JP2008227070A - 光起電力装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】低コストで、低反射率テクスチャ構造を有した光起電力装置の製造方法を提供する。
【解決手段】光起電力装置の製造方法は、シリコン基板上に耐エッチング性を有する膜を形成する工程と、焦点深度が10μm以上に調整されたレーザ光を照射することにより上記膜に複数の微細孔を開けて下地のシリコン基板表面を露出する工程と、上記シリコン基板の表面をエッチングする工程と、を含む。また、微細孔の直径は、隣接する微細孔同士の中心間の距離よりも小さい。
【選択図】図2
【解決手段】光起電力装置の製造方法は、シリコン基板上に耐エッチング性を有する膜を形成する工程と、焦点深度が10μm以上に調整されたレーザ光を照射することにより上記膜に複数の微細孔を開けて下地のシリコン基板表面を露出する工程と、上記シリコン基板の表面をエッチングする工程と、を含む。また、微細孔の直径は、隣接する微細孔同士の中心間の距離よりも小さい。
【選択図】図2
Description
この発明は、光起電力装置の製造方法に関し、特に基板表面での光反射率を低減し光吸収量を大きくし良好な光電変換効率を有する光起電力装置の製造方法に関する。
太陽電池等の光電変換装置の性能向上には、太陽光を効率よく太陽電池を構成する基板内部に取り込むことが大切である。そのため、光入射側の基板表面に凹凸加工を施して、表面で一度反射した光を再度表面に入射させることで、より多くの太陽光を基板内部に取込んで、光電変換効率の向上を図っている。
太陽電池用基板に凹凸を形成する表面加工方法としては、基板が単結晶基板の場合、エッチング速度に結晶方位依存性を持つ水酸化ナトリウムや水酸化カリウム等のアルカリ水溶液による結晶方位を利用した異方性エッチング処理が広く用いられる。例えば、(100)基板表面にこの異方性エッチング処理を行うと、(111)面が露出したピラミッド状の凹凸形状が形成される。
太陽電池用基板に凹凸を形成する表面加工方法としては、基板が単結晶基板の場合、エッチング速度に結晶方位依存性を持つ水酸化ナトリウムや水酸化カリウム等のアルカリ水溶液による結晶方位を利用した異方性エッチング処理が広く用いられる。例えば、(100)基板表面にこの異方性エッチング処理を行うと、(111)面が露出したピラミッド状の凹凸形状が形成される。
しかし、アルカリ水溶液を用いて異方性エッチングする方法では、基板に多結晶基板を用いると、エッチングレートが結晶面により大きく異なっていること、そして結晶面方位がそろっていないことにより、部分的にしかテクスチャ構造が作製できないため、反射率を低減するには限界があるという問題がある。例えば、波長628nmにおける反射率は、表面が鏡面研磨されたシリコンでは約36%であり、(100)面のシリコン単結晶基板をウェットエッチングした場合約15%となるのに対し、多結晶基板をウェットエッチングした場合では27〜30%程度である。
そこで結晶面方位によらず全面にテクスチャ構造を形成する方法として、フォトリソグラフィーで微細パターニングしたシリコン窒化膜をエッチングマスクとし、リアクティブイオンエッチング(以下、RIEと称す)処理を実施する方法が提案されている。RIE法は結晶面方位に対するエッチングレートの差がほとんどないため、マスク形状を最適に設計すれば、所望の密度、形状でテクスチャ構造を作製可能である(例えば、非特許文献1参照)。
Technical Digest of the International PVSEC、1993年、p.99
しかし、フォトリソグラフィー技術とRIE法を組み合わせた方法では、所望の形状、密度にテクスチャ形状を制御することが可能であるが、工程が複雑となり処理コストが大幅に上昇するので実用的でないという問題がある。
また、太陽電池基板では基板前処理を実施した時点で結晶面方位に応じた段差が生じているため、フォトリソグラフィーで用いられるような液体レジスト塗布が必要な工程では、カバレジ不良が発生しやすいという問題がある。
また、焦点深度の浅いフォトリソグラフィーの光学系では基板表面の段差によるパターンのぼやけが発生し、最良な反射防止効果を得ることができないという問題がある。
また、太陽電池基板では基板前処理を実施した時点で結晶面方位に応じた段差が生じているため、フォトリソグラフィーで用いられるような液体レジスト塗布が必要な工程では、カバレジ不良が発生しやすいという問題がある。
また、焦点深度の浅いフォトリソグラフィーの光学系では基板表面の段差によるパターンのぼやけが発生し、最良な反射防止効果を得ることができないという問題がある。
この発明の目的は、低コストで、低反射率テクスチャ構造を有した光起電力装置の製造方法を提供することである。
この発明に係る光起電力装置の製造方法は、シリコン基板上に耐エッチング性を有する膜を形成する工程と、焦点深度が10μm以上に調整されたレーザ光を照射することにより上記膜に複数の微細孔を開けて下地のシリコン基板表面を露出する工程と、上記シリコン基板の表面をエッチングする工程と、を含む。
この発明に係る光起電力装置の製造方法の効果は、耐エッチング膜に開けられた複数の微細孔を通してシリコン基板をエッチングするため、シリコン基板上に結晶面方位に影響されない微細な凹凸が作製され表面反射損失の少ない光起電力装置を製造することができることである。
実施の形態1.
