JP2008304832A - Point defect correction device and manufacturing method of liquid crystal device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、点欠陥修正装置、及び液晶装置の製造方法に関する。 The present invention relates to a point defect correcting device and a method for manufacturing a liquid crystal device.
液晶装置の製造方法として以下のようなものがある。例えば、一対のガラス基板のうち一方のガラス基板にスイッチング素子（例えばＴＦＴ）や画素電極などを設け、他方のガラス基板に対向電極などを設けた後、両ガラス基板をスペーサを介して貼り合わせる。そして、両ガラス基板の間に液晶を注入して液晶層を形成し、その後両ガラス基板の表面に偏光板をそれぞれ貼り付ける、という方法である。 There are the following methods for manufacturing a liquid crystal device. For example, a switching element (for example, TFT) or a pixel electrode is provided on one glass substrate of a pair of glass substrates, and a counter electrode or the like is provided on the other glass substrate, and then both the glass substrates are bonded together with a spacer. And it is the method of injecting a liquid crystal between both glass substrates, forming a liquid-crystal layer, and sticking a polarizing plate to the surface of both glass substrates after that, respectively.
上記のような液晶装置の製造過程では、所定のタイミングで各種検査を行って不良を検出する工程を含む場合がある。例えば、液晶層を形成した後で行う検査では、両ガラス基板を挟むように一対の検査用の偏光板を配置し、検査用のバックライトを点灯させ、スイッチング素子を駆動させることで表示不良の有無を検査する場合がある。 The manufacturing process of the liquid crystal device as described above may include a step of performing various inspections at a predetermined timing to detect defects. For example, in an inspection performed after the liquid crystal layer is formed, a pair of inspection polarizing plates are arranged so as to sandwich both glass substrates, an inspection backlight is turned on, and a switching element is driven to cause a display defect. May be checked for presence.
このような検査工程において、例えば液晶層内に異物が侵入している場合、光が液晶層内に含まれた異物に当たって乱反射することで、黒表示をしているにも拘らず明るく見える輝点欠陥として検出されることがある。当該輝点欠陥は、表示品質を著しく低下させ、製造の歩留まりを悪化させることとなる。 In such an inspection process, for example, when a foreign object has entered the liquid crystal layer, the bright spot that appears bright despite the fact that the light hits the foreign object contained in the liquid crystal layer and is irregularly reflected. It may be detected as a defect. The bright spot defects significantly deteriorate display quality and deteriorate manufacturing yield.
そこで、上記のような輝点欠陥を修正する方法として、例えば特許文献１には、一対の基板のうち少なくとも一方の基板の液晶層側とは反対側の表面位置であって、輝点欠陥が生じている部分と光学的に重なる表面位置に凹部を形成し、該凹部内に遮光材を設け、該遮光材が設けられた凹部内に硬化性樹脂を充填する方法が開示されている。この方法によると、輝点欠陥が生じている部分に入射しようとする光を遮光材により遮ることで、輝点欠陥を修正することが可能とされている。
ところで、上記のようにガラス基板に形成した凹部に対して硬化性樹脂を充填する場合、その充填は手作業で行うものとしていた。したがって、当然ながら作業者によって塗布精度に差があり、樹脂残りや遮光樹脂塗布不良が発生し、歩留まり低下の一因となっていた。また、切削作業と樹脂塗布作業が別作業となっており、非常にコストの掛かる作業でもある。 By the way, when filling curable resin with respect to the recessed part formed in the glass substrate as mentioned above, the filling shall be performed manually. Therefore, naturally, there is a difference in application accuracy depending on the operator, and a resin residue or a light-shielding resin application failure occurs, which contributes to a decrease in yield. Further, the cutting work and the resin coating work are separate work, which is a very expensive work.
本発明は、上記のような事情に基づいてなされたものであって、液晶装置に生じた点欠陥を確実に修正することが可能で、しかも簡便に再現性良く、低コストで修正することができる点欠陥修正装置を提供することを目的としている。また、本発明は、そのような点欠陥修正装置を用いた液晶装置の製造方法を提供することを目的としている。 The present invention has been made based on the above-described circumstances, and can reliably correct a point defect generated in a liquid crystal device, and can be easily and reproducibly corrected at a low cost. An object of the present invention is to provide a point defect correcting apparatus capable of performing the above. Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing a liquid crystal device using such a point defect correcting device.
