアルニードル軸受5は、複数本のニードル6、6を保持器7により転動自在に保持すると共に、上記支持軸3の中間部外周面を凸円筒面状の内輪軌道8とし、上記遊星歯車4の内周面を凹円筒面状の外輪軌道9として、上記各ニードル6、6の転動面を、これら内輪軌道8及び外輪軌道9に転がり接触させている。又、上記遊星歯車4の軸方向両端面と上記両支持板2a、2bの内側面との間に、それぞれフローティングワッシャ10a、10bを配置して、上記遊星歯車4の軸方向両端面と上記両支持板2a、2bの内側面との間に作用する摩擦力の低減を図っている。
The radial needle bearing 5 holds a plurality of needles 6 and 6 by a
上記ラジアルニードル軸受5を構成する上記保持器7は、例えば図7〜8に詳示する様に、軸方向(図7〜8の左右方向)に互いに間隔をあけて配置した、それぞれが円環状(円筒状又は円輪状)である1対のリム部11、11と、複数本の柱部12、12とを備える。これら各柱部12、12は、円周方向に亙って間欠的に配置され、それぞれの両端部を上記両リム部11、11の互いに対向する内側面の外径寄り部分に連続させている。又、上記各柱部12、12は、軸方向中間部が径方向内方に向け台形状に折れ曲がった形状を有する。そして、円周方向に隣り合うこれら各柱部12、12の円周方向両側縁と上記両リム部11、11の互いに対向する内側面とにより四辺を囲まれる空間部分を、それぞれポケット13、13とし、これら各ポケット13、13に上記各ニードル6、6を、転動自在に保持している。
The
この様に構成する上記保持器7は、特許文献2等に記載されて従来から周知の様に、帯状の金属板(一般的には鋼板若しくはステンレス鋼板)を円筒状に丸めて成る。即ち、帯状の金属板にプレス加工、ロール成形等の塑性加工を施す事により、保持器として基本的な断面形状を有する第一段階の中間素材とした後、この第一段階の中間素材に剪断加工を施す事により、上記各ニードル6、6を転動自在に保持する為のポケット13、13を打ち抜き成形し、第二段階の中間素材とする。更に、この第二段階の中間素材を所定長さに切断し、図9に示す様な第三段階の中間素材14とする。
The
そして、この第三段階の中間素材14を円筒状に丸め、両端部を突き合わせ溶接して、図6〜8に示す様な保持器7とする。尚、図示の例の場合、上記保持器7の径方向位置を規制する為に、この保持器7の外周面を前記外輪軌道9(図6参照)に近接対向させている。そして、運転時には、この様に近接対向させた保持器7の外周面を上記外輪軌道9に案内(外輪案内)させる事で、この保持器7の径方向に関する位置決めを図り、振動や異音が発生する事を防止する様にしている。
And this intermediate | middle
又、上記保持器7は、上記各柱部12、12の両端部両側縁のうちの円周方向に関して互いに整合する位置に係止突部15、15を、これら各側面から円周方向に突出する状態で設けている。これら各係止突部15、15は、上記各ポケット13、13内に転動自在に保持する上記各ニードル6、6が、当該ポケット13、13から径方向外方に抜け出る事を防止する為のものである。即ち、上記各ニードル6、6を上記保持器7と共に、前記内輪軌道8及び外輪軌道9(図6参照)の間に組み付ける際に、これら各ニードル6、6を上記各ポケット13、13内に、径方向に抜け出るのを阻止した状態で保持する必要がある。
Further, the
この為に、上記各ポケット13、13の開口部で上記各ニードル6、6のピッチ円よりも外径側部分に上記各係止突部15、15を、互いに対向する状態で設けると共に、これら各係止突部15、15の先端縁同士の間隔D15(図7参照)を、上記各ニードル6、6の外径D6 (図6参照)よりも小さくしている(D6 >D15)。又、これと共に、上記各柱部12、12の中間部で上記各ニードル6、6のピッチ円よりも内径側に位置する内径側係止部16、16の互いに対向する側縁同士の間隔D16(図7参照)も、上記各ニードル6、6の外径D6 よりも小さくしている(D6 >D16)。
For this purpose, the
上記各ニードル6、6を上記各ポケット13、13に保持するには、これら各ニードル6、6をこれら各ポケット13、13に、上記保持器7の内径側から押し込む。この際、上記各ニードル6、6により上記内径側係止部16、16の側縁同士の間隔D16を弾性的に広げて、これら各ニードル6、6をこれら側縁同士の間を通過させる。この様にしてこれら各ニードル6、6を上記各ポケット13、13に保持した状態で、これら各ニードル6、6は、上記各係止突部15、15により前記保持器7の径方向外方に、上記各柱部12、12の内径側係止部16、16の側縁により同じく径方向内方に、それぞれ抜け出る事を防止される。尚、図示は省略するが、各ニードルを各ポケットに、保持器の外径側から組み込む場合もある。又、上記各係止突部15、15や上記各内径側係止部16、16を持たない保持器もある。
In order to hold the needles 6 and 6 in the
上述の様に構成し造られる保持器7に所期の性能を発揮させる為には、各部の寸法及び形状を設計値通り正確に仕上げる事が必要である。又、保持器7の各部の寸法及び形状を正確に仕上げる為には、前記図9に記載した中間素材14等、この保持器7の製造過程で造られる中間素材の寸法及び形状が正確である事が必要である。更に、この中間素材の寸法及び形状を正確にする為には、この中間素材をプレス加工する為の金型、或いはロール成形する為のロールの形状が良好である事が必要である。但し、金型を利用したプレス加工により、或いはロール成形により、素材となる金属板から上記中間素材を造る場合、金属板のスプリングバック等の影響で、金型の形状がそのまま中間素材の形状になるとは限らない。この為、上記保持器7の量産化に先立って、金型を使用して上記中間素材をプレス加工してから、或いはロール成形してから、得られた中間素材の寸法及び形状を測定し、この金型或いはロールの形状に手直しを加える作業が必要になる。
