JP2008254112A - 被研磨物保持材及び研磨物の製造方法 - Google Patents
被研磨物保持材及び研磨物の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008254112A JP2008254112A JP2007098578A JP2007098578A JP2008254112A JP 2008254112 A JP2008254112 A JP 2008254112A JP 2007098578 A JP2007098578 A JP 2007098578A JP 2007098578 A JP2007098578 A JP 2007098578A JP 2008254112 A JP2008254112 A JP 2008254112A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polished
- holding material
- base fabric
- polished article
- polishing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
【課題】ガラス繊維からなる基材を用いた被研磨物保持材の強度を改善し、被研磨物に対する反りが低減するとともに、寸法精度及び耐久性が向上し、かつ経済的有利な被研磨物保持材、及びこの被研磨物保持材を用いた研磨物の製造方法を提供すること。
【解決手段】熱硬化性樹脂を含浸させた玄武岩繊維基布を加熱加圧成形してなる層を有する被研磨物保持材Ｉ、及び周囲にギアを形成した被研磨物保持材に被研磨物を嵌め込むための貫通穴を設け、当該貫通穴に被研磨物を嵌め込んだ被研磨物保持材を、インターナルギアと太陽ギアを有する研磨装置に装着し、被研磨物保持材を遊星運動させることにより前記被研磨物を回転研磨してなる研磨物の製造方法であって、前記被研磨物保持材として被研磨物保持材Ｉを用いる研磨物の製造方法である。
【選択図】なし
【解決手段】熱硬化性樹脂を含浸させた玄武岩繊維基布を加熱加圧成形してなる層を有する被研磨物保持材Ｉ、及び周囲にギアを形成した被研磨物保持材に被研磨物を嵌め込むための貫通穴を設け、当該貫通穴に被研磨物を嵌め込んだ被研磨物保持材を、インターナルギアと太陽ギアを有する研磨装置に装着し、被研磨物保持材を遊星運動させることにより前記被研磨物を回転研磨してなる研磨物の製造方法であって、前記被研磨物保持材として被研磨物保持材Ｉを用いる研磨物の製造方法である。
【選択図】なし
Description
本発明は、シリコンウエハ、ハードディスクなどの被研磨物を回転研磨する研磨工程において、前記被研磨物を保持するための被研磨物保持材、及びこの被研磨物保持材を用いた研磨物の製造方法に関する。
シリコンウエハ、ハードディスクなどの製造工程には、これらの表面を研磨する工程があり、この研磨工程では、シリコンウエハ、ハードディスクなどの被研磨物を保持するための被研磨物保持材が用いられている。この被研磨物保持材は、駆動用のギアを周囲に形成した円板に、被研磨物保持用の貫通穴を１個又は複数個あけた構造を有する。前記貫通穴に被研磨物を嵌め込んで研磨装置に装着し、被研磨物保持材を平面で駆動させることにより被研磨物の研磨が行われる。
従来、被研磨物保持材として、電気絶縁用積層板を加工したものが用いられていた。この電気絶縁用積層板は、熱硬化性樹脂を含浸、乾燥させたシート状基材（プリプレグ）の層を加熱加圧成形したものである。電気絶縁用積層板としては、例えば、綿布基材フェノール樹脂積層板、ガラス繊維織布基材エポキシ樹脂積層板、ガラス繊維不織布基材エポキシ樹脂積層板、ガラス繊維織布基材とガラス繊維不織布基材を複合したコンポジットエポキシ樹脂積層板などがある。この中で、綿布基材フェノール樹脂積層板とガラス繊維織布基材エポキシ樹脂積層板が、被研磨物保持材として多用されている。
従来、被研磨物保持材として、電気絶縁用積層板を加工したものが用いられていた。この電気絶縁用積層板は、熱硬化性樹脂を含浸、乾燥させたシート状基材（プリプレグ）の層を加熱加圧成形したものである。電気絶縁用積層板としては、例えば、綿布基材フェノール樹脂積層板、ガラス繊維織布基材エポキシ樹脂積層板、ガラス繊維不織布基材エポキシ樹脂積層板、ガラス繊維織布基材とガラス繊維不織布基材を複合したコンポジットエポキシ樹脂積層板などがある。この中で、綿布基材フェノール樹脂積層板とガラス繊維織布基材エポキシ樹脂積層板が、被研磨物保持材として多用されている。
被研磨物保持材に要求される特性は、耐摩耗性，板厚精度，反り特性，寸法安定性などである。被研磨物の厚みが１ｍｍ程度である場合は、ガラス繊維基材を用いた被研磨物保持材の厚みも１ｍｍ程度で十分であり、ガラス繊維基材を用いた被研磨物保持材でも十分に適用できるが、近年の被研磨物の薄肉化に対して、ガラス繊維基材を用いた被研磨物保持材は、適用が困難となっている。また、生産性の観点から、被研磨物の寸法も３００ｍｍ以上と大きくなる傾向にあるため、ガラス繊維基材を用いた被研磨物保持材に対する、反り、寸法精度、強度、耐久性及び耐摩耗性を改善する要求が強くなされている。