上記課題を解決するために、本発明の点欠陥修正装置は、液晶装置の点欠陥を修正するための点欠陥修正装置であって、前記液晶装置は一対のガラス基板の間に液晶層が挟持されてなるものであり、前記液晶装置に点欠陥が検出された場合に、前記点欠陥を撮影するカメラと、前記点欠陥が生じた位置の前記ガラス基板を切削するドリルと、前記ドリルにて切削した位置に遮光材を塗布するディスペンサと、を一体装置として備えることを特徴とする。 In order to solve the above problems, a point defect correcting apparatus according to the present invention is a point defect correcting apparatus for correcting a point defect of a liquid crystal device, wherein the liquid crystal device has a liquid crystal layer sandwiched between a pair of glass substrates. When a point defect is detected in the liquid crystal device, a camera that photographs the point defect, a drill that cuts the glass substrate at the position where the point defect has occurred, and the drill A dispenser that applies a light shielding material to the cut position is provided as an integrated device.
本発明の点欠陥修正装置によれば、点欠陥位置のガラス基板切削から遮光材塗布までを当該装置で一貫して行うことができ、しかもディスペンサによる遮光材の塗布に至るまで自動にて行われるため、塗布精度、ひいては修正精度を高めることができるようになる。つまり、本発明により、液晶装置に生じた点欠陥を確実に修正することが可能となり、しかも簡便で再現性良く、人手を必要とせず、低コストで修正することが可能となるのである。特に、カメラと、ドリルと、ディスペンサとを一体装置で構成したため、それぞれを連携して操作することができ、１つの作業テーブルで一括して修正作業を完了することができるようになり、非常に高効率な修正を行うことができるようになる。 According to the point defect correcting apparatus of the present invention, from the glass substrate cutting of the point defect position to the application of the light shielding material can be performed consistently by the apparatus, and further, it is automatically performed until the application of the light shielding material by the dispenser. Therefore, it becomes possible to improve the application accuracy and, consequently, the correction accuracy. That is, according to the present invention, it is possible to surely correct a point defect generated in the liquid crystal device, and it is possible to correct the defect at a low cost with simple and good reproducibility, without requiring a manual operation. In particular, since the camera, drill, and dispenser are configured as an integrated device, they can be operated in a coordinated manner, and correction work can be completed in one batch with a single work table. Highly efficient correction can be performed.
上記点欠陥修正装置において、前記カメラにより撮影した映像を映し出すモニタを更に備え、前記ドリルは、前記モニタを視認しつつ前記ガラス基板の切削位置を調整可能にされているものとすることができる。 The point defect correcting apparatus may further include a monitor that displays an image captured by the camera, and the drill may be capable of adjusting a cutting position of the glass substrate while visually checking the monitor.
このようにモニタを視認しつつドリル切削位置を調整することで、当該切削位置を簡便に特定することが可能となる。具体的には、モニタに対してドリルの先端位置（中心位置）を映し出すものとし、当該先端位置がモニタ上で欠陥位置と重なった場合に、ドリルの切削を開始するものとすることができる。つまり、モニタにドリルの先端位置を映し出す映像出力部を備えるものとすることができる。 Thus, by adjusting the drill cutting position while visually recognizing the monitor, the cutting position can be easily specified. Specifically, the tip position (center position) of the drill is projected on the monitor, and the cutting of the drill can be started when the tip position overlaps the defect position on the monitor. That is, it is possible to provide a video output unit that displays the position of the tip of the drill on the monitor.
また、上記点欠陥修正装置において、前記ディスペンサの洗浄を行うディスペンサ洗浄部を更に備え、前記ディスペンサ洗浄部は、前記ディスペンサの前記遮光材の塗布待機中に、当該ディスペンサの洗浄を行うものとすることができる。 The point defect correcting device further includes a dispenser cleaning unit that cleans the dispenser, and the dispenser cleaning unit cleans the dispenser while waiting for application of the light shielding material of the dispenser. Can do.
このようにディスペンサ洗浄部を具備させることで、遮光材の塗布待機中（インターバル時間中）に、ディスペンサの先端等で遮光材が固まって、目詰まりする等の不具合発生を防止することが可能となる。 By providing the dispenser cleaning unit in this way, it is possible to prevent the occurrence of problems such as clogging due to the light-blocking material becoming solid at the tip of the dispenser while waiting for the light-blocking material to be applied (interval time). Become.
