JP2008249002A - 圧電素子駆動式制御弁 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 弁座8dを有するボディ8と、弁座8dに当離座する金属ダイヤフラム9と、ボディ8側に昇降自在に支持されたアクチュエータボックス13と、ボディ8側に固定された割りベース11と、アクチュエータボックス13を下方へ押圧附勢して金属ダイヤフラム9を弁座8dへ当座させる皿バネ15と、アクチュエータボックス13内に収容され、電圧の印加により上方へ伸長してアクチュエータボックス13を皿バネ15の弾性力に抗して押し上げる圧電アクチュエータ16とから成る圧電素子駆動式制御弁1に於いて、割りベース11と圧電アクチュエータ16との間に、圧電アクチュエータ16の圧電素子に常時圧縮力を加える予圧機構20を介設する。
【選択図】 図2
Description
しかし、この圧電素子駆動式制御弁30に使用されている皿バネ38は、アクチュエータボックス36を下方へ押圧附勢してダイヤフラム押え37により金属ダイヤフラム32を弁座31bへ当座させるためのものであるため、あまり強い弾性力を有する皿バネ38を使用した場合には、金属ダイヤフラム32や弁座31bが損傷してしまうことになる。そのため、圧電素子駆動式制御弁30の皿バネ38には、あまり強い弾性力を有する皿バネ38を使用することができない。その結果、圧電アクチュエータ40にも、あまり大きな予圧荷重を掛けることができず、圧電素子40bに大きな引っ張り応力が作用したときに圧電素子40bが破壊されてしまうと云う問題があった。
この問題(アクチュエータボックス36の熱膨張による隙間の発生)を解決するためには、制御弁30自体を予め圧電アクチュエータ40に外部から200N程度の圧縮力を加えられるような構造の制御弁とすることが好ましいが、このような制御弁は未だ開発されていないのが現状である。
又、本発明の圧電素子駆動式制御弁は、圧電アクチュエータの圧電素子に常時圧縮力を加える予圧機構を備えているため、例えば、当該制御弁を高温環境下に於いて使用する場合に、圧電アクチュエータを収容するアクチュエータボックスが熱膨張により伸びても、予圧機構を介して圧電アクチュエータの圧電素子に常時一定の圧縮力を加えることができる。その結果、本発明の圧電素子駆動式制御弁は、圧電アクチュエータの圧電素子の伸長時にその発生力をアクチュエータボックスへ確実且つ良好に伝達することができ、高精度な流量制御を行うことができる。
更に、本発明の圧電素子駆動式制御弁は、予圧機構が、アクチュエータボックス内の圧電アクチュエータの直下位置に上下動自在に配設され、上端面が圧電アクチュエータの下端面に設けた変位部に当接すると共に、下端面が割りベースの上壁又は緩衝用皿バネに当接可能な鍔付の軸状の予圧パーツと、予圧パーツの鍔部とアクチュエータボックスの下端部内周面に形成した段部との間に介設され、予圧パーツの下端面が割りベースの上壁又は緩衝用皿バネに当接したときに予圧パーツを弾性的に押し上げて圧電アクチュエータの圧電素子を常時加圧する予圧用の皿バネとから成るため、予圧用の皿バネの枚数を変えることにより圧電アクチュエータの圧電素子に加わる圧縮力を自由に調整することができる。然も、予圧機構の組み立て時には、割りベースの上壁又は緩衝用皿バネと圧電アクチュエータの下端面との間に予圧パーツ及び予圧用の皿バネを入れるだけで良く、組み立ても比較的簡単且つ容易に行える。
図1は本発明の第1の実施の形態に係る圧電素子駆動式制御弁1を圧力式流量制御装置用の制御弁として用いたものであり、前記圧力式流量制御装置は、圧電素子駆動式制御弁1と、圧電素子駆動式制御弁1の上流側に接続された入口側ブロック2と、圧電素子駆動式制御弁1の下流側に接続された出口側ブロック3と、圧電素子駆動式制御弁1の下流側に設けた流量制御用のオリフィス4と、オリフィス4の上流側に設けられてオリフィス4の上流側圧力を検出する圧力センサー5と、圧電素子駆動式制御弁1の上流側に設けたガスケットフィルター6と、圧電素子駆動式制御弁1を制御する制御回路7等から構成されており、オリフィス4の上流側圧力によりオリフィス通過流量を演算しながら圧電素子駆動式制御弁1の開閉によりオリフィス通過流量を制御するようにしたものである。
このボディ8の上流側には、ボディ8の入口通路8cに連通する導入通路2aと、導入通路2aの出口側に形成されたフィルター挿着孔2bと、流体の漏洩を検査するためのリークポート2cとを夫々備えたステンレス材製の入口側ブロック2が複数本のボルト(図示省略)により接続されている。又、ボディ8の下流側には、ボディ8の出口通路8eに連通する排出通路3aと、排出通路3aの入口側に形成されたオリフィス挿着孔3bと、流体の漏洩を検査するためのリークポート3cとを夫々備えたステンレ材製の出口側ブロック3が複数本のボルト(図示省略)により接続されている。
この金属ダイヤフラム9は、弁座8dと対向するように凹部8a内へ配置されてその外周縁部が押えアダプター10等によりボディ8側へ気密状に保持固定されており、下方への押圧により弁座8dへ当座すると共に、押圧力の喪失時にその弾性力により弁座8dから離座するようになっている。
尚、金属ダイヤフラム9の材質は、ステンレス鋼やインコネル、その他の合金鋼であっても良く、又、複数枚の金属ダイヤフラム9を積層した金属ダイヤフラム9であっても良い。
