JP2008226011A - Method and device for measuring distance in pattern data - Google Patents

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潤 牧原
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for measuring distance in pattern data, capable of easily performing measurement of distance between edges of pattern data displayed on a display device. <P>SOLUTION: In the method for measuring distance in pattern data for locating a pair of end points t1 and t2 of a ruler R on edges E1 and E2 of the pattern data displayed on the display device, and calculating the distance between end points to thereby measuring the distance between the edges E1 and E2 of the pattern data, the ruler R is moved by inputting one coordinate on the display device, and the distance between the end points t1 and t2 of the ruler R is measured. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

この発明は、表示装置上に表示される図形データのエッジ間の距離を測定する距離測定方法及び距離測定装置に関するものである。
近年、半導体集積回路の製造において、露光工程後の形状をシミュレーションする光強度シミュレーションで作成したウェハイメージ等をビュアー等の表示装置に図形データとして表示し、そのウェハイメージを目視により検査する図形検査が行われている。そして、このような図形検査の効率化が必要となっている。 The present invention relates to a distance measuring method and a distance measuring device for measuring a distance between edges of graphic data displayed on a display device.
In recent years, in the manufacture of semiconductor integrated circuits, there is a graphic inspection in which a wafer image or the like created by light intensity simulation for simulating the shape after the exposure process is displayed as graphic data on a display device such as a viewer, and the wafer image is visually inspected. Has been done. And the efficiency of such graphic inspection is required.

光強度シミュレーションで作成したウェハイメージあるいはその他の図形データを表示装置に表示して、図形検査を行う場合には、検査用ツールの一機能であるルーラ（ｒｕｌｅｒ）を使用して図形データの距離の測定が行われる。   When performing a graphic inspection by displaying a wafer image or other graphic data created by light intensity simulation on a display device, a ruler, which is a function of the inspection tool, is used to determine the distance of the graphic data. Measurement is performed.

例えば、図形データの間隔あるいは幅を測定する場合には、表示画面上の当該図形データの測定位置で、ルーラの始点と終点とをマウスでクリックして指定すると、その始点と終点間の距離が表示される。そして、このような始点と終点の指定を繰り返すことにより、種々の図形データの間隔あるいは幅の測定が行われる。   For example, when measuring the interval or width of graphic data, if you specify the start point and end point of the ruler by clicking with the mouse at the measurement position of the graphic data on the display screen, the distance between the start point and the end point will be Is displayed. Then, by repeating the designation of the start point and the end point, various graphic data intervals or widths are measured.

Ｘ軸方向及びＹ軸方向の直線のみで構成される矩形パターンの間隔あるいは幅を測定する場合には、上記のようなルーラの始点と終点を矩形パターンに直交する方向に指定することにより、図形データの間隔あるいは幅が容易に測定可能である。また、図形データのエッジ上に始点を指定すれば、その始点を含むＸ軸方向あるいはＹ軸方向の測定線と交差する他のエッジとの距離を測定可能となっている。   When measuring the interval or width of a rectangular pattern consisting only of straight lines in the X-axis direction and the Y-axis direction, specify the start and end points of the ruler as described above in the direction perpendicular to the rectangular pattern. The interval or width of data can be easily measured. Also, if a starting point is specified on the edge of the graphic data, it is possible to measure the distance from the other edge that intersects the measurement line in the X-axis direction or Y-axis direction including the starting point.

そして、測定された距離が仕様を満足しない場合には、シミュレーション条件を変更してウェハイメージが生成され、同様な距離測定作業が行われる。
特許文献１には、カーソルデバイスによりディジタイザー上の２点を指示すると、この２点を両端とする直線をディジタイザー上に表示する機能を備えた入力装置が開示されている。
特開平３−１５９３１号公報 If the measured distance does not satisfy the specifications, the simulation conditions are changed, a wafer image is generated, and a similar distance measurement operation is performed.
Patent Document 1 discloses an input device having a function of displaying, on a digitizer, a straight line having the two points as both ends when two points on the digitizer are designated by a cursor device.
Japanese Patent Laid-Open No. 3-15931

光強度シミュレーションで作成したウェハイメージは、エッジが曲線で表示される部分が多く、その曲線部分は多数の斜め辺を繋いで曲線に近似した図形データとして表示される。このような図形データでは、エッジ間の最大距離あるいは最小距離を測定するポイントを特定することが難しく、その最大距離あるいは最小距離となるポイントはＸ軸方向あるいはＹ軸方向の測定線上に位置するとは限らない。   The wafer image created by the light intensity simulation has many portions where the edges are displayed as curves, and the curved portions are displayed as graphic data that approximates a curve by connecting a large number of oblique sides. In such graphic data, it is difficult to specify a point for measuring the maximum distance or the minimum distance between edges, and the point that is the maximum distance or the minimum distance is located on the measurement line in the X-axis direction or the Y-axis direction. Not exclusively.

このため、最大距離あるいは最小距離を測定するためには、複数の測定ポイントでルーラの始点及び終点を指定して距離を測定する必要がある。また、測定された距離が真に最大値あるいは最小値であるか判定するためには、多数の測定ポイントで距離を測定する必要がある。従って、最大距離あるいは最小距離を測定するためには、ルーラの始点及び終点の指定を多数回繰り返す必要があり、測定作業が煩雑となる。   Therefore, in order to measure the maximum distance or the minimum distance, it is necessary to specify the start point and end point of the ruler at a plurality of measurement points and measure the distance. In order to determine whether the measured distance is truly the maximum value or the minimum value, it is necessary to measure the distance at a large number of measurement points. Therefore, in order to measure the maximum distance or the minimum distance, it is necessary to repeatedly specify the start point and end point of the ruler many times, and the measurement work becomes complicated.

この発明の目的は、表示装置に表示される図形データのエッジ間の距離の測定を容易に行い得る図形データの距離測定方法及び図形データの距離測定装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a graphic data distance measuring method and graphic data distance measuring device capable of easily measuring the distance between edges of graphic data displayed on a display device.

上記目的は、表示装置に表示される図形データのエッジ上にルーラの一対の端点を位置させ、該端点間の距離を算出することにより前記図形データのエッジ間の距離を測定する図形データの距離測定方法で、前記表示装置上の一つの座標を入力して前記ルーラを移動させ、該ルーラの端点間の距離を測定する図形データの距離測定方法により達成される。   The object is to place a pair of end points of the ruler on the edge of the graphic data displayed on the display device, and measure the distance between the edges of the graphic data by calculating the distance between the end points. The measurement method is achieved by a graphic data distance measurement method in which one coordinate on the display device is inputted to move the ruler and the distance between the end points of the ruler is measured.

