JP2008298713A - 寸法測定ヘッド - Google Patents
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Abstract
【課題】測定結果の安定化と、ワーク表面を傷つけないようにする。
【解決手段】接触子20を保持するアーム部2と、アーム部2を変位可能にする機構と、アーム部2の変位量を検知するセンサ部8と、アーム部2を初期位置に付勢する第一付勢部材6と、第一付勢部材6の付勢力を調整する第二付勢部材3とを備え、第二付勢部材3は、コイルバネ30と、コイルバネ30の一端部を所定方向に支持する固定部31と、コイルバネ30の他端部をアーム部2に連結するジョイント部32とを備え、アーム部2の変位に追従して、コイルバネ30が屈曲変形するよう構成されており、アーム部2の変位に拘らず、ワークに対する接触子20の押付力を所定範囲内に保つ。
【選択図】図2
【解決手段】接触子20を保持するアーム部2と、アーム部2を変位可能にする機構と、アーム部2の変位量を検知するセンサ部8と、アーム部2を初期位置に付勢する第一付勢部材6と、第一付勢部材6の付勢力を調整する第二付勢部材3とを備え、第二付勢部材3は、コイルバネ30と、コイルバネ30の一端部を所定方向に支持する固定部31と、コイルバネ30の他端部をアーム部2に連結するジョイント部32とを備え、アーム部2の変位に追従して、コイルバネ30が屈曲変形するよう構成されており、アーム部2の変位に拘らず、ワークに対する接触子20の押付力を所定範囲内に保つ。
【選択図】図2
Description
本発明は、旋盤等の工作機械で加工されたワークの寸法を測定する寸法測定ヘッドに関するものである。
寸法測定ヘッドは、旋盤等の工作機械で加工されたワークが所定の加工条件を有するか否かを判定するために、ワークの外径等の寸法を測定するものである。寸法測定ヘッドは、変位可能なアーム部と、アーム部に設けられた接触子と、アーム部の変位量を検知するセンサ部とを備えている。寸法測定ヘッドは、接触子がワークに当接するようにアーム部を変位させ、このアーム部の変位量をセンサ部で検知することにより、ワークの寸法を測定する。
図11は、従来の寸法測定ヘッドを示す正面図である。寸法測定ヘッドは、一対のアーム部100,100を備えている。測定対象となるワークWは、各アーム部100,100の間に配置される。接触子101はアーム部100,100の下部に設けられ、それぞれ対向している。アーム部100,100は、上部にセンサ部104を備えている。
アーム部100,100は支持部材102を備えている。支点部材102は、3枚の鋼薄板からなる変形自在要素や(特許文献1の符号74、第9頁21行目〜第10頁16行目、図2及び図8等参照)、十字バネやL字バネ等(特許文献2の符号11、第5頁39〜49行目、図1及び図2等参照)から構成されている。支点部材102は、アーム部100の回転(変位)付勢を可能とするものである。
アーム部100,100はコイルバネ103を備えている。コイルバネ103は、接触子101がワークWに当接する方向にアーム部100を付勢するものである(特許文献1の符号95、第1頁2〜3行目及び図2、特許文献2の符号17、第5頁13〜15行目及び図1参照)。
アーム部100が変位することによって、支持部材102の変形による反力と共に、コイルバネ103の付勢力が付加される。従って、アーム部100は、支点部材102及びコイルバネ103の付勢力が組み合わされて付与される。これにより、ワークWに対する接触子101の押付力は、アーム部100の変位に応じて大幅に変化する。このように、接触子101の押付力が大幅に変化すると、測定結果が不安定になったり、ワークWの表面に傷を付けたりする場合がある。
特表2001−503523号公報
特開2005−16972号公報
そこで、本発明が解決しようとする課題は、上記の問題点に鑑み、測定結果の安定化と、ワーク表面を傷つけないようにすることである。
上記課題を解決するため、本発明は、接触子を保持するアーム部と、アーム部を変位可能にする機構と、アーム部の変位量を検知するセンサ部とを備え、アーム部を変位し接触子をワークに当接してワーク寸法を測定する寸法測定ヘッドにおいて、アーム部を初期位置に付勢する第一付勢部材と、第一付勢部材の付勢力を調整する第二付勢部材とを備え、第二付勢部材は、コイルバネと、コイルバネの一端部を所定方向に支持する固定部と、コイルバネの他端部をアーム部に連結するジョイント部とを備え、アーム部の変位に追従して、コイルバネが屈曲変形するよう構成されており、アーム部の変位に拘らず、ワークに対する接触子の押付力を所定範囲内に保つように構成している。