割りベース11を構成する各割りベース片11′は、短い円筒部11aの上端にアクチュエータボックス13の下端部周壁に形成したガイド穴13cに挿入されてアクチュエータボックス13の底壁13a上面に対向する上壁11bを、又、円筒部11aの下端にボディ8の凹部8a内に挿入される鍔部11cを夫々形成したものを中央部で二つ割することにより形成されている。
そして、割りベース11の上壁11bとアクチュエータボックス13の底壁13aとの間には、アクチュエータボックス13を下方へ押圧附勢してダイヤフラム押え14を介して金属ダイヤフラム9の中央部分を弁座8dへ当座させる複数枚の皿バネ15が介設されている。
このベース押え12は、ボディ8の凹部8a内に起立姿勢で螺着固定されており、アクチュエータボックス13をボディ8側へ昇降自在に支持すると共に、金属ダイヤフラム9の外周縁部、押えアダプター10及び割りベース11の鍔部11cをボディ8側へ押圧固定するためのものである。
このアクチュエータボックス13は、その内部空間に皿バネ15、圧電アクチュエータ16及び予圧機構20を収容すると共に、金属ダイヤフラム9の中央部を下方へ押し下げる作用をするものであり、当該アクチュエータボックス13の底壁13a下面には、金属ダイヤフラム9の上面側中央部に当接する合成樹脂製のダイヤフラム押え14が挿着される下向きの挿着穴13bが形成されている。
又、アクチュエータボックス13の下端部周壁には、割りベース11の上壁11bが挿入される縦長のガイド穴13cが対向状に形成されていると共に、アクチュエータボックス13の下端部内周面の割りベース11の上壁11bよりも高い位置には、予圧機構20の予圧用の皿バネ22を支持載置するための段部13dが形成されている。
更に、アクチュエータボックス13の上端部外周面には、調整用袋ナット19及びロックナット24が上下方向へ移動調整自在に螺着される雄ネジ13eが形成されている。
この圧電アクチュエータ16は、図1及び図2に示す如く、その半球状の変位部16aが下を向く状態でアクチュエータボックス13内に収容されており、その下端が割りベース11の上壁11bに予圧機構20の予圧パーツ21を介して支持されていると共に、その上端がアクチュエータボックス13の上端部に上下方向へ移動調整自在に螺着した調整用袋ナット19にベアリング受け17及びベアリング18を介して位置調整可能に支持されている
従って、この圧電アクチュエータ16は、電圧の印加により上方へ伸長してアクチュエータボックス13を皿バネ15の弾性力に抗して上方へ押し上げるようになっている。
又、予圧パーツ21は、ステンレス材により形成されており、その上端面中心部には、圧電アクチュエータ16の半球状の変位部16aが支持載置される円錐状の受け溝21bが形成されている。
又、この圧電素子駆動式制御弁1は、組み立てる際に押えアダプター10、割りベース11、アクチュエータボックス13、ベース押え12、予圧機構20の予圧パーツ21及び予圧用の皿バネ22、圧電アクチュエータ16等は全て所定の位置に整然と自動的に固定されると共に、各部材の軸心は極めて高精度に一致されることになる。その結果、圧電素子駆動式制御弁1は、組み付け精度が大幅に向上して組み付け精度のバラツキやヒステリシス現象が減少するだけでなく、作動の安定性及び応答性の向上が可能となる。
これにより、大きな押し上げ力がベアリング受け17、ベアリング18及び調整用袋ナット19を介してアクチュエータボックス13に働き、当該アクチュエータボックス13がベース押え12にその軸心を保持された状態で皿バネ15の弾性力に抗して上記設定値だけ上昇する。その結果、金属ダイヤフラム9がその弾性力によって弁座8dから離座し、圧電素子駆動式制御弁1は開弁状態となる。
このとき、圧電アクチュエータ16には、予圧機構20により圧電アクチュエータ16を常時上方へ圧縮する圧縮力が加えられているため、例えば、圧電素子駆動式制御弁1を高温環境下に於いて使用した場合に、圧電アクチュエータ16を収容するアクチュエータボックス13等が熱膨張により伸びても、圧電アクチュエータ16の上端部と調整用袋ナット19との間に隙間が生じることがなく、予圧機構20を介して圧電アクチュエータ16に常時一定の圧縮力を加えることができる。その結果、この圧電素子駆動式制御弁1は、圧電アクチュエータ16の伸長時にその発生力をアクチュエータボックス13へ確実且つ良好に伝達することができ、高精度な流量制御を行うことができる。
このとき、圧電アクチュエータ16には、予圧機構20により圧電アクチュエータ16を常時圧縮する圧縮力が加えられているため、圧電アクチュエータ16が縮む際に圧電素子間に引っ張り力が掛かっても、予圧機構20の圧縮力により圧電素子間に掛かる引っ張り力が緩和されることになる。その結果、この圧電素子駆動式制御弁1は、引っ張り力による圧電アクチュエータ16の圧電素子の破壊を防止することができ、圧電アクチュエータ16の延命化を図れると共に、圧電アクチュエータ16の信頼性を確保することができる。
図8のグラフからも明らかなように、圧電アクチュエータ16の特性は十分に確保できていることが確認された。
