JP2008224292A - 静電容量変化検出回路 - Google Patents
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Abstract
【課題】静電容量型センサの容量変化を検出するオペアンプの反転入力端子のDCバイアス電圧を設定する帰還抵抗で発生する熱雑音により、出力音声信号のSN比が劣化する。
【解決手段】オペアンプ24の帰還キャパシタCFに並列にDCバイアス設定回路26を設ける。DCバイアス設定回路26は、スイッチトキャパシタ回路28を含み、そのMOSトランジスタQ1,Q2をオン/オフ制御して等価的な抵抗rSCとして機能させる。Q1,Q2のオン抵抗は小さいため、発生する熱雑音が小さい。また、オフ抵抗は極めて大きく、rSCとCFとからなるLPFのカットオフ周波数f0Sが音声帯域の上限より低下する。その結果、LPFを通過して端子OUTへ出力される熱雑音のうち音声帯域の成分が低下する。
【選択図】図1
【解決手段】オペアンプ24の帰還キャパシタCFに並列にDCバイアス設定回路26を設ける。DCバイアス設定回路26は、スイッチトキャパシタ回路28を含み、そのMOSトランジスタQ1,Q2をオン/オフ制御して等価的な抵抗rSCとして機能させる。Q1,Q2のオン抵抗は小さいため、発生する熱雑音が小さい。また、オフ抵抗は極めて大きく、rSCとCFとからなるLPFのカットオフ周波数f0Sが音声帯域の上限より低下する。その結果、LPFを通過して端子OUTへ出力される熱雑音のうち音声帯域の成分が低下する。
【選択図】図1
Description
本発明は、静電容量型センサの静電容量の変化を検出する静電容量変化検出回路に関し、特に、SN比の向上に関する。
コンデンサマイクロホンの一種として、近年、MEMSマイクが注目されている。このMEMSマイクの基本的な構造は、ダイアフラムとバックプレートという2枚の近接して対向配置される電極板からなるキャパシタであり、当該構造がMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術を用いてシリコン基板に形成される。
MEMSマイクを構成するキャパシタには、バイアス電圧を印加することにより、一定の電荷Qが充電される。この状態で音圧によってダイアフラムが振動すると、当該キャパシタの静電容量Cが変化して、端子間電圧Vの変化を生じる。この電圧Vの変化が音声信号として出力される。
図7は、従来のMEMSマイクを用いたコンデンサマイクロホン装置の回路図である。当該装置は、MEMSマイクであるキャパシタCM、バイアス電源部2及び出力部4からなる。
バイアス電源部2は、端子VBに接続されるキャパシタCMにバイアス電圧を供給する。
出力部4は、オペアンプ6、キャパシタCF及び抵抗RFで構成される。出力部4は、入力端子INにキャパシタCMを接続され、キャパシタCMが音声に応じて発生する電位変化を入力端子INから取り込み、増幅して出力端子OUTから出力する。
オペアンプ6は、反転入力端子にCM、帰還経路にCFをそれぞれ接続され、反転増幅回路を構成する。CM/CFに応じて定まる反転増幅回路のゲインを1以上とするためには、CFはCMより小さな値に設定される。ここで、CMは例えば数pF程度の微小な値となり得、それに応じて、CFも極めて小さな値に設定される。反転入力端子は、CM及びCFのみが接続された状態ではフローティングとなり、またそれら容量は微小であり平滑化の効果を期待できないため、反転入力端子の電位は不安定となる。そこで、キャパシタCFが接続された帰還経路に並列に抵抗RFを接続し、反転入力端子のDCバイアスを出力端子からの帰還バイアスによって設定することにより、反転入力端子の電位安定が図られる。一方、RFには、音声に応じて反転入力端子に生じる電位変動を当該RF経由で出力端子へ通過させないことや、キャパシタCMに対する高出力インピーダンスを維持することが要求される。そのため、RFは、十分に大きな値に設定され、反転入力端子と出力端子との間を単に直流的に接続する。
