JP2008295269A - Drive control unit for vibration motor - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a drive control unit for vibration motor capable of suppressing unwanted vibration in the low-frequency range and irregular rotation caused by the unwanted vibrations. <P>SOLUTION: The drive control unit of the vibration motor 10 has a low-frequency range detection section 52 for detecting a low-frequency signal of a vibrator 12 in the vibration motor 10; an antiphase signal generation section 53 for generating an antiphase signal, where the phase differs from that of the low-frequency range signal by 180 degrees; an adder 55 adding the antiphase signal to the drive control voltage of the vibration motor 10; and a variable frequency oscillator 45 varying the frequency of a signal applied to the vibration motor 10 according to a signal added by the adder 55. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、振動型モータの駆動制御装置に関する。   The present invention relates to a drive control device for a vibration motor.

振動型モータは、超音波領域周波数の機械振動を利用し、電気−機械エネルギ変換素子である圧電素子に位相の異なる２相の周波電圧を印加することによって振動弾性体の表面に進行性振動波を励起する。そして、振動弾性体の表面に加圧接触する移動子を相対的に移動させ、駆動を得るものである。   A vibration type motor utilizes mechanical vibrations in the ultrasonic frequency range, and applies a two-phase frequency voltage with different phases to a piezoelectric element that is an electro-mechanical energy conversion element, thereby causing a progressive vibration wave on the surface of the vibration elastic body. Excited. Then, the moving element that is in pressure contact with the surface of the vibration elastic body is relatively moved to obtain driving.

図５は、周波数と振動型モータの回転数の関係を示す図である。   FIG. 5 is a diagram showing the relationship between the frequency and the rotational speed of the vibration type motor.

振動型モータは、印加する周波数が高い場合は回転が遅く、周波数を下げていくことで回転が速くなる。この特性を利用し、周波数を可変することで所望の回転速度を得ることができる。   The vibration type motor rotates slowly when the applied frequency is high, and the rotation speed increases as the frequency is lowered. By utilizing this characteristic and changing the frequency, a desired rotation speed can be obtained.

通常、振動型モータは安定した回転速度を得るために回転数を検出するためのエンコーダ等を備え、速度フィードバック制御を行うのが一般的である（特許文献１参照）。   Usually, the vibration type motor is provided with an encoder for detecting the number of rotations in order to obtain a stable rotation speed, and speed feedback control is generally performed (see Patent Document 1).

また、振動弾性体の振動状態を検出する手段として、積層された圧電素子の一部にセンサ層を設け、そのセンサ層の出力電圧をモニタすることにより振動弾性体の振動振幅を検出する手段がある（特許文献２参照）。   Further, as means for detecting the vibration state of the vibration elastic body, there is provided means for detecting the vibration amplitude of the vibration elastic body by providing a sensor layer on a part of the laminated piezoelectric elements and monitoring the output voltage of the sensor layer. Yes (see Patent Document 2).

速度フィードバック制御方式としては、以下のものがある。振動型モータの回転軸上に備えたエンコーダから回転速度を検出し、目標速度とエンコーダにより検出された現在速度とを逐次比較し、目標速度との偏差を所定の演算方法により演算し、振動型モータに与える周波数を操作して速度フィードバック制御を行う。偏差の演算方法には、得られた偏差を比例倍するものや、積分するもの、微分するもの等があり、各々を目的に応じ組み合わせて使う場合が一般的である。
特開平０５−１６１３７０号公報 特開平０６−１３３５７０号公報 The speed feedback control method includes the following. The rotational speed is detected from the encoder provided on the rotary shaft of the vibration type motor, the target speed and the current speed detected by the encoder are sequentially compared, and the deviation from the target speed is calculated by a predetermined calculation method. Speed feedback control is performed by manipulating the frequency applied to the motor. Deviation calculation methods include those that multiply the obtained deviation proportionally, those that integrate, those that differentiate, and the like, and are generally used in combination according to the purpose.
JP 05-161370 A Japanese Patent Laid-Open No. 06-133570

しかしながら、上記従来の速度フィードバック制御方式において、振動型モータの回転数制御を行った場合、主に定常状態での周波数操作の際に、不要な低周波域の振動と回転ムラが発生する。この低周波域の振動（低周波振動）は、モータ内部に備える振動子の振動検出手段により観察することができる。   However, in the conventional speed feedback control system, when the rotational speed control of the vibration type motor is performed, unnecessary low-frequency vibration and rotational unevenness occur mainly during frequency operation in a steady state. This low-frequency vibration (low-frequency vibration) can be observed by vibration detection means of a vibrator provided in the motor.