好ましくは、第一付勢部材は、二枚の板バネを平行に組み付けた平行板バネからなり、アーム部を直動変位可能に付勢するように構成されている。
更に好ましくは、ジョイント部は、ボールジョイントからなる。
本発明に係る寸法測定ヘッドは、アーム部を初期位置に付勢する第一付勢部材と、第一付勢部材の付勢力を調整する第二付勢部材とを備えている。そして、各付勢部材は、ワークに対する接触子の押付力がアーム部の変位に拘らず略一定範囲内に保たれるように設定されている。接触子の押付力を所定範囲内にすることにより、安定した測定ができると共に、ワーク表面を傷付けないという効果を奏する。
さらに、第二付勢部材は、コイルバネと、コイルバネの一端部を所定方向に固定する固定部と、コイルバネの他端部をアーム部に連結するジョイント部とを備えたものである。これにより、第二付勢部材をシンプルな機構で構成でき、調整、組み立て容易で生産効率及びコストに優れると共に、接触子の押付力の安定性に優れる。
以下、図面に基づいて、本発明に係る寸法測定ヘッドについて詳細に説明する。
図1は、寸法測定ヘッドを示す正面図である。図2は、ブロック部の内部を示すものであり、(a)は正面図、(b)は第二付勢部材の一部を断面した拡大正面図である。図3は、第二付勢部材を省略した図2(a)に示すI−I線断面図である。図4は、センサ部を示す拡大断面図である。図5は、リトラクト機構を説明するための正面図である。
図1に示すように、寸法測定ヘッドは、ベース部Tを備えている。ベース部Tは、水平方向1aに設けられた上板T1及び下板T2を有する。寸法測定ヘッドは、ベース部Tの両側に一対の測定ユニット1,1を備えている。測定ユニット1,1は、上板T1に固定され垂下されている。測定対象となるワークWは、ベース部Tの下板T2に載置される。ワークWは、各測定ユニット1,1の間に配置される。
測定ユニット1は、アーム部2及びブロック部4を備えている。アーム部2は、下部に接触子20を備えている。接触子20は、水平方向1aに延設されている。各測定ユニット1,1に設けられた接触子20,20は、それぞれ対向している。各アーム部2,2は、それぞれワークWに対して近接、離反する方向(水平方向1a)に変位自在な機構を備えている。そして、各アーム部2,2は、接触子20,20がワークWに当接するまで移動(変位)して、各アーム部2,2の変位量を測定して合算することで、ワークWの外径寸法を測定する。
尚、ワークWの板厚等を測定する場合には、測定ユニット1は一つであっても良い。又、測定ユニット1は、スライドベアリングやシリンダ装置等により、昇降、水平移動可能に構成されても良い。
次に、図2乃至図4に基づき、測定ユニット1のブロック部4の内部構造について説明する。図2に示す通り、測定ユニット1は、ブロック部4内に進退ブロック5を備えている。進退ブロック5は、下端にアーム部2が連結されている。アーム部2は、垂直方向1bに延設されている。ブロック部4は、底面に貫通孔40を備えている。アーム部2は、貫通孔40を通じてブロック部4から垂下している。
測定ユニット1は、第一付勢部材6を備えている。第一付勢部材6は、垂直方向1bに延設された2枚の板バネ60,61を組合わせて構成されている。各板バネ60,61は、同一長さ及び同一素材等(同一構成)であって、所定間隔を置いて平行に配置されている。なお、第一付勢部材6は、十字バネやL字バネ等であっても良い。
平行板バネ6は、上端が板バネ支持部6aを介してブロック部4に固定されている。平行板バネ6は、下端が進退ブロック5に連結されている。従って、平行板バネ6は、上端が固定端、下端が自由端となっている。
進退ブロック5は、平行板バネ6によって変位規制されることによって、水平方向1aに略直動変位可能に構成されている。進退ブロック5の直動移動により、アーム部2が直動変位する。アーム部2は貫通孔40を通じているので、貫通孔40の空間が、アーム部2が移動可能(変位可能)な範囲となる。
測定ユニット1は、第二付勢部材3を備えている。第二付勢部材3は、後述するように第一付勢部材6の付勢力を調整し、ワークWに対する接触子20の押付力を所定範囲内に保つ。図2(b)に示すように、第二付勢部材3は、コイルバネ30、固定部31及びジョイント部32を備えている。
