JP2008218687A - Stocker for semiconductor substrate - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To direct airflow to shelves where substrates or the like are placed, while reducing the dimensions of a facility. <P>SOLUTION: The space in stocker 100 is defined by shrouds 104 and 105, a ceiling board 103, and a floor 202. A shelf device 110, which has a plurality of the shelves 111 where containers 120 for a substrate are placed, is set up in the stocker 100. Air coolers 102 is fixed opposite to the shelf device 110 on the shrouds 104. No member or the like for disturbing the airflow are arranged between the shroud 104 and the shelf device 110, thereby securing passages of the gas along the straight line path from the air cooler 102 to openings 110a of the space placed between the shelves 111. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、基板等を載置する棚が設けられた半導体基板用ストッカに関する。   The present invention relates to a semiconductor substrate stocker provided with a shelf on which a substrate or the like is placed.

半導体基板が製造される工場などにおいて、基板や基板が収納された容器を保管するための複数の棚を有するストッカが用いられることがある。このような工場においては、製造ラインがクリーンルーム内に構築されるなど、清浄な雰囲気で製造工程が実施される場合が多い。ストッカに保管された基板等を清浄に保つため、例えばストッカ内の棚間に送風することによって基板等に堆積した塵などを吹き飛ばす設備が設けられる。特許文献１は、下方へとクリーンエアを吹き付けることで、棚に保管されたレチクルを清浄に保つものである。   In a factory or the like where a semiconductor substrate is manufactured, a stocker having a plurality of shelves for storing a substrate and a container in which the substrate is stored may be used. In such factories, the manufacturing process is often performed in a clean atmosphere, for example, a manufacturing line is built in a clean room. In order to keep the substrates and the like stored in the stocker clean, for example, a facility is provided for blowing dust accumulated on the substrates and the like by blowing air between shelves in the stocker. Patent Document 1 keeps the reticle stored on the shelf clean by blowing clean air downward.

しかし、特許文献１のように上方から送風される場合には、ストッカ内の棚間にまで気流が到達しにくい。   However, when the air is blown from above as in Patent Document 1, the airflow hardly reaches between the shelves in the stocker.

そこで、図２のようにダクト９２０及び風量調整シャッタ９２１を介して、上方からの気流をストッカ９００内の棚装置９１０に誘導することが考えられる。風量調整シャッタ９２１は、棚装置９１０内の棚９１１同士の間に送られる風量を均一に保つためのものである。これらの構成によって、上方からの気流が棚９１１同士の間に均一に到達する場合もある。   Therefore, it is conceivable to guide the airflow from above to the shelf device 910 in the stocker 900 via the duct 920 and the air volume adjusting shutter 921 as shown in FIG. The air volume adjustment shutter 921 is for keeping the air volume sent between the shelves 911 in the shelf apparatus 910 uniform. With these configurations, the airflow from above may reach the shelves 911 uniformly.

特開２００６−４１０２７（図１５）JP-A-2006-41027 (FIG. 15)

しかし、図２の構成によると、ダクト及び風量調整シャッタなどの追加の工事が必要となり、設備が過大な規模になるおそれがある。また、鉛直方向に配列された棚９１１の数が増えると、風量調整シャッタ９２１のみでは、天井２０１から床２０２までの全領域に亘って風量を均一にすることは困難である。   However, according to the configuration of FIG. 2, additional work such as a duct and an air flow adjusting shutter is required, and there is a possibility that the facility becomes excessively large. Further, when the number of shelves 911 arranged in the vertical direction increases, it is difficult to make the airflow uniform over the entire region from the ceiling 201 to the floor 202 with only the airflow adjustment shutter 921.

本発明の目的は、設備の規模を抑えつつ棚間に均一に気流を誘導することが可能な半導体基板用ストッカを提供することにある。   An object of the present invention is to provide a semiconductor substrate stocker capable of guiding airflow uniformly between shelves while suppressing the scale of equipment.