本発明の目的は、低周波域の不要な振動を抑制し、これに伴う回転ムラを抑制することができる振動型モータの駆動制御装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a drive control device for a vibration type motor that can suppress unnecessary vibrations in a low frequency range and suppress rotation unevenness associated therewith.

上記目的を達成するために、請求項１記載の振動型モータの駆動制御装置は、振動型モータを駆動制御する振動型モータの駆動制御装置において、前記振動型モータの振動子の低周波域信号を検出する低周波域検出手段と、前記低周波域信号とは１８０度位相の異なる逆位相信号を生成する逆相信号生成手段と、前記逆位相信号と前記振動型モータの駆動制御電圧とを加算する加算手段と、前記加算手段により加算された信号に応じて、前記振動型モータへ印加する信号の周波数を変える可変周波数発振器とを備えることを特徴とする。   In order to achieve the above object, a drive control device for a vibration type motor according to claim 1 is a drive control device for a vibration type motor that drives and controls the vibration type motor. A low frequency range detecting means for detecting a negative phase signal, a negative phase signal generating means for generating a reverse phase signal whose phase is 180 degrees different from that of the low frequency range signal, the reverse phase signal and a drive control voltage for the vibration type motor. An addition means for adding, and a variable frequency oscillator that changes the frequency of the signal applied to the vibration type motor in accordance with the signal added by the addition means.

本発明の振動型モータの駆動制御装置の構成により、低周波域の不要な振動を抑制し、これに伴う回転ムラを抑制することができる。   With the configuration of the drive control device for the vibration type motor of the present invention, unnecessary vibrations in the low frequency range can be suppressed, and uneven rotation can be suppressed.

以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図１は、振動型モータの構成図であり、（ａ）は全体図、（ｂ）は要部拡大図である。   FIG. 1 is a configuration diagram of a vibration type motor, where (a) is an overall view and (b) is an enlarged view of a main part.

振動型モータ１０は、超音波領域周波数の機械振動を利用し、移動子を摩擦駆動させるものである。   The vibration type motor 10 uses a mechanical vibration having an ultrasonic frequency range to frictionally drive the moving element.

図１において、振動型モータ１０の圧電素子１１は、２極に分極され、かつ多重に積層され、焼成された所謂、電気−機械エネルギ変換素子である。圧電素子１１は、２つの相、Ａ相・Ｂ相が複数対、リング中心に対し放射状にほぼ等中心角を以って交互に形成されている。   In FIG. 1, a piezoelectric element 11 of a vibration type motor 10 is a so-called electro-mechanical energy conversion element that is polarized in two poles, laminated in multiple layers, and fired. The piezoelectric elements 11 are alternately formed with two pairs, a plurality of pairs of A-phase and B-phase, radially with substantially equal central angles with respect to the ring center.

振動子（振動体、弾性振動体）１２は、圧電素子１１に溶接され、圧電素子１１からの振動を増幅する。スライダ部材１３は、移動子１４に固定されており、振動子１２に加圧されている。   The vibrator (vibrating body, elastic vibrating body) 12 is welded to the piezoelectric element 11 and amplifies the vibration from the piezoelectric element 11. The slider member 13 is fixed to the moving element 14 and is pressed by the vibrator 12.

圧電素子１１のＡ相・Ｂ相に、互いに９０度の位相を持った２つの周波信号（周波電圧）を印加することで、圧電素子１１の電歪現象により微弱な振動が発生し、振動子１２の表面に進行波が生ずる。振動子表面の一点の動作を見ると、その点は楕円運動をしており、この摩擦力が運動対象物であるスライダ部材１３、移動子１４へと伝達され、移動子１４に固定されたシャフト１５が回転し、連続的な機械運動となる。   By applying two frequency signals (frequency voltages) having a phase of 90 degrees to the A phase and B phase of the piezoelectric element 11, weak vibrations are generated due to the electrostriction phenomenon of the piezoelectric element 11, and the vibrator A traveling wave is generated on the surface of 12. Looking at the operation of one point on the surface of the vibrator, the point is in an elliptical motion, and this frictional force is transmitted to the slider member 13 and the moving element 14 which are moving objects, and the shaft fixed to the moving element 14. 15 rotates, resulting in continuous mechanical motion.