In order for the
この為従来から、触針式等の接触式の、或いはレーザ光等を使用した非接触式の測定器を使用して、上記中間素材14等の形状を測定しつつ、この中間素材14等を加工する為の金型の形状を仕上げる事が行なわれている。例えばこの中間素材14の形状を測定する場合には、被測定物である、この中間素材14の長さ方向(図9の上下方向)複数部分で、図8に表れた断面形状を、これら各部分毎に、それぞれ全周に亙り測定する。但し、接触式にしても、非接触式にしても、一般的な測定装置の場合には、測定子の形状やレーザ光の反射角限界等による制約から、一度に測定できる範囲が限られる。即ち、一度の測定作業により、断面形状を全周に亙り測定する事はできない。全周に亙る断面形状を得る為には、上記中間素材14等の被測定物の角度を変えつつ、この被測定物の外形を部分的に測定して、それぞれがこの外形の一部を表した複数のデータを得た後、これら各データ同士を繋ぎ合わせる必要がある。この場合に、上記被測定物の折れ曲がり部等、特定し易い個所で、これら各データ同士を繋ぎ合わせる。
For this reason, conventionally, the
但し、上記折れ曲がり部等の形状精度が十分でない場合には、上記それぞれが被測定物の外形の一部を表した複数のデータを繋ぎ合わせても、全体としての測定精度を十分に確保できない。即ち、別々に測定したデータ同士を繋ぎ合わせる場合に、繋ぎ合わせ部の形状が不安定であると、繋ぎ合わせるべきデータ同士の方向性の特定が難しくなる等、繋ぎ合わされたデータが、被測定物の形状を正確に表さなくなり易い。特に、被測定物の外形を全周に亙って測定する場合、測定作業を3回以上に分けて行ない、3個以上のデータを繋ぎ合わせる必要が生じる為、繋ぎ合わせに伴う誤差が積算される等により、被測定物の外形に関する測定精度を確保する事が難しくなる。又、上記中間素材14の断面形状を求める為に、この中間素材14を断面形状を求めるべき部分で切断してからこの切断部分の形状を撮影し、画像処理によりこの断面形状を求める事も考えられる。但し、この様な方法では、切断時に発生するバリやダレにより、切断面の形状が実際の断面形状からずれ易く、この断面形状を精度良く求める事は難しい。
However, when the shape accuracy of the bent portion or the like is not sufficient, the overall measurement accuracy cannot be ensured even if a plurality of pieces of data each representing a part of the outer shape of the device under test are connected. That is, when connecting data measured separately, if the shape of the connecting part is unstable, it is difficult to specify the direction of the data to be connected, and the connected data is not measured. It is easy to accurately represent the shape. In particular, when measuring the outer shape of the object to be measured over the entire circumference, it is necessary to divide the measurement work into three or more times, and it is necessary to connect three or more pieces of data. As a result, it becomes difficult to ensure measurement accuracy regarding the outer shape of the object to be measured. Further, in order to obtain the cross-sectional shape of the
本発明は、上述の様な事情に鑑みて、それぞれが被測定物の外形の一部を表した複数のデータを繋ぎ合わせた場合にも、全体としての測定精度を十分に確保できる、物品の形状測定方法及び測定装置を実現すべく発明したものである。 In view of the circumstances as described above, the present invention can ensure sufficient measurement accuracy as a whole even when a plurality of pieces of data each representing a part of the outer shape of the object to be measured are connected. The present invention was invented to realize a shape measuring method and a measuring apparatus.