これらの改善のため、被研磨物保持材を形成する材料として、炭素繊維、アラミド系繊維などの繊維基材材料が検討され、採用されている（例えば、特許文献１及び２参照）。しかしながら、カーボン繊維は、軽量・高剛性の点で優れているが、その反面、高価であり、導電性を有するため、通電部分に対して絶縁処理を施す必要がある。また、アラミド系繊維も、軽量・高剛性の点で優れているが、その反面、高価であり、吸湿性が高く、高温高湿の雰囲気中で変形しやすいという問題がある。そのような状況で、汎用ガラス繊維織布基材エポキシ樹脂積層板並みの低コストで、汎用性があり、研磨物の生産性の向上に寄与する被研磨物保持材が強く要求されている。
これらの改善のため、被研磨物保持材を形成する材料として、炭素繊維、アラミド系繊維などの繊維基材材料が検討され、採用されている（例えば、特許文献１及び２参照）。しかしながら、カーボン繊維は、軽量・高剛性の点で優れているが、その反面、高価であり、導電性を有するため、通電部分に対して絶縁処理を施す必要がある。また、アラミド系繊維も、軽量・高剛性の点で優れているが、その反面、高価であり、吸湿性が高く、高温高湿の雰囲気中で変形しやすいという問題がある。そのような状況で、汎用ガラス繊維織布基材エポキシ樹脂積層板並みの低コストで、汎用性があり、研磨物の生産性の向上に寄与する被研磨物保持材が強く要求されている。
本発明は上記事情に鑑みなされたもので、ガラス繊維基材を用いた被研磨物保持材における強度を改善し、被研磨物に対する被研磨物保持材の反りが低減するとともに、寸法精度及び耐久性が向上し、かつ経済的に有利な被研磨物保持材を提供することを目的とするものである。
本発明者らは、鋭意研究を重ねた結果、熱硬化性樹脂を含浸させた玄武岩繊維基布を加熱加圧成形してなる層を有する被研磨物保持材により、前記目的が達成されることを見出した。本発明はかかる知見に基づいて完成したものである。
すなわち本発明は、以下の被研磨物保持材、及び研磨物の製造方法を提供するものである。
１． 熱硬化性樹脂を含浸させた玄武岩繊維基布を加熱加圧成形してなる層を有することを特徴とする被研磨物保持材。
２． 熱硬化性樹脂を含浸させた玄武岩繊維基布を表面材とし、熱硬化性樹脂を含浸させたガラス繊維基布を芯材とし、これらを加圧成形してなる上記１記載の被研磨物保持材。
３． 玄武岩繊維基布が、玄武岩から得られた単糸の撚糸又は収束糸からなる連続長繊維を用いて作製された基布である上記１又は２に記載の被研磨物保持材。
４． 連続長繊維を用いて作製された基布が織布である上記３に記載の被研磨物保持材。
５． 連続長繊維の平均径が７〜２０μｍである上記３又は４に記載の被研磨物保持材。
６． 熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂であり、少なくとも表面のエポキシ樹脂が可とう性成分を含有する上記１〜５のいずれかに記載の被研磨物保持材。
７． 周囲にギアを形成した被研磨物保持材に被研磨物を嵌め込むための貫通穴を設け、当該貫通穴に被研磨物を嵌め込んだ被研磨物保持材を、インターナルギアと太陽ギアを有する研磨装置に装着し、被研磨物保持材を遊星運動させることにより前記被研磨物を回転研磨してなる研磨物の製造方法であって、前記被研磨物保持材として上記１〜６のいずれかに記載の被研磨物保持材を用いることを特徴とする研磨物の製造方法。
すなわち本発明は、以下の被研磨物保持材、及び研磨物の製造方法を提供するものである。
１． 熱硬化性樹脂を含浸させた玄武岩繊維基布を加熱加圧成形してなる層を有することを特徴とする被研磨物保持材。
２． 熱硬化性樹脂を含浸させた玄武岩繊維基布を表面材とし、熱硬化性樹脂を含浸させたガラス繊維基布を芯材とし、これらを加圧成形してなる上記１記載の被研磨物保持材。
３． 玄武岩繊維基布が、玄武岩から得られた単糸の撚糸又は収束糸からなる連続長繊維を用いて作製された基布である上記１又は２に記載の被研磨物保持材。
４． 連続長繊維を用いて作製された基布が織布である上記３に記載の被研磨物保持材。
５． 連続長繊維の平均径が７〜２０μｍである上記３又は４に記載の被研磨物保持材。
６． 熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂であり、少なくとも表面のエポキシ樹脂が可とう性成分を含有する上記１〜５のいずれかに記載の被研磨物保持材。