このボディ8の上流側には、ボディ8の入口通路8cに連通する導入通路2aと、導入通路2aの出口側に形成されたフィルター挿着孔2bと、流体の漏洩を検査するためのリークポート2cとを夫々備えたステンレス材製の入口側ブロック2が複数本のボルト(図示省略)により接続されている。又、ボディ8の下流側には、ボディ8の出口通路8eに連通する排出通路3aと、排出通路3aの入口側に形成されたオリフィス挿着孔3bと、流体の漏洩を検査するためのリークポート3cとを夫々備えたステンレ材製の出口側ブロック3が複数本のボルト(図示省略)により接続されている。
この金属ダイヤフラム9は、弁座8dと対向するように凹部8a内へ配置されてその外周縁部が押えアダプター10等によりボディ8側へ気密状に保持固定されており、下方への押圧により弁座8dへ当座すると共に、押圧力の喪失時にその弾性力により弁座8dから離座するようになっている。
尚、金属ダイヤフラム9の材質は、ステンレス鋼やインコネル、その他の合金鋼であっても良く、又、複数枚の金属ダイヤフラム9を積層した金属ダイヤフラム9であっても良い。
このアクチュエータボックス13は、その内部空間にステム26、圧電アクチュエータ16、緩衝用皿バネ27及び予圧機構21を収容するものであり、当該アクチュエータボックス13の下端部内周面には、予圧機構20の予圧用の皿バネ22を支持載置するための段部13dが形成されている。
又、アクチュエータボックス13の上端部外周面には、調整用袋ナット19及びロックナット24が上下方向へ移動調整自在に螺着される雄ネジ13eが形成されている。
このベース押え12は、ボディ8の凹部8a内に起立姿勢で螺着固定されており、アクチュエータボックス13をボディ8側へ支持すると共に、金属ダイヤフラム9の外周縁部、押えアダプター10及びアクチュエータボックス13の外側段部13fをボディ8側へ押圧固定するためのものである。
このステム26の下端には、金属ダイヤフラム9の上面側中央部に当接する合成樹脂製のダイヤフラム押え14が挿着されている。
この圧電アクチュエータ16は、図9及び図10に示す如く、その半球状の変位部16aが下を向く状態でアクチュエータボックス13内に収容されており、その上端がアクチュエータボックス13の上端部に上下方向へ移動調整自在に螺着した調整用袋ナット19にベアリング受け17及びベアリング18を介して位置調整可能に支持されていると共に、その下端が予圧機構20及び緩衝用皿バネ27を介してステム26側に支持された格好になっている。
又、この圧電アクチュエータ16は、電圧の印加により下方へ伸長して予圧機構20及び緩衝用皿バネ27を介してステム26を下方へ押し下げるようになっている。
又、予圧パーツ21は、ステンレス材により形成されており、その上端面中心部には、圧電アクチュエータ16の半球状の変位部16aが支持載置される円錐状の受け溝21bが形成されている。
そうすると、予圧パーツ21及び緩衝用皿バネ27を介してステム26が押し下げられると共に、ステム26の下端に設けたダイヤフラム押え14により金属ダイヤフラム9の中央部分が弁座8d側へ押し下げられて弁座8dへ当座し、圧電素子駆動式制御弁1は閉弁状態となる。
このとき、圧電アクチュエータ16には、予圧機構20により圧電アクチュエータ16を常時上方へ圧縮する圧縮力が加えられているため、例えば、圧電素子駆動式制御弁1を高温環境下に於いて使用した場合に、圧電アクチュエータ16を収容するアクチュエータボックス13等が熱膨張により伸びても、圧電アクチュエータ16の上端部と調整用袋ナット19との間に隙間が生じることがなく、予圧機構20を介して圧電アクチュエータ16に常時一定の圧縮力を加えることができる。その結果、この圧電素子駆動式制御弁1は、圧電アクチュエータ16の伸長時にその発生力をアクチュエータボックス13へ確実且つ良好に伝達することができ、高精度な流量制御を行うことができる。
このとき、圧電アクチュエータ16には、予圧機構20により圧電アクチュエータ16を常時圧縮する圧縮力が加えられているため、圧電アクチュエータ16が縮む際に圧電素子間に引っ張り力が掛かっても、予圧機構20の圧縮力により圧電素子間に掛かる引っ張り力が緩和されることになる。その結果、この圧電素子駆動式制御弁1は、引っ張り力による圧電アクチュエータ16の圧電素子の破壊を防止することができ、圧電アクチュエータ16の延命化を図れると共に、圧電アクチュエータ16の信頼性を確保することができる。
又、圧電アクチュエータ16には、予圧機構20により圧電アクチュエータ16を常時上方へ圧縮する圧縮力が加えられているため、圧電アクチュエータ16の重量が金属ダイヤフラム9に掛かると云うことがなく、金属ダイヤフラム9に掛かる重量はダイヤフラム押え14とステム26と緩衝用皿バネ27の重さとなる。その結果、この圧電素子駆動式制御弁1は、金属ダイヤフラム9に掛かる重量を制限することができ、金属ダイヤフラム9がその弾性力により弁座8dから離座するときに金属ダイヤフラム9に掛かる負担が小さくなって金属ダイヤフラム9の延命化を図れる。
Claims (4)
