JP2008268064A - 多成分対応レーザ式ガス分析計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】波長走査駆動信号と高周波変調信号とを合成した駆動信号を電流駆動信号に変換して出力し、電流駆動信号に応じて発光して検出光を、n種のガス別に同一の光軸上で出射する発光部200と、測定対象ガス空間を伝播した検出光を受光して得た検出信号を、高周波変調信号の2倍周波数である参照信号を用いて検出信号を同期検波して2倍周波数成分の同期検波信号をn種のガス別に出力し、n種のガス別の同期検波信号を用いて所望の測定対象ガスの有無および/または所望の測定対象ガスの濃度を測定分析する受光部300と、を備える多成分対応レーザ式ガス分析計とした。
【選択図】図1
Description
レーザ式ガス分析計は、レーザ光の特定波長の吸光量が測定対象ガスの濃度に比例することを利用した分析計であり、ガス濃度の測定方法としては、2波長差分方式と周波数変調方式とに大別される。このうち、本発明は周波数変調方式を用いたレーザ式ガス分析計に関するものである。
図8は、周波数変調方式の原理図を示しており、例えば特許文献1に記載されているものである。周波数変調方式のレーザ式ガス分析計では、中心周波数fc、変調周波数fmで半導体レーザの出射光を周波数変調し、測定対象ガスに照射する。ここで、周波数変調とは、半導体レーザに供給するドライブ電流の波形を正弦波状にすることである。
また、受光部によりエンベロープ検波を行えば振幅変調による基本波を推定でき、この基本波の振幅と前記2倍周波数信号の振幅との比を位相同期させて検出することで、距離に関係なく測定対象ガス濃度に比例した信号を得ることができる。
そして、受光部でエンベロープ検波を行うことで振幅変調による基本波を推定でき、この基本波の振幅と前記2倍周波数信号の振幅の比を位相同期させて取ることで、距離に関係なくガス濃度に比例した値を得ることができる。
この場合、DFBレーザが発光するスペクトル線幅の方が測定対象ガスの吸収線幅よりも小さいため、DFBレーザの発光波長を測定対象ガスの吸光波長に合わせる必要が生じる。
その方法として、測定対象ガスと同じガス成分を予め封入した参照ガスセルを用いて、DFBレーザの発光波長を温度によって制御する方法が用いられている。
上述したような検出原理を用いた従来技術としては、例えば特許文献2に記載されたガス濃度測定装置がある。
このガス濃度測定装置1は、主として、光源ユニット2、測定光集光部3、測定光増幅部4、受信信号検出部5、校正信号生成部6、基本波信号増幅器7Aと2倍波信号増幅器7Bとからなる参照信号増幅部7、信号微分検出器8Aと信号同期検出器8Bとからなる参照信号検出部8、波長安定化制御回路9、温度安定化PID回路10、電流安定化回路11、測定/校正切替部12、演算部13から構成されている。
半導体レーザモジュール21のケース21a内には、図11(b)に示すように、周波数変調されたレーザ光を両面から出射する半導体レーザ(レーザダイオード)24が配設されている。図11(a)に示す如く、ケース21aからはコネクタ25aを備えた光ケーブル25が延出されており、半導体レーザ24から出射される一方の光が光ケーブル25を介して図10の測定光集光部3から外部(測定対象ガスの雰囲気)に出射されるようになっている。
半導体レーザ24の前後両側の光軸上には、出射光を集光するための平坦面を持たない非球面レンズ29a,29bが配設されている。これらの非球面レンズ29a,29bを集光用レンズとして使用することにより、半導体レーザ24に光が反射して戻るのを防止することができる。
参照ガスセル22は、内径の長さが予め決められており、封入される参照ガスは、測定対象ガスの測定場所の環境と概略等しい組成、圧力とされている。例えば測定場所の環境が空気であれば、参照ガスはエアバランス、すなわち空気と同じ組成であり、圧力も1気圧となっている。
なお、上記参照ガスセル22は、半導体レーザ24への戻り光を低減するため、光が通過する両端面を斜め(例えば出射光軸に対して約6°)に形成するのが好ましい。
測定光増幅部4はプリアンプによって構成されており、前記光検出器32にて検出した光電流を電圧に変換し、増幅して出力する。また、測定光増幅部4では、測定/校正切替部12の後段の受信信号検出部5が検出する基本波位相敏感検波信号(f信号:以下、基本波信号と略称する)と2倍波位相敏感検波信号(2f信号:以下、2倍波信号と略称する)とがほぼ同じレベルになるように、基本波信号、2倍波信号のそれぞれについて最適増幅度が設定されている。
