JP2008527435A - 波長同調可能な選択性オプトエレクトロニックフィルタ - Google Patents
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Abstract
Description
L(HL)∧9 6H AAA (HL)∧7H
ここにLはSiO2のλ/4層を表わし、HはTiO2のλ/4層を表わし、Aは空気のλ/4層を表わし、L(HL)∧9は9つの異なるプレートを有する頂部ブラッグミラー10を表わし、6Hは高屈折率および3λに等しい厚さを有する共振ディスクを表わし、AAA (HL)∧7Hは、その調整可能な厚さの空気プレートAAAを伴う底部ブラッグミラー12を表わす。
(HL)∧6H AAA 6H AAA (HL)∧7H
このフィルタは1550nmの中心波長に対して約0.1nmの選択性をもたらし、その同調範囲は中心波長の周りで100nmを超える。
Claims (14)
- 2つの部分反射装置(10、12)の間に形成された共振空洞を備え、各部分反射装置が、使用される波長で透過性である層の積重ねと、フィルタを波長同調するために反射装置(10、12)の端子に電界を与える手段とによって構成された、波長同調可能な選択性オプトエレクトロニックフィルタであって、共振空洞が、前記波長において透過性であり高い屈折率を有する固体材料のディスク(16)で構成され、反射装置(10、12)の間で導波管を形成すること、および、反射装置の第1のもの(26)が、少なくとも部分的に移動可能または変形可能であり、空気のプレート(32)によって共振空洞を形成するディスク(16)から分離されることを特徴とする、オプトエレクトロニックフィルタ。
- 第2の反射装置が、少なくとも部分的に移動可能または変形可能であり、空気のプレート(24)によって共振空洞を形成するディスク(16)から分離されることを特徴とする、請求項1に記載のフィルタ。
- 高屈折率材料のディスク(16)が、共振波が準モノモードで伝播するように例えば10μm程度の小さな直径を有することを特徴とする、請求項1または2に記載のフィルタ。
- 第1の反射装置が、空気と、前記波長に対して透過性である固体材料の層またはプレートとの交互層を備え、かつ、上記に指定した空気のプレート(32)によってディスク(16)から分離される固体材料の移動可能または変形可能な層(26)を含むことを特徴とする、請求項1または2に記載のフィルタ。
- 第2の反射装置が、空気と、前記波長で透過性である固体材料の層またはプレートとの交互層を備え、固体材料の前記層の1つ(22)が、空気の層(24)によって共振空洞のディスク(16)から分離される移動可能または変形可能なプレートを形成することを特徴とする、請求項1から4のいずれかに記載のフィルタ。
- 2つの反射装置内の固体材料の層が、半導体材料の層であること、および、前述の各反射装置の移動層が、反射装置の固体材料の他方の層のドーピングとは反対のドーピングを有することを特徴とする、請求項4または5に記載のフィルタ。
- 両方の移動層(22、26)のドーピングが同じタイプであることを特徴とする、請求項6に記載のフィルタ。
- 各移動層(22、26)が懸垂された層であることを特徴とする、請求項4から7のいずれか一項に記載のフィルタ。
- 共振空洞を形成するディスク(16)を移動層(22、26)から分離する空気の層(24、32)が、(2k+1)λ/4に等しい厚さを有することを特徴とする、請求項4から8のいずれか一項に記載のフィルタ。
- 共振空洞を形成するディスク(16)が、k.λ/2に等しい厚さを有することを特徴とする、請求項1から9のいずれかに記載のフィルタ。
- 共振空洞を形成するディスク(16)が円形外形のものであることを特徴とする、請求項1から10のいずれかに記載のフィルタ。
- 2つの部分反射装置(10、12)の固体材料の層全部および共振空洞を形成するディスク(16)が懸垂されること、および、フィルタがイオンエッチングによって、また選択的化学エッチングによって作製されることを特徴とする、請求項1から11のいずれかに記載のフィルタ。
- 波長同調手段が、ディスク(16)の対辺に位置している半導体材料の層および前記移動層(26)に接続されている電極(40、42)と、前記電極に制御電圧を与えるための手段とを備えることを特徴とする、請求項4から12のいずれか一項に記載のフィルタ。
- 波長同調手段が、反射装置のうちの1つの半導体材料の静止層に接続された第1の電極(54)と、共振空洞を形成するディスク(16)に接続された電極(56)と、他方の反射装置の半導体材料の静止層に接続された第3の電極(58)と、第2と第3の電極(56、54)間ならびに第2と第3の電極(58、56)間に同一電圧を与えるための手段とを備えることを特徴とする、請求項5から12のいずれか一項に記載のフィルタ。
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