- 上方が開放された弁室(8a′)の底面に弁座(8d)を形成したボディ(8)と、弁室(8a′)内に配設され、下方への押圧により弁座(8d)へ当座すると共に、押圧力の喪失時にその弾性力により弁座(8d)から離座する金属ダイヤフラム(9)と、ボディ(8)側に昇降自在に支持され、下端に金属ダイヤフラム(9)の上面に当接するダイヤフラム押え(14)を設けた有底筒状のアクチュエータボックス(13)と、ボディ(8)側に固定され、アクチュエータボックス(13)の下端部周壁に形成した縦長のガイド穴(13c)に挿入されてアクチュエータボックス(13)の底壁(13a)上面に対向する上壁(11b)を有する割りベース(11)と、アクチュエータボックス(13)の底壁(13a)と割りベース(11)の上壁(11b)との間に介設され、アクチュエータボックス(13)を下方へ押圧附勢してダイヤフラム押え(14)を介して金属ダイヤフラム(9)を弁座(8d)へ当座させる皿バネ(15)と、アクチュエータボックス(13)内に収容され、上端がアクチュエータボックス(13)の上端部側に位置調整可能に支持されていると共に、下端が割りベース(11)の上壁(11b)側に支持された圧電アクチュエータ(16)とから成り、圧電アクチュエータ(16)の圧電素子への電圧の印加により圧電アクチュエータ(16)が上方へ伸長してアクチュエータボックス(13)を皿バネ(15)の弾性力に抗して上方へ押し上げ、金属ダイヤフラム(9)がその弾性力により弁座(8d)から離座するようにした圧電素子駆動式制御弁に於いて、前記割りベース(11)の上壁(11b)と圧電アクチュエータ(16)の下端との間に、圧電アクチュエータ(16)の圧電素子に常時圧縮力を加える予圧機構(20)を介設したことを特徴とする圧電素子駆動式制御弁。
- 上方が開放された弁室(8a′)の底面に弁座(8d)を形成したボディ(8)と、弁室(8a′)内に配設され、下方への押圧により弁座(8d)へ当座すると共に、押圧力の喪失時にその弾性力により弁座(8d)から離座する金属ダイヤフラム(9)と、弁室(8a′)の上方に配設され、下端部がボディ(8)側に固定された筒状のアクチュエータボックス(13)と、アクチュエータボックス(13)の下端部内に昇降自在に配設され、下端に金属ダイヤフラム(9)の上面に当接するダイヤフラム押え(14)を設けたステム(26)と、アクチュエータボックス(13)内に収容され、上端がアクチュエータボックス(13)の上端部側に位置調整可能に支持されていると共に、下端がステム(26)側に支持される圧電アクチュエータ(16)と、ステム(26)の上端と圧電アクチュエータ(16)の下端との間に介設され、金属ダイヤフラム(9)が弁座(8d)へ当座したときに圧電アクチュエータ(16)の伸長を吸収して弁座(8d)及び金属ダイヤフラム(9)の弁座(8d)に接触する部分から成るシート部へ所定の押圧力を印加する緩衝用皿バネ(27)とから成り、圧電アクチュエータ(16)の圧電素子への電圧の印加により圧電アクチュエータ(16)が下方へ伸長して緩衝用皿バネ(27)を介してステム(26)及びダイヤフラム押え(14)を押し下げ、これにより金属ダイヤフラム(9)が弁座(8d)へ当座するようにした圧電素子駆動式制御弁に於いて、前記圧電アクチュエータ(16)の下端と緩衝用皿バネ(27)との間に、圧電アクチュエータ(16)の圧電素子に常時圧縮力を加える予圧機構(20)を介設したことを特徴とする圧電素子駆動式制御弁。
- 予圧機構(20)は、アクチュエータボックス(13)内の圧電アクチュエータ(16)の直下位置に上下動自在に配設され、上端面が圧電アクチュエータ(16)の下端面に設けた変位部(16a)に当接すると共に、下端面が割りベース(11)の上壁(11b)に当接可能な鍔(21a)付の軸状の予圧パーツ(21)と、予圧パーツ(21)の鍔(21a)とアクチュエータボックス(13)の下端部内周面に形成した段部(13d)との間に介設され、予圧パーツ(21)の下端面が割りベース(11)の上壁(11b)に当接したときに予圧パーツ(21)を弾性的に押し上げて圧電アクチュエータ(16)の圧電素子を常時加圧する予圧用の皿バネ(22)とから成ることを特徴とする請求項1に記載の圧電素子駆動式制御弁。
- 予圧機構(20)は、アクチュエータボックス(13)内の圧電アクチュエータ(16)の直下位置に上下動自在に配設され、上端面が圧電アクチュエータ(16)の下端面に設けた変位部(16a)に当接すると共に、下端面が緩衝用皿バネ(27)に当接可能な鍔(21a)付の軸状の予圧パーツ(21)と、予圧パーツ(21)の鍔(21a)とアクチュエータボックス(13)の下端部内周面に形成した段部(13d)との間に介設され、予圧パーツ(21)の下端面が緩衝用皿バネ(27)に当接したときに予圧パーツ(21)を弾性的に押し上げて圧電アクチュエータ(16)の圧電素子を常時加圧する予圧用の皿バネ(22)とから成ることを特徴とする請求項2に記載の圧電素子駆動式制御弁。
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI422765B (zh) * | 2009-12-01 | 2014-01-11 | Fujikin Kk | Piezoelectric drive valve and piezoelectric drive type flow control device |
US9471065B2 (en) | 2012-11-02 | 2016-10-18 | Fujikin Incorporated | Integrated type gas supplying apparatus |