また、上記点欠陥修正装置において、前記カメラ、前記ドリル、及び前記ディスペンサの作動制御を一括して行う制御部を更に備えるものとすることができる。 The point defect correcting device may further include a control unit that collectively controls operation of the camera, the drill, and the dispenser.
このように制御部を設けることで、点欠陥の検出結果に基づいて、当該点欠陥のモニタリング、ドリルの位置調整、ディスペンサの塗布制御（塗布量制御）を、一括して作動制御することが可能となる。 By providing the control unit in this way, it is possible to collectively control the operation of point defect monitoring, drill position adjustment, dispenser application control (application amount control) based on the point defect detection result. It becomes.
また、上記点欠陥修正装置において、前記ガラス基板の厚さに応じて、前記ドリルによる前記ガラス基板への切削の深さを調整するドリル−基板間隔調整部を更に備えるものとすることができる。 Moreover, the said point defect correction apparatus WHEREIN: According to the thickness of the said glass substrate, the drill-substrate space | interval adjustment part which adjusts the depth of the cutting to the said glass substrate by the said drill can be further provided.
このようにドリル−基板間隔調整部を具備させることで、ガラス基板の厚さに応じた切削を行うことが可能となる。したがって、切削によりガラス基板を貫通してしまうような不具合発生を防止でき、点欠陥の遮光に好適な深さの凹部を形成することができるようになる。 Thus, by providing a drill-substrate space | interval adjustment part, it becomes possible to cut according to the thickness of a glass substrate. Accordingly, it is possible to prevent the occurrence of a problem that penetrates the glass substrate by cutting, and it is possible to form a recess having a depth suitable for shielding point defects.
また、上記点欠陥修正装置において、前記ドリルは、その先端中心位置が、前記カメラの焦点と一致しているものとすることができる。 In the point defect correcting device, the center position of the tip of the drill may coincide with the focal point of the camera.
このようにドリルの先端中心位置が、カメラの焦点と一致しているものとすれば、カメラにより点欠陥を撮像すると同時にドリルの平面位置調整を実現することが可能となり、一層簡便で正確な修正作業を行うことが可能となる。 If the center position of the drill tip coincides with the focal point of the camera in this way, it is possible to image point defects with the camera and simultaneously adjust the plane position of the drill. Work can be performed.
次に、上記課題を解決するために、本発明の液晶装置の製造方法は、上述の点欠陥修正装置を用いる液晶装置の製造方法であって、点欠陥の有無を検査する検査工程と、前記検査工程において前記点欠陥が検出された場合に、前記点欠陥修正装置により前記点欠陥を修正する点欠陥修正工程と、を含むことを特徴とする。 Next, in order to solve the above-described problem, a method for manufacturing a liquid crystal device according to the present invention is a method for manufacturing a liquid crystal device using the above-described point defect correcting device, the inspection step for inspecting for the presence or absence of point defects, A point defect correcting step of correcting the point defect by the point defect correcting device when the point defect is detected in the inspection step.
このような製造方法によると、上記点欠陥修正装置を用いて点欠陥を修正するものとしているため、生じた点欠陥を確実に修正することが可能で、しかも簡便に再現性良く修正することができるため、当該液晶装置のコスト削減に寄与することが可能となる。なお、点欠陥修正工程は、欠陥位置を特定する欠陥座標取得工程と、当該座標位置にカメラを移動する工程と、カメラの撮影像に基づいてドリルの焦点位置（平面位置）を決定する工程と、ガラス基板の厚さを特定し、ドリルの切削深さを決定する工程と、ドリルによりガラス基板を所定の深さまで切削する工程と、切削により形成された凹部に対してディスペンサから遮光材を塗布する工程と、を含むものとすることができる。 According to such a manufacturing method, since the point defect is corrected using the point defect correcting device, the generated point defect can be reliably corrected and can be easily corrected with high reproducibility. Therefore, it is possible to contribute to cost reduction of the liquid crystal device. The point defect correction process includes a defect coordinate acquisition process for specifying a defect position, a process for moving the camera to the coordinate position, and a process for determining a focus position (planar position) of the drill based on a captured image of the camera. The process of determining the thickness of the glass substrate and determining the cutting depth of the drill, the process of cutting the glass substrate to a predetermined depth with the drill, and applying a light shielding material from the dispenser to the recess formed by the cutting And a step of performing.