コイルバネ30は、所定の付勢力を有する圧縮コイルバネで構成されている。コイルバネ30は、一端が固定部31を介してブロック部4に支持、固定されている。コイルバネ30は、所定方向に固定される。コイルバネ30は、直線状になった状態(外力のない自然な状態)で、その中心線30aが水平方向1aに対して角度θ(例えば、約55度)になるように固定されている。
ジョイント部32は、ボール部32aとボール受部32bとで構成されている。ボール部32aは、コイルバネ30の他端に固定されている。ボール受部32bは、進退ブロック5の底面の所定位置に設けられている。ボール部32aは、ボール受部32bに嵌合して係合している。ボール受部32bは、山形凹部や半球凹部等からなり、進退ブロック5と別部材で構成されていてもよい。これにより、ジョイント部32によって、コイルバネ30とアーム部2とが(進退ブロック5を介して)連結される。
従って、第二付勢部材3は、コイルバネ30の付勢力を、ジョイント部32を介して進退ブロック5に伝達し、アーム部2に伝達する。上記の通り、ジョイント部32は、ボールジョイントで構成されているので、進退ブロック5(アーム部2)の変位に追従して、コイルバネ30が屈曲し、コイルバネ30の付勢力(圧縮力及び曲げ力)が進退ブロック5(アーム部2)に伝わるようになっている。
第二付勢部材3において、固定部31は、ブロック部4の一部又は全部で構成してもよい。また、ジョイント部32は、ボールジョイントの外に、コイルバネ30と進退ブロック5とを溶接等で接合してもよい。そして、第一付勢部材6やコイルバネ30の種類・付勢力等に応じて、コイルバネ30の固定方向、ジョイント部32による連結位置等が設定される。
図3に示すように、測定ユニット1はセンサ部8を備えている。センサ部8は、センサロッド80及びセンサヘッド81を備えている。図2に示すように、センサロッド80は、水平方向1aに延設されている。センサロッド80は、両端がロッド支持部82を介してブロック部4に固定されている。センサヘッド81は、進退ブロック5に設けられている(図3)。センサヘッド81は、センサロッド80を貫通している。
図4に示すように、センサロッド80は、非磁性化された軸本体80aを備えている。軸本体80aは、中心軸部が中空となっており、この中空部に、磁性部材80bと非磁性部材80cとが交互に内蔵されている。センサヘッド81は、コイル部81aを備えている。
上述のように、進退ブロック5は、平行板バネ6によって水平方向1aに直動する。そのため、進退ブロック5に設けられたセンサヘッド81が直動する構成であるので、センサロッド80の軸径B1が大きくても、センサヘッド81の内径B2と接触する虞が小さく、軸径B1を大きくすることができ、測定精度が向上する。又、繰り返しスライド移動しても、磁性部材が接触することがなく、磨耗したり損傷しない。
更に、センサロッド80は、非磁性化された軸本体80aを備え、内部に磁性部材80bと非磁性部材80cとが交互に配置されているので、磁気結合の変化を敏感に検知でき、高精度な測定が可能となる。例えば、0.1μm単位の分解能を得ることができる。
測定ヘッド1は、リトラクト機構7を備えている。図5に示すように、リトラクト機構7は、押圧部71、回転ローラ70、アクチュエータ72及びロッド73を備えている。回転ローラ70は、進退ブロック5に回転可能に支持されている。アクチュエータ72は、ブロック部4に固定されている。押圧部71は、ロッド73を介してアクチュエータ72の動作により、上下方向に移動する。
寸法測定ヘッドにワークWを設置する際、接触子20をワークWから離間した待機位置に配置する。接触子20を待機位置へ移動する時は、図5に示すように、アクチュエータ72を作動して、押圧部71を下方へ移動する(図5)。これにより、押圧部71が回転ローラ70を押圧して、進退ブロック5及びアーム部2を移動する。そして、接触子20を測定位置へ移動する時は、図2に示すように、押圧部71を上方へ移動し、進退ブロック5及びアーム部2を変位自在にする。
次に、接触子のワークに対する押付力について説明する。図6乃至図9は、接触子がワークに当接した状態を示す一部正面図である。図10は、接触子のワークに対する押付力を説明するためのグラフ図である。