KR20170013982A (ko) | 2014-09-01 | 2017-02-07 | 가부시키가이샤 후지킨 | 압전 소자 구동식 밸브 및 압전 소자 구동식 밸브를 구비한 유량 제어 장치 |
JP2018132195A (ja) * | 2016-11-08 | 2018-08-23 | 株式会社フジキン | バルブ装置、このバルブ装置を用いた流量制御方法および半導体製造方法 |
WO2019167711A1 (ja) * | 2018-02-28 | 2019-09-06 | 株式会社フジキン | バルブ装置および流体制御装置 |
KR20200096552A (ko) * | 2017-11-21 | 2020-08-12 | 일리노이즈 툴 워크스 인코포레이티드 | 푸싱 액추에이터용 소형 원형 링키지 |
CN113248045A (zh) * | 2021-05-18 | 2021-08-13 | 浙江备得福食品有限公司 | 一种基于多级处理的农业废水的处理装置及方法 |
US11346457B2 (en) | 2020-01-30 | 2022-05-31 | Fujikin Incorporated | Piezoelectric driven valve, pressure-type flow rate control device, and vaporization supply device |
KR20230029961A (ko) | 2020-10-31 | 2023-03-03 | 가부시키가이샤 후지킨 | 유체 제어기용 케이싱 및 그것을 구비한 유체 제어기 |
Families Citing this family (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4743763B2 (ja) * | 2006-01-18 | 2011-08-10 | 株式会社フジキン | 圧電素子駆動式金属ダイヤフラム型制御弁 |
KR20120092585A (ko) * | 2009-10-01 | 2012-08-21 | 가부시키가이샤 호리바 에스텍 | 유량 조정 밸브 및 매스 플로우 콘트롤러 |
TWI435196B (zh) | 2009-10-15 | 2014-04-21 | Pivotal Systems Corp | 氣體流量控制方法及裝置 |
GB2474892B (en) * | 2009-10-30 | 2011-09-21 | Siemens Vai Metals Tech Ltd | Flow control valve |
EP2450630A3 (de) * | 2010-11-03 | 2018-03-21 | Vaillant GmbH | Piezo Gasventil |
US9400004B2 (en) | 2010-11-29 | 2016-07-26 | Pivotal Systems Corporation | Transient measurements of mass flow controllers |
WO2013006552A2 (en) * | 2011-07-02 | 2013-01-10 | Viking At, Llc | Mass flow controller driven by smart material actuator with mechanical amplification |
DE102011084107A1 (de) * | 2011-10-06 | 2013-04-11 | Continental Automotive Gmbh | Piezoelektrischer Aktuator |
US8783652B2 (en) | 2012-03-12 | 2014-07-22 | Mps Corporation | Liquid flow control for film deposition |
US9454158B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-09-27 | Bhushan Somani | Real time diagnostics for flow controller systems and methods |
JP5847106B2 (ja) * | 2013-03-25 | 2016-01-20 | 株式会社フジキン | 流量モニタ付圧力式流量制御装置。 |
JP5775110B2 (ja) | 2013-03-26 | 2015-09-09 | 株式会社フジキン | 流量制御装置用の流量制御弁 |
CN105556186B (zh) * | 2013-09-04 | 2018-04-03 | 株式会社堀场Stec | 交错提升机构 |
KR102079533B1 (ko) * | 2013-09-30 | 2020-02-21 | 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤 | 유량 제어 밸브 및 그것을 사용한 질량 유량 제어 장치 |
WO2015100280A1 (en) | 2013-12-24 | 2015-07-02 | Viking At, Llc | Mechanically amplified smart material actuator utilizing layered web assembly |