このような構成にすることで、ガスセル側を透過した光で、例えば、2倍波と基本波の比が最大となる点に半導体レーザの発光波長を、半導体レーザがマウントされたペルチェ部の温度制御によって、波長が一定になるように制御する。
そのためには、測定対象ガスと同じガスをあらかじめ封入した参照ガスセルが必要であるが、参照ガスセルへの封入が不可能または困難なガスについては、その濃度の検出が困難であるという問題がある。
また、参照ガスセルを用いてレーザの発光波長を特定波長に固定するとしても、PID制御等により温度調整を行って特定波長に固定する安定性が要求される。しかし、通常のDFBレーザ素子の発光波長は100pm/℃程度の温度依存性を持っているので、吸収線幅が40pm程度しかないアンモニアなどを検出するには1pm以下の波長安定性、つまり、0.01℃以下の温度安定化が必要となる。
温度分布等があれば波長は変動するため、半導体レーザ素子の発光波長を測定対象ガスの吸光波長に合わせて測定すること自体が問題であり、これらが長期的な安定性や測定精度を低下させる要因となっている。
更に、測定対象ガスと参照ガスセル内に封入されたガス成分とが同一でも、実際に測定するガスの吸収幅や波長は若干変動し、また、参照ガスセル温度と測定対象ガスの温度とが異なる場合は、吸光波長に完全に合わせることが困難である。
また、HClやHFなどの腐食性ガスの参照ガスセルを製作するためには、封入設備も高価となり、測定可能なガス成分が参照ガスセルの製作可否によって制約されるという問題もある。
レーザ式ガス分析計によってガス濃度を測定するには、前述のように吸光波長の一致した光を出射可能なレーザ素子が必要であると共に、この条件に合うレーザ素子が存在しても参照ガスセルが製作できなければ、分析計としての実現は不可能である。
更に、参照ガスセルからのガス漏れ対策をする必要があるなど、装置構成上も好ましくなかった。
駆動電流の変化に応じて発光波長が変化するレーザ素子を用いてn種のガスを測定する多成分対応レーザ式ガス分析計において、
測定対象ガスの吸光波長を含む波長走査範囲を走査するようにレーザ素子の発光波長を可変とするための波長走査駆動信号と、発光波長を変調するための高周波変調信号と、を入力し、波長走査駆動信号と高周波変調信号とを合成した駆動信号を電流駆動信号に変換して出力する電流駆動部をn種のガス別にn個備えてなる電流駆動手段と、
電流駆動部から出力された電流駆動信号に応じて発光して検出光を出射する発光部をn種のガス別にn個備えてなる発光手段と、
この発光部の温度を安定化させる温度安定化部をn個の発光部別にn個備えてなる温度安定化手段と、
n個の発光部から出射したn本の検出光を同一の光軸上で合成して検出光を測定対象ガス空間へ出射させる光軸結合手段と、
測定対象ガス空間を伝播した検出光を集光して出射する集光手段と、
n種の検出光の全波長に対して感度を有し、集光した検出光の波長に応じた検出信号を出力する受光手段と、
高周波変調信号の2倍周波数である参照信号を用いて検出信号を同期検波して2倍周波数成分の同期検波信号を出力する同期検波部をn種のガス別にn個備えてなる同期検波手段と、
n種のガス別の同期検波信号を用いて所望の測定対象ガスの有無および/または所望の測定対象ガスの濃度を測定分析する分析手段と、
を備えることを特徴とする。
請求項1に記載の多成分対応レーザ式ガス分析計において、
前記電流駆動手段は、測定対象ガスの吸光波長を含む測定範囲を走査するようにレーザ素子の発光波長を可変とするための波長走査駆動信号を出力する波長走査駆動信号発生部と、発光波長を変調するための高周波変調信号を出力する高周波変調信号発生部と、波長走査駆動信号と高周波変調信号とを入力して合成により駆動信号を生成し、この駆動信号を電流駆動信号に変換して出力する電流制御部と、からなる電流駆動部をn種のガス別にn個備えてなる手段であることを特徴とする。
請求項1または請求項2に記載した多成分対応レーザ式ガス分析計において、
前記温度安定化手段は、発光部の温度を検出する温度検出部と、温度検出部からの温度検出信号を受けて発光部を一定温度とする温度駆動信号を出力する温度制御部と、発光部の温度を調整する加熱冷却部と、からなる温度安定化部をn個の発光部別にn個備えてなる手段であることを特徴とする。
請求項1〜請求項3の何れか一項に記載した多成分対応レーザ式ガス分析計において、
前記同期検波手段は、高周波変調信号の2倍周波数である参照信号を出力する参照信号発生部と、参照信号を用いて検出信号を同期検波して2倍周波数成分の同期検波信号を出力する同期検波部と、をn種のガス別にn個備えてなる手段であることを特徴とする。