また、上記目的は、図形データを格納する外部記憶装置と、前記図形データを表示する表示装置と、前記表示装置上で任意の座標を選択する入力装置と、前記図形データのエッジ間に位置させたルーラの一対の端点間の距離を測定する制御部とを備えた図形データの距離測定装置で、前記表示装置上で選択された一つの座標に基づいて前記ルーラを移動させ、該ルーラの端点間の距離を測定する測定制御部を備えた図形データの距離測定装置により達成される。   The above object is also provided between an external storage device for storing graphic data, a display device for displaying the graphic data, an input device for selecting arbitrary coordinates on the display device, and an edge of the graphic data. And a graphic data distance measuring device comprising a control unit for measuring a distance between a pair of end points of the ruler, and moving the ruler based on a single coordinate selected on the display device, This is achieved by a graphic data distance measuring device having a measurement control unit for measuring the distance between them.

本発明によれば、表示装置に表示される図形データのエッジ間の距離の測定を容易に行い得る図形データの距離測定方法及び図形データの距離測定装置を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a graphic data distance measuring method and a graphic data distance measuring apparatus capable of easily measuring a distance between edges of graphic data displayed on a display device.

以下、この発明を具体化した一実施の形態を図面に従って説明する。図１は、距離測定装置の概要を示す。入力装置１は、マウス、キーボード等であり、その操作信号は入力制御部２を介して主制御部３に出力される。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows an outline of a distance measuring device. The input device 1 is a mouse, a keyboard or the like, and its operation signal is output to the main control unit 3 via the input control unit 2.

外部記憶装置４には、あらかじめレイアウトデータが格納されている。このレイアウトデータは、光強度シミュレーションを行った結果の図形データであり、半導体装置を製造するためのレイアウトデータと所定のパラメータに基づいて光強度シミュレーションを行った結果得られる図形データである。   The external storage device 4 stores layout data in advance. This layout data is graphic data obtained as a result of performing light intensity simulation, and is graphic data obtained as a result of performing light intensity simulation based on layout data for manufacturing a semiconductor device and predetermined parameters.

メモリ５には図形データの距離を測定するために必要とするデータがあらかじめ格納されている。そのデータは、移動方法を設定するためのデータと、測定機能を設定するためのデータと、基準値を設定するためのデータと、許容範囲を設定するためのデータ等である。   The memory 5 stores data necessary for measuring the distance of graphic data in advance. The data includes data for setting a movement method, data for setting a measurement function, data for setting a reference value, data for setting an allowable range, and the like.

測定制御部６は、前記主制御部３の制御に基づいて動作し、外部記憶装置４に格納されているレイアウトデータと、メモリ５に格納されているデータとに基づいて図形データの距離の測定処理を行う。   The measurement control unit 6 operates based on the control of the main control unit 3, and measures the distance of graphic data based on the layout data stored in the external storage device 4 and the data stored in the memory 5. Process.

前記主制御部３は、前記入力制御部２の出力信号に基づいて前記測定制御部６を制御し、測定制御部６による処理動作を出力制御部７に出力する。出力制御部７は、入力された信号に基づいて測定制御部６の処理動作を表示装置８に表示する。   The main control unit 3 controls the measurement control unit 6 based on the output signal of the input control unit 2 and outputs the processing operation by the measurement control unit 6 to the output control unit 7. The output control unit 7 displays the processing operation of the measurement control unit 6 on the display device 8 based on the input signal.

次に、上記のような図形データの距離測定装置の主制御部３及び測定制御部６による図形データの距離測定処理を説明する。図２に示すように、主制御部３は処理動作の開始に基づいてルーラの移動方法の設定を行う（ステップ１）。ステップ１の詳細を図３に従って説明すると、まず表示装置８にプルダウンメニューの表示が行われ（ステップ１-ａ）、そのメニューの中からルーラの端点の移動方法を選択可能となる（ステップ１-ｂ）。その移動方法は、例えば図１６（ａ）に示すように、図形データのエッジＥ１，Ｅ２間を結ぶルーラＲの端点ｔ１，ｔ２のいずれか一方の端点をエッジＥ２に沿って移動させるか、あるいは図１６（ｂ）に示すように、ルーラＲを平行移動させて端点ｔ１，ｔ２を各エッジＥ１，Ｅ２に沿って移動させるかのいずれかである。   Next, graphic data distance measurement processing by the main control unit 3 and the measurement control unit 6 of the graphic data distance measuring apparatus as described above will be described. As shown in FIG. 2, the main control unit 3 sets a ruler moving method based on the start of the processing operation (step 1). The details of Step 1 will be described with reference to FIG. 3. First, a pull-down menu is displayed on the display device 8 (Step 1-a), and the moving method of the end points of the ruler can be selected from the menu (Step 1-). b). For example, as shown in FIG. 16A, either one of the end points t1 and t2 of the ruler R connecting the edges E1 and E2 of the graphic data is moved along the edge E2. As shown in FIG. 16B, the ruler R is translated to move the end points t1 and t2 along the edges E1 and E2.

そして、ステップ１-ｂによる選択により、端点移動モード（ステップ１-ｃ）あるいは平行移動モード（ステップ１-ｄ）のいずれかが設定される。
ステップ１で移動モードの設定を行った後、ステップ２では設定された移動モードを判定し、端点移動モードが設定されていればステップ３に移行し、平行移動モードが設定されていれば、ステップ４に移行する。 Then, either the end point movement mode (step 1-c) or the parallel movement mode (step 1-d) is set by the selection in step 1-b.
After the movement mode is set in step 1, the set movement mode is determined in step 2. If the end point movement mode is set, the process proceeds to step 3, and if the parallel movement mode is set, the step is performed. 4

ステップ３では端点の設定が行われる。その詳細を図４に従って説明すると、まずプルダウンメニューの表示が行われ（ステップ３-ａ）、そのメニューで例えば図１６（ａ）に示すルーラＲの始点である端点ｔ１と、ルーラＲの終点である端点ｔ２とのいずれかを選択可能となる（ステップ３-ｂ）。そして、始点である端点ｔ１を選択すると、端点ｔ１を移動可能とするモードが設定され（ステップ３-ｃ）、終点である端点ｔ２を選択すると、端点ｔ２を移動可能とするモードが設定される（ステップ３-ｄ）。   In step 3, end points are set. The details will be described with reference to FIG. 4. First, a pull-down menu is displayed (step 3-a). In the menu, for example, the end point t1 that is the start point of the ruler R and the end point of the ruler R shown in FIG. Any one of the end points t2 can be selected (step 3-b). When the end point t1 that is the start point is selected, a mode that allows the end point t1 to move is set (step 3-c), and when the end point t2 that is the end point is selected, a mode that enables the end point t2 to move is set. (Step 3-d).

ステップ４では移動方向の設定が行われる。その詳細を図５に従って説明すると、まずプルダウンメニューの表示が行われ（ステップ４-ａ）、そのメニューでルーラＲの方向の選択が可能となる（ステップ４-ｂ）。   In step 4, the moving direction is set. The details will be described with reference to FIG. 5. First, a pull-down menu is displayed (step 4-a), and the direction of the ruler R can be selected from the menu (step 4-b).