なお、並列に接続されたRFとCFとは、次式で表されるカットオフ周波数f0を有するLPFを構成する。
f0=1/(2πRFCF) ………(1)
f0=1/(2πRFCF) ………(1)
そのため、RF,CFは、f0が音声信号の帯域の上限(約20kHz)より高い周波数となるように設定される。
特開2001−116783号公報
電子回路を構成する素子でのキャリアのランダムな運動は熱雑音を生じる。周波数f〜f+Δfの熱雑音成分に起因して、抵抗素子に生じる熱雑音電圧ENは、抵抗値をR、絶対温度をTとして、
EN=(4kTRΔf)1/2 ………(2)
で表される。なお、kはボルツマン定数である。
EN=(4kTRΔf)1/2 ………(2)
で表される。なお、kはボルツマン定数である。
帰還抵抗RFは大きな抵抗値に設定されるため、RFから発生する熱雑音は大きい。そのため、端子OUTからの出力信号のSN比が劣化するという問題があった。
本発明はこの問題を解決するためになされたものであり、静電容量型センサの静電容量の変化を検出する静電容量変化検出回路においてSN比に向上を図ることを目的とする。
本発明に係る静電容量変化検出回路は、静電容量型センサを構成するキャパシタ部に接続され、当該キャパシタ部の静電容量の変化を電気信号として検出する回路であって、入力端子に前記キャパシタ部を接続された演算増幅器及び当該演算増幅器の帰還経路に直列に接続された帰還キャパシタを含む増幅回路と、前記帰還キャパシタを含む前記帰還経路に並列に設けられ、前記演算増幅器の出力端子と前記入力端子との間を断続し、前記入力端子を前記出力端子の電位に応じた電位に設定するスイッチ回路と、を有するものである。
本発明によれば、演算増幅器の反転入力端子と出力端子とは、スイッチトキャパシタ回路等のスイッチ回路で断続可能に構成される。反転入力端子のDCバイアスは、このスイッチ回路を用いて、出力端子の電位を反転入力端子に帰還させることにより設定することができる。この構成では、反転入力端子と出力端子との間を接続する高抵抗の抵抗素子を廃することができるので、当該抵抗素子が発生する熱雑音の影響を回避して、SN比の向上が図られる。
以下、本発明の実施の形態(以下実施形態という)について、図面に基づいて説明する。
図1は、実施形態に係るコンデンサマイクロホン装置の概略の回路図である。本装置はコンデンサマイクロホンとして静電容量型センサであるMEMSマイクを用い、音声に応じたMEMSマイクの静電容量の変化を電気信号として検出するための静電容量変化検出回路を含んで構成される。図1において、キャパシタCMがMEMSマイクに構成されたキャパシタ部であり、その一方端子は、静電容量変化検出回路のバイアス電源部20の出力端子VBに接続され、他方端子は静電容量変化検出回路の出力部22の入力端子INに接続される。
静電容量変化検出回路は、例えば、シリコン半導体基板上に集積回路(IC)として形成することができる。ICとして構成する場合、静電容量変化検出回路はMEMSマイクが形成される半導体チップに一体に集積することもできるし、MEMSマイクとは別の半導体チップ上に形成することもできる。
バイアス電源部20は、チャージポンプ回路を含んで構成され、基準電圧の比較的低い電圧を昇圧してMEMSマイクの駆動に必要な高電圧のバイアス電圧を生成する。バイアス電源部20は、チャージポンプ回路内にて生じ得るスイッチングノイズ、クロックノイズや熱雑音等を平滑化し除去するローパスフィルタ(LPF)を有し、当該LPFで平滑化されたバイアス電圧が、端子VBに接続されるキャパシタCMに供給される。