７． 周囲にギアを形成した被研磨物保持材に被研磨物を嵌め込むための貫通穴を設け、当該貫通穴に被研磨物を嵌め込んだ被研磨物保持材を、インターナルギアと太陽ギアを有する研磨装置に装着し、被研磨物保持材を遊星運動させることにより前記被研磨物を回転研磨してなる研磨物の製造方法であって、前記被研磨物保持材として上記１〜６のいずれかに記載の被研磨物保持材を用いることを特徴とする研磨物の製造方法。
本発明によれば、被研磨物に対する反りが低減するとともに、寸法精度及び耐久性が向上し、かつ経済的に有利な被研磨物保持材を提供することができる。研磨物の製造に際して本発明の被研磨物保持材を用いると、被研磨物におけるスクラッチが低減され、研磨物の製造歩留まりの向上を図ることができるため、研磨物のコスト低減が可能となる。また、玄武岩繊維基布で被研磨物保持材を構成することにより、被研磨物保持材の強度が増し、ギア部分の摩耗が抑制されるので、本発明の被研磨物保持材は、従来の汎用品であるガラス繊維基布からなる被研磨物保持材よりも使用寿命が長くなる。
本発明の被研磨物保持材は、熱硬化性樹脂を含浸させた玄武岩繊維基布を加熱加圧成形してなる層を有する。
本発明で用いる玄武岩繊維基布は、玄武岩から得られた単糸の撚糸又は収束糸からなる連続長繊維を用いて作製された基布であり、前記単糸は、一般的方法にて、原料である火成岩（噴出岩）の一種である玄武岩を、洗浄、粉砕溶融し、紡糸することにより、製造することができる。前記連続長繊維の平均径は、製造性の観点から、通常７〜２０μｍ程度である。
玄武岩繊維は、ガラス繊維に比べて高強度で剛性が高く、また、吸水性も小さい。一般的に、ガラス繊維の弾性率が７２００（Ｎ／ｍｍ2）程度であるのに対し、玄武岩繊維の弾性率は１００００（Ｎ／ｍｍ2）程度である。また、吸水率はガラス繊維が１．０質量％程度であるのに対して、玄武岩繊維は０．５質量％程度である。玄武岩繊維が有する前記特性により、本発明の被研磨物保持材は、ガラス繊維基布からなる被研磨物保持材における強度が改善されるとともに、被研磨物に対する反りの低減、寸法精度及び耐久性の向上を実現することが可能となる。
本発明で用いる玄武岩繊維基布は、玄武岩から得られた単糸の撚糸又は収束糸からなる連続長繊維を用いて作製された基布であり、前記単糸は、一般的方法にて、原料である火成岩（噴出岩）の一種である玄武岩を、洗浄、粉砕溶融し、紡糸することにより、製造することができる。前記連続長繊維の平均径は、製造性の観点から、通常７〜２０μｍ程度である。
玄武岩繊維は、ガラス繊維に比べて高強度で剛性が高く、また、吸水性も小さい。一般的に、ガラス繊維の弾性率が７２００（Ｎ／ｍｍ2）程度であるのに対し、玄武岩繊維の弾性率は１００００（Ｎ／ｍｍ2）程度である。また、吸水率はガラス繊維が１．０質量％程度であるのに対して、玄武岩繊維は０．５質量％程度である。玄武岩繊維が有する前記特性により、本発明の被研磨物保持材は、ガラス繊維基布からなる被研磨物保持材における強度が改善されるとともに、被研磨物に対する反りの低減、寸法精度及び耐久性の向上を実現することが可能となる。
本発明においては、前記玄武岩から得られた連続長繊維は、樹脂との濡れ性や接着性などを良好とするために、表面処理剤で予め処理しておいてもよい。この表面処理剤としては、例えば、シラン系、チタネート系、アルミニウム系、クロム系、ジルコニウム系、ボラン系カップリング剤などが挙げられる。これらの中でシラン系カップリング剤及びチタネート系カップリング剤が好ましく、特に、シラン系カップリング剤が好適である。
このシランカップリング剤としては、例えば、トリエトキシシラン、ビニルトリス（β−メトキシエトキシ）シラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、Ｎ−β−（アミノエチル）−γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン及びγ−クロロプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。
このシランカップリング剤としては、例えば、トリエトキシシラン、ビニルトリス（β−メトキシエトキシ）シラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、Ｎ−β−（アミノエチル）−γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン及びγ−クロロプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。
本発明において、玄武岩繊維基布の形態は、不織布、織布及び編布のいずれであってもよいが、被研磨物保持材の反りを低減させ、強度及び耐摩耗性などをより向上させる観点から、織布が好ましい。不織布は、繊維同士を絡ませたり接着したりして作製される布地であって、スパンレース不織布やニードルパンチ不織布等の乾式タイプもの、湿式タイプのもの、スパンボンド不織布等の紡糸直結タイプのものなどが挙げられる。織布は、長さ方向の経糸と幅方向の緯糸とが互いに直角に上下に組み合わされて交差したものであり、例えば平織りや綾織りなどが挙げられる。編布は、緯又は経のいずれか一方の方向に糸を持ち、ループを連続させることによって作製され、例えばニット地などが挙げられる。
