JP2008262238A - Electrophotographic photosensitive member and image forming apparatus equipped with the same - Google Patents

Electrophotographic photosensitive member and image forming apparatus equipped with the same Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To manufacture an electrophotographic photosensitive member with high yield, by forming a film with less film deposition defects such as minute projections on a cylindrical substrate, as well as suppressing film peel off. <P>SOLUTION: The electrophotographic photosensitive member 2 includes a substantially cylindrical substrate 20 and a photosensitive layer 21, formed on the substrate 20 and having a latent image forming area 22. The photosensitive layer 21 is one, where when incorporated in the image forming apparatus is pressed harder at an intermediate portion 22A of the latent image forming area 22 in the shaft direction than at both end portions 22B, and the photosensitive layer 21 has a dynamic indentation hardness that is larger at the intermediate portion 22A than at both the end portions 22B. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、電子写真感光体およびこれを備えた電子写真方式の画像形成装置に関するものである。   The present invention relates to an electrophotographic photosensitive member and an electrophotographic image forming apparatus including the same.

電子写真方式の複写機やプリンタなどの画像形成装置は、静電潜像およびトナー像が形成される電子写真感光体を備えている。電子写真感光体には、電子写真特性(帯電能、光感度、残留電位などの電位特性、および画像濃度、解像度、コントラスト、階調性などの画像特性)の質および安定性、ならびに耐久性(耐磨耗性、耐刷性、耐環境性、および耐薬品性など)が求められる。それら特性を向上させるために、電子写真感光体としては、導電性基体上に、感光層として光導電層および表面層を積層したものが提案されている。   An image forming apparatus such as an electrophotographic copying machine or a printer includes an electrophotographic photosensitive member on which an electrostatic latent image and a toner image are formed. The electrophotographic photosensitive member has the quality and stability of electrophotographic characteristics (charge characteristics, photosensitivity, potential characteristics such as residual potential, and image characteristics such as image density, resolution, contrast, and gradation), and durability ( Wear resistance, printing durability, environmental resistance, and chemical resistance) are required. In order to improve these characteristics, an electrophotographic photosensitive member in which a photoconductive layer and a surface layer are laminated as a photosensitive layer on a conductive substrate has been proposed.

表面層としては、従来から種々の材料および層構成が提案されている。その一例として、アモルファスシリコン系材料が挙げられる。アモルファスシリコン系材料の中でもとくに、カーボン(C)を含有させたアモルファスシリコンカーバイド(a−SiC)を用いた表面層は、優れた電気的特性、光学的特性、画像特性、および高硬度に基づく耐久性などを有している点で注目されている。電子写真感光体としてはさらに、a−SiCの表面層とアモルファスシリコン系(a−Si系)の光導電層とを組み合わせたものが既に実用化されている。   Various materials and layer structures have been proposed for the surface layer. One example is an amorphous silicon-based material. Among amorphous silicon materials, the surface layer using amorphous silicon carbide (a-SiC) containing carbon (C) has excellent electrical characteristics, optical characteristics, image characteristics, and durability based on high hardness. It is attracting attention because of its characteristics. As an electrophotographic photosensitive member, a combination of an a-SiC surface layer and an amorphous silicon (a-Si) photoconductive layer has already been put into practical use.

アモルファスシリコン系の感光体においては、その軸方向における感光層の厚みムラは軸方向の画像濃度ムラを発生させるため、従来から軸方向における感光層の厚みを略一様(軸方向の両端部の厚みが中央部の厚みに対して±2.5%以内)にする方法が提案されている(たとえば特許文献1−3参照)。   In an amorphous silicon-based photoconductor, the thickness unevenness of the photosensitive layer in the axial direction causes image density unevenness in the axial direction. Therefore, the thickness of the photosensitive layer in the axial direction has conventionally been substantially uniform (at both ends in the axial direction). There has been proposed a method in which the thickness is within ± 2.5% of the thickness of the central portion (see, for example, Patent Documents 1-3).

特許文献1においては、円筒状支持体および原料ガス導入管を囲むように設置される円筒状防着部材の一部領域に複数の排気穴を有する堆積膜形成装置が開示されている。この堆積膜形成装置によれば、複数の排気穴の位置などを適宜設定することにより、装置構成および堆積膜形成工程を複雑化することなく、基体の軸方向に対する堆積膜の厚みムラを低減することができる。   Patent Document 1 discloses a deposited film forming apparatus having a plurality of exhaust holes in a partial region of a cylindrical deposition preventing member installed so as to surround a cylindrical support and a source gas introduction pipe. According to this deposited film forming apparatus, by setting the positions of a plurality of exhaust holes as appropriate, the thickness unevenness of the deposited film in the axial direction of the substrate is reduced without complicating the apparatus configuration and the deposited film forming process. be able to.

特許文献2においては、円筒状電極とガス導入手段とを兼用にし、該電極の壁面にガス放出孔を配置することにより、原料ガスを均一に放電空間内部に放出し、感光層の厚みのバラツキを改善する技術が開示されている。   In Patent Document 2, the cylindrical electrode and the gas introduction means are used together, and the gas discharge holes are arranged on the wall surface of the electrode, so that the source gas is uniformly discharged into the discharge space and the thickness of the photosensitive layer varies. A technique for improving the above is disclosed.

特許文献3においては、原料ガス導入に、円筒状電極とは別に、ガス導入用ガス管を用い、該ガス管に設けたガス放出孔の断面積と間隔を円筒形基板の長手方向で変化させ、原料ガスを均一に放出することにより、感光層の厚みムラの生起が防止された電子写真感光体を得る技術が開示されている。   In Patent Document 3, a gas pipe for gas introduction is used for introducing a raw material gas in addition to the cylindrical electrode, and the cross-sectional area and interval of gas discharge holes provided in the gas pipe are changed in the longitudinal direction of the cylindrical substrate. Further, a technique for obtaining an electrophotographic photosensitive member in which unevenness of the thickness of the photosensitive layer is prevented by uniformly releasing the source gas is disclosed.

a−SiC系の表面層においてはさらに、その表面層の厚みやC含有量についても検討されている(たとえば特許文献4,5)。   In the a-SiC-based surface layer, the thickness and C content of the surface layer are also studied (for example, Patent Documents 4 and 5).

特許文献4においては、表面層の厚みが30Å〜5μm、炭素原子含有量が40〜90原子%の感光体が開示されている。   Patent Document 4 discloses a photoreceptor having a surface layer thickness of 30 to 5 μm and a carbon atom content of 40 to 90 atomic%.

特許文献5においては、Si原子を母体にしてC原子を含み、そのC原子が感光層との界面に始端して自由表面側に向けて濃度が増大する表面層を備えた光受容部材が提案されている。この光受容部材における表面層は、C原子の厚み方向における分布濃度は0.5〜95原子%の範囲であり、表面層の厚みは0.003〜30μmがよいとされている。   Patent Document 5 proposes a light receiving member including a surface layer containing Si atoms as a base, containing C atoms, and the C atoms starting from the interface with the photosensitive layer and increasing in density toward the free surface side. Has been. In the surface layer of this light receiving member, the distribution concentration of C atoms in the thickness direction is in the range of 0.5 to 95 atomic%, and the thickness of the surface layer is preferably 0.003 to 30 μm.

特開平11−343573号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-343573 特開昭59−213439号公報JP 59-213439 A 特開昭58−30125号公報JP 58-30125 A 特公平01−10069号公報Japanese Patent Publication No. 01-10069 特開昭62−258466号公報JP-A-62-258466

しかしながら、先の公報に提案された電子写真感光体においては、a−SiC系の表面層を備えているにしても、その電子写真感光体を電子写真方式の画像形成装置に搭載して耐刷を行なった場合には、画像キズおよび画像濃度ムラ(濃度低下もしくはかぶり)等の画像不良が生じるという問題点があった。この画像不良の発生の一因としては、表面層における削れを挙げることができる。たとえば、トナーには、コロナ放電時の放電生成物が表面層に吸着されることを防止すべく、表面層の極表面を研磨するための研磨剤等が混ぜられている。そのため、画像がよく印字される中央付近は、両端部などの他の部分に比べて、表面層が削られやすく、これが画像キズを生じさせる原因となる。   However, even if the electrophotographic photosensitive member proposed in the above publication has an a-SiC-based surface layer, the electrophotographic photosensitive member is mounted on an electrophotographic image forming apparatus and printed. However, there is a problem that image defects such as image scratches and image density unevenness (density reduction or fogging) occur. One cause of the occurrence of this image defect is scraping in the surface layer. For example, the toner is mixed with an abrasive or the like for polishing the extreme surface of the surface layer in order to prevent the discharge product during corona discharge from being adsorbed on the surface layer. Therefore, in the vicinity of the center where the image is often printed, the surface layer is more easily scraped than other portions such as both ends, which causes image flaws.

そこで、かかる画像キズの発生を防止するために、表面層の組成等を変えて硬くし、あるいは表面層の厚みを厚くしてキズを発生させにくくする技術が提案され、すでに実用化されている。その反面、表面層を硬くし、あるいは表面層の厚みを大きくした場合には、感光体の帯電能の低下や残留電位の増加が生じたり、感光体表面のトナーが付着(ブレードにすきま)したり、画像流れと呼ばれる画像ボケが発生したり、感光体の製造時間(成膜時間)が長くなるなどの問題点があった。   Therefore, in order to prevent the occurrence of such image scratches, a technique for changing the composition of the surface layer to make it harder or increasing the thickness of the surface layer to make it difficult to generate scratches has been proposed and has already been put into practical use. . On the other hand, if the surface layer is hardened or the thickness of the surface layer is increased, the chargeability of the photoconductor may decrease or the residual potential may increase, or toner on the photoconductor surface may adhere (clearance on the blade). In other words, there are problems such as occurrence of image blur called image flow, and a longer manufacturing time (film formation time) of the photoreceptor.

本発明は、耐刷を行なっても画像キズおよび画像特性の劣化が生じ難い、長寿命で長期信頼性の高い電子写真感光体およびこれを備えた画像形成装置を提供することを課題としている。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an electrophotographic photosensitive member having a long life and high long-term reliability, and an image forming apparatus including the same, in which image scratches and image characteristics are not easily deteriorated even after printing.

本発明の第1の側面においては、画像形成装置において回転可能に支持される電子写真感光体であって、略円筒形をなす基体と、前記基体上に形成されているとともに、潜像形成領域を有する感光層と、を備えており、前記感光層は、前記画像形成装置に組み込んだときに、前記潜像形成領域における軸方向の中央部が両端部よりも強く押圧されるものであり、かつ、前記中央部の動的押し込み硬さが、前記両端部の動的押し込み硬さよりも大きくなっていることを特徴とする、電子写真感光体が提供される。   According to a first aspect of the present invention, there is provided an electrophotographic photosensitive member that is rotatably supported in an image forming apparatus, the substrate having a substantially cylindrical shape, and a latent image forming region formed on the substrate. And the photosensitive layer is one in which the central portion in the axial direction of the latent image forming region is pressed more strongly than both ends when incorporated in the image forming apparatus, In addition, an electrophotographic photosensitive member is provided in which the dynamic indentation hardness of the central portion is larger than the dynamic indentation hardness of the both end portions.

前記感光層の動的押し込み硬さは、たとえば前記中央部から前記両端部に向かって漸次、あるいは段階的に小さくなっている。   The dynamic indentation hardness of the photosensitive layer is gradually or gradually decreased from the central portion toward the both end portions, for example.