本発明の物品の形状測定方法及び測定装置のうち、請求項1に記載した物品の形状測定方法は、先ず、測定器により測定可能な部分に測定基準部を設けた試料支持板に被測定物品を、この試料支持板に対し動かない様に支持する。そして、この様に支持した状態で、上記測定器により、上記被測定物品の表面形状の一部及び上記測定基準部の表面形状を、被測定物品の姿勢を変えず、一挙に測定する。その後、上記試料支持板と上記測定器との相対角度を変更してから、上記測定器により、この測定基準部の表面形状及び上記被測定物品の表面形状の他部を測定する。そして、この被測定物品の表面形状の一部の測定データと他部の測定データとを、上記測定基準部の表面形状の測定データを介して繋ぎ合わせる。 Of the article shape measuring method and measuring apparatus according to the present invention, the article shape measuring method according to claim 1 is such that first, an article to be measured is provided on a sample support plate provided with a measurement reference portion in a portion measurable by a measuring instrument. Is supported so as not to move with respect to the sample support plate. And in the state supported in this way, the measuring instrument measures a part of the surface shape of the article to be measured and the surface shape of the measurement reference part at once without changing the posture of the article to be measured. Thereafter, the relative angle between the sample support plate and the measuring instrument is changed, and the surface shape of the measurement reference part and the other part of the surface shape of the article to be measured are measured by the measuring instrument. Then, a part of the measurement data of the surface shape of the article to be measured and the measurement data of the other part are connected via the measurement data of the surface shape of the measurement reference part.
又、請求項2に記載した物品の形状測定装置は、基台と、この基台の一部上面に支持された測定器と、この基台の他部上面に支持された、被測定物を支持する試料支持板とを備える。そして、この試料支持板のうちで上記被測定物を支持した面に、測定基準部を設けると共に、上記測定器と上記試料支持板との相対角度の調節を可能としている。この様な測定基準部の外形は、精度良く造れる形状であれば特に問わない(角柱等でも良い)が、それぞれがピン(円柱)、球等の、断面形状が円形の部分を有する1対の測定基準部の組み合わせが、この測定基準部自体を精度良く造り易く、又、各方向から(異なる角度から)この測定基準部を測定する事ができ、しかも複数の測定データ同士の繋ぎ合わせ部分の方向性を明確に表せる事から好ましい。 According to a second aspect of the present invention, there is provided an apparatus for measuring a shape of an article, comprising: a base; a measuring instrument supported on a part of the upper surface of the base; and an object to be measured supported on the upper surface of the other part of the base. A sample support plate to be supported. A measurement reference portion is provided on the surface of the sample support plate that supports the object to be measured, and the relative angle between the measuring instrument and the sample support plate can be adjusted. The outer shape of such a measurement reference portion is not particularly limited as long as it is a shape that can be made with high precision (or a prism or the like), but each of the pair has a circular section such as a pin (cylinder) or a sphere. The combination of measurement reference parts makes it easy to build the measurement reference part itself with high accuracy, and can measure this measurement reference part from each direction (from different angles). This is preferable because the directionality can be clearly expressed.