この発明の実施の形態1に係る光起電力装置の製造方法において用いられる材料および装置を説明する。
シリコン基板1は、民生用太陽電池向けとして最も多く使用されている多結晶シリコン基板であり、多結晶シリコンインゴットからマルチワイヤーソーでスライスした後に、酸またはアルカリ溶液を用いたウェットエッチングでスライス時のダメージを除去したものである。ダメージ除去後の基板厚みは250μm、寸法は150mm×150mmである。
耐エッチング性を有する膜(以下、「耐エッチング膜」と称す)2は、プラズマCVD法により成膜された膜厚240nmの窒化シリコン膜(以下、「SiN膜」と称す)である。
この発明の実施の形態1に係る光起電力装置の製造方法において用いられる材料および装置を説明する。
シリコン基板1は、民生用太陽電池向けとして最も多く使用されている多結晶シリコン基板であり、多結晶シリコンインゴットからマルチワイヤーソーでスライスした後に、酸またはアルカリ溶液を用いたウェットエッチングでスライス時のダメージを除去したものである。ダメージ除去後の基板厚みは250μm、寸法は150mm×150mmである。
耐エッチング性を有する膜(以下、「耐エッチング膜」と称す)2は、プラズマCVD法により成膜された膜厚240nmの窒化シリコン膜(以下、「SiN膜」と称す)である。
図1は、この発明の実施の形態1に係る光起電力装置の製造方法で使用する耐エッチング膜に複数の開口を開ける装置の光学系の説明図である。
耐エッチング膜2に複数の微細孔である開口10を開ける装置では、レーザ発振装置3から発せられたレーザ光4aは、反射鏡5により光路を変更された後、ビームスプリッタ6により拡大されてマスク7に入射される。マスク7を通過したレーザ光4bは、縮小光学系8を経て加工対象である耐エッチング膜2に照射される。
なお、実施の形態1ではレーザ発振装置3としてNd:YAGレーザと3倍高調波発生器を組み合わせたものを使用した。この結果、レーザ光の波長が355nmとなり、SiN膜が吸収可能な波長となる。また、光学系の焦点深度は、10μm以上に設定している。
耐エッチング膜2に複数の微細孔である開口10を開ける装置では、レーザ発振装置3から発せられたレーザ光4aは、反射鏡5により光路を変更された後、ビームスプリッタ6により拡大されてマスク7に入射される。マスク7を通過したレーザ光4bは、縮小光学系8を経て加工対象である耐エッチング膜2に照射される。
なお、実施の形態1ではレーザ発振装置3としてNd:YAGレーザと3倍高調波発生器を組み合わせたものを使用した。この結果、レーザ光の波長が355nmとなり、SiN膜が吸収可能な波長となる。また、光学系の焦点深度は、10μm以上に設定している。
マスク7としては、金属板に開口を施したものを使用した。マスク7を通過したレーザ光4bは縮小されて加工対象に照射されるため、マスクパターンは比較的大きくてもよく、従って、金属板にウェットエッチングまたはサンドブラストを用いて開口したものでも使用可能である。または、ガラス板にクロム膜等の薄膜金属パターンを形成したガラスマスクも使用可能である。この場合はガラスの透過率と金属薄膜の耐性に留意する必要がある。
図2は、この発明の実施の形態1に係る光起電力装置の製造方法の工程の一部を示す図である。
第1工程では、図2(a)に示すように、シリコン基板1上に耐エッチング膜2を形成する。
第2工程では、図2(b)に示すように、レーザ光を用いて耐エッチング膜2に開口10を直接形成する。実施の形態1では耐エッチング膜2に形成する開口10を四角格子点上に設ける。
多結晶基板の表面はワイヤーソーでの切断面の凹凸が5μm程度ある。アルカリ溶液によるエッチングを行ったとしても、エッチング速度の面方位依存性により同程度のピラミッド状あるいは逆ピラミッド状などの段差が生じる。段差は、処理条件によるが5μm程度にも及ぶ。このような段差のあるシリコン基板1に対して、通常の露光装置のように焦点深度の浅いものを使用して露光するとパターンに変形が生じるが、本発明で使用している光学系では焦点深度が10μm以上に設定されているため、所望のパターン形状を得ることができる。