請求項1〜請求項4の何れか一項に記載した多成分対応レーザ式ガス分析計において、
前記波長走査駆動信号の波形は、オフセットを有し、かつ前記レーザ素子への供給電流を直線的に変化させて前記レーザ素子の発光波長を徐々に変化させる部分を有すると共に、一定周期で繰り返される波形であり、
前記オフセットは、前記レーザ素子のスレッショルド電流値以上の電流を前記レーザ素子に供給するような値であることを特徴とする。
請求項1〜請求項5の何れか一項に記載した多成分対応レーザ式ガス分析計において、
前記分析手段は、
前記同期検波信号の少なくとも一部を積分し、その積分値を測定対象ガスの濃度として検出することを特徴とする。
請求項1〜請求項5の何れか一項に記載した多成分対応レーザ式ガス分析計において、
前記分析手段は、
前記同期検波信号のピーク値を測定対象ガスの濃度として検出することを特徴とする。
まず、図1はこの実施形態の全体的な構成を示している。多成分対応レーザ式ガス分析計100は、大別して検出光を出射するユニットである発光部200と、検出光を受光するユニットである受光部300と、を備える。
発光部200の機械的構造は、図1に示すように、フランジ201、窓部202、調整用フランジ203、収納部204、第1レーザ素子205a、第2レーザ素子205b、第3レーザ素子205c、第4レーザ素子205d、光軸結合部206を備える。
また、受光部300の機械的構造は、図1に示すように、フランジ301、窓部302、調整用フランジ303、収納部304、集光レンズ305、センサ部306、信号処理回路307を備える。
また、受光部300の回路構成は、図3に示すように、センサ部306、信号処理回路307を備える。
信号処理回路307は、詳しくは図3に示すように、第1参照信号発生部310a、第2参照信号発生部310b、第3参照信号発生部310c、第4参照信号発生部310d、第1同期検波部311a、第2同期検波部311b、第3同期検波部311c、第4同期検波部311d、第1フィルタ312a、第2フィルタ312b、第3フィルタ312c、第4フィルタ312dを備える。
多成分対応レーザ式ガス分析計100の発光部200と、受光部300と、はこのようなものである。
フランジ201は、図1に示すように、測定したいガスが通流する煙道など配管の壁410に溶接などで固定される。フランジ201の内部には貫通孔が形成される。
窓部202は、光が透過する材料にて形成され、フランジ201の貫通孔を塞ぐように配置されてガス成分が漏れないようにしている。
光軸調整用の調整用フランジ203は、フランジ201と収納部204との間に介在して配置されており、フランジ201に対して発光部200の位置や角度等が調節可能なように収納部204を取り付ける。これにより壁410に対して発光部200は光軸調整可能に設置される。後述するが発光部200からの検出光が受光部300にて確実に受光されるように調整される。
更に、S3は駆動電流をほぼ0mAにした部分である。
このような波長走査駆動信号が波長走査駆動信号発生部207から出力される。
第1電流制御部209aは、波長走査駆動信号発生部207からの波長走査駆動信号と、第1高周波変調信号発生部208aからの第1高周波変調信号を重畳させて第1駆動信号を生成し、この第1駆動信号を電流に変換して第1電流駆動信号として出力する。第1レーザ素子205aは、第1電流駆動信号に駆動されてレーザ光による第1検出光を照射する。波長走査駆動信号発生部207、第1高周波変調信号発生部208a、第1電流制御部209aとで第1電流駆動部を構成する。
これら第1,第2,第3,第4電流駆動部は、本発明の電流駆動手段の一具体例となっている。
第1サーミスタ211a、第2サーミスタ211b、第3サーミスタ211c、第4サーミスタ211dは、本発明の温度検出部の一具体例に相当するものであり、温度に応じて抵抗値が変化する機能を有し、抵抗の変化により温度の変化を検出できる温度検出素子である。
第1ペルチェ素子212a、第2ペルチェ素子212b、第3ペルチェ素子212c、第4ペルチェ素子212dは、本発明の加熱冷却部の一具体例に相当するものであり、吸熱により冷却するための温度調整素子である。
第3温度制御部210cは、第3サーミスタ211c、第3ペルチェ素子212cが接続される。先の説明と同様に温度制御がなされる。第3温度制御部210cは、第3サーミスタ211c、第3ペルチェ素子212cで第3温度安定化部となり、第3レーザ素子205cの温度安定化を行う。
