JP2008509011A - System for dispensing objects - Google Patents
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Abstract
物体を自動光学検査（ＡＯＩ）系から複数のステーションのうちの１つに分配するための分配システムが開示されている。開示された分配システムは、物体をＡＯＩ系から複数のステーションのそれぞれに運ぶことが可能な搬送手段と、ＡＯＩ系から物体を受け取り、ステーションのそれぞれの使用可能性を順次受信し、物体をその位置から使用可能なステーションに運ぶよう搬送手段を制御するように動作する制御装置とを備える。 A dispensing system for dispensing an object from an automatic optical inspection (AOI) system to one of a plurality of stations is disclosed. The disclosed distribution system includes a transport means capable of transporting an object from the AOI system to each of a plurality of stations, receiving an object from the AOI system, sequentially receiving the availability of each of the stations, and moving the object to its position. And a control device that operates to control the transport means to transport it to a usable station.
Description
本発明は、物体を複数の位置から複数の移動先に分配する分野に関する。より詳細には、本発明は、物体を分配するとともに、好ましい移動先を選択することが可能な分配システムに関する。 The present invention relates to the field of distributing objects from a plurality of positions to a plurality of destinations. More specifically, the present invention relates to a distribution system capable of distributing an object and selecting a preferred destination.
自動光学検査（ＡＯＩ）系は、画像処理および専用アルゴリズムを用いてＰＣＢまたはウェハの表面を検査し、その表面の欠陥を認識するものである。欠陥を有する表面の走査された画像が検証系に転送され、そこで、操作者は画像の目視検査を行い、自動測定を検証する。 An automatic optical inspection (AOI) system inspects the surface of a PCB or wafer using image processing and a dedicated algorithm, and recognizes defects on the surface. The scanned image of the defective surface is transferred to a verification system where the operator performs a visual inspection of the image to verify the automatic measurement.
一部のＡＯＩ系は自らの検証ステーションを有するが、効率的な処理のためには、ＰＣＢやウェハ等の走査された物体は、複数の検証ステーションのうちの１つに手作業で運ばれる。あいにく、検証ステーションの全てが使用可能な状態にあるのではなく、一部は、前の物体の検証を行なっており使用中であり得る。使用可能な検証ステーションを手動で探すことは、大変に非効率的であり、多くの時間を浪費する。 Some AOI systems have their own verification stations, but for efficient processing, scanned objects such as PCBs and wafers are manually transported to one of a plurality of verification stations. Unfortunately, not all of the verification stations are ready for use, and some are verifying previous objects and may be in use. Searching for a valid verification station manually is very inefficient and wastes a lot of time.
したがって、走査された物体を使用可能な検証ステーションに自動で運ぶことが可能なシステムを得ることは有利であろう。 Therefore, it would be advantageous to have a system that can automatically transport a scanned object to a usable verification station.
本発明は、物体を自動光学検査（ＡＯＩ）系から複数のステーションのうちの１つに分配するための分配システムである。 The present invention is a dispensing system for dispensing an object from an automatic optical inspection (AOI) system to one of a plurality of stations.
本発明の教示によれば、物体を自動光学検査（ＡＯＩ）系から分配するための分配システムが提供され、この分配システムは、
ａ）物体をＡＯＩ系から複数のステーションのそれぞれに運ぶことが可能な搬送手段と、
ｂ） ｉ）前記ＡＯＩ系から前記物体を受け取り、
ｉｉ）前記ステーションのそれぞれの使用可能性を順次受信し、
ｉｉｉ）前記搬送手段を、前記物体を前記位置から使用可能なステーションに運ぶよう制御するように動作する制御装置とを備える。
In accordance with the teachings of the present invention, a dispensing system is provided for dispensing an object from an automatic optical inspection (AOI) system, the dispensing system comprising:
a) transport means capable of transporting an object from the AOI system to each of a plurality of stations;
b) i) receiving the object from the AOI system;
ii) sequentially receiving the availability of each of the stations;
iii) a controller that operates to control the transport means to transport the object from the position to an available station.
好適な実施形態におけるさらなる特徴によれば、前記制御装置は、前記物体に関する情報パッケージを受信し、前記物体と共に前記情報パッケージを前記使用可能なステーションに転送するようにさらに動作する、本発明による上記分配システムが提供される。 According to still further features in the described preferred embodiments the control device is further operative to receive an information package relating to the object and forward the information package along with the object to the usable station. A distribution system is provided.