本発明によると、生じた点欠陥を確実に修正することが可能で、しかも簡便に再現性良く修正することができるため、当該液晶装置のコスト削減に寄与することが可能となる。 According to the present invention, it is possible to reliably correct a point defect that has occurred, and to easily correct the defect with good reproducibility, thereby contributing to cost reduction of the liquid crystal device.
＜実施形態＞
本発明の一実施形態を図１ないし図１５によって説明する。
図１は本発明の実施形態に係る製造方法により製造された液晶装置の概略を示す断面図、図２は同液晶装置の画素構成を示す平面図、図３は同液晶装置の点灯検査工程を示す説明図、図４は点欠陥修正装置の概略構成を示す側面図、図５は凹部形成工程を終えた状態の液晶装置の断面図、図６〜図１０は洗浄ユニットの作動態様を示す側面図、図１１は遮光層形成工程を終えた状態の液晶装置の断面図、図１２は点欠陥修正装置と欠陥検査部の概略構成を示すブロック図、図１３は検査装置の概略構成を示す説明図、図１４はモニタに示される映像の一例を示す説明図、図１５は点欠陥修正フローのチャートを示す説明図である。
<Embodiment>
An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
1 is a cross-sectional view schematically showing a liquid crystal device manufactured by a manufacturing method according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view showing a pixel configuration of the liquid crystal device, and FIG. 3 is a lighting inspection process of the liquid crystal device. FIG. 4 is a side view showing a schematic configuration of the point defect correcting device, FIG. 5 is a cross-sectional view of the liquid crystal device in a state where the recess forming step is finished, and FIGS. 6 to 10 are side views showing the operation mode of the cleaning unit. FIG. 11 is a cross-sectional view of the liquid crystal device in a state after the light shielding layer forming step, FIG. 12 is a block diagram showing a schematic configuration of a point defect correcting device and a defect inspection unit, and FIG. 13 is an explanatory diagram showing a schematic configuration of the inspection device. FIG. 14 is an explanatory diagram showing an example of an image displayed on a monitor, and FIG. 15 is an explanatory diagram showing a chart of a point defect correction flow.
まず液晶装置１０の構成の概略を説明する。
液晶装置１０は、大まかには図１に示すように、スペーサ（図示せず）を介して対向状に配される一対のガラス基板１１，１２と、両ガラス基板１１，１２間に挟持される液晶層１３と、両ガラス基板１１，１２の周縁部に周設されて液晶をシールするシール剤１４と、両ガラス基板１１，１２における液晶層１３とは反対側の面にそれぞれ積層される一対の偏光板１５とから構成される。
First, an outline of the configuration of the
As shown roughly in FIG. 1, the
両ガラス基板１１，１２のうち図１に示す上側のガラス基板１１における液晶層１３側の面には、図２に示すように、ＴＦＴ１６のドレイン電極に接続された矩形状の画素電極１７がＴＦＴ１６と共にマトリクス状に多数並列して配設されるとともに、ＴＦＴ１６のソース電極に接続されたソース配線１８と、ＴＦＴ１６のゲート電極に接続されたゲート配線１９とが各画素電極１７の周囲を通りつつ互いに直交するようにして設けられている。各画素電極１７における長辺側の中央部分は、保持容量を構成しており、この部分には、ゲート配線１９と平行をなす容量配線２０が絶縁層（図示せず）を介して設けられている。なお画素電極１７の短辺方向（図２に示す上下方向）について隣り合う３つの画素電極１７がＲ，Ｇ，Ｂの各色にそれぞれ対応しており、これら３つの表示ドットで１つの画素を構成している。
As shown in FIG. 2, a
一方、両ガラス基板１１，１２のうち、図１に示す下側のガラス基板１２における液晶層１３側の面には、上記した各画素電極１７に対向する位置に、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色の着色部を備えたカラーフィルタ層と対向電極とが設けられている。なお両ガラス基板１１，１２のうち、ＴＦＴ１６や画素電極１７などが設けられたガラス基板１１が光の入射側とされる。
On the other hand, among the
続いて、液晶装置１０の製造方法について説明する。
ここでは主に点欠陥修正工程を含む製造工程について説明するものとする。
まず、ガラス基板１１を用意し、そのガラス基板１１の表面にＴＦＴ１６や画素電極１７などを形成する。一方、上記のガラス基板１１とは別途にガラス基板１２を用意し、そのガラス基板１２の表面にカラーフィルタや対向電極などを形成する。そして、ガラス基板１１，１２のうちいずれか一方の周縁部に設けたシール剤１４を介して、両ガラス基板１１，１２を、それぞれＴＦＴ１６等或いはカラーフィルタ等を形成した面を内側として対向するように貼り合わせる。その後、両ガラス基板１１，１２間に液晶を注入して液晶層１３を形成した後、両ガラス基板１１，１２における液晶層１３側とは反対側の面にそれぞれ偏光板１５を貼り付ける。
Next, a method for manufacturing the
Here, a manufacturing process including a point defect correcting process will be mainly described.
