JP2008247962A - Plastic surface modification method and metal film formation method - Google Patents

Plastic surface modification method and metal film formation method Download PDF

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Yoshiyuki Nomura
善行 野村
Atsushi Yusa
敦 遊佐
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a plastic surface modification method using a high-pressure fluid, capable of forming a metallic film of suitably controlled surface roughness and high adhesion. <P>SOLUTION: The surface modification method is a plastic surface modification method using a high-pressure fluid and comprises penetrating a surfactant into the inside of a plastic surface by means of a high-pressure fluid and dissolving the surfactant penetrated into the plastic in a solvent to remove the surfactant from the plastic surface. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、高圧流体を用いたプラスチックの表面改質方法及び金属膜の形成方法に関す
る。
The present invention relates to a plastic surface modification method and a metal film formation method using a high-pressure fluid.

プラスチック成形品からなる電子機器等の部品の表面に金属導電膜を形成する手段とし
ては、現在、無電解メッキ法が広く利用されている。プラスチック成形品の成形から無電
解メッキのプロセスは、成形品の材料などにより多少異なるが、一般には、樹脂成形、成
形品の脱脂、エッチング、中和及び湿潤化、触媒付与、触媒活性化、並びに、無電解メッ
キの工程からなり、この順で行なわれる。
As a means for forming a metal conductive film on the surface of a component such as an electronic device made of a plastic molded product, an electroless plating method is currently widely used. The process from the molding of the plastic molded product to the electroless plating is somewhat different depending on the material of the molded product, etc. The electroless plating process is performed in this order.

上記従来の無電解メッキプロセスにおけるエッチングでは、クロム酸溶液やアルカリ金
属水酸化物溶液などを用いてプラスチック成形品の表面を物理的に粗化し、粗化されたプ
ラスチック表面におけるアンカー効果により成形品とメッキ膜との密着性を確保している
。しかしながら、これらのエッチング液は中和等の後処理が必要なため、コスト高の要因
となっている。また、毒性の高いエッチング液であるので、その取り扱いが煩雑であると
いう問題がある。
In the etching in the conventional electroless plating process, the surface of the plastic molded article is physically roughened using a chromic acid solution or an alkali metal hydroxide solution, and the molded article is formed by an anchor effect on the roughened plastic surface. Adhesion with the plating film is secured. However, these etching solutions require post-treatment such as neutralization, which is a factor of high cost. Moreover, since it is a highly toxic etching solution, there is a problem that its handling is complicated.

また、無電解メッキ法以外のプラスチック表面の金属膜の形成方法として、従来、超臨
界状態の二酸化炭素(以下、超臨界二酸化炭素ともいう)を用いたプラスチックの無電解
メッキ法が提案されている(例えば、非特許文献1参照)。非特許文献1に記載された方
法によれば、有機金属錯体を超臨界二酸化炭素に溶解させ、その超臨界二酸化炭素を各種
ポリマーに接触させることで、ポリマー表面に有機金属錯体を注入する(浸透させる)。
次いで、有機金属錯体が浸透したポリマーに対して加熱や化学還元処理する等によって有
機金属錯体を還元することにより金属微粒子をポリマー表面に析出させる。これにより、
ポリマー表面全体が無電解メッキ可能になる。このプロセスによれば、廃液処理が不要で
、表面粗さが良好な樹脂の無電解メッキプロセスを実現することができるとされている。
As a method for forming a metal film on a plastic surface other than the electroless plating method, a plastic electroless plating method using supercritical carbon dioxide (hereinafter also referred to as supercritical carbon dioxide) has been proposed. (For example, refer nonpatent literature 1). According to the method described in Non-Patent Document 1, an organometallic complex is injected into a polymer surface by dissolving the organometallic complex in supercritical carbon dioxide and bringing the supercritical carbon dioxide into contact with various polymers (penetration). )
Next, metal fine particles are deposited on the polymer surface by reducing the organometallic complex by heating, chemical reduction treatment, or the like with respect to the polymer in which the organometallic complex has penetrated. This
The entire polymer surface can be electrolessly plated. According to this process, it is said that it is possible to realize an electroless plating process of a resin that does not require waste liquid treatment and has a good surface roughness.

また、プラスチックの表面粗化を抑え且つ良好なアンカー効果を得るプロセスとして、
光触媒を用いたメッキ前処理プロセスが提案されている(例えば、特許文献1参照)。特
許文献1では、光触媒として酸化チタンを用い、それをプラスチック表面に塗布して紫外
線照射を行いプラスチック表面に微細な凹凸を形成する。次いで、形成された凹凸面上に
メッキ膜を形成する。
In addition, as a process to suppress the surface roughness of the plastic and obtain a good anchor effect,
A plating pretreatment process using a photocatalyst has been proposed (see, for example, Patent Document 1). In Patent Document 1, titanium oxide is used as a photocatalyst, which is applied to a plastic surface and irradiated with ultraviolet rays to form fine irregularities on the plastic surface. Next, a plating film is formed on the formed uneven surface.

また、従来、超臨界二酸化炭素を用いて樹脂組成物を多孔化する方法が提案されている
(例えば、特許文献2参照)。特許文献2では、ポリイミドの前駆体であるポリアミック
酸樹脂及びそれに分散可能な分散性化合物が含有した感光性樹脂組成物から、分散性化合
物を除去することにより、多孔化されたポリアミック酸樹脂を形成する。また、特許文献
2には、多孔化されたポリアミック酸樹脂上に導電層を形成している。しかしながら、特
許文献2には、樹脂材料がポリイミド樹脂に限定されている他、樹脂の最表面における物
理的形状は開示されておらず、樹脂と導電層との密着性に関する記載はない。
Conventionally, a method of making a resin composition porous using supercritical carbon dioxide has been proposed (see, for example, Patent Document 2). In Patent Document 2, a porous polyamic acid resin is formed by removing a dispersible compound from a photosensitive resin composition containing a polyamic acid resin which is a polyimide precursor and a dispersible compound dispersible therein. To do. In Patent Document 2, a conductive layer is formed on a porous polyamic acid resin. However, in Patent Document 2, the resin material is limited to polyimide resin, and the physical shape on the outermost surface of the resin is not disclosed, and there is no description regarding the adhesion between the resin and the conductive layer.

一方、超臨界二酸化炭素や二酸化炭素に溶解する界面活性剤としては、各種研究が盛んであるが(例えば非特許文献2、特許文献3)、水系溶媒と超臨界二酸化炭素を相溶させることが目的であり、プラスチックに分散させた後、溶解および抽出する方法およびそれを用いたメッキ法については開示および示唆されていない。
特開2005−85900号公報 特開2001−215701号公報 特願2002−171609号公報 堀照夫著「超臨界流体の最新応用技術」株式会社エヌ・ティー・エス出版、p.250−255(2004) 永井隆文「機能材料2007年1月号Vol.27 No.1」株式会社シーエムシー出版 p27-p36
On the other hand, as a surfactant that dissolves in supercritical carbon dioxide or carbon dioxide, various researches are active (for example, Non-Patent Document 2 and Patent Document 3), but it is possible to make an aqueous solvent and supercritical carbon dioxide compatible. There is no disclosure or suggestion of a method for melting and extracting after dispersion in plastic, and a plating method using the same.
JP-A-2005-85900 JP 2001-215701 A Japanese Patent Application No. 2002-171609 Teruo Hori, “Latest Application Technology of Supercritical Fluids”, NTS Publishing, p. 250-255 (2004) Takafumi Nagai "Functional Materials January 2007 Issue Vol.27 No.1" CMC Publishing Co., Ltd. p27-p36

上記非特許文献1に記載の超臨界二酸化炭素を用いた表面改質プロセスについて、本発
明者らが鋭意検討した結果、次のような課題があることが判明した。超臨界二酸化炭素を
用いた表面改質プロセスでは、プラスチック表面を物理的に粗面化するプロセスを経てい
ないため表面の平滑性は良好であるが、メッキ膜とプラスチックとの界面においてアンカ
ー効果が得られない。非特許文献1の方法でプラスチック表面にメッキ膜を形成した場合
には、メッキ膜は浸透した有機金属錯体により密着が確保される。それゆえ、メッキ膜の
密着性は、有機金属錯体の還元性、及び、それに起因するプラスチック表面における金属
微粒子の密度や凝集状態等に影響されることになり、非特許文献1の方法で、これらの条
件をすべて制御することは困難であることが分かった。
As a result of intensive studies by the inventors on the surface modification process using supercritical carbon dioxide described in Non-Patent Document 1, it has been found that there are the following problems. In the surface modification process using supercritical carbon dioxide, the surface smoothness is good because it has not undergone the process of physically roughing the plastic surface, but the anchor effect is obtained at the interface between the plating film and the plastic. I can't. When a plating film is formed on the plastic surface by the method of Non-Patent Document 1, adhesion of the plating film is ensured by the permeated organometallic complex. Therefore, the adhesion of the plating film is affected by the reducing property of the organometallic complex and the density and aggregation state of the metal fine particles on the plastic surface resulting therefrom. It was found difficult to control all the conditions.

また、プラスチックの表面を粗化するために、特許文献2に記載されている酸化チタン
を用いた光触媒プロセスを用いた場合には、紫外線をプラスチック表面に照射して光触媒
反応を発生させる必要があるので、2次元形状(例えば、フィルム状)の成形品に対して
は適用可能と考えられるが、複雑な3次元形状の成形品に対しては、その表面に均一に紫
外線を照射することが困難であると考えられる。また、光触媒の反応時間も数十分と長い
ので、この反応時間の長さが工業化する際の課題となる恐れがある。
In addition, when the photocatalytic process using titanium oxide described in Patent Document 2 is used to roughen the plastic surface, it is necessary to irradiate the plastic surface with ultraviolet rays to generate a photocatalytic reaction. Therefore, it is considered that it can be applied to a molded article having a two-dimensional shape (for example, a film), but it is difficult to uniformly irradiate ultraviolet rays on the surface of a molded article having a complicated three-dimensional shape. It is thought that. In addition, since the reaction time of the photocatalyst is as long as several tens of minutes, the length of the reaction time may become a problem in industrialization.

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、本発明の目的は、表面粗さ
が良好で且つ密着力の高い金属膜を形成することが可能なプラスチックの表面改質方法及
び金属膜の形成方法を提供することである。
The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a plastic surface modification method capable of forming a metal film having good surface roughness and high adhesion, and It is to provide a method for forming a metal film.

また、上述したように、従来、ポリマー表面に安価に金属膜を形成する方法として無電
解メッキ法が知られている。しかしながら、この方法では、ポリマー表面をクロム酸等の
エッチングで粗化する必要があり、これらのエッチング液で粗化されるポリマーはABS
等の樹脂に限定されていた。また、上記エッチング液で粗化され難いポリカーボネート等
の他の材料では、無電解メッキ可能にするために、ABSやエラストマーを混合したメッ
キグレードの樹脂材料が市販されている。しかしながら、このようなメッキグレードの樹
脂材料は耐熱性や反射性能の要求を十分に満足するものではなかった。
As described above, an electroless plating method is conventionally known as a method for forming a metal film on a polymer surface at a low cost. However, in this method, it is necessary to roughen the polymer surface by etching such as chromic acid, and the polymer roughened with these etching solutions is ABS.
It was limited to resin such as. In addition, for other materials such as polycarbonate which are not easily roughened by the etching solution, a plating grade resin material mixed with ABS or elastomer is commercially available in order to enable electroless plating. However, such a plating grade resin material does not sufficiently satisfy the requirements for heat resistance and reflection performance.

そこで、本発明の別の目的は、様々な種類のプラスチックに対して表面粗さが良好でか
つ密着力の高いメッキ膜を形成することが可能なプラスチックの表面改質方法及び金属膜
の形成方法を提供することである。
Accordingly, another object of the present invention is to provide a plastic surface modification method and a metal film formation method capable of forming a plating film having good surface roughness and high adhesion to various types of plastics. Is to provide.

本発明の第1の態様に従えば、プラスチックの表面改質方法であって、界面活性剤が表面近傍に分散したプラスチックを用意するステップと、上記界面活性剤を溶媒で溶解させ上記プラスチック表面から上記界面活性剤を除去するステップとを含む表面改質方法が提供される。   According to a first aspect of the present invention, there is provided a plastic surface modification method comprising the steps of preparing a plastic in which a surfactant is dispersed in the vicinity of the surface, and dissolving the surfactant with a solvent from the plastic surface. A surface modification method comprising: removing the surfactant.

本態様によれば、界面活性剤はプラスチックの内部よりも表面近傍に偏析しやすいので、容易に表面から溶解および除去しやすい。それにより、少ない添加量で、効率よく除去できる。また、副次的な効果として、射出成形等の成形時には、金型からの離型剤として有効に機能させることができる。   According to this aspect, the surfactant is likely to segregate in the vicinity of the surface rather than inside the plastic, so that it is easily dissolved and removed from the surface. Thereby, it can be efficiently removed with a small addition amount. Moreover, as a secondary effect, it can function effectively as a mold release agent from the mold during molding such as injection molding.

上記界面活性剤は、例えばグリセリン脂肪酸エステル等やシリコーンオイル等の各種プラスチック射出成形の離型剤を用いることができる。
本発明における界面活性剤は、さらに、超臨界二酸化炭素や二酸化炭素等に溶解する界面活性剤が望ましい。界面活性剤の種類としては、公知の、非イオン性、陰イオン性、陽イオン性、両性イオン性界面活性剤のうち、少なくも1種類以上を選択して用いることができる。例えば、ポリエチレンオキシド(PEO)−ポリプロピレンオキシド(PPO)のブロックコポリマー、PEO−ポリブチレンオキシド(PBO)のブロックコポリマー、オクタエチレングリコールモノドデシルエーテル、ペンタエチレングリコールn−オクチルエーテル等を用いることができる。これらは、溶媒として超臨界二酸化炭素や二酸化炭素を用いて、界面活性剤を溶解、除去する際に好適である。
As the surfactant, for example, various plastic injection mold release agents such as glycerin fatty acid ester and silicone oil can be used.
The surfactant in the present invention is more preferably a surfactant that dissolves in supercritical carbon dioxide, carbon dioxide, or the like. As the type of the surfactant, at least one or more of known nonionic, anionic, cationic and zwitterionic surfactants can be selected and used. For example, a block copolymer of polyethylene oxide (PEO) -polypropylene oxide (PPO), a block copolymer of PEO-polybutylene oxide (PBO), octaethylene glycol monododecyl ether, pentaethylene glycol n-octyl ether and the like can be used. These are suitable for dissolving and removing the surfactant by using supercritical carbon dioxide or carbon dioxide as a solvent.

本発明における界面活性剤は、特にフッソを含有した界面活性剤を用いてもよい。フッソを含有した界面活性剤では、超臨界二酸化炭素に対する溶解度が向上し、超臨界二酸化炭素等の高圧流体で溶解および除去することが容易となる。例えば、各種フッソ化ポリアルキレングリコール、カルボキシレートパーフルオロポリエーテル(化学構造式:F‐(CF2CF(CF3)O)n‐CF2CF2COOH(Dupont社製 商品名Krytox))、ペルフルオロポリエーテルカルボン酸アンモニウム塩((化学構造式:F‐(CF(CF3)CF2O)n‐CF(CF3)COO−NH4+(ダイキン化学工業社製 C2404アンモニウム塩)、スルファコハク酸エステル塩(AOT)のペルフルオロアナキルアナローグ、ペルフルオロポリエーテル(PFPE)基を有する各種界面活性剤を用いることができる。   As the surfactant in the present invention, a surfactant containing fluorine in particular may be used. In the surfactant containing fluorine, the solubility in supercritical carbon dioxide is improved, and it becomes easy to dissolve and remove with a high-pressure fluid such as supercritical carbon dioxide. For example, various fluorinated polyalkylene glycols, carboxylate perfluoropolyether (chemical structural formula: F- (CF2CF (CF3) O) n-CF2CF2COOH (trade name Krytox manufactured by Dupont)), perfluoropolyether carboxylic acid ammonium salt ( (Chemical structural formula: F- (CF (CF3) CF2O) n-CF (CF3) COO-NH4 + (C2404 ammonium salt manufactured by Daikin Chemical Industries), sulfa succinic acid ester salt (AOT) perfluoroanaalkyl analog, perfluoropolyether Various surfactants having a (PFPE) group can be used.

本発明においては、上記界面活性剤はアミド基、アミン、アンモニウム塩のいずれかを有することが望ましい。本発明者らは、二酸化炭素に金属錯体を溶解させポリマーに接触および浸透させた場合、アミド基を有するモノマー等を用いることで、金属錯体の浸透性や還元性が向上することを見出している。上記態様においては、界面活性剤のなかにアミド基等を有するので、金属錯体の還元性を補助する役割を界面活性剤が有する。そのため、金属錯体を上記方法で浸透させた場合に好適である。アミド基やアミン、アンモニウム塩を有する界面活性剤としては、ペルフルオロポリエーテルカルボン酸アンモニウム塩((化学構造式:F‐(CF(CF3)CF2O)n‐CF(CF3)COO−NH4+(ダイキン化学工業社製 C2404アンモニウム塩)、ペルフルオロポリエーテル基(PFPE)を有しトリス(ヒドロキシルメチル)メチルアミノ基を有する化合物(化学構造式:PFPE‐CONH‐(OH)3)等を用いることができる。 In the present invention, the surfactant desirably has any one of an amide group, an amine, and an ammonium salt. The present inventors have found that when a metal complex is dissolved in carbon dioxide and brought into contact with and infiltrated with a polymer, the penetrability and reducibility of the metal complex are improved by using a monomer having an amide group. . In the said aspect, since it has an amide group etc. in surfactant, surfactant has a role which assists the reducibility of a metal complex. Therefore, it is suitable when the metal complex is infiltrated by the above method. As surfactants having an amide group, amine, or ammonium salt, perfluoropolyether carboxylic acid ammonium salt ((chemical structural formula: F- (CF (CF3) CF2O) n-CF (CF3) COO-NH4 + (Daikin Chemical Industries)) C2404 ammonium salt), a compound having a perfluoropolyether group (PFPE) and a tris (hydroxylmethyl) methylamino group (chemical structural formula: PFPE-CONH- (OH) 3) can be used.

本発明の表面改質方法の界面活性剤が表面近傍に分散したプラスチックを用意するステップでは、高圧流体を用いて界面活性剤をプラスチックの表面内部を浸透させることが好ましい(図22中のステップS1)。例えば、界面活性剤を溶解した高圧流体をプラスチックの表面に接触させることによりプラスチック表面を膨潤等させ、界面活性剤を高圧流体とともにプラスチックの表面内部に浸透させる。或いは、上記プラスチックを成形により得る場合には、原料となる樹脂ペレットに予め界面活性剤が所定量練りこんであるものを用いることもできる。この場合、高圧流体を用いずに本発明の表面改質方法を実施できる。   In the step of preparing the plastic in which the surfactant is dispersed in the vicinity of the surface in the surface modification method of the present invention, it is preferable to infiltrate the surfactant into the surface of the plastic using a high-pressure fluid (step S1 in FIG. 22). ). For example, the high pressure fluid in which the surfactant is dissolved is brought into contact with the surface of the plastic to swell the plastic surface, and the surfactant is infiltrated into the plastic surface together with the high pressure fluid. Alternatively, when the plastic is obtained by molding, a material in which a predetermined amount of a surfactant is kneaded in advance into resin pellets as a raw material can be used. In this case, the surface modification method of the present invention can be carried out without using a high-pressure fluid.

その後、界面活性剤が溶解する溶媒を用いてプラスチックを洗浄等することによりプラスチックの表面から界面活性剤を除去する(図22中のステップS2)。界面活性剤は数十〜数百nmのクラスター状でプラスチック表面近傍に浸透しているため、上記溶媒による除去処理(洗浄処理)により、界面活性剤が除去されたプラスチックの表面にはサブミクロンからナノオーダーの微細孔が形成される。すなわち、プラスチックの表面にサブミクロンからナノオーダーの微細な凹凸を形成することができる。本発明の表面改質方法を用いると、様々な種類のプラスチックに対して、その表面に微細な凹凸を形成することができる。   Thereafter, the surfactant is removed from the surface of the plastic by washing the plastic with a solvent in which the surfactant is dissolved (step S2 in FIG. 22). Since the surfactant penetrates into the vicinity of the plastic surface in a cluster form of several tens to several hundreds of nanometers, the surface of the plastic from which the surfactant has been removed by the above removal treatment (cleaning treatment) is submicron. Nano-order micropores are formed. That is, fine irregularities of submicron to nano order can be formed on the plastic surface. When the surface modification method of the present invention is used, fine irregularities can be formed on the surface of various types of plastics.

なお、本明細書でいう「高圧流体」とは、超臨界流体のみならず、高圧の液状流体(液体)及び高圧不活性ガスのような高圧気体も含む意味である。   The term “high pressure fluid” in the present specification means not only supercritical fluid but also high pressure liquid fluid (liquid) and high pressure gas such as high pressure inert gas.

上記本発明の表面改質方法により得られたプラスチックの表面に無電解メッキ等で金属
膜を形成すると、プラスチックの表面に形成された微細な凹凸によるアンカー効果や表面
積の拡大によるスケールメリット等により、密着性の優れた金属膜を形成することができ
る。また、上記本発明の表面改質方法によりプラスチックの表面に形成された凹凸は、上
述のように、サブミクロンからナノオーダーのサイズであるので、上記本発明の表面改質
方法により得られたプラスチックの表面に金属膜を形成した場合には、非常に平滑性の優
れた(表面粗化が抑制された)金属膜を形成することができ、電気特性の優れた金属膜を
形成することができる。また、プラスチックの表面に形成される微細孔の含有割合を調整
することにより、プラスチックの誘電率、誘電正接等の電気特性や、低屈折率化等の光学
特性を制御することもできる。或いは、乱反射による反射板として用いることもできる。
When a metal film is formed on the surface of the plastic obtained by the surface modification method of the present invention by electroless plating or the like, due to the anchor effect due to the fine unevenness formed on the surface of the plastic, the scale merit due to the expansion of the surface area, etc. A metal film having excellent adhesion can be formed. Further, since the unevenness formed on the surface of the plastic by the surface modification method of the present invention has a size of sub-micron to nano order as described above, the plastic obtained by the surface modification method of the present invention is used. When a metal film is formed on the surface of the metal film, it is possible to form a metal film having excellent smoothness (suppressed surface roughening) and to form a metal film having excellent electrical characteristics. . Further, by adjusting the content ratio of the micropores formed on the surface of the plastic, it is possible to control the electrical characteristics such as the dielectric constant and dielectric loss tangent of the plastic and the optical characteristics such as lowering the refractive index. Or it can also be used as a reflector by irregular reflection.

本発明の表面改質方法では、上記プラスチックの少なくとも表面近傍には金属微粒子が分散されていてもよい。上記微細凹凸や微細孔を形成した後のプラスチック表面にNi,Pd,Pt,Cu等の金属微粒子が露出することによって、前記金属微粒子が無電解メッキの触媒核となり、密着性の優れたメッキ膜を形成することが可能となる。   In the surface modification method of the present invention, metal fine particles may be dispersed at least near the surface of the plastic. The metal fine particles such as Ni, Pd, Pt, and Cu are exposed on the plastic surface after the fine irregularities and fine holes are formed, so that the metal fine particles become a catalyst core for electroless plating, and a plating film having excellent adhesion. Can be formed.

本発明の表面改質方法では、上記高圧流体を用いて界面活性剤をプラスチックの表面内部を浸透させることが、上記界面活性剤を高圧流体に溶解させることと、上記界面活性剤が溶解した高圧流体を上記プラスチックに接触させて上記界面活性剤を上記プラスチックの表面内部に浸透させることとを含むことが好ましい。   In the surface modification method of the present invention, the surfactant is allowed to permeate the inside of the plastic surface using the high pressure fluid, the surfactant is dissolved in the high pressure fluid, and the high pressure at which the surfactant is dissolved. Preferably including contacting the fluid with the plastic to allow the surfactant to penetrate into the surface of the plastic.

また、本発明の表面改質方法では、上記高圧流体を用いて界面活性剤をプラスチックの表面内部を浸透させることが、上記界面活性剤を溶解した溶液を上記プラスチックの表面に塗布することと、上記界面活性剤が塗布された上記プラスチックに高圧流体を接触させて上記界面活性剤を上記プラスチックの表面内部に浸透させることとを含むことが好ましい。   Further, in the surface modification method of the present invention, the surfactant is allowed to permeate the inside of the surface of the plastic using the high-pressure fluid, the solution in which the surfactant is dissolved is applied to the surface of the plastic, It is preferable that a high-pressure fluid is brought into contact with the plastic coated with the surfactant to allow the surfactant to penetrate into the surface of the plastic.

本発明の表面改質方法では、上記プラスチックが凹部を有し、上記界面活性剤を上記プラスチックの表面内部に浸透させる際に、上記高圧流体を上記プラスチックに接触させた状態で、上記凹部により上記プラスチックの表面に画成された開口を塞いで上記高圧流体を上記凹部に滞留させ、上記凹部を画成する上記プラスチックの表面内部に上記界面活性剤を浸透させることが好ましい。   In the surface modification method of the present invention, the plastic has a recess, and the high pressure fluid is brought into contact with the plastic when the surfactant penetrates into the surface of the plastic. It is preferable that the opening defined in the surface of the plastic is closed so that the high-pressure fluid is retained in the recess, and the surfactant is permeated into the surface of the plastic that defines the recess.

表面に凹部を有するプラスチックに対する表面改質方法によれば、プラスチックの凹部
を画成する表面に微細な凹凸を形成することができ、凹部を画成する表面の物理的形状を
選択的に変化させることができる。それゆえ、この表面改質方法で作製したプラスチック
に無電解メッキ等で金属膜を形成した場合には、プラスチックの凹部を画成する表面のみ
で選択的にナノオーダーでのアンカー効果を得ることができ、凹部を画成する表面のみに
密着性及び平滑性の優れた金属膜を形成することができる。
According to the surface modification method for plastic having a concave portion on the surface, fine irregularities can be formed on the surface defining the concave portion of the plastic, and the physical shape of the surface defining the concave portion is selectively changed. be able to. Therefore, when a metal film is formed on the plastic produced by this surface modification method by electroless plating or the like, an anchor effect on the nano order can be obtained selectively only on the surface that defines the concave portion of the plastic. And a metal film having excellent adhesion and smoothness can be formed only on the surface defining the recess.

本発明の表面改質方法では、上記表面改質方法が、金型とプラスチックの溶融樹脂を該
金型内に射出する加熱シリンダーとを備えた射出成形機を用いた表面改質方法であり、上
記高圧流体を用いて界面活性剤をプラスチックの表面内部を浸透させることが、上記浸透物質が溶解した高圧流体を上記加熱シリンダー内部に導入することと、上記溶融樹脂を上記金型のキャビティに射出充填することとを含むことが好ましい。加熱シリンダーの導入部は、加熱シリンダーのスクリュー全体でもよいし、スクリュー前方にあたる溶融樹脂のフローフロント部であってもよい。
In the surface modification method of the present invention, the surface modification method is a surface modification method using an injection molding machine including a mold and a heating cylinder that injects a molten resin of plastic into the mold, Using the high pressure fluid to infiltrate the surface of the plastic with the surfactant introduces the high pressure fluid in which the penetrant is dissolved into the heating cylinder, and injects the molten resin into the mold cavity. Filling. The introduction part of the heating cylinder may be the entire screw of the heating cylinder, or may be a flow front part of a molten resin in front of the screw.

この射出成形機を用いた表面改質方法では、界面活性剤が溶解した高圧流体を例えば、加熱シリンダー内の溶融樹脂のフローフロント部に導入しているので、加熱シリンダー内の溶融樹脂を金型に射出すると、まず、界面活性剤が浸透したフローフロント部の溶融樹脂が射出され、その後、界面活性剤がほぼ浸透していない溶融樹脂が金型に射出充填される。界面活性剤が浸透したフローフロント部の溶融樹脂が射出された際には、金型内における流動樹脂のファウンテンフロー現象(噴水効果)により、フローフロント部の溶融樹脂は金型表面に引っ張られながら金型に接して表面層(スキン層)を形成する。それゆえ、この表面改質方法では、界面活性剤が分散したスキン層と界面活性剤がほとんど分散していないコア層とからなるプラスチック成形品が得られる。さらに、界面活性剤は、スキン層のさらに金型に近い上層部に浮き出る性質を有するので、最表面に界面活性剤を偏在化させることができる。また、フッソ含有の界面活性剤を用いることで、金型よりの離型性を向上させることも可能となる。上記射出成形機を用いた表面改質方法では、成形工程と表面改質工程とを同時に行うことができる。それゆえ、この方法を用いれば、高圧流体にある程度の溶解性を有する界面活性剤量であれば、様々な種類のプラスチック成形品の表面のみに界面活性剤を均一に分散配置することができる。すなわち、この射出成形機を用いた表面改質方法は、様々な種類のプラスチックの表面改質技術に応用可能である。   In the surface modification method using this injection molding machine, a high-pressure fluid in which a surfactant is dissolved is introduced into, for example, the flow front portion of the molten resin in the heating cylinder. First, the molten resin in the flow front part into which the surfactant has permeated is injected, and thereafter, the molten resin substantially unpermeated with the surfactant is injected and filled into the mold. When molten resin in the flow front part infiltrated with the surfactant is injected, the molten resin in the flow front part is pulled by the mold surface due to the fountain flow phenomenon (fountain effect) of the flowing resin in the mold. A surface layer (skin layer) is formed in contact with the mold. Therefore, in this surface modification method, a plastic molded article comprising a skin layer in which a surfactant is dispersed and a core layer in which the surfactant is hardly dispersed is obtained. Furthermore, since the surfactant has a property of floating on the upper layer portion of the skin layer closer to the mold, the surfactant can be unevenly distributed on the outermost surface. Further, by using a fluorine-containing surfactant, it is possible to improve the releasability from the mold. In the surface modification method using the injection molding machine, the molding process and the surface modification process can be performed simultaneously. Therefore, if this method is used, the surfactant can be uniformly distributed only on the surface of various types of plastic molded articles as long as the amount of the surfactant has a certain degree of solubility in the high-pressure fluid. That is, the surface modification method using this injection molding machine can be applied to various types of plastic surface modification techniques.