別の好適な実施形態において、前記物体は、前記ＡＯＩ系により認識された、疑わしい欠陥を有する走査された物体であり、前記ステーションは検証ステーションである、上記分配システムが提供される。 In another preferred embodiment, the distribution system is provided, wherein the object is a scanned object with a suspicious defect recognized by the AOI system, and the station is a verification station.
別の好適な実施形態において、前記搬送手段はロボットであり、前記ロボットは、前記制御装置の命令に従って、前記物体を前記ＡＯＩ系から取得し、前記物体をステーションに運ぶことが可能である、上記分配システムが提供される。 In another preferred embodiment, the transport means is a robot, and the robot can acquire the object from the AOI system and carry the object to a station according to a command of the control device. A distribution system is provided.
別の好適な実施形態において、前記ステーションのうちの１つは、前記動作の全てが行なわれた場合に、前記搬送手段が物体を運ぶバッファステーションであり、前記搬送手段は、前記物体を前記バッファステーションから使用可能となったステーションに運ぶ、上記分配システムが提供される。 In another preferred embodiment, one of the stations is a buffer station where the transport means transports an object when all of the operations are performed, and the transport means includes the object in the buffer. A distribution system as described above is provided for transporting from a station to an available station.
別の好適な実施形態において、前記分配は複数のＡＯＩ系から行なわれる、上記分配システムが提供される。 In another preferred embodiment, the distribution system is provided wherein the distribution is performed from a plurality of AOI systems.
本発明の別の局面により、疑わしい欠陥を有する走査された物体を少なくとも１つの自動光学検査（ＡＯＩ）系から分配するための分配システムが提供される。分配システムは、
ａ）前記ＡＯＩ系のそれぞれから物体を取得して複数の検証ステーションのそれぞれに運ぶことが可能なロボットと、
ｂ） ｉ）前記ＡＯＩ系から複数の前記走査された物体を受け取り、
ｉｉ）前記ＡＯＩ系から前記走査された物体のそれぞれに関する情報パッケージを受信し、
ｉｉｉ）前記検証ステーションのそれぞれから使用可能性を順次受信し、
ｉｖ）前記走査された物体のそれぞれをその位置から取得し、前記物体をそれぞれ使用可能な検証ステーションに運ぶよう、前記ロボットを制御し、
ｖ）前記情報パッケージのそれぞれを、当該物体が運ばれる検証ステーションに転送するように動作する制御装置とを備える。
According to another aspect of the present invention, a dispensing system is provided for dispensing scanned objects having suspicious defects from at least one automatic optical inspection (AOI) system. The distribution system
a) a robot capable of acquiring an object from each of the AOI systems and carrying it to each of a plurality of verification stations;
b) i) receiving a plurality of the scanned objects from the AOI system;
ii) receiving an information package for each of the scanned objects from the AOI system;
iii) sequentially receiving availability from each of the verification stations;
iv) obtaining each of the scanned objects from their position and controlling the robot to carry the objects to a respective usable verification station;
v) a control device that operates to transfer each of the information packages to a verification station where the object is carried;
さらに別の好適な実施形態において、上記分配システムは、処理全体を通じて物体の完全な追跡を可能にするために物体をマークするものである。 In yet another preferred embodiment, the dispensing system marks the object to allow complete tracking of the object throughout the process.
本発明のさらに別の局面によると、前記システムは、少なくとも１つのＡＯＩ系、ならびに複数の検証ステーションと共に統合型システムに一体化されている、上記分配システムが提供される。 According to yet another aspect of the invention, there is provided a distribution system as described above, wherein the system is integrated into an integrated system with at least one AOI system and a plurality of verification stations.
添付の図面を参照しながら、本発明を例示としてのみここに説明する。以下において図面を具体的に詳しく参照するが、図示した特定事項は、例示として、また、本発明の好適な実施形態を説明する目的においてのみ示され、本発明の原理および概念的局面を最も有用かつ容易に理解される説明であると考えられるものを提供するために提示されていることに注意されたい。この点に関し、本発明の基本的理解に必要である以上に本発明の構造的な詳細を明らかにする試みはなされておらず、図面を伴う説明により、本発明のいつかの形態が実際にどのように実施されるかは当業者に明らかとなるであろう。
（好適な実施形態の説明）
本発明は、物体を自動光学検査（ＡＯＩ）系から複数の検証ステーションに分配するための分配システムである。
The present invention will now be described by way of example only with reference to the accompanying drawings. DETAILED DESCRIPTION Reference will now be made in detail to the drawings, wherein the specifics illustrated are shown by way of illustration only and for the purpose of illustrating preferred embodiments of the invention and are the most useful in its principles and conceptual aspects. Note that it is presented to provide what is considered to be an easily understood explanation. In this regard, no attempt has been made to clarify the structural details of the present invention beyond what is necessary for a basic understanding of the present invention. It will be clear to those skilled in the art how to implement.
