JP2008294190A5 - - Google Patents

Description

（１）気化器２４２の２次側の流路分岐機構が無い。 (1) There is no channel branching mechanism on the secondary side of the vaporizer 242.

（２）気化器２４２から処理室２０１間に配されるバルブ数が最小限に抑えられている。 (2) The number of valves disposed between the vaporizer 242 and the processing chamber 201 is minimized.

（３）気化器２４２の２次側の構造がシンプルである。上記（１）では、流路分岐が無くなることで、圧力損失と淀み点を低減させる効果が得られる。上記（２）では、バルブ数が最小限であることで、設置スペースが小さくなり、流路を短くすることが可能となり、これによっても圧力損失を低減させる効果が得られる。上記（３）では、気化器２４２の２次側の構造がシンプルであることで、配管やバルブを加熱するヒータの構造も単純化し、制御性能の向上やコスト低減、メンテナンスの容易さが得られる。 (3) The secondary side structure of the vaporizer 242 is simple. In (1) above, the effect of reducing the pressure loss and the stagnation point can be obtained by eliminating the branching of the flow path. In the above (2) , since the number of valves is minimized, the installation space is reduced and the flow path can be shortened, and this also provides the effect of reducing the pressure loss. In (3) above, the structure on the secondary side of the carburetor 242 is simple, so the structure of the heater for heating the piping and valves is also simplified, improving control performance, reducing costs, and facilitating maintenance. .