出力部22は、オペアンプ24、キャパシタCF、及びDCバイアス設定回路26を含んで構成される。出力部22は、入力端子INにキャパシタCMを接続され、キャパシタCMが音声に応じて発生する電位変化を入力端子INから取り込み、増幅して出力端子OUTから出力する。
オペアンプ24は、入力端子INに反転入力端子を接続された反転増幅回路を構成し、その出力端子が出力部22の出力端子OUTに接続される。オペアンプ24は、反転入力端子の電位変動を増幅して出力する。また、オペアンプ24は、キャパシタCMに対し高入力インピーダンスを保つ一方、出力端子OUTを低出力インピーダンスとするインピーダンス変換を行う。
キャパシタCFは、上記反転増幅回路のゲインを調整する。当該ゲインは、基本的にはCM/CFで与えられ、1以上のゲインを得るためには、CFはCMより小さな値に設定される。ここで、CMは例えば数pF程度の微小な値となり得、それに応じて、CFも極めて小さな値に設定される。
DCバイアス設定回路26は、キャパシタCFが接続された帰還経路に並列に配置され、オペアンプ24の出力端子と反転入力端子とを接続する。このDCバイアス設定回路26は、CM及びCFのみが接続された状態ではフローティングとなる反転入力端子にDCバイアス電圧を設定し、当該反転入力端子の電位を安定させるために設けられている。このDCバイアス設定回路26は、音声に応じて反転入力端子に生じる電位変動を当該回路経由で出力端子へ通過させないという要求や、キャパシタCMに対する高出力インピーダンスを維持するという要求を満たすように構成される。
具体的には本装置のDCバイアス設定回路26は、スイッチトキャパシタ回路28を用いて構成される。また、DCバイアス設定回路26は、スイッチトキャパシタ回路28の動作を制御する制御回路30を有する。
スイッチトキャパシタ回路28は、それぞれソース−ドレイン間の電流の導通を制御するスイッチ素子として機能するMOSトランジスタQ1,Q2と、キャパシタCSCとを含んで構成される。トランジスタQ1,Q2がそれぞれ構成するスイッチは、オペアンプ24の出力端子と反転入力端子との間に互いに直列に接続される。キャパシタCSCの一方端はQ1とQ2との接続点に接続され、他方端は接地電位GNDに接続される。
制御回路30は、Q1,Q2のゲート電圧を制御して、Q1,Q2それぞれのオン/オフを周波数fSCで交互に切り換え、CSCの充放電を制御する。これによってオペアンプ24の出力端子と反転入力端子との間にパルス状の電流が流れ、スイッチング周波数fSCが十分に高ければ、平均電流は抵抗を通過する電流と等価になる。すなわち、スイッチトキャパシタ回路28は、出力端子と反転入力端子とを接続する等価的な抵抗素子として機能し、その抵抗値rSCは、次式で表される。
rSC=1/(CSCfSC) ………(3)
rSC=1/(CSCfSC) ………(3)
このrSCが上述のDCバイアス設定回路26について要求される条件を満たす高抵抗値となるように、CSC及びfSCは設定される。なお、スイッチトキャパシタ回路28のスイッチング動作により、CMから出力端子OUTへ伝達する信号はサンプリングされ、連続時間信号から離散時間信号に変換される。それに伴うエイリアシングを避けるためには、スイッチング周波数fSCを、伝達する信号である音声信号の帯域(20Hz〜20kHz)より十分に高い周波数に設定することが好適である。また、並列に接続されるrSCとCFとは、次式で表されるカットオフ周波数f0Pを有するLPFを構成する。そのため、rSC,CFは、f0Pが音声信号の帯域の上限(約20kHz)より高い周波数となるように設定される。
f0P=1/(2πrSCCF) ………(4)
f0P=1/(2πrSCCF) ………(4)
本装置においては、このスイッチトキャパシタ回路28を用いたDCバイアス設定回路26が、出力端子のDCバイアス電圧を反転入力端子へ帰還させることにより、反転入力端子の電位安定が図られる。