本発明の表面改質方法では、上記金型のキャビティ側表面に凹凸パターンが形成されて
おり、上記溶融樹脂を上記金型のキャビティに射出充填して、表面に凹部を有し且つ該凹
部の表面に界面活性剤が浸透したプラスチックを成形し、上記界面活性剤を溶媒で溶解してプ
ラスチック表面から除去する際に、該溶媒を上記凹部の表面のみに接触させて上記凹部に
浸透した界面活性剤を除去することが好ましい。
In the surface modification method of the present invention, a concavo-convex pattern is formed on the cavity-side surface of the mold, the molten resin is injected and filled into the cavity of the mold, the surface has a recess, and the recess When a plastic having a surfactant penetrated on its surface is molded, and the surfactant is dissolved with a solvent and removed from the plastic surface, the solvent is brought into contact with only the surface of the recess to penetrate the recess. It is preferable to remove the agent.

本発明の表面改質方法では、上記表面改質方法が、上記表面改質方法が、押し出し成形
機を用いた表面改質方法であり、上記高圧流体を用いて界面活性剤をプラスチックの表面内部を浸透させることが、上記界面活性剤を溶解した高圧流体を上記押し出し成形機内のプラスチックの溶融樹脂に接触させて、上記界面活性剤を該溶融樹脂に浸透させることと、上記溶融樹脂を押し出し成形することとを含むことが好ましい。
In the surface modification method of the present invention, the surface modification method is the surface modification method using an extrusion molding machine, and the surfactant is applied to the surface of the plastic using the high-pressure fluid. The high pressure fluid in which the surfactant is dissolved is brought into contact with the molten plastic resin in the extrusion molding machine, the surfactant is infiltrated into the molten resin, and the molten resin is extruded. It is preferable to include.

上記押し出し成形機を用いた表面改質方法においても、界面活性剤を溶解した高圧流体を押し出し成形機内の溶融樹脂に注入するので、成形工程と同時に改質処理を行うので、様々な種類のプラスチックの表面改質が可能となる。それゆえ、この押し出し成形機を用いた表面改質方法もまた、様々な種類のプラスチックの表面改質技術に応用可能である。また、上記押し出し成形機を用いた表面改質方法を用いれば、表面改質したフィルム状のプラスチック成形品を連続して製造することもできる。なお、押し出し成形機内の界面活性剤の注入箇所は加熱シリンダーから押し出しダイまでの領域内の位置であれば任意の位置に設け得る。   Even in the surface modification method using the above-mentioned extrusion molding machine, a high-pressure fluid in which a surfactant is dissolved is injected into the molten resin in the extrusion molding machine. It is possible to modify the surface. Therefore, the surface modification method using this extrusion molding machine is also applicable to various types of plastic surface modification techniques. Moreover, if the surface modification method using the said extrusion molding machine is used, the film-form plastic molded product which carried out surface modification | reformation can also be manufactured continuously. In addition, the injection | pouring location of surfactant in an extrusion molding machine can be provided in arbitrary positions if it is a position in the area | region from a heating cylinder to an extrusion die.

本発明の表面改質方法では、上記高圧流体の圧力が、5〜25MPaであることが好ま
しい。高圧流体に対する界面活性剤の溶解度は圧力の上昇とともに高くなる。圧力が5MPa以下であると界面活性剤の溶解度が極めて低くなり、プラスチック表面への界面活性剤の浸透効果が現れない。また、25MPa以上の高圧になると、プラスチックに対する高圧流体の浸透性が高くなり、プラスチックの発泡の制御が困難となる恐れがある。
In the surface modification method of the present invention, the pressure of the high pressure fluid is preferably 5 to 25 MPa. The solubility of the surfactant in the high pressure fluid increases with increasing pressure. When the pressure is 5 MPa or less, the solubility of the surfactant becomes extremely low, and the effect of penetrating the surfactant into the plastic surface does not appear. Further, when the pressure is 25 MPa or more, the permeability of the high-pressure fluid to the plastic becomes high, and it may be difficult to control the foaming of the plastic.

本発明の表面改質方法では、上記高圧流体が、二酸化炭素であることが好ましい。本発
明の表面改質方法において、高圧流体として二酸化炭素を用いた場合には、超臨界二酸化
炭素、亜臨界二酸化炭素、液体二酸化炭素または気体二酸化炭素が高圧流体として用い得
る。ただし、本発明はこれに限定されない。高圧流体としては、界面活性剤をある程度溶解する媒体であれば任意のものを用い得る。例えば、高圧流体として、空気、水、ブタン、ペンタン、メタノール等を用いても良い。なお、界面活性剤を溶解する高圧流体としては、有機材料に対する溶解度がnヘキサン並みであり、無公害であり、且つプラスチックに対する親和性の高い超臨界二酸化炭素が特に好ましい。また、高圧流体に対する界面活性剤の溶解度を向上させるために少量のエタノール等の有機溶剤をエントレーナとして混合しても良い。
In the surface modification method of the present invention, the high-pressure fluid is preferably carbon dioxide. In the surface modification method of the present invention, when carbon dioxide is used as the high-pressure fluid, supercritical carbon dioxide, subcritical carbon dioxide, liquid carbon dioxide, or gaseous carbon dioxide can be used as the high-pressure fluid. However, the present invention is not limited to this. As the high-pressure fluid, any medium can be used as long as the medium dissolves the surfactant to some extent. For example, air, water, butane, pentane, methanol, or the like may be used as the high pressure fluid. As the high-pressure fluid for dissolving the surfactant, supercritical carbon dioxide having a solubility in an organic material comparable to that of n-hexane, non-polluting, and high affinity for plastic is particularly preferable. Also, a small amount of an organic solvent such as ethanol may be mixed as an entrainer in order to improve the solubility of the surfactant in the high pressure fluid.

本発明の表面改質方法では、上記プラスチックが熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂及び光硬
化性樹脂のいずれか1つから形成されていることが好ましい。上述のように、本発明の表
面改質方法は様々な種類のプラスチックに適用可能であり、例えば、熱可塑性樹脂として
は、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリエーテルイミド、ポリメチルペ
ンテン、非晶質ポリオレフィン、ポリテトラフルオロエチレン、液晶ポリマー、スチレン
系樹脂、ポリメチルペンテン、ポリアセタール、ポリフェニレンサルファイド、ポリエチルエーテルケトン、シクロオレフィンポリマー等を用い得、熱硬化性樹脂及び光硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アクリル樹脂、シリコン樹脂、ポリイミド樹脂、ウレタン樹脂等を用い得る。また、プラスチックとして、上記材料を複合種混合したもの、これらを主成分とするポリマーアロイやこれらに各種の充填剤を配合したものを使用してもよい。
In the surface modification method of the present invention, the plastic is preferably formed from any one of a thermoplastic resin, a thermosetting resin, and a photocurable resin. As described above, the surface modification method of the present invention can be applied to various types of plastics. For example, as a thermoplastic resin, polycarbonate, polymethyl methacrylate, polyetherimide, polymethylpentene, amorphous polyolefin are used. , Polytetrafluoroethylene, liquid crystal polymer, styrenic resin, polymethylpentene, polyacetal, polyphenylene sulfide, polyethyl ether ketone, cycloolefin polymer, etc., and thermosetting resin and photocurable resin include epoxy resin, phenol Resin, acrylic resin, silicon resin, polyimide resin, urethane resin, or the like can be used. Further, as the plastic, a mixture of the above materials, a polymer alloy mainly composed of these materials, and a mixture of these with various fillers may be used.

本発明の表面改質方法では、上記界面活性剤の分子量が500〜10000であることが好ましい。分子量が10000以上の材料を用いると、高圧流体に対する溶解度が低下し、プラスチック表面への界面活性剤の浸透効果およびそれからの溶解除去効果が低下する。また、界面活性剤の分子量が10000以上の材料を用いた場合には、射出成形時においてプラスチック表面へ浮き出しにくくなる。また、分子量が500以下であると、抽出(除去)した際に、所望の穴を形成しにくくなる。その他、プラスチック樹脂との相溶性の点を考慮した場合、界面活性剤の分子量の範囲は上記範囲が望ましい。   In the surface modification method of the present invention, the surfactant preferably has a molecular weight of 500 to 10,000. When a material having a molecular weight of 10,000 or more is used, the solubility in a high-pressure fluid is lowered, and the effect of penetration of the surfactant into the plastic surface and the effect of dissolution removal therefrom are lowered. In addition, when a material having a molecular weight of 10000 or more is used, it is difficult for the surfactant to be raised on the plastic surface during injection molding. Further, when the molecular weight is 500 or less, it is difficult to form a desired hole when extracted (removed). In addition, considering the compatibility with the plastic resin, the range of the molecular weight of the surfactant is preferably within the above range.

本発明の第2の態様に従えば、プラスチックの表面に金属膜を形成する方法であって、
界面活性剤が表面に分散したプラスチックを用意することと、上記界面活性剤を溶媒で溶解して上記プラスチックの表面から上記界面活性剤を除去することと、上記界面活性剤が除去されたプラスチックの表面に金属膜を形成することとを含む金属膜の形成方法が提供される。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of forming a metal film on a plastic surface,
Preparing a plastic with a surfactant dispersed on the surface, dissolving the surfactant in a solvent to remove the surfactant from the surface of the plastic, and removing the surfactant from the plastic. A method of forming a metal film is provided that includes forming a metal film on a surface.

本発明の金属膜の形成方法では、上述した本発明の表面改質方法によりプラスチックの
表面を改質し(図23中のステップS1’及びS2’)、その後、得られたプラスチック
の表面に無電解メッキ等で金属膜を形成する(図23中のステップS3)。それゆえ、プ
ラスチックの表面に形成されたサブミクロンからナノオーダーのサイズの微細な凹凸によ
るアンカー効果や表面積の拡大によるスケールメリット等により、平滑性及び密着性の優
れた金属膜を形成することができる。また、上述したように、本発明の表面改質方法では
様々な種類のプラスチックの表面に微細な凹凸を形成できるので、本発明の金属膜の形成
方法では、様々な種類のプラスチックの表面に平滑性及び密着性の優れた金属膜を形成す
ることができる。
In the method for forming a metal film of the present invention, the surface of the plastic is modified by the surface modification method of the present invention described above (steps S1 ′ and S2 ′ in FIG. 23), and then there is no effect on the surface of the obtained plastic. A metal film is formed by electrolytic plating or the like (step S3 in FIG. 23). Therefore, it is possible to form a metal film having excellent smoothness and adhesion due to the anchor effect due to the fine irregularities of sub-micron to nano-order size formed on the surface of the plastic and the scale merit due to the expansion of the surface area. . Further, as described above, since the surface modification method of the present invention can form fine irregularities on the surface of various types of plastics, the metal film formation method of the present invention can smooth the surfaces of various types of plastics. A metal film having excellent properties and adhesion can be formed.

本発明の金属膜の形成方法では、上記界面活性剤が除去されたプラスチックの表面に金属膜を形成することが、上記界面活性剤の除去されたプラスチックの表面にメッキ触媒核を付与することと、無電解メッキ法により、上記メッキ触媒核が付与されたプラスチックの表面に金属膜を形成することとを含むことが好ましい。
In the method for forming a metal film according to the present invention, forming the metal film on the surface of the plastic from which the surfactant has been removed imparts a plating catalyst nucleus to the surface of the plastic from which the surfactant has been removed. It is preferable to include forming a metal film on the surface of the plastic provided with the plating catalyst nucleus by an electroless plating method.

本発明の表面改質方法によれば、様々な種類のプラスチックに対して、高圧流体を用い
てプラスチックの表面にサブミクロンからナノオーダーの微細な凹凸を形成することがで
きる。それゆえ、例えば、本発明の表面改質方法を無電解メッキ前処理プロセスとして用
いた場合には、低コストでクリーンな無電解メッキ前処理プロセスを提供することができ
る。また、プラスチックの表面に形成された微細孔の含有割合を調整することにより、プ
ラスチックの誘電率、誘電正接等の電気特性や、低屈折率化、高反射率等の光学特性を制御することもできる。
According to the surface modification method of the present invention, fine unevenness of sub-micron to nano order can be formed on the surface of a plastic using various types of plastics using a high pressure fluid. Therefore, for example, when the surface modification method of the present invention is used as an electroless plating pretreatment process, a low-cost and clean electroless plating pretreatment process can be provided. It is also possible to control the electrical characteristics such as dielectric constant and dielectric loss tangent of plastic and optical characteristics such as low refractive index and high reflectance by adjusting the content ratio of micropores formed on the surface of plastic. it can.

本発明の金属膜の形成方法によれば、本発明の表面改質方法により得られたプラスチッ
クの表面に無電解メッキ等で金属膜を形成するので、プラスチックの表面に形成されたサ
ブミクロンからナノオーダーのサイズの微細な凹凸によるアンカー効果や表面積の拡大に
よるスケールメリット等により、密着性の優れた金属膜を形成することができる。また、
プラスチックの表面に形成された凹凸は、サブミクロンからナノオーダーのサイズである
ので、非常に平滑性の優れた(表面粗化が抑制された)金属膜を形成することができる。
また、本発明の金属膜の形成方法によれば、従来のメッキ法のように有害なエッチャント
(エッチング液)を用いることなくプラスチックの表面を粗化できるので、低コストでク
リーンな金属膜の形成方法を提供することができる。
According to the method for forming a metal film of the present invention, a metal film is formed on the surface of the plastic obtained by the surface modification method of the present invention by electroless plating or the like. A metal film having excellent adhesion can be formed by an anchor effect due to fine irregularities of the order size and a scale merit due to an increase in surface area. Also,
Since the unevenness formed on the surface of the plastic has a size of sub-micron to nano order, a metal film with very excellent smoothness (surface roughness is suppressed) can be formed.
Further, according to the metal film forming method of the present invention, the surface of the plastic can be roughened without using a harmful etchant (etching solution) as in the conventional plating method, so that a low-cost and clean metal film can be formed. A method can be provided.

以下、本発明の表面改質方法及び金属膜の形成方法の実施例について図面を参照しなが
ら具体的に説明するが、以下に述べる実施例は本発明の好適な具体例であり、本発明はこ
れに限定されない。
Hereinafter, embodiments of the surface modification method and metal film forming method of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. However, the embodiments described below are preferred specific examples of the present invention. It is not limited to this.

実施例1では、熱可塑性樹脂(プラスチック)の表面に界面活性剤の溶解した超臨界状態の二酸化炭素(高圧流体)を接触させて界面活性剤を熱可塑性樹脂に浸透させた後、熱可塑性樹脂から界面活性剤を除去して表面改質を行う例を説明する。また、実施例1では、表面改質された熱可塑性樹脂の表面にメッキ膜(金属膜)を形成する例についても説明する。この例では、界面活性剤にオクタエチレングリコールモノドデシルエーテル(分子量:539)を用い、熱可塑性樹脂には非晶質ポリオレフィン(ZEONEX、ガラス転移温度145℃)を用いた。   In Example 1, a supercritical carbon dioxide (high pressure fluid) in which a surfactant is dissolved is brought into contact with the surface of a thermoplastic resin (plastic) to infiltrate the surfactant into the thermoplastic resin, and then the thermoplastic resin. An example will be described in which the surfactant is removed from the surface to modify the surface. In Example 1, an example in which a plating film (metal film) is formed on the surface of a surface-modified thermoplastic resin will also be described. In this example, octaethylene glycol monododecyl ether (molecular weight: 539) was used as the surfactant, and amorphous polyolefin (ZEONEX, glass transition temperature 145 ° C.) was used as the thermoplastic resin.

[改質装置]
この例の熱可塑性樹脂の表面改質に用いた装置の概略構成を図1に示した。改質装置1
00は、図1に示すように、主に、液体二酸化炭素ボンベ1と、超臨界状態の二酸化炭素
(以下、超臨界二酸化炭素ともいう)を生成するシリンジポンプ2(ISCO社製 26
0D)と、界面活性剤を超臨界二酸化炭素に溶解する溶解槽3と、熱可塑性樹脂101を収容する高圧容器4と、高圧容器4等から排出されるガスを回収する回収槽5と、それらの構成要素を繋ぐ配管13とで構成されている。また、配管13には、図1に示すように、改質装置100内の高圧流体の流動を制御するための手動ニードルバルブ6〜10、保圧弁11及び逆止弁12が所定の位置に設けられている。
[Reformer]
A schematic configuration of the apparatus used for surface modification of the thermoplastic resin in this example is shown in FIG. Reformer 1
As shown in FIG. 1, 00 is mainly a liquid carbon dioxide cylinder 1 and a syringe pump 2 (produced by ISCO Corporation 26) that generates supercritical carbon dioxide (hereinafter also referred to as supercritical carbon dioxide).
0D), a dissolution tank 3 for dissolving the surfactant in supercritical carbon dioxide, a high-pressure vessel 4 containing the thermoplastic resin 101, a recovery vessel 5 for collecting the gas discharged from the high-pressure vessel 4 and the like, and It is comprised with the piping 13 which connects these components. Further, as shown in FIG. 1, manual needle valves 6 to 10, a pressure holding valve 11, and a check valve 12 for controlling the flow of high-pressure fluid in the reformer 100 are provided in the pipe 13 at predetermined positions. It has been.

なお、この例で用いた高圧容器4は、カートリッジヒーター(不図示)で温調可能な高
圧容器であり、冷却回路(不図示)を流動する冷却水によって冷却可能である。また、こ
の例では、高圧容器4内の熱可塑性樹脂101が装着される空間14の容量は1mlとし
た。
Note that the high-pressure vessel 4 used in this example is a high-pressure vessel whose temperature can be adjusted by a cartridge heater (not shown), and can be cooled by cooling water flowing in a cooling circuit (not shown). In this example, the capacity of the space 14 in which the thermoplastic resin 101 in the high-pressure vessel 4 is mounted is 1 ml.

[表面改質方法]
次に、この例の熱可塑性樹脂の表面改質方法について、図1及び3を用いて説明する。
なお、以下では、図1中の各バルブが全て閉じられた状態からこの例の表面改質方法を説
明する。
[Surface modification method]
Next, a method for modifying the surface of the thermoplastic resin in this example will be described with reference to FIGS.
In the following, the surface modification method of this example will be described from the state in which all the valves in FIG. 1 are closed.

まず、表面改質を施す熱可塑性樹脂101(非晶質ポリオレフィン(ZEONEX))を、図1に示すように、所定の温度(120℃)に温調された高圧容器4内に装着した。次に、界面活性剤であるオクタエチレングリコールモノドデシルエーテルを内容積10mlの溶解槽3に仕込んだ。なお、この例では、オクタエチレングリコールモノドデシルエーテルの仕込み量は100mgとした。   First, a thermoplastic resin 101 (amorphous polyolefin (ZEONEX)) to be subjected to surface modification was mounted in a high-pressure vessel 4 adjusted to a predetermined temperature (120 ° C.) as shown in FIG. Next, octaethylene glycol monododecyl ether as a surfactant was charged into the dissolution tank 3 having an internal volume of 10 ml. In this example, the charged amount of octaethylene glycol monododecyl ether was 100 mg.

次に、液体二酸化炭素ボンベ1から液体二酸化炭素をシリンジポンプ2に供給して加圧し、圧力計15が15MPaを示すように昇圧した。これにより、超臨界二酸化炭素を生成した。次いで、手動ニードルバルブ6を開き、逆止弁12を介して溶解槽3に超臨界二酸化炭素を導入し、溶解槽3の内部を15MPaに昇圧するとともに、界面活性剤を超臨界二酸化炭素に溶解させた(図3中のステップS11)。昇圧後、再度ニードルバルブ6を閉鎖した。   Next, liquid carbon dioxide was supplied from the liquid carbon dioxide cylinder 1 to the syringe pump 2 and pressurized, and the pressure was increased so that the pressure gauge 15 showed 15 MPa. This produced supercritical carbon dioxide. Next, the manual needle valve 6 is opened, supercritical carbon dioxide is introduced into the dissolution tank 3 via the check valve 12, the inside of the dissolution tank 3 is pressurized to 15 MPa, and the surfactant is dissolved in supercritical carbon dioxide. (Step S11 in FIG. 3). After increasing the pressure, the needle valve 6 was closed again.

次に、ニードルバルブ8を開き、シリンジポンプ2からそのポンプ圧と同圧(15MPa)の界面活性剤の溶解していない超臨界二酸化炭素を高圧容器4内に導入して、高圧容器4内部を15MPaに昇圧した。この際、界面活性剤の溶解していない超臨界二酸化炭素は高圧容器4を介して手動ニードルバルブ9及び10まで充填されており、圧力計16では15MPaが表示された。この例では、図1に示すように、高圧容器4の排出側に予め1次側の圧力が15MPaになるように調節された保圧弁11を設けて、超臨界二酸化炭素が圧力一定で流動するようにした。次いで、ニードルバルブ8を閉鎖し、高圧容器4内の空間30の圧力を15MPaに保持した。このように、高圧容器4内の圧力を予め15MPaに昇圧することにより、界面活性剤の溶解した超臨界二酸化炭素を高圧容器4に導入する際に圧力損失なく導入することができる。   Next, the needle valve 8 is opened, and supercritical carbon dioxide in which a surfactant having the same pressure (15 MPa) as the pump pressure is not dissolved is introduced into the high-pressure vessel 4 from the syringe pump 2. The pressure was increased to 15 MPa. At this time, the supercritical carbon dioxide in which the surfactant was not dissolved was filled up to the manual needle valves 9 and 10 through the high-pressure vessel 4, and the pressure gauge 16 displayed 15 MPa. In this example, as shown in FIG. 1, a pressure-holding valve 11 that is adjusted in advance so that the pressure on the primary side becomes 15 MPa is provided on the discharge side of the high-pressure vessel 4 so that supercritical carbon dioxide flows at a constant pressure. I did it. Next, the needle valve 8 was closed, and the pressure in the space 30 in the high-pressure vessel 4 was maintained at 15 MPa. Thus, by raising the pressure in the high-pressure vessel 4 to 15 MPa in advance, the supercritical carbon dioxide in which the surfactant is dissolved can be introduced without pressure loss when it is introduced into the high-pressure vessel 4.

次に、界面活性剤の溶解した超臨界二酸化炭素を溶解槽3から高圧容器4に導入して、熱可塑性樹脂101に界面活性剤の溶解した超臨界二酸化炭素を接触させた(図3中のステップS12)。具体的には、次のようにして超臨界二酸化炭素を導入した。まず、手動ニードルバルブ6および7を開放し、シリンジポンプ2を圧力制御から流量制御に切り替え、溶解槽3内の界面活性剤の溶解した超臨界二酸化炭素を高圧容器4に導入した。なお、ポンプの流量の設定は10ml/minとした。さらに、手動ニードルバルブ10を開き、超臨界二酸化炭素を回収槽5に1分間流動させた(排出した)。上記操作により、圧力を一定に保持した状態で高圧容器4内部および高圧容器4に流通する流路(配管等)を界面活性剤の溶解した超臨界二酸化炭素で置換した。その後、ニードルバルブ6及び7を閉鎖した。   Next, supercritical carbon dioxide in which the surfactant was dissolved was introduced from the dissolution tank 3 into the high-pressure vessel 4, and the supercritical carbon dioxide in which the surfactant was dissolved was brought into contact with the thermoplastic resin 101 (in FIG. 3). Step S12). Specifically, supercritical carbon dioxide was introduced as follows. First, the manual needle valves 6 and 7 were opened, the syringe pump 2 was switched from pressure control to flow control, and supercritical carbon dioxide in which the surfactant in the dissolution tank 3 was dissolved was introduced into the high-pressure vessel 4. The pump flow rate was set to 10 ml / min. Further, the manual needle valve 10 was opened, and supercritical carbon dioxide was allowed to flow (discharged) to the recovery tank 5 for 1 minute. By the above operation, the flow path (pipe, etc.) flowing through the high-pressure vessel 4 and the high-pressure vessel 4 with the pressure kept constant was replaced with supercritical carbon dioxide in which the surfactant was dissolved. Thereafter, the needle valves 6 and 7 were closed.

次いで、ニードルバルブ8を開き、シリンジポンプ2から界面活性剤が溶解していない超臨界二酸化炭素を高圧容器4に流通する流路(配管等)に導入し、流量10ml/minで10秒間流動させ、配管等に充填されている界面活性剤の溶解した超臨界二酸化炭素を所望の位置に輸送した(高圧容器4内に押し込んだ)。これにより、高圧容器4内に装着された熱可塑性樹脂101の表面付近では、超臨界二酸化炭素中の界面活性剤の溶解濃度を高濃度に分布させることができる。この状態で、10分間圧力を保持し、界面活性剤を熱可塑性樹脂101の表面に浸透させた。   Next, the needle valve 8 is opened, supercritical carbon dioxide in which the surfactant is not dissolved is introduced from the syringe pump 2 into a flow path (pipe, etc.) flowing through the high-pressure vessel 4 and allowed to flow for 10 seconds at a flow rate of 10 ml / min. Then, the supercritical carbon dioxide in which the surfactant filled in the piping or the like was dissolved was transported to a desired position (pressed into the high-pressure vessel 4). Thereby, in the vicinity of the surface of the thermoplastic resin 101 mounted in the high-pressure vessel 4, the concentration of the surfactant dissolved in the supercritical carbon dioxide can be distributed at a high concentration. In this state, the pressure was maintained for 10 minutes to allow the surfactant to penetrate the surface of the thermoplastic resin 101.

次に、高圧容器4のヒーターの電源を切り、冷却水を流し、高圧容器4を40℃まで冷
却した。冷却中に高圧容器内圧が低下すると、熱可塑性樹脂101の表面および内部に発
泡を招く恐れがある。それゆえ、冷却中は外圧を保持することが望ましい。その後、手動ニードルバルブ8を閉じ、同時にバルブ9を開放して、回収槽5に界面活性剤及び二酸化炭素を回収しながら、高圧容器4を大気開放した。その後、界面活性剤が表面内部に浸透した熱可塑性樹脂101を高圧容器4から取り出した。
Next, the power source of the heater of the high-pressure vessel 4 was turned off, the cooling water was poured, and the high-pressure vessel 4 was cooled to 40 ° C. If the internal pressure of the high-pressure vessel decreases during cooling, foaming may occur on the surface and inside of the thermoplastic resin 101. It is therefore desirable to maintain the external pressure during cooling. Thereafter, the manual needle valve 8 was closed, and at the same time, the valve 9 was opened, and the high-pressure vessel 4 was opened to the atmosphere while collecting the surfactant and carbon dioxide in the collection tank 5. Thereafter, the thermoplastic resin 101 in which the surfactant penetrated into the surface was taken out from the high-pressure vessel 4.

次に、高圧二酸化炭素を溶媒として用い、界面活性剤が表面内部に含浸した熱可塑性樹脂101から界面活性剤を洗浄除去した(図3中のステップS13)。本実施例においては超臨界状態となる温度40℃、圧力15MPaとし、30分洗浄処理を行った。   Next, using high pressure carbon dioxide as a solvent, the surfactant was washed and removed from the thermoplastic resin 101 impregnated with the surfactant inside the surface (step S13 in FIG. 3). In this example, a supercritical state temperature of 40 ° C. and a pressure of 15 MPa were used, and a cleaning process was performed for 30 minutes.

本発明において、界面活性剤と高圧二酸化炭素を接触させる場合においては、非晶性樹脂材料が十分に膨潤する様に樹脂材料のガラス転移温度近傍の温度において、処理を行うことが望ましい。また、樹脂材料内部に導入した界面活性剤のみを溶解および抽出する場合においては、ガラス転移温度よりも十分低い温度にて処理することが望ましい。抽出時には樹脂が膨潤することで孔のサイズが拡大してしまうためである。   In the present invention, when the surfactant and high-pressure carbon dioxide are brought into contact with each other, it is desirable to perform the treatment at a temperature near the glass transition temperature of the resin material so that the amorphous resin material swells sufficiently. Further, when only the surfactant introduced into the resin material is dissolved and extracted, it is desirable to perform the treatment at a temperature sufficiently lower than the glass transition temperature. This is because the size of the pores expands due to swelling of the resin during extraction.

このプロセスにより、熱可塑性樹脂101の表面に浸透していたオクタエチレングリコールモノドデシルエーテルが脱離し、そのオクタエチレングリコールモノドデシルエーテルが離脱した部分には、微細孔が形成される。すなわち、上記洗浄処理により、熱可塑性樹脂101の表面に微細孔(微細な凹凸)を形成した(表面の物理的形状を変化させた)。その様子を示したのが、図2である。図2(a)は、上記洗浄処理前の熱可塑性樹脂101の表面のAFM(原子間力顕微鏡:Atomic Force Microscope)観察像であり、図2(b)は、上記洗浄処理後の熱可塑性樹脂101の表面のAFM観察像である。図2(a)及び(b)から明らかなように、この例では洗浄処理後の熱可塑性樹脂101の表面には、100〜300nm程度の微細な孔が形成されて多数形成されていることが分かった。この例では、上述のようにして、熱可塑性樹脂101の表面改質を行った。   By this process, octaethylene glycol monododecyl ether that has permeated the surface of the thermoplastic resin 101 is desorbed, and fine pores are formed in the portion from which the octaethylene glycol monododecyl ether is desorbed. In other words, fine holes (fine irregularities) were formed on the surface of the thermoplastic resin 101 by the cleaning treatment (the physical shape of the surface was changed). This is shown in FIG. FIG. 2 (a) is an AFM (Atomic Force Microscope) observation image of the surface of the thermoplastic resin 101 before the cleaning treatment, and FIG. 2 (b) is the thermoplastic resin after the cleaning treatment. 101 is an AFM observation image of the surface of 101. As is clear from FIGS. 2A and 2B, in this example, the surface of the thermoplastic resin 101 after the cleaning treatment is formed with a large number of fine holes of about 100 to 300 nm. I understood. In this example, the surface modification of the thermoplastic resin 101 was performed as described above.

[メッキ膜の形成方法]
次に、上述のようにして作製した表面に微細な凹凸が形成されている熱可塑性樹脂101上に、無電解メッキ膜を形成した。具体的には、次のようにして、無電解メッキ膜を形成した。まず、熱可塑性樹脂101を公知のコンディショナー(奥野製薬工業(株)製 OPC−370)を用いて脱脂した。次いで、触媒(奥野製薬工業(株)製 OPC−80キャタリスト)を熱可塑性樹脂101に付与し(図3中のステップS14)、その後、活性剤(奥野製薬工業(株)製 OPC−500アクセレーターMX)を用いて触媒を活性化した。次いで、無電解銅メッキを施した(図3中のステップS15)。なお、メッキ液には奥野製薬工業(株)製 OPC−750無電解銅を用いた。その結果、熱可塑性樹脂101上に形成されたメッキ膜にはふくれがなく、後述するように、テープ剥離試験による密着強度も良好であった。
[Method of forming plating film]
Next, an electroless plating film was formed on the thermoplastic resin 101 having fine irregularities formed on the surface produced as described above. Specifically, an electroless plating film was formed as follows. First, the thermoplastic resin 101 was degreased using a known conditioner (OPC-370, manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd.). Subsequently, a catalyst (OPC-80 catalyst manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd.) was applied to the thermoplastic resin 101 (step S14 in FIG. 3), and then an activator (OPC-500 accessor manufactured by Okuno Pharmaceutical Industry Co., Ltd.). The catalyst was activated using a calibrator MX). Next, electroless copper plating was performed (step S15 in FIG. 3). The plating solution used was OPC-750 electroless copper manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd. As a result, the plating film formed on the thermoplastic resin 101 did not bulge, and the adhesion strength by the tape peeling test was good as described later.