ルーラＲの方向は、図１６（ｃ）に示すように、ｘ軸に平行となる方向と、同図（ｄ）に示すように、ｙ軸に平行となる方向と、同図（ｂ）に示すように、ｘ軸あるいはｙ軸に対し左上となる斜め４５度方向と、ｘ軸あるいはｙ軸に対し右上となる斜め４５度方向と、任意方向のいずれかから選択される。   The direction of the ruler R is as shown in FIG. 16 (c), parallel to the x axis, as shown in FIG. 16 (d), in the direction parallel to the y axis, and in FIG. 16 (b). As shown in the figure, the direction is selected from any one of an arbitrary direction and an oblique 45 degree direction that is upper left with respect to the x axis or the y axis, an oblique 45 degree direction that is upper right with respect to the x axis or the y axis.

そして、ステップ４-ｃ〜４-ｆで選択された方向が設定され、次いでステップ４-ｈでルーラの基点の座標を指定すると、指定された座標と選択された方向とに基づいてルーラＲが更新される（ステップ４-ｉ）。ここで、ルーラの基点の座標はルーラの始点あるいは終点のいずれかとなるエッジ上の点である。また、ステップ４-ｇが選択された場合には、ステップ４-ｈ，４-ｉはパスする。   Then, when the direction selected in steps 4-c to 4-f is set, and then the coordinates of the base point of the ruler are designated in step 4-h, the ruler R is determined based on the designated coordinates and the selected direction. It is updated (step 4-i). Here, the coordinates of the base point of the ruler are points on the edge that are either the start point or end point of the ruler. If step 4-g is selected, steps 4-h and 4-i are passed.

ステップ３，４に次いで、移動方法の変更があるか否かが判別され（ステップ５）、変更がある場合にはステップ１に復帰し、変更がない場合にはステップ６に移行する。ステップ６では、端点の設定あるいは移動方向の設定に変更があるか否かを判定し、変更がある場合にはステップ２に移行し、変更がない場合にはステップ７に移行する。ステップ７では、測定機能の変更を行うか否かを選択し、変更を行う場合にはステップ８に移行し、行わない場合にはステップ９に移行する。   After steps 3 and 4, it is determined whether or not there is a change in the moving method (step 5). If there is a change, the process returns to step 1, and if there is no change, the process proceeds to step 6. In Step 6, it is determined whether or not there is a change in the setting of the end point or the setting of the movement direction. If there is a change, the process proceeds to Step 2, and if there is no change, the process proceeds to Step 7. In step 7, it is selected whether or not to change the measurement function. If the change is to be made, the process proceeds to step 8. If not, the process proceeds to step 9.

ステップ８では測定機能の設定が行われる。その詳細を図６に従って説明する。まずプルダウンメニューの表示が行われ（ステップ８-ａ）、そのメニューで測定機能の選択が可能となる（ステップ８-ｂ）。測定機能の内訳は、差分表示の設定（ステップ８-ｃ）と、マーキングの設定（ステップ８-ｄ）と、機能解除（ステップ８-ｅ）である。   In step 8, the measurement function is set. Details thereof will be described with reference to FIG. First, a pull-down menu is displayed (step 8-a), and the measurement function can be selected from the menu (step 8-b). The breakdown of the measurement function is the difference display setting (step 8-c), the marking setting (step 8-d), and the function release (step 8-e).

ステップ８-ｃの差分表示の設定の詳細を図７に従って説明する。差分表示の設定は、図形データの距離を測定する場合に、当該距離と基準値との差分を表示する機能であり、ステップ８-ｃ-ａでは差分表示の選択を行う。差分表示の選択は、差分を演算するための基準値を選択する処理であり、基準値をあらかじめ登録するか、あるいは任意の測定値を基準値として登録するかを選択する。   Details of the difference display setting in step 8-c will be described with reference to FIG. The difference display setting is a function for displaying the difference between the distance and the reference value when measuring the distance of the graphic data. In step 8-ca, the difference display is selected. The selection of the difference display is a process of selecting a reference value for calculating the difference, and selects whether the reference value is registered in advance or an arbitrary measured value is registered as the reference value.

そして、基準値をあらかじめ登録する場合にはステップ８-ｃ-ｂに移行して入力装置１で基準値を入力し、その基準値を登録する（ステップ８-ｃ-ｃ）。
また、測定値を基準値として登録する場合には、ステップ８-ｃ-ｄに移行して現在の距離、すなわちルーラの両端子間の距離を基準値として登録する。 When the reference value is registered in advance, the process proceeds to step 8-c-b where the reference value is input by the input device 1 and the reference value is registered (step 8-c-c).
When registering the measured value as a reference value, the process proceeds to step 8-cd to register the current distance, that is, the distance between both terminals of the ruler, as the reference value.

ステップ８-ｄのマーキングの設定の詳細を図８に従って説明する。マーキングの設定は、図形データの距離を測定する場合に、当該測定値が最大値の場合、最小値の場合あるいはあらかじめ設定された許容範囲内の場合に表示装置８上にマーキングを表示するための設定である。そして、ステップ８-ｄ-ａでは最大値でマーキングを表示するか、最小値でマーキングを表示するか、あるいはあらかじめ設定された許容範囲を外れるときマーキングを表示するかを選択する。   Details of the marking setting in step 8-d will be described with reference to FIG. The marking is set to display the marking on the display device 8 when measuring the distance of the graphic data, when the measured value is the maximum value, the minimum value, or within the preset allowable range. It is a setting. In step 8-da, it is selected whether to display the marking at the maximum value, to display the marking at the minimum value, or to display the marking when it falls outside the preset allowable range.

ステップ８-ｄ-ａにおいて最大値でマーキングを表示する設定が選択されると、ステップ８-ｄ-ｂに移行して、測定値が最大値となったときその測定値を表示する機能を設定する。また、ステップ８-ｄ-ａにおいて最小値でマーキングを表示する設定が選択されると、ステップ８-ｄ-ｃに移行して、測定値が最小値となったときその測定値を表示する機能を設定する。   When the setting to display the marking with the maximum value is selected in Step 8-da, the process proceeds to Step 8-db to set the function to display the measurement value when the measurement value reaches the maximum value. To do. Further, when the setting for displaying the marking with the minimum value is selected in Step 8-da, the function moves to Step 8-dc and displays the measured value when the measured value becomes the minimum value. Set.

また、ステップ８-ｄ-ａにおいて許容範囲内でマーキングを表示する設定が選択されると、ステップ８-ｄ-ｄに移行して、許容範囲内でマーキングを表示する機能を設定する。そして、入力装置１で基準値を入力すると（ステップ８-ｄ-ｅ）、その基準値が登録され（ステップ８-ｄ-ｆ）、入力装置１で許容範囲を入力すると（ステップ８-ｄ-ｇ）、その許容範囲が登録される（ステップ８-ｄ-ｈ）。   When the setting for displaying the marking within the allowable range is selected in Step 8-da, the process proceeds to Step 8-d-d to set the function for displaying the marking within the allowable range. When a reference value is input with the input device 1 (step 8-d-e), the reference value is registered (step 8-df), and when an allowable range is input with the input device 1 (step 8-d-). g) The allowable range is registered (step 8-dh).