図2は、出力部22の入力端子INと出力端子OUTとの間に接続され、オペアンプ24の帰還経路を構成する回路の等価回路図である。この図では、トランジスタQ1,Q2それぞれをR1,R2で置き換えている。R1,R2は、各トランジスタのソース−ドレイン間のチャネル抵抗であり、トランジスタがオン状態ではオン抵抗値rON、オフ状態ではオフ抵抗値rOFFとなる。ちなみに、rOFF≫rONであり、例えば、rONは1Ω未満の小さな値、rOFFは数MΩといった大きな値を取り得る。
Q1,Q2のスイッチング周期1/fSCに比べて十分に長い時間で見たときには、スイッチトキャパシタ回路28は上述のように等価抵抗rSCとして機能するが、任意の時刻においては、トランジスタQ1,Q2はいずれか一方がオン状態、他方がオフ状態であり、スイッチトキャパシタ回路28の両端間の抵抗はrOFFに応じた大きな値となる。抵抗R1,R2の直列接続体と帰還キャパシタCFとの並列接続で構成されるLPFに着目すると、そのカットオフ周波数f0Sは、抵抗R1,R2の両端間の抵抗をrOFFとする近似の下で、おおよそ、1/(2πrOFFCF)となる。このカットオフ周波数f0Sは、後述の観点から低く設定され、少なくとも、音声信号の帯域の上限より低い周波数に設定される。
抵抗R1,R2はその抵抗値に応じて(2)式で表される熱雑音を生じる。すなわち、R1,R2のうちrONであるものは、以下に示す熱雑音成分EN−ONを生じ、rOFFであるものは、以下に示す熱雑音成分EN−OFFを生じる。
EN−ON=(4kTrON/Δf)1/2 ………(5)
EN−OFF=(4kTrOFF/Δf)1/2 ………(6)
EN−ON=(4kTrON/Δf)1/2 ………(5)
EN−OFF=(4kTrOFF/Δf)1/2 ………(6)
ここで、rONが小さいため、EN−ONは小さな値となる。例えば、従来回路のRFと比べるとrON≪RFであるので、EN−ONは従来のRFで生じる熱雑音電圧より小さくなる。これに対して、EN−OFFはrOFFに応じて大きくなり得る。しかし、本装置では、上述のように、R1,R2とCFとで構成されるLPFのカットオフ周波数f0Sを音声帯域の上限より低く抑えることにより、音声帯域におけるΔfがその帯域幅のせいぜい一部に抑えられる。これにより当該LPFを通過して出力端子OUTに伝達される熱雑音EN−ON,EN−OFFに含まれる音声帯域成分を低減することができる。すなわち、大きな抵抗値rOFFを有するR1又はR2で生じる熱雑音のうち出力端子OUTへ伝達される音声帯域成分が低減される。このように本装置では、DCバイアス設定回路26をスイッチトキャパシタ回路28を用いて構成することにより、熱雑音によるSN比の劣化を防止し、出力端子OUTから得られる音声信号の音質の確保を図っている。
なお、DCバイアス設定回路26は、オペアンプ24の出力端子と反転入力端子との間を断続する他の構成のスイッチ回路とすることもできる。図3は、出力部22の入力端子INと出力端子OUTとの間に接続され、オペアンプ24の帰還経路を構成する回路の最も簡単な構成例の1つを示す概略の回路図であり、図4は当該回路の等価回路図である。この構成では、DCバイアス設定回路26は単一のMOSトランジスタQFで両端子間をオン/オフする。制御回路32は、QFのゲートにオン電圧とオフ電圧とを交互に印加する。これにより、QFと、これに並列に接続された帰還キャパシタCFとは、LPFを構成すると共に、一種のスイッチトキャパシタ回路を構成する。
例えば、QFが時間tONのオン状態と時間tOFFのオフ状態とを交互に繰り返す場合、QFに対応する抵抗RFの等価的な抵抗値rSCは、次式で表される。なお、fSCは1/(tON+tOFF)である。
rSC=rONrOFF/{fSC・(tONrOFF+tOFFrON)} ………(7)
rSC=rONrOFF/{fSC・(tONrOFF+tOFFrON)} ………(7)