実施例2では、熱硬化性樹脂(プラスチック)の表面に界面活性剤の溶解した超臨界二酸化炭素(高圧流体)を接触させて界面活性剤を熱硬化性樹脂に浸透させた後、熱硬化性樹脂から界面活性剤を除去して表面改質を行う例を説明する。また、実施例2では、表面改質された熱硬化性樹脂の表面にメッキ膜(金属膜)を形成する方法についても説明する。この例では、界面活性剤にオクタエチレングリコールモノドデシルエーテル(分子量:539)、熱硬化性樹脂にはポリイミド基板を用いた。   In Example 2, supercritical carbon dioxide (high pressure fluid) in which a surfactant is dissolved is brought into contact with the surface of a thermosetting resin (plastic) to infiltrate the surfactant into the thermosetting resin, and then thermosetting. An example in which the surface modification is performed by removing the surfactant from the resin will be described. In Example 2, a method of forming a plating film (metal film) on the surface of the surface-modified thermosetting resin will also be described. In this example, octaethylene glycol monododecyl ether (molecular weight: 539) was used as the surfactant, and a polyimide substrate was used as the thermosetting resin.

本実施例では、実施例1と同様に、図1に示した改質装置を用いて熱硬化性樹脂の表面改質を行った。本実施例における熱硬化性樹脂の表面改質方法および金属膜の形成方法は、図1に示す高圧容器4の温度を80℃としたこと以外は実施例1と同様にして行った。   In this example, similarly to Example 1, the surface modification of the thermosetting resin was performed using the reforming apparatus shown in FIG. The method for modifying the surface of the thermosetting resin and the method for forming the metal film in this example were performed in the same manner as in Example 1 except that the temperature of the high-pressure vessel 4 shown in FIG.

その結果、洗浄処理により界面活性剤を除去した後の熱硬化性樹脂の表面には、実施例1と同様に微細な孔が形成されて多数形成されていた。また、熱硬化性樹脂上に無電界メッキにより形成したメッキ膜にはふくれがなく、後述するように、テープ剥離試験による密着強度も良好であった。   As a result, a large number of fine holes were formed on the surface of the thermosetting resin after the surfactant was removed by the cleaning treatment, as in Example 1. Moreover, the plating film formed by electroless plating on the thermosetting resin was free from blistering, and the adhesion strength by the tape peeling test was good as described later.

実施例3では、光硬化性樹脂(プラスチック)の表面に界面活性剤の溶解した超臨界二酸化炭素(高圧流体)を接触させて界面活性剤を光硬化性樹脂に浸透させた後、光硬化性樹脂から界面活性剤を除去して表面改質を行う例を説明する。また、実施例3では、表面改質された熱硬化性樹脂の表面にメッキ膜(金属膜)を形成する例についても説明する。この例では、界面活性剤にオクタエチレングリコールモノドデシルエーテル(分子量:539)、光硬化性樹脂にはエポキシ樹脂材と硬化剤とを含む紫外線硬化型樹脂基板を用いた。   In Example 3, supercritical carbon dioxide (high pressure fluid) in which a surfactant is dissolved is brought into contact with the surface of a photocurable resin (plastic) to allow the surfactant to penetrate into the photocurable resin, and then photocurable. An example in which the surface modification is performed by removing the surfactant from the resin will be described. In Example 3, an example in which a plating film (metal film) is formed on the surface of a surface-modified thermosetting resin will also be described. In this example, an ultraviolet curable resin substrate containing octaethylene glycol monododecyl ether (molecular weight: 539) as a surfactant and an epoxy resin material and a curing agent as a photocurable resin was used.

本実施例では、実施例1と同様に、図1に示した改質装置を用いて光硬化性樹脂の表面改質を行った。なお、本実施例における光硬化性樹脂の表面改質方法および金属膜の形成方法は、図1に示す高圧容器4の温度を150℃としたこと以外は実施例1と同様にして行った。   In this example, similarly to Example 1, the surface modification of the photocurable resin was performed using the modifying apparatus shown in FIG. The surface modification method of the photocurable resin and the metal film formation method in this example were performed in the same manner as in Example 1 except that the temperature of the high-pressure vessel 4 shown in FIG.

その結果、洗浄処理により界面活性剤を除去した後の光硬化性樹脂の表面には、実施例1と同様に微細な孔が形成されて多数形成されていた。また、光硬化性樹脂上に無電界メッキにより形成したメッキ膜にはふくれがなく、後述するように、テープ剥離試験による密着強度も良好であった。   As a result, a large number of fine pores were formed on the surface of the photocurable resin after the surfactant was removed by the cleaning treatment, as in Example 1. Moreover, the plating film formed by electroless plating on the photocurable resin was free from blistering, and as described later, the adhesion strength by the tape peeling test was good.

実施例4では、実施例1と同様に、熱可塑性樹脂(プラスチック)の表面に界面活性剤の溶解した超臨界二酸化炭素(高圧流体)を接触させて界面活性剤を熱可塑性樹脂に浸透させた後、熱可塑性樹脂の表面に浸透した界面活性剤を除去して表面改質を行い、さらに、表面改質された熱可塑性樹脂の表面に無電解メッキによりメッキ膜(金属膜)を形成する例について説明する。ただし、この例では、界面活性剤にカルボキシレートパーフルオロポリエーテル(F‐(CF2CF(CF3)O)n‐CF2CF2COOH,n=60,分子量:約10000(Dupont社製 商品名Krytox))を用い、それ以外は実施例1と同様の方法で熱可塑性樹脂の表面改質および無電解メッキ膜を形成した。なお、改質装置としては、図1に示した装置を用いた。   In Example 4, as in Example 1, the surface of the thermoplastic resin (plastic) was contacted with supercritical carbon dioxide (high-pressure fluid) in which the surfactant was dissolved, and the surfactant was permeated into the thermoplastic resin. After that, the surface-modified thermoplastic resin surface is modified by removing the surfactant that has penetrated the surface of the thermoplastic resin, and a plating film (metal film) is formed on the surface of the surface-modified thermoplastic resin by electroless plating. Will be described. However, in this example, carboxylate perfluoropolyether (F- (CF2CF (CF3) O) n-CF2CF2COOH, n = 60, molecular weight: about 10,000 (Dupont's trade name Krytox)) is used as the surfactant. Otherwise, the surface modification of the thermoplastic resin and the electroless plating film were formed in the same manner as in Example 1. As the reformer, the apparatus shown in FIG. 1 was used.

その結果、洗浄処理により界面活性剤を除去した後の熱可塑性樹脂の表面には、実施例1と同様に微細な孔が形成されて多数形成されていた。また、熱可塑性樹脂上に形成したメッキ膜にはふくれがなく、後述するように、テープ剥離試験による密着強度も良好であった。   As a result, a large number of fine pores were formed on the surface of the thermoplastic resin after the surfactant was removed by the cleaning treatment, as in Example 1. Further, the plating film formed on the thermoplastic resin was free from blistering, and the adhesion strength by the tape peeling test was good as described later.

[テープ剥離試験及び表面粗さの測定]
上記実施例1〜4の表面改質方法およびメッキ膜の形成方法により得られたメッキ膜に対して、テープ剥離試験を実施してメッキ膜の密着性を評価した。具体的には、メッキ膜が形成されたプラスチック基板を1mm間隔に100等分の升目を切り、分割された各プラスチック基板(100枚)に対してテープ剥離試験を行い、メッキ膜が剥離した枚数により無電解メッキ特性を評価した。テープにはニチバン(株)製の粘着テープ(No.405)を用いた。その結果を表1に示す。なお、表1中の評価基準は下記の通りである。
◎:剥離枚数が9枚以下の場合
○:剥離枚数が10枚以上29枚以下の場合
△:剥離枚数が30枚以上59枚以下の場合
×:剥離枚数が60枚以上、もしくはメッキ膜形成されなかった場合
[Tape peeling test and surface roughness measurement]
A tape peeling test was performed on the plating film obtained by the surface modification method and the plating film formation method of Examples 1 to 4 above to evaluate the adhesion of the plating film. Specifically, a plastic substrate on which a plating film is formed is cut into 100 equal squares at 1 mm intervals, and a tape peeling test is performed on each of the divided plastic substrates (100 sheets). Thus, the electroless plating characteristics were evaluated. The adhesive tape (No. 405) made by Nichiban Co., Ltd. was used for the tape. The results are shown in Table 1. In addition, the evaluation criteria in Table 1 are as follows.
◎: When the number of peeled sheets is 9 or less ○: When the number of peeled sheets is 10 or more and 29 or less △: When the number of peeled sheets is 30 or more and 59 or less ×: The number of peeled sheets is 60 or more or a plating film is formed If not

また、実施例1〜4でプラスチック表面に形成したメッキ膜の表面粗さを触針式表面粗さ測定装置(KLA−Tencor社製)を用いて測定した。その結果も表1に示した。なお、表面粗さの測定では、各プラスチック基板の算術平均粗さ(Ra)、十点平均粗さ(Rz)を測定した。   Moreover, the surface roughness of the plating film formed on the plastic surface in Examples 1 to 4 was measured using a stylus type surface roughness measuring device (manufactured by KLA-Tencor). The results are also shown in Table 1. In the measurement of the surface roughness, the arithmetic average roughness (Ra) and ten-point average roughness (Rz) of each plastic substrate were measured.

Figure 2008247962
Figure 2008247962

表1に示したテープ剥離試験の結果から明らかなように、実施例1〜4で形成されたメッキ膜は、全て◎評価となり、十分良好な密着強度が得られていることが分かった。これは、プラスチック基板の表面に含浸した界面活性剤を洗浄除去して、プラスチック基板の表面に微細な凹凸を形成したことにより、アンカー効果等が増大したためであると考えられる。   As is apparent from the results of the tape peeling test shown in Table 1, all of the plating films formed in Examples 1 to 4 were evaluated as 評 価, and it was found that sufficiently good adhesion strength was obtained. This is presumably because the anchor effect and the like were increased by cleaning and removing the surfactant impregnated on the surface of the plastic substrate and forming fine irregularities on the surface of the plastic substrate.

また、実施例1〜4でプラスチック表面に形成されたメッキ膜の表面粗さは、算術平均粗さ(Ra)で数十nmのオーダーであり、十点平均粗さ(Rz)で数百nmのオーダーであることが分かった。従来のエッチング処理により表面粗化を図った場合には、プラスチックの表面粗さが数μm〜数十μmのオーダーになることを考えると、本発明のメッキ膜の形成方法では、従来の無電解メッキ方法に比べて、表面粗化が抑制され良好な平滑性が得られることが分かる。金属膜の表面粗さが大きい場合には、金属膜の反射率や電気特性(抵抗等)等が劣化するが、本発明のメッキ膜の形成方法は、基板の表面粗さを非常に小さくすることができるので、例えば、高反射率を必要とするリフレクター等の金属膜、良好な電気特性を必要とする高周波電気回路やアンテナ等の金属膜の形成方法として好適である。また、浸透させる界面活性剤の分子量により表面の平滑性を制御できることが分かり、本発明においては、分子量が500〜10000において、良好な密着強度と平滑性が得られることが分かった。   The surface roughness of the plating film formed on the plastic surface in Examples 1 to 4 is on the order of several tens of nanometers in terms of arithmetic average roughness (Ra), and several hundreds of nanometers in terms of ten-point average roughness (Rz). It turned out that it was an order. Considering that the surface roughness of the plastic is on the order of several μm to several tens of μm when the surface is roughened by the conventional etching process, the plating film forming method of the present invention uses the conventional electroless method. Compared to the plating method, it can be seen that surface roughening is suppressed and good smoothness is obtained. When the surface roughness of the metal film is large, the reflectivity and electrical characteristics (resistance, etc.) of the metal film deteriorate, but the plating film forming method of the present invention makes the surface roughness of the substrate very small. Therefore, it is suitable as a method for forming a metal film such as a reflector that requires high reflectivity and a metal film such as a high-frequency electric circuit or an antenna that requires good electrical characteristics. It was also found that the surface smoothness can be controlled by the molecular weight of the surfactant to be permeated, and in the present invention, it was found that good adhesion strength and smoothness can be obtained at a molecular weight of 500 to 10,000.

実施例5では、表面に凹部を有する熱可塑性樹脂(プラスチック)に対して、高圧流体を用いて凹部のみを表面改質し且つメッキ膜(金属膜)を形成する方法の例について説明する。この例では、熱可塑性樹脂(以下、プラスチック部材ともいう)には非晶質ポリオレフィン(ZEONEX)を用い、公知の射出成形により、表面に凹部およびスルーホールを有するプラスチック部材を作製した。この例では、プラスチック部材の表面には幅50μm、深さ50μmの凹パターンおよび直径Φ200μm、高さ1.0mm(アスペクト比1.0/0.2=5.0)のスルーホールを形成した。また、この例では、界面活性剤にオクタエチレングリコールモノドデシルエーテル(分子量:539)を用い、高圧流体としては超臨界二酸化炭素を用いた。   In Example 5, an example of a method of forming a plating film (metal film) by modifying the surface of only a recess using a high-pressure fluid with respect to a thermoplastic resin (plastic) having a recess on the surface will be described. In this example, amorphous polyolefin (ZEONEX) was used as a thermoplastic resin (hereinafter also referred to as a plastic member), and a plastic member having a recess and a through hole on its surface was produced by known injection molding. In this example, a concave pattern having a width of 50 μm and a depth of 50 μm and a through hole having a diameter of Φ200 μm and a height of 1.0 mm (aspect ratio 1.0 / 0.2 = 5.0) were formed on the surface of the plastic member. In this example, octaethylene glycol monododecyl ether (molecular weight: 539) was used as the surfactant, and supercritical carbon dioxide was used as the high-pressure fluid.

[改質装置]
この例のプラスチック部材の表面改質に用いた装置の概略構成を図4に示した。改質装置200は、図4に示すように、主に、液体二酸化炭素ボンベ1と、超臨界二酸化炭素を生成するシリンジポンプ2(ISCO社製 260D)と、界面活性剤(オクタエチレングリコールモノドデシルエーテル)を超臨界二酸化炭素に溶解する溶解槽3と、複数のプラスチック部材201が収容可能な金型4’と、金型4’等から排出されるガスを回収する回収槽5と、それらの構成要素を繋ぐ配管13とで構成されている。また、配管13には、図4に示すように、改質装置200内の高圧流体の流動を制御するための手動ニードルバルブ6〜10、保圧弁11及び逆止弁12が所定の位置に設けられている。すなわち、この例の改質装置200では、実施例1で用いた改質装置100の高圧容器4の代わりに、金型4’を用いた。
[Reformer]
A schematic configuration of the apparatus used for surface modification of the plastic member of this example is shown in FIG. As shown in FIG. 4, the reformer 200 mainly includes a liquid carbon dioxide cylinder 1, a syringe pump 2 (260D manufactured by ISCO) that generates supercritical carbon dioxide, and a surfactant (octaethylene glycol monododecyl). Ether) in a supercritical carbon dioxide, a mold 4 ′ capable of accommodating a plurality of plastic members 201, a recovery tank 5 for recovering gas discharged from the mold 4 ′, etc. It is comprised with the piping 13 which connects a component. In addition, as shown in FIG. 4, manual needle valves 6 to 10, a pressure holding valve 11 and a check valve 12 for controlling the flow of the high-pressure fluid in the reformer 200 are provided in the pipe 13 at predetermined positions. It has been. That is, in the reformer 200 of this example, a mold 4 ′ is used instead of the high-pressure vessel 4 of the reformer 100 used in the first embodiment.

金型4’は、図4及び5に示すように、主に、固定金型20と、可動金型21とから構成され、型締め装置(プレスピストン:不図示)により開閉される。なお、図5は、図4中の破線Aで囲まれた領域の拡大図である。プレスピストンは電動サーボモータ(不図示)による位置制御により移動可能となっている。また、金型4’は、図示しないカートリッジヒータにより温調可能な構造になっている。さらに、この例の金型4’は、図示しない冷却回路を流動する冷却水によって冷却可能である。   As shown in FIGS. 4 and 5, the mold 4 ′ is mainly composed of a fixed mold 20 and a movable mold 21, and is opened and closed by a mold clamping device (press piston: not shown). 5 is an enlarged view of a region surrounded by a broken line A in FIG. The press piston is movable by position control by an electric servo motor (not shown). The mold 4 'has a structure that can be adjusted by a cartridge heater (not shown). Further, the mold 4 'in this example can be cooled by cooling water flowing in a cooling circuit (not shown).

この例の金型4’では、図4及び5に示すように、固定金型20と可動金型21との間に複数のプラスチック部材201を挟み込んで保持する構造になっている。固定金型20の可動金型21側の表面には、図4及び5に示すように、プラスチック部材201の上半分の外形と倣った凹部20aが複数形成されており、可動金型21の固定金型20側の表面には、プラスチック部材201の下半分の外形と倣った凹部21aが複数形成されている。そして、固定金型20の凹部20aと可動金型21の凹部21aとは互いに対向する位置に配置されている。すなわち、固定金型20と可動金型21とを閉じた際に、可動金型21と固定金型20との界面に、固定金型20の凹部20aと可動金型21の凹部21aにより、プラスチック部材201の外形寸法及び形状とほぼ同じ寸法及び形状を有する空間(以下、キャビティともいう)が複数画成されるような構造になっている。それゆえ、固定金型20及び可動金型21の界面にプラスチック部材201を装着して金型を閉めると、プラスチック部材201の表面に形成されている凹部202及びスルーホール203の開口部(凹部及びスルーホールによりプラスチック部材201の表面に画成された開口)は金型により塞がれた状態となる。   The mold 4 ′ in this example has a structure in which a plurality of plastic members 201 are sandwiched and held between the fixed mold 20 and the movable mold 21 as shown in FIGS. 4 and 5. As shown in FIGS. 4 and 5, a plurality of recesses 20 a are formed on the surface of the fixed mold 20 on the movable mold 21 side so as to follow the outer shape of the upper half of the plastic member 201. On the surface of the mold 20, a plurality of recesses 21 a are formed that follow the outer shape of the lower half of the plastic member 201. And the recessed part 20a of the fixed mold 20 and the recessed part 21a of the movable mold 21 are arranged at positions facing each other. That is, when the fixed mold 20 and the movable mold 21 are closed, a plastic is formed at the interface between the movable mold 21 and the fixed mold 20 by the recess 20a of the fixed mold 20 and the recess 21a of the movable mold 21. The structure is such that a plurality of spaces (hereinafter also referred to as cavities) having substantially the same size and shape as the outer dimensions and shape of the member 201 are defined. Therefore, when the plastic member 201 is attached to the interface between the fixed mold 20 and the movable mold 21 and the mold is closed, the recesses 202 formed on the surface of the plastic member 201 and the openings of the through holes 203 (recesses and The opening defined on the surface of the plastic member 201 by the through hole) is closed by the mold.

また、金型4’には、図4に示すように、超臨界二酸化炭素を固定金型20及び可動金型21間に画成される空間と導入するための導入口23と、金型4’から超臨界二酸化炭素が排出される排出口24が形成されている。また、本実施例におけるプレスピストンの初期型開量22は1mmとなるようにした(図5参照)。   Further, as shown in FIG. 4, the mold 4 ′ includes an introduction port 23 for introducing supercritical carbon dioxide into a space defined between the fixed mold 20 and the movable mold 21, and the mold 4. A discharge port 24 through which supercritical carbon dioxide is discharged from is formed. Further, the initial die opening amount 22 of the press piston in this embodiment was set to 1 mm (see FIG. 5).

[表面改質方法]
実施例5におけるプラスチック部材の表面改質方法について図4〜6を用いて説明する。なお、以下では、図4中の各バルブが全て閉じられた状態からこの例の表面改質方法を
説明する。
[Surface modification method]
A method for modifying the surface of a plastic member in Example 5 will be described with reference to FIGS. In the following, the surface modification method of this example will be described from the state in which all the valves in FIG. 4 are closed.

まず、公知の射出成形によりプラスチック部材201を作製し、そのプラスチック部材201に、波長185nmの低圧水銀ランプによりUV光を1分間照射した。これにより、プラスチック部材201の表面を親水化処理し、界面活性剤であるオクタエチレングリコールモノドデシルエーテルとプラスチック部材201との親和性を高めた。次に、図4に示すように、所定の温度(120℃)に温調された金型4’内に複数のプラスチック部材201を装着した。   First, a plastic member 201 was produced by known injection molding, and the plastic member 201 was irradiated with UV light for 1 minute by a low-pressure mercury lamp having a wavelength of 185 nm. Thereby, the surface of the plastic member 201 was hydrophilized, and the affinity between the surfactant, octaethylene glycol monododecyl ether, and the plastic member 201 was increased. Next, as shown in FIG. 4, a plurality of plastic members 201 were mounted in a mold 4 ′ adjusted to a predetermined temperature (120 ° C.).

次に、界面活性剤であるオクタエチレングリコールモノドデシルエーテルを内容積10mlの溶解槽3に仕込んだ。なお、この例では、オクタエチレングリコールモノドデシル   Next, octaethylene glycol monododecyl ether as a surfactant was charged into the dissolution tank 3 having an internal volume of 10 ml. In this example, octaethylene glycol monododecyl

次に、液体二酸化炭素ボンベ1から液体二酸化炭素をシリンジポンプ2に供給して加圧し、圧力計15が15MPaを示すように昇圧して超臨界二酸化炭素を生成した。次いで、手動ニードルバルブ6を開き、逆止弁12を介して溶解槽3に超臨界二酸化炭素を導入し、溶解槽3の内部を15MPaに昇圧するとともに、界面活性剤を超臨界二酸化炭素に溶解させた(図6中のステップS51)。昇圧後、再度ニードルバルブ6を閉鎖した。   Next, liquid carbon dioxide was supplied from the liquid carbon dioxide cylinder 1 to the syringe pump 2 and pressurized, and pressure was increased so that the pressure gauge 15 showed 15 MPa to generate supercritical carbon dioxide. Next, the manual needle valve 6 is opened, supercritical carbon dioxide is introduced into the dissolution tank 3 via the check valve 12, the inside of the dissolution tank 3 is pressurized to 15 MPa, and the surfactant is dissolved in supercritical carbon dioxide. (Step S51 in FIG. 6). After increasing the pressure, the needle valve 6 was closed again.

次に、ニードルバルブ8を開き、シリンジポンプ2からそのポンプ圧と同圧(15MPa)の界面活性剤の溶解していない超臨界二酸化炭素を金型4’のキャビティに導入して、金型4’内部を15MPaに昇圧した。この際、界面活性剤の溶解していない超臨界二酸化炭素は金型4’を介して手動ニードルバルブ9及び10まで充填されており、圧力計16では15MPaが表示された。この例では、図4に示すように、金型4’の排出側に予め1次側の圧力が15MPaになるように調節された保圧弁11を設けて、超臨界二酸化炭素が圧力一定で流動するようにした。次いで、ニードルバルブ8を閉鎖し、金型4’内のキャビティの圧力を15MPaに保持した。このように、金型4’内の圧力を予め15MPaに昇圧することにより、界面活性剤の溶解した超臨界二酸化炭素を金型4’に導入する際に圧力損失なく導入することができる。   Next, the needle valve 8 is opened, and supercritical carbon dioxide in which the surfactant is not dissolved from the syringe pump 2 (15 MPa) is introduced into the cavity of the mold 4 ′. 'The pressure inside was increased to 15 MPa. At this time, the supercritical carbon dioxide in which the surfactant was not dissolved was filled up to the manual needle valves 9 and 10 through the mold 4 ′, and the pressure gauge 16 displayed 15 MPa. In this example, as shown in FIG. 4, a pressure-holding valve 11 that is adjusted in advance so that the pressure on the primary side becomes 15 MPa is provided on the discharge side of the mold 4 ′ so that supercritical carbon dioxide flows at a constant pressure. I tried to do it. Next, the needle valve 8 was closed, and the pressure of the cavity in the mold 4 ′ was maintained at 15 MPa. Thus, by raising the pressure in the mold 4 ′ to 15 MPa in advance, the supercritical carbon dioxide in which the surfactant is dissolved can be introduced without pressure loss when it is introduced into the mold 4 ′.

次に、界面活性剤の溶解した超臨界二酸化炭素を溶解槽3から金型4’に導入して、界面活性剤の溶解した超臨界二酸化炭素をプラスチック部材201に接触させた(図6中のステップS52)。具体的には、次のようにして界面活性剤の溶解した超臨界二酸化炭素を導入した。まず、手動ニードルバルブ6および7を開放し、シリンジポンプ2を圧力制御から流量制御に切り替え、溶解槽3内の界面活性剤の溶解した超臨界二酸化炭素を金型4’に導入した。なお、ポンプの流量の設定は10ml/minとした。さらに、手動ニードルバルブ10を開き、回収槽5に超臨界二酸化炭素を1分間流動させた(排出した)。上記操作により、圧力を一定に保持した状態で金型4’内部および金型4’に流通する流路(配管等)を界面活性剤の溶解した超臨界二酸化炭素で置換した。その後、ニードルバルブ6及び7を閉鎖した。   Next, supercritical carbon dioxide in which the surfactant was dissolved was introduced from the dissolution tank 3 into the mold 4 ′, and the supercritical carbon dioxide in which the surfactant was dissolved was brought into contact with the plastic member 201 (in FIG. 6). Step S52). Specifically, supercritical carbon dioxide in which a surfactant was dissolved was introduced as follows. First, the manual needle valves 6 and 7 were opened, the syringe pump 2 was switched from pressure control to flow control, and supercritical carbon dioxide in which the surfactant in the dissolution tank 3 was dissolved was introduced into the mold 4 '. The pump flow rate was set to 10 ml / min. Further, the manual needle valve 10 was opened, and supercritical carbon dioxide was allowed to flow (discharged) into the recovery tank 5 for 1 minute. By the above operation, the flow path (pipe, etc.) flowing through the mold 4 ′ and the mold 4 ′ with the pressure kept constant was replaced with supercritical carbon dioxide in which the surfactant was dissolved. Thereafter, the needle valves 6 and 7 were closed.

次いで、ニードルバルブ8を開き、シリンジポンプ2から界面活性剤が溶解していない超臨界二酸化炭素を金型4’に流通する流路(配管等)に導入し、流量10ml/minで10秒間流動させ、配管等に充填されている界面活性剤の溶解した超臨界二酸化炭素を所望の位置に輸送した(金型4’内部に押し込んだ)。これにより、金型4’内に装着されたプラスチック部材201の表面付近では、超臨界二酸化炭素中の界面活性剤の溶解濃度を高濃度に分布させることができる。   Next, the needle valve 8 is opened, supercritical carbon dioxide in which the surfactant is not dissolved is introduced from the syringe pump 2 into a flow path (pipe, etc.) flowing through the mold 4 ′, and flows for 10 seconds at a flow rate of 10 ml / min. Then, the supercritical carbon dioxide dissolved in the surfactant filled in the piping or the like was transported to a desired position (pressed into the mold 4 '). As a result, in the vicinity of the surface of the plastic member 201 mounted in the mold 4 ′, the dissolved concentration of the surfactant in the supercritical carbon dioxide can be distributed at a high concentration.

次いで、超臨界二酸化炭素をプラスチック部材201に接触させた状態で、金型4’を閉め、プラスチック部材201の凹部202及びスルーホール203の開口部を塞いで、界面活性剤の溶解した超臨界二酸化炭素を凹部202及びスルーホール203のみに滞留させた(図6中のステップS53)。具体的には、プレスピストンを上昇させてプラスチック部材201をプレスすることにより金型4’を閉め、前記凹部202及びスルーホール203を画成するプラスチック部材201の表面にのみ選択的に、界面活性剤の溶解した超臨界二酸化炭素を接触させた。この際、界面活性剤が超臨界二酸化炭素とともに凹部202及びスルーホール203を画成するプラスチック部材201の表面内部に浸透する。この例では、この状態を10分間保持して、界面活性剤を凹部202及びスルーホール203を画成するプラスチック部材201の表面内部に浸透させた。この方法を用いると、プラスチック部材201の凹部202及びスルーホール203を画成するプラスチック部材201表面にのみ均一に且つ高濃度で界面活性剤を浸透させることができる。   Next, in a state where supercritical carbon dioxide is in contact with the plastic member 201, the mold 4 ′ is closed, and the recess 202 of the plastic member 201 and the opening of the through hole 203 are closed, so that the supercritical dioxide with dissolved surfactant is dissolved. Carbon was retained only in the recess 202 and the through hole 203 (step S53 in FIG. 6). Specifically, the die 4 ′ is closed by raising the press piston and pressing the plastic member 201, and selectively activates only the surface of the plastic member 201 that defines the recess 202 and the through hole 203. Supercritical carbon dioxide in which the agent was dissolved was contacted. At this time, the surfactant permeates into the surface of the plastic member 201 that defines the recess 202 and the through hole 203 together with the supercritical carbon dioxide. In this example, this state was maintained for 10 minutes, and the surfactant was infiltrated into the surface of the plastic member 201 defining the concave portion 202 and the through hole 203. When this method is used, the surfactant can be penetrated uniformly and at a high concentration only on the surface of the plastic member 201 defining the concave portion 202 and the through hole 203 of the plastic member 201.

