JP2008288378A - モニタウエハの製造方法及びモニタウエハ - Google Patents
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Abstract
【課題】短時間で安定したシート抵抗値の測定結果を得ることができるモニタウエハ、及びモニタウエハを提供する。
【解決手段】モニタウエハに酸化膜(SiO2)を形成する。酸化膜が形成されたモニタウエハに対してp型不純物のイオン注入を行うことで、酸化膜の内側にpウェルを形成する。次に、熱処理をすることでp型不純物を内部に拡散させ、pウェルを活性化する。酸化膜の除去後すぐに、アンモニア(NH3)水と、過酸化水素(H2O2)水と、水とが混合された薬液を用いたウエット処理を施して、酸化膜を強制的に形成する。
【選択図】図1
【解決手段】モニタウエハに酸化膜(SiO2)を形成する。酸化膜が形成されたモニタウエハに対してp型不純物のイオン注入を行うことで、酸化膜の内側にpウェルを形成する。次に、熱処理をすることでp型不純物を内部に拡散させ、pウェルを活性化する。酸化膜の除去後すぐに、アンモニア(NH3)水と、過酸化水素(H2O2)水と、水とが混合された薬液を用いたウエット処理を施して、酸化膜を強制的に形成する。
【選択図】図1
Description
本発明は、シート抵抗値を測定するためのモニタウエハの製造方法、及びモニタウエハに関する。
半導体デバイスは、シリコンウエハ(以下、単に「ウエハ」という)にイオン注入によって不純物を添加する工程を経て製造される。半導体デバイスの製造過程では、添加された不純物の濃度を調べるなどの品質の管理を目的として、不純物添加後のウエハ表面のシート抵抗値の測定が行われている。
シート抵抗値の測定には、一般的に四探針法が用いられている。また、測定の際に探針の当接によりウエハ表面にキズが付くため、製品となるウエハとは別に同じスペックのモニタウエハを用意し、このモニタウエハのシート抵抗値を測定している。
従来、シート抵抗値の測定に際しては、測定値が経時変化して安定した測定結果を得ることができないという問題があった。測定値の経時変化は、イオン注入後のウエハ表面に形成される自然酸化膜に起因する。すなわち、自然酸化膜が時間の経過とともに成長するにつれ、探針とウエハ表面との接触抵抗が増大し、このため測定値も上昇してしまう。
上記の問題を解決するために、様々な提案がなされている(特許文献1,2参照)。特許文献1記載の方法では、シート抵抗値の測定開始直前にウエハ表面の自然酸化膜を除去し、不活性ガスが流入される測定室内で測定を行っている。特許文献2記載の方法では、イオン注入してから40時間以上経過後に、ウエハ表面にドライブイン酸化を施し、測定を行っている。
特開平07−106388号公報
特開2003−017424号公報
特許文献1記載の方法では、酸素が侵入しないように測定室を厳密に管理する必要があり、製造コストが嵩むという問題があった。また、たとえ厳密な管理を行ったとしても、実質的には酸素の侵入は避けられず、根本的な課題解決の方法であるとは言い難い。特許文献2記載の方法では、40時間以上も待たなければならず、製造時間の短縮化を妨げるという問題があった。
本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、短時間で安定したシート抵抗値の測定結果を得ることができるモニタウエハの製造方法、及びモニタウエハを提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明のモニタウエハの製造方法は、シート抵抗値を測定するためのモニタウエハの製造方法であって、イオン注入用の酸化膜を除去した直後に、又はイオン注入用の酸化膜を除去した後、自然酸化膜の成長期間中に、所定の薬液によってモニタウエハの表面に酸化膜を形成する工程を有することを特徴とする。
なお、薬液は、アンモニアと、過酸化水素と、水との混合液であること、又はコリンと、過酸化水素と、水との混合液であることが好ましい。
また、酸化膜の厚さが0.5nm以上1nm以下となるようにすることが好ましい。
本発明のモニタウエハは、シート抵抗値を測定するためのモニタウエハであって、シート抵抗値の測定前に、所定の薬液によってモニタウエハの表面に酸化膜が形成されることを特徴とする。