図２は、図１における振動子と積層された圧電素子の分解斜視図である。   FIG. 2 is an exploded perspective view of the piezoelectric element laminated with the vibrator in FIG.

振動型モータ１０の（シャフト１５の）回転時には、電極板２１―１と電極板２１−２の間に印加された周波電圧により圧電素子１１−１が振動子１２を励振する。   When the vibration type motor 10 (the shaft 15) rotates, the piezoelectric element 11-1 excites the vibrator 12 by the frequency voltage applied between the electrode plate 21-1 and the electrode plate 21-2.

同様にして、電極板２１−３から圧電素子１１−２に周波電圧が印加され、振動子１２が積和的に砺振される。発生した振動は、電極板２１−４と電極板２１−１の間に配置された振動検出素子２２により電気信号として取り出される。   Similarly, a frequency voltage is applied from the electrode plate 21-3 to the piezoelectric element 11-2, and the vibrator 12 is vibrated in a productive manner. The generated vibration is taken out as an electric signal by the vibration detecting element 22 arranged between the electrode plate 21-4 and the electrode plate 21-1.

図３は、図２における振動検出素子から検出された信号の例を示す図である。   FIG. 3 is a diagram illustrating an example of a signal detected from the vibration detection element in FIG.

図３において、振動検出素子２２から出力される検出信号３１として、圧電素子１１に印加された周波電圧と略等しい周期で振動子１２の大きさに比例した電圧を出力する。検出信号３１の極値を結んだ曲線である所謂、包絡線３２は、圧電素子１１に印加された周波電圧に対して低周波の成分であり、これが振動型モータ１０の不要振動である低周波域振動源となる。   In FIG. 3, as the detection signal 31 output from the vibration detection element 22, a voltage proportional to the size of the vibrator 12 is output at a period substantially equal to the frequency voltage applied to the piezoelectric element 11. A so-called envelope 32 that is a curve connecting extreme values of the detection signal 31 is a low-frequency component with respect to the frequency voltage applied to the piezoelectric element 11, and this is a low-frequency component that is an unnecessary vibration of the vibration type motor 10. It becomes a region vibration source.

図４は、本発明の実施の形態に係る振動型モータの駆動制御装置のブロック図である。   FIG. 4 is a block diagram of the drive control device for the vibration type motor according to the embodiment of the present invention.

図４において、振動型モータ１２の駆動制御装置は、ＣＰＵ４１、ホストコンピュータ４２、正転、逆転切替部４３、Ｄ／Ａ変換器４４を備える。また、振動型モータ１２の駆動制御装置は、可変周波数発振器（Voltage Controlled Oscillator以下にはＶＣＯと略記）（可変周波数発振手段）４５、位相変換部４６を備える。   In FIG. 4, the drive control device for the vibration type motor 12 includes a CPU 41, a host computer 42, a forward / reverse switching unit 43, and a D / A converter 44. The drive control device for the vibration type motor 12 includes a variable frequency oscillator (hereinafter abbreviated as VCO) (variable frequency oscillating means) 45 and a phase converter 46.

また、振動型モータ１２の駆動制御装置は、増幅器４７、４８、マッチングコイル４９、５０、エンコーダ５１、低周波域検出部（低周波域検出手段）５２、逆相信号生成部（逆相信号生成手段）５３、増幅器５４、加算器（加算手段）５５を備える。   The drive control device for the vibration type motor 12 includes amplifiers 47 and 48, matching coils 49 and 50, an encoder 51, a low frequency range detection unit (low frequency range detection means) 52, and a reverse phase signal generation unit (reverse phase signal generation). Means) 53, an amplifier 54, and an adder (adding means) 55.