First, a
上記製造過程のうち、液晶層１３を形成した後であって、偏光板１５を貼り合わせる前に表示不良の有無を検査するための点灯検査を行う。
具体的には、図３に示すように、検査対象液晶パネル１０ａの両ガラス基板１１，１２を挟むようにして一対の検査用の偏光板３２を配置し、検査用のバックライト３３を点灯させるとともに、ガラス基板１１に形成した各配線を検査用回路に接続して、それぞれに適宜に信号を供給することでＴＦＴ１６を駆動させる。こうして液晶層１３を構成する液晶の配向状態を制御することで得られる表示状態を、画像処理或いは検査員の目視などにより検査する。
In the above manufacturing process, after the
Specifically, as shown in FIG. 3, a pair of
当該検査には例えば図１３に示すような検査装置３０を使用する。検査装置３０は、検査対象となる検査対象液晶パネル１０ａを載置するためのステージ３１と、ステージ３１を挟むようにして配置される一対の検査用の偏光板３２と、検査用のバックライト３３と、ステージ３１に対して平行に移動するＸＹ駆動部３４とから構成される。このうちＸＹ駆動部３４には、異物Ｘの位置及び大きさを確認するためのＣＣＤカメラ３５が設けられている。また、ステージ３１は、バックライト３３から出射される光を透過できるようにガラス製とされている。この検査装置３０では、ＸＹ駆動部３４によりＣＣＤカメラ３５を平面内で移動させつつ、当該カメラ３５からの撮影結果を目視ないし画像処理することで、点欠陥を検出することができる。
For the inspection, for example, an
例えば、黒表示させたにも拘らず、点状に輝いて視認される点欠陥が検出される場合がある。この点欠陥は、液晶層１３内に侵入した異物Ｘに光が当たって乱反射することが原因として発生する場合があり、このような点欠陥が検出された場合には、次に示す点欠陥修正工程にて当該点欠陥の修正を施す。なお、液晶層１３内に異物Ｘが侵入する原因としては、異物Ｘが、液晶を注入する前の段階でガラス基板１１，１２における液晶層１３側の面に付着している場合、また、液晶中に混入している場合などが考えられる。
For example, there is a case where a point defect that is shining in a dot shape and is visually recognized despite the black display. This point defect may occur as a result of light hitting the foreign matter X that has entered the
上記のような検査工程で点欠陥が検出された場合、当該点欠陥を修正する工程を行う。点欠陥修正工程では、ガラス基板１１の液晶層１３とは反対側の面において、異物Ｘ（すなわち点欠陥部）と光学的に重畳する位置に、後に詳述するドリル４０を用いて凹部２１を形成する工程と、その凹部２１内に光を遮る遮光層２２を形成する工程とを含む。
When a point defect is detected in the inspection process as described above, a step of correcting the point defect is performed. In the point defect correcting step, the
本実施形態では、点欠陥修正工程において、図４に示すような点欠陥修正装置１００を使用する。この点欠陥修正装置１００は、修理対象となる液晶パネル１０ａを載置するためのステージ５０と、ステージ５０を挟むようにして配置される一対の修理用の偏光板（図示略）と、同じく修理用のバックライト（図示略）と、ガラス基板１１を切削し且つ遮光材を塗布して修理を行うための修理ユニット４９と、Ｘ駆動フレーム５２と、Ｙ駆動フレーム５１と、を備えている。なお、修理ユニット４９は、Ｘ駆動フレーム５２に対して、そのフレームの軸方向に対して移動可能に取り付けられることで、Ｘ方向に移動可能に構成（Ｘ駆動）されるとともに、Ｘ駆動フレーム５２はＹ駆動フレーム５１に対して、そのＹ駆動フレーム５１の軸方向に対して移動可能に取り付けられることで、修理ユニット４９のＹ方向への駆動（Ｙ駆動）を実現している。このように、修理ユニット４９は、これらＸ駆動フレーム５２及びＹ駆動フレーム５１の作動により、ステージ５０の平面方向と平行なＸＹ方向への移動が可能となっている。
In the present embodiment, a point