本発明で用いる玄武岩繊維基布に含浸させる熱硬化性樹脂は、特に限定されるものではなく、例えば、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂及びポリイミド樹脂などから選ばれる一種又は二種以上を用いることができる。しかしながら、本発明者らの研究により、比較的耐熱性の高いフェノール樹脂やポリイミド樹脂などは、樹脂自体は硬いものの、接着性が比較的低いため、研磨時に玄武岩繊維基布と樹脂との界面剥離が発生しやすかったり、樹脂自体の破壊・摩耗が起こりやすいことがわかった。なお、フェノール樹脂やポリイミド樹脂の接着性が比較的低いのは、例えば接着に関与しないベンゼン核などを分子骨格に高密度で有しているからである。
このようなことから、本発明においては、熱硬化性樹脂としてエポキシ樹脂を使用することが好ましい。さらに、エポキシ樹脂の脆さを低減するために、ゴム成分などの可撓性成分を加えることにより変性したエポキシ樹脂も好ましく用いることができる。
前記熱硬化性樹脂には、ジシアンジアミド、酸無水物、アミン類、イミダゾール類などの硬化剤を添加することができる。硬化剤の使用量は、熱硬化性樹脂１００質量部に対して、通常０．１〜１０質量部程度である。
前記熱硬化性樹脂には、ジシアンジアミド、酸無水物、アミン類、イミダゾール類などの硬化剤を添加することができる。硬化剤の使用量は、熱硬化性樹脂１００質量部に対して、通常０．１〜１０質量部程度である。
本発明の被研磨物保持材は、公知の電気絶縁用積層板の成形と同様に行うことにより、製造することができる。すなわち、熱硬化性樹脂を含浸させ、乾燥させた玄武岩繊維基布を離型フィルムで被覆して鏡面板に挟み込み、プレス熱盤間で加熱加圧成形する。熱硬化性樹脂を含浸させた基布（プリプレグ）を加熱加圧成形してなる層は、プリプレグ１枚からなるものでも複数枚からなるものでもよく、シリコンウエハ、ハードディスクなど被研磨物の種類や研磨条件により、プリプレグの使用枚数を変えたり、熱硬化性樹脂を含浸させた玄武岩繊維基布以外のプリプレグを適宜選択して組み合わせてもよい。例えば、プリプレグ層が複数枚のプリプレグからなる場合、例えば、熱硬化性樹脂を含浸させた玄武岩繊維基布を表面材とし、熱硬化性樹脂を含浸させたガラス繊維基布などを芯材とした構成することができる。
本発明者らが検討した結果、熱硬化性樹脂を含浸させた玄武岩繊維基布を表面材とし、熱硬化性樹脂を含浸させたガラス繊維織布基布を芯材とした構成とすると、スクラッチ発生、反り及びコストなどを抑制する観点から、有利であることが分かった。
本発明者らが検討した結果、熱硬化性樹脂を含浸させた玄武岩繊維基布を表面材とし、熱硬化性樹脂を含浸させたガラス繊維織布基布を芯材とした構成とすると、スクラッチ発生、反り及びコストなどを抑制する観点から、有利であることが分かった。
本発明の被研磨物保持材の厚みは、これを使用する被研磨物の種類や研磨条件に応じて適宜選択され、通常０．４〜２．０ｍｍ程度、好ましくは０．６〜１．０ｍｍである。
本発明の被研磨物保持材は、シリコンウエハやハードディスクなどを研磨する工程において好適に使用される。被研磨物保持材の形態としては、キャリアディスクなどが挙げられる。
本発明は、周囲にギアを形成した被研磨物保持材に被研磨物を嵌め込むための貫通穴を設け、当該貫通穴に被研磨物を嵌め込んだ被研磨物保持材を、インターナルギアと太陽ギアを有する研磨装置に装着し、被研磨物保持材を遊星運動させることにより前記被研磨物を回転研磨してなる研磨物の製造方法であって、前記被研磨物保持材として上述した被研磨物保持材を用いることを特徴とする研磨物の製造方法をも提供する。
本発明の被研磨物保持材は、シリコンウエハやハードディスクなどを研磨する工程において好適に使用される。被研磨物保持材の形態としては、キャリアディスクなどが挙げられる。
本発明は、周囲にギアを形成した被研磨物保持材に被研磨物を嵌め込むための貫通穴を設け、当該貫通穴に被研磨物を嵌め込んだ被研磨物保持材を、インターナルギアと太陽ギアを有する研磨装置に装着し、被研磨物保持材を遊星運動させることにより前記被研磨物を回転研磨してなる研磨物の製造方法であって、前記被研磨物保持材として上述した被研磨物保持材を用いることを特徴とする研磨物の製造方法をも提供する。
次に、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの例によってなんら限定されるものではない。
実施例１