第1工程では、図2(a)に示すように、シリコン基板1上に耐エッチング膜2を形成する。
第2工程では、図2(b)に示すように、レーザ光を用いて耐エッチング膜2に開口10を直接形成する。実施の形態1では耐エッチング膜2に形成する開口10を四角格子点上に設ける。
多結晶基板の表面はワイヤーソーでの切断面の凹凸が5μm程度ある。アルカリ溶液によるエッチングを行ったとしても、エッチング速度の面方位依存性により同程度のピラミッド状あるいは逆ピラミッド状などの段差が生じる。段差は、処理条件によるが5μm程度にも及ぶ。このような段差のあるシリコン基板1に対して、通常の露光装置のように焦点深度の浅いものを使用して露光するとパターンに変形が生じるが、本発明で使用している光学系では焦点深度が10μm以上に設定されているため、所望のパターン形状を得ることができる。
第3工程では、図2(c)に示すように、パターニングされた耐エッチング膜2をマスクとしてシリコン基板1をエッチングする。エッチング液としてフッ酸硝酸混合液を用いた。混合比はフッ酸1:硝酸20:水10である。
図3は、耐エッチング膜2に形成された開口(図3(a)で外周を実線で表す)10とシリコン基板1をエッチングすることにより形成されるエッチング孔(図3(a)で外周を点線で表す)11の関係を示す図である。図3(a)は、耐エッチング膜2側から見たシリコン基板1の平面図である。図3(b)は、図3(a)のA−A断面での断面図である。
エッチング液でエッチングするとシリコン基板1は等方的にエッチングされるため、図3(b)に示すように、半球状のエッチング孔11が得られる。なお、得られたエッチング孔11は、図3(a)に示すように、上下左右に隣接するエッチング孔11同士は接しているが、対角方向に隣接するエッチング孔11同士は接しておらず、平坦な頂上部12が残存する。
図3は、耐エッチング膜2に形成された開口(図3(a)で外周を実線で表す)10とシリコン基板1をエッチングすることにより形成されるエッチング孔(図3(a)で外周を点線で表す)11の関係を示す図である。図3(a)は、耐エッチング膜2側から見たシリコン基板1の平面図である。図3(b)は、図3(a)のA−A断面での断面図である。
エッチング液でエッチングするとシリコン基板1は等方的にエッチングされるため、図3(b)に示すように、半球状のエッチング孔11が得られる。なお、得られたエッチング孔11は、図3(a)に示すように、上下左右に隣接するエッチング孔11同士は接しているが、対角方向に隣接するエッチング孔11同士は接しておらず、平坦な頂上部12が残存する。
図4は、左右上下に隣接する開口同士が接する場合の四角格子点上に形成された開口とシリコン基板をエッチングすることにより形成されるエッチング孔との関係を示す図である。図4(a)は、耐エッチング膜2側から見たシリコン基板1の平面図である。図4(b)は、図4(a)のB−B断面での断面図である。
開口10の直径が隣接する開口10同士の中心間距離よりも大きい場合、エッチング孔11の断面から分かるように2つのエッチング孔11の間に山は全くなくなり、ひとつにつながったエッチング孔11となってしまう。これでは十分な表面反射低減が実現できない。この理由から、実施の形態1では、開口10の直径は、隣接する開口10同士の中心間の距離よりも小さくなるように設定した。
第4工程では、図2(d)に示すように、フッ酸を用いて耐エッチング膜2を除去する。