ステージ５０は、修理用のバックライト（図示略）から出射される光を透過できるようにガラス製とされ、ディスペンサ４１から樹脂を塗布する際に、捨て打ちを行うための捨打ステージ５３と、ディスペンサ４１の洗浄を行った場合に洗浄溶剤を捨てるための溶剤捨て部５４と、を備えている。なお、溶剤捨て部においては、ディスペンサ４１にエアーを吹き付けることにより洗浄溶剤（ここではエタノール）を揮発させるものとしている。
The
修理ユニット４９は、点欠陥を撮影するためのカメラ４２と、点欠陥が生じた位置（つまり点欠陥と重畳する位置）のガラス基板１１を切削するドリル４０と、ドリル４０にて切削した位置に樹脂を塗布するためのディスペンサ４１と、ディスペンサ４１に付設され、樹脂を貯留するための樹脂タンク４４と、ディスペンサ４１を洗浄するための洗浄ユニット４３と、を備えている。なお、本実施形態では、塗布する樹脂として遮光性のカシュー樹脂を用いるものとしている。
The
カメラ４２は、ステージ５０上に載置された修理対象である液晶パネル１０ａの表面を撮影可能とされ、その撮影画像は別途設けられたモニタ２００（図１４参照）に映し出される。このモニタ２００には、径方向に１００μｍの間隔で分割された焦点特定線２０１が描かれており、その焦点特定線２０１と点欠陥Ｘとのアライメントが可能とされる。
The
ドリル４０は、ガラス切削用のドリルであって、カメラ４２により撮影されるモニタ２００上の画像を視認しつつ、当該ドリル４０の切削位置をアライメント可能とされている。つまり、焦点特定線２０１と点欠陥Ｘとをアライメントし、焦点が合致した位置で、ドリル４０を作動させることで、当該点欠陥Ｘの位置においてガラス基板１１を正確に切削することが可能とされる。なお、ドリル４０の先端位置（中心軸位置）と、カメラ４２の撮影焦点とが合致しており、焦点特定線２０１の中心位置にドリル４０の先端位置（中心軸位置）が来る設計となっている。
The
ディスペンサ４１は樹脂（遮光材）を定量塗布可能とされる。なお、塗布する樹脂は、タンク４４に貯留されており、塗布毎にディスペンサ４１に供給されるものとなっている。
The
洗浄ユニット４３は、上述の通りディスペンサ４１を洗浄するための装置であって、図６〜図１０に示すように作動する。
まず、図６に示すように、ディスペンサ４１が塗布待機とされる状態にあっては、洗浄タンク４３ｃがディスペンサ４１の直下に配され、当該洗浄タンク４３ｃに貯留された洗浄液（エタノール）にディスペンサ４１の先端が浸漬される。これによりディスペンサ４１が洗浄されるとともに、ディスペンサ４１の先端において樹脂が固まる不具合発生を防止している。
The
First, as shown in FIG. 6, when the
一方、ディスペンサ４１により塗布が実行されるときには、まず図７に示すように、Ｚ方向駆動部４３ａが伸縮シリンダを介してＸ方向駆動部４３ｂ及び洗浄タンク４３ｃをＺ方向（この場合、図示下方）に移動させ、洗浄タンク４３ｃとディスペンサ４１とを離間させる。その後、図８に示すように、Ｘ方向駆動部４３ｂが伸縮シリンダを介して洗浄タンク４３ｃをＸ方向（この場合、図示左方）に移動させ、洗浄タンク４３ｃとディスペンサ４１との重畳を回避させる。さらに、図９に示すように、再びＺ方向駆動部４３ａによりＸ方向駆動部４３ｂ及び洗浄タンク４３ｃをＺ方向（この場合、図示上方）に移動させ、図１０に示した状態で、ディスペンサ４１による塗布が可能となる。
On the other hand, when application is performed by the
なお、点欠陥修理装置１００は、図１２に示すように、欠陥検査部（検査装置）３０からの検査結果により当該点欠陥修理装置１００の作動制御を司る制御部１１０を備え、修理ユニット４９の移動、ドリル４０の切削作動、ディスペンサ４１の塗布作動、ＸＹ走査部（つまりＸ駆動フレーム５１、Ｙ駆動フレーム５２）の作動、洗浄ユニット４３の洗浄作動を一括して制御可能となっている。
The point
上記のような点欠陥修理装置１００においては、図１５に示すようなフローにより修正フローが行われる。以下、その修正フローについて説明する。
まず、Ｓ１において、欠陥検出工程が行われる。具体的には、欠陥検査部（検査装置）３０により点欠陥の有無が検査され、Ｓ２に示すように点欠陥の検出があった場合には、Ｓ３に進み、制御部１１０は欠陥検査部３０から欠陥座標を取得するとともに、Ｓ４において点欠陥が検出された液晶パネル１０ａのＩＤを取得する。
In the point
First, in S1, a defect detection process is performed. Specifically, the presence or absence of a point defect is inspected by the defect inspection unit (inspection apparatus) 30. If a point defect is detected as shown in S2, the process proceeds to S3, and the