(Description of Preferred Embodiment)
The present invention is a dispensing system for dispensing an object from an automatic optical inspection (AOI) system to a plurality of verification stations.
本発明の好適な実施形態において、ＡＯＩ系、複数の検証ステーション、ロボット、および制御装置で構成される機構が設けられている。 In a preferred embodiment of the present invention, a mechanism comprising an AOI system, a plurality of verification stations, a robot, and a control device is provided.
制御装置は、走査された物体の位置およびこの物体に関する情報パッケージをＡＯＩ系から受信する。情報パッケージは、物体の画像および／または疑わしい欠陥の画像、識別情報等を含み得る。また、制御装置は、各検証ステーションの使用可能性に関して順次更新される。 The control device receives the position of the scanned object and the information package for this object from the AOI system. The information package may include an image of the object and / or an image of a suspicious defect, identification information, and the like. The controller is also updated sequentially with regard to the availability of each verification station.
制御装置は、疑わしい欠陥を検証するために、ロボットに対し、受け取った位置から走査物体を移送し、その物体を使用可能な検証ステーションのうちの１つに運ぶよう命令する。検証を可能にするために、制御装置は、使用可能な検証ステーションに、物体と共に情報パッケージを転送する。 The controller directs the robot to move the scanned object from the received position and transport it to one of the available verification stations to verify the suspicious defect. To enable verification, the controller transfers the information package along with the object to an available verification station.
この機構における分配は、自動的かつ効率的に行なわれる。検証ステーションの全てが使用不可能である場合、制御装置は、物体を待機ステーションに運ぶようロボットに命令し、使用可能となる最初の検証ステーションを待つ。 Distribution in this mechanism is automatic and efficient. If all of the verification stations are unavailable, the controller instructs the robot to carry the object to the standby station and waits for the first verification station to be available.
本発明による分配システムの原理および動作は、図面およびそれに付随する説明を参照することによってより良く理解され得る。 The principles and operation of a dispensing system according to the present invention may be better understood with reference to the drawings and accompanying descriptions.
図面を参照すると、図１は、本発明の好適な実施形態のブロック図を示している。ＡＯＩ系１１は、複数の検証ステーション１２と共にセットアップされている。走査された物体１３は、各物体の位置および情報パッケージを制御装置１４に転送するＡＯＩ系１１の出口で待機している。制御装置１４は、検証ステーション１２のそれぞれの使用可能性に関して順次更新される。
Referring to the drawings, FIG. 1 shows a block diagram of a preferred embodiment of the present invention. The
制御装置１４は、特定の物体１６の方に移動１７し、ピックアップするようロボット１５に命令する。制御装置１４は、検証ステーションのうちの１つ１８が使用可能であることを認識し、ピックアップされた物体１６を使用可能な検証ステーション１８に運ぶために、移動１９するようロボット１５に命令する。同時に、制御装置１４は、ピックアップされた物体１６に関する情報パッケージを、ピックアップされた物体１６が運ばれたのと同じ検証ステーション１８に転送する。
The
検証ステーション１２の全てが使用不可能である場合、制御装置１４は、ピックアップされた物体１６をバッファステーション２０に運ぶようロボット１５に命令し、検証ステーション１２のうちの１つが使用可能になるまで待機し、その後、ロボット１５は、物体をこの使用可能なステーションに運ぶ。
If all of the
本発明を、その具体的な実施形態により説明したが、多くの代替例、変形例および変更例が当業者に明らかであることは明白であり、従って、添付の請求項の精神および広い範囲に含まれるそのような代替例、変形例および変更例のすべてを包含することが意図されている。 While the invention has been described in terms of specific embodiments thereof, it is evident that many alternatives, modifications and variations will be apparent to those skilled in the art and thus fall within the spirit and broad scope of the appended claims. It is intended to encompass all such alternatives, modifications and variations that are included.