第4温度制御部210dは、第4サーミスタ211d、第4ペルチェ素子212dが接続される。先の説明と同様に温度制御がなされる。第4温度制御部210dは、第4サーミスタ211d、第4ペルチェ素子212dで第4温度安定化部となり、第4レーザ素子205dの温度安定化を行う。
これら第1,第2,第3,第4温度安定化部は、本発明の温度安定化手段の一具体例となっている。
第1温度制御部では以下のように調整が行われる。第1レーザ素子204aの温度を第1サーミスタ211aにより検出し、図4(a)に示した波長走査駆動信号のS2の中心部分で測定対象ガス(例えばNH3ガス)が測定できる(所定の吸光特性が得られる)ように、第1温度制御部210aにより第1ペルチェ素子212aの通電を制御して第1レーザ素子204aの温度を調整する。
第1温度安定化部について説明し、第2,第3,第4温度安定化部については同じであるものとして重複する説明を省略する。
発光部200はこのようなものである。
フランジ301は測定したいガスが通流する煙道など配管の壁420に溶接などで固定される。フランジ301の内部には貫通孔が形成される。
窓部302は、光が透過する材料にて形成され、貫通孔を塞ぐことでガス成分が漏れないようにしている。
光軸調整用の調整用フランジ303は、フランジ301と収納部304との間に介在して配置されており、フランジ301に対して受光部300の位置や角度等が調節可能なように収納部304を取り付ける。これにより壁420に対して受光部300は光軸調整可能に設置される。受光部200と受光部300とは、発光部200からの検出光が受光部300で最大の受光光量になるように調整されている。
I/V変換部309は、このセンサ部306からの電流信号による検出信号をI−V変換により電圧信号による検出信号に変換する。
第1参照信号発生部310aは、第1高周波変調信号発生部208aの第1高周波変調信号の周波数fを2倍にした2f信号(2倍波信号)である第1参照信号を発生する。
第2参照信号発生部310bは、第2高周波変調信号発生部208bの第2高周波変調信号の周波数fを2倍にした2f信号(2倍波信号)である第2参照信号を発生する。
第4参照信号発生部310dは、第3高周波変調信号発生部208dの第4高周波変調信号の周波数fを2倍にした2f信号(2倍波信号)である第4参照信号を発生する。
第1フィルタ312a、第2フィルタ312b、第3フィルタ312c、第4フィルタ312dは、同期検波信号からノイズ成分をフィルタリングする機能を有している。
これら第1,第2,第3,第4同期検波部は、本発明の同期検波手段の一具体例となっている。
測定ガスを透過した検出光は、窓部302を経て、集光レンズ305へ到達する。集光レンズ305により集光された光は、センサ部306のフォトダイオード308へ入射させる。検出光は同軸上でフォトダイオード308へ入射するのでフォトダイオード308は1個で受光できる。フォトダイオード308からの電流信号による検出信号はI/V変換部309により電圧信号による検出信号に変換されて第1同期検波部311a、第2同期検波部311b、第3同期検波部311c、第4同期検波部311dへ出力される。
一方、測定対象ガス、例えば、NH3のガス成分のによる検出光の吸光がある場合は、第1同期検波部311aによって2倍周波数信号による第1同期検波信号(吸光特性)が検出される。その出力波形は図4(d),図6に示すようになる。
その後、第1フィルタ312a、第2フィルタ312b、第3フィルタ312c、第4フィルタ312dによりノイズ除去、信号増幅などを行う。
多成分対応レーザ式ガス分析計100はこのようなものである。
従来技術では、測定対象ガスによる吸収を特定波長における受光信号の振幅のみから検出していたが、本実施形態では、吸収波形の全体を検出することでレーザ素子の発光波長を固定する必要が無くなり、検出感度が安定化して測定精度が向上するといった効果が得られる。
また、複数のガス濃度をを検出する場合でも、複数のレーザ素子は異なる変調周波数で動作させているので、各ガス濃度は、単体の受光装置により検出された信号から各々の変調波の2倍周波数成分を検出することにより測定することができる。
200:発光部
201:フランジ
202:窓部
203:調整用フランジ
204:収納部
205a:第1レーザ素子
205b:第2レーザ素子
205c:第3レーザ素子
205d:第4レーザ素子
206:光軸結合部
207:波長走査駆動信号発生部
208a:第1高周波変調信号発生部
208b:第2高周波変調信号発生部
208c:第3高周波変調信号発生部
208d:第4高周波変調信号発生部
209a:第1電流制御部
209b:第2電流制御部
209c:第3電流制御部
209d:第4電流制御部
210a:第1温度制御部