好ましくは、前記感光層は、前記中央部の動的押し込み硬さが前記両端部の動的押し込み硬さの1.03倍以上1.25倍以下とされる。前記感光層は、たとえば前記中央部の動的押し込み硬さが500以上1500以下とされる。一方、前記感光層は、たとえば前記両端部の動的押し込み硬さが485以上1456以下とされる。   Preferably, the photosensitive layer has a dynamic indentation hardness of the central portion of 1.03 times or more and 1.25 times or less of the dynamic indentation hardness of the both end portions. The photosensitive layer has, for example, a dynamic indentation hardness of 500 to 1500 in the central portion. On the other hand, the photosensitive layer has, for example, a dynamic indentation hardness of 485 or more and 1456 or less at both ends.

前記感光層は、たとえば光導電層および表面層を含んでいる。前記光導電層および前記表面層のうちの少なくとも一方は、たとえば無機物系材料を含んでいる。   The photosensitive layer includes, for example, a photoconductive layer and a surface layer. At least one of the photoconductive layer and the surface layer contains, for example, an inorganic material.

本発明の第2の側面においては、回転可能に支持された略円筒形をなす基体上に、潜像形成領域を有する感光層が形成された電子写真感光体と、前記潜像形成領域における軸方向の中央部が両端部よりも強く押圧する押圧部材と、を備えており、前記電子写真感光体は、本発明の第1の側面に係るものであることを特徴とする、画像形成装置が提供される。   In the second aspect of the present invention, an electrophotographic photosensitive member in which a photosensitive layer having a latent image forming region is formed on a substantially cylindrical substrate rotatably supported, and an axis in the latent image forming region. An image forming apparatus, wherein the electrophotographic photosensitive member is according to the first aspect of the present invention. Provided.

前記押圧部材は、たとえば前記電子写真感光体との押圧部における硬さが、JIS硬さ(JIS K6253準拠 タイプA 押針質量180g、押針高さ2.5mm)で67度以上84度以下である。   The pressing member has, for example, a hardness at a pressing portion with respect to the electrophotographic photosensitive member of 67 degrees or more and 84 degrees or less in JIS hardness (JIS K6253 compliant type A pressing needle mass 180 g, pressing needle height 2.5 mm). is there.

本発明によれば、電子写真感光体における感光層が、軸方向の両端部に比べて中央部のほうが動的押し込み硬さが大きくされているため、削れ量の多い中央部でも耐刷による画像キズおよび軸方向画像濃度ムラの発生を防止することができる。   According to the present invention, the photosensitive layer of the electrophotographic photosensitive member has a dynamic indentation hardness that is larger at the center than at both ends in the axial direction. Scratches and occurrence of uneven image density in the axial direction can be prevented.

とくに、端部に向うほど漸次あるいは段階的に動的押し込み硬さが小さくなるように、たとえば中央部の動的押し込み硬さを両端部の動的押し込み硬さの1.03倍以上1.25倍以下することにより、初期状態での画像濃度ムラを防止しつつ、耐刷による画像キズおよび画像濃度ムラの発生を防止できる。   In particular, for example, the dynamic indentation hardness at the center is set to 1.03 times or more of the dynamic indentation hardness at both ends so that the dynamic indentation hardness decreases gradually or stepwise toward the end. By reducing the number of times or less, it is possible to prevent the occurrence of image scratches and image density unevenness due to printing durability while preventing image density unevenness in the initial state.

本発明の電子写真感光体において表面層における中央部の動的押し込み硬さを500以上1500以下とした場合も同様に、初期状態での画像濃度ムラを防止しつつ、耐刷による画像キズおよび画像濃度ムラの発生を防止できる。   Similarly, when the dynamic indentation hardness of the central portion of the surface layer in the electrophotographic photosensitive member of the present invention is set to 500 or more and 1500 or less, similarly, image scratches and images due to printing durability are prevented while preventing image density unevenness in the initial state. Generation of density unevenness can be prevented.

本発明の電子写真感光体ではさらに、軸方向の両端部に比べて中央部のほうが表面層の動的押し込み硬さが大きいので、たとえば電子写真感光体の外周面を押圧する部材(クリーニングブレード、摺察ローラ、帯電ローラ、現像ローラ、あるいはブラシなど)と電子写真感光体との間に異物が咬み込んだ場合においても、表面層の中央部の内方に位置する光導電層に損傷を与え難い。そのため、本発明の電子写真感光体では、軸方向の中央部において感光層、たとえば光導電層の機能が破壊され難い。   Further, in the electrophotographic photosensitive member of the present invention, since the dynamic indentation hardness of the surface layer is larger at the center portion than at both axial end portions, for example, a member (cleaning blade, etc.) that presses the outer peripheral surface of the electrophotographic photosensitive member. Even if a foreign object is caught between the electrophotographic photosensitive member and a roller, a charging roller, a developing roller, or a brush), the photoconductive layer located in the center of the surface layer is damaged. hard. Therefore, in the electrophotographic photosensitive member of the present invention, the function of the photosensitive layer, for example, the photoconductive layer, is hardly broken at the central portion in the axial direction.

以下、本発明に係る画像形成装置および電子写真感光体ついて、添付図面を参照しつつ具体的に説明する。   Hereinafter, an image forming apparatus and an electrophotographic photosensitive member according to the present invention will be specifically described with reference to the accompanying drawings.

図1に示した画像形成装置1は、画像形成方式としてカールソン法を採用したものであり、電子写真感光体2、帯電器41、露光器42、現像器43、転写器44、定着器45、クリーニング器46、および除電器47を備えたものである。   The image forming apparatus 1 shown in FIG. 1 employs the Carlson method as an image forming method, and includes an electrophotographic photosensitive member 2, a charging device 41, an exposure device 42, a developing device 43, a transfer device 44, a fixing device 45, A cleaning device 46 and a static eliminator 47 are provided.

電子写真感光体2は、画像信号に基づいた静電潜像やトナー像が形成されるものであり、図1の矢印A方向に回転可能とされている。図2(a)および図2(b)に示したように、電子写真感光体2は、円筒状基体20の外周面に感光層21が形成されたものである。   The electrophotographic photosensitive member 2 forms an electrostatic latent image or a toner image based on an image signal, and is rotatable in the direction of arrow A in FIG. As shown in FIGS. 2A and 2B, the electrophotographic photosensitive member 2 has a photosensitive layer 21 formed on the outer peripheral surface of a cylindrical substrate 20.

円筒状基体20は、電子写真感光体2の骨格をなすとともに、その外周面上で静電潜像を担持するものである。円筒状基体20の軸方向の長さLは、使用が予定される記録紙などの記録媒体Pの最大のものの長さよりも若干長くされている。具体的には、円筒状基体20の軸方向の長さLは、たとえば記録媒体Pの両端から0.5cm以上5cm以下程度長くなるように設定されている。このため、感光層21は、記録媒体Pの最大長さに対応した潜像形成領域22と、この潜像形成領域22に隣接して両端部に設けられた非潜像形性領域23と、を有することとなる。すなわち、非潜像形成領域23とは、どのような画像サイズに対応した潜像を感光層21に形成するに当たっても、全く使用が予定されない感光層21の領域(潜像形成領域22の軸方向の外側)をいう。   The cylindrical substrate 20 forms a skeleton of the electrophotographic photosensitive member 2 and carries an electrostatic latent image on the outer peripheral surface thereof. The length L in the axial direction of the cylindrical substrate 20 is slightly longer than the maximum length of the recording medium P such as recording paper to be used. Specifically, the axial length L of the cylindrical substrate 20 is set to be longer than the end of the recording medium P by about 0.5 cm to 5 cm, for example. For this reason, the photosensitive layer 21 includes a latent image forming region 22 corresponding to the maximum length of the recording medium P, non-latent image property regions 23 provided at both ends adjacent to the latent image forming region 22, It will have. In other words, the non-latent image forming region 23 is a region of the photosensitive layer 21 that is not planned to be used at all when forming a latent image corresponding to any image size on the photosensitive layer 21 (the axial direction of the latent image forming region 22). Outside).

円筒状基体20は、内径が相対的に大きいインロー部24を有している。インロー部24は、フランジ25が嵌合される部分である。フランジ25は、電子写真感光体2を回転可能に支持するとともに、図外の回転機構からの回転動力を電子写真感光体2に伝達するためのものである。図示したインロー部24は、非潜像形成領域23に対応する部分に収まっているが、潜像形成領域22に対応する部分にまで及んでも構わない。   The cylindrical base body 20 has an inlay portion 24 having a relatively large inner diameter. The inlay portion 24 is a portion into which the flange 25 is fitted. The flange 25 is for rotatably supporting the electrophotographic photosensitive member 2 and for transmitting rotational power from a rotating mechanism (not shown) to the electrophotographic photosensitive member 2. The illustrated inlay portion 24 is accommodated in a portion corresponding to the non-latent image forming region 23, but may extend to a portion corresponding to the latent image forming region 22.

このような円筒状基体20は、少なくとも表面に導電性を有するものとされている。すなわち、円筒状基体20は、全体を導電性材料により形成してもよいし、絶縁性材料により形成した円筒体の表面に導電性膜を形成したものであってもよい。円筒状基体20のための導電性材料としては、たとえばAlあるいはSUS(ステンレス)、Zn、Cu、Fe、Ti、Ni、Cr、Ta、Sn、Au、およびAgなどの金属材料、それらの金属の合金材料を使用することができる。円筒状基体20のための絶縁材料としては、樹脂、ガラスあるいはセラミックなどを挙げることができる。導電性膜のための材料としては、先に例示した金属の他、ITO(Indium Tin Oxide)、SnOなどの透明導電性材料を挙げることができる。これらの透明導電性材料は、たとえば蒸着などの公知の手法により、絶縁性を有する円筒体の表面に被着させることができる。ただし、円筒状基体20は、全体をAl合金材料により形成するのが好ましい。そうすれば、電子写真感光体2が軽量かつ低コストに製造可能となり、その上、後述する感光層21の電荷注入阻止層27や光導電層28をアモルファスシリコン系(a−Si系)材料により形成する場合に、それらの層27,28との密着性が高くなって信頼性が向上する。 Such a cylindrical substrate 20 is at least conductive on the surface. That is, the cylindrical base body 20 may be entirely formed of a conductive material, or may be formed by forming a conductive film on the surface of a cylindrical body formed of an insulating material. Examples of the conductive material for the cylindrical substrate 20 include metal materials such as Al or SUS (stainless steel), Zn, Cu, Fe, Ti, Ni, Cr, Ta, Sn, Au, and Ag, and those metals. Alloy materials can be used. Examples of the insulating material for the cylindrical substrate 20 include resin, glass, and ceramic. Examples of the material for the conductive film include transparent conductive materials such as ITO (Indium Tin Oxide) and SnO 2 in addition to the metals exemplified above. These transparent conductive materials can be deposited on the surface of an insulating cylinder by a known method such as vapor deposition. However, it is preferable that the cylindrical base body 20 is entirely formed of an Al alloy material. Then, the electrophotographic photosensitive member 2 can be manufactured at a low cost and at a low cost. In addition, the charge injection blocking layer 27 and the photoconductive layer 28 of the photosensitive layer 21 to be described later are made of an amorphous silicon (a-Si) material. In the case of forming, the adhesiveness with the layers 27 and 28 is increased, and the reliability is improved.

図2(a)に示した感光層21は、電荷注入阻止層27、光導電層28、および表面層29を積層形成したものである。この感光層21は、潜像形成領域22において、軸方向の中央部22Aのほうが両端部22Bに比べて、厚みおよび動的押し込み硬さが大きくなされている。   The photosensitive layer 21 shown in FIG. 2A is formed by laminating a charge injection blocking layer 27, a photoconductive layer 28, and a surface layer 29. In the latent image forming region 22, the photosensitive layer 21 has a greater thickness and dynamic indentation hardness at the axial center portion 22A than at both end portions 22B.