本発明の半導体基板用ストッカは、天井板と、前記天井板の下方に内包空間を前記天井板と共に画定するように、前記内包空間の周囲に配置された側板と、鉛直方向に関して配列された複数の棚を有する前記内包空間内に配置された棚装置と、水平方向に関して前記棚装置に対向するように前記側板に固定されており、前記側板から前記棚装置へと向かう気流を前記内包空間内に発生させる第１の気流発生手段とを備えており、前記棚装置に、前記側板との間の空間と前記棚同士に挟まれた空間とを連通させる１又は複数の開口が形成されており、前記内包空間内において前記第１の気流発生手段から前記開口までを結ぶ直線経路に沿った気体の流路が、全ての前記開口に関して確保されている。   The semiconductor substrate stocker of the present invention includes a ceiling plate, a side plate disposed around the inclusion space so as to define an inclusion space together with the ceiling plate below the ceiling plate, and a plurality of plates arranged in the vertical direction. A shelf device arranged in the internal space having a shelf, and fixed to the side plate so as to face the shelf device in the horizontal direction, and an air flow from the side plate toward the shelf device is generated in the internal space. 1st airflow generation means to be generated, and the shelf device is formed with one or a plurality of openings for communicating the space between the side plates and the space sandwiched between the shelves. In the internal space, a gas flow path is ensured for all the openings along a straight path connecting the first air flow generation means to the openings.

本発明の半導体基板用ストッカによると、気流発生手段が棚装置に対向するように側板に固定されており、ダクトや風量調整シャッタを介さず棚装置の開口に直接気流発生手段からの気流が到達する。したがって、ダクトや風量調整シャッタなどの追加の工事を必要とせず、設備全体の規模を抑えつつ、均一に気流が誘導される。なお、上記の構成において気流発生手段から各開口までを結ぶ直線経路に沿った気体の流路が確保されているということは、気流発生手段から各開口までの間に気流の通過を妨げるような部材等が設置されていないことを示している。したがって、気流発生手段からの気流が滞りなく開口まで到達し、棚上に載置された基板等への送風が確保される。   According to the semiconductor substrate stocker of the present invention, the airflow generating means is fixed to the side plate so as to face the shelf apparatus, and the airflow from the airflow generating means reaches the opening of the shelf apparatus directly without passing through the duct or the air volume adjusting shutter. To do. Therefore, no additional work such as a duct or an air volume adjusting shutter is required, and the air flow is uniformly induced while suppressing the scale of the entire facility. In the above configuration, the fact that the gas flow path along the straight path connecting the airflow generation means to each opening is secured means that the passage of the airflow is prevented between the airflow generation means and each opening. This indicates that no member or the like is installed. Therefore, the airflow from the airflow generating means reaches the opening without any stagnation, and air blowing to the substrate or the like placed on the shelf is ensured.

また、本発明においては、下方に向かう気流を前記内包空間内に発生させる第２の気流発生手段が前記天井板に固定されていることが好ましい。この構成によると、棚間への送風によって吹き飛ばされた塵等が、下方に向かう気流によって運び去られる。したがって、一旦吹き飛ばされた塵等が棚上の基板等に戻ることが抑制され、基板等が清浄に保たれる。   Moreover, in this invention, it is preferable that the 2nd airflow generation means which generates the airflow which goes below in the said inclusion space is being fixed to the said ceiling board. According to this structure, the dust etc. which were blown away by the ventilation between shelves are carried away by the downward airflow. Therefore, the dust once blown off is prevented from returning to the substrate on the shelf, and the substrate is kept clean.

また、本発明においては、前記側板に、鉛直方向に関する位置が互いに異なる複数の前記第１の気流発生手段が固定されていることが好ましい。この構成によると、棚が増えても複数の気流発生手段が配置されるため、より均一に気流が棚間に誘導される。   Moreover, in this invention, it is preferable that the said some 1st airflow generation means from which the position regarding a perpendicular direction differs from each other is being fixed to the said side plate. According to this configuration, even if the number of shelves increases, a plurality of airflow generating means are arranged, so that the airflow is more uniformly guided between the shelves.

以下、図面を参照しつつ本発明の好適な実施の形態について説明する。図１は、一実施形態であるストッカ１００を示している。図１（ａ）及び図１（ｂ）は、ストッカ１００の内部の構成を示しており、一部ストッカ１００の断面を含んでいる。図１（ｂ）の断面は、図１（ａ）のＢ−Ｂ線に沿った断面である。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows a stocker 100 according to an embodiment. FIG. 1A and FIG. 1B show the internal configuration of the stocker 100 and partially include a cross-section of the stocker 100. The cross section of FIG.1 (b) is a cross section along the BB line of Fig.1 (a).