Claims (9)
ａ）物体をＡＯＩ系から複数のステーションのそれぞれに運ぶことが可能な搬送手段と、
ｂ）制御装置とを備え、前記制御装置は、
ｉ）前記ＡＯＩ系から前記物体を受け取り、
ｉｉ）前記ステーションのそれぞれの使用可能性を順次受信し、
ｉｉｉ）前記搬送手段を、前記物体を前記位置から使用可能なステーションに運ぶよう制御するように動作する分配システム。 A dispensing system for dispensing an object from an automatic optical inspection (AOI) system,
a) transport means capable of transporting an object from the AOI system to each of a plurality of stations;
b) a control device, the control device comprising:
i) receiving the object from the AOI system;
ii) sequentially receiving the availability of each of the stations;
iii) A dispensing system that operates to control the transport means to transport the object from the position to an available station.
ａ）物体を前記ＡＯＩ系のそれぞれから取得して複数の検証ステーションのそれぞれに移送することが可能なロボットと、
ｂ）制御装置とを備え、前記制御装置は、
ｉ）前記ＡＯＩ系から複数の前記走査された物体を受け取り、
ｉｉ）前記ＡＯＩ系から前記走査された物体のそれぞれに関する情報パッケージを受信し、
ｉｉｉ）前記検証ステーションのそれぞれから使用可能性を順次受信し、
ｉｖ）必要に応じて、前記物体を追跡可能となるようにマークし、前記ロボットを、前記走査された物体のそれぞれを前記位置から移送し、前記物体をそれぞれ使用可能な検証ステーションに運ぶよう制御し、
ｖ）前記情報パッケージのそれぞれを、当該物体が運ばれる検証ステーションに転送するように動作する分配システム。 A dispensing system for dispensing a scanned object having a suspicious defect from at least one automatic optical inspection (AOI) system comprising:
a) a robot capable of acquiring an object from each of the AOI systems and transferring it to each of a plurality of verification stations;
b) a control device, the control device comprising:
i) receiving a plurality of the scanned objects from the AOI system;
ii) receiving an information package for each of the scanned objects from the AOI system;
iii) sequentially receiving availability from each of the verification stations;
iv) If necessary, mark the object to be trackable and control the robot to move each of the scanned objects from the position and transport the objects to an available verification station. And
v) A distribution system that operates to transfer each of the information packages to a verification station where the object is carried.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| IL16335804 | 2004-08-04 | ||
| PCT/IL2005/000827 WO2006013563A2 (en) | 2004-08-04 | 2005-08-03 | A system for distributing objects |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2008509011A true JP2008509011A (en) | 2008-03-27 |
Family
ID=35787512
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007524462A Pending JP2008509011A (en) | 2004-08-04 | 2005-08-03 | System for dispensing objects |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2008509011A (en) |
| CN (1) | CN101147121B (en) |
| WO (1) | WO2006013563A2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9885671B2 (en) | 2014-06-09 | 2018-02-06 | Kla-Tencor Corporation | Miniaturized imaging apparatus for wafer edge |
| US9645097B2 (en) | 2014-06-20 | 2017-05-09 | Kla-Tencor Corporation | In-line wafer edge inspection, wafer pre-alignment, and wafer cleaning |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003209154A (en) * | 2002-01-11 | 2003-07-25 | Tokyo Electron Ltd | Substrate treatment device and substrate treatment method |
| WO2004059567A2 (en) * | 2002-12-24 | 2004-07-15 | Orbotech Ltd. | Automatic optical inspection system and method |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4602417A (en) * | 1983-10-24 | 1986-07-29 | Trw Inc. | Interconnector attachment machine |
| US5988971A (en) * | 1997-07-09 | 1999-11-23 | Ade Optical Systems Corporation | Wafer transfer robot |
| US6314337B1 (en) * | 1998-08-27 | 2001-11-06 | Dell Usa, L.P. | Automated consolidation station |
-
2005
- 2005-08-03 JP JP2007524462A patent/JP2008509011A/en active Pending
- 2005-08-03 WO PCT/IL2005/000827 patent/WO2006013563A2/en active Application Filing
- 2005-08-03 CN CN2005800261481A patent/CN101147121B/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003209154A (en) * | 2002-01-11 | 2003-07-25 | Tokyo Electron Ltd | Substrate treatment device and substrate treatment method |
| WO2004059567A2 (en) * | 2002-12-24 | 2004-07-15 | Orbotech Ltd. | Automatic optical inspection system and method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN101147121A (en) | 2008-03-19 |
| WO2006013563A3 (en) | 2006-08-03 |
| CN101147121B (en) | 2011-07-06 |
| WO2006013563A2 (en) | 2006-02-09 |
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| Date | Code | Title | Description |
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|
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