感光層21の中央部22Aでの動的押し込み硬さは、たとえば両端部22Bでの動的押し込み硬さの1.03倍以上1.25倍以下とされる。感光層21の中央部22Aでの動的押し込み硬さは、たとえば500以上1500以下とされ、感光層21の両端部22Bでの動的押し込み硬さは、たとえば485以上1456以下とされる。また、感光層21の中央部22Aでの動的押し込み硬さと両端部22Bでの動的押し込み硬さの差は、たとえば25以上170以下とされる。   The dynamic indentation hardness at the central portion 22A of the photosensitive layer 21 is, for example, 1.03 times or more and 1.25 times or less than the dynamic indentation hardness at both end portions 22B. The dynamic indentation hardness at the central portion 22A of the photosensitive layer 21 is, for example, 500 or more and 1500 or less, and the dynamic indentation hardness at both end portions 22B of the photosensitive layer 21 is, for example, 485 or more and 1456 or less. The difference between the dynamic indentation hardness at the central portion 22A of the photosensitive layer 21 and the dynamic indentation hardness at both end portions 22B is, for example, 25 or more and 170 or less.

感光層21の動的押し込み硬さとは、動的押し込み法にて測定した値を言う。このような動的押し込み硬さは、電子写真感光体2を10mm×20mmのサイズに切り出した断片を、「動的押し込み−201」(SHIMADZU社製)を用いて測定することにより得ることができる。この装置を用いる場合、圧子として115°三角錐を用い、測定条件が押し込み深さ100nm、荷重レンジ19.6mN、負荷速度0.284393mN、保持時間5secに設定される。   The dynamic indentation hardness of the photosensitive layer 21 refers to a value measured by a dynamic indentation method. Such dynamic indentation hardness can be obtained by measuring a fragment obtained by cutting the electrophotographic photosensitive member 2 into a size of 10 mm × 20 mm using “dynamic indentation-201” (manufactured by SHIMADZU). . When this apparatus is used, a 115 ° triangular pyramid is used as an indenter, and the measurement conditions are set to an indentation depth of 100 nm, a load range of 19.6 mN, a load speed of 0.284393 mN, and a holding time of 5 sec.

電荷注入阻止層27は、円筒状基体20からの電子や正孔が光導電層28に注入されるのを抑制するためのものであり、光導電層28の材料に応じて種々のものを用いることができる。電荷注入阻止層27は、たとえば無機材料により形成されており、光導電層28にa−Si系材料を用いる場合であれば、電荷注入阻止層27のための無機材料としてa−Si系の材料のものを使用するのが好ましい。そうすることにより、円筒状基体20と光導電層28との密着性に優れた電子写真特性を得ることができる。   The charge injection blocking layer 27 is for suppressing injection of electrons and holes from the cylindrical substrate 20 into the photoconductive layer 28, and various types are used depending on the material of the photoconductive layer 28. be able to. The charge injection blocking layer 27 is formed of, for example, an inorganic material. If an a-Si based material is used for the photoconductive layer 28, an a-Si based material is used as the inorganic material for the charge injection blocking layer 27. Are preferably used. By doing so, it is possible to obtain electrophotographic characteristics with excellent adhesion between the cylindrical substrate 20 and the photoconductive layer 28.

a−Si系の電荷注入阻止層27を設ける場合は、a−Si系光導電層28と比べて、より多くの周期律表第13族元素(以下、「第13族元素」と略す)や周期律表第15族元素(以下、「第15族元素」と略す)を含有させて導電型を調整し、また多くの硼素(B)、窒素(N)、あるいは酸素(O)を含有させて高抵抗化するとよい。   In the case where the a-Si based charge injection blocking layer 27 is provided, as compared with the a-Si based photoconductive layer 28, more Group 13 elements of the periodic table (hereinafter abbreviated as “Group 13 element”) and The conductivity type is adjusted by adding a Group 15 element (hereinafter abbreviated as “Group 15 element”) in the periodic table, and a large amount of boron (B), nitrogen (N), or oxygen (O) is included. To increase the resistance.

なお、電界注入阻止層27は、選択的なものであり、必ずしも必要なものではなく、図2(b)に示したように、感光層21は光導電層28および表面層29のみから構成されていてもよい。また、電荷注入阻止層27に代えて、長波長光吸収層を設けてもよい。この長波長光吸収層を設けると、露光時に入射した長波長光(波長が0.8μm以上の光をいう。)が円筒状基体20の表面で反射し、記録画像に干渉縞が発生することを抑制することが可能となる。   The electric field injection blocking layer 27 is optional and is not always necessary. As shown in FIG. 2B, the photosensitive layer 21 includes only the photoconductive layer 28 and the surface layer 29. It may be. Further, instead of the charge injection blocking layer 27, a long wavelength light absorption layer may be provided. When this long-wavelength light absorption layer is provided, long-wavelength light incident during exposure (referred to as light having a wavelength of 0.8 μm or more) is reflected on the surface of the cylindrical substrate 20, and interference fringes are generated in the recorded image. Can be suppressed.

光導電層28は、露光器42によるレーザ光などの光照射によって電子が励起され、自由電子あるいは正孔などのキャリアを発生させるためのものであり、たとえばa−Si系材料、a−Se、Se−Te、およびAs2Se3などのアモルファスセレン系(a−Se系)材料、あるいはZnO、CdS、CdSeなどの周期律表第12族元素と第16族元素との化合物などにより形成されている。a−Si系材料としては、a−Si、a−SiC、a−SiN、a−SiO、a−SiGe、a−SiCN、a−SiNO、a−SiCOおよびa−SiCNOなどを使用することができる。特に、光導電層28をa−Siあるいはa−SiにC、N、Oなどの元素を加えたa−Si系の合金材料により形成した場合には、高い光感度特性、高速応答性、繰り返し安定性、耐熱性、および耐久性などの優れた電子写真特性が安定して得られるのに加え、表面層29をa−SiC:Hにより形成する場合における表面層29との整合性が優れたものとなる。なお、光導電層28は、前述の無機物系材料を粒子化し、それを樹脂に分散させた形態、あるいはOPC系光導電層として形成してもよい。   The photoconductive layer 28 is used for generating electrons such as free electrons or holes when electrons are excited by irradiation of light such as laser light from the exposure device 42. For example, the photoconductive layer 28 includes a-Si-based materials, a-Se, It is formed of an amorphous selenium (a-Se) material such as Se-Te and As2Se3, or a compound of a group 12 element and a group 16 element in the periodic table such as ZnO, CdS, CdSe. As the a-Si material, a-Si, a-SiC, a-SiN, a-SiO, a-SiGe, a-SiCN, a-SiNO, a-SiCO, a-SiCNO, and the like can be used. . In particular, when the photoconductive layer 28 is formed of a-Si or an a-Si alloy material in which elements such as C, N, and O are added to a-Si, high photosensitivity characteristics, high-speed response, and repetition Excellent electrophotographic characteristics such as stability, heat resistance, and durability can be stably obtained, and the compatibility with the surface layer 29 when the surface layer 29 is formed of a-SiC: H is excellent. It will be a thing. The photoconductive layer 28 may be formed as a form in which the above-mentioned inorganic material is made into particles and dispersed in a resin, or as an OPC photoconductive layer.

光導電層28は、全体を無機物として膜形成する場合には、たとえばグロー放電分解法、各種スパッタリング法、各種蒸着法、ECR法、光CVD法、触媒CVD法、あるいは反応性蒸着 法など公知の成膜手法により形成することができる。光導電層28の成膜に当たっては、ダングリングボンド終端用に水素(H)やハロゲン元素(F、Cl)を、膜中に1原子%以上40原子%以下含有させてもよい。また、光導電層28の形成に当たっては、各層の暗導電率や光導電率などの電気的特性および光学的バンドギャップなどについて所望の特性を得るために、第13族元素や第15族元素を0.1ppm以上20000ppm以下含有させたり、C、N、O等の元素の含有量を0.01ppm以上100ppm以下の範囲で調整することにより、上記諸特性を調整する。   In the case where the photoconductive layer 28 is formed as an inorganic material as a whole, for example, a glow discharge decomposition method, various sputtering methods, various vapor deposition methods, an ECR method, a photo CVD method, a catalytic CVD method, or a reactive vapor deposition method is known. It can be formed by a film formation technique. In forming the photoconductive layer 28, hydrogen (H) or halogen elements (F, Cl) may be contained in the film for 1 to 40 atom% for dangling bond termination. Further, in forming the photoconductive layer 28, in order to obtain desired characteristics such as electrical characteristics such as dark conductivity and photoconductivity of each layer and optical band gap, group 13 elements and group 15 elements are added. The above characteristics are adjusted by adding 0.1 ppm to 20000 ppm or adjusting the content of elements such as C, N, and O in the range of 0.01 ppm to 100 ppm.

また、第13族元素および第15族元素としては、共有結合性に優れて半導体特性を敏感に変え得る点および優れた光感度が得られる点で、硼素(B)およびリン(P)を用いるのが望ましい。第13属元素および第15属元素をC、N、O等の元素とともに含有させる場合には、第13族元素は0.1ppm以上20000ppm以下であるのが好ましく、第15族元素は0.1ppm以上10000ppm以下であるのが好ましい。   Further, as the group 13 element and the group 15 element, boron (B) and phosphorus (P) are used in that they are excellent in covalent bonding, can change the semiconductor characteristics sensitively, and can obtain excellent photosensitivity. Is desirable. When a Group 13 element and a Group 15 element are contained together with elements such as C, N, and O, the Group 13 element is preferably 0.1 ppm or more and 20000 ppm or less, and the Group 15 element is 0.1 ppm. It is preferably 10000 ppm or less.

光導電層28にC、N、O等の元素を含有させないか、あるいは微量(0.01ppm以上100ppm以下)含有させる場合は、第13族元素の含有量は0.01ppm以上200ppm以下、第15族元素の含有量は0.01ppm以上100ppm以下であるのが好ましい。これらの元素の含有率は層厚方向にわたって濃度勾配があってもよく、その場合には層全体の平均含有量が上記範囲内であればよい。   When the photoconductive layer 28 does not contain an element such as C, N, or O, or contains a trace amount (0.01 ppm or more and 100 ppm or less), the content of the Group 13 element is 0.01 ppm or more and 200 ppm or less, The content of the group element is preferably 0.01 ppm or more and 100 ppm or less. The content of these elements may have a concentration gradient in the layer thickness direction. In that case, the average content of the entire layer may be within the above range.

光導電層28をa−Si系材料により形成する場合には、μc−Si(微結晶シリコン)を含有させてもよく、その場合には、暗導電率および光導電率を高めることができるので、光導電層28の設計自由度が増すという利点がある。このようなμc−Siは、先に説明したのと同様の形成法を採用し、その成膜条件を変えることによって形成することができる。たとえばグロー放電分解法では、円筒状基体20の温度および高周波電力をa−Siの場合よりも高めに設定し、希釈ガスとしての水素流量を増すことによって形成できる。また、μc−Siを含む場合にも上記と同様の不純物元素を添加させてもよい。   When the photoconductive layer 28 is formed of an a-Si-based material, μc-Si (microcrystalline silicon) may be included, and in that case, dark conductivity and photoconductivity can be increased. There is an advantage that the degree of freedom in designing the photoconductive layer 28 is increased. Such μc-Si can be formed by adopting the same formation method as described above and changing the film formation conditions. For example, the glow discharge decomposition method can be formed by setting the temperature and high-frequency power of the cylindrical substrate 20 higher than in the case of a-Si and increasing the flow rate of hydrogen as a dilution gas. Further, when μc-Si is included, an impurity element similar to the above may be added.