なお、この例では、界面活性剤の溶解した超臨界二酸化炭素を金型4’内部に導入してから金型4’を閉めてプラスチック部材201の凹部202及びスルーホール203の開口部を塞ぐまでの工程(図6中のステップS52からS53までの工程)を、短い時間(この例では5〜10秒)で行っているので、プラスチック部材201の凹部202及びスルーホール203以外の表面にはほとんど界面活性剤は浸透しない。ただし、界面活性剤の溶解した超臨界二酸化炭素を金型4’内部に導入してから金型4’を閉めるまでの時間を長くすると、超臨界二酸化炭素に溶解した界面活性剤が凹部202及びスルーホール203以外の表面にも高濃度で浸透する恐れがあるので、界面活性剤の溶解した超臨界二酸化炭素を金型4’内部に導入してから金型4’を閉めるまでの工程は、できるだけ短い時間内で行なうことが好ましい。   In this example, the supercritical carbon dioxide in which the surfactant is dissolved is introduced into the mold 4 ′ and then the mold 4 ′ is closed until the recess 202 of the plastic member 201 and the opening of the through hole 203 are closed. 6 (steps S52 to S53 in FIG. 6) is performed in a short time (in this example, 5 to 10 seconds), the surface of the plastic member 201 other than the concave portion 202 and the through-hole 203 is almost free. Surfactants do not penetrate. However, if the time period from the introduction of supercritical carbon dioxide in which the surfactant is dissolved into the mold 4 ′ to the closing of the mold 4 ′ is increased, the surfactant dissolved in the supercritical carbon dioxide is removed from the recess 202 and Since there is a risk of permeating into the surface other than the through hole 203 at a high concentration, the process from the introduction of supercritical carbon dioxide in which the surfactant is dissolved into the mold 4 ′ to the closing of the mold 4 ′ is as follows: It is preferable to carry out within as short a time as possible.

次に、金型4’のヒーターの電源を切り、冷却水を流し、金型4’を40℃まで冷却した。なお、冷却中に金型4’の内圧を低下させると、プラスチック部材201の表面および内部で発泡が起こる恐れがあるので、冷却中は外圧保持することが望ましい。その後、手動ニードルバルブ8を閉じ、同時にバルブ9を開放して、回収槽5に界面活性剤及び二酸化炭素を回収しながら、金型4’を大気開放した。次いで、金型4’からプラスチック部材201を取り出した。   Next, the power source of the heater of the mold 4 'was turned off, the cooling water was poured, and the mold 4' was cooled to 40 ° C. Note that if the internal pressure of the mold 4 ′ is reduced during cooling, foaming may occur on the surface and inside of the plastic member 201. Therefore, it is desirable to maintain the external pressure during cooling. Thereafter, the manual needle valve 8 was closed, and at the same time, the valve 9 was opened, and the mold 4 ′ was opened to the atmosphere while collecting the surfactant and carbon dioxide in the collection tank 5. Next, the plastic member 201 was taken out from the mold 4 '.

次に、高圧二酸化炭素を溶媒として用い、上記方法により凹部202及びスルーホール203の表面にオクタエチレングリコールモノドデシルエーテルが含浸したプラスチック部材201から、該オクタエチレングリコールモノドデシルエーテルを洗浄除去した(図6中のステップS54)。本実施例においては超臨界状態となる温度40℃、圧力15MPaとし、30分洗浄処理を行った。この洗浄処理により、プラスチック部材201の凹部202及びスルーホール203の表面に浸透していたオクタエチレングリコールモノドデシルエーテルが脱離して、プラスチック部材201の凹部202及びスルーホール203の表面に微細な凹凸が形成される。すなわち、この洗浄処理により、プラスチック部材201の凹部202及びスルーホール203の表面においてのみ、選択的に表面の物理的形状を変化させた。このようにして、この例ではプラスチック部材201の表面改質を行い、凹部202及びスルーホール203を画成する表面のみが改質されたプラスチック部材201を得た。   Next, the high pressure carbon dioxide was used as a solvent, and the octaethylene glycol monododecyl ether was washed and removed from the plastic member 201 impregnated with octaethylene glycol monododecyl ether on the surfaces of the recesses 202 and the through holes 203 by the above method (FIG. 6 in step S54). In this example, a supercritical state temperature of 40 ° C. and a pressure of 15 MPa were used, and a cleaning process was performed for 30 minutes. By this cleaning process, the octaethylene glycol monododecyl ether that has penetrated into the surface of the concave portion 202 and the through hole 203 of the plastic member 201 is detached, and fine irregularities are formed on the surface of the concave portion 202 and the through hole 203 of the plastic member 201. It is formed. That is, by this cleaning process, the physical shape of the surface was selectively changed only on the surface of the concave portion 202 and the through hole 203 of the plastic member 201. Thus, in this example, the surface modification of the plastic member 201 was performed, and the plastic member 201 in which only the surface defining the concave portion 202 and the through hole 203 was modified was obtained.

[メッキ膜の形成方法]
次に、上記表面改質方法により作製されたプラスチック部材201に、実施例1と同様にして無電解メッキを施し、プラスチック部材201の表面にメッキ膜を形成した(図6中のステップS55及びS56)。その結果、この例では、プラスチック部材201の凹部202及びスルーホール203を画成する表面上にのみ金属膜が形成された。また、実施例1〜4で形成したメッキ膜と同様に、この例で形成されたメッキ膜にはふくれがなく、テープ剥離試験による密着強度も良好であった。
[Method of forming plating film]
Next, electroless plating was performed on the plastic member 201 produced by the surface modification method in the same manner as in Example 1 to form a plating film on the surface of the plastic member 201 (Steps S55 and S56 in FIG. 6). ). As a result, in this example, the metal film was formed only on the surface defining the recess 202 and the through hole 203 of the plastic member 201. Moreover, like the plating films formed in Examples 1 to 4, the plating film formed in this example had no blistering, and the adhesion strength by the tape peeling test was good.

また、この例で形成したメッキ膜の表面粗さを、触針式表面粗さ測定装置(KLA−Tencor社製)にて測定したところ、算術平均粗さ(Ra)が25.1nmとなり、十点平均粗さ(Rz)が159.3nmとなり、従来のメッキ法(エッチング処理する方法)で形成したメッキ膜(Ra≒数μm〜数十μm)に比べて非常に小さな値となり良好な表面粗さ(良好な平滑性)が得られた。すなわち、この例では、密着性及び平滑性の高い無電解メッキ膜が表面に形成されたプラスチック成形品を得ることができた。   Further, when the surface roughness of the plating film formed in this example was measured with a stylus type surface roughness measuring device (manufactured by KLA-Tencor), the arithmetic average roughness (Ra) was 25.1 nm, The point average roughness (Rz) is 159.3 nm, which is a very small value compared to the plating film (Ra≈several μm to several tens μm) formed by the conventional plating method (etching method), and good surface roughness. (Good smoothness) was obtained. That is, in this example, a plastic molded product having an electroless plating film with high adhesion and smoothness formed on the surface could be obtained.

実施例6では、実施例5と同様に、表面に凹部及びスルーホールを有する熱可塑性樹脂(プラスチック)に対して、凹部及びスルーホールのみを表面改質し且つメッキ膜(金属膜)を形成する方法の例について説明する。ただし、この例では、界面活性剤を含む溶液をプラスチック部材表面に塗布した後、超臨界二酸化炭素(高圧流体)を接触させることにより界面活性剤を超臨界二酸化炭素に溶解し、超臨界二酸化炭素とともに界面活性剤をプラスチック部材の表面内部に浸透させる例について説明する。   In Example 6, as in Example 5, with respect to a thermoplastic resin (plastic) having a recess and a through hole on the surface, only the recess and the through hole are surface-modified and a plating film (metal film) is formed. An example of the method will be described. However, in this example, after applying a solution containing a surfactant to the surface of a plastic member, the surfactant is dissolved in supercritical carbon dioxide by contacting with supercritical carbon dioxide (high pressure fluid). An example in which a surfactant penetrates into the surface of the plastic member will be described.

この例では、熱可塑性樹脂に非晶質ポリオレフィン(ZEONEX)を用い、公知の射出成形により、表面に凹部及びスルーホールを有するプラスチック部材を作製した。この例では、プラスチック部材の表面には幅50μm、深さ50μmの凹パターンおよび直径Φ200μm、高さ1.0mm(アスペクト比1.0/0.2=5.0)のスルーホールを形成した。また、この例では、界面活性剤にはオクタエチレングリコールモノドデシルエーテル(分子量:539)を用いた。   In this example, an amorphous polyolefin (ZEONEX) was used as a thermoplastic resin, and a plastic member having a recess and a through hole on the surface was produced by a known injection molding. In this example, a concave pattern having a width of 50 μm and a depth of 50 μm and a through hole having a diameter of Φ200 μm and a height of 1.0 mm (aspect ratio 1.0 / 0.2 = 5.0) were formed on the surface of the plastic member. In this example, octaethylene glycol monododecyl ether (molecular weight: 539) was used as the surfactant.

[改質装置]
本実施例でプラスチック部材の表面改質を行うために用いた改質装置の概略構成を図7
に示した。この例の改質装置300は、図7に示すように、主に、液体二酸化炭素ボンベ
1と、超臨界二酸化炭素を生成する高圧ポンプ33と、プラスチック部材301を収容す
る金型4’と、金型4’等から排出されるガスを回収する回収槽5と、それらの構成要素
を繋ぐ配管13とで構成されている。また、配管13には、図7に示すように、改質装置
300内の高圧流体の流動を制御するための手動ニードルバルブ8〜10、保圧弁11及
び逆止弁12が所定の位置に設けられている。
[Reformer]
FIG. 7 shows a schematic configuration of the reforming apparatus used for modifying the surface of the plastic member in this embodiment.
It was shown to. As shown in FIG. 7, the reformer 300 of this example mainly includes a liquid carbon dioxide cylinder 1, a high-pressure pump 33 that generates supercritical carbon dioxide, a mold 4 ′ that houses a plastic member 301, It is comprised by the collection tank 5 which collect | recovers the gas discharged | emitted from metal mold | die 4 'etc., and the piping 13 which connects those components. Further, as shown in FIG. 7, manual needle valves 8 to 10, a pressure holding valve 11, and a check valve 12 for controlling the flow of the high-pressure fluid in the reformer 300 are provided in the pipe 13 at predetermined positions. It has been.

図7から明らかなように、この例で用いた改質装置300では、実施例5で用いた改質
装置200(図4参照)のシリンジポンプ2の代わりに高圧ポンプ33を用いた。また、
この例で用いた改質装置300では、実施例5の改質装置200の溶解槽3を設けない構
成とした。なお、この例の改質装置300で用いた金型4’は実施例5と同様の構造であ
り、プレスピストンの初期型開量22は1mmとなるようにした(後述する図8参照)。
As is clear from FIG. 7, in the reformer 300 used in this example, a high-pressure pump 33 was used instead of the syringe pump 2 of the reformer 200 (see FIG. 4) used in the fifth embodiment. Also,
In the reformer 300 used in this example, the dissolution tank 3 of the reformer 200 of Example 5 is not provided. The mold 4 ′ used in the reformer 300 of this example has the same structure as that of Example 5, and the initial die opening amount 22 of the press piston was set to 1 mm (see FIG. 8 described later).

[表面改質方法]
本実施例におけるプラスチック部材の表面改質方法について、図7〜11を用いて説明
する。なお、以下では、図7中の各バルブが全て閉じられた状態からこの例の表面改質方
法を説明する。
[Surface modification method]
A method for modifying the surface of the plastic member in the present embodiment will be described with reference to FIGS. In the following, the surface modification method of this example will be described from the state in which all the valves in FIG. 7 are closed.

まず、プラスチック部材301に、波長185nmの低圧水銀ランプによりUV光を1分間照射した。これにより、プラスチック部材301の表面を親水化処理し、界面活性剤であるオクタエチレングリコールモノドデシルエーテルとプラスチック部材301の親和性を高めた。次いで、オクタエチレングリコールモノドデシルエーテルを60℃に加熱して溶液の状態にし、その溶液(図8中の304)をプラスチック部材301(プラスチック)の表面に塗布した(図11中のステップS61)。なお、本実施例で用いたオクタエチレングリコールモノドデシルエーテルは室温で半固体状物質であり、高温下で液状物質となる。   First, the plastic member 301 was irradiated with UV light for 1 minute by a low-pressure mercury lamp having a wavelength of 185 nm. As a result, the surface of the plastic member 301 was hydrophilized, and the affinity between octaethylene glycol monododecyl ether, which is a surfactant, and the plastic member 301 was increased. Next, octaethylene glycol monododecyl ether was heated to 60 ° C. to form a solution, and the solution (304 in FIG. 8) was applied to the surface of the plastic member 301 (plastic) (step S61 in FIG. 11). Note that octaethylene glycol monododecyl ether used in this example is a semi-solid substance at room temperature and a liquid substance at high temperature.

次いで、図7及び8に示すように、表面に界面活性剤の溶液304が塗布されたプラスチック部材301を所定の温度(120℃)に温調された金型4’内に装着した。次いで、液体二酸化炭素ボンベ1から液体二酸化炭素を高圧ポンプ33に供給して加圧し、圧力計15が15MPaを示すように昇圧して超臨界二酸化炭素を生成した。次いで、手動ニードルバルブ8及び10を開放することにより、逆支弁12を介して金型4’および配管内に15MPaの超臨界二酸化炭素を導入して、超臨界二酸化炭素をプラスチック部材301に接触させた(図11中のステップS62)。ここで、金型4’の排出側には、本実施例のように予め1次側の圧力を15MPaに調節した保圧弁11を設けておき、圧力一定で超臨界二酸化炭素を流動させることが望ましい。   Next, as shown in FIGS. 7 and 8, the plastic member 301 having the surface coated with the surfactant solution 304 was mounted in a mold 4 ′ adjusted to a predetermined temperature (120 ° C.). Next, liquid carbon dioxide was supplied from the liquid carbon dioxide cylinder 1 to the high pressure pump 33 and pressurized, and the pressure was increased so that the pressure gauge 15 showed 15 MPa to generate supercritical carbon dioxide. Next, by opening the manual needle valves 8 and 10, 15 MPa of supercritical carbon dioxide is introduced into the mold 4 ′ and the piping through the reverse support valve 12, and the supercritical carbon dioxide is brought into contact with the plastic member 301. (Step S62 in FIG. 11). Here, on the discharge side of the mold 4 ′, a pressure holding valve 11 in which the pressure on the primary side is adjusted to 15 MPa in advance is provided as in the present embodiment, so that supercritical carbon dioxide flows at a constant pressure. desirable.

次に、プラスチック部材301の表面に超臨界二酸化炭素を接触させた状態で、金型4’を閉め、プラスチック部材301の凹部302及びスルーホール303の開口部を塞いで、超臨界二酸化炭素を凹部302及びスルーホール303のみに滞留させた(図9の状態、図11中のステップS63)。この例では、この状態10分間保持した。   Next, in a state where the surface of the plastic member 301 is in contact with the supercritical carbon dioxide, the mold 4 ′ is closed, the recess 302 of the plastic member 301 and the opening of the through hole 303 are closed, and the supercritical carbon dioxide is recessed. It was made to stay only in 302 and the through hole 303 (state of FIG. 9, step S63 in FIG. 11). In this example, this state was maintained for 10 minutes.

この際、プラスチック部材301の凹部302及びスルーホール303のみに超臨界二酸化炭素を滞留させることで、超臨界二酸化炭素が、プラスチック部材301表面に塗布された溶液304を介して、凹部302及びスルーホール302を画成するプラスチック部材301の表面に接触する。それにより、熱可塑性樹脂であるプラスチック部材301の表面が膨潤し、その粘性が低下し軟化する。同時に、プラスチック部材301の表面に塗布された液状の界面活性剤304(オクタエチレングリコールモノドデシルエーテル)が超臨界二酸化炭素に溶解して、超臨界二酸化炭素とともに凹部302及びスルーホール303を画成するプラスチック部材301の表面内部に浸透する。この方法を用いると、プラスチック部材301の凹部302及びスルーホール303を画成するプラスチック部材301の表面にのみ均一に且つ高濃度で界面活性剤を浸透させることができる。   At this time, supercritical carbon dioxide is allowed to stay only in the recess 302 and the through hole 303 of the plastic member 301, so that the supercritical carbon dioxide passes through the solution 304 applied to the surface of the plastic member 301. Contact the surface of the plastic member 301 defining 302. Thereby, the surface of the plastic member 301 which is a thermoplastic resin swells, the viscosity falls, and it softens. At the same time, the liquid surfactant 304 (octaethylene glycol monododecyl ether) applied to the surface of the plastic member 301 is dissolved in the supercritical carbon dioxide to define the recess 302 and the through hole 303 together with the supercritical carbon dioxide. It penetrates inside the surface of the plastic member 301. When this method is used, the surfactant can be penetrated uniformly and at a high concentration only on the surface of the plastic member 301 that defines the concave portion 302 and the through hole 303 of the plastic member 301.

なお、この例では、超臨界二酸化炭素を金型4’内部に導入してから金型4’を閉めてプラスチック部材301の凹部302及びスルーホール303の開口部を塞ぐまでの工程(図11中のステップS62からS63までの工程)を、短い時間(この例では5〜10秒)で行っているので、プラスチック部材301の凹部302及びスルーホール303以外の表面にはほとんど界面活性剤は浸透しない。ただし、超臨界二酸化炭素を金型4’内部に導入してから金型4’を閉めるまでの時間を長くすると、超臨界二酸化炭素に溶解した界面活性剤が凹部302及びスルーホール303以外の表面にも高濃度で浸透する恐れがあるので、超臨界二酸化炭素を金型4’内部に導入してから金型4’を閉めるまでの工程は、できるだけ短い時間内で行なうことが好ましい。   In this example, the process from the introduction of supercritical carbon dioxide into the mold 4 ′ to the closing of the mold 4 ′ to block the recess 302 of the plastic member 301 and the opening of the through hole 303 (in FIG. 11). Steps S62 to S63) are performed in a short time (5 to 10 seconds in this example), so that the surfactant hardly permeates the surface other than the concave portion 302 and the through hole 303 of the plastic member 301. . However, if the time from introduction of supercritical carbon dioxide into the mold 4 ′ to closing of the mold 4 ′ is increased, the surfactant dissolved in the supercritical carbon dioxide is removed from the surface other than the recess 302 and the through hole 303. However, it is preferable that the process from the introduction of supercritical carbon dioxide into the mold 4 ′ to the closing of the mold 4 ′ is performed within as short a time as possible.

次に、金型4’のヒーターの電源を切り、冷却水を流し、金型4’を40℃まで冷却した。なお、冷却中に金型4’の内圧が低下すると、プラスチック部材301の表面および内部発泡を招く恐れがある。それゆえ、冷却中は外圧保持することが望ましい。その後、手動ニードルバルブ8を閉じ、同時にバルブ9を開放して、回収槽5に界面活性剤及び二酸化炭素を回収しながら、金型4’を大気開放した(図10の状態)。その後、界面活性剤305が表面に浸透したプラスチック部材301を金型4’から取り出した。   Next, the power source of the heater of the mold 4 'was turned off, the cooling water was poured, and the mold 4' was cooled to 40 ° C. Note that if the internal pressure of the mold 4 ′ decreases during cooling, the surface of the plastic member 301 and internal foaming may be caused. Therefore, it is desirable to maintain the external pressure during cooling. Thereafter, the manual needle valve 8 was closed, and at the same time, the valve 9 was opened, and the mold 4 ′ was opened to the atmosphere while collecting the surfactant and carbon dioxide in the collection tank 5 (state of FIG. 10). Thereafter, the plastic member 301 in which the surfactant 305 penetrated the surface was taken out from the mold 4 '.

次に、高圧二酸化炭素を溶媒として用い、上記方法により凹部202及びスルーホール203の表面にオクタエチレングリコールモノドデシルエーテルが含浸したプラスチック部材201から、該オクタエチレングリコールモノドデシルエーテルを洗浄除去した(図11中のステップS64)。本実施例においては超臨界状態となる温度40℃、圧力15MPaとし、30分洗浄処理を行った。これにより、プラスチック部材301の凹部302及びスルーホール303を画成する表面に浸透していたオクタエチレングリコールモノドデシルエーテルが脱離して、その表面に微細な凹凸(孔)が形成される。すなわち、上記洗浄処理により、プラスチック部材301の凹部302及びスルーホール303を画成する表面のみを、選択的にその物理的形状を変化させた。このようにして、この例ではプラスチック部材301の表面改質を行い、凹部302及びスルーホール303を画成する表面のみが改質されたプラスチック部材301を得た。   Next, the high pressure carbon dioxide was used as a solvent, and the octaethylene glycol monododecyl ether was washed and removed from the plastic member 201 impregnated with octaethylene glycol monododecyl ether on the surfaces of the recesses 202 and the through holes 203 by the above method (FIG. 11 step S64). In this example, a supercritical state temperature of 40 ° C. and a pressure of 15 MPa were used, and a cleaning process was performed for 30 minutes. As a result, the octaethylene glycol monododecyl ether that has permeated the surfaces defining the recesses 302 and the through holes 303 of the plastic member 301 is removed, and fine irregularities (holes) are formed on the surface. That is, the physical shape of only the surface that defines the concave portion 302 and the through hole 303 of the plastic member 301 was selectively changed by the cleaning process. Thus, in this example, the surface modification of the plastic member 301 was performed, and the plastic member 301 in which only the surface defining the recess 302 and the through hole 303 was modified was obtained.

[メッキ膜の形成方法]
次に、上記表面改質方法により作製されたプラスチック部材301に、実施例1と同様にして無電解メッキを施し、プラスチック部材301の表面にメッキ膜を形成した(図11中のステップS65及びS66)。その結果、この例では、プラスチック部材301の凹部302及びスルーホール303を画成する表面上にのみ金属膜が形成された。また、実施例1〜4で形成したメッキ膜と同様に、この例で形成されたメッキ膜にはふくれがなく、テープ剥離試験による密着強度も良好であった。
[Method of forming plating film]
Next, electroless plating was performed on the plastic member 301 produced by the surface modification method in the same manner as in Example 1 to form a plating film on the surface of the plastic member 301 (Steps S65 and S66 in FIG. 11). ). As a result, in this example, the metal film was formed only on the surface defining the recess 302 and the through hole 303 of the plastic member 301. Moreover, like the plating films formed in Examples 1 to 4, the plating film formed in this example had no blistering, and the adhesion strength by the tape peeling test was good.

また、この例で形成したメッキ膜の表面粗さを、触針式表面粗さ測定装置(KLA−Tencor社製)にて測定したところ、算術平均粗さ(Ra)が29.6nmとなり、十点平均粗さ(Rz)が168.8nmとなり、従来のメッキ法(エッチング処理する方法)で形成したメッキ膜(Ra≒数μm〜数十μm)に比べて非常に小さな値となり良好な表面粗さ(良好な平滑性)が得られた。すなわち、この例では、密着性及び平滑性の高い無電解メッキ膜が表面に形成されたプラスチック成形品を得ることができた。   Further, when the surface roughness of the plating film formed in this example was measured with a stylus type surface roughness measuring device (manufactured by KLA-Tencor), the arithmetic average roughness (Ra) was 29.6 nm, The point average roughness (Rz) is 168.8 nm, which is very small compared to the plating film (Ra≈several μm to several tens μm) formed by the conventional plating method (etching method), and good surface roughness. (Good smoothness) was obtained. That is, in this example, a plastic molded product having an electroless plating film with high adhesion and smoothness formed on the surface could be obtained.

実施例7では、プラスチック成形品(プラスチック)を射出成形により成形すると同時に高圧流体を用いて界面活性剤をプラスチック成形品に浸透させた後、プラスチック成形品から界面活性剤を除去して表面改質を行う表面改質方法、及び、その表面改質方法により得られたプラスチック部材の表面にメッキ膜(金属膜)を形成する方法の例について説明する。   In Example 7, a plastic molded product (plastic) was molded by injection molding and at the same time a surfactant was infiltrated into the plastic molded product using a high-pressure fluid, and then the surface active agent was removed from the plastic molded product. An example of a surface modification method for performing the process and a method for forming a plating film (metal film) on the surface of a plastic member obtained by the surface modification method will be described.

なお、この例では、プラスチック成形品の形成材料として、熱可塑性樹脂であるポリフェニレンサルファイドを用い、界面活性剤にはオクタエチレングリコールモノドデシルエーテル(分子量:539)を用いた。また、高圧流体としては超臨界二酸化炭素を用いた。   In this example, polyphenylene sulfide, which is a thermoplastic resin, was used as a material for forming a plastic molded product, and octaethylene glycol monododecyl ether (molecular weight: 539) was used as the surfactant. Supercritical carbon dioxide was used as the high pressure fluid.

[成形装置]
本実施例で用いた成形装置の概略構成を図12に示した。この例で用いた成形装置400は、図12に示すように、射出成形機部401と、超臨界流体発生装置部402とから構成される。
[Molding equipment]
A schematic configuration of the molding apparatus used in this example is shown in FIG. As shown in FIG. 12, the molding apparatus 400 used in this example includes an injection molding machine unit 401 and a supercritical fluid generator unit 402.

射出成形機部401は、図12に示すように、主に、溶融樹脂を射出する可塑性シリンダー40と、可動金型43と、固定金型44とから構成される。金型42内では、可動金型43および固定金型44が突き当たることにより、中心にスプールを有する円盤形状のキャビティ45が形成される。なお、この例では、図12に示すように、可動金型43及び固定金型44のキャビティ45側の表面のうちキャビティ45の中央に対応する部分(スプール等)以外の領域の形状は平面(ミラー面)とした。また、加熱シリンダー40(可塑化シリンダー)内のフローフロント部56の側部には、図12に示すように、ガス導入機構41を設けた。その他の構造は、従来の射出成形機と同様の構造となっている。   As shown in FIG. 12, the injection molding machine unit 401 mainly includes a plastic cylinder 40 that injects molten resin, a movable mold 43, and a fixed mold 44. In the mold 42, the movable mold 43 and the fixed mold 44 are abutted to form a disk-shaped cavity 45 having a spool at the center. In this example, as shown in FIG. 12, the shape of the region other than the portion (spool or the like) corresponding to the center of the cavity 45 on the surface of the movable die 43 and the stationary die 44 on the cavity 45 side is flat ( Mirror surface). Moreover, as shown in FIG. 12, the gas introduction mechanism 41 was provided in the side part of the flow front part 56 in the heating cylinder 40 (plasticization cylinder). Other structures are the same as those of a conventional injection molding machine.

超臨界流体発生装置部402は、図12に示すように、主に、液体二酸化炭素ボンベ1と、公知のシリンジポンプ2台からなる連続フローシステム47(ISCO社製E−260)と、界面活性剤を超臨界二酸化炭素に溶解する溶解槽46とから構成され、各構成要素は配管52により繋がれている。また、溶解槽46は、図に示すように、エアーオペレートバルブ50,51を介して、射出成形機部401のガス導入機構41に繋がれている。   As shown in FIG. 12, the supercritical fluid generator unit 402 is mainly composed of a liquid carbon dioxide cylinder 1 and a continuous flow system 47 (E-260 manufactured by ISCO) consisting of two known syringe pumps. It is comprised from the dissolution tank 46 which melt | dissolves an agent in supercritical carbon dioxide, and each component is connected by the piping 52. Further, as shown in the figure, the dissolution tank 46 is connected to the gas introduction mechanism 41 of the injection molding machine unit 401 through air operated valves 50 and 51.

[射出成形方法及び表面改質方法]
次に、図12〜14を用いて、この例の成形方法及び表面改質方法について説明する。まず、液体二酸化炭素ボンベ1に蓄えられた5〜7MPaの液体二酸化炭素は連続フローシステム47に導入され、昇圧されて超臨界二酸化炭素(高圧流体)が生成される。なお、連続フローシステム47では、二酸化炭素は、シリンジポンプの少なくとも1台により所定圧力である10MPaに常時昇圧および圧力保持される。次いで、連続フローシステム47から溶解槽46に超臨界二酸化炭素を導入して界面活性剤を超臨界二酸化炭素に溶解させた(図14中のステップS71)。溶解槽46は40℃に昇温されており、溶解槽46には界面活性剤であるオクタエチレングリコールモノドデシルエーテルが過飽和になるように仕込まれている。それゆえ、溶解槽46内では界面活性剤が連続フローシステム47より導入された超臨界二酸化炭素に常時、飽和溶解している。このとき、溶解槽46の圧力計48は10MPaに表示されていた。
[Injection molding method and surface modification method]
Next, the shaping | molding method and surface modification method of this example are demonstrated using FIGS. First, liquid carbon dioxide of 5 to 7 MPa stored in the liquid carbon dioxide cylinder 1 is introduced into the continuous flow system 47 and pressurized to generate supercritical carbon dioxide (high pressure fluid). In the continuous flow system 47, carbon dioxide is constantly pressurized and held at a predetermined pressure of 10 MPa by at least one syringe pump. Next, supercritical carbon dioxide was introduced from the continuous flow system 47 into the dissolution tank 46 to dissolve the surfactant in supercritical carbon dioxide (step S71 in FIG. 14). The dissolution tank 46 is heated to 40 ° C., and the dissolution tank 46 is charged with super-saturated octaethylene glycol monododecyl ether as a surfactant. Therefore, in the dissolution tank 46, the surfactant is always saturated and dissolved in the supercritical carbon dioxide introduced from the continuous flow system 47. At this time, the pressure gauge 48 of the dissolution tank 46 was displayed at 10 MPa.

次に、従来と同様にして加熱シリンダー40内のスクリュー53を回転させ、供給された樹脂のペレット54を可塑化溶融して(図14中のステップS72)、スクリュー53の前方59に溶融樹脂を押し出して計量しながらスクリュー53を後退させ、所定の計量位置で停止させた。次いで、さらに、スクリュー53を後退させ、計量した溶融樹脂の内圧を減圧した。この例では、加熱シリンダー40のフローフロント部56付近に設けたれた溶融樹脂の内圧モニター55では、樹脂内圧が4MPa以下に低下することを確認した。   Next, the screw 53 in the heating cylinder 40 is rotated in the same manner as in the prior art, and the supplied resin pellets 54 are plasticized and melted (step S72 in FIG. 14), and the molten resin is applied to the front 59 of the screw 53. The screw 53 was retracted while being pushed out and weighed, and stopped at a predetermined weighing position. Next, the screw 53 was further retracted, and the internal pressure of the measured molten resin was reduced. In this example, the internal pressure monitor 55 of the molten resin provided in the vicinity of the flow front portion 56 of the heating cylinder 40 confirmed that the resin internal pressure decreased to 4 MPa or less.

