JP2008297130A - オゾンガス濃縮方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 内部に吸着剤(1)を充填してなる吸着筒(2)にオゾン発生器で生成したオゾン・酸素混合ガスを作用させて、吸着剤(1)にオゾンガスを選択吸着させ、この選択吸着されたオゾンガスを脱離させることでオゾンガスを濃縮精製するオゾンガス濃縮方法において、着筒(2)に供給するオゾン・酸素混合ガスをNOxレスとし、このNOxレスのオゾン・酸素混合ガスを非冷却の状態の吸着剤(1)に作用させてオゾンガスを吸着剤(1)に選択吸着させるとともに、オゾンガス脱離操作時に吸着筒(2)を真空引きすることで吸着剤(1)からオゾンガスを脱離させる。
【選択図】 なし
Description
さらに、その発生したオゾンガスの濃度が求める濃度に達していない場合には、オゾン吸着剤を使用するなどして濃縮することになるが、窒素ガスを添加させて生成したオゾンガスを濃縮すると、異常分解する危険性が高まるという問題もある。
Claims (4)
- 内部に吸着剤(1)を充填してなる吸着筒(2)にオゾン発生器で生成したオゾン・酸素混合ガスを作用させて、吸着剤(1)にオゾンガスを選択吸着させ、この選択吸着されたオゾンガスを脱離させることでオゾンガスを濃縮精製するオゾンガス濃縮方法において、
吸着筒(2)に供給するオゾン・酸素混合ガスをNOxレスとし、このNOxレスのオゾン・酸素混合ガスを非冷却の状態の吸着剤(1)に作用させてオゾンガスを吸着剤(1)に選択吸着させるとともに、オゾンガス脱離操作時に吸着筒(2)を真空引きすることで吸着剤(1)からオゾンガスを脱離させるようにしたことを特徴とするオゾンガス濃縮方法。 - 純酸素ガスを原料ガスとしてオゾン発生器に供給してオゾンガスと酸素ガスとの混合ガスを生成することにより、NOxレスのオゾン・酸素混合ガスとした請求項1に記載のオゾンガス濃縮方法。
- 窒素ガスを添加した原料ガスをオゾン発生器に供給して生成したオゾンガスと酸素ガスとの混合ガスからNOxを除去することにより、NOxレスのオゾン・酸素混合ガスとした請求項1に記載のオゾンガス濃縮方法。
- 吸着剤(1)を高純度シリカゲルで構成した請求項1〜4のいずれか1項に記載のオゾンガス濃縮方法。
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