上述の通り、ワークWの寸法を測定する際、先ず、リトラクト機構7を作動して、接触子20をワークWから離間する待機位置に配置する。次に、リトラクト機構7を解除して、接触子20をワークWに当接させるべく測定位置に配置する。リトラクト機構7を解除することにより、図6等に示すように、接触子20がワークWに当接する。
本発明に係る寸法測定ヘッドは、リトラクト機構7を解除すると、第一付勢部材6(平行板バネ)及び第二付勢部材3(コイルバネ)の付勢力により、接触子20がワークWに当接して、ワークWに対する接触子20の押付力Fが略一定となるように構成されている。以下これにつき詳述する。
尚、アーム部2の変位量Xについて、接触子20がワークWに近づく方向をプラス(+)、離れる方向をマイナス(−)とする。この変位量Xは、貫通孔40の中心線(垂直線)D1とアーム部2の中心線(垂直線)D2との距離となる。
第一付勢部材6(平行板バネ)の付勢力、第二付勢部材3(コイルバネ)の付勢力及びこれら6,3の合成付勢力について、接触子20がワークWに対して水平方向1aに押し付ける力(押付力)をプラス(+)、戻す力(戻し力)をマイナス(−)とする。
[第1状態]
先ず、図6の第1状態について説明する。この時、アーム部2が図の最左端に位置した状態で、接触子20がワークw1に当接している。アーム部2の変位量Xは[−X2]である(図6(a)、図10)。
先ず、図6の第1状態について説明する。この時、アーム部2が図の最左端に位置した状態で、接触子20がワークw1に当接している。アーム部2の変位量Xは[−X2]である(図6(a)、図10)。
平行板バネ60,61(第一付勢部材)は、進退ブロック5を図右方向(ワークw1側)に付勢している。よって、第一付勢部材6(平行板バネ)の付勢力は、接触子20がワークw1を押し付ける、押付力[+F6(1)]が作用する(図6(b)、図10)。
コイルバネ30(第二付勢部材)は、直線状態(外力のない状態)に対して、図左方向に屈曲している。コイルバネ30の付勢力は、ジョイント部32を介して、アーム部2(進退ブロック5)に伝わる。コイルバネ30は、圧縮コイルバネなので、圧縮力[F3a]が作用すると共に、屈曲に対して戻ろうとする曲げ力[F3b]が作用する(図6(c))。
従って、コイルバネ30の付勢力[F3c]は、圧縮力[F3a]と曲げ力[F3b]との合成力となる(図6(c))。これにより、第二付勢部材(コイルバネ)3の水平方向1aの付勢力は、接触子20がワークw1から離れる、戻り力[−F3(1)]が作用する(図6(d)、図10)。
図10に示すように、アーム部2の変位量Xが[−X2]の時、押付力[+F6(1)]と戻り力[−F3(1)]とが作用する。そして、第一付勢部材6(平行板バネ)の付勢力と第二付勢部材3(コイルバネ)の付勢力との合成付勢力は、接触子20がワークw1を押し付ける、押付力(+F6(1)−F3(1)=[+F])が作用するように設定されている(図10)。
[第2状態]
図7の第2状態について説明する。この時、アーム部2が、図6よりも図右側に位置した状態で、接触子20がワークw2に当接している。アーム部2の変位量Xは[−X1]である(図7(a)、図10)。
図7の第2状態について説明する。この時、アーム部2が、図6よりも図右側に位置した状態で、接触子20がワークw2に当接している。アーム部2の変位量Xは[−X1]である(図7(a)、図10)。
平行板バネ60,61(第一付勢部材)は、進退ブロック5を図右方向(ワークw2側)に付勢している。よって、第一付勢部材6(平行板バネ)の付勢力は、接触子20がワークw2を押し付ける、押付力[+F]が作用する(図7(b)、図10)。
コイルバネ30(第二付勢部材)は、図左方向に屈曲している。コイルバネ30の付勢力は、ジョイント部32を介して、アーム部2(進退ブロック5)に伝わる。コイルバネ30は、圧縮コイルバネなので、圧縮力[F3a]が作用すると共に、屈曲による曲げ力[F3b]が作用する(図7(c))。
従って、コイルバネ30の付勢力[F3c]は、圧縮力[F3a]と曲げ力[F3b]との合成力となる(図7(c))。この状態では、コイルバネ30の付勢力[F3c]は、垂直方向1bである。従って、第二付勢部材(コイルバネ)3の水平方向1aの付勢力は、接触子20のワークw2に対する押付力及び戻り力が作用しない([0(ゼロ)]である)(図7(d)、図10)。
図10に示すように、アーム部2の変位量Xが[−X1]の時、押付力[+F]のみが作用する。よって、第一付勢部材6(平行板バネ)の付勢力と第二付勢部材3(コイルバネ)の付勢力との合成付勢力は、接触子20がワークw2を押し付ける、押付力(+F−0=[+F])が作用するように設定されている(図10)。