ステップ８-ｂで機能解除が選択されると、ステップ８-ｅに移行し、ステップ８-ｃ，ステップ８-ｄで設定された機能を解除する。以上の処理によりステップ８が終了すると、ステップ５に復帰する。   When function release is selected in step 8-b, the process proceeds to step 8-e, and the function set in step 8-c and step 8-d is released. When step 8 is completed by the above processing, the process returns to step 5.

ステップ７で測定機能の変更が選択されない場合には、ステップ９に移行してルーラの移動が指定されたか否かを判定し、ルーラの移動が指定された場合にはステップ１０に移行してルーラの移動と距離の測定及びその表示を行う。   If the change of the measurement function is not selected in step 7, the process proceeds to step 9 to determine whether or not the ruler movement is designated. If the ruler movement is designated, the process proceeds to step 10 and the ruler. Measurement and display of movement and distance.

ステップ１０の詳細を図９〜図１５に従って説明する。図９に示すように、まずステップ８で設定された測定機能を参照する（ステップ１０-ａ）。そして、設定されている測定機能に対応して、距離の表示の設定（ステップ１０-ｂ）と、差分表示の設定（ステップ１０-ｃ）と、最大値表示の設定（ステップ１０-ｄ）と、最小値表示の設定（ステップ１０-ｅ）と、許容範囲表示の設定（ステップ１０-ｆ）の少なくともいずれかを行う。   Details of step 10 will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 9, first, the measurement function set in step 8 is referred to (step 10-a). Then, in accordance with the set measurement function, the distance display setting (step 10-b), the difference display setting (step 10-c), and the maximum value display setting (step 10-d) Then, at least one of setting of minimum value display (step 10-e) and setting of allowable range display (step 10-f) is performed.

ステップ１０-ｂの距離の表示の設定の詳細を図１０に従って説明する。まず表示装置８上でカーソルを所望位置に移動させた状態でマウスボタンを押し下げると（ステップ１０-ｂ-ａ）、当該カーソル位置の座標が取り込まれ（ステップ１０-ｂ-ｂ）、ステップ１０-ｂ-ｃに移行する。   Details of the setting of the distance display in step 10-b will be described with reference to FIG. First, when the mouse button is depressed with the cursor moved to a desired position on the display device 8 (step 10-ba), the coordinates of the cursor position are fetched (step 10-bb), and step 10-. Transition to bc.

ステップ１０-ｂ-ｃでは測定線の移動が行われ、その詳細を図１１に示す。ステップ１０-ｂ-ｃ-ａでは、まず移動方法の参照を行う。すなわち、ステップ１-ｃで端点移動モードが設定され、ステップ３-ｃで始点を移動可能とする設定がなされている場合には、ステップ１０-ｂ-ｃ-ｂに移行して、ステップ１０-ｂ-ｂで取り込まれた座標と終点とを結ぶ線を測定線として設定する。   In step 10-bc, the measurement line is moved, and details thereof are shown in FIG. In step 10-b-c-a, reference is first made to the movement method. That is, if the end point movement mode is set in step 1-c and the start point is set to be movable in step 3-c, the process proceeds to step 10-bc-b, and step 10- A line connecting the coordinates acquired at bb and the end point is set as a measurement line.

また、ステップ１-ｃで端点移動モードが設定され、ステップ３-ｄで終点を移動可能とする設定がなされている場合には、ステップ１０-ｂ-ｃ-ｃに移行して、ステップ１０-ｂ-ｂで取り込まれた座標と始点とを結ぶ線を測定線として設定する。   If the end point movement mode is set in step 1-c and the end point is set to be movable in step 3-d, the process proceeds to step 10-bc-c. A line connecting the coordinates acquired at bb and the start point is set as a measurement line.

また、ステップ１-ｄで平行移動モードが設定されていると、ステップ４で設定された移動方向に従って、ステップ１０-ｂ-ｂで取り込まれた座標上に平行移動する（ステップ１０-ｂ-ｃ-ｄ）。   If the translation mode is set in step 1-d, the translation is performed on the coordinates acquired in step 10-bb according to the movement direction set in step 4 (step 10-bc). -d).

ステップ１０-ｂ-ｃで測定線の移動が行われた後、ステップ１０-ｂ-ｄでは測定線と図形データのエッジとが交差するか否かを判別する。そして、交差する場合には測定線とエッジとの交点座標を算出し（ステップ１０-ｂ-ｅ）、始点あるいは終点との距離を算出する（ステップ１０-ｂ-ｆ）。また、ステップ１０-ｂ-ｄで測定線と図形エッジが交差しない場合には、ステップ５に復帰する。   After the measurement line is moved in step 10-bc, it is determined in step 10-bd whether the measurement line and the edge of the graphic data intersect. When intersecting, the intersection coordinates of the measurement line and the edge are calculated (step 10-b-e), and the distance to the start point or the end point is calculated (step 10-b-f). On the other hand, if the measurement line does not intersect with the graphic edge in step 10-bd, the process returns to step 5.

次いで、測定線の移動にともなってルーラの表示を更新し（ステップ１０-ｂ-ｇ）、ルーラの端点間の距離を表示し（ステップ１０-ｂ-ｈ）、ステップ１０-ｂ-ａに復帰して次のマウスボタンの押し下げを待つ状態となる。なお、ステップ１０-ｂ-ａでマウスボタンの押し下げを終了すると、ステップ５に復帰する。   Next, the display of the ruler is updated with the movement of the measurement line (step 10-bg), the distance between the end points of the ruler is displayed (step 10-bh), and the process returns to step 10-b-a. Then, it waits for the next mouse button to be pressed. When the mouse button has been pressed in step 10-ba, the process returns to step 5.

ステップ１０-ｃの差分表示の設定の詳細を図１２に従って説明する。ステップ１０-ｃでは、図１０に示すステップ１０-ｂ-ａ〜ステップ１０-ｂ-ｆの処理Ａと同様な処理を行ってルーラの端点間の距離を測定した後、差分の計算を行う（ステップ１０-ｃ-ａ）。   Details of the difference display setting in step 10-c will be described with reference to FIG. In step 10-c, the same process as the process A in steps 10-ba to 10-bf shown in FIG. 10 is performed to measure the distance between the end points of the ruler, and then the difference is calculated ( Step 10-ca).

この差分の計算は、ステップ８-ｃで設定された基準値に基づいて行われる。そして、測定線の移動にともなってルーラの表示を更新し（ステップ１０-ｃ-ｂ）、ルーラの端点間の距離と差分を表示し（ステップ１０-ｃ-ｃ）、処理Ａに復帰して次のマウスボタンの押し下げを待つ状態となる。   This difference calculation is performed based on the reference value set in step 8-c. Then, the display of the ruler is updated with the movement of the measurement line (step 10-c-b), the distance and the difference between the end points of the ruler are displayed (step 10-c-c), and the process A is returned to. Waits for the next mouse button press.