ストッカ１００は、半導体製造ラインが構築されたクリーンルーム内に設置されている。かかる製造ラインには、例えば半導体基板に各種の製造処理を施す装置や、これらの装置間で基板を搬送する装置が設置されている。基板は各種の容器に収容された状態で搬送される。ストッカ１００は、かかる製造ラインにおいて基板を収容する容器１２０を一時的に保管するためのものである。   The stocker 100 is installed in a clean room where a semiconductor production line is constructed. In such a production line, for example, an apparatus for performing various manufacturing processes on a semiconductor substrate and an apparatus for transporting the substrate between these apparatuses are installed. The substrate is transported while being accommodated in various containers. The stocker 100 is for temporarily storing a container 120 for storing a substrate in such a production line.

ストッカ１００は、天井板１０３、２枚の側板１０４及び２枚の側板１０５を有している。２枚の側板１０４は、図１（ａ）においてストッカ１００の左右に互いに対向するように配置されており、２枚の側板１０５は、図１（ｂ）においてストッカ１００の左右に互いに対向するように配置されている。側板１０４は、クリーンルーム内の天井２０１から床２０２まで鉛直方向に沿って延在している。側板１０５は、天井板１０３から床２０２まで延在している。天井板１０３、側板１０４及び１０５は、ストッカ１００の内面１０９に囲まれた内包空間を確定している。また、天井板１０３と天井２０１との間には空間が形成されている。かかる空間には、床面から排出された循環エアが充填されている。床２０２には、ストッカ１００内の気体をクリーンルーム外へと排出する排気口（不図示）が設置されている。なお、図１（ａ）において側板１０４及び１０５は、クリーンルームの外壁であってもよい。つまり、例えば図１（ａ）の右側の側板１０４より右方は、クリーンルームの外部であってもよい。   The stocker 100 includes a ceiling plate 103, two side plates 104, and two side plates 105. The two side plates 104 are arranged so as to oppose each other on the left and right of the stocker 100 in FIG. 1A, and the two side plates 105 are arranged so as to oppose each other on the left and right of the stocker 100 in FIG. Is arranged. The side plate 104 extends along the vertical direction from the ceiling 201 to the floor 202 in the clean room. The side plate 105 extends from the ceiling plate 103 to the floor 202. The ceiling plate 103 and the side plates 104 and 105 define an inclusion space surrounded by the inner surface 109 of the stocker 100. A space is formed between the ceiling plate 103 and the ceiling 201. Such space is filled with circulating air discharged from the floor surface. The floor 202 is provided with an exhaust port (not shown) for discharging the gas in the stocker 100 to the outside of the clean room. In FIG. 1A, the side plates 104 and 105 may be outer walls of a clean room. That is, for example, the right side of the right side plate 104 in FIG. 1A may be outside the clean room.

ストッカ１００の内部には２つの棚装置１１０が設置されている。これらの棚装置１１０は水平方向に関して互いに対向するように配置されている。棚装置１１０は、鉛直方向に関して配列された複数の棚１１１を有している。各棚１１１上には複数の容器１２０が載置される。棚装置１１０の図１（ａ）において左右方向に関する両端には開口１１０ａが形成されている。棚１１１同士に挟まれた空間は、これら両端の開口１１０ａを通じてストッカ１００内の空間に連通している。図１（ａ）において左側の棚装置１１０の左端に位置する開口１１０ａは左側の側板１０４と対向し、右側の棚装置１１０の右端に位置する開口１１０ａは右側の側板１０４と対向している。   Inside the stocker 100, two shelf devices 110 are installed. These shelf devices 110 are arranged so as to face each other in the horizontal direction. The shelf device 110 has a plurality of shelves 111 arranged in the vertical direction. A plurality of containers 120 are placed on each shelf 111. In FIG. 1A of the shelf device 110, openings 110a are formed at both ends in the left-right direction. The space between the shelves 111 communicates with the space in the stocker 100 through the openings 110a at both ends. In FIG. 1A, the opening 110 a located at the left end of the left shelf device 110 faces the left side plate 104, and the opening 110 a located at the right end of the right shelf device 110 faces the right side plate 104.