次に、加熱シリンダー40のフローフロント部56の溶融樹脂に、界面活性剤を溶解した超臨界二酸化炭素をガス導入機構41を介して導入して、界面活性剤を溶解した超臨界二酸化炭素を溶融樹脂に接触させた(図14中のステップS73)。具体的には、次のようにして界面活性剤を溶解した超臨界二酸化炭素を導入した。まず、第一のエアーオペレートバルブ50を開き、第二のエアーオペレートバルブ51と第一のエアーオペレートバルブ50との間の配管52内に界面活性剤の溶解した超臨界二酸化炭素を導入して圧力計49を昇圧させた。次いで、加熱シリンダー40への導入時は、第一のエアーオペレートバルブ50を閉じた状態で第二のエアーオペレートバルブ51を開き、界面活性剤の溶解した超臨界二酸化炭素をガス導入機構41を介して加熱シリンダー40内の減圧状態にある溶融樹脂内部に導入して浸透させた。本実施例では、配管52の内容積で超臨界二酸化炭素の導入量を制御した。なお、溶融樹脂に浸透させる超臨界流体はこの例のように単独でもよいし、複数でもよい。   Next, supercritical carbon dioxide in which the surfactant is dissolved is introduced into the molten resin in the flow front portion 56 of the heating cylinder 40 through the gas introduction mechanism 41 to melt the supercritical carbon dioxide in which the surfactant is dissolved. The resin was brought into contact (step S73 in FIG. 14). Specifically, supercritical carbon dioxide in which a surfactant was dissolved was introduced as follows. First, the first air operated valve 50 is opened, and supercritical carbon dioxide in which a surfactant is dissolved is introduced into the pipe 52 between the second air operated valve 51 and the first air operated valve 50, and the pressure is increased. A total of 49 was boosted. Next, at the time of introduction into the heating cylinder 40, the second air operated valve 51 is opened with the first air operated valve 50 closed, and supercritical carbon dioxide in which the surfactant is dissolved is passed through the gas introduction mechanism 41. Then, it was introduced into the molten resin in a reduced pressure state in the heating cylinder 40 and allowed to penetrate. In this example, the amount of supercritical carbon dioxide introduced was controlled by the internal volume of the pipe 52. The supercritical fluid that permeates the molten resin may be single as in this example, or may be plural.

次に、スクリュー53を背圧力によって前方に前進させ、充填開始位置までスクリュー53を戻した。この動作によりスクリュー53前方のフローフロント部56にて二酸化炭素及び界面活性剤を溶融樹脂内に拡散させた。次いで、エアーピストン57を駆動してシャットオフバルブ58を開き、可動金型43および固定金型44にて画成された金型42のキャビティ45内に溶融樹脂を射出充填した(図14中のステップS74)。   Next, the screw 53 was moved forward by back pressure, and the screw 53 was returned to the filling start position. By this operation, the carbon dioxide and the surfactant were diffused into the molten resin at the flow front portion 56 in front of the screw 53. Next, the air piston 57 is driven to open the shutoff valve 58, and the molten resin is injected and filled into the cavity 45 of the mold 42 defined by the movable mold 43 and the fixed mold 44 (in FIG. 14). Step S74).

射出充填時の金型22内における溶融樹脂の充填の様子を模式的に図13に示した。図13(a)は初期充填時の模式図であり、初期充填時にはフローフロント部56の溶融樹脂56’が充填され、それに浸透している界面活性剤及び二酸化炭素は減圧しながらキャビティ45に拡散する。この際、フローフロント部56の溶融樹脂56’は充填時の噴水効果により、金型表面に接しながら流動しスキン層403を形成する。   FIG. 13 schematically shows how the molten resin is filled in the mold 22 during injection filling. FIG. 13A is a schematic diagram at the time of initial filling. At the time of initial filling, the molten resin 56 ′ of the flow front portion 56 is filled, and the surfactant and carbon dioxide permeating the resin diffuse into the cavity 45 while reducing the pressure. To do. At this time, the molten resin 56 ′ of the flow front portion 56 flows while in contact with the mold surface by the fountain effect at the time of filling to form a skin layer 403.

次いで、射出充填が完了すると、図13(b)に示すように、プラスチック成形品の表面には、界面活性剤が含浸したスキン層403が形成され、成形品の内部中央には、浸透物質がほとんど浸透していないコア層404が形成される。それゆえ、この例の成形方法では、成形品内部に浸透した界面活性剤は表面機能に寄与しないことから、界面活性剤の使用量を削減できる。なお、上述の1次充填後に溶融樹脂圧の保圧を高くした場合には、二酸化炭素のガス化による成形品の発泡を抑制できる。本実施例の成形方法では、可塑化シリンダー内のフローフロント部にのみに超臨界二酸化炭素を浸透させるので、充填樹脂の全体量に対する二酸化炭素の絶対量が少ない。それゆえ、カウンタープレッシャーを金型42のキャビティ45内に付加しなくても、プラスチック成形品の表面性は悪化し難い。この例では、上述のようにして、プラスチック成形品の成形を行うとともに、成形品の表面に界面活性剤を浸透させた。   Next, when the injection filling is completed, as shown in FIG. 13B, a skin layer 403 impregnated with a surfactant is formed on the surface of the plastic molded product, and an osmotic substance is formed in the center of the molded product. A core layer 404 that is substantially impervious is formed. Therefore, in the molding method of this example, the surfactant that has penetrated into the molded product does not contribute to the surface function, so that the amount of surfactant used can be reduced. In addition, when the holding pressure of the molten resin pressure is increased after the above-described primary filling, foaming of a molded product due to gasification of carbon dioxide can be suppressed. In the molding method of the present embodiment, supercritical carbon dioxide is infiltrated only into the flow front portion in the plasticizing cylinder, so that the absolute amount of carbon dioxide is small relative to the total amount of the filled resin. Therefore, even if the counter pressure is not added in the cavity 45 of the mold 42, the surface property of the plastic molded product is hardly deteriorated. In this example, a plastic molded product was molded as described above, and a surfactant was infiltrated into the surface of the molded product.

次に、高圧二酸化炭素を溶媒として用い、プラスチック成形品表面から界面活性剤を除去した。本実施例においては超臨界状態となる温度40℃、圧力15MPaとし、30分洗浄処理を行った。(図14中のステップS75)。この洗浄処理により、プラスチック成形品の表面に微細な凹凸(微細孔)を形成した。すなわち、上記洗浄処理により、プラスチック成形品の表面形状を物理的に変化させた。このようにして、この例では、プラスチック成形品の表面改質を行った。   Next, the surfactant was removed from the surface of the plastic molded article using high-pressure carbon dioxide as a solvent. In this example, a supercritical state temperature of 40 ° C. and a pressure of 15 MPa were used, and a cleaning process was performed for 30 minutes. (Step S75 in FIG. 14). By this cleaning treatment, fine irregularities (micropores) were formed on the surface of the plastic molded product. That is, the surface shape of the plastic molded product was physically changed by the cleaning treatment. Thus, in this example, the surface modification of the plastic molded product was performed.

[メッキ膜の形成方法]
次に、上記表面改質方法により作製されたプラスチック成形品に実施例1と同様にして無電解メッキを施し、プラスチック成形品の表面にメッキ膜を形成した(図14中のステップS76及びS77)。その結果、実施例1〜4で形成したメッキ膜と同様に、この例で形成されたメッキ膜にはふくれがなく、テープ剥離試験による密着強度も良好であった。
[Method of forming plating film]
Next, electroless plating was applied to the plastic molded product produced by the surface modification method in the same manner as in Example 1 to form a plating film on the surface of the plastic molded product (Steps S76 and S77 in FIG. 14). . As a result, like the plating films formed in Examples 1 to 4, the plating film formed in this example had no blistering, and the adhesion strength by the tape peeling test was good.

また、この例で形成したメッキ膜の表面粗さを、触針式表面粗さ測定装置(KLA−Tencor社製)にて測定したところ、算術平均粗さ(Ra)が15.2nmとなり、十点平均粗さ(Rz)が105.8nmとなり、従来のメッキ法(エッチング処理する方法)で形成したメッキ膜(Ra≒数μm〜数十μm)に比べて非常に小さな値となり良好な表面粗さ(良好な平滑性)が得られた。すなわち、この例では、密着性及び平滑性の優れた無電解メッキ膜が表面に形成されたプラスチック成形品を得ることができた。   Further, when the surface roughness of the plated film formed in this example was measured with a stylus type surface roughness measuring device (manufactured by KLA-Tencor), the arithmetic average roughness (Ra) was 15.2 nm, The point average roughness (Rz) is 105.8 nm, which is very small compared to the plating film (Ra≈several to several tens of μm) formed by the conventional plating method (etching method), and has a good surface roughness. (Good smoothness) was obtained. That is, in this example, a plastic molded product having an electroless plating film excellent in adhesion and smoothness formed on the surface could be obtained.

実施例8では、実施例7と同様に、プラスチック成形品(プラスチック)を射出成形により成形すると同時に高圧流体を用いて界面活性剤をプラスチック成形品に浸透させた後、プラスチック成形品から界面活性剤を除去して表面改質を行う表面改質方法、及び、その表面改質方法により得られたプラスチック成形品の表面にメッキ膜(金属膜)を形成する方法の例について説明する。ただし、この例では、表面に凹凸を有するプラスチック成形品を成形し、プラスチック成形品の凹部のみを表面改質し、凹部上にメッキ膜を形成する方法について説明する。   In Example 8, as in Example 7, a plastic molded product (plastic) was molded by injection molding, and at the same time, a surfactant was infiltrated into the plastic molded product using a high-pressure fluid, and then the surfactant from the plastic molded product was used. An example of a surface modification method for removing the surface to modify the surface and a method for forming a plating film (metal film) on the surface of a plastic molded product obtained by the surface modification method will be described. However, in this example, a method will be described in which a plastic molded product having irregularities on the surface is molded, only the concave portions of the plastic molded product are surface-modified, and a plating film is formed on the concave portions.

なお、この例では、プラスチック成形品の形成材料として、熱可塑性樹脂であるポリフェニレンサルファイドを用い、界面活性剤にはオクタエチレングリコールモノドデシルエーテル(分子量:539)を用いた。また、高圧流体としては超臨界二酸化炭素を用いた。   In this example, polyphenylene sulfide, which is a thermoplastic resin, was used as a material for forming a plastic molded product, and octaethylene glycol monododecyl ether (molecular weight: 539) was used as the surfactant. Supercritical carbon dioxide was used as the high pressure fluid.

[成形装置]
この例で用いた成形装置には、実施例7で用いた成形装置(図12)とほぼ同じ構成の装置を用いた。この例の成形装置では、固定金型44のキャビティ45側表面に、ラインアンドスペースの凹凸パターンを有するスタンパを取り付けた。それ以外は、実施例7で用いた成形装置と同じ構造とした。
[Molding equipment]
As the molding apparatus used in this example, an apparatus having substantially the same configuration as the molding apparatus used in Example 7 (FIG. 12) was used. In the molding apparatus of this example, a stamper having a line-and-space concavo-convex pattern was attached to the surface of the fixed mold 44 on the cavity 45 side. Other than that, the structure was the same as that of the molding apparatus used in Example 7.

[射出成形方法及び表面改質方法]
まず、実施例7と同様にして、界面活性剤が表面に含浸したプラスチック成形品を作製した。次いで、プラスチック成形品の凹部の開口部を塞いで、80℃に加熱した純水を凹部のみに1時間流動させて、凹部を画成する表面に浸透した界面活性剤のみを除去した。この洗浄処理により、プラスチック成形品の凹部を画成する表面に浸透していたオクタエチレングリコールモノドデシルエーテルのみが脱離して、その表面に微細な凹凸(微細孔)が形成された。すなわち、上記洗浄処理により、プラスチック成形品の凹部を画成する表面のみを、選択的にその物理的形状を変化させた。このようにして、この例の表面改質されたプラスチック成形品を得た。
[Injection molding method and surface modification method]
First, in the same manner as in Example 7, a plastic molded article having a surface impregnated with a surfactant was produced. Next, the opening of the concave portion of the plastic molded article was closed, and pure water heated to 80 ° C. was allowed to flow through the concave portion for 1 hour to remove only the surfactant that had permeated the surface defining the concave portion. By this cleaning treatment, only octaethylene glycol monododecyl ether that had permeated the surface defining the concave portion of the plastic molded article was detached, and fine irregularities (micropores) were formed on the surface. That is, the physical shape of only the surface that defines the concave portion of the plastic molded product was selectively changed by the cleaning treatment. Thus, the surface-modified plastic molded product of this example was obtained.

なお、上記凹部の洗浄処理方法には種々の方法が考えられるが、この例では、次のようにして、凹部の洗浄処理を行った。まず、ラインアンドスペースの凹凸パターンを有するスタンパを取り付けた金型面とミラー状の金型面の2面を有する金型を用意した。なお、この金型では、キャビティ内部で、成形品が凹凸パターンを有するスタンパを取り付けた金型面とミラー状の金型面との間を移動可能となるような構造の金型を用いた。次いで、ラインアンドスペースの凹凸パターンを有するスタンパを取り付けた金型面を使用して表面に凹部を有し且つ界面活性剤が浸透したプラスチック成形品を成形した(一次成形)。次いで、プラスチック成形品の凹部がミラー状の金型面と対向するようにプラスチック成形品を移動させた。次いで、ミラー状の金型面でプラスチック成形品をプレスして、プラスチック成形品の凹部の開口部を塞いだ。次いで、塞がれた凹部のみに高圧二酸化炭素を流動させて凹部を画成する表面に浸透した界面活性剤のみを除去した。本実施例においては超臨界状態となる温度40℃、圧力15MPaとし、30分洗浄処理を行った。ただし、プラスチック成形品の凹部の開口部を塞ぐ方法はこれに限定されず、例えば、次のような方法により開口部を塞いでも良い。まず、凹凸パターンを有するスタンパを取り付ける金型面及びミラー状の金型面の2面を可動金型に設け、凹凸パターンを有するスタンパを取り付けた金型面を使用して表面に凹部を有し且つ界面活性剤が浸透したプラスチック成形品を成形する。次いで、可動金型のミラー状の金型面をプラスチック成形品表面と対向する位置に移動させてミラー状の金型面でプラスチック成形品をプレスし、プラスチック成形品の凹部の開口部を塞いでも良い。また、凹凸パターンを有するスタンパが取り付けられた金型面を有する第1金型と、ミラー状の金型面を有する第2金型を別個用意し、第1金型を使用して表面に凹部を有し且つ界面活性剤が浸透したプラスチック成形品を成形した後、成形品を第2金型に移して、ミラー状の金型面でプラスチック成形品の凹部の開口部を塞いでも良い。   Various methods can be considered as the method for cleaning the concave portion. In this example, the concave portion was cleaned as follows. First, a mold having two surfaces, that is, a mold surface to which a stamper having a line-and-space concavo-convex pattern was attached and a mirror-shaped mold surface was prepared. In addition, in this metal mold | die, the metal mold | die of the structure which can move between the metal mold | die surface which attached the stamper which has an uneven | corrugated pattern, and a mirror-shaped metal mold | die inside a cavity was used. Next, a plastic molded article having a concave portion on the surface and infiltrated with a surfactant was molded using a mold surface to which a stamper having a line-and-space uneven pattern was attached (primary molding). Next, the plastic molded product was moved so that the concave portion of the plastic molded product was opposed to the mirror-shaped mold surface. Next, the plastic molded product was pressed with a mirror-shaped mold surface to close the opening of the concave portion of the plastic molded product. Next, only the surfactant that had permeated the surface defining the recess was removed by allowing high-pressure carbon dioxide to flow only in the closed recess. In this example, a supercritical state temperature of 40 ° C. and a pressure of 15 MPa were used, and a cleaning process was performed for 30 minutes. However, the method of closing the opening of the concave portion of the plastic molded product is not limited to this, and for example, the opening may be closed by the following method. First, two surfaces, a mold surface to which a stamper having a concavo-convex pattern is attached and a mirror-shaped mold surface are provided on a movable mold, and a concave surface is provided on the surface using a mold surface to which a stamper having a concavo-convex pattern is attached. In addition, a plastic molded article into which the surfactant has penetrated is molded. Next, even if the mirror-shaped mold surface of the movable mold is moved to a position facing the surface of the plastic molded product and the plastic molded product is pressed with the mirror-shaped mold surface, the opening of the concave portion of the plastic molded product is blocked. good. In addition, a first mold having a mold surface to which a stamper having a concavo-convex pattern is attached and a second mold having a mirror-shaped mold surface are prepared separately, and a recess is formed on the surface using the first mold. After molding a plastic molded product having a surfactant and penetrating the surfactant, the molded product may be transferred to a second mold, and the opening of the concave portion of the plastic molded product may be closed with a mirror-shaped mold surface.

[メッキ膜の形成方法]
次に、上記表面改質方法により作製されたプラスチック成形品に実施例1と同様にして無電解メッキを施し、プラスチック成形品の表面にメッキ膜を形成した。この例では、プラスチック成形品の凹部を画成する表面のみが表面改質され微細な凹凸が形成されているので、この例では、プラスチック成形品の凹部を画成する表面上のみにメッキ膜が形成された。また、実施例1〜4で形成したメッキ膜と同様に、この例で形成されたメッキ膜にはふくれがなく、テープ剥離試験による密着強度も良好であった。
[Method of forming plating film]
Next, electroless plating was applied to the plastic molded product produced by the surface modification method in the same manner as in Example 1 to form a plating film on the surface of the plastic molded product. In this example, only the surface defining the concave portion of the plastic molded product is surface-modified to form fine irregularities. Therefore, in this example, the plating film is formed only on the surface defining the concave portion of the plastic molded product. Been formed. Moreover, like the plating films formed in Examples 1 to 4, the plating film formed in this example had no blistering, and the adhesion strength by the tape peeling test was good.

また、この例で形成したメッキ膜の表面粗さを、触針式表面粗さ測定装置(KLA−Tencor社製)にて測定したところ、算術平均粗さ(Ra)が15.8nmとなり、十点平均粗さ(Rz)が120.8nmとなり、従来のメッキ法(エッチング処理する方法)でプラスチック基材上に形成したメッキ膜(Ra≒数μm〜数十μm)に比べて非常に小さな値となり良好な表面粗さ(良好な平滑性)が得られた。すなわち、この例では、密着性及び平滑性の優れた無電解メッキ膜が表面に形成されたプラスチック成形品を得ることができた。   Further, when the surface roughness of the plating film formed in this example was measured with a stylus type surface roughness measuring device (manufactured by KLA-Tencor), the arithmetic average roughness (Ra) was 15.8 nm, The point average roughness (Rz) is 120.8 nm, which is a very small value compared to the plating film (Ra≈several μm to several tens μm) formed on the plastic substrate by the conventional plating method (etching method). Thus, a good surface roughness (good smoothness) was obtained. That is, in this example, a plastic molded product having an electroless plating film excellent in adhesion and smoothness formed on the surface could be obtained.

実施例9では、実施例7と同様に、プラスチック成形品(プラスチック)を射出成形により成形すると同時に高圧流体を用いて界面活性剤をプラスチック成形品に浸透させた後、プラスチック成形品から界面活性剤を除去して表面改質を行う表面改質方法、及び、その表面改質方法により得られたプラスチック成形品の表面にメッキ膜(金属膜)を形成する方法の例について説明する。ただし、この例では、異なる2種類の浸透物質を高圧流体に溶解させて、2種類の浸透物質をプラスチック成形品の表面に浸透させた。2つの浸透物質には、界面活性剤であるオクタエチレングリコールモノドデシルエーテル(分子量:539)と、金属錯体であるヘキサフルオロアセチルアセトナトパラジウム(II)とを用いた。また、プラスチック成形品の形成材料として、熱可塑性樹脂であるポリフェニレンサルファイドを用い、高圧流体としては超臨界二酸化炭素を用いた。   In Example 9, as in Example 7, a plastic molded product (plastic) was molded by injection molding, and at the same time, a surfactant was infiltrated into the plastic molded product using a high-pressure fluid, and then the surfactant from the plastic molded product was used. An example of a surface modification method for removing the surface to modify the surface and a method for forming a plating film (metal film) on the surface of a plastic molded product obtained by the surface modification method will be described. However, in this example, two different kinds of penetrating substances were dissolved in a high-pressure fluid, and the two kinds of penetrating substances were permeated into the surface of the plastic molded product. As the two osmotic substances, octaethylene glycol monododecyl ether (molecular weight: 539) as a surfactant and hexafluoroacetylacetonato palladium (II) as a metal complex were used. In addition, polyphenylene sulfide, which is a thermoplastic resin, was used as a material for forming a plastic molded product, and supercritical carbon dioxide was used as a high-pressure fluid.

[成形装置]
本実施例で用いた成形装置には、実施例7で用いた成形装置(図12)とほぼ同じ構成の装置を用いた。この例の成形装置では、溶解槽46に上述した2種類の浸透物質(界面活性剤及び金属錯体)をともに過飽和になるように仕込んだ。それ以外の構成は実施例7と同様である。
[Molding equipment]
As the molding apparatus used in this example, an apparatus having substantially the same configuration as that of the molding apparatus used in Example 7 (FIG. 12) was used. In the molding apparatus of this example, the two kinds of penetrating substances (surfactant and metal complex) described above were charged into the dissolution tank 46 so as to be supersaturated. Other configurations are the same as those in the seventh embodiment.

[射出成形方法及び表面改質方法]
次に、図15を用いて、この例の成形方法及び表面改質方法について説明する。まず、実施例7と同様にして、2種類の浸透物質(界面活性剤及び金属錯体)が溶解した超臨界二酸化炭素を加熱シリンダー内の溶融樹脂に導入して、2種類の浸透物質が表面に含浸したプラスチック成形品を作製した(図15中のステップS91〜S94)。なお、この成形過程では溶融樹脂の熱により、浸透した金属錯体の多くが金属微粒子に還元される。次いで、高圧二酸化炭素を溶媒として用い、プラスチック成形品表面から界面活性剤を除去した(図15中のステップS95)。本実施例においては超臨界状態となる温度40℃、圧力15MPaとし、30分洗浄処理を行った。この洗浄処理では、プラスチック成形品に浸透している浸透物質のうち、界面活性剤がプラスチック成形品の表面から脱離して、その表面に微細な凹凸(微細孔)が形成される。もう一方の浸透した金属微粒子は、この洗浄処理によりほとんど除去されることはなく、プラスチック成形品の表面内部に浸透した状態を保っていた。この例では、このようにしてプラスチック成形品の表面改質を行った。
[Injection molding method and surface modification method]
Next, the molding method and surface modification method of this example will be described with reference to FIG. First, in the same manner as in Example 7, supercritical carbon dioxide in which two kinds of penetrating substances (surfactant and metal complex) were dissolved was introduced into the molten resin in the heating cylinder, and the two kinds of penetrating substances were brought to the surface. An impregnated plastic molded product was produced (steps S91 to S94 in FIG. 15). In this molding process, most of the penetrated metal complex is reduced to metal fine particles by the heat of the molten resin. Next, the high-pressure carbon dioxide was used as a solvent to remove the surfactant from the surface of the plastic molded product (step S95 in FIG. 15). In this example, a supercritical state temperature of 40 ° C. and a pressure of 15 MPa were used, and a cleaning process was performed for 30 minutes. In this cleaning treatment, among the penetrating substances penetrating the plastic molded product, the surfactant is detached from the surface of the plastic molded product, and fine irregularities (micropores) are formed on the surface. The other permeated metal fine particles were hardly removed by this cleaning treatment, and kept penetrating into the surface of the plastic molded product. In this example, the surface modification of the plastic molded product was performed in this way.

[メッキ膜の形成方法]
次に、上記表面改質方法により作製されたプラスチック成形品に無電解メッキを施し、プラスチック成形品の表面にメッキ膜を形成した(図15中のステップS96及びS97)。具体的には、メッキ液には奥野製薬工業(株)製ICPニコロンDKを用い、無電解ニッケル−リンメッキを施した。その結果、この例で形成されたメッキ膜にはふくれがなく、テープ剥離試験による密着強度も良好であった。なお、この例では、プラスチック成形品の表面には微細な凹凸が形成されているだけでなく、メッキ膜の触媒核となる金属微粒子も含浸しているので、微細な凹凸によるアンカー効果とメッキ触媒核の存在により、密着性の一層優れたメッキ膜形成することができた。
[Method of forming plating film]
Next, electroless plating was performed on the plastic molded product produced by the above surface modification method to form a plating film on the surface of the plastic molded product (steps S96 and S97 in FIG. 15). Specifically, electroless nickel-phosphorus plating was performed on the plating solution using ICP Nicolon DK manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd. As a result, the plating film formed in this example had no blistering, and the adhesion strength by the tape peeling test was good. In this example, not only fine irregularities are formed on the surface of the plastic molded product, but also metal fine particles that become the catalyst core of the plating film are impregnated. Due to the presence of the nucleus, it was possible to form a plating film with further excellent adhesion.

また、この例で形成したメッキ膜の表面粗さを、触針式表面粗さ測定装置(KLA−Tencor社製)にて測定したところ、算術平均粗さ(Ra)が18.8nmとなり、十点平均粗さ(Rz)が129.0nmとなり、従来のメッキ法(エッチング処理する方法)で形成したメッキ膜(Ra≒数μm〜数十μm)に比べて非常に小さな値となり良好な表面粗さ(良好な平滑性)が得られた。すなわち、この例では、密着性及び平滑性の優れた無電解メッキ膜が表面に形成されたプラスチック成形品を得ることができた。   Further, when the surface roughness of the plating film formed in this example was measured with a stylus type surface roughness measuring device (manufactured by KLA-Tencor), the arithmetic average roughness (Ra) was 18.8 nm, The point average roughness (Rz) is 129.0 nm, which is an extremely small value compared to the plating film (Ra≈several to several tens of μm) formed by the conventional plating method (etching method), and good surface roughness. (Good smoothness) was obtained. That is, in this example, a plastic molded product having an electroless plating film excellent in adhesion and smoothness formed on the surface could be obtained.

実施例10では、プラスチック成形品(プラスチック)を射出成形により成形すると同時に高圧流体を用いて界面活性剤および金属錯体をプラスチック成形品の表面に浸透させた後、プラスチック成形品から界面活性剤を除去して表面改質を行う表面改質方法、及び、その表面改質方法により得られたプラスチック部材の表面にメッキ膜(金属膜)を形成する方法の例について説明する。ただし、この例では、外皮を形成する第一の可塑化シリンダー1017と内皮を形成する第二の可塑化シリンダー1018を有するサンドイッチ射出成形装置を用い、少なくとも第一の可塑化シリンダーに上記界面活性剤および金属錯体を高圧流体に溶解させて導入した。 In Example 10, a plastic molded article (plastic) is molded by injection molding, and at the same time, a surfactant and a metal complex are infiltrated into the surface of the plastic molded article using a high-pressure fluid, and then the surfactant is removed from the plastic molded article. An example of a surface modification method for performing surface modification and a method for forming a plating film (metal film) on the surface of a plastic member obtained by the surface modification method will be described. However, in this example, a sandwich injection molding apparatus having a first plasticizing cylinder 1017 for forming an outer skin and a second plasticizing cylinder 1018 for forming an inner skin is used, and at least the first plasticizing cylinder has the above surfactant. And the metal complex was dissolved in a high pressure fluid and introduced.

[射出成形]
本発明におけるサンドイッチ射出成形装置の概念図を図24に示す。本発明の射出成形装置は、外皮を形成する第一の可塑化シリンダー1017と内皮を形成する第二の可塑化シリンダー1018を有し、少なくとも第一の可塑化シリンダーに高圧二酸化炭素およびそれに溶解した機能性材料を導入する機能を有すれば、装置の形態は任意である。
[injection molding]
The conceptual diagram of the sandwich injection molding apparatus in this invention is shown in FIG. The injection molding apparatus of the present invention has a first plasticizing cylinder 1017 that forms an outer skin and a second plasticizing cylinder 1018 that forms an inner skin, and at least the first plasticizing cylinder is dissolved in high-pressure carbon dioxide and the same. As long as it has a function of introducing a functional material, the form of the apparatus is arbitrary.

高圧流体に溶解させる機能性材料の種類は任意であるが、本実施例においては、界面活性剤および金属錯体を用いた。界面活性剤にはオクタエチレングリコールモノドデシルエーテル(分子量:539)、金属錯体にはヘキサフルオロアセチルアセトナトパラジウム(II)を用いた。導入する高圧流体としては超臨界二酸化炭素を用い、温度、圧力条件は任意であるが、本実施例においては超臨界状態となる温度40℃、圧力10MPaとした。   The type of the functional material to be dissolved in the high-pressure fluid is arbitrary, but in this example, a surfactant and a metal complex were used. Octaethylene glycol monododecyl ether (molecular weight: 539) was used as the surfactant, and hexafluoroacetylacetonato palladium (II) was used as the metal complex. Supercritical carbon dioxide was used as the high-pressure fluid to be introduced, and the temperature and pressure conditions were arbitrary. In this example, the temperature was 40 ° C. and the pressure was 10 MPa at which the supercritical state was achieved.

本発明における外皮を形成し機能性材料を高圧二酸化炭素により分散させる樹脂材料の種類は熱可塑性樹脂材料であれば任意であり、非晶性、結晶性いずれでも適用できるが、本実施例においてはポリフェニレンサルファイドを用いた。   The kind of the resin material for forming the outer skin and dispersing the functional material with high-pressure carbon dioxide in the present invention is arbitrary as long as it is a thermoplastic resin material, and can be applied to either amorphous or crystalline. Polyphenylene sulfide was used.

また本発明における内皮を形成する樹脂材料の種類は任意であり、外皮と同様な種類を選択することもできる。また内皮にのみガラス繊維や無機フィラー等を混合した材料を使用することで表面性が良好で、機械的強度や寸法安定性、吸湿性に優れた成形体を得ることができる。本実施例においてはガラス繊維が30%混合したポリフェニレンサルファイドを用いた。   Moreover, the kind of the resin material which forms the endothelium in the present invention is arbitrary, and the same kind as the outer skin can be selected. Further, by using a material in which glass fibers, inorganic fillers and the like are mixed only in the endothelium, it is possible to obtain a molded article having good surface properties and excellent mechanical strength, dimensional stability and hygroscopicity. In this example, polyphenylene sulfide mixed with 30% glass fiber was used.

本発明に用いることのできる射出成形の金型およびキャビティの形態は任意であるが、本実施例においては固定金型1022および可動金型1023より形成されるキャビティ1019は、スプール1029を中心にして、自動車用のヘッドランプリフレクターが2個取り可能な金型とした。固定金型1022は成形機の固定プラテン1024、可動金型1023は可動プラテン1025にそれぞれ固定され、型締め機構1026により駆動する可動プラテン1025の開閉によって金型1029は開閉する。 The form of the injection mold and cavity that can be used in the present invention is arbitrary, but in this embodiment, the cavity 1019 formed by the fixed mold 1022 and the movable mold 1023 is centered on the spool 1029. A mold capable of taking two headlamp reflectors for automobiles was used. The fixed mold 1022 is fixed to the fixed platen 1024 and the movable mold 1023 of the molding machine, and the mold 1029 is opened and closed by opening and closing the movable platen 1025 driven by the mold clamping mechanism 1026.