開口10の直径が隣接する開口10同士の中心間距離よりも大きい場合、エッチング孔11の断面から分かるように2つのエッチング孔11の間に山は全くなくなり、ひとつにつながったエッチング孔11となってしまう。これでは十分な表面反射低減が実現できない。この理由から、実施の形態1では、開口10の直径は、隣接する開口10同士の中心間の距離よりも小さくなるように設定した。
第4工程では、図2(d)に示すように、フッ酸を用いて耐エッチング膜2を除去する。
以降の工程は図示しないが、一般的な多結晶シリコン基板を用いた光起電力装置の製造工程と同様であり、簡単に説明を行う。
第4工程の処理が完了したシリコン基板1を熱酸化炉へ投入し、オキシ塩化リン(POCl3)蒸気の存在下で加熱し、リンガラスを形成することでシリコン基板1中にリンを拡散させ、N層を形成する。拡散温度は840℃としている。
次に、フッ酸溶液中でリンガラス層を除去した後、反射防止膜としてプラズマCVD法によりSiN膜を形成する。膜厚および屈折率は光反射をもっとも抑制する値に設定する。なお、屈折率の異なる2層以上の膜を積層してもよい。
第4工程の処理が完了したシリコン基板1を熱酸化炉へ投入し、オキシ塩化リン(POCl3)蒸気の存在下で加熱し、リンガラスを形成することでシリコン基板1中にリンを拡散させ、N層を形成する。拡散温度は840℃としている。
次に、フッ酸溶液中でリンガラス層を除去した後、反射防止膜としてプラズマCVD法によりSiN膜を形成する。膜厚および屈折率は光反射をもっとも抑制する値に設定する。なお、屈折率の異なる2層以上の膜を積層してもよい。
次に、上部電極として銀の混入したペーストを櫛形にスクリーン印刷にて形成し、裏面電極としてアルミニウムの混入したペーストを全面にスクリーン印刷にて形成し、焼成処理を実施する。焼成は大気雰囲気中で760℃で実施する。このようにして光起電力装置が作製される。
この発明の実施の形態1に係る光起電力装置の製造方法は、耐エッチング膜2に開けた複数の開口10を通してシリコン基板1をエッチングするため、シリコン基板1上に結晶面方位に影響されない微細な凹凸であるエッチング孔11が作製され表面反射損失の少ない光起電力装置を製造することができる。
また、レーザ光を用いて耐エッチング膜2を加工するため、耐エッチング膜2に所望の形状の開口10を形成することができ、反射防止効果が最大となるテクスチャ構造を得ることができる。
また、耐エッチング膜2をレーザで直接加工するので、一般的なフォトリソグラフィーを用いる場合の問題点、すなわち液体レジスト塗布時のカバレジ不良、基板表面に存在する段差に起因する焦点ずれによるパターン崩れの問題、を回避しつつ、面方位によらないテクスチャ構造を形成することが可能である。
また、レーザ光を用いて耐エッチング膜2を加工するため、耐エッチング膜2に所望の形状の開口10を形成することができ、反射防止効果が最大となるテクスチャ構造を得ることができる。
また、耐エッチング膜2をレーザで直接加工するので、一般的なフォトリソグラフィーを用いる場合の問題点、すなわち液体レジスト塗布時のカバレジ不良、基板表面に存在する段差に起因する焦点ずれによるパターン崩れの問題、を回避しつつ、面方位によらないテクスチャ構造を形成することが可能である。
また、耐エッチング膜2としてプラズマCVD法により膜厚240nmのSiN膜を成膜したので、フォトリソグラフィーで用いられるような液体レジストをスピンコートで塗布する場合に問題となる回転塗布時の基板破損の問題も回避できる。
また、開口10の直径が、隣接する開口10同士の中心間の距離よりも小さいので、耐エッチング膜2の開口10がつながってしまうことがなく、エッチング孔11が溝状ではなく独立した窪み状となり、表面反射損失の少ない光起電力装置を製造することができる。
また、マスクによりレーザ光の一部を遮光して同時に複数の開口を開けるので、加工のスループットが向上する。
また、マスクによりレーザ光の一部を遮光して同時に複数の開口を開けるので、加工のスループットが向上する。
実施の形態2.