なお、ストッカ１００には入出庫ポート（不図示）が形成されており、ストッカ１００内には容器１２０を搬入したり搬出したりする搬送装置（不図示）が設置されている。かかる搬送装置は、上記の入出庫ポートを通じてストッカ１００内に容器１２０を搬入して棚１１１上に載置すると共に、棚１１１上の容器１２０を入出庫ポートを通じてストッカ１００外に搬出する。入出庫ポートには、ストッカ１００外の別の搬送装置から容器１２０が載置されたり運び出されたりする。   The stocker 100 is provided with a loading / unloading port (not shown), and a transfer device (not shown) for loading and unloading the container 120 is installed in the stocker 100. Such a transport device carries the container 120 into the stocker 100 through the loading / unloading port and places it on the shelf 111, and unloads the container 120 on the shelf 111 out of the stocker 100 through the loading / unloading port. The container 120 is placed on or taken out from another transfer device outside the stocker 100 at the loading / unloading port.

側板１０４には複数の送風装置１０２（第１の気流発生手段）が固定されている。側板１０４には、鉛直方向に沿って２つの送風装置１０２が配列されている。送風装置１０２は内部にファンとフィルタと（何れも不図示）を有している。送風装置１０２の送風口は棚装置１１０に面して形成されており、吸気口はストッカ１００内に開口している。送風装置１０２は水平方向（図１（ａ）の左右方向）に関して棚装置１１０と対向する位置に配置されている。送風装置１０２と棚装置１１０との間は所定の距離ｄ１だけ離隔している。側板１０４と棚装置１１０との間には、送風装置１０２から棚装置１１０までの直線経路に沿った気流の通過を妨げるような部材等が設置されていない。送風装置１０２の送風口には、送風装置１０２内のファンからの気流を鉛直方向に拡散させるような送風ガイド（不図示）が設置されている。   A plurality of blowers 102 (first airflow generating means) are fixed to the side plate 104. Two air blowers 102 are arranged on the side plate 104 along the vertical direction. The blower 102 has a fan and a filter (both not shown) inside. The blower port of the blower device 102 is formed facing the shelf device 110, and the intake port is opened in the stocker 100. The blower 102 is disposed at a position facing the shelf device 110 in the horizontal direction (the left-right direction in FIG. 1A). The blower device 102 and the shelf device 110 are separated by a predetermined distance d1. No member or the like is installed between the side plate 104 and the shelf device 110 so as to prevent the passage of airflow along a straight path from the blower device 102 to the shelf device 110. A blower guide (not shown) is installed at the blower opening of the blower 102 so as to diffuse the airflow from the fan in the blower 102 in the vertical direction.

送風装置１０２のファンが回転すると、吸気口からの気体がフィルタを介して送風口から棚装置１１０へと向かって吹き出される。この気流は、送風装置１０２の送風口に設置された送風ガイドによって鉛直方向に拡散され、棚装置１１０の各開口１１０ａへと到達する。   When the fan of the blower 102 rotates, the gas from the intake port is blown out from the blower port toward the shelf device 110 through the filter. This airflow is diffused in the vertical direction by a blower guide installed at the blower opening of the blower 102 and reaches each opening 110 a of the shelf device 110.

天井板１０３には複数の送風装置１０１（第２の気流発生手段）が設置されている。送風装置１０１は内部にファンとフィルタと（何れも不図示）を有している。送風装置１０１の吸気口は天井２０１と天井板１０３との間の空間に開口しており、送風口はストッカ１００内の空間に開口している。送風装置１０１はファンを回転させることにより、天井板１０３と天井２０１との間の空間から循環エアを吸入すると共に、フィルタを介して下方へと排出する。これによって、下方に向かう気流を発生させる。送風装置１０１からの気流は、棚装置１１０同士の間の空間を下方へと向かい、床２０２に到達する。そして、床２０２に設置された排気口からクリーンルーム外へと排出され、再度循環エアとなって天井より供給される。   The ceiling plate 103 is provided with a plurality of blowers 101 (second airflow generating means). The blower 101 has a fan and a filter (both not shown) inside. The air inlet of the air blower 101 is open in the space between the ceiling 201 and the ceiling plate 103, and the air outlet is open in the space in the stocker 100. The blower 101 rotates the fan to suck in circulating air from the space between the ceiling plate 103 and the ceiling 201 and discharge it downward through a filter. As a result, a downward airflow is generated. The airflow from the blower 101 travels downward in the space between the shelves 110 and reaches the floor 202. And it is discharged | emitted from the exhaust port installed in the floor 202 out of a clean room, and becomes circulation air again, and is supplied from a ceiling.