ステップ１０-ｄの最大値表示の設定の詳細を図１３に従って説明する。ステップ１０-ｄでは、図１０に示すステップ１０-ｂ-ａ〜ステップ１０-ｂ-ｆの処理Ａと同様な処理を行ってルーラの端点間の距離を測定した後、その測定値と最大値との比較を行う（ステップ１０-ｄ-ａ）。つまり、マウスボタンの押し下げに基づいて算出される測定値とそれ以前の測定値の中の最大値とを比較する。   Details of the setting of the maximum value display in step 10-d will be described with reference to FIG. In step 10-d, the same processing as the processing A in step 10-ba to step 10-bf shown in FIG. 10 is performed to measure the distance between the end points of the ruler. (Step 10-da). That is, the measured value calculated based on the depression of the mouse button is compared with the maximum value among the previous measured values.

そして、新たな測定値がそれまでの最大値より小さい場合には処理Ａを繰り返し、新たな測定値がそれまでの最大値より大きい場合には、ステップ１０-ｄ-ｂに移行して、最大値情報を更新し、最大値となるルーラを表示するマーキングの更新を行う（ステップ１０-ｄ-ｃ）。   Then, if the new measurement value is smaller than the previous maximum value, the process A is repeated, and if the new measurement value is larger than the previous maximum value, the process proceeds to step 10-db, and the maximum The value information is updated, and the marking for displaying the ruler having the maximum value is updated (step 10-dc).

ステップ１０-ｅの最小値表示の設定の詳細を図１４に従って説明する。ステップ１０-ｅでは、図１０に示すステップ１０-ｂ-ａ〜ステップ１０-ｂ-ｆの処理Ａと同様な処理を行ってルーラの端点間の距離を測定した後、その測定値と最小値との比較を行う（ステップ１０-ｅ-ａ）。つまり、マウスボタンの押し下げに基づいて算出される測定値とそれ以前の測定値の中の最小値とを比較する。   Details of the setting of the minimum value display in step 10-e will be described with reference to FIG. In step 10-e, the same process as the process A in steps 10-ba to 10-bf shown in FIG. 10 is performed to measure the distance between the end points of the ruler, and then the measured value and the minimum value are measured. (Step 10-ea). That is, the measured value calculated based on the depression of the mouse button is compared with the minimum value among the previous measured values.

そして、新たな測定値がそれまでの最小値より大きい場合には処理Ａを繰り返し、新たな測定値がそれまでの最小値より小さい場合には、ステップ１０-ｅ-ｂに移行して、最小値情報を更新し、最小値となるルーラを表示するマーキングの更新を行う（ステップ１０-ｅ-ｃ）。   If the new measurement value is larger than the previous minimum value, the process A is repeated. If the new measurement value is smaller than the previous minimum value, the process proceeds to step 10-eb to minimize the minimum value. The value information is updated, and the marking for displaying the ruler having the minimum value is updated (step 10-ec).

ステップ１０-ｆの許容範囲表示の設定の詳細を図１５に従って説明する。ステップ１０-ｆでは、図１０に示すステップ１０-ｂ-ａ〜ステップ１０-ｂ-ｆの処理Ａと同様な処理を行ってルーラの端点間の距離を測定した後、その測定値が許容範囲内であるか否かを判定する。すなわち、ステップ８-ｄで設定された最小値及び最小値と測定値とを比較し、測定値が最小値と最大値との間の許容範囲内であるか否かを判定する。そして、許容範囲内であればステップ１０-ｆ-ｄに移行してマーキング中であるか否かを判定し、マーキング中でない場合には処理Ａを繰り返す。   Details of the setting of the allowable range display in step 10-f will be described with reference to FIG. In step 10-f, the same processing as the processing A in steps 10-ba to 10-bf shown in FIG. 10 is performed to measure the distance between the end points of the ruler. It is determined whether it is in. That is, the minimum value and the minimum value set in step 8-d are compared with the measurement value, and it is determined whether or not the measurement value is within an allowable range between the minimum value and the maximum value. If it is within the allowable range, the process proceeds to step 10-fd to determine whether marking is in progress. If not, the process A is repeated.

この状態から、測定値が許容範囲外となると、ステップ１０-ｆ-ｂに移行してマーキング中であるか否かを判定し、マーキング中ではない場合にはマーキングの最初の線分（図２０のＬ１）を設定し（ステップ１０-ｆ-ｃ）、処理Ａに復帰する。マーキング中である場合には、処理Ａに復帰する。   If the measured value is out of the allowable range from this state, the process proceeds to step 10-f-b to determine whether marking is in progress. If not, the first line segment of the marking (FIG. 20) is determined. L1) is set (step 10-fc), and the process returns to process A. If marking is in progress, the process returns to process A.

次いで、再び許容範囲内となると、ステップ１０-ｆ-ｄに移行し、マーキング中である場合にはマーキングの最後の線分（図２０のＬ２）を設定し（ステップ１０-ｆ-ｅ）、最初の線分と最後の線分との間、すなわち許容範囲外になる区間を塗りつぶし（ステップ１０-ｆ-ｆ）、処理Ａに復帰する。   Next, when it is again within the allowable range, the process proceeds to step 10-f-d. If marking is in progress, the last line segment of marking (L2 in FIG. 20) is set (step 10-f-e), The section between the first line segment and the last line segment, that is, the section outside the allowable range is filled (step 10-f-f), and the process A is returned to.

ステップ９でルーラの移動の指定が終了すると、ステップ１１に移行する。ステップ１１においてすべての測定処理が終了していないときにはステップ５に復帰し、終了している場合にはこの距離測定装置の動作を終了する。   When the designation of the ruler movement is completed in step 9, the process proceeds to step 11. If all the measurement processes are not completed in step 11, the process returns to step 5, and if completed, the operation of the distance measuring device is terminated.

次に、上記のように構成された図形データの距離測定装置による測定動作を説明する。図１６（ａ）は、図形データのエッジＥ１，Ｅ２間の距離を測定する場合に、ルーラＲの端点ｔ１，ｔ２のうち終点であるｔ２をエッジＥ２に沿って移動させ、端点ｔ２の移動にともなって端点ｔ１，ｔ２間の距離Ｄを表示させる測定方法を示す。   Next, the measurement operation by the distance measuring apparatus for graphic data configured as described above will be described. FIG. 16A shows that when measuring the distance between the edges E1 and E2 of the graphic data, the end point t2 of the end points t1 and t2 of the ruler R is moved along the edge E2 to move the end point t2. A measurement method for displaying the distance D between the end points t1 and t2 will be described.

この場合には、ステップ１で端点移動を設定し（ステップ１-ｃ）、ステップ３で終点の移動を設定し（ステップ３-ｄ）、ステップ１０で距離の表示を設定する（ステップ１０-ｂ）。   In this case, end point movement is set in step 1 (step 1-c), end point movement is set in step 3 (step 3-d), and distance display is set in step 10 (step 10-b). ).