210b:第2温度制御部
210c:第3温度制御部
210d:第4温度制御部
211a:第1サーミスタ
211b:第2サーミスタ
211c:第3サーミスタ
211d:第4サーミスタ
212a:第1ペルチェ素子
212b:第2ペルチェ素子
212c:第3ペルチェ素子
212d:第4ペルチェ素子
300:受光部
301:フランジ
302:調整用フランジ
303:収納部
304:窓部
305:集光レンズ
306:センサ部
307:信号処理回路
308:フォトダイオード
309:I/V変換部
310a:第1参照信号発生部
310b:第2参照信号発生部
310c:第3参照信号発生部
310d:第4参照信号発生部
311a:第1同期検波部
311b:第2同期検波部
311c:第3同期検波部
311d:第4同期検波部
312a:第1フィルタ
312b:第2フィルタ
312c:第3フィルタ
312d:第4フィルタ
Claims (7)
- 駆動電流の変化に応じて発光波長が変化するレーザ素子を用いてn種のガスを測定する多成分対応レーザ式ガス分析計において、
測定対象ガスの吸光波長を含む波長走査範囲を走査するようにレーザ素子の発光波長を可変とするための波長走査駆動信号と、発光波長を変調するための高周波変調信号と、を入力し、波長走査駆動信号と高周波変調信号とを合成した駆動信号を電流駆動信号に変換して出力する電流駆動部をn種のガス別にn個備えてなる電流駆動手段と、
電流駆動部から出力された電流駆動信号に応じて発光して検出光を出射する発光部をn種のガス別にn個備えてなる発光手段と、
この発光部の温度を安定化させる温度安定化部をn個の発光部別にn個備えてなる温度安定化手段と、
n個の発光部から出射したn本の検出光を同一の光軸上で合成して検出光を測定対象ガス空間へ出射させる光軸結合手段と、
測定対象ガス空間を伝播した検出光を集光して出射する集光手段と、
n種の検出光の全波長に対して感度を有し、集光した検出光の波長に応じた検出信号を出力する受光手段と、
高周波変調信号の2倍周波数である参照信号を用いて検出信号を同期検波して2倍周波数成分の同期検波信号を出力する同期検波部をn種のガス別にn個備えてなる同期検波手段と、
n種のガス別の同期検波信号を用いて所望の測定対象ガスの有無および/または所望の測定対象ガスの濃度を測定分析する分析手段と、
を備えることを特徴とする多成分対応レーザ式ガス分析計。 - 請求項1に記載の多成分対応レーザ式ガス分析計において、
前記電流駆動手段は、測定対象ガスの吸光波長を含む測定範囲を走査するようにレーザ素子の発光波長を可変とするための波長走査駆動信号を出力する波長走査駆動信号発生部と、発光波長を変調するための高周波変調信号を出力する高周波変調信号発生部と、波長走査駆動信号と高周波変調信号とを入力して合成により駆動信号を生成し、この駆動信号を電流駆動信号に変換して出力する電流制御部と、からなる電流駆動部をn種のガス別にn個備えてなる手段であることを特徴とする多成分対応レーザ式ガス分析計。 - 請求項1または請求項2に記載した多成分対応レーザ式ガス分析計において、
前記温度安定化手段は、発光部の温度を検出する温度検出部と、温度検出部からの温度検出信号を受けて発光部を一定温度とする温度駆動信号を出力する温度制御部と、発光部の温度を調整する加熱冷却部と、からなる温度安定化部をn個の発光部別にn個備えてなる手段であることを特徴とする多成分対応レーザ式ガス分析計。 - 請求項1〜請求項3の何れか一項に記載した多成分対応レーザ式ガス分析計において、
前記同期検波手段は、高周波変調信号の2倍周波数である参照信号を出力する参照信号発生部と、参照信号を用いて検出信号を同期検波して2倍周波数成分の同期検波信号を出力する同期検波部と、をn種のガス別にn個備えてなる手段であることを特徴とする多成分対応レーザ式ガス分析計。 - 請求項1〜請求項4の何れか一項に記載した多成分対応レーザ式ガス分析計において、
前記波長走査駆動信号の波形は、オフセットを有し、かつ前記レーザ素子への供給電流を直線的に変化させて前記レーザ素子の発光波長を徐々に変化させる部分を有すると共に、一定周期で繰り返される波形であり、
前記オフセットは、前記レーザ素子のスレッショルド電流値以上の電流を前記レーザ素子に供給するような値であることを特徴とする多成分対応レーザ式ガス分析計。 - 請求項1〜請求項5の何れか一項に記載した多成分対応レーザ式ガス分析計において、
前記分析手段は、
前記同期検波信号の少なくとも一部を積分し、その積分値を測定対象ガスの濃度として検出することを特徴とする多成分対応レーザ式ガス分析計。 - 請求項1〜請求項5の何れか一項に記載した多成分対応レーザ式ガス分析計において、