US9909682B2 (en) | 2014-01-07 | 2018-03-06 | Sundew Technologies Llc | Fluid-actuated flow control valves |
JP6416529B2 (ja) * | 2014-07-23 | 2018-10-31 | 株式会社フジキン | 圧力式流量制御装置 |
US9925122B2 (en) | 2015-03-30 | 2018-03-27 | Elwha Llc | Systems and methods for controlling delivery of breast milk supplementation |
US10290372B2 (en) | 2015-03-30 | 2019-05-14 | Elwha Llc | Systems and devices for controlling delivery of breast milk supplementation |
US10016341B2 (en) | 2015-03-30 | 2018-07-10 | Elwha Llc | Systems and devices for controlling delivery of breast milk supplementation |
US9968523B2 (en) * | 2015-03-30 | 2018-05-15 | Elwha Llc | Systems and devices for controlling delivery of breast milk supplementation |
CN107771258B (zh) * | 2015-06-25 | 2019-11-12 | 伊利诺斯工具制品有限公司 | 压电致动器型阀 |
JP6938460B2 (ja) | 2015-07-10 | 2021-09-22 | ピヴォタル システムズ コーポレーション | ガス流制御のための方法および装置 |
DE102016112115A1 (de) * | 2016-07-01 | 2018-01-04 | Bürkert Werke GmbH | Ventillinearantrieb sowie Ventil |
WO2018011793A1 (en) * | 2016-07-10 | 2018-01-18 | Ham-Let (Israel - Canada ) Ltd. | Valve and a method of counting valve operation cycles |
US10983537B2 (en) | 2017-02-27 | 2021-04-20 | Flow Devices And Systems Inc. | Systems and methods for flow sensor back pressure adjustment for mass flow controller |
US11506290B2 (en) * | 2017-09-25 | 2022-11-22 | Fujikin Incorporated | Valve apparatus, flow rate adjusting method, fluid control apparatus, flow rate control method, semiconductor manufacturing apparatus, and semiconductor manufacturing method |
JP7475631B2 (ja) * | 2017-11-24 | 2024-04-30 | 株式会社フジキン | バルブ装置およびその制御装置を用いた制御方法、流体制御装置および半導体製造装置 |
US11079774B2 (en) | 2017-11-30 | 2021-08-03 | Fujikin Incorporated | Flow rate control device |
JP7190186B2 (ja) | 2017-11-30 | 2022-12-15 | 株式会社フジキン | 流量制御装置の自己診断方法 |
JP7133945B2 (ja) * | 2018-03-02 | 2022-09-09 | 株式会社堀場エステック | 流体制御弁及び流体制御装置 |
KR102592722B1 (ko) * | 2018-03-19 | 2023-10-24 | 가부시키가이샤 프로테리아루 | 다이어프램 밸브 및 그것을 사용한 질량 유량 제어 장치 |
JP7157476B2 (ja) | 2018-04-27 | 2022-10-20 | 株式会社フジキン | 流量制御方法および流量制御装置 |
US11216016B2 (en) | 2018-06-26 | 2022-01-04 | Fujikin Incorporated | Flow rate control method and flow rate control device |
WO2020004269A1 (ja) * | 2018-06-28 | 2020-01-02 | 京セラ株式会社 | 圧電アクチュエータ |