光導電層28の厚みは、使用する光導電性材料および所望とする電子写真特性により適宜設定すればよいが、軸方向において一様とするのが好ましい。ここで、光導電層28の厚みが一様とは、潜像形成領域22における中央部22Aでの厚みと両端部22Bでの厚みの比が±2.5%以下という。光導電層28は、a−Si系材料を用いて形成する場合には、その厚みが5.15μm以上125μm以下とされる。   The thickness of the photoconductive layer 28 may be appropriately set depending on the photoconductive material to be used and desired electrophotographic characteristics, but is preferably uniform in the axial direction. Here, the uniform thickness of the photoconductive layer 28 means that the ratio of the thickness at the central portion 22A to the thickness at both end portions 22B in the latent image forming region 22 is ± 2.5% or less. When the photoconductive layer 28 is formed using an a-Si-based material, the thickness is set to 5.15 μm or more and 125 μm or less.

光導電層28の厚みは、潜像形成領域22における中央部22Aでの厚みが、潜像形成領域22における両端部22Bでの厚みに比べて大きくしてもよい。この場合の光導電層28の厚みは、中央部22Aから両端部22Bに向けて漸次、あるいは段階的に大きくなるようにするのが好ましい。   As for the thickness of the photoconductive layer 28, the thickness at the central portion 22 </ b> A in the latent image forming region 22 may be larger than the thickness at both end portions 22 </ b> B in the latent image forming region 22. In this case, the thickness of the photoconductive layer 28 is preferably increased gradually or stepwise from the central portion 22A toward both end portions 22B.

ここで、潜像形成領域22の端部22Bとは、円筒状基体20の軸方向の長さをLとした場合、感光層21における円筒状基体20の軸方向の一方または他方の端から0.1L以上0.25L以下である領域とする。   Here, the end 22B of the latent image forming region 22 is 0 from one or the other end in the axial direction of the cylindrical substrate 20 in the photosensitive layer 21 when the length of the cylindrical substrate 20 in the axial direction is L. The region is 1L or more and 0.25L or less.

潜像形成領域22における光導電層28の中央部22Aおよび両端部22Bでの厚みとは、それぞれの周方向に沿った任意の5点につき測定し、その5点の平均値をいう。ただし、厚みの測定においては、膜欠陥や膜破壊等が生じているといった特殊な部位は除くものとする。光導電層28の厚みは、光干渉法によって算出される。より具体的には、測定箇所に1000nm以上1100nm以下の光を入射させて透過率の曲線を描き、透過率の極大極小および表面層の屈折率から厚みを算出する(参考:薄膜材料測定・評価 発刊 (株)技術情報協会 P42〜46)。   The thicknesses at the central portion 22A and both end portions 22B of the photoconductive layer 28 in the latent image forming region 22 are measured at arbitrary five points along the respective circumferential directions, and mean the average value of the five points. However, in the thickness measurement, special parts such as film defects or film breakage are excluded. The thickness of the photoconductive layer 28 is calculated by a light interference method. More specifically, light of 1000 nm or more and 1100 nm or less is incident on the measurement location to draw a transmittance curve, and the thickness is calculated from the maximum and minimum transmittance and the refractive index of the surface layer (reference: measurement and evaluation of thin film material) Publication (Technical Information Association, P42-46).

このような光導電層28は、たとえば図3および図4に示したグロー放電分解装置5を用いて形成することができる。図示したグロー放電分解装置5は、円筒状の真空容器50の中央部に配置した基体支持体51に円筒状基体20を支持させ、グロー放電プラズマにより円筒状基体20にa−Si系膜を成膜するものである。このグロー放電分解装置5では、基体支持体51が接地されているとともに、真空容器50が高周波電源52に接続されており、真空容器50と基体支持体51(円筒状基体20)との間に高周波電力を印加できるようになされている。基体支持体51は、回転機構53によって回転可能とされており、その内部に配置されたヒータ54によって加熱されるようになっている。このグロー放電分解装置5にはさらに、複数(図面上は8個)のガス導入管55が基体支持体51(円筒状基体20)を囲むように配置されている。各ガス導入管55は、その軸方向に並ぶように複数のガス導入口56が設けられたものである。各ガス導入管55における複数のガス導入口56は、円筒状基体20に対面するように配置されており、複数のガス導入口56を介して導入された原料ガスが、円筒状基体20に向けて吹き出すように構成されている。   Such a photoconductive layer 28 can be formed using, for example, the glow discharge decomposition apparatus 5 shown in FIGS. In the illustrated glow discharge decomposition apparatus 5, a cylindrical substrate 20 is supported on a substrate support 51 disposed in the center of a cylindrical vacuum vessel 50, and an a-Si film is formed on the cylindrical substrate 20 by glow discharge plasma. It is a film. In this glow discharge decomposition apparatus 5, the substrate support 51 is grounded, and the vacuum vessel 50 is connected to the high frequency power source 52, and between the vacuum vessel 50 and the substrate support 51 (cylindrical substrate 20). High frequency power can be applied. The substrate support 51 is rotatable by a rotation mechanism 53, and is heated by a heater 54 disposed therein. Further, a plurality (eight in the drawing) of gas introduction pipes 55 are arranged in the glow discharge decomposition apparatus 5 so as to surround the substrate support 51 (cylindrical substrate 20). Each gas introduction pipe 55 is provided with a plurality of gas introduction ports 56 so as to be aligned in the axial direction. The plurality of gas introduction ports 56 in each gas introduction pipe 55 are arranged so as to face the cylindrical substrate 20, and the raw material gas introduced through the plurality of gas introduction ports 56 is directed toward the cylindrical substrate 20. It is configured to blow out.

このグロー放電分解装置5を用いて円筒状基体20にa−Si系膜の成膜を行なうに当たっては、所定の流量やガス比に設定された原料ガスが、ガス導入管55からガス導入口56を介して円筒状基体20に向けて導入される。このとき、円筒状基体20は、基体支持体51とともに回転機構53によって回転させられている。そして、高周波電源52により真空容器50と基体支持体51(円筒状基体20)との間に高周波電力を印加し、これらの間にグロー放電によって原料ガスを分解することにより、所望の温度に設定した円筒状基体20上にa−Si系膜が成膜される。   In forming an a-Si-based film on the cylindrical substrate 20 using the glow discharge decomposition apparatus 5, a raw material gas set at a predetermined flow rate and gas ratio is supplied from a gas introduction pipe 55 to a gas introduction port 56. It introduce | transduces toward the cylindrical base | substrate 20 via. At this time, the cylindrical substrate 20 is rotated together with the substrate support 51 by the rotation mechanism 53. Then, a high frequency power is applied between the vacuum vessel 50 and the substrate support 51 (cylindrical substrate 20) by a high frequency power source 52, and a raw material gas is decomposed by glow discharge between them to set a desired temperature. An a-Si film is formed on the cylindrical substrate 20.

このようなグロー放電分解装置5を用いる場合には、ガス導入管55における複数のガス導入口56の配置密度を適宜設定することにより、光導電層28の厚みを一様にし、あるいは、中央部22Aの厚みを両端部22Bに比べて大きくすることができる。たとえば、中央部22Aの厚みを両端部22Bに比べて大きくする場合には、図5に示したように、ガス導入管55における光導電層28の中央部22Aに対応するX領域については、両端部22Bに対応するY領域に比べて複数のガス導入口56の配置密度を大きくすればよい。この場合、Y領域に対するX領域の配置密度の比は、中央部22Aおよび両端部22Bでの光導電層28の厚みや厚みの比に応じて設定すればよいが、たとえば1.06倍以上2.25倍以下に設定される。   When such a glow discharge decomposition apparatus 5 is used, the thickness of the photoconductive layer 28 is made uniform by appropriately setting the arrangement density of the plurality of gas introduction ports 56 in the gas introduction pipe 55 or the central portion. The thickness of 22A can be made larger than both end portions 22B. For example, when the thickness of the central portion 22A is larger than that of the both end portions 22B, as shown in FIG. 5, the X region corresponding to the central portion 22A of the photoconductive layer 28 in the gas introduction pipe 55 is What is necessary is just to enlarge arrangement | positioning density of the several gas inlet 56 compared with Y area | region corresponding to the part 22B. In this case, the ratio of the arrangement density of the X region to the Y region may be set according to the thickness and the thickness ratio of the photoconductive layer 28 at the central portion 22A and both end portions 22B. Set to 25 times or less.

また、ヒータ54によって円筒状基体20に対して軸方向に温度分布を持たせることにより、光導電層28の中央部22Aにおける厚みを両端部22Bにおける厚みよりも大きくすることもできる。より具体的には、円筒状基体20における中央部22Aに対応する部分の温度を、両端部22Bに対応する部分の温度よりも高くすることにより、中央部22Aにおける厚みを、両端部22Bにおける厚みよりも大きくすることができる。この場合、図6に示したガス導入管55′が通常使用される。ガス導入管55′は、光導電層28の中央部22Aに対応するX領域と両端部22Bに対応するY領域のガス導入口56′の配置密度が実質的に同様とされたものである。   In addition, by providing a temperature distribution in the axial direction with respect to the cylindrical substrate 20 by the heater 54, the thickness of the central portion 22A of the photoconductive layer 28 can be made larger than the thickness of both end portions 22B. More specifically, by making the temperature of the portion corresponding to the central portion 22A in the cylindrical base body 20 higher than the temperature of the portion corresponding to both end portions 22B, the thickness at the central portion 22A is changed to the thickness at both end portions 22B. Can be larger. In this case, the gas introduction pipe 55 ′ shown in FIG. 6 is usually used. The gas introduction pipe 55 'has substantially the same arrangement density of the gas introduction ports 56' in the X region corresponding to the central portion 22A of the photoconductive layer 28 and the Y region corresponding to both end portions 22B.

なお、光導電層28における軸方向の厚みを一様なものとする場合には、図7に示したガス導入管55′を用いるとともに、円筒状基体20における軸方向の温度を一様なものとすればよい。   In order to make the axial thickness of the photoconductive layer 28 uniform, the gas introduction pipe 55 'shown in FIG. 7 is used and the axial temperature of the cylindrical substrate 20 is made uniform. And it is sufficient.

図2に示した表面層29は、光導電層28の摩擦・磨耗を防ぐためのものであり、光導電層28の表面に積層形成されている。この表面層29は、たとえばa−SiCなどのa−Si系材料に代表される無機材料により、潜像形成領域22の中央部22Aでの厚みが、たとえば0.2μm以上1.5μm以下に形成されている。表面層29の厚みを0.2μm以上にすることで耐刷による画像キズおよび画像濃度ムラの発生を防止することが可能となり、表面層29の厚みを1.5μm以下にすることで初期特性(残留電位による画像不良等)を良好にすることが可能となる。表面層29の厚みは、好適には0.5μm以上1.0μm以下とされる。   The surface layer 29 shown in FIG. 2 is for preventing friction and wear of the photoconductive layer 28, and is laminated on the surface of the photoconductive layer 28. The surface layer 29 is formed of an inorganic material typified by an a-Si based material such as a-SiC so that the thickness at the central portion 22A of the latent image forming region 22 is, for example, 0.2 μm or more and 1.5 μm or less. Has been. By making the thickness of the surface layer 29 0.2 μm or more, it becomes possible to prevent image scratches and image density unevenness due to printing durability, and by making the thickness of the surface layer 29 1.5 μm or less, the initial characteristics ( It is possible to improve image defects due to residual potential. The thickness of the surface layer 29 is preferably 0.5 μm or more and 1.0 μm or less.

表面層29は、中央部22Aでの厚みが両端部22Bでの厚みに比べて大きくされている。表面層29の両端部22Bでの厚みに対する中央部22Aでの厚みの比は、たとえば1.03倍以上1.25倍以下に設定され、中央部22Aでの厚みと両端部22Bでの厚みの差は、0.03μm以上0.21μm以下、好適には、0.09μm以上0.14μm以下とされる。   In the surface layer 29, the thickness at the central portion 22A is larger than the thickness at both end portions 22B. The ratio of the thickness at the central portion 22A to the thickness at the both end portions 22B of the surface layer 29 is set to, for example, 1.03 times or more and 1.25 times or less, and the thickness at the central portion 22A and the thickness at the both end portions 22B are set. The difference is 0.03 μm or more and 0.21 μm or less, preferably 0.09 μm or more and 0.14 μm or less.