ＣＰＵ４１は振動型モータ１０を制御する。ホストコンピュータ４２は、振動型モータ１０の回転開始、目標速度、停止位置等の指示を出す。Ｄ／Ａ変換器４４は、ＣＰＵ４１から発生される駆動ディジタル信号をアナログ駆動信号に変換する。   The CPU 41 controls the vibration type motor 10. The host computer 42 gives instructions such as the start of rotation, the target speed, and the stop position of the vibration type motor 10. The D / A converter 44 converts the drive digital signal generated from the CPU 41 into an analog drive signal.

ＶＣＯ４５は、Ｄ／Ａ変換器４４から生じるアナログ駆動信号により駆動されて該駆動信号の電圧に応じた周波数の交流電圧を発生する。位相変換部４６は、ＶＣＯ４５の出力電圧の位相を変える（本実施の形態では９０°）。   The VCO 45 is driven by an analog drive signal generated from the D / A converter 44 and generates an AC voltage having a frequency corresponding to the voltage of the drive signal. The phase converter 46 changes the phase of the output voltage of the VCO 45 (90 ° in this embodiment).

増幅器４７、４８は、位相変換部４６から出力された電圧を増幅する。マッチングコイル４９からの信号は振動型モータ１０のＡ相、マッチングコイル５０からの信号は振動型モータ１０のＢ相に印加される。   The amplifiers 47 and 48 amplify the voltage output from the phase converter 46. The signal from the matching coil 49 is applied to the A phase of the vibration type motor 10, and the signal from the matching coil 50 is applied to the B phase of the vibration type motor 10.

エンコーダ５１は、振動型モータ１０の回転を検出し、ＣＰＵ４１に回転情報をフィードバックする。低周波域検出部５２は、振動検出素子２２により検出された振動子１２の検出信号３１（以下にはＳ相信号と略記）から低周波成分のみを取り出し包絡線（低周波域信号）３２を生成する。   The encoder 51 detects the rotation of the vibration type motor 10 and feeds back rotation information to the CPU 41. The low frequency range detection unit 52 extracts only a low frequency component from the detection signal 31 (hereinafter abbreviated as S phase signal) of the vibrator 12 detected by the vibration detection element 22 and outputs an envelope (low frequency range signal) 32. Generate.

逆位相信号生成器５３は、抽出（生成）された低周波域信号と１８０度位相の異なる信号（逆位相信号）を生成する。増幅器５４は、生成された逆位相信号の振幅を増幅する。加算器５５は、増幅器５４の出力信号（逆位相信号）とＤ／Ａ変換器４４からの駆動制御電圧とを重畳し合成する（加算する）。   The antiphase signal generator 53 generates a signal (an antiphase signal) that is 180 degrees out of phase with the extracted (generated) low frequency band signal. The amplifier 54 amplifies the amplitude of the generated antiphase signal. The adder 55 superimposes and combines (adds) the output signal (antiphase signal) of the amplifier 54 and the drive control voltage from the D / A converter 44.

ここで、振動型モータ１０の内部に配置された振動検出素子２２からのＳ相信号と低周波域検出部５２、逆相信号生成部５３の各々について説明する。   Here, each of the S-phase signal from the vibration detection element 22 arranged inside the vibration type motor 10, the low frequency region detection unit 52, and the reverse phase signal generation unit 53 will be described.

Ｓ相信号は、圧電素子１１に印加された周波電圧と略等しい周波数で、共振点付近において信号の振幅が最大となり、共振点から離れるに従って振幅も小さくなる。本実施の形態では、振動型モータ１０の駆動時の動作周波数範囲は３０ＫＨｚ〜４０ＫＨｚであり、低周波域不要振動の周波数は１００〜１ＫＨｚ以下である。   The S-phase signal has a frequency substantially equal to the frequency voltage applied to the piezoelectric element 11, and the amplitude of the signal is maximized near the resonance point, and the amplitude decreases as the distance from the resonance point increases. In the present embodiment, the operating frequency range during driving of the vibration type motor 10 is 30 KHz to 40 KHz, and the frequency of the low frequency unnecessary vibration is 100 to 1 KHz or less.

このため、低域周波域検出部５２に、１ＫＨｚの低域通過フィルタ（以下にはＬＰＦと略記）を用い、包絡線３１を生成している。   For this reason, an envelope 31 is generated by using a 1 kHz low-pass filter (hereinafter abbreviated as LPF) for the low-frequency band detector 52.

