JP2008249352A - 寸法測定装置及び寸法測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被測定物2の寸法を測定する寸法測定装置1であって、被測定物2を搬送する搬送手段5と、被測定物2が搬送される搬送領域10,11内の温度を制御する温度制御手段と、搬送領域10,11における測定部6に搬送された被測定物2の寸法を測定する寸法測定手段15と、寸法測定手段による寸法測定時の被測定物2の温度を測定する温度測定手段14とを備え、寸法測定手段15によって測定された被測定物2の寸法は、温度測定手段14によって測定された温度を用いて、予め定められた基準温度における寸法に補正される。
【選択図】図1
Description
S0〔μm〕:ワーク2の測定変位
Tm〔℃〕:マスタ16の温度(基準温度)
tm〔μm〕:マスタ16の厚さ(基準寸法)
αm〔1/℃〕:マスタ16の線膨張係数
Tw〔℃〕:ワーク2の温度
tw〔μm〕:ワーク2の厚さ
αw〔1/℃〕ワーク2の線膨張係数
2 ワーク
2a ロータ
2b カムリング
5 コンベア
6 測定部
7 収容部
9 入口部
10 冷却領域
11 ならし領域
14 温度測定部
15 寸法測定部
16 マスタ
18 コントローラ
Claims (9)
- 被測定物の寸法を測定する寸法測定装置であって、
被測定物を搬送する搬送手段と、
被測定物が搬送される搬送領域内の温度を制御する温度制御手段と、
前記搬送領域における測定部に搬送された被測定物の寸法を測定する寸法測定手段と、
前記寸法測定手段による寸法測定時の被測定物の温度を測定する温度測定手段と、を備え、
前記寸法測定手段によって測定された被測定物の寸法は、前記温度測定手段によって測定された温度を用いて、予め定められた基準温度における寸法に補正されることを特徴とする寸法測定装置。 - 被測定物は、前記補正された寸法と予め定められた基準寸法との寸法差に基づいて、寸法精度が評価されることを特徴とする請求項1に記載の寸法測定装置。
- 前記測定部に配置された基準材をさらに備え、
前記基準温度は、前記基準材の温度を測定することによって設定され、
前記基準寸法は、前記基準材の基準温度測定時に当該基準材の寸法を測定することによって設定されることを特徴とする請求項2に記載の寸法測定装置。 - 前記寸法測定手段は、被測定物における前記基準材の基準寸法との寸法差を測定する変位計であり、
当該変位計によって測定された変位は、前記温度測定手段によって測定された温度を用いて、前記基準材の基準温度における変位に補正され、
被測定物は、前記補正された変位に基づいて寸法精度が評価されることを特徴とする請求項3に記載の寸法測定装置。 - 前記基準温度及び前記基準寸法の測定は、
前記基準材の測定後の所定時間経過後、又は前記温度測定手段によって測定された被測定物の温度と前記基準温度との温度差が所定以上となった場合に行なわれることを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の寸法測定装置。 - 前記搬送領域は、
被測定物を強制的に冷却する第1の領域と、
前記第1の領域にて冷却された被測定物の温度をならす第2の領域と、
に区画されることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一つに記載の寸法測定装置。 - 被測定物の寸法を測定する寸法測定方法であって、
被測定物が搬送される搬送領域内の温度を制御する温度制御工程と、
前記搬送領域における測定部に搬送された被測定物の寸法を測定する寸法測定工程と、
前記寸法測定工程による寸法測定時の被測定物の温度を測定する温度測定工程と、
前記寸法測定工程によって測定された被測定物の寸法を、前記温度測定工程によって測定された温度を用いて、予め定められた基準温度における寸法に補正する補正工程と、
を備えることを特徴とする寸法測定方法。 - 前記補正された寸法と予め定められた基準寸法との寸法差に基づいて、被測定物の寸法精度を評価する評価工程を
さらに備えることを特徴とする請求項7に記載の寸法測定方法。 - 前記基準温度は、前記測定部に配置された基準材の温度を測定することによって設定され、
前記基準寸法は、前記基準材の基準温度測定時に当該基準材の寸法を測定することによって設定されることを特徴とする請求項8に記載の寸法測定方法。
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