玄武岩繊維基布として、玄武岩繊維織布（日本バサルトファイバー社製、バサルトファイバーからなる平均径が７μｍの繊維を用いた、目付１２０ｇ／ｍ2、厚さ０．１ｍｍの平織り織布）を用い、ガラス繊維基布として、汎用のＥガラス繊維織布（旭シェーベル社製、商品名 Ａ２１１６／ＡＳ４５０、平均径が７μｍの繊維を用いた、目付１０６ｇ／ｍ2、厚さ０．１ｍｍの平織り織布）を用いた。
ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（油化シェル社製、商品名 エピコート１００１）７０質量部とクレゾールノボラック型エポキシ樹脂（東都化成社製、商品名 ＹＤＣＮ−７０４Ｐ）３０質量部とジシアンジアミド３質量部との混合物に、プロピレングリコールモノメチルエーテルを加えて固形分６５質量％のワニスを調製した。
このワニスを、前記玄武岩繊維基布に樹脂比率が２６質量％となるように塗布し、含浸及び乾燥による半硬化を行うことにより、樹脂比率が４３体積％のプリプレグ１を得た。また、前記ワニスを、前記ガラス繊維基布に樹脂比率が２６質量％となるように塗布し、含浸及び乾燥による半硬化を行うことにより、樹脂比率が４３体積％のプリプレグ２を得た。
プリレグ１を１枚、プリプレグ２を８枚、プリプレグ１を１枚の順に重ねた１０枚のプリプレグを、２枚の鏡面板の間に挟み、昇温速度２．０℃／分、硬化温度１７５℃、硬化時間３０分間、圧力４．０ＭＰａの条件で、加熱加圧成形を行い、厚さ０．７５ｍｍの積層板１を得た。この積層板１をルーターマシンにて外形加工し、１２Ｂ（ＤＰ（ダイヤメトラルピッチ）１２、歯数１３４、外形２８７．８６（ｍｍ））の外周形状と、５０φの穴１２個を形成することによって、キャリアディスクを作製した。なお、上記１２Ｂとは、歯車用語であって「１２インチ区分のサイズの、Ｂ仕様区分」を意味する。
実施例１
玄武岩繊維基布として、玄武岩繊維織布（日本バサルトファイバー社製、バサルトファイバーからなる平均径が７μｍの繊維を用いた、目付１２０ｇ／ｍ2、厚さ０．１ｍｍの平織り織布）を用い、ガラス繊維基布として、汎用のＥガラス繊維織布（旭シェーベル社製、商品名 Ａ２１１６／ＡＳ４５０、平均径が７μｍの繊維を用いた、目付１０６ｇ／ｍ2、厚さ０．１ｍｍの平織り織布）を用いた。
ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（油化シェル社製、商品名 エピコート１００１）７０質量部とクレゾールノボラック型エポキシ樹脂（東都化成社製、商品名 ＹＤＣＮ−７０４Ｐ）３０質量部とジシアンジアミド３質量部との混合物に、プロピレングリコールモノメチルエーテルを加えて固形分６５質量％のワニスを調製した。
このワニスを、前記玄武岩繊維基布に樹脂比率が２６質量％となるように塗布し、含浸及び乾燥による半硬化を行うことにより、樹脂比率が４３体積％のプリプレグ１を得た。また、前記ワニスを、前記ガラス繊維基布に樹脂比率が２６質量％となるように塗布し、含浸及び乾燥による半硬化を行うことにより、樹脂比率が４３体積％のプリプレグ２を得た。
プリレグ１を１枚、プリプレグ２を８枚、プリプレグ１を１枚の順に重ねた１０枚のプリプレグを、２枚の鏡面板の間に挟み、昇温速度２．０℃／分、硬化温度１７５℃、硬化時間３０分間、圧力４．０ＭＰａの条件で、加熱加圧成形を行い、厚さ０．７５ｍｍの積層板１を得た。この積層板１をルーターマシンにて外形加工し、１２Ｂ（ＤＰ（ダイヤメトラルピッチ）１２、歯数１３４、外形２８７．８６（ｍｍ））の外周形状と、５０φの穴１２個を形成することによって、キャリアディスクを作製した。なお、上記１２Ｂとは、歯車用語であって「１２インチ区分のサイズの、Ｂ仕様区分」を意味する。
実施例２
ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（油化シェル社製、商品名 エピコート１００１）７０質量部とクレゾールノボラックエポキシ樹脂（東都化成社製、商品名 ＹＤＣＮ−７０４Ｐ）３０質量部とジシアンジアミド３質量部との混合物に、プロピレングリコールモノメチルエーテルを加えて固形分６５質量％のワニスを調製した。
このワニスを、実施例１で用いたものと同様の玄武岩繊維基布に樹脂比率が２６質量％となるように塗布し、含浸及び乾燥による半硬化を行うことにより、樹脂比率が４３体積％のプリプレグ１を得た。
１０枚のプリレグ１を、２枚の鏡面板の間に挟み、昇温速度２．０℃／分、硬化温度１７５℃、硬化時間３０分間、圧力４．０ＭＰａの条件で、加熱加圧成形を行い、厚さ０．７５ｍｍの積層板２を得た。この積層板２をルーターマシンにて外形加工し、１２Ｂ（ＤＰ１２、歯数１３４、外形２８７．８６（ｍｍ））の外周形状と、５０φの穴１２個を形成することによって、キャリアディスクを作製した。
ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（油化シェル社製、商品名 エピコート１００１）７０質量部とクレゾールノボラックエポキシ樹脂（東都化成社製、商品名 ＹＤＣＮ−７０４Ｐ）３０質量部とジシアンジアミド３質量部との混合物に、プロピレングリコールモノメチルエーテルを加えて固形分６５質量％のワニスを調製した。
このワニスを、実施例１で用いたものと同様の玄武岩繊維基布に樹脂比率が２６質量％となるように塗布し、含浸及び乾燥による半硬化を行うことにより、樹脂比率が４３体積％のプリプレグ１を得た。
１０枚のプリレグ１を、２枚の鏡面板の間に挟み、昇温速度２．０℃／分、硬化温度１７５℃、硬化時間３０分間、圧力４．０ＭＰａの条件で、加熱加圧成形を行い、厚さ０．７５ｍｍの積層板２を得た。この積層板２をルーターマシンにて外形加工し、１２Ｂ（ＤＰ１２、歯数１３４、外形２８７．８６（ｍｍ））の外周形状と、５０φの穴１２個を形成することによって、キャリアディスクを作製した。
比較例１
ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（油化シェル社製、商品名 エピコート１００１）７０質量部とクレゾールノボラックエポキシ樹脂（東都化成社製、商品名 ＹＤＣＮ−７０４Ｐ）３０質量部とジシアンジアミド３質量部との混合物に、プロピレングリコールモノメチルエーテルを加えて固形分６５質量％のワニスを調製した。
前記ワニスを、実施例１で用いたものと同様のガラス繊維基布に樹脂比率が２６質量％となるように塗布し、含浸および乾燥による半硬化を行うことにより、樹脂比率が４３体積％のプリプレグ２を得た。
１０枚のプリレグ２を、２枚の鏡面板の間に挟み、昇温速度２．０℃／分、硬化温度１７５℃、硬化時間３０分間、圧力４．０ＭＰａの条件で、加熱加圧成形を行い、厚さ０．７５ｍｍの積層板３を得た。この積層板３をルーターマシンにて外形加工し、１２Ｂ（ＤＰ１２、歯数１３４、外形２８７．８６（ｍｍ））の外周形状と、５０φの穴１２個を形成することによって、キャリアディスクを作製した。
ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（油化シェル社製、商品名 エピコート１００１）７０質量部とクレゾールノボラックエポキシ樹脂（東都化成社製、商品名 ＹＤＣＮ−７０４Ｐ）３０質量部とジシアンジアミド３質量部との混合物に、プロピレングリコールモノメチルエーテルを加えて固形分６５質量％のワニスを調製した。
前記ワニスを、実施例１で用いたものと同様のガラス繊維基布に樹脂比率が２６質量％となるように塗布し、含浸および乾燥による半硬化を行うことにより、樹脂比率が４３体積％のプリプレグ２を得た。
１０枚のプリレグ２を、２枚の鏡面板の間に挟み、昇温速度２．０℃／分、硬化温度１７５℃、硬化時間３０分間、圧力４．０ＭＰａの条件で、加熱加圧成形を行い、厚さ０．７５ｍｍの積層板３を得た。この積層板３をルーターマシンにて外形加工し、１２Ｂ（ＤＰ１２、歯数１３４、外形２８７．８６（ｍｍ））の外周形状と、５０φの穴１２個を形成することによって、キャリアディスクを作製した。
上記実施例及び比較例で作製したキャリアディスクの特性を、以下に示す方法により評価した。結果を表１に示す。
（１）反り
キャリアディスクを平盤に平置きしてその浮き上がり値を測定した。
（２）傷発生率
キャリアディスクで厚さ０．８ｍｍのアルミニウムウエハを１０サイクル研磨した後、アルミニウムウエハの表面状態を観察し、傷発生率を算出した。
（３）使用寿命
キャリアディスクのギア部の摩耗の程度で評価した。すなわち、使用可能な摩耗程度における使用可能なバッチ数を調べ、比較例１における使用可能なバッチ数を１００としたときの指数で表した。
（１）反り
キャリアディスクを平盤に平置きしてその浮き上がり値を測定した。
（２）傷発生率
キャリアディスクで厚さ０．８ｍｍのアルミニウムウエハを１０サイクル研磨した後、アルミニウムウエハの表面状態を観察し、傷発生率を算出した。
（３）使用寿命
キャリアディスクのギア部の摩耗の程度で評価した。すなわち、使用可能な摩耗程度における使用可能なバッチ数を調べ、比較例１における使用可能なバッチ数を１００としたときの指数で表した。
研磨物の製造に際して本発明の被研磨物保持材を用いると、被研磨物におけるスクラッチが低減され、研磨物の製造歩留まりの向上を図ることができるため、研磨物のコスト低減が可能となる。本発明の被研磨物保持材は、シリコンウエハやハードディスクなどを研磨する工程において、キャリアディスクなどの形態で好適に使用される。
Claims (7)
- 熱硬化性樹脂を含浸させた玄武岩繊維基布を加熱加圧成形してなる層を有することを特徴とする被研磨物保持材。
- 熱硬化性樹脂を含浸させた玄武岩繊維基布を表面材とし、熱硬化性樹脂を含浸させたガラス繊維基布を芯材とし、これらを加圧成形してなる請求項１記載の被研磨物保持材。
- 玄武岩繊維基布が、玄武岩から得られた単糸の撚糸又は収束糸からなる連続長繊維を用いて作製された基布である請求項１又は２に記載の被研磨物保持材。