表面層29の中央部22Aおよび両端部22Bでの厚みは、光導電層28の厚みと同様に定義され、また同様の光干渉法により算出される。ただし、表面層29の厚みを測定する場合に用いる光の波長は、400nm以上700nm以下とされる。   The thickness of the central portion 22A and both end portions 22B of the surface layer 29 is defined in the same manner as the thickness of the photoconductive layer 28, and is calculated by the same optical interference method. However, the wavelength of light used when measuring the thickness of the surface layer 29 is set to 400 nm or more and 700 nm or less.

表面層29は、中央部22Aでの動的押し込み硬さが、両端部22Bでの動的押し込み硬さに比べて大きくされている。表面層29の動的押し込み硬さは、両端部22Bから中央部22Aに向かって漸次大きくし、あるいは両端部22Bから中央部22Aに向かって段階的に大きくなっている。   In the surface layer 29, the dynamic indentation hardness at the central portion 22A is made larger than the dynamic indentation hardness at both end portions 22B. The dynamic indentation hardness of the surface layer 29 is gradually increased from both end portions 22B toward the central portion 22A, or gradually increased from both end portions 22B toward the central portion 22A.

このような表面層29は、たとえばa−Si系材料により形成されるが、その中でもとくに、下記化学式3として表される水素化アモルファスシリコンカーバイトを用いるのが好ましい。そうすれば、電子写真感光体2において、優れた電気的特性、光学的特性、画像特性、高硬度に基づく耐久性などを発揮することができる。   Such a surface layer 29 is formed of, for example, an a-Si-based material, and in particular, it is preferable to use a hydrogenated amorphous silicon carbide represented by the following chemical formula 3. Then, the electrophotographic photosensitive member 2 can exhibit excellent electrical characteristics, optical characteristics, image characteristics, durability based on high hardness, and the like.

Figure 2008262238
Figure 2008262238

化学式3において、x値(炭素原子比率)は、たとえば0.65≦x≦0.92の範囲に設定され、好ましくは0.7≦x≦0.85の範囲に設定される。ここで、x値を上記範囲に設定すれば、表面層29の硬度を適切なものとすることが可能となり、耐久性を確保できる。その一方で、x値が0.65未満では表面層29が硬すぎてしまいトナーおよび放電生成物の完全な除去が困難となり、またx値が0.92より大きいと表面層29が軟らかくなりすぎて表面にキズがつきやすくなってしまう。   In Chemical Formula 3, the x value (carbon atom ratio) is set, for example, in the range of 0.65 ≦ x ≦ 0.92, and preferably in the range of 0.7 ≦ x ≦ 0.85. Here, if the x value is set within the above range, the hardness of the surface layer 29 can be made appropriate, and durability can be ensured. On the other hand, if the x value is less than 0.65, the surface layer 29 is too hard and it is difficult to completely remove the toner and discharge products. If the x value is more than 0.92, the surface layer 29 becomes too soft. The surface is easily scratched.

また、表面層29をa−SiC:Hにより形成する場合には、水素含有量については1〜70原子%程度が好ましい。この範囲内でもとくに、H含有量が少なくなるとSi−H結合が少なくなり、表面層29の表面に光が照射されたときに生じたキヤリアのトラップを抑えることができるため、残留電位を防止するうえで好ましい。この点からは、表面層29をa−SiC:Hにより形成する場合の水素含有量は、約45原子%以下であることが好ましい。   Moreover, when forming the surface layer 29 by a-SiC: H, about 1-70 atomic% is preferable about hydrogen content. Even within this range, especially when the H content is reduced, Si—H bonds are reduced, and carriers trapped when the surface of the surface layer 29 is irradiated with light can be suppressed, thereby preventing residual potential. In addition, it is preferable. From this point, it is preferable that the hydrogen content when the surface layer 29 is formed of a-SiC: H is about 45 atomic% or less.

このようなa−SiC:Hの表面層29は、光導電層28をa−Si系材料により形成する場合と同様に、図3および図4に示したグロー放電分解装置5を用いて形成することができる。この場合、表面層29の中央部22Aでの厚みを両端部22Bでの厚みよりも大きくする場合には、原料ガスとしてシランガス(SiH)などのSi含有ガス、メタンガス(CH)などのC含有ガス、必要に応じて、Hガスなどの希釈ガスを用いるとともに、光導電層28において中央部22Aの厚みを大きく形成する場合と同様に図5に例示したガス導入管55を用いればよい。また、表面層29の中央部22Aでの厚みは、円筒状基体20における中央部22Aに対応する部分の温度を、両端部22Bに対応する部分の温度よりも高くすることにより、両端部22Bでの厚みよりも大きくすることもできる。 Such a surface layer 29 of a-SiC: H is formed by using the glow discharge decomposition apparatus 5 shown in FIGS. 3 and 4 as in the case where the photoconductive layer 28 is formed of an a-Si material. be able to. In this case, when the thickness at the central portion 22A of the surface layer 29 is made larger than the thickness at both end portions 22B, a Si-containing gas such as silane gas (SiH 4 ) or C gas such as methane gas (CH 4 ) is used as the source gas. The gas introduction pipe 55 illustrated in FIG. 5 may be used in the same manner as in the case where the contained gas and, if necessary, a dilution gas such as H 2 gas are used and the central portion 22A of the photoconductive layer 28 is formed thick. . The thickness of the central portion 22A of the surface layer 29 is set so that the temperature of the portion corresponding to the central portion 22A of the cylindrical base 20 is higher than the temperature of the portion corresponding to the both end portions 22B. It is also possible to make it larger than the thickness.

図5に示したガス導入管55を用いて中央部22Aでの厚みを両端部22Bでの厚みよりも大きくする場合には、たとえばCHとSiHとのガス比は、SiHが1に対してCHが10以上300以下に、Hガスによる希釈率は0%以上50%以下に、成膜形成時のガス圧力は0.15Torr以上0.65Torr以下程度に、高周波電力は1本の円筒状基体20につき100W以上350W以下程度に、円筒状基体20の温度は200℃以上300℃以下に設定される。高周波電力は、たとえば周波数を13.56MHzとして、または13.56MHzの高周波を1kHzでパルス変調して印加される。 When the thickness at the central portion 22A is made larger than the thickness at both end portions 22B using the gas introduction pipe 55 shown in FIG. 5, for example, the gas ratio of CH 4 to SiH 4 is such that SiH 4 is 1. On the other hand, CH 4 is 10 or more and 300 or less, the dilution rate with H 2 gas is 0% or more and 50% or less, the gas pressure during film formation is 0.15 Torr or more and 0.65 Torr or less, and one high-frequency power is supplied. The temperature of the cylindrical substrate 20 is set to 200 ° C. or more and 300 ° C. or less to about 100 W or more and 350 W or less per cylindrical substrate 20. The high frequency power is applied, for example, with a frequency of 13.56 MHz or a pulse modulation of a 13.56 MHz high frequency at 1 kHz.

また、表面層29を水素化アモルファスシリコンカーバイトにより形成する場合においては、表面層29の硬度を光導電層28との界面側から自由表面側に向かって漸次小さくなるようにしてもよい。すなわち、表面層29の組成において、x値を光導電層28との界面から自由表面に向かって漸次大きくなるようにすることで、表面層29における硬度が界面から自由表面に向って漸次小さくなるように構成してもよい。このような表面層29を有する電子写真感光体2では、電子写真感光体2を使用し始めた初期の段階において、表面層29の表面に存在する微細な凹凸状の凹部に入り込んだ放電生成物を、その凹凸を平坦化することで除去することができる。その一方で、耐刷を行なうにしたがって、表面層29の硬度が大きくなるために研磨による削れ量が小さくなり、表面への傷付きを防止することができる。その結果、先の表面層29を有する電子写真感光体2では、優れた電子写真特性を長期にわたって保持することができる。   When the surface layer 29 is formed of hydrogenated amorphous silicon carbide, the hardness of the surface layer 29 may be gradually decreased from the interface side with the photoconductive layer 28 toward the free surface side. That is, in the composition of the surface layer 29, the hardness in the surface layer 29 gradually decreases from the interface toward the free surface by increasing the x value from the interface with the photoconductive layer 28 toward the free surface. You may comprise as follows. In the electrophotographic photosensitive member 2 having such a surface layer 29, the discharge product that has entered the concave and convex portions on the surface of the surface layer 29 at the initial stage when the electrophotographic photosensitive member 2 is started to be used. Can be removed by flattening the unevenness. On the other hand, as the printing durability is increased, the hardness of the surface layer 29 increases, so that the amount of abrasion due to polishing decreases, and scratches on the surface can be prevented. As a result, the electrophotographic photosensitive member 2 having the surface layer 29 can maintain excellent electrophotographic characteristics over a long period of time.

このようなx値が光導電層28との界面から自由表面に向かって漸次大きくなる表面層22は、たとえば表面層29をグロー放電分解法によって成膜形成する場合、表面層29の光導電層28との界面側から自由表面側に向かって、原料ガスにおけるSi含有ガスに対するC含有ガスの比率を漸次高くし、原料ガスの水素ガスによる希釈率を漸次小さくし、放電電力を漸次小さくし、円筒状基体20の温度を漸次低くし、あるいはこれらの条件を組み合わせるなどして形成することができる。   The surface layer 22 whose x value gradually increases from the interface with the photoconductive layer 28 toward the free surface is, for example, when the surface layer 29 is formed by the glow discharge decomposition method. From the interface side to the free surface side, the ratio of the C-containing gas to the Si-containing gas in the source gas is gradually increased, the dilution rate of the source gas with hydrogen gas is gradually decreased, and the discharge power is gradually decreased. It can be formed by gradually lowering the temperature of the cylindrical substrate 20 or combining these conditions.

図1に示した帯電器41は、電子写真感光体2の表面を、電子写真感光体2の光導電層の種類に応じて正極性または負極性に一様に、200V以上1000V以下程度に帯電させるためのものである。この帯電器41は、電子写真感光体2の押圧するように密着して配置されており、たとえば芯金の上に、導電性ゴムおよびPVDF(ポリフッ化ビニリデン)によって被覆したものとして構成されている。帯電器41としては、ローラ状のものに変えて、放電ワイヤを備えたものを使用してもよい。   The charger 41 shown in FIG. 1 charges the surface of the electrophotographic photosensitive member 2 uniformly to a positive polarity or a negative polarity according to the type of the photoconductive layer of the electrophotographic photosensitive member 2 to about 200V to 1000V. It is for making it happen. The charger 41 is disposed in close contact with the electrophotographic photosensitive member 2 so as to be pressed. For example, the charger 41 is formed by covering a cored bar with a conductive rubber and PVDF (polyvinylidene fluoride). . As the charger 41, a charger provided with a discharge wire may be used instead of the roller-shaped one.

露光器42は、電子写真感光体2に静電潜像を形成するためのものであり、特定波長(たとえば650nm以上780nm以下)の光を出射可能とされている。この露光器42によると、画像信号に応じて電子写真感光体2の表面に光を照射して光照射部分の電位を減衰させることにより、電位コントラストとしての静電潜像が形成される。露光器42としては、たとえば約680nmの波長の光を出射可能な複数のLED素子を配列させたLEDヘッドを採用することができる。   The exposure device 42 is for forming an electrostatic latent image on the electrophotographic photosensitive member 2 and can emit light having a specific wavelength (for example, 650 nm or more and 780 nm or less). According to this exposure device 42, an electrostatic latent image as a potential contrast is formed by irradiating the surface of the electrophotographic photosensitive member 2 with light in accordance with an image signal to attenuate the potential of the light irradiation portion. As the exposure device 42, for example, an LED head in which a plurality of LED elements capable of emitting light having a wavelength of about 680 nm is arranged can be employed.