以上の構成により、棚１１１上の容器１２０には送風装置１０２から均一に気流が誘導される。送風装置１０２が作動すると、各送風装置１０２から棚装置１１０の各開口１１０ａへと向かう気流が発生する。ここで、送風装置１０２の送風口から開口１１０ａまでの直線経路には気流の通過を妨げるものがないため、各開口１１０ａには送風装置１０２からの気流が滞りなく到達する（図１（ａ）の黒矢印）。   With the above configuration, airflow is uniformly guided from the blower 102 to the container 120 on the shelf 111. When the air blower 102 is activated, an air flow from each air blower 102 toward each opening 110a of the shelf device 110 is generated. Here, since there is nothing that obstructs the passage of airflow in the straight path from the air outlet of the blower 102 to the opening 110a, the airflow from the blower 102 reaches each opening 110a without any delay (FIG. 1 (a)). Black arrow).

開口１１０ａに到達した気流は、棚１１１同士の間を他方の開口１１０ａへと向かう気流となる（図１（ａ）の白抜き点線矢印）。かかる気流によって棚１１１上に載置された容器１２０に付着した塵等が除去される。他方の開口１１０ａに到達した気流は、送風装置１０１から下方へと向かう気流（図１（ａ）の白抜き実線矢印）と合流する。これによって、容器１２０から除去された塵等は棚１１１に戻ることなく下方へと運び去られる。そして、床２０２に設置された排気口を介して、塵等がクリーンルーム外へと排出される。   The airflow that has reached the opening 110a becomes an airflow that goes between the shelves 111 toward the other opening 110a (a white dotted line arrow in FIG. 1A). The dust or the like attached to the container 120 placed on the shelf 111 is removed by the airflow. The airflow that has reached the other opening 110a merges with the airflow that flows downward from the blower device 101 (the white solid arrow in FIG. 1A). Thereby, the dust or the like removed from the container 120 is carried away downward without returning to the shelf 111. And dust etc. are discharged | emitted out of a clean room through the exhaust port installed in the floor 202. FIG.

以下、従来構成について図２を参照しつつ説明する。図２において白抜き矢印は気流の方向を示している。従来構成の一例であるストッカ９００においては、天井板９０３に送風装置９０１が設置されている。一方で、側板９０４には送風装置が設置されていない。したがって、ストッカ９００内には下方に向かう気流が発生するが、かかる気流は棚装置９１０内の棚９１１間には到達しにくい。   Hereinafter, a conventional configuration will be described with reference to FIG. In FIG. 2, the white arrow indicates the direction of airflow. In a stocker 900 which is an example of a conventional configuration, a blower 901 is installed on a ceiling plate 903. On the other hand, no air blower is installed on the side plate 904. Therefore, although a downward airflow is generated in the stocker 900, such an airflow hardly reaches between the shelves 911 in the shelf device 910.

そこで、ストッカ９００には、ダクト９２０及び風量調整シャッタ９２１が設けられている。ダクト９２０は、棚装置９１０と側板９０４との間に鉛直方向に沿って設置されている。ダクト９２０の上端からは送風装置９０１から気流が流入する。ダクト９２０において棚装置９１０に面した表面には複数の開口が形成されている。各開口には風量調整シャッタ９２１が設けられている。風量調整シャッタ９２１は、各開口の開口面積等を変更できるように構成されている。   Therefore, the stocker 900 is provided with a duct 920 and an air volume adjustment shutter 921. The duct 920 is installed along the vertical direction between the shelf device 910 and the side plate 904. Airflow flows from the blower 901 from the upper end of the duct 920. A plurality of openings are formed on the surface of the duct 920 facing the shelf device 910. An air volume adjusting shutter 921 is provided in each opening. The air volume adjustment shutter 921 is configured so that the opening area of each opening can be changed.

以上の構成により、ストッカ９００においては、天井板９０３に設置された送風装置９０１からダクト９２０を介して気流が棚装置９１０へと誘導される。棚装置９１０の棚９１１間には、風量調整シャッタ９２１により、ダクト９２０からの気流が均一に到達する。   With the above configuration, in the stocker 900, the airflow is guided from the blower 901 installed on the ceiling plate 903 to the shelf device 910 through the duct 920. The airflow from the duct 920 uniformly reaches between the shelves 911 of the shelf device 910 by the air volume adjusting shutter 921.