すると、マウスボタンをクリックする毎にルーラＲが端点ｔ１を中心として回動する状態となり、各状態で端点ｔ１，ｔ２間の距離Ｄが表示される。
図１６（ｂ）は、図形データのエッジＥ１，Ｅ２間の距離を測定する場合に、ルーラＲを平行移動させて端点ｔ１，ｔ２間の距離Ｄを表示させる測定方法を示す。 Then, each time the mouse button is clicked, the ruler R is rotated about the end point t1, and the distance D between the end points t1 and t2 is displayed in each state.
FIG. 16B shows a measurement method for displaying the distance D between the end points t1 and t2 by translating the ruler R when measuring the distance between the edges E1 and E2 of the graphic data.

この場合には、ステップ１で平行移動を設定し（ステップ１-ｄ）、ステップ４で例えばルーラＲの方向を任意方向で設定し（ステップ４-ｇ）、ステップ１０で距離の表示を設定する（ステップ１０-ｂ）。   In this case, the translation is set in step 1 (step 1-d), the direction of the ruler R is set in an arbitrary direction in step 4 (step 4-g), and the distance display is set in step 10. (Step 10-b).

すると、マウスボタンをクリックする毎にルーラＲが平行移動する状態となり、各状態で端点ｔ１，ｔ２間の距離Ｄが表示される。
図１６（ｃ）は、図形データのエッジＥ１，Ｅ２間の距離を測定する場合に、ルーラＲをＸ軸方向に維持した状態で平行移動させて端点ｔ１，ｔ２間の距離Ｄを表示させる測定方法を示す。 Then, each time the mouse button is clicked, the ruler R moves in parallel, and the distance D between the end points t1 and t2 is displayed in each state.
FIG. 16C shows a measurement in which when the distance between the edges E1 and E2 of the graphic data is measured, the ruler R is translated in the X-axis direction to display the distance D between the end points t1 and t2. The method is shown.

この場合には、ステップ１で平行移動を設定し（ステップ１-ｄ）、ステップ４でＸ軸方向を設定し（ステップ４-ｃ）、ステップ１０で距離の表示を設定する（ステップ１０-ｂ）。   In this case, the translation is set in step 1 (step 1-d), the X-axis direction is set in step 4 (step 4-c), and the distance display is set in step 10 (step 10-b). ).

すると、マウスボタンをクリックする毎にルーラＲがＸ軸方向に維持されながら平行移動する状態となり、各状態で端点ｔ１，ｔ２間の距離Ｄが表示される。
図１６（ｄ）は、図形データのエッジＥ１，Ｅ２間の距離を測定する場合に、ルーラＲをＹ軸方向に維持した状態で平行移動させて端点ｔ１，ｔ２間の距離Ｄを表示させる測定方法を示す。 Then, every time the mouse button is clicked, the ruler R is moved in parallel while being maintained in the X-axis direction, and the distance D between the end points t1 and t2 is displayed in each state.
FIG. 16D shows a measurement for displaying the distance D between the end points t1 and t2 by measuring the distance between the edges E1 and E2 of the graphic data while moving the ruler R in the Y-axis direction. The method is shown.

この場合には、ステップ１で平行移動を設定し（ステップ１-ｄ）、ステップ４でＹ軸方向を設定し（ステップ４-ｄ）、ステップ１０で距離の表示を設定する（ステップ１０-ｂ）。   In this case, the translation is set in step 1 (step 1-d), the Y-axis direction is set in step 4 (step 4-d), and the distance display is set in step 10 (step 10-b). ).

すると、マウスボタンをクリックする毎にルーラＲがＹ軸方向に維持されながら平行移動する状態となり、各状態で端点ｔ１，ｔ２間の距離Ｄが表示される。
図１７は、ステップ１０において、ルーラＲを移動させる場合の処理を示す。同図（ａ）は、ステップ１で端点の移動が設定された場合の処理を示し、端点ｔ１を固定した状態で端点ｔ２をエッジＥ２上で移動させる場合を示す。 Then, every time the mouse button is clicked, the ruler R is moved in parallel while being maintained in the Y-axis direction, and the distance D between the end points t1 and t2 is displayed in each state.
FIG. 17 shows a process when the ruler R is moved in step 10. FIG. 6A shows the processing when the movement of the end point is set in step 1, and shows the case where the end point t2 is moved on the edge E2 while the end point t1 is fixed.

ルーラＲは測定線Ｌと図形データＥ１，Ｅ２との交点間の線分として表示され、各交点が前記端点ｔ１，ｔ２となる。そして、マウスボタンがクリックされた座標と固定された端点ｔ１とを結ぶ測定線Ｌが算出され、その測定線ＬとエッジＥ２との交点を端点ｔ２とする。   The ruler R is displayed as a line segment between the intersections of the measurement line L and the graphic data E1 and E2, and the intersections become the end points t1 and t2. Then, a measurement line L connecting the coordinates where the mouse button is clicked and the fixed end point t1 is calculated, and the intersection of the measurement line L and the edge E2 is set as the end point t2.

図１７（ｂ）は、ステップ１で平行移動が設定された場合の処理を示す。測定線Ｌは例えばＸ軸あるいはＹ軸に対し４５度方向の斜辺として設定され、任意の位置でマウスボタンクリックされると、当該クリック位置の座標を含む平行な測定線Ｌａが算出され、その測定線ＬａとエッジＥ１，Ｅ２との交点が新たなルーラＲの端点ｔ１，ｔ２となる。なお、測定線Ｌ，ＬａはルーラＲを算出するために設定されるものであり、表示装置８上には表示されない。   FIG. 17B shows the process when the parallel movement is set in step 1. For example, the measurement line L is set as a hypotenuse in the direction of 45 degrees with respect to the X axis or the Y axis. When the mouse button is clicked at an arbitrary position, a parallel measurement line La including the coordinates of the click position is calculated, The intersections of the line La and the edges E1, E2 become the end points t1, t2 of the new ruler R. Note that the measurement lines L and La are set to calculate the ruler R and are not displayed on the display device 8.

図１８は、図形データのエッジＥ１，Ｅ２間の距離を測定する場合に、ルーラＲを平行移動させて端点ｔ１，ｔ２間の距離Ｄを表示させるとともに、差分を表示する測定方法を示す。   FIG. 18 shows a measurement method for displaying the difference between the end points t1 and t2 by translating the ruler R when measuring the distance between the edges E1 and E2 of the graphic data.

この場合には、ステップ１で平行移動を設定し（ステップ１-ｄ）、ステップ４で例えばルーラＲの方向を任意方向で設定し（ステップ４-ｇ）、ステップ８で差分表示の設定を行い（ステップ８-ｃ）、ステップ１０で差分表示を設定する（ステップ１０-ｃ）。   In this case, the translation is set in step 1 (step 1-d), the direction of the ruler R is set in an arbitrary direction in step 4 (step 4-g), and the difference display is set in step 8. (Step 8-c), difference display is set in Step 10 (Step 10-c).