この発明の実施の形態2に係る光起電力装置の製造方法は、実施の形態1に係る光起電力装置の製造方法と第2工程が異なり、それ以外は同様であるので、同様な部分に同じ符号を付記し説明は省略する。
実施の形態1に係る第2工程では、耐エッチング膜2に開ける開口10を四角格子点上に設けているが、実施の形態2に係る第2工程では、耐エッチング膜2に形成する開口10を三角格子点上に設けており、それ以外は同様であるので、同様な部分に同じ符号を付記し説明は省略する。
図5は、耐エッチング膜2に形成された開口(図5(a)で外周を実線で表す)10とシリコン基板1をエッチングすることにより形成されるエッチング孔(図5(a)で外周を点線で表す)11との関係を示す図である。図5(a)は、耐エッチング膜2側から見たシリコン基板1の平面図である。図5(b)は、図5(a)のC−C断面での断面図である。
そして、実施の形態2においては、開口10を面内の最密構造に配置した。また、開口10の直径は、隣接する開口10同士の中心間の距離よりも小さくなるように設定した。
この発明の実施の形態2に係る光起電力装置の製造方法は、実施の形態1に係る光起電力装置の製造方法と第2工程が異なり、それ以外は同様であるので、同様な部分に同じ符号を付記し説明は省略する。
実施の形態1に係る第2工程では、耐エッチング膜2に開ける開口10を四角格子点上に設けているが、実施の形態2に係る第2工程では、耐エッチング膜2に形成する開口10を三角格子点上に設けており、それ以外は同様であるので、同様な部分に同じ符号を付記し説明は省略する。
図5は、耐エッチング膜2に形成された開口(図5(a)で外周を実線で表す)10とシリコン基板1をエッチングすることにより形成されるエッチング孔(図5(a)で外周を点線で表す)11との関係を示す図である。図5(a)は、耐エッチング膜2側から見たシリコン基板1の平面図である。図5(b)は、図5(a)のC−C断面での断面図である。
そして、実施の形態2においては、開口10を面内の最密構造に配置した。また、開口10の直径は、隣接する開口10同士の中心間の距離よりも小さくなるように設定した。
次に、実施の形態1のように開口10を四角格子点上に設けた場合と、実施の形態2のように開口10を三角格子点上に設けた場合の表面反射の低下への貢献を比較し説明する。
開口10を四角格子点上に設けると、図3に示したように、上下左右に隣接するエッチング孔11は接しているが、対角方向に隣接するエッチング孔11は接しておらず、平坦な頂上部12が残存する。
また、図6に示すように、対角方向に隣接するエッチング孔11が接するまでエッチングを進めると、上下左右に隣接するエッチング孔11同士が必要以上に重なり、その部分での山14が低くなる。このように頂上部12や低い山14が存在すると表面反射低下に限界がある。
開口10を四角格子点上に設けると、図3に示したように、上下左右に隣接するエッチング孔11は接しているが、対角方向に隣接するエッチング孔11は接しておらず、平坦な頂上部12が残存する。
また、図6に示すように、対角方向に隣接するエッチング孔11が接するまでエッチングを進めると、上下左右に隣接するエッチング孔11同士が必要以上に重なり、その部分での山14が低くなる。このように頂上部12や低い山14が存在すると表面反射低下に限界がある。
一方、開口10を三角格子点上に設けると、図5に示すように、左右上下対角方向に隣接する6個のエッチング孔11すべてが同一距離にあるため、平坦な頂上部が消滅するまでエッチングしても隣接するエッチング孔の間の山が低くなることを最低限に抑制でき、表面反射の低下に貢献できる。
具体的に、耐エッチング膜2の開口10の直径を5μm、隣接する開口10間のピッチを15μmとして開口し、その後、フッ酸硝酸混合液を用いてシリコン基板1をエッチングしたのち、耐エッチング膜2を除去した。
それから、表面反射スペクトルを積分球分光光度計により測定したところ、アルカリ処理のみ実施した基板では可視領域での反射率が26%であったのに対し、実施の形態2で加工したシリコン基板では9%であり、17%もの反射率抑制効果が確認できた。
それから、表面反射スペクトルを積分球分光光度計により測定したところ、アルカリ処理のみ実施した基板では可視領域での反射率が26%であったのに対し、実施の形態2で加工したシリコン基板では9%であり、17%もの反射率抑制効果が確認できた。
実施の形態3.