[第3状態]
図8の第3状態について説明する。この時、アーム部2は、貫通孔40の中心線D1とアーム部2の中心線D2とが重なるように配置されている。アーム部2の変位量Xは[0]である(図8(a)、図10)。
図8の第3状態について説明する。この時、アーム部2は、貫通孔40の中心線D1とアーム部2の中心線D2とが重なるように配置されている。アーム部2の変位量Xは[0]である(図8(a)、図10)。
平行板バネ60,61(第一付勢部材)は、それぞれが垂直方向1bに配置される。従って、第一付勢部材6(平行板バネ)の付勢力は、接触子20のワークw3に対する押付力及び戻り力が作用しない([0(ゼロ)]である)(図8(b)、図10)。
コイルバネ30(第二付勢部材)は、図左方向に屈曲している。コイルバネ30の付勢力は、ジョイント部32を介して、アーム部2(進退ブロック5)に伝わる。コイルバネ30は、圧縮コイルバネなので、圧縮力[F3a]が作用すると共に、屈曲による曲げ力[F3b]が作用する(図8(c))。
従って、コイルバネ30の付勢力[F3c]は、圧縮力[F3a]と曲げ力[F3b]との合成力となる(図8(c))。これにより、第二付勢部材(コイルバネ)3の水平方向1aの付勢力は、接触子20がワークw2を押し付ける、押付力[+F]が作用する(図8(d)、図10)。
図10に示すように、アーム部2の変位量Xが[0]のとき、押付力[+F]のみが作用する。よって、第一付勢部材6(平行板バネ)の付勢力と第二付勢部材3(コイルバネ)の付勢力との合成付勢力は、接触子20がワークw3を押し付ける、押付力(0+F=[+F])が作用するように設定されている(図10)。
[第4状態]
次に、図9の第4状態について説明する。この時、アーム部2が図の最右端位置した状態で、接触子20がワークw4に当接している。アーム部2の変位量Xは[+X3]である(図9(a)、図10)。
次に、図9の第4状態について説明する。この時、アーム部2が図の最右端位置した状態で、接触子20がワークw4に当接している。アーム部2の変位量Xは[+X3]である(図9(a)、図10)。
平行板バネ60,61(第一付勢部材)は、進退ブロック5を図左方向(反ワークw4側)に付勢する。よって、第一付勢部材6(平行板バネ)の付勢力は、接触子20がワークw4から離れる、戻り力[−F6(2)]が作用することになる(図9(b)、図10)。
コイルバネ30(第二付勢部材)は、屈曲しておらず、直線状態である。コイルバネ30の付勢力は、ジョイント部32を介して、アーム部2(進退ブロック5)に伝わる。コイルバネ30は、圧縮コイルバネなので、圧縮力[F3a]が作用する。なお、コイルバネ30は屈曲していないので、屈曲による曲げ力[F3b]は作用しない([0(ゼロ)]である)(図9(c))。
従って、コイルバネ30の付勢力[F3c]は、圧縮力[F3a]だけとなる(図9(c))。これにより、第二付勢部材(コイルバネ)3の水平方向1aの付勢力は、接触子20がワークw2を押し付ける、押付力[+F3(2)]が作用する(図9(d)、図10)。
図10に示すように、アーム部2の変位量Xが[+X3]のとき、押付力[+F3(2)]と戻り力[−F6(2)]とが作用する。よって、第一付勢部材6(平行板バネ)の付勢力と第二付勢部材3(コイルバネ)の付勢力との合成付勢力は、接触子20がワークw4を押し付ける、押付力(+F3(2)−F6(2)=[+F])が作用するように設定されている(図10)。
上述を図10に基づいてまとめる。寸法測定ヘッドは、第一付勢部材6(平行板バネ)の付勢力と第二付勢部材3(コイルバネ)の付勢力が、アーム部2の変位量Xに応じて変化するように構成されている。即ち、第一付勢部材6(平行板バネ)の付勢力は、第二付勢部材3(コイルバネ)の付勢力により調整される。
平行板バネ6の水平方向1aの付勢力[F6]は、アーム部2の変位量Xが[−X2]の時(第1状態)は押付力が[+F6(1)]、変位量Xが[−X1]の時(第2状態)は押付力が[+F]、変位量Xが[0]の時(第3状態)は押付力が[0]、変位量Xが[+X3]の時(第4状態)は戻り力が[−F6(2)]となる。アーム部2の変位量XをX軸とし、平行板バネ6の付勢力F6をY軸とするグラフは、比例直線F6として近似できる。