この単純な回路例は、図4に示す等価回路が図7に示す従来のRF及びCFからなる帰還回路と同じ構成であることから、それとの対比において本発明の原理を理解するのに好適である。図5は、図4に示すRF及びCFからなるLPFのRFにて発生し、当該LPFを通過する熱雑音のうち音声帯域に含まれる成分ENの大きさが、RFに応じてどのように変化するかを示す模式的なグラフである。当該グラフの縦軸がEN、横軸がRFである。また、図6は、当該LPFを通過する熱雑音成分ENのスペクトルを示す模式図であり、縦軸がをEN、横軸が周波数fである。図6は、RFがrONに対応する場合のスペクトル34、rOFFに対応するスペクトル36、及び音声帯域に合わせたカットオフ周波数f0が設定された図7に示す従来のLPFにおけるRFに対応するスペクトル38を示している。
RFが0から増加するとき、単位周波数当たりの熱雑音は(2)式に示すように増加する。図6において、スペクトル34,38,36の順にENが上昇することは、これに対応している。一方、LPFのカットオフ周波数f0は、(1)式に示したようにRFの増加と共に低下する。図6において、スペクトル34,38,36の順にカットオフ周波数が低下することは、これに対応している。
f0が音声帯域の上限fAUより高い間、すなわち、
rP≡1/(2πfAUCF) ………(8)
として、
RF<rP ………(9)
である間は、(2)式に示すΔfは一定の音声帯域幅WAであるのでENは、RFと共に増加する。これは図5において左側の部分に対応する。また図6では、スペクトル34,38がこの場合に相当する。
rP≡1/(2πfAUCF) ………(8)
として、
RF<rP ………(9)
である間は、(2)式に示すΔfは一定の音声帯域幅WAであるのでENは、RFと共に増加する。これは図5において左側の部分に対応する。また図6では、スペクトル34,38がこの場合に相当する。
しかし、RFがrPより大きい領域では、f0<fAUとなり、Δfは音声帯域の下限fADからf0までの幅となる。RFの増加と共にf0が低下する結果、Δfも減少し、f0がfADを下回るとΔfは0となる。この間、単位周波数当たりの熱雑音はRFと共に増加するが、Δfの減少が優勢となるとそれ以降、ENは減少に転ずる。これは図5において右側の部分に対応する。また図6では、スペクトル36がこの場合に相当する。
つまり、ENはRFの変化に対して図5に示すようにピークを形成し、そのピークは、f0がfAUに一致するrPの近傍に位置する。RF及びCFからなる従来のLPFは、スペクトル38に示すように音声帯域を基本的に通過させると共に、上述したようにキャパシタCMに対する高出力インピーダンスを維持する等の観点からRFを大きく設定するため、そのRFは図5においてENが高まる領域40に設定されることとなり、出力端子OUTに得られる音声信号は熱雑音の影響を大きく受け、SN比が低下し得る。
一方、本発明の他の実施形態として図3に示す回路は、QFのオン状態では、RFは極めて小さい値rONとなり、図5において、ピークから左に外れた領域42内に属する状態となる。すなわち、rONが小さいことにより、このときのENは小さくなる。また、QFのオフ状態ではRFは極めて大きい値rOFFとなり、図5において、ピークから右に外れた領域44内に属する状態となる。すなわち、f0の低下によるΔfの減少が優勢な状態となり、ENは抑制される。つまり、図3に示す回路がQFのスイッチング動作を行う場合に、QFのチャネル抵抗RFは基本的に、ENが小さいrON及びrOFFのいずれかの状態であり、ENが大きくなるそれらの中間の領域の抵抗値の状態とはならない。よって、当該回路は熱雑音の影響を受けにくい。
このことは上述したスイッチトキャパシタ回路28を用いたDCバイアス設定回路26においても同様である。すなわち、スイッチトキャパシタ回路28においても、Q1,Q2のチャネル抵抗はrON又はrOFFだけに設定され、それらの中間の領域の抵抗値には設定されない。これにより、図3の回路について説明したと同様に、熱雑音の影響が抑制される。