上述の様な、請求項2に記載した物品の形状測定装置の発明を実施する場合に好ましくは、請求項3に記載した様に、上記試料支持板のうちで上記被測定物を支持する部分に、上記測定器によりこの被測定物を測定する方向の寸法以上の長さ寸法を有する透孔を設ける。そして、この透孔を通じて、上記被測定物のうちで上記試料支持板に対向する面側の外形を測定自在とする。
或いは、請求項4に記載した様に、上記試料支持板に被測定物の一部を、この試料支持板の端縁よりも突出した状態で支持可能とする。そして、この試料支持板の端縁よりも突出した部分で、この被測定物のうちでこの試料支持板に対向する面側の外形を測定自在とする。
又、何れの場合でも、本発明の物品の形状測定装置の発明を実施する場合に好ましくは、請求項5に記載した様に、それぞれの断面形状が円形である、複数の測定基準部を備える。
When carrying out the invention of the article shape measuring apparatus according to claim 2 as described above, preferably the part of the sample support plate that supports the object to be measured as described in claim 3 In addition, a through hole having a length dimension that is equal to or larger than the dimension in the direction in which the object to be measured is measured by the measuring instrument is provided. And, through this through hole, the outer shape of the surface of the object to be measured facing the sample support plate can be measured.
Alternatively, as described in claim 4, a part of the object to be measured can be supported on the sample support plate in a state protruding from the edge of the sample support plate. Then, at the portion protruding from the edge of the sample support plate, the outer shape of the surface of the object to be measured facing the sample support plate can be measured.
In any case, when the invention of the shape measuring apparatus for an article of the present invention is implemented, preferably, as described in claim 5, a plurality of measurement reference portions each having a circular cross section are provided. .
上述の様に構成する本発明の物品の形状測定方法及び測定装置によれば、被測定物の外形の一部を表した複数のデータを繋ぎ合わせた場合にも、全体としての測定精度を十分に確保できる。
即ち、被測定物品を動かない様に支持する試料支持板に設けた測定基準部をこの被測定物品と共に測定する事で、複数回に分けて測定した測定データ同士を正確に繋ぎ合わせられる。この結果、上述の様に、全体としての測定精度を十分に確保できる。
According to the shape measuring method and measuring apparatus of the article of the present invention configured as described above, even when a plurality of data representing a part of the outer shape of the object to be measured are connected, the overall measurement accuracy is sufficient. Can be secured.
That is, by measuring the measurement reference portion provided on the sample support plate that supports the measured article so as not to move together with the measured article, the measurement data measured in a plurality of times can be accurately connected. As a result, the measurement accuracy as a whole can be sufficiently ensured as described above.
[実施の形態の第1例]
図1〜4は、請求項1〜3、5に対応する、本発明の実施の形態の第1例を示している。先ず、形状測定装置の構造に就いて、図1〜3により説明する。この形状測定装置は、基台17と、測定器18と、試料支持板19とを備える。このうちの基台17は、作業台の上面等に安定した状態で載置できる様に、上下両面が平坦で、且つ、安定性を保つ為に十分な重量を有する。又、上記測定器18は、上記基台17の一部(図1の右上部)上面に設置されている。