そして、Ｓ５に進んで、カメラ４２を取得した欠陥座標と対応する座標位置に移動させ、カメラ４２からの撮影画像をモニタ２００で視認しつつ、モニタ２００上で焦点特定線２０１と点欠陥Ｘとの位置が合致した場合に、Ｓ６に進んでドリル４０を作動させてガラス基板１１の切削を行う。なお、切削に先立って、取得した液晶パネル１０ａのＩＤに基づきガラス基板１１の厚さを特定し、その厚さに応じてドリル４０の高さ調整を行う。つまり、ガラス基板１１を切削により貫通してしまうのを防止すべく、ゼロ点調整を行うのである。そして、切削後、形成した凹部２１にディスペンサ４１により樹脂を塗布し、これを乾燥することで、点欠陥を遮光する遮光層２２が形成される。
In step S5, the
以上のような修正工程を含む本実施形態の液晶装置１０の製造方法によると、修正工程において点欠陥修正装置１００を用いており、その点欠陥修正装置１００が点欠陥発生位置のガラス基板１１の切削から樹脂の塗布までを一貫して行うことができ、しかもディスペンサ４１による樹脂の塗布に至るまで制御部１１０に基づいて自動にて行われるため、切削制度ないし塗布精度、ひいては修正精度が非常に高いものとなっている。
つまり、液晶パネル１０ａに生じた点欠陥を確実に修正するため、製造歩留まりを高めることが可能となり、コスト低下を実現可能となる。またカメラ４２、ドリル４０、及びディスペンサ４１を修理ユニット４９として一体化したため、それぞれを連携して操作することができ、１つのステージ５０で一括して修正作業を完了することができるようになり、非常に高効率な修正を行うことができる。
According to the manufacturing method of the
That is, since the point defect generated in the
＜他の実施形態＞
以上、本発明の実施形態について示したが、本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
<Other embodiments>
As mentioned above, although embodiment of this invention was shown, this invention is not limited to embodiment described with the said description and drawing, For example, the following embodiment is also contained in the technical scope of this invention.
（１）上記した実施形態では、一対のガラス基板１１，１２のうち、ガラス基板１１の液晶層１３とは反対側の面に凹部２１を形成するものとしたが、他方のガラス基板１２に形成しても良く、また両方のガラス基板１１，１２に形成するものとしても良い。
(1) In the above-described embodiment, the
（２）上記した実施形態では、点欠陥部は液晶層内に侵入した異物に起因するものとしたが、ガラス基板の表面に付いた傷が原因となって生じる場合もあり、その場合でも点欠陥部（ガラス基板における傷が付いた部分）に凹部を形成して点欠陥部を除去した後、凹部内に遮光層を形成することで光を遮るようにしても良い。 (2) In the above-described embodiment, the point defect portion is caused by the foreign matter that has entered the liquid crystal layer. However, the point defect portion may be caused by a scratch on the surface of the glass substrate. After the concave portion is formed in the defect portion (the portion with the scratch in the glass substrate) and the point defect portion is removed, the light may be blocked by forming a light shielding layer in the concave portion.