もちろん、露光器42としては、レーザ光を出射可能なものを使用することもできる。また、LEDヘッド等の露光器42に代えて、レーザービームやポリゴンミラー等からなる光学系や原稿からの反射光を通すレンズやミラー等からなる光学系を用いることにより、複写機の構成の画像形成装置とすることもできる。   Of course, as the exposure device 42, a device capable of emitting laser light can be used. Further, in place of the exposure device 42 such as an LED head, an image of the structure of the copying machine can be obtained by using an optical system composed of a laser beam, a polygon mirror, etc., or an optical system composed of a lens, a mirror, etc. that transmits reflected light from the document. It can also be a forming device.

現像器43は、電子写真感光体2の静電潜像を現像してトナー像を形成するためのものである。この現像器43は、現像剤(トナー)を磁気的に保持する磁気ローラ43A、電子写真感光体2との隙間を制御するためのコロと呼ばれる車輪(図示略)などを備えている。   The developing device 43 is for developing the electrostatic latent image of the electrophotographic photosensitive member 2 to form a toner image. The developing unit 43 includes a magnetic roller 43A that magnetically holds a developer (toner), wheels (not shown) called rollers for controlling a gap with the electrophotographic photosensitive member 2, and the like.

現像剤は、電子写真感光体2の表面に形成されるトナー像を構成するためのものであり、現像器43において摩擦帯電させられるものである。現像剤としては、磁性キャリアと絶縁性トナーとから成る二成分系現像剤、あるいは磁性トナーから成る一成分系現像剤を使用することができる。   The developer is for constituting a toner image formed on the surface of the electrophotographic photosensitive member 2 and is frictionally charged in the developing device 43. As the developer, a two-component developer composed of a magnetic carrier and an insulating toner or a one-component developer composed of a magnetic toner can be used.

磁気ローラ43Aは、電子写真感光体2の表面(現像領域)に現像剤を搬送する役割を果すものである。   The magnetic roller 43 </ b> A plays a role of transporting the developer to the surface (development region) of the electrophotographic photosensitive member 2.

現像器43においては、磁気ローラ43Aにより摩擦帯電したトナーが一定の穂長に調整された磁気ブラシの形で搬送され、電子写真感光体2の現像領域において、トナーが静電潜像との静電引力により感光体表面に付着して可視化される。トナー像の帯電極性は、正規現像により画像形成が行われる場合には、電子写真感光体2の表面の帯電極性と逆極性とされ、反転現像により画像形成が行われる場合には、電子写真感光体2の表面の帯電極性と同極性とされる。   In the developing unit 43, the toner frictionally charged by the magnetic roller 43 </ b> A is conveyed in the form of a magnetic brush adjusted to a constant spike length, and in the developing area of the electrophotographic photoreceptor 2, the toner is statically charged with the electrostatic latent image. It is visualized by adhering to the surface of the photoreceptor due to the electric attractive force. The charge polarity of the toner image is opposite to the charge polarity of the surface of the electrophotographic photosensitive member 2 when image formation is performed by regular development. When the image formation is performed by reversal development, the electrophotographic photosensitive member is charged. The surface of the body 2 has the same polarity as the charged polarity.

なお、現像器43は、乾式現像方式を採用しているが、液体現像剤を用いた湿式現像方式を採用してもよい。   The developing device 43 employs a dry development method, but may employ a wet development method using a liquid developer.

転写器44は、電子写真感光体2と転写器44との間の転写領域に供給された記録媒体Pに、電子写真感光体2のトナー像を転写するためのものである。この転写器44は、転写用チャージャ44Aおよび分離用チャージャ44Bを備えている。転写器44では、転写用チャージャ44Aにおいて記録媒体Pの背面(非記録面)がトナー像とは逆極性に帯電され、この帯電電荷とトナー像との静電引力によって、記録媒体P上にトナー像が転写される。転写器44ではさらに、トナー像の転写と同時的に、分離用チャージャ44Bにおいて記録媒体Pの背面が交流帯電させられ、記録媒体Pが電子写真感光体2の表面から速やかに分離させられる。   The transfer device 44 is for transferring the toner image of the electrophotographic photosensitive member 2 to the recording medium P supplied to the transfer region between the electrophotographic photosensitive member 2 and the transfer device 44. The transfer device 44 includes a transfer charger 44A and a separation charger 44B. In the transfer device 44, the back surface (non-recording surface) of the recording medium P is charged with a polarity opposite to that of the toner image in the transfer charger 44A, and the toner is applied onto the recording medium P by electrostatic attraction between the charged charge and the toner image. The image is transferred. In the transfer device 44, simultaneously with the transfer of the toner image, the back surface of the recording medium P is AC-charged in the separation charger 44B, and the recording medium P is quickly separated from the surface of the electrophotographic photosensitive member 2.

なお、転写器44としては、電子写真感光体2の回転に従動し、かつ電子写真感光体2とは微小間隙(通常、0.5mm以下)を介して配置された転写ローラを用いることも可能である。この場合の転写ローラは、たとえば直流電源により、電子写真感光体2上のトナー像を記録媒体P上に引きつけるような転写電圧を印加するように構成される。転写ローラを用いる場合には、分離用チャージャ44Bのような転写分離装置は省略される。   As the transfer device 44, it is also possible to use a transfer roller that is driven by the rotation of the electrophotographic photosensitive member 2 and disposed with a small gap (usually 0.5 mm or less) from the electrophotographic photosensitive member 2. It is. The transfer roller in this case is configured to apply a transfer voltage that attracts the toner image on the electrophotographic photosensitive member 2 onto the recording medium P by, for example, a DC power source. When a transfer roller is used, a transfer separation device such as the separation charger 44B is omitted.

定着器45は、記録媒体Pに転写されたトナー像を記録媒体Pに定着させるためのものであり、一対の定着ローラ45A,45Bを備えている。定着ローラ45A,45Bは、たとえば金属ローラ上にテフロン(登録商標)等で表面被覆したものとされている。この定着器45では、一対の定着ローラ45A,45Bの間に記録媒体Pを通過させることにより、熱や圧力等によって記録媒体Pにトナー像を定着させることができる。   The fixing device 45 is for fixing the toner image transferred to the recording medium P to the recording medium P, and includes a pair of fixing rollers 45A and 45B. The fixing rollers 45A and 45B are, for example, coated on a metal roller with Teflon (registered trademark) or the like. In the fixing device 45, the toner image can be fixed to the recording medium P by heat, pressure or the like by passing the recording medium P between the pair of fixing rollers 45A and 45B.

図1および図2に示したクリーニング器46は、電子写真感光体2の表面に残存するトナーを除去するためのものであり、クリーニングブレード46Aを備えている。   The cleaning device 46 shown in FIGS. 1 and 2 is for removing the toner remaining on the surface of the electrophotographic photosensitive member 2, and includes a cleaning blade 46A.

クリーニングブレード46Aは、電子写真感光体2の表面層29の表面から、残留トナーを掻きとる役割を果たすものである。このクリーニングブレード46Aは、その先端が電子写真感光体2の潜像形成領域22を押圧するように、バネ46B等の付勢手段を介してケース46Cに支持されている。クリーニングブレード46Aは、たとえばポリウレタン樹脂を主成分としたゴム材料からなり、表面層29に接する先端部の厚みが1.0mm以上1.2mm以下、ブレード線圧が14gf/cm(一般的には5gf/cm以上30gf/cm以下)、硬度がJIS硬度で74度(好適範囲67度以上84度以下)とされている。   The cleaning blade 46 </ b> A serves to scrape residual toner from the surface of the surface layer 29 of the electrophotographic photosensitive member 2. The cleaning blade 46A is supported by the case 46C via an urging means such as a spring 46B so that the tip of the cleaning blade 46A presses the latent image forming region 22 of the electrophotographic photosensitive member 2. The cleaning blade 46A is made of, for example, a rubber material whose main component is polyurethane resin, the thickness of the tip portion in contact with the surface layer 29 is 1.0 mm or more and 1.2 mm or less, and the blade linear pressure is 14 gf / cm (generally 5 gf / Cm or more and 30 gf / cm or less), and the hardness is 74 degrees in JIS hardness (preferable range 67 degrees or more and 84 degrees or less).

除電器47は、電子写真感光体2の表面電荷を除去するためのものである。この除電器47は、たとえばLED等の光源によって電子写真感光体2の表面(表面層29)全体を一様に光照射することにより、電子写真感光体2の表面電荷(残余の静電潜像)を除去するように構成されている。   The static eliminator 47 is for removing the surface charge of the electrophotographic photosensitive member 2. The static eliminator 47 uniformly irradiates the entire surface (surface layer 29) of the electrophotographic photosensitive member 2 with a light source such as an LED, so that the surface charge (residual electrostatic latent image) of the electrophotographic photosensitive member 2 is irradiated. ).

電子写真感光体2では、感光層21が、潜像形成領域22の軸方向の中央部22Aに比べて両端部22Bのほうが厚みあるいは動的押し込み硬さが小さくされている。そのため、削れ量の多い中央部22Aでも耐刷による画像キズおよび軸方向の画像濃度ムラの発生を防止することができる。   In the electrophotographic photosensitive member 2, the thickness or dynamic indentation hardness of the photosensitive layer 21 is smaller at both end portions 22 </ b> B than the central portion 22 </ b> A in the axial direction of the latent image forming region 22. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of image scratches due to printing durability and image density unevenness in the axial direction even in the central portion 22A where the amount of shaving is large.

とくに、端部22Bに向うほど漸次あるいは段階的に厚みあるいは動的押し込み硬さが小さくなるように、たとえば両端部22Bの厚みを中央部22Aの厚みの0.70倍以上0.96倍以下、あるいは中央部22Aの動的押し込み硬さを両端部22Bの動的押し込み硬さの1.03倍以上1.25倍以下することにより、初期状態での画像濃度ムラを防止しつつ、耐刷による画像キズおよび画像濃度ムラの発生を防止できる。   In particular, for example, the thickness of both end portions 22B is 0.70 times or more and 0.96 times or less of the thickness of the central portion 22A so that the thickness or dynamic indentation hardness decreases gradually or stepwise toward the end portion 22B. Alternatively, the dynamic indentation hardness of the central portion 22A is set to 1.03 times or more and 1.25 times or less of the dynamic indentation hardness of the both end portions 22B, thereby preventing image density unevenness in the initial state and printing durability. Generation of image scratches and image density unevenness can be prevented.