[First example of embodiment]
1-4 show a first example of an embodiment of the present invention corresponding to claims 1 to 5. First, the structure of the shape measuring apparatus will be described with reference to FIGS. This shape measuring apparatus includes a
本例の場合、上記測定器18は接触式のもので、支柱20と、昇降ブロック21と、水平移動ブロック22と、旋回腕23と、測定子24とを備える。このうちの支柱20は、上記基台17の上面片隅部(図1の右上隅部)に、鉛直方向に固定されている。又、上記昇降ブロック21は、上記支柱20のうちで上記基台17の中央側の側面に、精密直動軸受等により、図1に矢印Zで示す上下方向の移動(昇降)可能に組み付けられている。又、上記水平移動ブロック22は、上記昇降ブロック21の下面に、図1の矢印Xで示す様に、上記試料支持板19に対し遠近動する方向に、水平移動自在に設けられている。
In the case of this example, the measuring
又、上記旋回腕23はその中間部を上記水平移動ブロック22に対し、水平方向に配置された枢軸29を中心とする揺動変位を自在に支持されている。更に、上記測定子24は、上記旋回腕23の先端部に、下方に向け鉛直方向に突出する状態で固定されている。従って上記測定子24は、上記枢軸29を中心とする上記旋回腕23の揺動変位に伴って、図1の矢印Hに示す様に、上下方向に移動(昇降)する。外力が作用しない状態で上記測定子24は、上記旋回腕23が旋回できる範囲で下方に変位し、上記試料支持板19の上面に設置した、中間素材14等の試料の上面に当接する。この様にして当接する、上記測定子24の先端と試料の上面との当接圧を適正にする為に、上記旋回腕23の基端部に重錘30を設置し、この旋回腕23に対し、上記測定子24を下降させる方向に加わるモーメントを調節している。又、上記各ブロック21、22の上記各矢印X、Z方向の移動は、図示しない送りねじ機構、或いはリニアモータ等により可能としており、その移動量は、この送りねじ機構やリニアモータ等に、内蔵若しくは付属させた、光学式スケール若しくはコンパレータ等により、精密に(例えばμm単位で)測定可能としている。又、上記旋回腕23の揺動角度に就いても、光学式スケール、又は、高精度エンコーダ等により測定して、この揺動に基づく、上記測定子24の昇降量を精度良く求められる様にしている。
Further, the revolving
一方、前記試料支持板19は上記基台17の上面他隅部(図1の左上隅部)に、精密ロータリアクチュエータ25により、角度の調節を可能に支持している。又、この精密ロータリアクチュエータ25はブレーキ機構を備え、上記試料支持板19を所定方向に向けた状態のまま、保持可能としている。この試料支持板19の幅方向(図2の上下方向)中央部には、スリット状の透孔26を、長さ方向に亙り形成している。この透孔26の方向は、上記水平移動ブロック22の移動方向である、矢印X方向としている。又、この透孔26は、前記枢軸29を中心として上記旋回腕23が揺動変位する仮想鉛直面上に位置する。又、上記透孔26の長さ寸法L26は、上記試料支持板19の長さ寸法L19よりも少しだけ短い(L26<L19)。更に、この試料支持板19の表面の長さ方向両端寄り部分に、それぞれが円柱状である1対の測定基準部27a、27bを、上記透孔26を直角に横切る様に、上記枢軸29と平行に固定している。本例の場合、円柱状のピンゲージを上記測定基準部として利用(ピンゲージを上記試料支持板19の上面に接着固定)している。この為に、この試料支持板19の上面長さ方向両端寄り部分に、V溝状の凹部28、28を形成し、これら両凹部28、28にそれぞれ上記ピンゲージを嵌合し更に接着して、上記両測定基準部27a、27bとしている。
On the other hand, the
次に、上述の様な形状測定装置を使用して、前述の図9に示した様な、ラジアルニードル軸受上に組み込む保持器を構成する為の中間素材14の断面形状を測定する手順に就いて、図4を参照しつつ説明する。尚、以下の説明は図4の(A)→(B)→(C)→(D)の順番で測定作業を進める場合に就いて行なうが、この測定の順序は特に問わない。
測定作業に先立って、上記試料支持板19の表面の長さ方向中央部に、被測定物である上記中間素材14を、磁気吸着力により、或いは両面テープ等の測定後に剥せる接着手段により、上記試料支持板19に対し動かない様に支持する。
Next, the procedure for measuring the cross-sectional shape of the
Prior to the measurement work, the
この様に、上記試料支持板19の表面に上記中間素材14を支持した後、先ず、図4の(A)に示す様に、この試料支持板19の表面を上に向け、且つ、この表面を水平方向に対し所定方向に傾斜させた状態で、この試料支持板19を停止保持する。そして、前記測定器18の昇降ブロック21を、上記中間素材14の高さ位置が前記旋回腕23の先端部に設けた測定子24による測定可能範囲に入る様に、図1の矢印Z方向に移動させつつ、前記水平移動ブロック22を同矢印X方向に移動させて、上記旋回腕23の先端部に設けた測定子24の先端(下端)により、上記中間素材14及び上記両測定基準部27a、27bのうちで上方に向いた部分である、図1の(A)の太線部分をなぞる。そして、この太線部分の形状を、上記測定器18のメモリに記憶させる。
In this way, after the
上記図4の(A)の太線部分の形状を上記メモリ中に取り込んだ後、図4の(B)に示す様に、上記試料支持板19を、上記所定方向と逆方向に傾斜させる。そして、上記測定子24を上記矢印X、H方向に変位させる事で、上記図4の(B)の太線部分の形状を上記メモリ中に取り込む。