前記分析手段は、
前記同期検波信号のピーク値を測定対象ガスの濃度として検出することを特徴とする多成分対応レーザ式ガス分析計。
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---|---|---|---|
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---|---|
JP2008268064A true JP2008268064A (ja) | 2008-11-06 |
Family
ID=40047756
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007112994A Pending JP2008268064A (ja) | 2007-04-23 | 2007-04-23 | 多成分対応レーザ式ガス分析計 |
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---|---|
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011191246A (ja) * | 2010-03-16 | 2011-09-29 | Fuji Electric Co Ltd | レーザ式ガス分析計 |
JP2011191164A (ja) * | 2010-03-15 | 2011-09-29 | Fuji Electric Co Ltd | レーザ式ガス分析計 |
JP5234381B1 (ja) * | 2012-11-20 | 2013-07-10 | 富士電機株式会社 | レーザ式酸素ガス分析計 |
JP2018087748A (ja) * | 2016-11-29 | 2018-06-07 | リコーインダストリアルソリューションズ株式会社 | ガス検出光学装置およびガス検出装置 |
WO2018135590A1 (ja) * | 2017-01-19 | 2018-07-26 | コニカミノルタ株式会社 | 物質検出装置 |
CN110987867A (zh) * | 2018-10-02 | 2020-04-10 | 阿克塞特里斯股份公司 | 用于激光光谱学的光学测量***中的目标气体的相对定位的方法和*** |
KR20220040250A (ko) * | 2020-09-23 | 2022-03-30 | 국방과학연구소 | 단일 레이저를 사용하는 흡수분광법에 의한 흡수선 측정 방법 및 흡수선 측정 시스템 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60202329A (ja) * | 1984-03-28 | 1985-10-12 | Res Dev Corp Of Japan | 波長可変レーザを用いた吸収分光分析装置 |
JPS60253953A (ja) * | 1984-05-31 | 1985-12-14 | Fujitsu Ltd | ガス濃度測定方式 |
JPS61191965A (ja) * | 1984-12-10 | 1986-08-26 | プルーテック リミティド | 液状分析物中の種のパラメ−タ−を光学的に確認する方法および装置 |
JPH0526804A (ja) * | 1991-07-24 | 1993-02-02 | Tokyo Gas Co Ltd | 多種ガス検出装置 |
JP2004295122A (ja) * | 2003-03-13 | 2004-10-21 | Olympus Corp | 照明切換装置及びその方法 |
JP2006337326A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Toyota Motor Corp | 排ガス分析装置および排ガス分析方法 |
JP2007040995A (ja) * | 2005-08-04 | 2007-02-15 | Ir Microsystems Sa | ガス検出方法及びガス検出装置 |
-
2007
- 2007-04-23 JP JP2007112994A patent/JP2008268064A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60202329A (ja) * | 1984-03-28 | 1985-10-12 | Res Dev Corp Of Japan | 波長可変レーザを用いた吸収分光分析装置 |