本発明のモニタウエハの製造方法、及びモニタウエハによれば、シート抵抗値の測定前に、所定の薬液によってモニタウエハの表面に酸化膜を形成するので、短時間で安定したシート抵抗値の測定結果を得ることができる。
以下、本発明の実施形態について図1のフローチャート、及び図2を参照しながら説明する。図2(A)に示すように、モニタウエハ(例えば、n型ベアシリコン単結晶ウエハ)11の表面に酸化膜(SiO2)12を形成する(S1)。そして、酸化膜12が形成されたモニタウエハ11に対してp型不純物のイオン注入を行うことで、図2(B)に示すように酸化膜12の内側にpウェル13を形成する(S2)。次に、熱処理をすることでp型不純物を内部に拡散させ、pウェル13を活性化する(S3)。
そして、モニタウエハ11のシート抵抗値Rs[Ω/□]を測定するため、図2(C)に示すように酸化膜12を除去する(S4)。酸化膜12の除去は、例えば希フッ酸を用いて行う。そして、酸化膜12の除去後すぐにウエット処理を施して、図2(D)に示すように酸化膜14を強制的に形成する(S5)。なお、シート抵抗値Rsとは、略一様な厚さを持つ薄膜の抵抗を表す値であり、薄膜の抵抗値R[Ω]は、R=Rs×L×Wで表すことができる。但し、Lは薄膜の長さを示し、Wは薄膜の幅を示す。
ウエット処理とは、アンモニア(NH3)水と、過酸化水素(H2O2)水と、水(H2O)とが混合された薬液に酸化膜12の除去後のモニタウエハ11を浸すことで、モニタウエハ11の表面に酸化膜14を形成することをいう。酸化膜14の厚さは、ウエット処理が施されなかった場合に形成される自然酸化膜の厚さと同程度の0.5nm以上1nm以下であることが好ましい。
その後、四探針法により、酸化膜14が形成されたモニタウエハ11のシート抵抗値を測定する(S6)。シート抵抗値の測定結果からp型不純物の注入量を換算し、イオン注入が正しく行われているか否かを評価する。酸化膜14を強制的に形成してから測定することで、安定したシート抵抗値を得ることができる。
なお、この場合、ベアシリコン単結晶ウエハの表面抵抗を測定した場合よりも、酸化膜14が介在している分、シート抵抗値の測定結果は若干高くなるが、図3の実施例と比較例を見ても分かる通り、評価に影響を及ぼさないほどの僅かな差であるため、無視することができる。また、シート抵抗値の測定結果からp型不純物の注入量を換算する方法としては、p型不純物の注入量とシート抵抗値との関係を予め実験により求めておき、このデータを元に注入量を導き出せば良い。
なお、上記実施形態において、p型不純物をイオン注入する場合を例に説明したが、これに限定されるのではなく、p型に代え、又はp型とともにn型不純物を添加しても良い。
また、上記実施形態において、アンモニア水と、過酸化水素水と、水とが混合された薬液を用いる場合を例に説明したが、これに限定されるのではなく、例えばコリン((CH3)3N+CH2CH2OHX−)と、過酸化水素水と、水とが混合された薬液であっても良い。なお、コリンは、第四級飽和アミンであり、トリメチルアミノエタノールのことである。
[実施例]
以下、実施例を示し、本発明を具体的に説明する。先ず、モニタウエハ11に熱処理を施して厚さ10nmの酸化膜を形成した(S1)。そして、酸化膜12が形成されたモニタウエハ11に対し、ツイスト角度90°、ティルト角度7°の方向から、40keV(6.408×10−18J)のエネルギでp型不純物を添加した(S2)。なお、ツイスト角度とは、モニタウエハ11の周縁に形成されたノッチ(図示せず)からの周方向で且つ反時計回りの角度のことである。また、ティルト角度とは、モニタウエハ11の表面に対して垂直方向を基準とした傾斜角度のことである。
以下、実施例を示し、本発明を具体的に説明する。先ず、モニタウエハ11に熱処理を施して厚さ10nmの酸化膜を形成した(S1)。そして、酸化膜12が形成されたモニタウエハ11に対し、ツイスト角度90°、ティルト角度7°の方向から、40keV(6.408×10−18J)のエネルギでp型不純物を添加した(S2)。なお、ツイスト角度とは、モニタウエハ11の周縁に形成されたノッチ(図示せず)からの周方向で且つ反時計回りの角度のことである。また、ティルト角度とは、モニタウエハ11の表面に対して垂直方向を基準とした傾斜角度のことである。