そして、図１８（ａ）に示すように、マウスボタンのクリックにより基準となるルーラＲ１を設定すると、そのルーラＲ１の端点ｔ１，ｔ２間の距離Ｄ１が表示される。次いで、マウスボタンのクリックにより、同図（ｂ）に示すようにルーラＲ１を平行移動させて新たなルーラＲ２を設定すると、ルーラＲ２の端点ｔ１，ｔ２間の距離Ｄ２と、距離Ｄ２の差分Ｄ３を表示する。この差分Ｄ３は、正の値あるいは負の値として表示する。   Then, as shown in FIG. 18A, when the ruler R1 as a reference is set by clicking the mouse button, the distance D1 between the end points t1 and t2 of the ruler R1 is displayed. Next, when the mouse button is clicked to move the ruler R1 in parallel and set a new ruler R2 as shown in FIG. 5B, the distance D2 between the end points t1 and t2 of the ruler R2 and the difference D3 between the distances D2 are set. Is displayed. The difference D3 is displayed as a positive value or a negative value.

図１９は、ルーラを平行移動させて図形データＥ１，Ｅ２間の距離を測定する場合に、距離が最小値となるルーラあるいは最大値となるルーラをマーキングして表示する方法を示す。   FIG. 19 shows a method of marking and displaying the ruler having the minimum value or the ruler having the maximum value when the distance between the graphic data E1 and E2 is measured by translating the ruler.

この場合には、ステップ１で平行移動を設定し（ステップ１-ｄ）、ステップ４で例えばルーラＲの方向を設定し、ステップ８でマーキングの設定を行い（ステップ８-ｄ）、ステップ１０で最大値表示あるいは最小値表示を設定する（ステップ１０-ｄ、ステップ１０-ｅ）。   In this case, the translation is set in step 1 (step 1-d), the direction of the ruler R is set in step 4, the marking is set in step 8 (step 8-d), and in step 10. Maximum value display or minimum value display is set (step 10-d, step 10-e).

図１９（ａ）はステップ１０で最小値表示を設定した場合を示す。ルーラＲを平行移動させると、各ルーラＲの端点ｔ１，ｔ２間の距離が測定値として順次算出される。そして、測定値が最小と成るルーラＲminはマーキングされて表示し続けられるとともにその距離Ｄminが表示される。   FIG. 19A shows a case where the minimum value display is set in step 10. When the ruler R is translated, the distance between the end points t1 and t2 of each ruler R is sequentially calculated as a measured value. The ruler Rmin with the minimum measured value is marked and kept displayed, and the distance Dmin is displayed.

図１９（ｂ）はステップ１０で最大値表示を設定した場合を示す。ルーラＲを平行移動させると、各ルーラＲの端点ｔ１，ｔ２間の距離が測定値として順次算出される。そして、測定値が最大と成るルーラＲmaxはマーキングされて表示し続けられるとともにその距離Ｄmaxが表示される。   FIG. 19B shows the case where the maximum value display is set in step 10. When the ruler R is translated, the distance between the end points t1 and t2 of each ruler R is sequentially calculated as a measured value. The ruler Rmax having the maximum measured value is marked and continuously displayed, and the distance Dmax is displayed.

図２０は、ルーラを平行移動させて図形データＥ１，Ｅ２間の距離を測定する場合に、当該距離が許容範囲を超える場合にマーキングして表示する方法を示す。
この場合には、ステップ１で平行移動を設定し（ステップ１-ｄ）、ステップ４で例えばルーラＲの方向を設定し、ステップ８でマーキングの設定を行い（ステップ８-ｄ）、ステップ１０で許容範囲表示を設定する（ステップ１０-ｆ）。 FIG. 20 shows a method of marking and displaying when the distance between the graphic data E1 and E2 is measured by translating the ruler and the distance exceeds the allowable range.
In this case, the translation is set in step 1 (step 1-d), the direction of the ruler R is set in step 4, the marking is set in step 8 (step 8-d), and in step 10. An allowable range display is set (step 10-f).

そして、図２０（ａ）に示すようにルーラＲを設定し、このルーラＲを平行移動させると、端点ｔ１，ｔ２間の距離Ｄが許容範囲外となる部分がマーキングの線分Ｌ１，Ｌ２で囲まれ、その線分Ｌ１，Ｌ２間が塗りつぶされて表示される。   Then, when the ruler R is set as shown in FIG. 20A and the ruler R is translated, the portions where the distance D between the end points t1 and t2 is outside the allowable range are the marking line segments L1 and L2. It is surrounded and displayed between the line segments L1 and L2.

上記のように構成された図形データの距離測定装置では、次に示す作用効果を得ることができる。
（１）ルーラの始点及び終点である端点ｔ１，ｔ２の一方を移動させる端点移動を行なってｔ１，ｔ２間の距離を測定し、あるいはルーラを平行移動させてｔ１，ｔ２間の距離を測定することができる。従って、端点ｔ１，ｔ２間の最大値あるいは最小値を測定する場合に、ルーラの始点及び終点を繰り返し設定する必要はないので、測定作業を容易に行うことができる。
（２）ルーラの始点あるいは終点のいずれか一方を固定し、他方をエッジに沿って移動させて始点と終点との間の距離を測定し、かつその測定値を表示することができる。従って、ルーラの始点と終点との間の距離の最小値及び最大値を容易に測定することができる。
（３）ルーラを平行移動させて、その始点と終点との間の距離を測定し、かつその測定値を表示することができる。従って、ルーラの始点と終点との間の距離の最小値及び最大値を容易に測定することができる。
（４）ルーラを平行移動させるとき、ルーラの角度を選択することができる。従って、図形データのエッジ間距離の最大値あるいは最小値を容易に測定することができる。
（５）ルーラの始点と終点との間の距離を表示するとき、あらかじめ設定した基準値に対する差分を表示することもできる。
（６）マーキングの設定により、ルーラの始点と終点との間の距離が最大となる位置あるいは最小となる位置でルーラを固定して表示することができる。従って、ルーラの始点と終点との間の距離が最大となる位置あるいは最小となる位置を容易に検出し、かつその距離を測定することができる。
（７）許容範囲表示の設定により、ルーラを平行移動させるとルーラの始点と終点との間の距離が許容範囲外となる部分を表示することができる。従って、図形データのエッジ間の距離が許容範囲外となる部分を容易に識別することができる。 With the graphic data distance measuring apparatus configured as described above, the following operational effects can be obtained.
(1) Measure the distance between t1 and t2 by moving one of the end points t1 and t2, which are the start and end points of the ruler, or measure the distance between t1 and t2 by moving the ruler in parallel. be able to. Therefore, when measuring the maximum value or the minimum value between the end points t1 and t2, there is no need to repeatedly set the start point and end point of the ruler, so that the measurement work can be easily performed.
(2) Either the start point or the end point of the ruler can be fixed, the other can be moved along the edge, the distance between the start point and the end point can be measured, and the measured value can be displayed. Therefore, the minimum value and the maximum value of the distance between the start point and the end point of the ruler can be easily measured.
(3) The ruler can be translated to measure the distance between the start point and the end point, and the measured value can be displayed. Therefore, the minimum value and the maximum value of the distance between the start point and the end point of the ruler can be easily measured.
(4) When translating the ruler, the angle of the ruler can be selected. Therefore, the maximum value or the minimum value of the distance between the edges of the graphic data can be easily measured.
(5) When displaying the distance between the start point and end point of the ruler, it is also possible to display a difference with respect to a preset reference value.
(6) By setting the marking, the ruler can be fixed and displayed at the position where the distance between the start point and the end point of the ruler is the maximum or the minimum. Therefore, it is possible to easily detect the position where the distance between the start point and the end point of the ruler is the maximum or the minimum, and to measure the distance.
(7) By setting the allowable range display, it is possible to display a portion where the distance between the start point and the end point of the ruler is outside the allowable range when the ruler is translated. Therefore, it is possible to easily identify a portion where the distance between the edges of the graphic data is outside the allowable range.