しかし、かかる従来構成によると、上記の実施形態と異なりダクト９２０や風量調整シャッタ９２１を要するため設備の規模が過大なものとなり、コストも増大する。一方で、上記の実施形態によると、かかる従来構成と比べて小さい規模で、棚１１１間の空間に均一に送風可能な構成が実現する。例えば、棚装置から側板までの距離で比較すると、図１（ａ）においてはｄ１であるのに対して、図２においてはｄ１より大きいｄ２である。ダクト９２０と風量調整シャッタ９２１とが存在することにより、ある構成例においてｄ２＝５００ｍｍとなるのに対してｄ１＝１００ｍｍとなることが、本発明の発明者によって確認されている。これは、ダクト９２０を設置するスペースとして、棚装置９１０と側板９０４との間に４００ｍｍ程度の余計なスペースを要することに由来している。   However, according to such a conventional configuration, unlike the above-described embodiment, the duct 920 and the air volume adjustment shutter 921 are required, so the scale of the facility becomes excessive and the cost also increases. On the other hand, according to the above-described embodiment, a configuration capable of uniformly blowing air to the space between the shelves 111 is realized on a smaller scale than the conventional configuration. For example, when compared by the distance from the shelf device to the side plate, it is d1 in FIG. 1A, whereas d2 is larger than d1 in FIG. It has been confirmed by the inventors of the present invention that the presence of the duct 920 and the air volume adjustment shutter 921 results in d1 = 100 mm compared to d2 = 500 mm in a certain configuration example. This is because an extra space of about 400 mm is required between the shelf device 910 and the side plate 904 as a space for installing the duct 920.

また、従来構成においてはいくら風量調整シャッタ９２１があっても、棚数が増えると、下方の棚９１１まで均一に送風することは困難になる。これに対して上記の実施形態によると、鉛直方向に沿って配列された２つの送風装置１０２によって、棚１１１間の各空間に均一に送風される。   Further, in the conventional configuration, no matter how much the air volume adjustment shutter 921 is provided, if the number of shelves increases, it becomes difficult to uniformly blow air to the lower shelves 911. On the other hand, according to the above-described embodiment, the air is uniformly blown into the spaces between the shelves 111 by the two blowers 102 arranged along the vertical direction.

さらに、従来構成においては上方に設置された送風装置９０１から下方の棚９１１までの距離が大きいため、全ての棚９１１に均一に送風するためには多くの送風装置９０１を要する。これに対して、上記の実施形態においては、棚装置１１０の側面の開口１１０ａに真横から直接送風するため、比較的少数の送風装置１０２を側板１０４に固定することで全ての棚１１１に均一に送風することが可能である。ある従来構成において７つの送風装置を要するのに対して、上記の実施形態のように側板に送風装置を固定した場合には、天井板に１つ、２枚の側板に１つずつの合計で５つの送風装置を設けることで全ての棚に均一に送風され得ることが、本発明の発明者によって確認されている。   Furthermore, in the conventional configuration, since the distance from the blower 901 installed above to the lower shelf 911 is large, a large number of blowers 901 are required to uniformly blow air to all the shelves 911. On the other hand, in the above embodiment, since the air is blown directly from the side to the opening 110a on the side surface of the shelf device 110, a relatively small number of the air blowers 102 are fixed to the side plate 104 so that all the shelves 111 are evenly distributed. It is possible to blow. In a certain conventional configuration, while seven blowers are required, when the blower is fixed to the side plate as in the above embodiment, one on the ceiling plate and one on the two side plates in total. It has been confirmed by the inventor of the present invention that air can be uniformly blown to all the shelves by providing five blowers.

＜変形例＞
以上は、本発明の好適な実施の形態についての説明であるが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、課題を解決するための手段に記載された内容の限りにおいて様々な変更が可能なものである。 <Modification>
The above is a description of a preferred embodiment of the present invention. However, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made within the scope described in the means for solving the problem. It can be changed.

例えば、上述の実施形態において側板１０４と棚装置１１０との間には、送風装置１０２から棚装置１１０までの直線経路に沿った気流の通過を妨げるような部材等が設置されていない。しかし、送風装置１０２から棚装置１１０までの直線経路に沿って気流をガイドするようなガイド部材が設置されていてもよい。   For example, in the above-described embodiment, no member or the like is installed between the side plate 104 and the shelf device 110 so as to prevent the passage of airflow along a straight path from the blower device 102 to the shelf device 110. However, a guide member that guides the airflow along a straight path from the blower 102 to the shelf device 110 may be provided.

