JP2008216437A - 光電界センサ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】主表面がC面とされた単結晶の酸化アルミニウム(Al2O3)からなる基板101と、基板101の主表面上に結晶成長により形成された酸化亜鉛(ZnO)からなる下部クラッド層102を備えている。また、本光電界センサは、下部クラッド層102の上に結晶成長により形成されたニオブ酸リチウム(LiNbO3)からなるコア層103と、コア層103の上に形成されたZnOからなる上部クラッド層104とを備えている。
【選択図】 図1
Description
[実施例1]
図6は、実施例1における電界測定装置の構成例を示す構成図である。この電界測定装置は、光電界センサ601と、この光導波路にレーザ光を入射させる半導体レーザ602、半導体レーザ602と光導波路との間に配置されて、上記光導波路が形成されている基板の平面に対してレーザ光を45°偏光させる偏光子603及びλ/4波長板604とを備えている。また、この電界測定装置は、光電界センサ601を出射した光の中で上記基板の平面に対して45°に偏光された成分を透過させる検光子605及びλ/4波長板606と、λ/4波長板606を透過した光を受光して光電変換する受光器607とを備えている。
図7は、実施例2における電界測定装置の構成例を示す構成図である。図7(a)は平面図、図7(b)は、断面図である。この電界測定装置は、光導波路をマッハツェンダー(Mach-Zehnder)型としたものである。この電界測定装置は、主表面がC面とされた単結晶のAl2O3からなる基板701の上に、結晶成長により形成された導電性のZnOからなる下部クラッド層702を備え、この上に、マッハツェンダー干渉回路を形成する第1アーム703a及び第2アーム703bを含むコア層を備えている。コア層は、下部クラッド層102の上に結晶成長により形成されたLiNbO3から構成されている。
図8は、実施例2における電界測定装置の構成例を示す構成図である。図8(a)は平面図、図8(b)は、断面図である。この電界測定装置は、主表面がC面とされた単結晶のAl2O3からなる基板801の上に、結晶成長により形成された導電性のZnOからなる下部クラッド層802,結晶成長により形成されたLiNbO3からなるコア層803,及び導電性のZnOからなる上部クラッド層804を備え、これらで導波路を構成している。また、上部クラッド層804は、基板801の平面に平行な平面において三角形(平面視三角形)に形成され、プリズム型とされている。従って、上部クラッド層804に電圧が印加されると、上部クラッド層804直下の平面視三角形の領域のコア層803が、屈折率を変化させる。
Claims (2)
- 主表面がC面とされた単結晶Al2O3からなる基板と、
前記基板の主表面に結晶成長された導電性のZnOからなる下部クラッド層と、
前記下部クラッド層の上に結晶成長されたLiNbO3からなるコア層と、
前記コア層の上に結晶成長された導電性のZnOからなる上部クラッド層と、
前記下部クラッド層及び上部クラッド層のいずれかに接続されたアンテナと
を少なくとも備えることを特徴とする光電界センサ。 - 主表面がC面とされた単結晶Al2O3からなる基板の上に、導電性のZnOを結晶成長させて下部クラッド層が形成された状態とする第1工程と、
前記下部クラッド層の上にLiNbO3を結晶成長させてコア層が形成された状態とする第2工程と、
前記コア層の上に導電性のZnOを結晶成長させて上部クラッド層が形成された状態とする第3工程と、
前記下部クラッド層及び上部クラッド層のいずれかにアンテナを接続する第4工程と
を少なくとも備えることを特徴とする光電界センサの製造方法。
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JP2007051273A JP2008216437A (ja) | 2007-03-01 | 2007-03-01 | 光電界センサ及びその製造方法 |
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JP (1) | JP2008216437A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014006348A (ja) * | 2012-06-22 | 2014-01-16 | Tdk Corp | 光変調器 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11119265A (ja) * | 1997-10-18 | 1999-04-30 | Fuji Xerox Co Ltd | 光導波路素子 |
JP2000230955A (ja) * | 1999-02-10 | 2000-08-22 | Tokin Corp | 導波路型電界センサヘッドおよび電界センサ |
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2007
- 2007-03-01 JP JP2007051273A patent/JP2008216437A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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