この発明の実施の形態3に係る光起電力装置の製造方法は、実施の形態1に係る光起電力装置の製造方法と第2工程が異なり、それ以外は同様であるので、同様な部分に同じ符号を付記し説明は省略する。
実施の形態1に係る第2工程では、マスク7を用いて多点照射を行うが、実施の形態3に係る第2工程では、スポット状に集光したレーザ光をガルバノミラー18でシリコン基板1上を走査して耐エッチング膜2に開口を形成する。
図7は、この発明の実施の形態3に係る光起電力装置の製造方法で使用する耐エッチング膜に複数の開口を開ける装置の光学系の説明図である。
耐エッチング膜2に複数の開口10を開ける装置では、図7に示すように、レーザ光4aをX軸走査用のガルバノミラー16で反射し、反射したレーザ光4をY軸走査用のガルバノミラー18で反射し、反射したレーザ光4cをシリコン基板1上の耐エッチング膜2上に照射する。
この発明の実施の形態3に係る光起電力装置の製造方法は、実施の形態1に係る光起電力装置の製造方法と第2工程が異なり、それ以外は同様であるので、同様な部分に同じ符号を付記し説明は省略する。
実施の形態1に係る第2工程では、マスク7を用いて多点照射を行うが、実施の形態3に係る第2工程では、スポット状に集光したレーザ光をガルバノミラー18でシリコン基板1上を走査して耐エッチング膜2に開口を形成する。
図7は、この発明の実施の形態3に係る光起電力装置の製造方法で使用する耐エッチング膜に複数の開口を開ける装置の光学系の説明図である。
耐エッチング膜2に複数の開口10を開ける装置では、図7に示すように、レーザ光4aをX軸走査用のガルバノミラー16で反射し、反射したレーザ光4をY軸走査用のガルバノミラー18で反射し、反射したレーザ光4cをシリコン基板1上の耐エッチング膜2上に照射する。
このようにX軸走査用のガルバノミラー16とY軸走査用のガルバノミラー18を回動することにより、シリコン基板1の全域に亘り、高速で開口10を開けることができる。具体的には、繰り返し周波数500kHzのレーザ光4aを用いたので、15μmピッチで1走査線あたり10000個の開口10を開けるために、ガルバノミラーのX軸方向の走査周波数を50Hzに設定した。一方、三角格子上の最密配置に開口するためには走査線のY方向の間隔は13μmに設定する必要があるため、基板面上でのY方向の走査速度を0.65mm/秒とした。このようにして、耐エッチング膜2に15μmピッチの最密配置で直径5μmの開口を開けることができた。
その後、フッ酸硝酸混合液を用いてシリコン基板1をエッチングしたのち、耐エッチング膜2を除去した。次に、表面反射スペクトルを積分球分光光度計により測定したところ、アルカリ処理のみ実施した基板では可視領域での反射率が26%であったのに対して、実施の形態3で加工した基板では11%であり、15%もの反射率抑制効果が確認できた。
その後、フッ酸硝酸混合液を用いてシリコン基板1をエッチングしたのち、耐エッチング膜2を除去した。次に、表面反射スペクトルを積分球分光光度計により測定したところ、アルカリ処理のみ実施した基板では可視領域での反射率が26%であったのに対して、実施の形態3で加工した基板では11%であり、15%もの反射率抑制効果が確認できた。
このようにレーザ光をガルバノメータにより耐エッチング膜2上を掃引することにより複数の開口を開けるので、加工のスループットが向上する。
1 シリコン基板、2 耐エッチング膜、3 レーザ発振装置、4、4a、4b、4c レーザ光、5 反射鏡、6 ビームスプリッタ、7 マスク、8 縮小光学系、10 開口、11 エッチング孔、12 頂上部、14 山、16、18 ガルバノミラー。
Claims (4)
- シリコン基板上に耐エッチング性を有する膜を形成する工程と、
焦点深度が10μm以上に調整されたレーザ光を照射することにより上記膜に複数の微細孔を開けて下地のシリコン基板表面を露出する工程と、
上記シリコン基板の表面をエッチングする工程と、
を含むことを特徴とする光起電力装置の製造方法。 - 上記微細孔の直径は、隣接する微細孔同士の中心間の距離よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載の光起電力装置の製造方法。
- 上記シリコン基板表面を露出する工程では、上記レーザ光の一部をマスクにより遮光することにより同時に上記複数の微細孔を開けることを特徴とする請求項2に記載の光起電力装置の製造方法。
- 上記シリコン基板表面を露出する工程では、上記レーザ光をガルバノメータにより上記膜上を掃引することにより上記複数の微細孔を開けることを特徴とする請求項2に記載の光起電力装置の製造方法。
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