第二付勢部材3の水平方向1aの付勢力[F3]は、アーム部2の変位量Xが[−X2]の時(第1状態)は戻り力が[−F3(1)]、変位量Xが[−X1]の時(第2状態)は押付力が[0]、変位量Xが[0]の時(第3状態)は押付力が[+F]、変位量Xが[+X3]の時(第4状態)は押付力が[+F3(2)]となる。アーム部2の変位量XをX軸とし、第二付勢部材3の付勢力F3をY軸とするグラフは、比例直線F3として近似できる。
図10に示す通り、直線[F6]と直線[F3]とは傾きが正反対となる。
図10に示す通り、直線[F6]と直線[F3]とは傾きが正反対となる。
そして、第一付勢部材6(平行板バネ)の付勢力と第二付勢部材3(コイルバネ)の付勢力との合成付勢力は、アーム部2の変位量Xが[−X2]、[−X1]、[0]及び[+X3]の時に、常に押付力が[+F]となるように、平行板バネ6及びコイルバネ30の付勢力等が設定されている。アーム部2の変位量XをX軸とし、第一付勢部材6と第二付勢部材3との合成付勢力をY軸とするグラフは、一定直線Fcとなる。直線Fcは、押付合成力[+F]となる。
第二付勢部材3は、コイルバネ30等で構成され、その付勢力が変位に応じて略直線変化するので、第一付勢部材6の付勢力を調整し易く、これらの合成付勢力Fcを略一定に(所定範囲内に)保つことができる。これにより、非常に安定した測定ができると共に、ワークWの表面を傷付けることもない。
1 測定ユニット
2 アーム部
20 接触子
3 第二付勢部材
30 コイルバネ
31 固定部
32 ジョイント部
32a ボール部
32b ボール受部
5 進退ブロック
6 第一付勢部材(平行板バネ)
60,61 板バネ
7 リトラクト機構
8 センサ部
80 センサロッド
81 センサヘッド
W ワーク
2 アーム部
20 接触子
3 第二付勢部材
30 コイルバネ
31 固定部
32 ジョイント部
32a ボール部
32b ボール受部
5 進退ブロック
6 第一付勢部材(平行板バネ)
60,61 板バネ
7 リトラクト機構
8 センサ部
80 センサロッド
81 センサヘッド
W ワーク
Claims (3)
- 接触子を保持するアーム部と、前記アーム部を変位可能にする機構と、前記アーム部の変位量を検知するセンサ部とを備え、前記アーム部を変位し前記接触子をワークに当接してワーク寸法を測定する寸法測定ヘッドにおいて、
前記アーム部を初期位置に付勢する第一付勢部材と、前記第一付勢部材の付勢力を調整する第二付勢部材とを備え、
前記第二付勢部材は、コイルバネと、前記コイルバネの一端部を所定方向に支持する固定部と、前記コイルバネの他端部を前記アーム部に連結するジョイント部とを備え、前記アーム部の変位に追従して、前記コイルバネが屈曲変形するよう構成されており、
前記アーム部の変位に拘らず、前記ワークに対する前記接触子の押付力を所定範囲内に保つように構成していることを特徴とする寸法測定ヘッド。 - 前記第一付勢部材は、二枚の板バネを平行に組み付けた平行板バネからなり、前記アーム部を直動変位可能に付勢するように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の寸法測定ヘッド。
- 前記ジョイント部は、ボールジョイントからなることを特徴する請求項1又は2に記載の寸法測定ヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007147846A JP2008298713A (ja) | 2007-06-04 | 2007-06-04 | 寸法測定ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2008298713A true JP2008298713A (ja) | 2008-12-11 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011017573A (ja) * | 2009-07-08 | 2011-01-27 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定装置および真円度測定装置 |
-
2007
- 2007-06-04 JP JP2007147846A patent/JP2008298713A/ja active Pending
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