次に、950℃で60分間熱処理をした(S3)。そして、酸化膜12を除去してから(S4)、質量濃度が28〜30%のアンモニア水と、質量濃度が34.5〜36.0%の過酸化水素水と、水とが質量比1:4:20で混合された薬液を用いてウエット処理を施した(S5)。なお、薬液の温度は55℃で、処理時間は5.5分とした。
[比較例]
実施例と同条件で、酸化膜12の形成(S1)、イオン注入(S2)、熱処理(S3)、及び酸化膜12の除去(S4)を行った。但し、ウエット処理(S5)は行わず、モニタウエハ11に自然酸化膜を形成させた。
実施例と同条件で、酸化膜12の形成(S1)、イオン注入(S2)、熱処理(S3)、及び酸化膜12の除去(S4)を行った。但し、ウエット処理(S5)は行わず、モニタウエハ11に自然酸化膜を形成させた。
実施例及び比較例において、モニタウエハ11のシート抵抗値を測定した。図3に示すように、ウエット処理(S5)を行わなかった比較例では、酸化膜12を除去してから時間の経過とともに自然酸化膜が成長し、シート抵抗値Rsは酸化膜12除去直後の約957Ω/□から、約300分後に約1.78%増の約974Ω/□と変化し、その後は略一定となった。これに対してウエット処理(S5)を行った実施例では、時間の経過と関係なくシート抵抗値Rsは約976Ω/□と略一定となった。実施例の値は、比較例における変化後の値と比較して僅か0.2%程度の誤差となった。なお、酸化膜12を除去してからシート抵抗値Rsが略一定となるまでの期間を、自然酸化膜の成長期間とする。
以上の実施例及び比較例の結果より、ウエット処理(S5)を行うことで、時間の経過と関係なく安定したシート抵抗値の測定ができることが確認された。
なお、コリンと、過酸化水素水と、水とが混合された薬液を用いてウエット処理を施す場合には、薬液の温度は70℃で、処理時間を約9〜10分とすることが好ましい。このときの薬液は、コリンと、質量濃度が34.5〜36.0%の過酸化水素水と、水とが質量比1:24:36.6で混合されていることが好ましい。
11 モニタウエハ
12 酸化膜
13 pウェル
14 酸化膜
12 酸化膜
13 pウェル
14 酸化膜
Claims (6)
- シート抵抗値を測定するためのモニタウエハの製造方法において、
イオン注入用の酸化膜を除去した直後に、所定の薬液によって前記モニタウエハの表面に酸化膜を形成する工程を有することを特徴とするモニタウエハの製造方法。 - 前記薬液は、アンモニアと、過酸化水素と、水との混合液であることを特徴とする請求項1記載のモニタウエハの製造方法。
- 前記薬液は、コリンと、過酸化水素と、水との混合液であることを特徴とする請求項1記載のモニタウエハの製造方法。
- 前記酸化膜の厚さが0.5nm以上1nm以下となるようにすることを特徴とする請求項1乃至3何れか記載のモニタウエハの製造方法。
- シート抵抗値を測定するためのモニタウエハの製造方法において、
イオン注入用の酸化膜を除去した後、自然酸化膜の成長期間中に、所定の薬液によって前記モニタウエハの表面に酸化膜を形成する工程を有することを特徴とするモニタウエハの製造方法。 - シート抵抗値を測定するためのモニタウエハにおいて、
前記シート抵抗値の測定前に、所定の薬液によって前記モニタウエハの表面に酸化膜が形成されることを特徴とするモニタウエハ。
Priority Applications (1)
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JP2007131812A JP2008288378A (ja) | 2007-05-17 | 2007-05-17 | モニタウエハの製造方法及びモニタウエハ |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102800604A (zh) * | 2011-05-26 | 2012-11-28 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 获取离子注入工艺参数的方法、监测晶片及其制造方法 |
CN105047587A (zh) * | 2015-06-07 | 2015-11-11 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 监控晶圆的低发射率的方法 |
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