- 連続長繊維を用いて作製された基布が織布である請求項３に記載の被研磨物保持材。
- 連続長繊維の平均径が７〜２０μｍである請求項３又は４に記載の被研磨物保持材。
- 熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂であり、少なくとも表面のエポキシ樹脂が可とう性成分を含有する請求項１〜５のいずれかに記載の被研磨物保持材。
- 周囲にギアを形成した被研磨物保持材に被研磨物を嵌め込むための貫通穴を設け、当該貫通穴に被研磨物を嵌め込んだ被研磨物保持材を、インターナルギアと太陽ギアを有する研磨装置に装着し、被研磨物保持材を遊星運動させることにより前記被研磨物を回転研磨してなる研磨物の製造方法であって、前記被研磨物保持材として請求項１〜６のいずれかに記載の被研磨物保持材を用いることを特徴とする研磨物の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007098578A JP2008254112A (ja) | 2007-04-04 | 2007-04-04 | 被研磨物保持材及び研磨物の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007098578A JP2008254112A (ja) | 2007-04-04 | 2007-04-04 | 被研磨物保持材及び研磨物の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2008254112A true JP2008254112A (ja) | 2008-10-23 |
Family
ID=39978220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007098578A Pending JP2008254112A (ja) | 2007-04-04 | 2007-04-04 | 被研磨物保持材及び研磨物の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2008254112A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20160074296A (ko) * | 2014-12-18 | 2016-06-28 | 한국세라믹기술원 | 하이브리드 세라믹 섬유강화 복합재료 제조방법 및 이에 의해 제조된 하이브리드 세라믹 섬유강화 복합재료 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63108033A (ja) * | 1986-10-23 | 1988-05-12 | Kyushu Refract Co Ltd | 無機繊維強化樹脂複合材料 |
| JPH11309667A (ja) * | 1997-10-20 | 1999-11-09 | Shin Kobe Electric Mach Co Ltd | 被研磨物保持材及び被研磨物の製造法 |
| JP2002234949A (ja) * | 2001-02-08 | 2002-08-23 | Lignyte Co Ltd | 耐熱成形体 |
| JP2006303971A (ja) * | 2005-04-21 | 2006-11-02 | Pioneer Electronic Corp | スピーカー装置用振動系部品及びその製造方法 |
| US20070052134A1 (en) * | 2005-09-08 | 2007-03-08 | Michael Draper | Planar elements incorporating basalt fibers for use in papermaking apparatus |
-
2007
- 2007-04-04 JP JP2007098578A patent/JP2008254112A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63108033A (ja) * | 1986-10-23 | 1988-05-12 | Kyushu Refract Co Ltd | 無機繊維強化樹脂複合材料 |
| JPH11309667A (ja) * | 1997-10-20 | 1999-11-09 | Shin Kobe Electric Mach Co Ltd | 被研磨物保持材及び被研磨物の製造法 |
| JP2002234949A (ja) * | 2001-02-08 | 2002-08-23 | Lignyte Co Ltd | 耐熱成形体 |