（３）上記した実施形態では、点欠陥部は液晶層内に侵入した異物に起因するものとしたが、不具合が生じたスイッチング素子や画素電極が原因となる場合もあり、その場合でも本発明は適用可能である。 (3) In the above-described embodiment, the point defect portion is caused by the foreign matter that has entered the liquid crystal layer. However, the defective switching element or the pixel electrode may be the cause. Is applicable.
（４）上記した実施形態では、液晶装置のスイッチング素子としてＴＦＴを用いたが、ＴＦＴ以外のスイッチング素子（例えば薄膜ダイオード（ＴＦＤ））を用いた液晶装置にも適用可能であり、カラー表示する液晶装置以外にも、白黒表示する液晶装置にも適用可能である。 (4) In the above-described embodiment, the TFT is used as the switching element of the liquid crystal device. However, the present invention can be applied to a liquid crystal device using a switching element other than the TFT (for example, a thin film diode (TFD)), and the liquid crystal for color display. In addition to the device, the present invention can also be applied to a liquid crystal device that displays black and white.
１０…液晶装置、１０ａ…修理対象液晶パネル（検査対象液晶パネル）、１１，１２…ガラス基板、１３…液晶層、２１…凹部、２２…遮光層、３０…点欠陥検査部（検査装置）、４０…ドリル（液晶装置の点欠陥修理用ドリル）、４１…ディスペンサ、４２…カメラ、４３…洗浄ユニット、４４…タンク、４９…修理ユニット（一体装置）、５０…ステージ、１００…点欠陥修正装置、１１０…制御部、２００…モニタ
DESCRIPTION OF
Claims (7)
前記液晶装置は一対のガラス基板の間に液晶層が挟持されてなるものであり、
前記液晶装置に点欠陥が検出された場合に、前記点欠陥を撮影するカメラと、前記点欠陥が生じた位置の前記ガラス基板を切削するドリルと、前記ドリルにて切削した位置に遮光材を塗布するディスペンサと、を一体装置として備えることを特徴とする点欠陥修正装置。 A point defect correcting device for correcting a point defect of a liquid crystal device,
The liquid crystal device has a liquid crystal layer sandwiched between a pair of glass substrates,
When a point defect is detected in the liquid crystal device, a camera for photographing the point defect, a drill for cutting the glass substrate at the position where the point defect has occurred, and a light shielding material at a position cut by the drill A point defect correcting device comprising: a dispenser for coating as an integrated device.
前記ドリルは、前記モニタを視認しつつ前記ガラス基板の切削位置を調整可能にされていることを特徴とする請求項１に記載の点欠陥修正装置。 A monitor for projecting images taken by the camera;
The point defect correcting device according to claim 1, wherein the drill is capable of adjusting a cutting position of the glass substrate while visually recognizing the monitor.
前記ディスペンサ洗浄部は、前記ディスペンサの前記遮光材の塗布待機中に、当該ディスペンサの洗浄を行うことを特徴とする請求項１又は２に記載の点欠陥修正装置。 A dispenser cleaning unit for cleaning the dispenser;
3. The point defect correction device according to claim 1, wherein the dispenser cleaning unit performs cleaning of the dispenser while waiting for application of the light shielding material of the dispenser.
点欠陥の有無を検査する検査工程と、
前記検査工程において前記点欠陥が検出された場合に、前記点欠陥修正装置により前記点欠陥を修正する点欠陥修正工程と、を含むことを特徴とする液晶装置の製造方法。 A manufacturing method of a liquid crystal device using the point defect correcting device according to claim 1,
An inspection process for inspecting for the presence of point defects;
And a point defect correcting step of correcting the point defect by the point defect correcting device when the point defect is detected in the inspection step.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007153906A JP2008304832A (en) | 2007-06-11 | 2007-06-11 | Point defect correction device and manufacturing method of liquid crystal device |
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| JP (1) | JP2008304832A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010109559A1 (en) * | 2009-03-23 | 2010-09-30 | シャープ株式会社 | Method for manufacturing liquid crystal display device, and liquid crystal display device manufactured by the method |
| WO2018116355A1 (en) * | 2016-12-19 | 2018-06-28 | 堺ディスプレイプロダクト株式会社 | Panel manufacturing method and panel manufacturing device |
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2007
- 2007-06-11 JP JP2007153906A patent/JP2008304832A/en active Pending
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