また、ＬＰＦの遮断周波数を可変とすることで低周波振動の周波数の制限をかけることも可能である。不要低周波振動を打ち消すための逆相信号生成部５３には、オペ増幅器、抵抗、コンデンサから構成される反転増幅器を用い、逆位相信号を生成すると共に、不要低周波振動の打ち消し量を可変するための利得調整を行うことを可能としている。   It is also possible to limit the frequency of the low frequency vibration by making the cutoff frequency of the LPF variable. The reverse phase signal generation unit 53 for canceling unnecessary low frequency vibrations uses an inverting amplifier composed of an operational amplifier, a resistor, and a capacitor to generate a reverse phase signal and to vary the amount of canceling unnecessary low frequency vibrations. Therefore, it is possible to perform gain adjustment.

次に、図４の振動型モータの駆動制御装置の全体の制御について説明する。   Next, the overall control of the drive controller for the vibration type motor shown in FIG. 4 will be described.

ＣＰＵ４１は、Ｄ／Ａ変換器４４に振動型モータ１０を駆動するための発振周波数データを出力する。本実施の形態では、１０ビットのディジタル値を設け、周波数の分解能を略１０Ｈｚとした。   The CPU 41 outputs oscillation frequency data for driving the vibration type motor 10 to the D / A converter 44. In this embodiment, a 10-bit digital value is provided, and the frequency resolution is approximately 10 Hz.

Ｄ／Ａ変換器４４は、ＣＰＵ４１からのデータに基づき、アナログの電圧信号（駆動制御電圧）を加算器５５に出力する。Ｄ／Ａ変換器４４から出力された電圧信号と、不要低周波振動を打ち消すための逆位相信号は加算器５５により加算（合成）され、アナログ電圧がＶＣＯ４５に入力される。ＶＣＯ４５は、合成された電圧値に従った周波数の信号を生成し、信号の変化に従って発振周波数を可変する。   The D / A converter 44 outputs an analog voltage signal (drive control voltage) to the adder 55 based on the data from the CPU 41. The voltage signal output from the D / A converter 44 and the antiphase signal for canceling the unnecessary low frequency vibration are added (synthesized) by the adder 55, and the analog voltage is input to the VCO 45. The VCO 45 generates a signal having a frequency according to the synthesized voltage value, and varies the oscillation frequency according to a change in the signal.

ＶＣＯ４５で生成された信号は、位相制御部４６に入力され、振動型モータ１０に印加する第１の相であるＡ相と、第２の相であるＢ相に印加するため、９０度位相が異なる信号に変換される。   The signal generated by the VCO 45 is input to the phase control unit 46 and applied to the A phase that is the first phase applied to the vibration type motor 10 and the B phase that is the second phase. Converted to a different signal.

ここで、変換される信号の位相差がＡ相に対してＢ相が９０度進みの場合と、９０度遅れの場合のどちらかに切り替えることにより、振動型モータ１０の回転方向を変えることが可能である。   Here, the rotation direction of the vibration type motor 10 can be changed by switching the phase difference of the signal to be converted to either the case where the B phase is advanced by 90 degrees or the case where the B phase is delayed by 90 degrees. Is possible.

ここまでで生成された信号は増幅器４７、４８を介し、振動型モータ駆動用のマッチングコイル４９、５０を通して振動型モータ１０のＡ相、Ｂ相にそれぞれ印加され、振動型モータ１０を駆動する。   The signals generated so far are applied to the A phase and B phase of the vibration type motor 10 through the amplifiers 47 and 48 and the matching coils 49 and 50 for driving the vibration type motor, respectively, to drive the vibration type motor 10.

振動型モータ１０のシャフト（回転軸）１５に設けたエンコーダ５１は、シャフト１５の回転角度に応じパルス信号を出力する。このパルス信号の単位時間当たりのパルス数をＣＰＵ４１がカウントし、目標速度との偏差を演算処理、利得計算し、Ｄ／Ａ変換器４４に演算値を出力し、速度フィードバック制御を行う。   The encoder 51 provided on the shaft (rotating shaft) 15 of the vibration type motor 10 outputs a pulse signal according to the rotation angle of the shaft 15. The CPU 41 counts the number of pulses per unit time of the pulse signal, calculates the deviation from the target speed, calculates the gain, outputs the calculated value to the D / A converter 44, and performs speed feedback control.