[射出成形方法及び表面改質方法]
本実施例においては、高圧二酸化炭素への浸透物質の溶解および可塑化シリンダーへの導入は下記方法で行った。まず、液体二酸化炭素ボンベ1より供給された二酸化炭素をシリンジポンプ1027にて所定圧まで昇圧し、過飽和になるように溶解槽1013内に仕込まれた界面活性剤および金属錯体を溶解させた(図32中のステップS121)。この際、導入シリンダー1014まで加圧した。本実施例においては、後述する可塑化計量時における高圧二酸化炭素および機能性材料を可塑化シリンダー1017内に導入するタイミング以外においては、シリンジポンプ1027を溶解槽1013から導入シリンダー1014まで一定圧力に保持する制御とした。
[Injection molding method and surface modification method]
In this example, dissolution of the penetrating substance into high-pressure carbon dioxide and introduction into the plasticizing cylinder were carried out by the following method. First, the carbon dioxide supplied from the liquid carbon dioxide cylinder 1 is pressurized to a predetermined pressure by the syringe pump 1027, and the surfactant and the metal complex charged in the dissolution tank 1013 are dissolved so as to be supersaturated (FIG. 32 in step S121). At this time, pressure was applied to the introduction cylinder 1014. In the present embodiment, the syringe pump 1027 is held at a constant pressure from the dissolution tank 1013 to the introduction cylinder 1014 except for the timing of introducing the high-pressure carbon dioxide and the functional material into the plasticizing cylinder 1017 at the time of plasticization measurement described later. It was set to control.

第一の可塑化シリンダー1017に内蔵された第一のスクリュー1012には2箇所の減圧箇所をベント部1010,1011としてそれぞれ設けた。図25に示す通り、可塑化計量時には第一のスクリュー1012の回転によりスクリュー前方の内圧が上昇しスクリュー1012が後退し始めるが、その際に導入シリンダー1014下部に設けられたベント部1011において溶融樹脂は減圧され、同時にエアー駆動式の導入シリンダー1014内における導入ピストン1042を上昇させ、前記減圧樹脂内部に浸透させた(図32中のステップS122〜S123)。機能性材料の溶解した高圧二酸化炭素の樹脂内部への浸透時間中は、シリンジポンプ1027を流量制御に切り替え一定流量の高圧二酸化炭素を一定時間、可塑化シリンダー1017内に注入した。   The first screw 1012 incorporated in the first plasticizing cylinder 1017 was provided with two decompression points as vent portions 1010 and 1011, respectively. As shown in FIG. 25, at the time of plasticization measurement, the rotation of the first screw 1012 increases the internal pressure in front of the screw and the screw 1012 starts to retract. At that time, the molten resin is melted at the vent portion 1011 provided at the lower portion of the introduction cylinder 1014. The pressure was reduced, and at the same time, the introduction piston 1042 in the air-driven introduction cylinder 1014 was raised and penetrated into the reduced pressure resin (steps S122 to S123 in FIG. 32). During the permeation time of the high-pressure carbon dioxide in which the functional material was dissolved into the resin, the syringe pump 1027 was switched to flow control, and a constant flow of high-pressure carbon dioxide was injected into the plasticizing cylinder 1017 for a certain time.

本実施例の成形装置においては、機能性材料を溶解させ溶融樹脂に浸透させた高圧二酸化炭素を射出充填前に排気させる機能を有する。図25に示す通り、可塑化計量時に第一のスクリュー1012第二のベント部1010にて樹脂を減圧し高圧二酸化炭素を超臨界状態の圧力以下に減圧してガス化させた。   The molding apparatus of this example has a function of exhausting high-pressure carbon dioxide dissolved in the functional material and infiltrated into the molten resin before injection filling. As shown in FIG. 25, at the time of plasticization measurement, the resin was decompressed at the first screw 1012 and the second vent portion 1010, and the high-pressure carbon dioxide was decompressed below the supercritical pressure to be gasified.

同時に排出シリンダー1015に内蔵された排気ピストン1041を上昇させ、ガス化した二酸化炭素を一部可塑化シリンダー1017より排気した。二酸化炭素はフィルター1035、バッファー容器1034を通過した後、減圧弁1033で圧力計1032が0.5MPaになるように減圧され、真空ポンプ1031より排気した。   At the same time, the exhaust piston 1041 built in the discharge cylinder 1015 was raised, and part of the gasified carbon dioxide was exhausted from the plasticizing cylinder 1017. After passing through the filter 1035 and the buffer container 1034, the carbon dioxide was depressurized by the pressure reducing valve 1033 so that the pressure gauge 1032 became 0.5 MPa and exhausted from the vacuum pump 1031.

第一のホッパー1036より供給された図示しない樹脂ペレットは、前記した方法で浸透物質(界面活性剤、金属錯体)および高圧二酸化炭素が均一に拡散した状態で可塑化溶融される。第一の可塑化シリンダー1017と第二の可塑化シリンダーの金型への流通はロータリーバルブ1009の回転によって制御される。例えば、第一の可塑化シリンダー1017における可塑化計量時には、加圧された樹脂がノズル1021の先端部より金型1029内へ漏れないように、ロータリーバルブ1009は図25、図26に示すように第二の可塑化シリンダー1018とノズル1021間の樹脂流動路を形成する。   Resin pellets (not shown) supplied from the first hopper 1036 are plasticized and melted in a state where the penetrating substance (surfactant, metal complex) and high-pressure carbon dioxide are uniformly diffused by the above-described method. The flow of the first plasticizing cylinder 1017 and the second plasticizing cylinder to the mold is controlled by the rotation of the rotary valve 1009. For example, when plasticizing and metering in the first plasticizing cylinder 1017, the rotary valve 1009 is configured as shown in FIGS. 25 and 26 so that the pressurized resin does not leak into the mold 1029 from the tip of the nozzle 1021. A resin flow path is formed between the second plasticizing cylinder 1018 and the nozzle 1021.

第一のスクリュー1012で第一の樹脂材料1007の可塑化計量が完了したタイミングで、図26に示す通り導入シリンダー1014および排出シリンダー1015における導入ピストン1042および排出ピストン1041を下降させ、同時にシリンジポンプを圧力制御に切り替え、高圧二酸化炭素の導入および排気を停止した。 At the timing when the plasticization measurement of the first resin material 1007 is completed with the first screw 1012, the introduction piston 1042 and the discharge piston 1041 in the introduction cylinder 1014 and the discharge cylinder 1015 are lowered as shown in FIG. Switched to pressure control, the introduction and exhaust of high-pressure carbon dioxide were stopped.

次に図27に示す通り、第一の可塑化シリンダー1017より可塑化計量された溶融樹脂が第一のスクリュー1012の前進により金型1029内へスプール1020およびキャビティ1019内に射出充填される際には、ロータリーバルブ1009は回転し、第一の可塑化シリンダーとノズル1021の樹脂流動路を形成した。 Next, as shown in FIG. 27, when the molten resin plasticized and metered from the first plasticizing cylinder 1017 is injected and filled into the mold 1029 into the spool 1020 and the cavity 1019 by the advancement of the first screw 1012. The rotary valve 1009 rotated to form a resin flow path between the first plasticizing cylinder and the nozzle 1021.

同時に第二の可塑化シリンダー1018では、図示しない第二のホッパーより供給された、内皮を形成する樹脂ペレットを第二のスクリュー1016の回転により可塑化計量した。図28に示す通り、第一の樹脂が充填完了する直前には、第二の樹脂1008の可塑化計量を完了させた。   At the same time, in the second plasticizing cylinder 1018, the resin pellets forming the endothelium supplied from a second hopper (not shown) were plasticized and measured by the rotation of the second screw 1016. As shown in FIG. 28, the plasticizing measurement of the second resin 1008 was completed immediately before the first resin was completely filled.

第一の可塑化シリンダー1017より、外皮を形成する第一の樹脂材料1007が充填された(図32中のステップS124)直後、ロータリーバルブ1009を回転させ、図29に示す通り第二の可塑化シリンダーより第二の樹脂材料1008を射出充填した(図32中のステップS125)。そして図30に示す通り、外皮は2種類の浸透物質(界面活性剤及び金属錯体)の分散した第一の樹脂材料1007で形成され、内皮は第二の樹脂材料1008で形成されたサンドイッチ成形体1050を射出成形した。なお、この成形過程では溶融樹脂の熱により、浸透した金属錯体の多くが金属微粒子に還元される。冷却固化させた後、金型1029を開き成形体1050を取り出すことにより、2種類の浸透物質が表面に含浸したプラスチック成形品を作製した。次いで、高圧二酸化炭素を溶媒として用い、プラスチック成形品表面から界面活性剤を除去した(図32中のステップS126)。本実施例においては超臨界状態となる温度40℃、圧力15MPaとし、30分洗浄処理を行った。この洗浄処理では、プラスチック成形品に浸透している浸透物質のうち、界面活性剤であるオクタエチレングリコールモノドデシルエーテルがプラスチック成形品の表面から脱離して、その表面に微細な凹凸(微細孔)が形成される。もう一方の浸透した金属微粒子は、この洗浄処理によりほとんど除去されることはなく、プラスチック成形品の表面内部に浸透した状態を保っていた。この例では、このようにしてプラスチック成形品の表面改質を行った。   Immediately after the first resin material 1007 forming the outer skin is filled from the first plasticizing cylinder 1017 (step S124 in FIG. 32), the rotary valve 1009 is rotated to perform the second plasticization as shown in FIG. The second resin material 1008 was injected and filled from the cylinder (step S125 in FIG. 32). As shown in FIG. 30, the outer skin is formed of the first resin material 1007 in which two kinds of penetrating substances (surfactant and metal complex) are dispersed, and the inner skin is the sandwich molded body formed of the second resin material 1008. 1050 was injection molded. In this molding process, most of the penetrated metal complex is reduced to metal fine particles by the heat of the molten resin. After cooling and solidifying, the mold 1029 was opened, and the molded body 1050 was taken out to produce a plastic molded product having two types of penetrating substances impregnated on the surface. Next, the high-pressure carbon dioxide was used as a solvent to remove the surfactant from the surface of the plastic molded product (step S126 in FIG. 32). In this example, a supercritical state temperature of 40 ° C. and a pressure of 15 MPa were used, and a cleaning process was performed for 30 minutes. In this cleaning treatment, among the penetrating substances penetrating into the plastic molded product, the surfactant octaethylene glycol monododecyl ether is detached from the surface of the plastic molded product, and fine irregularities (micropores) are formed on the surface. Is formed. The other permeated metal fine particles were hardly removed by this cleaning treatment, and kept penetrating into the surface of the plastic molded product. In this example, the surface modification of the plastic molded product was performed in this way.

[メッキ膜の形成方法]
次に、上記表面改質方法により作製されたプラスチック成形品に無電解メッキを施し、プラスチック成形品の表面にメッキ膜を形成した。具体的には、超臨界二酸化炭素と無電解メッキ液の混合溶液によりエマルションを形成し、該混合溶液のエマルション中で無電解メッキを行った(図32中のステップS127)。
[Method of forming plating film]
Next, electroless plating was applied to the plastic molded product produced by the above surface modification method to form a plating film on the surface of the plastic molded product. Specifically, an emulsion was formed from a mixed solution of supercritical carbon dioxide and electroless plating solution, and electroless plating was performed in the emulsion of the mixed solution (step S127 in FIG. 32).

本実施例におけるバッチ処理による、超臨界二酸化炭素を用いた無電解メッキ装置の概念図を図31に示す。本装置1100は、液体二酸化炭素ボンベ1、シリンジポンプ2と、高圧容器1101の構成からなり、高圧容器1101内部に、金型サンプル1130を挿入して、高圧二酸化炭素を用いたメッキ処理を行う。液体二酸化炭素ボンベ1からフィルター1124を通し、シリンジポンプ2で昇圧された高圧二酸化炭素は、手動バルブ1125により、高圧容器1101に導入される。高圧容器1101は、温調流路1136を流れる図示しない温調機により温度制御された温調水により30℃から145℃の任意の温度により温調することができる。高圧容器1101は、容器本体1131と、公知のバネが内蔵されたポリイミド製シール1133でシールされる蓋1132により、高圧ガスを内部に密閉する。   The conceptual diagram of the electroless-plating apparatus using the supercritical carbon dioxide by the batch process in a present Example is shown in FIG. The apparatus 1100 includes a liquid carbon dioxide cylinder 1, a syringe pump 2, and a high-pressure vessel 1101, and inserts a mold sample 1130 into the high-pressure vessel 1101 to perform a plating process using high-pressure carbon dioxide. The high-pressure carbon dioxide that has passed through the filter 1124 from the liquid carbon dioxide cylinder 1 and has been pressurized by the syringe pump 2 is introduced into the high-pressure vessel 1101 by the manual valve 1125. The high-pressure vessel 1101 can be temperature-controlled at an arbitrary temperature from 30 ° C. to 145 ° C. with temperature-controlled water whose temperature is controlled by a temperature controller (not shown) flowing through the temperature control flow path 1136. The high-pressure container 1101 seals high-pressure gas inside by a container body 1131 and a lid 1132 sealed with a polyimide seal 1133 containing a known spring.

上記により表面改質を行ったプラスチック成形品を、高圧容器1101の蓋1132より吊るし、予め無電解ニッケルメッキ液を内容積の70%満たし、マグネチックスタラー1135を高圧容器1101内に挿入した。 The plastic molded product whose surface was modified as described above was hung from the lid 1132 of the high-pressure vessel 1101, filled with 70% of the internal volume in advance with the electroless nickel plating solution, and the magnetic stirrer 1135 was inserted into the high-pressure vessel 1101.

本発明における高圧容器においては、腐食されにくい材質を用いることが望ましく、SUS316、SUS316L、インコネル、ハステロイ、チタン等を用いることができるが、本実施例においてはSUS316Lを用いた。本発明においては、高圧容器の内壁面が無電解メッキ液に接触する場合、容器内部にメッキ膜が成長しないように、内壁面表面には、非メッキ成長膜1140がコーティングされることが望ましい。非メッキ成長膜の材質としては、DLC(ダイヤモンドライクカーボン)、PTFE(ポリテトラフロオロエチレン)、PEEK(ポリエチルエーテルケトン)等を用いることができるが、本実施例においては、DLCをCVD(Chemical Vapor Deposition化学気相法)にてコーティングした。   In the high-pressure vessel of the present invention, it is desirable to use a material that is not easily corroded, and SUS316, SUS316L, Inconel, Hastelloy, titanium, or the like can be used, but SUS316L was used in this example. In the present invention, when the inner wall surface of the high-pressure vessel is in contact with the electroless plating solution, it is desirable that the inner wall surface is coated with a non-plated growth film 1140 so that the plating film does not grow inside the vessel. As the material of the non-plated growth film, DLC (diamond-like carbon), PTFE (polytetrafluoroethylene), PEEK (polyethyl ether ketone), or the like can be used. In this embodiment, DLC is formed by CVD (Chemical Vapor Deposition Chemical Vapor Deposition).

本発明において用いることのできる無電解メッキ液の種類はニッケルーリン、ニッケルーホウ素、パラジウム、銅、銀、コバルト等任意であるが、本実施例においてはニッケルーリンを用いた。高圧二酸化炭素がメッキ液に浸透することで、pHが低下するので、中性、弱アルカリ性から酸性の浴でメッキできる液が好適であり、ニッケルーリンはpH4〜6の範囲で用いることができるので望ましい。また、pHが低下すると、リン濃度が上昇し、析出速度が低下する等の弊害があるので、予めメッキ液のpHを上昇させておいてもよい。本発明の高圧二酸化炭素を用いた無電解メッキ膜を形成した後、従来の無電解もしくは電解メッキ膜を積層してもよい。 The kind of electroless plating solution that can be used in the present invention is arbitrary such as nickel-phosphorus, nickel-boron, palladium, copper, silver, cobalt, etc., but in this embodiment, nickel-phosphorus was used. Since the pH drops when high-pressure carbon dioxide penetrates into the plating solution, a solution that can be plated in an acidic bath from neutral to weak alkaline is suitable, and nickel-phosphorus can be used in the range of pH 4-6. desirable. Further, when the pH is lowered, the phosphorus concentration is increased and the precipitation rate is lowered. Therefore, the pH of the plating solution may be raised in advance. After forming the electroless plating film using the high-pressure carbon dioxide of the present invention, a conventional electroless or electrolytic plating film may be laminated.

本発明の高圧二酸化炭素を用いた無電解メッキに関しては、アルコールが含まれる無電解メッキ液中でメッキ反応を行っても良い。アルコールは超臨界状態の二酸化炭素と攪拌せずとも高圧状態にて相溶しやすいことが知られる。本発明者らの検討によれば、メッキ液は水が主成分であるが、アルコールを添加することで、高圧状態の二酸化炭素とメッキ液が安定に混ざりやすくなる。そのため、界面活性剤を使用したり、攪拌する必要がなくなる。さらに、ポリマー内に高圧二酸化炭素とともにメッキ液を浸透させポリマー内部でメッキ反応を成長させるために、アルコールを添加させたほうが、水のみよりも表面張力が低下するため、好適である。 Regarding the electroless plating using high-pressure carbon dioxide of the present invention, the plating reaction may be performed in an electroless plating solution containing alcohol. Alcohol is known to be easily compatible with supercritical carbon dioxide at high pressure without stirring. According to the study by the present inventors, the plating solution is mainly composed of water, but by adding alcohol, the high-pressure carbon dioxide and the plating solution are easily mixed stably. Therefore, it is not necessary to use a surfactant or to stir. Furthermore, in order to allow the plating solution to penetrate into the polymer together with high-pressure carbon dioxide to grow the plating reaction inside the polymer, it is preferable to add alcohol because the surface tension is lower than that of water alone.

通常、無電解メッキ液は、金属イオンや還元剤等の入った原液に、例えばメーカー推奨の成分比により水で薄めてメッキ液を健浴するが、本発明においては、アルコールを任意の割合で水に添加すればよい。水とアルコールの体積比は、任意であるが、10〜80%の範囲であることが望ましい。アルコールが少ないと、安定な混合液が得られにくくなる。また、アルコール成分が多すぎると、たとえばニッケル-リンメッキに用いられる硫酸ニッケルにエタノール等の有機溶媒は不溶であるため、浴が安定しない場合がある。   Normally, the electroless plating solution is diluted with water in a stock solution containing metal ions, a reducing agent, etc., for example, with the component ratio recommended by the manufacturer, and the plating solution is bathed. In the present invention, alcohol is added at an arbitrary ratio. What is necessary is just to add to water. The volume ratio of water and alcohol is arbitrary, but is preferably in the range of 10 to 80%. When there is little alcohol, it will become difficult to obtain a stable liquid mixture. Moreover, when there are too many alcohol components, for example, an organic solvent such as ethanol is insoluble in nickel sulfate used for nickel-phosphorous plating, so that the bath may not be stable.

本実施例においては、メッキ液1l中に、硫酸ニッケルの金属塩と還元剤や錯化剤の含まれる原液として奥野製薬社製ニコロンDKを150ml添加し、水を350ml、アルコールとしてエタノールを500mlそれぞれ加え調合した。つまり、アルコールはメッキ液中50%とした。硫酸ニッケルはアルコールに不溶なので、添加量が80%を超えると硫酸ニッケルが多く沈殿するので適用できないことがわかった。   In this example, 150 ml of Nikon DK manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd. was added as a stock solution containing a metal salt of nickel sulfate, a reducing agent and a complexing agent to 1 liter of plating solution, 350 ml of water, and 500 ml of ethanol as alcohol. Added and formulated. That is, alcohol was 50% in the plating solution. Since nickel sulfate is insoluble in alcohol, it was found that when the added amount exceeds 80%, a large amount of nickel sulfate is precipitated, so that it cannot be applied.

本発明に用いることのできるアルコールの種類は任意であり、メタノール、エタノール、n−プロパノール、イソプロパノール、ブタノール、ヘプタノール、エチレングリコール等を用いることができるが、本実施例ではエタノールを用いた。   The type of alcohol that can be used in the present invention is arbitrary, and methanol, ethanol, n-propanol, isopropanol, butanol, heptanol, ethylene glycol, and the like can be used. In this example, ethanol was used.

次に、上記アルコールが添加された無電解メッキ液1137とマグレチックスタラー1135およびマウント成形品1130が内蔵された高圧容器1101内に、導入口1138より高圧二酸化炭素を導入した。液体二酸化炭素ボンベ1より取り出した液体二酸化炭素を、フィルター1124を介し高圧シリンジポンプ2で吸い上げ、次いでポンプ内で15MPaに昇圧にし、手動バルブ1125を開いて15MPaの高圧二酸化炭素を高圧容器1101内部に導入した。本実施例のシリンジポンプ2は、手動バルブ1125を開いた状態で圧力一定制御することにより、高圧容器1101内部の温度および高圧二酸化炭素の密度が変化した際にも、圧力変動を吸収することができ、それにより、高圧容器1101内部の圧力を安定に保持することができる   Next, high-pressure carbon dioxide was introduced from the inlet 1138 into the high-pressure vessel 1101 in which the electroless plating solution 1137, the magic stirrer 1135, and the mount molding 1130 to which the alcohol was added were incorporated. Liquid carbon dioxide taken out from the liquid carbon dioxide cylinder 1 is sucked up by the high-pressure syringe pump 2 through the filter 1124, and then the pressure is increased to 15 MPa in the pump, and the manual valve 1125 is opened to supply 15 MPa of high-pressure carbon dioxide into the high-pressure vessel 1101. Introduced. The syringe pump 2 of the present embodiment can absorb pressure fluctuation even when the temperature inside the high-pressure vessel 1101 and the density of high-pressure carbon dioxide change by controlling the pressure constant with the manual valve 1125 open. And thereby, the pressure inside the high-pressure vessel 1101 can be stably maintained.

本発明においては、表面内部に金属微粒子が偏析したポリマーを、メッキ反応が起きない低温度にて高圧二酸化炭素が含まれる無電解メッキ液に接触させるステップと、次いで、ポリマーおよび高圧二酸化炭素の含まれるメッキ液の温度を上昇させることで、ポリマー表面に無電解メッキ膜を成長させることができる。それにより、高圧二酸化炭素を含んだ無電解メッキ液が、メッキ反応する前にポリマー内部に浸透するので、ポリマー内部で無電解メッキ膜を反応、成長させることができる。 In the present invention, the step of contacting the polymer with segregated metal fine particles inside the surface with an electroless plating solution containing high-pressure carbon dioxide at a low temperature at which no plating reaction occurs, and then containing the polymer and high-pressure carbon dioxide The electroless plating film can be grown on the polymer surface by raising the temperature of the plating solution. As a result, the electroless plating solution containing high-pressure carbon dioxide penetrates into the polymer before the plating reaction, so that the electroless plating film can be reacted and grown inside the polymer.

本実施例においては、高圧容器1101およびメッキ液1137の温度は、温調流路1136を流れる温調水により、メッキの反応温度70℃〜85℃以下である50℃に設定しておき、超臨界状態となる高圧二酸化炭素を導入した。その後、マグレチックスタラー1135を高速で回転させた。この際には、無電界メッキ液はポリマー内に入るのみで、メッキは成長しない。その後、高圧容器1101の温度を85℃に昇温して、メッキ反応をポリマー内で起こした。   In the present embodiment, the temperature of the high-pressure vessel 1101 and the plating solution 1137 is set to 50 ° C., which is a reaction temperature of plating of 70 ° C. to 85 ° C. or less, with temperature-controlled water flowing through the temperature-control channel 1136. High-pressure carbon dioxide that is in a critical state was introduced. Thereafter, the Magretic stirrer 1135 was rotated at high speed. At this time, the electroless plating solution only enters the polymer, and the plating does not grow. Thereafter, the temperature of the high-pressure vessel 1101 was raised to 85 ° C. to cause a plating reaction in the polymer.

メッキ終了後、マグネチックスターラー1135を停止させ、二酸化炭素とメッキ液を2相分離させた。その後手動バルブ1125を閉じ、手動バルブ1145を開くことで、二酸化炭素を排気した。本実施例の成形品を高圧容器1101より取り出したところ、ポリマー表面に金属光沢がみられた。   After the completion of plating, the magnetic stirrer 1135 was stopped, and carbon dioxide and the plating solution were separated into two phases. Thereafter, the manual valve 1125 was closed and the manual valve 1145 was opened to exhaust carbon dioxide. When the molded product of this example was taken out from the high-pressure vessel 1101, metallic gloss was seen on the polymer surface.

その後、大気中で従来の電気ニッケルメッキを約20μm施し、高温多湿(80℃90%Rh500hr)試験した後、ピール試験したところ、膜剥れは発生せず、後述するように密着強度の良好なメッキ膜が形成できた。 Then, after applying conventional electric nickel plating in the atmosphere for about 20 μm and performing a high-temperature and high-humidity (80 ° C., 90% Rh 500 hr) test, a peel test did not occur. As described later, good adhesion strength was obtained. A plating film was formed.

実施例11では、実施例10と同様に、サンドイッチ射出成形装置を用い、射出成形により成形すると同時に高圧流体を用いて界面活性剤および金属錯体をプラスチック成形品の表面に浸透させた後、プラスチック成形品から界面活性剤を除去して表面改質を行う表面改質方法、及び、その表面改質方法により得られたプラスチック部材の表面にメッキ膜(金属膜)を形成する方法の例について説明する。本実施例では、フッソを含有する界面活性剤として、カルボキシレートパーフルオロポリエーテル(F−(CF2CF(CF3)O)n-CF2CF2COOH,n=7,分子量:約1000(Dupont社製 商品名Krytox))を用い、それ以外は、実施例10と同様の方法でプラスチック成形品の表面改質および無電解メッキ膜の形成を行った。   In Example 11, as in Example 10, a sandwich injection molding apparatus was used for molding by injection molding, and at the same time, a surfactant and a metal complex were infiltrated into the surface of the plastic molded product using a high-pressure fluid, and then plastic molding was performed. An example of a surface modification method for removing a surfactant from a product to perform surface modification and a method for forming a plating film (metal film) on the surface of a plastic member obtained by the surface modification method will be described. . In this example, as a surfactant containing fluorine, carboxylate perfluoropolyether (F- (CF2CF (CF3) O) n-CF2CF2COOH, n = 7, molecular weight: about 1000 (trade name Krytox, manufactured by Dupont) Otherwise, the surface modification of the plastic molded article and the formation of the electroless plating film were performed in the same manner as in Example 10.

本実施例におけるサンドイッチ射出成形工程において、フッソ含有の界面活性剤を用いることによって、金型よりの離型性が向上することが確認できており、離型時の突き出しストローク量を低減できることが分かった。   In the sandwich injection molding process in this example, it was confirmed that the release property from the mold was improved by using a surfactant containing fluorine, and it was found that the protruding stroke amount at the time of release can be reduced. It was.

実施例10と同様に無電解メッキを施した後、大気中で従来の電気ニッケルメッキを約20μm施し、高温多湿(80℃90%Rh500hr)試験した後、ピール試験したところ、膜剥れは発生せず、後述するように密着強度の良好なメッキ膜が形成できた。   After electroless plating was applied in the same manner as in Example 10, conventional electro-nickel plating was applied in the atmosphere for about 20 μm, a high temperature and high humidity (80 ° C., 90% Rh 500 hr) test was conducted, and then a peel test was performed. However, as described later, a plating film having good adhesion strength could be formed.

実施例12では、実施例10と同様に、サンドイッチ射出成形装置を用い、射出成形により成形すると同時に高圧流体を用いて界面活性剤および金属錯体をプラスチック成形品の表面に浸透させた後、プラスチック成形品から界面活性剤を除去して表面改質を行う表面改質方法、及び、その表面改質方法により得られたプラスチック部材の表面にメッキ膜(金属膜)を形成する方法の例について説明する。本実施例では、フッソ及びアミド基を含有する界面活性剤として、ペルフルオロポリエーテル基(PFPE)を有しトリス(ヒドロキシルメチル)メチルアミノ基を有する化合物(化学構造式:PFPE‐CONH‐(OH)3,分子量:771)を用いたこと以外は、実施例10と同様の方法でプラスチック成形品の表面改質および無電解メッキ膜の形成を行った。   In Example 12, as in Example 10, a sandwich injection molding apparatus was used for molding by injection molding, and at the same time, a surfactant and a metal complex were infiltrated into the surface of the plastic molded product using a high-pressure fluid, and then plastic molding was performed. An example of a surface modification method for removing a surfactant from a product to perform surface modification and a method for forming a plating film (metal film) on the surface of a plastic member obtained by the surface modification method will be described. . In this example, as a surfactant containing fluorine and amide groups, a compound having a perfluoropolyether group (PFPE) and a tris (hydroxylmethyl) methylamino group (chemical structural formula: PFPE-CONH- (OH)) 3, molecular weight: 771) The surface modification of the plastic molded article and the formation of the electroless plating film were performed in the same manner as in Example 10, except that 771) was used.

実施例10と同様に無電解メッキを施した後、大気中で従来の電気ニッケルメッキを約20μm施し、高温多湿(80℃90%Rh500hr)試験した後、ピール試験したところ、膜剥れは発生せず、後述するように密着強度の良好なメッキ膜が形成できた。 After electroless plating was applied in the same manner as in Example 10, conventional electro-nickel plating was applied in the atmosphere for about 20 μm, a high temperature and high humidity (80 ° C., 90% Rh 500 hr) test was conducted, and then a peel test was performed. However, as described later, a plating film having good adhesion strength could be formed.

以下に、上記実施例10〜12の表面改質方法およびメッキ膜の形成方法により得られたプラスチック成形品に対して、表面分析を行った。XPSによりプラスチック成形品表面のPd濃度を評価し、触針式表面粗さ測定装置(KLA−Tencor社製)を用いて表面粗さの測定を行った。その結果を表2に示す。   Below, the surface analysis was performed with respect to the plastic molded product obtained by the surface modification method of the said Examples 10-12, and the formation method of a plating film. The Pd concentration on the surface of the plastic molded product was evaluated by XPS, and the surface roughness was measured using a stylus type surface roughness measuring device (manufactured by KLA-Tencor). The results are shown in Table 2.

また、上記実施例10〜12により得られたメッキ膜に対して、引張り試験機((株)島津製作所製 オートグラフAGS−J)を用いて、90°ピール試験を行った。その結果も表2に示す。   Moreover, the 90 degree peel test was done with respect to the plating film obtained by the said Examples 10-12 using the tensile tester (Shimadzu Corporation autograph AGS-J). The results are also shown in Table 2.