次いで、図4の(C)に示す様に、上記試料支持板19の裏面を上に向けた状態で、この試料支持板19を所定方向に傾斜させる。そして、上記測定子24の先端部を前記透孔26内に進入させた状態で、この測定子24を上記矢印X、H方向に変位させる事により、上記図4の(C)の太線部分の形状を上記メモリ中に取り込む。尚、上記透孔26は、前述した様に、上記測定子24が揺動変位する仮想鉛直面上に位置している。
その後、図4の(D)に示す様に、上記試料支持板19を、裏面を上方に向けた状態のまま、上記所定方向と逆方向に傾斜させる。そして、上記測定子24の先端部を上記透孔26内に進入させた状態で、この測定子24を上記矢印X、H方向に変位させる事で、上記図4の(D)の太線部分の形状を上記メモリ中に取り込む。
After taking the shape of the thick line portion in FIG. 4A into the memory, as shown in FIG. 4B, the
Next, as shown in FIG. 4C, the
Thereafter, as shown in FIG. 4D, the
この様に、上記試料支持板19の傾斜方向を4通りに変化させつつ、上記測定子24の先端部で前記中間素材14の外面をなぞる事により、この中間素材14の外面形状(断面形状)を、全周に亙って捉える事ができる。そこで、図4の(A)→(B)→(C)→(D)の各行程で別々に取り入れられた、上記中間素材14の外面形状に関するデータを繋ぎ合わせて、図4の(E)に示す様な、この中間素材14の外面形状を表すデータを得る。
In this way, by tracing the outer surface of the
この繋ぎ合わせ作業は、別々に取り入れられた4種類の測定データのうち、前記両測定基準部27a、27bに関するデータを重ね合わせる事により行なう。具体的には、前記両測定基準部27a、27bの中心を演算により求めてから、これら両中心を結ぶ直線(線分)を求め、この直線を基準として、上記4種類の測定データを重ね合わせる。この場合に、上記両測定基準部27a、27bの断面形状は高精度の円形であるので、これら両測定基準部27a、27bの中心は精度良く求める事ができ、上記4種類の測定データを精度良く重ね合わせる事ができる。従って、上記4種類の測定データを互いに同心に重ね合わせれば、上記中間素材14の外面形状を表す、図4の(E)に示す様な、この中間素材14の外面形状を正確に表すデータを得られる。この結果、各種物品の製造誤差を少なくする為のデータ等を効率良く得られる。
This joining operation is performed by superimposing data on the two
[実施の形態の第2例]
図5は、請求項1、2、4〜5に対応する、本発明の実施の形態の第2例を示している。本例の場合、試料支持板19に被測定物である中間素材14の一部を、この試料支持板19の端縁よりも(図5の下方に)突出する状態で支持している。又、両測定基準部27a、27bの一部も、上記試料支持板19の端縁よりも突出する状態で示している。そして、この試料支持板19の端縁よりも突出した部分で、上記実施の形態の第1例と同様の手順により、上記中間素材14の外面形状の測定を行なう。この場合、上記図4の(C)〜(D)で示した手順に就いても、上記突出した部分で行なうことができる。この為、試料支持板19に透孔26(図2参照)を形成する必要がない。その他の部分の構成及び作用に就いては、上述した実施の形態の第1例と同様であるから、重複する説明は省略する。
[Second Example of Embodiment]
FIG. 5 shows a second example of an embodiment of the present invention corresponding to claims 1, 2, 4-5. In the case of this example, a part of the
図示の例の場合には、被測定物の外面形状を全周に亙って測定する必要上、試料支持板19に、測定子24を進入させる為の透孔26を設けている。これに対して、被測定物の外面形状を全周に亙り測定する必要がなければ、試料支持板に透孔を設けなくても良い。この場合も、測定基準部の測定データにより、上記被測定物の外面形状のそれぞれ一部ずつを表す、複数のデータの重ね合わせを行なう。
又、上述した実施の形態の第1〜2例に於ける、測定基準部27a、27bは、試料支持板19と別体で設けたピンゲージを利用しているが、この試料支持板19と一体に設けた部分を測定基準部とする事もできる。
In the case of the illustrated example, since it is necessary to measure the outer surface shape of the object to be measured over the entire circumference, a through
In the first and second examples of the above-described embodiment, the
1 キャリア
2a、2b 支持板
3 支持軸
4 遊星歯車
5 ラジアルニードル軸受
6 ニードル
7 保持器
8 内輪軌道
9 外輪軌道
10a、10b フローティングワッシャ
11 リム部
12 柱部
13 ポケット
14 中間素材
15 係止突部
16 内径側係止部
17 基台
18 測定器
19 試料支持板
20 支柱
21 昇降ブロック
22 水平移動ブロック
23 旋回腕
24 測定子
25 精密ロータリアクチュエータ
26 透孔
27a、27b 測定基準部
28 凹部
29 枢軸
30 重錘
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