本実施の形態では、上述した通り、低周波域検出部５２は、Ｓ相から出力される振動子１２の高周波振動の信号の中から振動型モータ１０の回転中に発生した不要な低周波振動成分（低周波域信号）をＬＰＦにより検出する。   In the present embodiment, as described above, the low-frequency region detection unit 52 performs unnecessary low-frequency vibration generated during rotation of the vibration type motor 10 from the high-frequency vibration signal of the vibrator 12 output from the S phase. The component (low frequency band signal) is detected by the LPF.

そして、逆相信号生成部５３において、不要な低周波振動成分とは１８０度位相の異なる逆位相信号を生成して増幅器５４を通し、加算器５５において、Ｄ／Ａ変換器４４から出力された駆動制御電圧信号と重畳し合成（加算）する。これをＶＣＯ４５に印加することにより低周波域の振動と回転ムラを抑制する。   Then, the anti-phase signal generation unit 53 generates an anti-phase signal that is 180 degrees out of phase with the unnecessary low-frequency vibration component, passes through the amplifier 54, and is output from the D / A converter 44 in the adder 55. Superimpose and combine (add) with the drive control voltage signal. By applying this to the VCO 45, vibrations and rotation unevenness in the low frequency range are suppressed.

振動型モータの構成図である。It is a block diagram of a vibration type motor. 図１における振動子と積層された圧電素子の分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view of a piezoelectric element laminated with a vibrator in FIG. 1. 図２における振動検出素子から検出された信号の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the signal detected from the vibration detection element in FIG. 本発明の実施の形態に係る振動型モータの駆動制御装置のブロック図である。It is a block diagram of the drive control apparatus of the vibration type motor which concerns on embodiment of this invention. 周波数と振動型モータの回転数の関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between a frequency and the rotation speed of a vibration type motor.

符号の説明Explanation of symbols

１０ 振動型モータ
１１ 圧電素子
１２ 振動子
１４ 移動子
１５ シャフト
２１ 電極板
２２ 振動検出素子
４１ ＣＰＵ
４２ ホストコンピュータ
４４ Ｄ／Ａコンバータ
４５ 可変周波数発振器
４６ 位相変換部
４７、４８ 増幅器
４９、５０ マッチングコイル
５１ エンコーダ
５２ 低周波域検出部
５３ 逆相信号生成部
５４ 増幅器
５５ 加算器 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Vibration type motor 11 Piezoelectric element 12 Vibrator 14 Mover 15 Shaft 21 Electrode plate 22 Vibration detection element 41 CPU
42 Host Computer 44 D / A Converter 45 Variable Frequency Oscillator 46 Phase Conversion Units 47 and 48 Amplifiers 49 and 50 Matching Coil 51 Encoder 52 Low Frequency Range Detection Unit 53 Reverse Phase Signal Generation Unit 54 Amplifier 55 Adder

Claims (2)

振動型モータを駆動制御する振動型モータの駆動制御装置において、
前記振動型モータの振動子の低周波域信号を検出する低周波域検出手段と、
前記低周波域信号とは１８０度位相の異なる逆位相信号を生成する逆相信号生成手段と、
前記逆位相信号と前記振動型モータの駆動制御電圧とを加算する加算手段と、
前記加算手段により加算された信号に応じて、前記振動型モータへ印加する信号の周波数を変える可変周波数発振手段と、
を備えることを特徴とする振動型モータの駆動制御装置。 In the drive control device of the vibration type motor that controls the drive of the vibration type motor,
Low frequency range detecting means for detecting a low frequency range signal of the vibrator of the vibration type motor;
Anti-phase signal generating means for generating an anti-phase signal different in phase by 180 degrees from the low frequency range signal;
Adding means for adding the antiphase signal and the drive control voltage of the vibration type motor;
Variable frequency oscillating means for changing the frequency of the signal applied to the vibration type motor in accordance with the signal added by the adding means;
A drive control device for a vibration type motor, comprising: 前記逆相信号の振幅を可変としたことを特徴とする請求項１記載の振動型モータの駆動制御装置。   2. The drive control apparatus for a vibration type motor according to claim 1, wherein the amplitude of the reverse phase signal is variable.
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