Figure 2008247962
Figure 2008247962

表2に示したXPSによる表面Pd濃度分析により、実施例10〜12で得られたプラスチック成形品全てにおいて無電解メッキ触媒核となるPdが検出されていることが分かった。また、特に実施例12においては表面Pd濃度が多く検出されているが、これはアミド基の存在によりPd金属錯体の還元を促進することが知られており、本実施例における界面活性剤中のアミド基が還元に寄与しているためと考えられる。また、本実施例においてPdが表面に高濃度に分散していることにより、良好な密着強度が得られることが分かった。   From the surface Pd concentration analysis by XPS shown in Table 2, it was found that Pd serving as an electroless plating catalyst nucleus was detected in all the plastic molded articles obtained in Examples 10-12. In particular, a large amount of surface Pd concentration was detected in Example 12, which is known to promote the reduction of the Pd metal complex due to the presence of an amide group. This is probably because the amide group contributes to the reduction. Further, it was found that good adhesion strength can be obtained when Pd is dispersed at a high concentration on the surface in this example.

また、実施例1〜4でプラスチック表面に形成されたメッキ膜の表面粗さは、算術平均粗さ(Ra)で数十nmのオーダーであり、十点平均粗さ(Rz)で数百nmのオーダーであることが分かった。従来のエッチング処理により表面粗化を図った場合には、プラスチックの表面粗さが数μm〜数十μmのオーダーになることを考えると、本発明のメッキ膜の形成方法では、従来の無電解メッキ方法に比べて、表面粗化が抑制され良好な平滑性が得られることが分かる。金属膜の表面粗さが大きい場合には、金属膜の反射率や電気特性(抵抗等)等が劣化するが、本発明のメッキ膜の形成方法は、基板の表面粗さを非常に小さくすることができるので、例えば、高反射率を必要とするリフレクター等の金属膜、良好な電気特性を必要とする高周波電気回路やアンテナ等の金属膜の形成方法として好適である。   The surface roughness of the plating film formed on the plastic surface in Examples 1 to 4 is on the order of several tens of nanometers in terms of arithmetic average roughness (Ra), and several hundreds of nanometers in terms of ten-point average roughness (Rz). It turned out that it was an order. Considering that the surface roughness of the plastic is on the order of several μm to several tens of μm when the surface is roughened by the conventional etching process, the plating film forming method of the present invention uses the conventional electroless method. Compared to the plating method, it can be seen that surface roughening is suppressed and good smoothness is obtained. When the surface roughness of the metal film is large, the reflectivity and electrical characteristics (resistance, etc.) of the metal film deteriorate, but the plating film forming method of the present invention makes the surface roughness of the substrate very small. Therefore, it is suitable as a method for forming a metal film such as a reflector that requires high reflectivity and a metal film such as a high-frequency electric circuit or an antenna that requires good electrical characteristics.

実施例13では、少なくとも表面に界面活性剤を有する樹脂フィルム(プラスチック製シート)を押し出し成形で作製した後、その樹脂フィルムを用いてインサート(インモールド)成形してプラスチック成形品(プラスチック)を作製し、次いで、界面活性剤を除去するプラスチックの表面改質方法、及び、その表面改質方法により得られたプラスチック成形品の表面にメッキ膜(金属膜)を形成する方法の例について説明する。   In Example 13, a resin film (plastic sheet) having a surfactant on at least the surface is prepared by extrusion molding, and then insert (in-mold) molding is performed using the resin film to produce a plastic molded product (plastic). Next, an example of a plastic surface modification method for removing the surfactant and a method for forming a plating film (metal film) on the surface of a plastic molded product obtained by the surface modification method will be described.

樹脂フィルムに用い得る樹脂材料は、押し出し成形できる熱可塑性樹脂であれば任意であるが、本実施例では、ポリカーボネートを用いた。また、樹脂フィルムに浸透させる材料もまた任意であるが、本実施例では界面活性剤にはオクタエチレングリコールモノドデシルエーテル(分子量:539)を用いた。なお、この例では、高圧流体として液状の高圧二酸化炭素を用いた。   The resin material that can be used for the resin film is arbitrary as long as it is a thermoplastic resin that can be extruded, but in this example, polycarbonate was used. Moreover, although the material which permeate | transmits a resin film is also arbitrary, in this example, octaethylene glycol monododecyl ether (molecular weight: 539) was used as the surfactant. In this example, liquid high-pressure carbon dioxide was used as the high-pressure fluid.

[成形装置]
まず、樹脂フィルムを作製するために用いたこの例の成形装置について説明する。この例で用いた成形装置の概略構成図を図16に示した。この例で用いた成形装置600は、図16に示すように、主に、押し出し成形機部601と、二酸化炭素供給部602と、二酸化炭素排出部603とから構成される。
[Molding equipment]
First, the molding apparatus of this example used for producing a resin film will be described. A schematic configuration diagram of the molding apparatus used in this example is shown in FIG. As shown in FIG. 16, the molding apparatus 600 used in this example mainly includes an extrusion molding machine unit 601, a carbon dioxide supply unit 602, and a carbon dioxide discharge unit 603.

押し出し成形機部601は、図16に示すように、主に、可塑化溶融シリンダー70(以下、加熱シリンダーともいう)と、加熱シリンダー70内に樹脂のペレットを供給するホッパー73と、加熱シリンダー70内のスクリュー71を回転させるモーター72と、冷却ジャケット77と、溶融樹脂の肉厚を薄くし且つ溶融樹脂を扇状に拡大させながら押し出すダイ80と、冷却ロール81とから構成される。スクリュー71としては、減圧部となるベント構造部74を有する単軸スクリューを用いた。   As shown in FIG. 16, the extrusion molding unit 601 mainly includes a plasticizing and melting cylinder 70 (hereinafter also referred to as a heating cylinder), a hopper 73 that supplies resin pellets into the heating cylinder 70, and a heating cylinder 70. A motor 72 for rotating the inner screw 71, a cooling jacket 77, a die 80 for extruding the molten resin while reducing the thickness of the molten resin and expanding the molten resin in a fan shape, and a cooling roll 81 are included. As the screw 71, a single screw having a vent structure portion 74 serving as a decompression portion was used.

押し出しダイ80の構造・方式は任意であり、作製する成形品の形状、用途等により適宜設定できるが、この例では押し出しダイ80として、フィルム成形用のTダイを用いた。また、この例の成形装置600では、Tダイ80より押し出された樹脂フィルム82は冷却ロール81等により巻き取られる。本実施例では、Tダイ80のダイ押し出し口におけるギャップtは0.5mmに設定した。   The structure and method of the extrusion die 80 are arbitrary and can be set as appropriate depending on the shape and use of the molded product to be produced. In this example, a T-die for film formation was used as the extrusion die 80. Moreover, in the molding apparatus 600 of this example, the resin film 82 extruded from the T die 80 is wound up by the cooling roll 81 or the like. In this embodiment, the gap t at the die extrusion port of the T die 80 was set to 0.5 mm.

また、この例の成形装置600では、図16に示すように、二酸化炭素の導入口70aを溶融樹脂が減圧される単軸スクリュー71のベント機構部74付近に設けた。また、この例の成形装置600では、図16に示すように、樹脂内圧を測定するためのモニターを加熱シリンダー70と冷却ジャケット77との間の接続部(モニター76)と、冷却ジャケット77内部(モニター79)とに設けた。   Further, in the molding apparatus 600 of this example, as shown in FIG. 16, the carbon dioxide inlet 70 a is provided in the vicinity of the vent mechanism portion 74 of the single screw 71 where the molten resin is decompressed. Further, in the molding apparatus 600 of this example, as shown in FIG. 16, a monitor for measuring the resin internal pressure includes a connection part (monitor 76) between the heating cylinder 70 and the cooling jacket 77, and the inside of the cooling jacket 77 ( And a monitor 79).

二酸化炭素供給部602は、図16に示すように、主に、二酸化炭素ボンベ60と、シリンジポンプ62と、溶解槽61と、背圧弁63と、バルブ64と、圧力計66と、これらの構成要素を繋ぐ配管67とから構成される。また、バルブ64の下流側(2次側)は、図16に示すように、配管67を介して加熱シリンダー70の二酸化炭素の導入口70aに繋がれており、加熱シリンダー70内部の溶融樹脂の流路と流通している。なお、二酸化炭素の導入箇所は、これに限定されず、スクリュー71からTダイ80までの領域であれば、任意の箇所に設け得る。   As shown in FIG. 16, the carbon dioxide supply unit 602 mainly includes a carbon dioxide cylinder 60, a syringe pump 62, a dissolution tank 61, a back pressure valve 63, a valve 64, a pressure gauge 66, and a configuration thereof. It is comprised from the piping 67 which connects an element. Further, as shown in FIG. 16, the downstream side (secondary side) of the valve 64 is connected to a carbon dioxide inlet 70a of the heating cylinder 70 via a pipe 67, and the molten resin inside the heating cylinder 70 is It is in circulation with the channel. In addition, the introduction | transduction location of a carbon dioxide is not limited to this, If it is the area | region from the screw 71 to the T-die 80, it can provide in arbitrary locations.

また、二酸化炭素排出部603は、図16に示すように、主に、二酸化炭素を排出するための抽出容器83と、背圧弁84と、圧力計85と、これらの構成要素を繋ぐ配管86とから構成される。また、背圧弁84の上流側(1次側)は、図16に示すように、配管86を介して冷却ジャケット77の二酸化炭素排出口77aと繋がれており、冷却ジャケット77内部の溶融樹脂の流路と流通している。   Further, as shown in FIG. 16, the carbon dioxide discharge section 603 mainly includes an extraction container 83 for discharging carbon dioxide, a back pressure valve 84, a pressure gauge 85, and a pipe 86 connecting these components. Consists of Further, as shown in FIG. 16, the upstream side (primary side) of the back pressure valve 84 is connected to a carbon dioxide discharge port 77 a of the cooling jacket 77 via a pipe 86, and the molten resin inside the cooling jacket 77 is connected. It is in circulation with the channel.

なお、本実施例の押し出し成形機部601において、スクリュー71、加熱シリンダー70、ダイ80等の各機構は、公知の押し出し成形機の各機構と同様な形態を用いることができる。   In the extrusion molding machine unit 601 of the present embodiment, each mechanism such as the screw 71, the heating cylinder 70, and the die 80 can have the same form as each mechanism of a known extrusion molding machine.

[樹脂フィルムの成形方法]
次に、本実施例における樹脂フィルムの成形方法を図16及び20を参照しながら説明する。まず、押し出し成形機部601のホッパー73に樹脂材料(ポリカーボネート)のペレットを充分な量だけ供給し、モーター72によりスクリュー71を回転させて樹脂材料を可塑化溶融し、溶融樹脂を加熱シリンダー70の先端に送った(図20中のステップS101)。この際、バンドヒータ75により加熱シリンダー70を280℃に温度調節した。
[Molding method of resin film]
Next, a method for forming a resin film in this example will be described with reference to FIGS. First, a sufficient amount of pellets of resin material (polycarbonate) is supplied to the hopper 73 of the extrusion molding unit 601, and the screw 71 is rotated by the motor 72 to plasticize and melt the resin material. It was sent to the tip (step S101 in FIG. 20). At this time, the temperature of the heating cylinder 70 was adjusted to 280 ° C. by the band heater 75.

次いで、予め界面活性剤が仕込まれた溶解槽61の内部で高圧二酸化炭素(高圧流体)を流動させることにより界面活性剤を高圧二酸化炭素に溶解させた(図20中のステップS102)。具体的には、次のようにして界面活性剤を高圧二酸化炭素に溶解させた。まず、二酸化炭素ボンベ60から供給された液体二酸化炭素をシリンジポンプ62で昇圧および圧力調整し、圧力計46が15MPaになるよう圧力調整した。そして、昇圧された高圧二酸化炭素を、40℃に温度制御され、界面活性剤が過飽和になるように仕込まれた溶解槽61内部に流動させ、界面活性剤を高圧二酸化炭素に溶解させた。   Next, the surfactant was dissolved in the high-pressure carbon dioxide by flowing high-pressure carbon dioxide (high-pressure fluid) inside the dissolution tank 61 charged with the surfactant in advance (step S102 in FIG. 20). Specifically, the surfactant was dissolved in high-pressure carbon dioxide as follows. First, the pressure of the liquid carbon dioxide supplied from the carbon dioxide cylinder 60 was increased and adjusted with the syringe pump 62, and the pressure was adjusted so that the pressure gauge 46 became 15 MPa. The pressurized high-pressure carbon dioxide was controlled in temperature to 40 ° C. and flowed into the dissolution tank 61 charged so that the surfactant was supersaturated, and the surfactant was dissolved in the high-pressure carbon dioxide.

次いで、バルブ64を開放して、配管67及び導入口70aを介して、加熱シリンダー70のベント構造部74に界面活性剤を溶解した高圧二酸化炭素を導入し、界面活性剤を高圧二酸化炭素とともに溶融樹脂に接触させた浸透させた(図20中のステップS103)。この際、シリンジポンプ62により高圧二酸化炭素の流量を制御し、且つ、背圧弁63により高圧二酸化炭素の圧力を制御しながら一定流量で界面活性剤を溶解した高圧二酸化炭素を導入した。この際、ベント構造部74の溶融樹脂に注入された高圧二酸化炭素および浸透物質(界面活性剤:オクタエチレングリコールモノドデシルエーテル)は、スクリュー71の回転により樹脂に混錬される。   Next, the valve 64 is opened, high-pressure carbon dioxide in which the surfactant is dissolved is introduced into the vent structure 74 of the heating cylinder 70 through the pipe 67 and the introduction port 70a, and the surfactant is melted together with the high-pressure carbon dioxide. The resin was infiltrated into contact (step S103 in FIG. 20). At this time, high-pressure carbon dioxide in which the surfactant was dissolved at a constant flow rate was introduced while controlling the flow rate of high-pressure carbon dioxide with the syringe pump 62 and controlling the pressure of high-pressure carbon dioxide with the back pressure valve 63. At this time, the high-pressure carbon dioxide and the permeating substance (surfactant: octaethylene glycol monododecyl ether) injected into the molten resin of the vent structure 74 are kneaded into the resin by the rotation of the screw 71.

次いで、高圧二酸化炭素および界面活性剤が混錬された溶融樹脂の圧力が樹脂内圧力のモニター76の表示で20MPaに上昇するように調整しながら、溶融樹脂を加熱シリンダー70から押し出した。   Next, the molten resin was extruded from the heating cylinder 70 while adjusting the pressure of the molten resin kneaded with the high-pressure carbon dioxide and the surfactant so as to increase to 20 MPa on the display 76 of the internal pressure monitor.

次いで、加熱シリンダー70から押し出された溶融樹脂を、冷却ジャケット77を通過させた。なお、冷却ジャケット77は、冷却ジャケット77内部に設けられた冷却水路78を流動する温調水により200℃まで冷却されている。また、この例の成形装置600では、図16に示すように、冷却ジャケット77内部の溶融樹脂の流路の断面積が、加熱シリンダー70と冷却ジャケット77との接続部の溶融樹脂の流路の断面積より大きくしているので、溶融樹脂が冷却ジャケット77内を通過した際には、冷却と同時に減圧される。この例では、溶融樹脂が冷却ジャケット77内を通過した際には、減圧部の樹脂内圧力モニター79は10MPaを示した。   Next, the molten resin extruded from the heating cylinder 70 was passed through the cooling jacket 77. The cooling jacket 77 is cooled to 200 ° C. by temperature-controlled water flowing through a cooling water channel 78 provided inside the cooling jacket 77. Further, in the molding apparatus 600 of this example, as shown in FIG. 16, the cross-sectional area of the flow path of the molten resin inside the cooling jacket 77 is equal to the flow path of the molten resin at the connecting portion between the heating cylinder 70 and the cooling jacket 77. Since it is larger than the cross-sectional area, when the molten resin passes through the cooling jacket 77, the pressure is reduced simultaneously with the cooling. In this example, when the molten resin passed through the cooling jacket 77, the resin internal pressure monitor 79 in the decompression section showed 10 MPa.

次いで、冷却ジャケット77から押し出された溶融樹脂は、Tダイ80を通過し、Tダイ80から押し出された樹脂82は冷却ロール81等で巻き取られフィルム状(シート状)に連続成形された(図20中のステップS104)。そして、この例では、図示しない延伸装置で樹脂82を薄肉化して厚み0.1mmの樹脂フィルムを作製した。このようにして、ポリエチレングリコールが表面及び内部に分散した樹脂フィルム(プラスチック製シート)を得た。   Next, the molten resin extruded from the cooling jacket 77 passes through the T die 80, and the resin 82 extruded from the T die 80 is wound up by a cooling roll 81 or the like and continuously formed into a film (sheet) ( Step S104 in FIG. 20). In this example, the resin 82 was thinned by a stretching apparatus (not shown) to produce a resin film having a thickness of 0.1 mm. In this way, a resin film (plastic sheet) in which polyethylene glycol was dispersed on the surface and inside was obtained.

[インサート成形]
次に、上記押し出し成形により作製された樹脂フィルムを用いて、インサート(インモールド)成形によりプラスチック成形品を作製する方法を、図17及び18を参照しながら説明する。なお、この例のインサート成形で用いた射出成形装置900は、従来と同様の構造のものを用いた。
[Insert molding]
Next, a method for producing a plastic molded product by insert (in-mold) molding using the resin film produced by the extrusion molding will be described with reference to FIGS. The injection molding apparatus 900 used in the insert molding of this example has the same structure as the conventional one.

まず、図17に示すように、上記押し出し成形により作製された樹脂フィルム604を、金型90の可動金型91のキャビティ97側の表面に保持した。なお、この例では、キャビティ97側の表面がミラー曲面形状を有する可動金型91を用い、そのミラー曲面形状の表面に樹脂フィルム604を保持した。なお、金型90内のキャビティ97は固定金型92と可動金型91で画成される空間である。また、この例では、可動金型91のバキューム93回路を用いて、樹脂フィルム604を可動金型91表面に吸着することにより樹脂フィルム604を保持した。なお、この際、樹脂フィルム604は、図17に示すように、可動金型91の表面に完全に密着していなくてもよく、可動金型91の表面と樹脂フィルム604との間の一部に隙間が生じていてもよい。また、本実施例において、樹脂フィルム604と、金型表面やインサート成形時に射出される樹脂材料との密着性を向上させるために、樹脂フィルム604の表面に各種公知の接着層を設けてもよい。   First, as shown in FIG. 17, the resin film 604 produced by the extrusion molding was held on the surface of the mold 90 on the cavity 97 side of the movable mold 91. In this example, the movable mold 91 having a curved surface on the cavity 97 side was used, and the resin film 604 was held on the curved surface of the mirror. The cavity 97 in the mold 90 is a space defined by the fixed mold 92 and the movable mold 91. In this example, the resin film 604 is held by adsorbing the resin film 604 to the surface of the movable mold 91 using the vacuum 93 circuit of the movable mold 91. At this time, as shown in FIG. 17, the resin film 604 may not be completely in close contact with the surface of the movable mold 91, and a part between the surface of the movable mold 91 and the resin film 604. There may be a gap. Further, in this embodiment, various known adhesive layers may be provided on the surface of the resin film 604 in order to improve the adhesion between the resin film 604 and the resin material injected during the mold surface or insert molding. .

次いで、樹脂フィルム604を金型90のキャビティ97内に保持した状態で、射出成形装置900のスクリュー95にて可塑化溶融した樹脂96を射出成形装置900のスプール95を経てキャビティ97に射出充填した(インサート成形:図20中のステップ106)。この際、樹脂シート604は、図18に示すように、射出樹脂により金型表面に密着され(樹脂フィルム604と金型表面との隙間が無くなり)、樹脂フィルム604が所定に形状(ミラー形状)に成形される。このようにして、この例では、樹脂フィルム604と成形品基材605とが一体化されたプラスチック成形品を得た。   Next, in a state where the resin film 604 is held in the cavity 97 of the mold 90, the resin 96 plasticized and melted by the screw 95 of the injection molding apparatus 900 is injected and filled into the cavity 97 through the spool 95 of the injection molding apparatus 900. (Insert molding: Step 106 in FIG. 20). At this time, as shown in FIG. 18, the resin sheet 604 is closely attached to the mold surface by the injection resin (there is no gap between the resin film 604 and the mold surface), and the resin film 604 has a predetermined shape (mirror shape). To be molded. In this way, in this example, a plastic molded product in which the resin film 604 and the molded product substrate 605 were integrated was obtained.

なお、この際、溶融樹脂により樹脂フィルム604が塑性変形もしくは溶融することがあるが、成形品表面の金属膜の品質になんら影響を受けるものではない。また、この例では、ある程度弾力性を有する樹脂フィルム604をインサート成形しているので、従来のように金属フィルムをインサート成形した場合のように、金型内部に保持したフィルムに亀裂が生じることはない。   At this time, the resin film 604 may be plastically deformed or melted by the molten resin, but it is not affected at all by the quality of the metal film on the surface of the molded product. Further, in this example, since the resin film 604 having elasticity to some extent is insert-molded, a crack is generated in the film held inside the mold as in the case of insert-molding a metal film as in the past. Absent.

なお、本実施例のプラスチック成形品の製造方法では、インサート(インモールド)成形時に射出成形する充填樹脂材料は任意の樹脂材料が用い得る。例えば、ポリエステル系等の合成繊維、ポリプロピレン、ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネート、アモルファスポリオレフィン、ポリエーテルイミド、ポリエチレンテレフタレート、液晶ポリマー、ABS系樹脂、ポリアミドイミド、ポリ乳酸等の生分解性プラスチック、ナイロン樹脂等及びそれら複合材料を用いることできる。また、ガラス繊維、カーボン繊維、ナノカーボン等の各種無機フィラー等を混練させた樹脂材料を用いることもできる。また、充填樹脂材料は樹脂フィルムの材料と同じでも異種でもよいが、樹脂フィルムの材料との接着性を高めるために同一材料であることが好ましい。本実施例では樹脂フィルムの材料と同一の材料、すなわち、ポリカーボネートをインサート成形にて射出充填した。ただし、ガラス繊維30%入りで荷重たわみ温度(ISO75−2)が148℃のポリカーボネート材料を用いた。   In addition, in the manufacturing method of the plastic molded product of a present Example, arbitrary resin materials can be used for the filling resin material injection-molded at the time of insert (in-mold) molding. For example, synthetic fibers such as polyester, polypropylene, polymethyl methacrylate, polycarbonate, amorphous polyolefin, polyetherimide, polyethylene terephthalate, liquid crystal polymer, ABS resin, polyamideimide, polylactic acid and other biodegradable plastics, nylon resin, etc. These composite materials can be used. Further, a resin material in which various inorganic fillers such as glass fiber, carbon fiber, and nanocarbon are kneaded can also be used. Further, the filled resin material may be the same as or different from the resin film material, but is preferably the same material in order to enhance the adhesion to the resin film material. In this example, the same material as that of the resin film, that is, polycarbonate was injection-filled by insert molding. However, a polycarbonate material containing 30% glass fiber and having a deflection temperature under load (ISO 75-2) of 148 ° C. was used.

また、この例のプラスチック成形品の製造方法では、界面活性剤が含浸した樹脂フィルムの膜厚等を制御することにより、インサート成形後のプラスチック成形品の界面活性剤の浸透量や浸透深さを制御できる。   Further, in the method for producing a plastic molded article of this example, the penetration amount and penetration depth of the surfactant in the plastic molded article after insert molding are controlled by controlling the film thickness of the resin film impregnated with the surfactant. Can be controlled.

上述したこの例のインサート成形により得られたプラスチック成形品の表面粗さを触針式表面粗さ測定装置(KLA−Tencor社製)で測定した。算術平均粗さ(Ra)は5nm、十点平均粗さ(Rz)は8nmであった。   The surface roughness of the plastic molded product obtained by the above-described insert molding of this example was measured with a stylus type surface roughness measuring device (manufactured by KLA-Tencor). The arithmetic average roughness (Ra) was 5 nm, and the ten-point average roughness (Rz) was 8 nm.

次に、樹脂フィルム604と成形品基材605とが一体化されたプラスチック成形品を射出成形機900から取り出した後、高圧二酸化炭素を溶媒として用い、樹脂フィルムの表面近傍に分散しているオクタエチレングリコールモノドデシルエーテルを除去した(図20中のステップS107)。本実施例においては超臨界状態となる温度40℃、圧力15MPaとし、30分洗浄処理を行った。この工程により、オクタエチレングリコールモノドデシルエーテルが除去された箇所には微細孔が形成され、プラスチック成形品の表面に微細な凹凸を形成した。この例では、上述のようにして、プラスチック成形品の表面改質を行った。   Next, after the plastic molded product in which the resin film 604 and the molded product base 605 are integrated is taken out from the injection molding machine 900, the high-pressure carbon dioxide is used as a solvent and the octave dispersed near the surface of the resin film. Ethylene glycol monododecyl ether was removed (step S107 in FIG. 20). In this example, a supercritical state temperature of 40 ° C. and a pressure of 15 MPa were used, and a cleaning process was performed for 30 minutes. By this step, fine holes were formed at the locations where the octaethylene glycol monododecyl ether was removed, and fine irregularities were formed on the surface of the plastic molded product. In this example, the surface modification of the plastic molded product was performed as described above.

上述のように、本実施例のプラスチック成形品の表面改質方法では、樹脂フィルム及び成形品基材の材料とは異なる低分子成分(この例ではオクタエチレングリコールモノドデシルエーテル)が溶媒により樹脂フィルムから除去されるので、少なくとも成形品の表面に微細孔が形成された樹脂成形品が得られる。なお、樹脂フィルムから低分子成分を除去するプロセスのタイミングは任意であり、除去プロセスはインサート成形の前後いずれに行ってもよい。また、微細孔のサイズは、低分子成分(界面活性剤)の分子量や樹脂フィルムから低分子成分を抽出除去する際の条件により数nmオーダーからミクロンオーダーまでの範囲で制御可能である。   As described above, in the method for modifying the surface of a plastic molded article according to this example, a low molecular component (in this example, octaethylene glycol monododecyl ether) different from the material of the resin film and the molded article substrate is used as a resin film by a solvent. Therefore, a resin molded product in which micropores are formed at least on the surface of the molded product is obtained. Note that the timing of the process of removing the low molecular components from the resin film is arbitrary, and the removal process may be performed either before or after the insert molding. The size of the micropores can be controlled in the range from several nm order to micron order depending on the molecular weight of the low molecular component (surfactant) and the conditions for extracting and removing the low molecular component from the resin film.

上述のようにして作製された表面に微細孔が形成されたプラスチック成形品の表面粗さを実施例1と同様にして測定した。その結果、算術平均粗さ(Ra)は15nm、十点平均粗さ(Rz)は130nmとなり、界面活性剤を除去する前、すなわち、インサート成形後のプラスチック成形品に比べて、表面粗さが大きくなった。これは、樹脂フィルム表面に分散していた低分子成分(オクタエチレングリコールモノドデシルエーテル)が除去され微細孔が形成されたことを示している。ただし、従来のメッキ工程で行うクロム酸や過マンガン酸のエッチング処理では成形品表面が数μm〜数十μm程度粗化されることを考えると、本実施例で表面改質されたプラスチック成形品では、従来のエッチング処理により粗化された成形品に比べて良好な表面粗さ(良好な平滑性)が得られることが分かった。   The surface roughness of the plastic molded product having fine holes formed on the surface produced as described above was measured in the same manner as in Example 1. As a result, the arithmetic average roughness (Ra) is 15 nm, the ten-point average roughness (Rz) is 130 nm, and the surface roughness is smaller than that of the plastic molded product before removing the surfactant, that is, after insert molding. It became bigger. This indicates that the low molecular component (octaethylene glycol monododecyl ether) dispersed on the surface of the resin film was removed and micropores were formed. However, considering that the surface of the molded product is roughened by about several μm to several tens of μm in the etching process of chromic acid or permanganic acid performed in the conventional plating process, the plastic molded product whose surface is modified in this example Then, it turned out that favorable surface roughness (good smoothness) is obtained compared with the molded article roughened by the conventional etching process.

[メッキ膜の形成方法]
次に、この例では、ポリエチレングリコールが除去されたプラスチック成形品に対して、実施例1と同様にして無電解銅メッキ処理を施してメッキ膜を形成した(図20中のステップS108)。なお、コンディショナー及び触媒の付与の工程においては、樹脂フィルム上への触媒核およびメッキ膜の浸漬を助長するため、超音波振動を付与した。その結果、実施例1〜4で形成したメッキ膜と同様に、この例で形成されたメッキ膜にはふくれがなく、クロスハッチのテープ剥離試験による密着強度も良好であった。
[Method of forming plating film]
Next, in this example, the plastic film from which polyethylene glycol was removed was subjected to electroless copper plating in the same manner as in Example 1 to form a plating film (step S108 in FIG. 20). In the step of applying the conditioner and the catalyst, ultrasonic vibration was applied in order to promote the immersion of the catalyst core and the plating film on the resin film. As a result, like the plating films formed in Examples 1 to 4, the plating film formed in this example had no blistering, and the adhesion strength by the cross-hatch tape peeling test was also good.

上述のようにして表面にメッキ膜が形成されたプラスチック成形品の樹脂フィルム近傍の拡大概略断面図を図19に示した。この例で作製されたプラスチック成形品では、樹脂フィルムの表面近傍に分散した界面活性剤(オクタエチレングリコールモノドデシルエーテル)を除去しているので、成形品基材605上に形成された樹脂フィルム604の表面には、図19に示すように、一部微細孔604aが形成されている。そして、無電解メッキにより、この微細孔内に触媒核およびメッキ膜607が浸漬し、樹脂フィルム604の表面の微細孔604aによりアンカー効果が得られ、メッキ膜の強固な密着強度が得られたものと考えられる。すなわち、この例のメッキ膜が形成されたプラスチック成形品では、表面を極力平滑に維持した状態で強固なアンカー効果を得ることができる。さらに、本実施例のプラスチック成形品のメッキ膜の形成方法では、従来のエッチングでは十分に粗化できなかった樹脂材料、例えば、ポリフェニレンサルファイド、シクロオレフィンポリマー、ポリカーボネートの非メッキグレード、液晶ポリマー等に対しても容易にメッキ膜を形成することができる。   FIG. 19 shows an enlarged schematic cross-sectional view of the vicinity of a resin film of a plastic molded product having a plating film formed on the surface as described above. In the plastic molded product produced in this example, since the surfactant (octaethylene glycol monododecyl ether) dispersed in the vicinity of the surface of the resin film is removed, the resin film 604 formed on the molded product substrate 605 is removed. As shown in FIG. 19, a partly fine hole 604a is formed on the surface. Then, the catalyst core and the plating film 607 are immersed in the fine holes by electroless plating, the anchor effect is obtained by the fine holes 604a on the surface of the resin film 604, and the strong adhesion strength of the plating film is obtained. it is conceivable that. That is, in the plastic molded product in which the plating film of this example is formed, a strong anchor effect can be obtained with the surface kept as smooth as possible. Furthermore, in the method for forming a plating film of a plastic molded product of this example, it is possible to apply resin materials that could not be sufficiently roughened by conventional etching, such as polyphenylene sulfide, cycloolefin polymer, non-plating grade of polycarbonate, liquid crystal polymer, etc. In contrast, a plating film can be easily formed.