電子写真感光体2ではさらに、軸方向の端部22Bに比べて中央部22Aの方が表面層29の厚みあるいは動的押し込み硬さが大きいので、たとえば電子写真感光体2の外周面を押圧する押圧部材(クリーニングブレード46Aなど)と電子写真感光体2との間に粉塵等の異物が咬み込んだ場合においても、表面層29の中央部22Aの内方に位置する光導電層28に損傷を与え難い。すなわち、電子写真感光体2は、押圧部材との間に粉塵等の異物が咬み込まれてもクラックが発生し難いのに加え、仮にクラックが発生した場合であっても、感光層21(光導電層28および表面層29)での中央部22Aの厚みが両端部22Bの厚みよりも大きくされ、あるいは動的押し込み硬さが中央部22Aのほうが両端部22Bに比べて大きくされていることによって中央部22Aにおいて発生したクラックが光導電層28や円筒状基体20にまで到達しにくくなる。これにより、光導電層28の損傷、光導電層28と表面層29との間の短絡、円筒状基体20への電荷のリークを抑制することができる。そのため、画像形成装置1では、感光層21(光導電層28)の機能破壊が生じにくく、画像欠陥が生じにくくなり、長期的な使用に耐えうるものとなる。   Further, in the electrophotographic photosensitive member 2, the central portion 22 </ b> A has a larger thickness or dynamic indentation hardness than the axial end portion 22 </ b> B, so that, for example, the outer peripheral surface of the electrophotographic photosensitive member 2 is pressed. Even when foreign matter such as dust is caught between the pressing member (such as the cleaning blade 46A) and the electrophotographic photosensitive member 2, the photoconductive layer 28 located inside the central portion 22A of the surface layer 29 is damaged. Hard to give. That is, the electrophotographic photosensitive member 2 is not easily cracked even if foreign matter such as dust is bitten between the pressing member and the photosensitive layer 21 (light) even if a crack is generated. The thickness of the central portion 22A in the conductive layer 28 and the surface layer 29) is made larger than the thickness of both end portions 22B, or the dynamic indentation hardness is made larger in the central portion 22A than in the both end portions 22B. Cracks generated in the central portion 22A are unlikely to reach the photoconductive layer 28 or the cylindrical substrate 20. As a result, damage to the photoconductive layer 28, a short circuit between the photoconductive layer 28 and the surface layer 29, and charge leakage to the cylindrical substrate 20 can be suppressed. For this reason, in the image forming apparatus 1, the photosensitive layer 21 (the photoconductive layer 28) is less likely to be broken in function, image defects are less likely to occur, and it can withstand long-term use.

また、図7に示した電子写真感光体2′のように、潜像形成領域22′における感光層21′の厚みが順次大きくなる場合に限らず、中央部22A′から両端部22B′に向って段階的に大きくなるように形成してもよい。図7に示した例では、中央部22A′と両端部22B′との間の段数が1つであるが、段数は2以上であってもよい。   Further, as in the electrophotographic photosensitive member 2 ′ shown in FIG. 7, the thickness of the photosensitive layer 21 ′ in the latent image forming region 22 ′ is not limited to the order of increase, but from the central portion 22A ′ to both end portions 22B ′. It may be formed so as to increase gradually. In the example shown in FIG. 7, the number of steps between the central portion 22A ′ and both end portions 22B ′ is one, but the number of steps may be two or more.

また、図8に示した電子写真感光体2″のように、電子写真感光体2″の感光層21″の厚みを潜像形成領域22″の中央部22A″と両端部22B″とで同様なものとする一方で、感光層21″における中央部22A″の動的押し込み硬さを、両端部22A″の動的押し込み硬さに比べて大きくしてもよい。このとき、表面層29″をa−SiCを主成分とする材料により形成する場合、中央部22A″における炭素含有量と両端部22B″における炭素含有量を調整することにより、感光層21″における中央部22A″の動的押し込み硬さを、両端部22B″の動的押し込み硬さよりも大きくすることができる。たとえば、表面層29″における中央部22A″におけるSi:Cの比率と、両端部22BにおけるSi:Cの比率とを比較したときに、Cの含有比率が20%以上70%以下の範囲において、中央部22A″のCの含有比率を、両端部22B″のCの含有比率よりも高くすればよい。   Further, like the electrophotographic photosensitive member 2 ″ shown in FIG. 8, the thickness of the photosensitive layer 21 ″ of the electrophotographic photosensitive member 2 ″ is the same at the central portion 22A ″ and both end portions 22B ″ of the latent image forming region 22 ″. On the other hand, the dynamic indentation hardness of the central portion 22A ″ in the photosensitive layer 21 ″ may be made larger than the dynamic indentation hardness of both end portions 22A ″. Is formed of a material mainly composed of a-SiC, the dynamics of the central portion 22A ″ in the photosensitive layer 21 ″ is adjusted by adjusting the carbon content in the central portion 22A ″ and the carbon content in both end portions 22B ″. The indentation hardness can be made larger than the dynamic indentation hardness of both end portions 22B ″. For example, the ratio of Si: C in the central portion 22A ″ of the surface layer 29 ″ and the ratio of Si: C in both end portions 22B. And the ratio When, in a range content ratio less than 70% 20% C, "the C of the content ratio of the both end portions 22B" central portion 22A may be higher than the content ratio of C of.

次に、本発明の電子写真感光体の具体例を実施例として説明する。ただし、本発明は以下の実施例に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更や改良などは何ら差し支えない。   Next, specific examples of the electrophotographic photosensitive member of the present invention will be described as examples. However, the present invention is not limited to the following examples, and various changes and improvements may be made without departing from the scope of the present invention.

本実施例においては、感光層の動的押し込み硬さが画像特性に与える影響について評価を行なった。   In this example, the influence of the dynamic indentation hardness of the photosensitive layer on the image characteristics was evaluated.

(感光体の形成)
本実施例において用いる感光体7−1は、筒状基体20としてアルミニウム合金から成る外径84mm、長さ360mmの引き抜き管の外周面を鏡面加工して洗浄したものを用意し、これを図3および図4に示したグロー放電分解成膜装置5にセットして、下記表1および表2に示す成膜条件によりキャリア注入阻止層27、光導電層28および表面層29を順次積層することで作製した。なお、表2には、表面層29は光導電層28との界面層での成膜条件と、自由表面側での成膜条件を示しているが、その間での成膜はガス流量と成膜速度を漸次変えている。
(Formation of photoconductor)
The photosensitive member 7-1 used in this embodiment is prepared by mirror-processing the outer peripheral surface of an extraction tube having an outer diameter of 84 mm and a length of 360 mm made of an aluminum alloy as the cylindrical substrate 20, and this is shown in FIG. 4 and set in the glow discharge decomposition film forming apparatus 5 shown in FIG. 4, and sequentially depositing the carrier injection blocking layer 27, the photoconductive layer 28 and the surface layer 29 under the film forming conditions shown in Tables 1 and 2 below. Produced. Table 2 shows the film formation conditions for the surface layer 29 at the interface layer with the photoconductive layer 28 and the film formation conditions on the free surface side. The film speed is gradually changed.

一方、比較例として、表面層を図6に示したガス導入管55を用いて作製した以外は、感光体7−1と同様にして、感光体7−2を作製した。   On the other hand, as a comparative example, a photoconductor 7-2 was produced in the same manner as the photoconductor 7-1 except that the surface layer was produced using the gas introduction tube 55 shown in FIG.

Figure 2008262238
Figure 2008262238

Figure 2008262238
Figure 2008262238

(動的押し込み硬さの評価)
感光層の動的押し込み硬さは、感光体7−1,7−2の中央部および両端部(それぞれ感光体7−1,7−2の軸方向の端から40mmの位置)において超微小硬さ計(商品名(型番):DUH−201、株式会社島津製作所製)にて測定した。感光層の動的押し込み硬さの測定結果については、表3に示した。表3において感光層の動的押し込み硬さは、周方向に沿った任意の5点について測定し、その5点の平均値として示した。
(Evaluation of dynamic indentation hardness)
The dynamic indentation hardness of the photosensitive layer is very small at the center and both ends of the photosensitive members 7-1 and 7-2 (positions 40 mm from the axial ends of the photosensitive members 7-1 and 7-2, respectively). It was measured with a hardness meter (trade name (model number): DUH-201, manufactured by Shimadzu Corporation). The measurement results of the dynamic indentation hardness of the photosensitive layer are shown in Table 3. In Table 3, the dynamic indentation hardness of the photosensitive layer was measured at any five points along the circumferential direction, and indicated as an average value of the five points.

Figure 2008262238
Figure 2008262238

(画像特性の評価)
この評価は、感光体7−1,7−2を電子写真プリンタ(「KM−6030」:京セラ株式会社製)に搭載して30万枚の耐刷実験を行う一方で、耐刷途中の各段階で、画像キズおよび画像濃度ムラの発生の有無を目視により確認することにより行なった。画像評価の結果については、表4に示した。
(Evaluation of image characteristics)
In this evaluation, the photoconductors 7-1 and 7-2 were mounted on an electrophotographic printer ("KM-6030": manufactured by Kyocera Corporation), and 300,000 printing tests were performed. At the stage, the presence or absence of occurrence of image scratches and image density unevenness was visually confirmed. The results of image evaluation are shown in Table 4.

表4においては、画像キズおよび画像濃度ムラの発生が認められない場合を○印で、わずかに発生が認められた場合を△印で、実用上支障がある程度に発生が認められた場合を×印で表した。   In Table 4, the case where no occurrence of image flaws and image density unevenness is observed is indicated by ◯, the case where slight occurrence is observed is indicated by △, and the case where occurrence of practical trouble is recognized to some extent is indicated by ×. Expressed with a mark.

Figure 2008262238
Figure 2008262238

表4から分かるように、感光層における動的押し込み硬さが略一定である従来の感光体7−2では、耐刷枚数が50000枚を超えたあたりから画像の劣化が見受けられた。さらに、100000枚程度の耐刷にて、中央部が削れすぎてしまい、画像濃度ムラが発生し、耐用枚数の増加には支障があることがわかった。   As can be seen from Table 4, in the conventional photoreceptor 7-2 in which the dynamic indentation hardness in the photosensitive layer is substantially constant, image deterioration was observed when the printing durability exceeded 50,000. Further, it was found that the printing process of about 100,000 sheets caused the central portion to be scraped too much, resulting in uneven image density, which hindered an increase in the number of usable sheets.

一方、感光層の動的押し込み硬さを中央部に比べて両端部のほうが小さくなるようにした本発明の感光体7−1では、画像キズおよび画像濃度ムラの発生は認められず、常に良好な画像品質の記録画像が得られた。感光体7−1,7−2のようなサイズの電子写真感光体では、30万枚の寿命を有していれば十分であるため、潜像形成領域における中央部の動的押し込み硬さが両端部の動的押し込み硬さよりも大きい感光体7−1は実用上十分な耐久性があることが確認された。   On the other hand, in the photosensitive member 7-1 of the present invention in which the dynamic indentation hardness of the photosensitive layer is made smaller at both end portions than in the central portion, generation of image scratches and image density unevenness is not recognized, and it is always good. A recorded image with a good image quality was obtained. In an electrophotographic photosensitive member having a size such as the photosensitive members 7-1 and 7-2, it is sufficient to have a life of 300,000 sheets. Therefore, the dynamic indentation hardness of the central portion in the latent image forming region is low. It was confirmed that the photoconductor 7-1 having larger indentation hardness at both ends has sufficient practical durability.

本実施例においては、感光層における中央部と両端部の動的押し込み硬さの比が画像特性に与える影響について検討した。   In this example, the influence of the ratio of the dynamic indentation hardness at the center and both ends of the photosensitive layer on the image characteristics was examined.

本実施例において用いる感光体8−1〜8−6は、基本的には実施例1と同様にして作製し、感光層の動的押し込み硬さおよび画像特性の評価についても実施例1と同様にして行なった。感光体8−1〜8−6における感光層の動的押し込み硬さは、用いるガス導入管におけるガス導入口の配置により調整した。感光層における動的押し込み硬さの測定結果および画像特性の評価結果については、表5に示した。   The photoreceptors 8-1 to 8-6 used in this example are manufactured basically in the same manner as in Example 1, and the dynamic indentation hardness and image characteristics of the photosensitive layer are also evaluated in the same manner as in Example 1. It was done. The dynamic indentation hardness of the photosensitive layer in the photoconductors 8-1 to 8-6 was adjusted by the arrangement of the gas inlets in the gas inlet pipe to be used. Table 5 shows the measurement results of the dynamic indentation hardness and the evaluation results of the image characteristics in the photosensitive layer.