CN109282073A (zh) * | 2018-09-20 | 2019-01-29 | 北京七星华创流量计有限公司 | 压电阀驱动器以及压电阀 |
US11079035B2 (en) * | 2019-07-12 | 2021-08-03 | Pivotal Systems Corporation | Preloaded piezo actuator and gas valve employing the actuator |
DE102020115057A1 (de) * | 2020-06-05 | 2021-12-09 | Bürkert Werke GmbH & Co. KG | Ventillinearantrieb sowie Ventil |
JP7045738B1 (ja) * | 2021-03-23 | 2022-04-01 | 株式会社リンテック | 常時閉型流量制御バルブ |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH048974A (ja) * | 1990-04-27 | 1992-01-13 | Hitachi Metals Ltd | ガス流量制御装置用バルブ |
JP2002541401A (ja) * | 1999-03-30 | 2002-12-03 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 圧電式アクチエータ |
JP2004197754A (ja) * | 2002-12-16 | 2004-07-15 | Fujikin Inc | 圧電素子駆動式金属ダイヤフラム型制御弁 |
JP2005149075A (ja) * | 2003-11-14 | 2005-06-09 | Fujikin Inc | 流体制御装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2529388B2 (ja) | 1988-08-25 | 1996-08-28 | 日立金属株式会社 | ガス流量制御装置用バルブ |
JPH0742869A (ja) * | 1993-08-02 | 1995-02-10 | Hitachi Metals Ltd | バルブ装置 |
DE4411569C1 (de) * | 1994-04-02 | 1995-07-20 | Itw Dynatec Gmbh Klebetechnik | Auftragskopf zur dosierten Abgabe von strömenden Medien |
DE69841617D1 (de) * | 1997-12-12 | 2010-05-27 | Smc Kk | Piezoelektrisches Ventil |
DE19821768C2 (de) * | 1998-05-14 | 2000-09-07 | Siemens Ag | Dosiervorrichtung und Dosierverfahren |
EP1210517B1 (de) | 1999-08-20 | 2005-04-06 | Robert Bosch Gmbh | Ventil zum steuern von flüssigkeiten |
JP2001141091A (ja) * | 1999-11-16 | 2001-05-25 | Smc Corp | 流量制御弁 |
JP2001317646A (ja) * | 2000-05-08 | 2001-11-16 | Smc Corp | 圧電式流体制御弁 |
JP4119109B2 (ja) | 2001-10-17 | 2008-07-16 | 株式会社フジキン | 圧電素子駆動式金属ダイヤフラム型制御弁 |
JP4082686B2 (ja) | 2002-12-03 | 2008-04-30 | 財団法人河川情報センター | リアルタイム動的氾濫シミュレーションシステム |
JP4743763B2 (ja) | 2006-01-18 | 2011-08-10 | 株式会社フジキン | 圧電素子駆動式金属ダイヤフラム型制御弁 |
-
2007
- 2007-03-30 JP JP2007090082A patent/JP4933936B2/ja active Active
-
2008
- 2008-03-13 WO PCT/JP2008/000572 patent/WO2008129783A1/ja active Application Filing
- 2008-03-13 KR KR1020097014346A patent/KR100993187B1/ko active IP Right Grant
- 2008-03-13 CN CN2008800110292A patent/CN101652592B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2008-03-13 US US12/593,580 patent/US8162286B2/en active Active
- 2008-03-27 TW TW097111041A patent/TWI425159B/zh active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH048974A (ja) * | 1990-04-27 | 1992-01-13 | Hitachi Metals Ltd | ガス流量制御装置用バルブ |