| JP2006303971A (ja) * | 2005-04-21 | 2006-11-02 | Pioneer Electronic Corp | スピーカー装置用振動系部品及びその製造方法 |
| US20070052134A1 (en) * | 2005-09-08 | 2007-03-08 | Michael Draper | Planar elements incorporating basalt fibers for use in papermaking apparatus |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20160074296A (ko) * | 2014-12-18 | 2016-06-28 | 한국세라믹기술원 | 하이브리드 세라믹 섬유강화 복합재료 제조방법 및 이에 의해 제조된 하이브리드 세라믹 섬유강화 복합재료 |
| KR101659591B1 (ko) | 2014-12-18 | 2016-09-23 | 한국세라믹기술원 | 하이브리드 세라믹 섬유강화 복합재료 제조방법 및 이에 의해 제조된 하이브리드 세라믹 섬유강화 복합재료 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6156362B2 (ja) | 被研磨物保持材及びこれに用いる積層板 | |
| TW201903013A (zh) | 金屬-纖維強化樹脂材料複合體及其製造方法 | |
| WO1997028210A1 (fr) | Compositions de resines pour materiaux composites a renfort de fibres et leurs procedes de fabrication, pre-impregnes, composites a renfort de fibres, et structures en nids d'abeilles | |
| CN100506908C (zh) | 纤维增强复合材料用环氧树脂组合物、预浸料坯和纤维增强复合材料 | |
| JP2974007B1 (ja) | 被研磨物保持材及び被研磨物の製造法 | |
| JPWO2017006896A1 (ja) | 樹脂組成物、プリプレグ、レジンシート、金属箔張積層板及びプリント配線板 | |
| JP2010099767A (ja) | 被研磨物保持材及び研磨物の製造方法 | |
| JP2009061531A (ja) | 被研磨物保持材及びその製造方法 | |
| JP2008254113A (ja) | 被研磨物保持材及び研磨物の製造方法 | |
| JP2008254112A (ja) | 被研磨物保持材及び研磨物の製造方法 | |
| JP5779125B2 (ja) | センタレス研削用砥石 | |
| JP2010195844A (ja) | 部分含浸プリプレグ及びその製造方法並びにそれを用いた繊維強化複合材料の製造方法 | |
| JP6470976B2 (ja) | 被研磨物保持材 | |
| JP2010142892A (ja) | プリプレグ積層体及びこれを用いた研磨用キャリア材及びこれらの製造法 | |
| JPWO2019208040A1 (ja) | 炭素繊維強化複合材料用エポキシ樹脂組成物、プリプレグ、炭素繊維強化複合材料 | |
| JP6499029B2 (ja) | 振動減衰部材製造用シート状物、このシート状物を用いた振動減衰部材およびその製造方法 | |
| JP5443777B2 (ja) | プリプレグ、積層板及び被研磨物保持材 | |
| JP2016036872A (ja) | 研磨物保持用基材 | |
| JP4017910B2 (ja) | 被研磨物保持材及びその製造方法 | |
| JP4517552B2 (ja) | 被研磨物保持材 | |
| JP2016087767A (ja) | 被研磨物保持材 | |
| JP2012139803A (ja) | 被研磨物保持材、研磨装置及び被研磨物の研磨方法 | |
| JP6325357B2 (ja) | 表面処理炭素繊維フィルム | |
| TW201918379A (zh) | 可靜態彎折的覆銅板及其製作方法和彎曲成型方法 | |
| TWI813504B (zh) | 玻璃布、玻璃布之製造方法、預浸體、印刷電路板 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100323 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120517 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120522 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20121106 |