Figure 2008262238
Figure 2008262238

表5から分かるように、感光体8−1(7−2)については30万枚耐刷後の画像にて中央部にて画像キズが発生した。感光体8−6については、初期画像にて軸方向濃度ムラが発生した。   As can be seen from Table 5, for Photoreceptor 8-1 (7-2), image scratches occurred in the center of the image after 300,000 sheets of printing durability. With respect to the photoreceptor 8-6, the density unevenness in the axial direction occurred in the initial image.

感光体8−2については30万枚耐刷後の画像にてキズが発生する場合があり、感光体8−5については初期画像にて軸方向の濃度ムラが発生する場合があったが、感光体8−2,8−5についての画像キズや濃度ムラは実用上支障がある程度ではなかった。   For the photoreceptor 8-2, scratches may occur in an image after 300,000 sheets of printing durability, and for the photoreceptor 8-5, density unevenness in the axial direction may occur in the initial image. The image scratches and density unevenness of the photoconductors 8-2 and 8-5 were not practically hindered.

これに対して、感光体8−3,8−4(7−1)については、画像キズおよび画像濃度ムラの発生は認められず、良好な画像品質の記録画像が得られることがわかった。   On the other hand, regarding the photoconductors 8-3 and 8-4 (7-1), it was found that image scratches and image density unevenness were not observed, and a recorded image with good image quality was obtained.

したがって、適切な画像特性を得るためには、感光層における動的押し込み硬さを、両端部に対する中央部の比として、1.03以上1.25以下とすればよく、とくに1.06以上1.13以下とすればさらに好ましい結果が得られる。   Therefore, in order to obtain appropriate image characteristics, the dynamic indentation hardness in the photosensitive layer may be set to 1.03 or more and 1.25 or less as the ratio of the central portion to both ends, and particularly 1.06 or more and 1 If it is .13 or less, more preferable results can be obtained.

本実施例においては、感光層の中央部の動的押し込み硬さが画像特性に与える影響について検討した。   In this example, the influence of the dynamic indentation hardness at the center of the photosensitive layer on the image characteristics was examined.

本実施例において用いる感光体9−1〜9−6は、基本的には実施例1と同様にして作製し、感光層の動的押し込み硬さおよび画像特性の評価についても実施例1と同様にして行なった。ただし、感光層を形成するときのガス導入管としては、実施例1の感光体7−1を形成する場合と同様のものを用いた。感光体9−1〜9−6の感光層における中央部の動的押し込み硬さは、感光性層を形成するときのCHの流量(感光層における炭素含有量)により調整した。感光層における動的押し込み硬さの測定結果および画像特性の評価結果については、表6に示した。 The photoconductors 9-1 to 9-6 used in this example are manufactured basically in the same manner as in Example 1, and the dynamic indentation hardness and image characteristics of the photosensitive layer are also evaluated in the same manner as in Example 1. It was done. However, as the gas introduction pipe for forming the photosensitive layer, the same one as that for forming the photoreceptor 7-1 of Example 1 was used. The dynamic indentation hardness at the center of the photosensitive layers of the photoconductors 9-1 to 9-6 was adjusted by the flow rate of CH 4 (carbon content in the photosensitive layer) when forming the photosensitive layer. Table 6 shows the measurement results of the dynamic indentation hardness and the evaluation results of the image characteristics in the photosensitive layer.

Figure 2008262238
Figure 2008262238

表6から分かるように、感光体9−6では、50,000枚程度の耐刷で中央部にて画像キズが認められ、耐用枚数の増加には支障があることがわかった。感光体9−6ではさらに、50,000枚程度の耐刷で中央部にて画像黒点の発生が認められ、さらに、濃度が薄くなっており、耐用枚数の増加には支障があることがわかった。   As can be seen from Table 6, with Photoreceptor 9-6, image scratches were observed in the center with a printing durability of about 50,000 sheets, and it was found that there was a problem in increasing the number of usable sheets. In Photoreceptor 9-6, the occurrence of black spots in the center portion was recognized at a printing endurance of about 50,000 sheets, and the density was reduced. It was found that there was a problem in increasing the number of usable sheets. It was.

感光体9−2については30万枚耐刷後の画像にてキズが発生する場合があり、感光体9−5については、初期画像にて黒点あるいは軸方向の濃度ムラが発生する場合があったが、実用上支障がある程度ではなかった。   For the photoreceptor 9-2, scratches may occur in the image after 300,000 sheets of printing, and for the photoreceptor 9-5, black spots or axial density unevenness may occur in the initial image. However, there were no practical problems.

これに対して、感光体9−3,9−4については、画像キズおよび画像濃度ムラの発生は認められず、良好な画像品質の記録画像が得られることがわかった。   On the other hand, regarding the photoconductors 9-3 and 9-4, no image scratches or image density unevenness was observed, and it was found that a recorded image with good image quality was obtained.

したがって、適切な画像特性を得るためには、感光層における中央部の動的押し込み硬さを、500以上1500以下とすればよく、とくに750以上1000以下とすればさらに好ましい結果が得られる。   Therefore, in order to obtain appropriate image characteristics, the dynamic indentation hardness of the central portion of the photosensitive layer may be set to 500 or more and 1500 or less, and more preferably 750 or more and 1000 or less.

本発明に係る画像形成装置の一例を示す模式図である。1 is a schematic diagram illustrating an example of an image forming apparatus according to the present invention. 図2(a)は本発明に係る電子写真感光体の断面図およびその要部を拡大し て示した断面図、図2(b)は電子写真感光体の他の例を説明するための要部を拡大 して示した断面図である。FIG. 2A is a cross-sectional view of the electrophotographic photosensitive member according to the present invention and a cross-sectional view showing an enlarged main part thereof, and FIG. 2B is a key for explaining another example of the electrophotographic photosensitive member. FIG. 5 is a cross-sectional view showing an enlarged part. 図2に示した電子写真感光体を製造するために使用されるグロー放電分解装 置の一例を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing an example of a glow discharge decomposition apparatus used for manufacturing the electrophotographic photosensitive member shown in FIG. 2. 図3のIV−IV線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the IV-IV line of FIG. 図3および図4に示したグロー放電分解装置におけるガス導入管の一例を示 す正面図である。FIG. 5 is a front view showing an example of a gas introduction tube in the glow discharge decomposition apparatus shown in FIGS. 3 and 4. 図3および図4に示したグロー放電分解装置におけるガス導入管の他の例を 示す正面図である。FIG. 5 is a front view showing another example of a gas introduction tube in the glow discharge decomposition apparatus shown in FIGS. 3 and 4. 本発明に係る電子写真感光体の他の例を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the other example of the electrophotographic photoreceptor which concerns on this invention. 本発明に係る電子写真感光体の他の例を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the other example of the electrophotographic photoreceptor which concerns on this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 画像形成装置
2,2′,2″ 電子写真感光体
20 円筒状基体(導電性基体)
21,21′,21″ 感光層
22,22′,22″ 潜像形成領域
22A,22A′,22A″ (潜像形成領域の)中央部
22B,22B′,22B″ (潜像形成領域の)端部
28 光導電層
29,29″ 表面層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Image forming apparatus 2, 2 ', 2 "Electrophotographic photoreceptor 20 Cylindrical base | substrate (electroconductive base | substrate)
21, 21 ′, 21 ″ photosensitive layer 22, 22 ′, 22 ″ latent image forming area 22 </ b> A, 22 </ b> A ′, 22 </ b> A ″ (in the latent image forming area) 22 </ b> B, 22 </ b> B ′, 22 </ b> B ″ (of the latent image forming area) Edge 28 Photoconductive layer 29, 29 ″ Surface layer

Claims (10)

画像形成装置において回転可能に支持される電子写真感光体であって、
略円筒形をなす基体と、前記基体上に形成されているとともに、潜像形成領域を有する感光層と、を備えており、
前記感光層は、前記画像形成装置に組み込んだときに、前記潜像形成領域における軸方向の中央部が両端部よりも強く押圧されるものであり、かつ、前記中央部の動的押し込み硬さが、前記両端部の動的押し込み硬さよりも大きくなっていることを特徴とする、電子写真感光体。
An electrophotographic photosensitive member rotatably supported in an image forming apparatus,
A substantially cylindrical substrate, and a photosensitive layer formed on the substrate and having a latent image forming region,
When the photosensitive layer is incorporated in the image forming apparatus, the central portion in the axial direction in the latent image forming region is pressed more strongly than both end portions, and the dynamic indentation hardness of the central portion is Is larger than the dynamic indentation hardness of the both end portions.
前記感光層の動的押し込み硬さは、前記中央部から前記両端部に向かって漸次小さくなっている、請求項1に記載の電子写真感光体。   The electrophotographic photosensitive member according to claim 1, wherein the dynamic indentation hardness of the photosensitive layer gradually decreases from the central portion toward the both end portions. 前記感光層の動的押し込み硬さは、前記中央部から前記両端部に向かって段階的に小さくなっている、請求項1に記載の電子写真感光体。   The electrophotographic photosensitive member according to claim 1, wherein the dynamic indentation hardness of the photosensitive layer is gradually reduced from the central portion toward the both end portions. 前記感光層は、前記中央部の動的押し込み硬さが前記両端部の動的押し込み硬さの1.03倍以上1.25倍以下である、請求項1ないし3のいずれかに記載の電子写真感光体。   4. The electron according to claim 1, wherein the photosensitive layer has a dynamic indentation hardness of the central portion of 1.03 times or more and 1.25 times or less of a dynamic indentation hardness of the both end portions. Photoconductor. 前記感光層は、前記中央部の動的押し込み硬さが500以上1500以下である、請求項1ないし4のいずれかに記載の電子写真感光体。   5. The electrophotographic photosensitive member according to claim 1, wherein the photosensitive layer has a dynamic indentation hardness of 500 to 1500 in the central portion. 前記感光層は、前記両端部の動的押し込み硬さが485以上1456以下である、請求項1ないし5のいずれかに記載の電子写真感光体。   The electrophotographic photosensitive member according to claim 1, wherein the photosensitive layer has a dynamic indentation hardness of 485 to 1456 at both ends. 前記感光層は、光導電層および表面層を含んでいる、請求項1ないし6のいずれかに記載の電子写真感光体。 The electrophotographic photosensitive member according to claim 1, wherein the photosensitive layer includes a photoconductive layer and a surface layer. 前記光導電層および前記表面層のうちの少なくとも一方は、無機物系材料を含んでいる、請求項7に記載の電子写真感光体。   The electrophotographic photosensitive member according to claim 7, wherein at least one of the photoconductive layer and the surface layer includes an inorganic material. 回転可能に支持された略円筒形をなす基体上に、潜像形成領域を有する感光層が形成された電子写真感光体と、
前記潜像形成領域における軸方向の中央部を両端部よりも強く押圧する押圧部材と、
を備えており、
前記電子写真感光体は、請求項1ないし請求項8のいずれかに記載したものであることを特徴とする、画像形成装置。
An electrophotographic photosensitive member in which a photosensitive layer having a latent image forming area is formed on a substantially cylindrical substrate rotatably supported; and
A pressing member that presses the central portion in the axial direction in the latent image forming region more strongly than both end portions;
With
The image forming apparatus according to claim 1, wherein the electrophotographic photosensitive member is the one described in claim 1.
前記押圧部材は、前記電子写真感光体との押圧部における硬さが、JIS硬さ(JIS K6253準拠 タイプA 押針質量180g、押針高さ2.5mm)で67度以上84度以下である、請求項9に記載の画像形成装置。   The pressing member has a hardness at a pressing portion with the electrophotographic photosensitive member of 67 degrees or more and 84 degrees or less in terms of JIS hardness (JIS K6253 compliant type A needle mass 180 g, needle height 2.5 mm). The image forming apparatus according to claim 9.
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