JPS60253953A (ja) * | 1984-05-31 | 1985-12-14 | Fujitsu Ltd | ガス濃度測定方式 |
JPS61191965A (ja) * | 1984-12-10 | 1986-08-26 | プルーテック リミティド | 液状分析物中の種のパラメ−タ−を光学的に確認する方法および装置 |
JPH0526804A (ja) * | 1991-07-24 | 1993-02-02 | Tokyo Gas Co Ltd | 多種ガス検出装置 |
JP2004295122A (ja) * | 2003-03-13 | 2004-10-21 | Olympus Corp | 照明切換装置及びその方法 |
JP2006337326A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Toyota Motor Corp | 排ガス分析装置および排ガス分析方法 |
JP2007040995A (ja) * | 2005-08-04 | 2007-02-15 | Ir Microsystems Sa | ガス検出方法及びガス検出装置 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011191164A (ja) * | 2010-03-15 | 2011-09-29 | Fuji Electric Co Ltd | レーザ式ガス分析計 |
JP2011191246A (ja) * | 2010-03-16 | 2011-09-29 | Fuji Electric Co Ltd | レーザ式ガス分析計 |
JP5234381B1 (ja) * | 2012-11-20 | 2013-07-10 | 富士電機株式会社 | レーザ式酸素ガス分析計 |
JP2014102140A (ja) * | 2012-11-20 | 2014-06-05 | Fuji Electric Co Ltd | レーザ式酸素ガス分析計 |
JP2018087748A (ja) * | 2016-11-29 | 2018-06-07 | リコーインダストリアルソリューションズ株式会社 | ガス検出光学装置およびガス検出装置 |
WO2018135590A1 (ja) * | 2017-01-19 | 2018-07-26 | コニカミノルタ株式会社 | 物質検出装置 |
JPWO2018135590A1 (ja) * | 2017-01-19 | 2019-11-07 | コニカミノルタ株式会社 | 物質検出装置 |
JP7088494B2 (ja) | 2017-01-19 | 2022-06-21 | コニカミノルタ株式会社 | 物質検出装置 |
CN110987867A (zh) * | 2018-10-02 | 2020-04-10 | 阿克塞特里斯股份公司 | 用于激光光谱学的光学测量***中的目标气体的相对定位的方法和*** |
CN110987867B (zh) * | 2018-10-02 | 2022-09-30 | 阿克塞特里斯股份公司 | 用于激光光谱学的光学测量***中的目标气体的相对定位的方法和*** |
KR20220040250A (ko) * | 2020-09-23 | 2022-03-30 | 국방과학연구소 | 단일 레이저를 사용하는 흡수분광법에 의한 흡수선 측정 방법 및 흡수선 측정 시스템 |
KR102490824B1 (ko) * | 2020-09-23 | 2023-01-20 | 국방과학연구소 | 단일 레이저를 사용하는 흡수분광법에 의한 흡수선 측정 방법 및 흡수선 측정 시스템 |
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A621 | Written request for application examination |
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A711 | Notification of change in applicant |
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A977 | Report on retrieval |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A02 | Decision of refusal |
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