実施例14では、高圧流体を用いないで、プラスチック成形品の表面を改質する方法及びプラスチック成形品の表面にメッキ膜を形成する方法の例について説明する。この例では界面活性剤としてオクタエチレングリコールモノドデシルエーテル(分子量:539)を用い、プラスチック成形品の形成材料としてはポリカーボネートを用いた。以下に、この例のプラスチック成形品の成形方法及び表面改質方法からメッキ膜の形成方法までの手順を図21を用いて説明する。   In Example 14, an example of a method for modifying the surface of a plastic molded product without using a high-pressure fluid and a method for forming a plating film on the surface of the plastic molded product will be described. In this example, octaethylene glycol monododecyl ether (molecular weight: 539) was used as the surfactant, and polycarbonate was used as the material for forming the plastic molded product. Hereinafter, the procedure from the molding method and surface modification method of the plastic molded product of this example to the plating film forming method will be described with reference to FIG.

[成形方法及び表面改質方法]
まず、この例では、プラスチック成形品の形成材料であるポリカーボネートと、浸透物質であるオクタエチレングリコールモノドデシルエーテルとを公知の押し出し成形機内で混練してペレット(第1プラスチック樹脂)を作製した。具体的には、ポリカーボネートに対するオクタエチレングリコールモノドデシルエーテルの混合比を30%として押し出し成形機に供給し、スクリューにて溶融及び混練しながらノズル先端のダイから樹脂を押出した。得られた成形品を冷却バスにて冷却し、ペレタイザーにて造粒した。この際、ポリカーボネートとポリエチレングリコールとの混練を均一にするために、添加剤により末端基を改質して親和性を向上させる等の改質を施しても良い。また、この例では、公知の押し出し成形機で、オクタエチレングリコールモノドデシルエーテルを含まないポリカーボネートからなるペレット(第2プラスチック樹脂)を作製した(図21中のステップS111)。なお、本発明では、プラスチック成形品の形成材料は押し出し成形できる熱可塑性樹脂であれば任意である。
[Molding method and surface modification method]
First, in this example, a polycarbonate (first plastic resin) was prepared by kneading polycarbonate, which is a material for forming a plastic molded product, and octaethylene glycol monododecyl ether, which is a penetrating substance, in a known extrusion molding machine. Specifically, the mixing ratio of octaethylene glycol monododecyl ether to polycarbonate was set to 30%, and the mixture was supplied to an extrusion molding machine. The resin was extruded from the die at the tip of the nozzle while melting and kneading with a screw. The obtained molded product was cooled with a cooling bath and granulated with a pelletizer. At this time, in order to make the kneading of the polycarbonate and polyethylene glycol uniform, modification such as modification of the terminal group with an additive to improve affinity may be performed. In this example, pellets (second plastic resin) made of polycarbonate not containing octaethylene glycol monododecyl ether were produced using a known extrusion molding machine (step S111 in FIG. 21). In the present invention, the material for forming the plastic molded product is arbitrary as long as it is a thermoplastic resin that can be extruded.

次に、上記方法により得られた2種類のペレットを用いて、公知のサンドイッチ成形によりプラスチック成形品を成形した。この例で用いたサンドイッチ成形装置は、2つの加熱シリンダーと、それらの先端ノズルと流通した金型とを備え、一方の加熱シリンダー(以下、第1加熱シリンダーともいう)から溶融樹脂を金型内に射出した後、他方の加熱シリンダー(以下、第2加熱シリンダーともいう)から溶融樹脂を射出充填して成形する公知のサンドイッチ成形装置である。この例のサンドイッチ成形では、次のようにしてプラスチック成形品を成形した。   Next, a plastic molded product was molded by a known sandwich molding using the two types of pellets obtained by the above method. The sandwich molding apparatus used in this example includes two heating cylinders and a die that circulates with the tip nozzles. The molten resin is fed from one heating cylinder (hereinafter also referred to as a first heating cylinder) into the mold. Is a known sandwich molding apparatus for injecting and molding molten resin from the other heating cylinder (hereinafter also referred to as a second heating cylinder). In the sandwich molding of this example, a plastic molded product was molded as follows.

まず、第1加熱シリンダー内に界面活性剤を含むポリカーボネート(第1プラスチック樹脂)のペレットを供給して、可塑化溶融した(図21中のステップS112)。また、第2加熱シリンダー内に界面活性剤を含まないポリカーボネート(第2プラスチック樹脂)のペレットを供給して、可塑化溶融した(図21中のステップS113)。次いで、第1加熱シリンダーから界面活性剤を含むポリカーボネートの溶融樹脂を金型内に射出した(図21中のステップS114)。次いで、溶融樹脂の射出経路を第2加熱シリンダーに切り替えて、第2加熱シリンダーから界面活性剤を含まないポリカーボネートの溶融樹脂を金型内に射出充填した(図21中のステップS115)。この結果、界面活性剤を含まないポリカーボネートからなるコア層と、コア層上に形成された界面活性剤を含むポリカーボネートからなるスキン層とを有するプラスチック成形品が得られた。この例では、このようにして、表面に界面活性剤が含浸したプラスチック成形品を作製した。なお、プラスチック成形品の成形方法としては、サンドイッチ成形に限らず、インサート成形、二色成形等を用いても良い。   First, pellets of polycarbonate (first plastic resin) containing a surfactant were supplied into the first heating cylinder and plasticized and melted (step S112 in FIG. 21). Moreover, pellets of polycarbonate (second plastic resin) not containing a surfactant were supplied into the second heating cylinder and plasticized and melted (step S113 in FIG. 21). Next, a molten polycarbonate resin containing a surfactant was injected from the first heating cylinder into the mold (step S114 in FIG. 21). Next, the injection route of the molten resin was switched to the second heating cylinder, and the molten resin of polycarbonate containing no surfactant was injected and filled into the mold from the second heating cylinder (step S115 in FIG. 21). As a result, a plastic molded article having a core layer made of polycarbonate containing no surfactant and a skin layer made of polycarbonate containing the surfactant formed on the core layer was obtained. In this example, a plastic molded article having a surface impregnated with a surfactant was produced in this manner. In addition, as a shaping | molding method of a plastic molded product, not only sandwich molding but insert molding, two-color molding, etc. may be used.

上記サンドイッチ成形で作製されたプラスチック成形品を、高圧二酸化炭素を溶媒として用い、プラスチック成形品表面から界面活性剤を除去した(図21中のステップS116)。本実施例においては超臨界状態となる温度40℃、圧力15MPaとし、30分洗浄処理を行った。これにより、プラスチック成形品の表面(スキン層)に浸透していたオクタエチレングリコールモノドデシルエーテルが脱離し、プラスチック成形品の表面に微細な凹凸(微細孔)が形成された。すなわち、上記洗浄処理により、プラスチック成形品の表面の形状を変化させた。この例では、このようにして、プラスチック成形品の表面改質を行った。   The plastic molded product produced by the sandwich molding was used to remove the surfactant from the surface of the plastic molded product using high-pressure carbon dioxide as a solvent (step S116 in FIG. 21). In this example, a supercritical state temperature of 40 ° C. and a pressure of 15 MPa were used, and a cleaning process was performed for 30 minutes. As a result, octaethylene glycol monododecyl ether that had permeated the surface (skin layer) of the plastic molded product was released, and fine irregularities (micropores) were formed on the surface of the plastic molded product. That is, the shape of the surface of the plastic molded product was changed by the cleaning treatment. In this example, the surface modification of the plastic molded product was performed in this way.

[メッキ膜の形成方法]
次に、上記表面改質方法により作製されたプラスチック成形品に実施例1と同様にして無電解メッキを施し、プラスチック成形品の表面にメッキ膜を形成した(図21中のステップS117及びS118)。その結果、実施例1〜4で形成したメッキ膜と同様に、この例で形成されたメッキ膜にはふくれがなく、テープ剥離試験による密着強度も良好であった。
[Method of forming plating film]
Next, electroless plating was applied to the plastic molded product produced by the surface modification method in the same manner as in Example 1 to form a plating film on the surface of the plastic molded product (steps S117 and S118 in FIG. 21). . As a result, like the plating films formed in Examples 1 to 4, the plating film formed in this example had no blistering, and the adhesion strength by the tape peeling test was good.

また、この例で形成したメッキ膜の表面粗さを、触針式表面粗さ測定装置(KLA−Tencor社製)にて測定したところ、算術平均粗さ(Ra)が16.2nmとなり、十点平均粗さ(Rz)が125.8nmとなり、従来のメッキ法(エッチング処理する方法)でプラスチック基材上に形成したメッキ膜(Ra≒数μm〜数十μm)に比べて非常に小さな値となり良好な表面粗さ(良好な平滑性)が得られた。すなわち、この例では、密着性及び平滑性の優れた無電解メッキ膜が表面に形成されたプラスチック成形品を得ることができた。   Further, when the surface roughness of the plating film formed in this example was measured with a stylus type surface roughness measuring apparatus (manufactured by KLA-Tencor), the arithmetic average roughness (Ra) was 16.2 nm, The point average roughness (Rz) is 125.8 nm, which is very small compared to the plating film (Ra≈several μm to several tens μm) formed on the plastic substrate by the conventional plating method (etching method). Thus, a good surface roughness (good smoothness) was obtained. That is, in this example, a plastic molded product having an electroless plating film excellent in adhesion and smoothness formed on the surface could be obtained.

上記実施例1〜5及び7〜13では、浸透物質(界面活性剤及び/又は金属錯体)を溶解槽で高圧流体に溶解させた例を説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、予め浸透物質が溶解した高圧流体を充填したボンベ等の貯蔵器を用い、その貯蔵器から浸透物質が溶解した高圧流体を直接プラスチック(または溶融樹脂)に供給(導入)しても良い。   In Examples 1 to 5 and 7 to 13, the example in which the osmotic material (surfactant and / or metal complex) is dissolved in the high-pressure fluid in the dissolution tank has been described, but the present invention is not limited thereto. For example, a reservoir such as a cylinder filled with a high-pressure fluid in which an osmotic substance is dissolved in advance may be used, and the high-pressure fluid in which the osmotic substance is dissolved may be directly supplied (introduced) from the reservoir to the plastic (or molten resin).

本発明の表面改質方法では、様々な種類のプラスチックに対して、高圧流体を用いてプラスチックの表面にサブミクロンからナノオーダーの微細な凹凸を形成することができる。それゆえ、例えば、本発明の表面改質方法を無電解メッキ前処理プロセスとして用いた場合には、低コストでクリーンな無電解メッキ前処理プロセスとして好適である。   In the surface modification method of the present invention, fine unevenness of sub-micron to nano order can be formed on the surface of a plastic using various types of plastics using a high pressure fluid. Therefore, for example, when the surface modification method of the present invention is used as a pretreatment process for electroless plating, it is suitable as a pretreatment process for electroless plating at low cost.

本発明の金属膜の形成方法では、従来のメッキ法のように有害なエッチャントを用いることなく、平滑性及び密着性の優れた金属膜を様々な種類のプラスチック表面に形成することができる。それゆえ、本発明の金属膜の形成方法は、あらゆる分野に適用可能であり且つ低コストでクリーンな金属膜の形成方法として好適である。また、本発明の金属膜の形成方法は、大面積の複雑な形状を有する成形品にも容易に適用可能である。   In the method for forming a metal film of the present invention, a metal film having excellent smoothness and adhesion can be formed on various types of plastic surfaces without using a harmful etchant as in the conventional plating method. Therefore, the metal film formation method of the present invention can be applied to all fields and is suitable as a low-cost and clean metal film formation method. Moreover, the method for forming a metal film of the present invention can be easily applied to a molded product having a complicated shape with a large area.

また、本発明の表面改質方法ではプラスチックの表面に微細孔を形成することができるので、次のような用途に用いることができる。例えば、プラスチックの材料にポリ乳酸等の生分解性プラスチックを用いた場合には、微細孔に細胞を培養する再生医療用デバイスとして適用することができる。また、微細孔のサイズを可視光の波長より十分小さい100nm以下程度にした場合には、空孔率を増やすことで成形品表面の屈折率を低減することができる。さらに、プラスチックの表面から内部までの空孔率分布に傾斜をつけることにより、表面反射率を抑制することができる。この場合、表面の空孔率をプラスチック内部よりも増大させる必要があるが、本発明の表面改質方法の界面活性剤の除去方法では、低分子成分は表面に近いほど多く抽出(除去)されるので、より容易にプラスチックの表面から内部までの空孔率分布の傾斜を制御できる。   Moreover, since the micropore can be formed in the surface of a plastic in the surface modification method of this invention, it can be used for the following uses. For example, when a biodegradable plastic such as polylactic acid is used as a plastic material, it can be applied as a regenerative medical device for culturing cells in micropores. Further, when the size of the micropores is about 100 nm or less, which is sufficiently smaller than the wavelength of visible light, the refractive index of the surface of the molded product can be reduced by increasing the porosity. Furthermore, the surface reflectance can be suppressed by inclining the porosity distribution from the surface to the inside of the plastic. In this case, it is necessary to increase the porosity of the surface as compared with the inside of the plastic. However, in the method for removing a surfactant in the surface modification method of the present invention, more low molecular components are extracted (removed) closer to the surface. Therefore, the inclination of the porosity distribution from the surface of the plastic to the inside can be controlled more easily.

図1は、実施例1で用いた表面改質装置の概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a surface modification apparatus used in Example 1. 図2は、成形されたプラスチック部材の表面のAFM観察像であり、図2(a)は界面活性剤除去前のAFM観察像であり、図2(b)は界面活性剤除去後のAFM観察像である。FIG. 2 is an AFM observation image of the surface of the molded plastic member, FIG. 2A is an AFM observation image before removing the surfactant, and FIG. 2B is an AFM observation after removing the surfactant. It is a statue. 図3は、実施例1の表面改質方法及び金属膜の形成方法の手順を説明するためのフローチャートである。FIG. 3 is a flowchart for explaining the procedure of the surface modification method and the metal film formation method according to the first embodiment. 図4は、実施例5で用いた表面改質装置の概略構成図である。FIG. 4 is a schematic configuration diagram of the surface modification apparatus used in Example 5. 図5は、図4中の破線Aで囲まれた領域の拡大断面図である。FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of a region surrounded by a broken line A in FIG. 図6は、実施例5の表面改質方法及び金属膜の形成方法の手順を説明するためのフローチャートである。FIG. 6 is a flowchart for explaining the procedure of the surface modification method and the metal film formation method according to the fifth embodiment. 図7は、実施例6で用いた表面改質装置の概略構成図である。FIG. 7 is a schematic configuration diagram of the surface modification apparatus used in Example 6. 図8は、図7中の破線Aで囲まれた領域の拡大断面図である。FIG. 8 is an enlarged sectional view of a region surrounded by a broken line A in FIG. 図9は、図7中の破線Aで囲まれた領域の拡大断面図である。FIG. 9 is an enlarged cross-sectional view of a region surrounded by a broken line A in FIG. 図10は、図7中の破線Aで囲まれた領域の拡大断面図である。FIG. 10 is an enlarged cross-sectional view of a region surrounded by a broken line A in FIG. 図11は、実施例6の表面改質方法及び金属膜の形成方法の手順を説明するためのフローチャートである。FIG. 11 is a flowchart for explaining the procedure of the surface modification method and the metal film formation method according to the sixth embodiment. 図12は、実施例7で用いた成形装置の概略構成図である。FIG. 12 is a schematic configuration diagram of the molding apparatus used in Example 7. 図13は、溶融樹脂の射出充填時の様子を示した図であり、図13(a)は、初期充填時の様子を示した図であり、図13(b)は、充填完了時の様子を示した図である。FIG. 13 is a view showing a state at the time of injection filling of a molten resin, FIG. 13 (a) is a view showing a state at the time of initial filling, and FIG. 13 (b) is a state at the time of filling completion. FIG. 図14は、実施例7の表面改質方法及び金属膜の形成方法の手順を説明するためのフローチャートである。FIG. 14 is a flowchart for explaining the procedure of the surface modification method and the metal film formation method of Example 7. 図15は、実施例9の表面改質方法及び金属膜の形成方法の手順を説明するためのフローチャートである。FIG. 15 is a flowchart for explaining the procedure of the surface modification method and the metal film formation method of Example 9. 図16は、実施例13で用いた成形装置の概略構成図である。FIG. 16 is a schematic configuration diagram of the molding apparatus used in Example 13. 図17は、インサート成形の方法を説明するための図面であり、溶融樹脂を射出する前の様子を示した図である。FIG. 17 is a view for explaining a method of insert molding, and shows a state before injecting molten resin. 図18は、インサート成形の方法を説明するための図面であり、溶融樹脂を射出充填した際の様子を示した図である。FIG. 18 is a view for explaining a method of insert molding, and is a view showing a state when the molten resin is injected and filled. 図19は、実施例13で作製されたプラスチック成形品の概略断面図である。FIG. 19 is a schematic cross-sectional view of the plastic molded product produced in Example 13. 図20は、実施例13の表面改質方法及び金属膜の形成方法の手順を説明するためのフローチャートである。FIG. 20 is a flowchart for explaining the procedure of the surface modification method and the metal film formation method of Example 13. 図21は、実施例14の表面改質方法及び金属膜の形成方法の手順を説明するためのフローチャートである。FIG. 21 is a flowchart for explaining the procedure of the surface modification method and metal film formation method of Example 14. 図22は、本発明の表面改質方法の手順を説明するためのフローチャートである。FIG. 22 is a flowchart for explaining the procedure of the surface modification method of the present invention. 図23は、本発明の金属膜の形成方法の手順を説明するためのフローチャートである。FIG. 23 is a flowchart for explaining the procedure of the metal film forming method of the present invention. 図24は、実施例10で用いたサンドイッチ成形装置の概略図である。FIG. 24 is a schematic view of the sandwich molding apparatus used in Example 10. 図25は、実施例10で用いたサンドイッチ成形方法の概念説明図である。FIG. 25 is a conceptual explanatory diagram of the sandwich molding method used in Example 10. 図26は、実施例10で用いたサンドイッチ成形方法の概念説明図である。FIG. 26 is a conceptual explanatory diagram of the sandwich molding method used in Example 10. 図27は、実施例10で用いたサンドイッチ成形方法の概念説明図である。FIG. 27 is a conceptual explanatory diagram of the sandwich molding method used in Example 10. 図28は、実施例10で用いたサンドイッチ成形方法の概念説明図である。FIG. 28 is a conceptual explanatory diagram of the sandwich molding method used in Example 10. 図29は、実施例10で用いたサンドイッチ成形方法の概念説明図である。FIG. 29 is a conceptual explanatory diagram of the sandwich molding method used in Example 10. 図30は、実施例10で用いたサンドイッチ成形方法の概念説明図である。FIG. 30 is a conceptual explanatory diagram of the sandwich molding method used in Example 10. 図31は、実施例10で用いた無電解メッキ装置の概略図である。FIG. 31 is a schematic view of the electroless plating apparatus used in Example 10. 図32は、実施例10の表面改質方法及び金属膜の形成方法の手順を説明するためのフローチャートである。FIG. 32 is a flowchart for explaining the procedure of the surface modification method and the metal film formation method of Example 10.

符号の説明Explanation of symbols

1 二酸化炭素ボンベ
2 シリンジポンプ
3 溶解槽
4 高圧容器
4’ 金型
5 回収槽
100,200,300 改質装置
101,201 プラスチック部材
202,302 凹部
203,303 スルーホール
305 界面活性剤
400,900 射出成形装置
600 押し出し成形装置
604 樹脂フィルム
604a 微細孔
605 成形品基材
606 メッキ触媒核
607 金属膜
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Carbon dioxide cylinder 2 Syringe pump 3 Dissolution tank 4 High pressure vessel 4 'Die 5 Collection tank 100, 200, 300 Reformer 101, 201 Plastic member 202, 302 Recess 203, 303 Through hole 305 Surfactant 400, 900 Injection Molding device 600 Extrusion molding device 604 Resin film 604a Fine hole 605 Molded product base material 606 Plating catalyst core 607 Metal film

Claims (21)

プラスチックの表面改質方法であって、
界面活性剤が表面近傍に分散したプラスチックを用意するステップと、
上記界面活性剤を溶媒で溶解させ、上記プラスチック表面から上記界面活性剤を除去するステップとを含む表面改質方法。
A method for surface modification of plastic,
Preparing a plastic in which a surfactant is dispersed in the vicinity of the surface;
Dissolving the surfactant with a solvent and removing the surfactant from the plastic surface.
上記界面活性剤にはフッ素が含まれていることを特徴とする請求項1記載の表面改質方法 2. The surface modification method according to claim 1, wherein the surfactant contains fluorine. 上記界面活性剤はアミド基、アミン、アンモニア塩のいずれかを有することを特徴とする請求項1〜2記載の表面改質方法 3. The surface modification method according to claim 1, wherein the surfactant has an amide group, an amine, or an ammonia salt. 上記プラスチックの少なくとも表面近傍には金属微粒子が分散されていることを特徴とする請求項1記載の表面改質方法 2. The surface modification method according to claim 1, wherein metal fine particles are dispersed at least near the surface of the plastic. 上記プラスチックを用意するステップは、
高圧流体を用いて上記界面活性剤を上記プラスチック内部に浸透させることを含む
ことを特徴とする請求項1乃至4いずれか記載の表面改質方法
The step of preparing the plastic is as follows:
5. The surface modification method according to claim 1, further comprising infiltrating the surfactant into the plastic using a high-pressure fluid.
上記高圧流体を用いて界面活性剤をプラスチックの表面内部を浸透させることが、
上記界面活性剤を上記高圧流体に溶解させることと、
上記界面活性剤の溶解した高圧流体を上記プラスチックに接触させて上記界面活性剤を上記プラスチックの表面内部に浸透させることとを含むことを特徴とする請求項5に記載の表面改質方法。
Infiltrating the surface inside the plastic with a surfactant using the high-pressure fluid,
Dissolving the surfactant in the high pressure fluid;
6. The surface modification method according to claim 5, comprising bringing the high-pressure fluid in which the surfactant is dissolved into contact with the plastic and allowing the surfactant to penetrate into the surface of the plastic.
上記高圧流体を用いて界面活性剤をプラスチックの表面内部を浸透させることが、
上記界面活性剤あるいは界面活性剤の溶解した溶液を上記プラスチックの表面に塗布することと、
上記界面活性剤が塗布されたプラスチックに上記高圧流体を接触させて、上記界面活性剤を上記プラスチックの表面内部に浸透させることとを含むことを特徴とする請求項5に記載の表面改質方法。
Infiltrating the surface inside the plastic with a surfactant using the high-pressure fluid,
Applying the surfactant or a dissolved solution of the surfactant to the surface of the plastic;
6. The surface modification method according to claim 5, comprising bringing the high-pressure fluid into contact with the plastic coated with the surfactant and allowing the surfactant to penetrate into the surface of the plastic. .
上記プラスチックが凹部を有しており、
上記界面活性剤を上記プラスチックの表面内部に浸透させる際に、
上記高圧流体を上記プラスチックに接触させた状態で、上記凹部により上記プ
ラスチックの表面に画成された開口を塞いで上記高圧流体を上記凹部に滞留させ、上記凹
部を画成する上記プラスチックの表面内部に上記界面活性剤を浸透させることを特徴とする請求項6又は7に記載の表面改質方法。
The plastic has a recess,
When penetrating the surfactant inside the plastic surface,
In the state where the high-pressure fluid is in contact with the plastic, the opening defined in the surface of the plastic is closed by the concave portion so that the high-pressure fluid stays in the concave portion, and the inside of the plastic surface defining the concave portion The surface modification method according to claim 6 or 7, wherein the surfactant is permeated into the surface.
上記表面改質方法が、金型と該金型内にプラスチックの溶融樹脂を射出する加熱シリン
ダーとを備えた射出成形機を用いた表面改質方法であり、
上記高圧流体を用いて界面活性剤をプラスチックの表面内部に浸透させることが、
上記界面活性剤が溶解した高圧流体を上記加熱シリンダー内に導入することと、上記溶融樹脂を上記金型のキャビティに射出充填することとを含むことを特徴とする請求項5に記載の表面改質方法。
The surface modification method is a surface modification method using an injection molding machine provided with a mold and a heating cylinder for injecting a molten plastic resin into the mold,
Infiltrating the surfactant into the surface of the plastic using the high-pressure fluid,
6. The surface modification according to claim 5, comprising introducing a high-pressure fluid in which the surfactant is dissolved into the heating cylinder, and injection-filling the molten resin into a cavity of the mold. Quality method.
上記表面改質方法が、押し出し成形機を用いた表面改質方法であり、
上記高圧流体を用いて界面活性剤をプラスチックの表面内部を浸透させることが、
上記界面活性剤を溶解した高圧流体を上記押し出し成形機内のプラスチックの溶融樹脂に接触させて、上記界面活性剤を該溶融樹脂に浸透させることと、上記溶融樹脂を押し出し成形することとを含むことを特徴とする請求項5に記載の表面改質方法。
The surface modification method is a surface modification method using an extrusion molding machine,
Infiltrating the surface inside the plastic with a surfactant using the high-pressure fluid,
Bringing the high-pressure fluid in which the surfactant is dissolved into contact with the plastic molten resin in the extrusion molding machine to infiltrate the surfactant into the molten resin, and extruding the molten resin. The surface modification method according to claim 5.
前記プラスチックを用意するステップは、
上記界面活性剤含有する樹脂のペレットを用意することと、
上記ペレットを可塑化溶融し、前記プラスチックを成形することを含む
ことを特徴とする請求項1乃至4いずれか記載の表面改質方法
The step of preparing the plastic comprises
Preparing pellets of resin containing the surfactant,
The surface modification method according to claim 1, comprising plasticizing and melting the pellets and molding the plastic.
上記プラスチックが凹部を有しており、
上記プラスチック表面から上記界面活性剤を除去するステップにおいて、
上記溶媒を上記凹部の表面のみに接触させて上記凹部に浸透した界面活性剤を除去することを特徴とする請求項1に記載の表面改質方法。
The plastic has a recess,
Removing the surfactant from the plastic surface;
2. The surface modification method according to claim 1, wherein the surfactant is allowed to contact only the surface of the recess to remove the surfactant that has permeated the recess.
上記プラスチック表面から界面活性剤を除去する溶媒には、高圧流体を用いることを特徴とする請求項6乃至12記載の表面改質方法   13. The surface modification method according to claim 6, wherein a high-pressure fluid is used as the solvent for removing the surfactant from the plastic surface. 上記高圧流体の圧力が、5〜25MPaであることを特徴とする請求項6〜13のいずれか一項に記載の表面改質方法。   The surface modification method according to any one of claims 6 to 13, wherein the pressure of the high-pressure fluid is 5 to 25 MPa. 上記高圧流体が、二酸化炭素であることを特徴とする請求項6〜14のいずれか一項に記載の表面改質方法。   The surface modification method according to any one of claims 6 to 14, wherein the high-pressure fluid is carbon dioxide. 上記プラスチックが熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂及び光硬化性樹脂のいずれか1つから形成されていることを特徴とする請求項1〜15のいずれか一項に記載の表面改質方法。   The surface modification method according to any one of claims 1 to 15, wherein the plastic is formed of any one of a thermoplastic resin, a thermosetting resin, and a photocurable resin. 上記界面活性剤の分子量が500〜10000であることを特徴とする請求項1〜16のいずれか一項に記載の表面改質方法。   The surface modification method according to any one of claims 1 to 16, wherein the surfactant has a molecular weight of 500 to 10,000. プラスチックの表面に金属膜を形成する方法であって、
界面活性剤が表面近傍に分散したプラスチックを用意することと、
上記界面活性剤を溶媒で溶解させ、上記プラスチック表面から上記界面活性剤を除去することと、
上記界面活性剤の除去されたプラスチックの表面に金属膜を形成することとを含む金属膜
の形成方法。
A method of forming a metal film on a plastic surface,
Preparing a plastic with a surfactant dispersed in the vicinity of the surface;
Dissolving the surfactant with a solvent to remove the surfactant from the plastic surface;
Forming a metal film on the surface of the plastic from which the surfactant has been removed.
プラスチックの表面に金属膜を形成する方法であって、
請求項1〜17いずれか記載の表面改質方法により、表面改質の行われたプラスチックの表面に金属膜を形成することとを含む金属膜の形成方法。
A method of forming a metal film on a plastic surface,
A method for forming a metal film, comprising: forming a metal film on a surface of a plastic subjected to surface modification by the surface modification method according to any one of claims 1 to 17.
上記金属膜を形成することが、
上記界面活性剤が除去されたプラスチックの表面にメッキ触媒核を付与することと、
無電解メッキ法により、上記メッキ触媒核が付与されたプラスチックの表面に金属膜を形成することとを含むことを特徴とする請求項18または19に記載の金属膜の形成方法。
Forming the metal film,
Providing a plating catalyst nucleus on the surface of the plastic from which the surfactant has been removed;
20. The method for forming a metal film according to claim 18, further comprising: forming a metal film on a surface of the plastic provided with the plating catalyst nucleus by an electroless plating method.
表面に金属膜が形成されたプラスチックであって、
界面活性剤が表面近傍に分散したプラスチックを用意し、
上記界面活性剤を溶媒で溶解させ、上記プラスチック表面から上記界面活性剤を除去した後に、
上記界面活性剤の除去されたプラスチックの表面に金属膜を形成することにより製造されたことを特徴とする表面に金属膜が形成されたプラスチック。
A plastic with a metal film formed on its surface,
Prepare a plastic with a surfactant dispersed near the surface.
After dissolving the surfactant with a solvent and removing the surfactant from the plastic surface,
A plastic having a metal film formed on the surface, wherein the plastic is manufactured by forming a metal film on the surface of the plastic from which the surfactant is removed.
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