なお、ここではMEMSマイクを用いたコンデンサマイクロホン装置を例に示したが、本発明は、他の静電容量型センサの容量変化を検出する回路に適用することもできる。その場合、図7に示すRF及びCFの並列接続からなるLPFにおいて、トランジスタ等のスイッチ素子を用いたスイッチ回路で抵抗素子RFが置き換えられる。このとき、当該静電容量型センサの出力信号うちの検出対象とする帯域の上限周波数をfAUとし、またRF及びCFの並列接続からなる従来のLPFにおいて、カットオフ周波数f0がfAUとなるときの抵抗値をrAUとすると、本発明のスイッチ回路は、オフ抵抗rOFFがrAUより十分大きいスイッチ素子を用いて構成され、これにより熱雑音の低減が図れる。
20 バイアス電源部、22 出力部、24 オペアンプ、26 DCバイアス設定回路、28 スイッチトキャパシタ回路、30,32 制御回路、CM MEMSマイクキャパシタ部、CF 帰還キャパシタ、CSC キャパシタ、R1,R2 抵抗、Q1,Q2,QF MOSトランジスタ。
Claims (5)
- 静電容量型センサを構成するキャパシタ部に接続され、当該キャパシタ部の静電容量の変化を電気信号として検出する静電容量変化検出回路であって、
入力端子に前記キャパシタ部を接続された演算増幅器及び当該演算増幅器の帰還経路に直列に接続された帰還キャパシタを含む増幅回路と、
前記帰還キャパシタを含む前記帰還経路に並列に設けられ、前記演算増幅器の出力端子と前記入力端子との間を断続し、前記入力端子を前記出力端子の電位に応じた電位に設定するスイッチ回路と、
を有することを特徴とする静電容量変化検出回路。 - 請求項1に記載の静電容量変化検出回路において、
前記スイッチ回路は、前記演算増幅器の出力端子と前記入力端子との間の等価的な抵抗素子として機能するスイッチトキャパシタ回路であること、を特徴とする静電容量変化検出回路。 - 請求項2に記載の静電容量変化検出回路において、
前記スイッチトキャパシタ回路は、
前記出力端子と前記入力端子との間に直列に接続された第1のスイッチ素子及び第2のスイッチ素子と、
前記第1のスイッチ素子と前記第2のスイッチ素子との接続点に接続され、前記第1のスイッチ素子及び前記第2のスイッチ素子のオン・オフ動作に応じて充放電されるバッファキャパシタと、
を有することを特徴とする静電容量変化検出回路。 - 請求項3に記載の静電容量変化検出回路において、
当該静電容量変化検出回路は前記電気信号として音声信号に応じた信号を検出し、
前記スイッチトキャパシタ回路と容量CFを有する前記帰還キャパシタとは低域通過フィルタを構成し、
前記両スイッチ素子の少なくとも一方がオフとなることにより前記スイッチトキャパシタ回路が前記出力端子と前記入力端子との間に当該スイッチ素子のオフ抵抗に応じた抵抗rOFFを構成する前記オン・オフ動作の各状態にて、前記低域通過フィルタは、1/(2πrOFFCF)に応じた値を有するカットオフ周波数が、前記音声信号の帯域の上限より低くなるように構成されること、
を特徴とする静電容量変化検出回路。 - 請求項4に記載の静電容量変化検出回路において、
前記スイッチトキャパシタ回路がスイッチング周波数fSCの前記オン・オフ動作により等価抵抗rSCとみなされる状態にて、前記低域通過フィルタは、1/(2πrSCCF)に応じた値を有するカットオフ周波数が、前記音声信号の帯域の上限より高くなるように構成され、
前記スイッチング周波数fSCは、前記音声信号に対し前記スイッチトキャパシタ回路によるエイリアシングを抑制する値に設定されること、
を特徴とする静電容量変化検出回路。
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