JP2002541401A (ja) * | 1999-03-30 | 2002-12-03 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 圧電式アクチエータ |
JP2004197754A (ja) * | 2002-12-16 | 2004-07-15 | Fujikin Inc | 圧電素子駆動式金属ダイヤフラム型制御弁 |
JP2005149075A (ja) * | 2003-11-14 | 2005-06-09 | Fujikin Inc | 流体制御装置 |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI422765B (zh) * | 2009-12-01 | 2014-01-11 | Fujikin Kk | Piezoelectric drive valve and piezoelectric drive type flow control device |
US9471065B2 (en) | 2012-11-02 | 2016-10-18 | Fujikin Incorporated | Integrated type gas supplying apparatus |
KR20170013982A (ko) | 2014-09-01 | 2017-02-07 | 가부시키가이샤 후지킨 | 압전 소자 구동식 밸브 및 압전 소자 구동식 밸브를 구비한 유량 제어 장치 |
US10174858B2 (en) | 2014-09-01 | 2019-01-08 | Fujikin Incorporated | Piezoelectric element-driven valve and flow rate control device including piezoelectric element-driven valve |
JP2018132195A (ja) * | 2016-11-08 | 2018-08-23 | 株式会社フジキン | バルブ装置、このバルブ装置を用いた流量制御方法および半導体製造方法 |
JP7244530B2 (ja) | 2017-11-21 | 2023-03-22 | イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド | プッシュアクチュエーターの小型円形リンク機構 |
KR102571907B1 (ko) * | 2017-11-21 | 2023-08-28 | 일리노이즈 툴 워크스 인코포레이티드 | 푸싱 액추에이터용 소형 원형 링키지 |
KR20200096552A (ko) * | 2017-11-21 | 2020-08-12 | 일리노이즈 툴 워크스 인코포레이티드 | 푸싱 액추에이터용 소형 원형 링키지 |
JP2021504655A (ja) * | 2017-11-21 | 2021-02-15 | ビスタデルテック,リミティド ライアビリティ カンパニー | プッシュアクチュエーターの小型円形リンク機構 |
JPWO2019167711A1 (ja) * | 2018-02-28 | 2021-02-18 | 株式会社フジキン | バルブ装置および流体制御装置 |
US11339881B2 (en) | 2018-02-28 | 2022-05-24 | Fujikin Incorporated | Valve device and fluid control device |
JP7207761B2 (ja) | 2018-02-28 | 2023-01-18 | 株式会社フジキン | バルブ装置および流体制御装置 |
WO2019167711A1 (ja) * | 2018-02-28 | 2019-09-06 | 株式会社フジキン | バルブ装置および流体制御装置 |
US11346457B2 (en) | 2020-01-30 | 2022-05-31 | Fujikin Incorporated | Piezoelectric driven valve, pressure-type flow rate control device, and vaporization supply device |
KR20230029961A (ko) | 2020-10-31 | 2023-03-03 | 가부시키가이샤 후지킨 | 유체 제어기용 케이싱 및 그것을 구비한 유체 제어기 |
CN113248045B (zh) * | 2021-05-18 | 2021-12-07 | 浙江备得福食品有限公司 | 一种基于多级处理的农业废水的处理装置及方法 |
CN113248045A (zh) * | 2021-05-18 | 2021-08-13 | 浙江备得福食品有限公司 | 一种基于多级处理的农业废水的处理装置及方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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