上記実施の形態は、以下の態様で実施してもよい。
・端点を移動させて距離を測定しながら、差分を表示するようにしてもよい。
・端点を移動させて距離を測定しながら、測定値が最大あるいは最小となるルーラをマーキングしてもよい。 You may implement the said embodiment in the following aspects.
-You may make it display a difference, moving an end point and measuring distance.
-The ruler with the maximum or minimum measurement value may be marked while moving the end point and measuring the distance.

距離測定装置を示すブロック図である。It is a block diagram which shows a distance measuring device. 距離測定装置の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of a distance measuring device. 距離測定装置の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of a distance measuring device. 距離測定装置の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of a distance measuring device. 距離測定装置の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of a distance measuring device. 距離測定装置の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of a distance measuring device. 距離測定装置の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of a distance measuring device. 距離測定装置の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of a distance measuring device. 距離測定装置の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of a distance measuring device. 距離測定装置の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of a distance measuring device. 距離測定装置の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of a distance measuring device. 距離測定装置の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of a distance measuring device. 距離測定装置の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of a distance measuring device. 距離測定装置の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of a distance measuring device. 距離測定装置の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of a distance measuring device. （ａ）〜（ｄ）は距離測定装置の表示を示す説明図である。(A)-(d) is explanatory drawing which shows the display of a distance measuring device. （ａ）（ｂ）は距離測定装置の表示を示す説明図である。(A) (b) is explanatory drawing which shows the display of a distance measuring device. （ａ）（ｂ）は距離測定装置の表示を示す説明図である。(A) (b) is explanatory drawing which shows the display of a distance measuring device. （ａ）（ｂ）は距離測定装置の表示を示す説明図である。(A) (b) is explanatory drawing which shows the display of a distance measuring device. （ａ）（ｂ）は距離測定装置の表示を示す説明図である。(A) (b) is explanatory drawing which shows the display of a distance measuring device.

符号の説明Explanation of symbols

１ 入力装置
３ 主制御部
６ 測定制御部
８ 表示装置
Ｅ１，Ｅ２ エッジ
Ｒ ルーラ
ｔ１，ｔ２ 端点 1 Input Device 3 Main Control Unit 6 Measurement Control Unit 8 Display Device E1, E2 Edge R Ruler t1, t2 End Point

Claims (9)

表示装置に表示される図形データのエッジ上にルーラの一対の端点を位置させ、該端点間の距離を算出することにより前記図形データのエッジ間の距離を測定する図形データの距離測定方法であって、
前記表示装置上の一つの座標を入力して前記ルーラを移動させ、該ルーラの端点間の距離を測定することを特徴とする図形データの距離測定方法。 A graphic data distance measuring method for measuring a distance between edges of graphic data by positioning a pair of end points of a ruler on an edge of graphic data displayed on a display device and calculating a distance between the endpoints. And
A graphic data distance measuring method, comprising: inputting one coordinate on the display device; and moving the ruler to measure a distance between end points of the ruler. 前記端点の一方を固定し、入力した座標と前記一方の端点を結ぶ測定線を算出し、該測定線と前記図形データのエッジとの交点を他方の端点とすることを特徴とする請求項１記載の図形データの距離測定方法。   2. One of the end points is fixed, a measurement line connecting the input coordinates and the one end point is calculated, and an intersection of the measurement line and the edge of the graphic data is set as the other end point. The distance measurement method of the described graphic data. 前記座標の入力に基づいて、該座標を含み、かつあらかじめ設定した基準ルーラと平行となる測定線を算出し、該測定線と前記図形データのエッジとの交点を前記ルーラの端点とすることを特徴とする請求項１記載の図形データの距離測定方法。   Based on the input of the coordinates, a measurement line including the coordinates and parallel to a preset reference ruler is calculated, and an intersection of the measurement line and the edge of the graphic data is set as an end point of the ruler. The distance measurement method for graphic data according to claim 1. 前記ルーラの端点間の距離を測定値として表示装置に表示することを特徴とする請求項２又は３記載の図形データの距離測定方法。   4. The distance measurement method for graphic data according to claim 2, wherein the distance between the end points of the ruler is displayed as a measured value on a display device. 前記基準ルーラの角度を選択可能としたことを特徴とする請求項３記載の図形データの距離測定方法。   4. The graphic data distance measuring method according to claim 3, wherein an angle of the reference ruler is selectable. 前記測定値とあらかじめ設定した基準値との差分を表示装置に表示することを特徴とする請求項４又は５記載の図形データの距離測定方法。   6. The distance measurement method for graphic data according to claim 4, wherein a difference between the measured value and a preset reference value is displayed on a display device. 前記測定値が最大あるいは最小となるルーラと該測定値とをマーキングすることを特徴とする請求項４又は５記載の図形データの距離測定方法。   6. The distance measurement method for graphic data according to claim 4, wherein a ruler having the maximum or minimum measurement value and the measurement value are marked. 前記測定値があらかじめ設定した許容範囲を超えるとき、当該領域をマーキングすることを特徴とする請求項４又は５記載の図形データの距離測定方法。   6. The distance measurement method for graphic data according to claim 4, wherein the area is marked when the measured value exceeds a preset allowable range. 図形データを格納する外部記憶装置と、
前記図形データを表示する表示装置と、
前記表示装置上で任意の座標を選択する入力装置と、
前記図形データのエッジ間に位置させたルーラの一対の端点間の距離を測定する制御部と
を備えた図形データの距離測定装置であって、
前記表示装置上で選択された一つの座標に基づいて前記ルーラを移動させ、該ルーラの端点間の距離を測定する測定制御部を備えたことを特徴とする図形データの距離測定装置。 An external storage device for storing graphic data;
A display device for displaying the graphic data;
An input device for selecting arbitrary coordinates on the display device;
A distance measuring device for graphic data comprising a control unit for measuring a distance between a pair of end points of a ruler located between edges of the graphic data,
A graphic data distance measuring device comprising a measurement control unit for moving the ruler based on one coordinate selected on the display device and measuring a distance between end points of the ruler.
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