また、上述の実施形態においては、ストッカ１００内の底面はクリーンルームの床２０２の床面である。しかし、ストッカ１００の下方に半導体製造装置などの別の装置が設置されており、ストッカ１００内の底面がかかる装置の上面であったり、ストッカ１００と下方の装置とを仕切る床板が別途配置されていたりしてもよい。   Moreover, in the above-mentioned embodiment, the bottom surface in the stocker 100 is the floor surface of the floor 202 of the clean room. However, another apparatus such as a semiconductor manufacturing apparatus is installed below the stocker 100, and the bottom surface in the stocker 100 is the upper surface of the apparatus, or a floor plate that separates the stocker 100 from the lower apparatus is separately arranged. Or you may.

また、上述の実施形態においては、天井板１０３及び側板１０４、１０５等がストッカ１００の内包空間を確定している。しかし、クリーンルームを構成する天井２０１や外壁によってストッカ１００の内包空間が確定されていてもよい。   Further, in the above-described embodiment, the ceiling plate 103, the side plates 104 and 105, etc. define the internal space of the stocker 100. However, the internal space of the stocker 100 may be determined by the ceiling 201 and the outer wall constituting the clean room.

本発明の一実施形態に係るストッカの内部構成を示す一部断面を含む図である。It is a figure containing the partial cross section which shows the internal structure of the stocker which concerns on one Embodiment of this invention. 従来のストッカの内部構成を示す一部断面を含む図である。It is a figure containing the partial cross section which shows the internal structure of the conventional stocker.

符号の説明Explanation of symbols

１００ ストッカ
１０１，１０２ 送風装置
１０３ 天井板
１０４，１０５ 側板
１１０ 棚装置
１１０ａ 開口
１１１ 棚
９００ ストッカ
９０１ 送風装置
９０３ 天井板
９０４ 側板
９１０ 棚装置
９１１ 棚
９２０ ダクト
９２１ 風量調整シャッタ 100 Stocker 101, 102 Blower 103 Ceiling plate 104, 105 Side plate 110 Shelf device 110a Opening 111 Shelf 900 Stocker 901 Blower 903 Ceiling plate 904 Side plate 910 Shelf device 911 Shelf 920 Duct 921 Air volume adjustment shutter

Claims (3)

天井板と、
前記天井板の下方に内包空間を前記天井板と共に画定するように、前記内包空間の周囲に配置された側板と、
鉛直方向に関して配列された複数の棚を有する前記内包空間内に配置された棚装置と、
水平方向に関して前記棚装置に対向するように前記側板に固定されており、前記側板から前記棚装置へと向かう気流を前記内包空間内に発生させる第１の気流発生手段とを備えており、
前記棚装置に、前記側板との間の空間と前記棚同士に挟まれた空間とを連通させる１又は複数の開口が形成されており、
前記内包空間内において前記第１の気流発生手段から前記開口までを結ぶ直線経路に沿った気体の流路が、全ての前記開口に関して確保されていることを特徴とする半導体基板用ストッカ。 A ceiling board,
A side plate arranged around the inclusion space so as to define an inclusion space together with the ceiling plate below the ceiling plate;
A shelf apparatus arranged in the internal space having a plurality of shelves arranged in the vertical direction;
It is fixed to the side plate so as to face the shelf device in the horizontal direction, and includes a first air flow generating means for generating an air flow from the side plate toward the shelf device in the internal space,
In the shelf device, one or a plurality of openings are formed to communicate the space between the side plates and the space sandwiched between the shelves,
A semiconductor substrate stocker, wherein a gas flow path along a straight path connecting the first airflow generation means to the opening is secured in all the openings in the internal space. 下方に向かう気流を前記内包空間内に発生させる第２の気流発生手段が前記天井板に固定されていることを特徴とする請求項１に記載の半導体基板用ストッカ。   2. The semiconductor substrate stocker according to claim 1, wherein second ceiling airflow generating means for generating downward airflow in the internal space is fixed to the ceiling plate. 前記側板に、鉛直方向に関する位置が互いに異なる複数の前記第１の気流発生手段が固定されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の半導体基板用ストッカ。   3. The semiconductor substrate stocker according to claim 1, wherein a plurality of the first air flow generation means having different positions in the vertical direction are fixed to the side plate. 4.
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