JP2008211124A - 半導体装置収納パッケージ - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体チップの上方露出面の電気的接続部だけを樹脂封止し、センサーやMEMSが形成された上方露出面を機能的に損傷させずに液状の封止樹脂が流出しないような手段を提供する。
【解決手段】センサーチップ2の表面2aと僅少な隙間を有してダム梁5を配置し、ダム梁5から電極2b形成領域2c側を封止樹脂7aで封止し封止部7を形成する。この隙間は、封止部7の形成時に、その封止用液状樹脂が隙間内に流れ込む寸法であるとともに、ダム梁5とセンサーチップの表面2aとの表面張力によりダム梁5より先方へはみ出さない寸法に設定されている。このため、センサーチップ2を損傷することがなく、小型化が可能となる。
【選択図】図2
【解決手段】センサーチップ2の表面2aと僅少な隙間を有してダム梁5を配置し、ダム梁5から電極2b形成領域2c側を封止樹脂7aで封止し封止部7を形成する。この隙間は、封止部7の形成時に、その封止用液状樹脂が隙間内に流れ込む寸法であるとともに、ダム梁5とセンサーチップの表面2aとの表面張力によりダム梁5より先方へはみ出さない寸法に設定されている。このため、センサーチップ2を損傷することがなく、小型化が可能となる。
【選択図】図2
Description
本発明は、上方露出面にセンサーやマイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム(MEMS)装置が形成された半導体装置を樹脂封止する半導体装置収納パッケージの構造に関する。
上方露出面にセンサーやマイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム(MEMS)装置が形成された半導体装置を樹脂封止する半導体装置収納パッケージには、その表面の少なくとも一部を封止樹脂で被覆してはならないものがある。その半導体装置としては、例えば上記表面にセンサー(検知部)を有するもの、或いは上記表面側に上記MEMSを搭載したものがある。
この種の半導体装置の収納用パッケージ構造は、半導体装置の表面を封止樹脂で被覆せずに電気的接続部だけを樹脂封止するものであり、その樹脂封止用の液状封止樹脂が上記表面に流出することがないように流出防止部を備えている。
この種の半導体装置の収納用パッケージ構造は、半導体装置の表面を封止樹脂で被覆せずに電気的接続部だけを樹脂封止するものであり、その樹脂封止用の液状封止樹脂が上記表面に流出することがないように流出防止部を備えている。
特許文献1と特許文献2には、前記表面と前記電気的接続部との間に上記流出防止部としての突出部または溝を形成したものである。
上記突出部または溝が形成されることにより、前記電気的接続部を樹脂により封止する際に、液状封止樹脂が上記突出部または溝に留められ、それより先方には流出することを防止するものである。
したがって、上記液状封止樹脂が前記半導体装置の表面を被覆することを防止し、前記半導体装置の表面はセンサーとして、あるいはMEMSとしての機能が発揮されるようになる。
上記突出部または溝が形成されることにより、前記電気的接続部を樹脂により封止する際に、液状封止樹脂が上記突出部または溝に留められ、それより先方には流出することを防止するものである。
したがって、上記液状封止樹脂が前記半導体装置の表面を被覆することを防止し、前記半導体装置の表面はセンサーとして、あるいはMEMSとしての機能が発揮されるようになる。
上記流出防止部としての上記突出部または溝は、前記表面と前記電気的接続部との間の部材に形成されるものであり、上記間の部材は上記突出部または溝を形成してもよい部材でなくてはならない。特許文献1、特許文献2では、センサーやMEMS機能を備えた半導体装置以外の基板であり、センサーやMEMS機能を備えた半導体装置を取り付けている基板である。
したがって、センサーやMEMS機能を備えた半導体装置の表面の一部に外部との接続端子を有しているタイプの半導体装置に適用することは通常困難である。すなわち上記半導体装置の表面に前述した突出部または溝を形成することは、上記半導体装置表面に別部材の突出物を形成することになり汎用性を損ねる。またその表面に溝を形成することは当該半導体装置の内部構造を破壊することにもなりかねない。
したがって、センサーやMEMS機能を備えた半導体装置の表面の一部に外部との接続端子を有しているタイプの半導体装置に適用することは通常困難である。すなわち上記半導体装置の表面に前述した突出部または溝を形成することは、上記半導体装置表面に別部材の突出物を形成することになり汎用性を損ねる。またその表面に溝を形成することは当該半導体装置の内部構造を破壊することにもなりかねない。
また特許文献1や特許文献2の上記突出部または溝は、平面配置においてセンサーやMEMS機能を備えた半導体装置の幅いっぱいに形成されているのではなく、一部に形成されているに過ぎない。したがって、上記突出部または溝は、上記幅方向における液状封止樹脂の上記流出防止効果は不十分であり、幅方向の両脇から漏出する危険性を有する。
したがって、上記危険性を考慮すると、上記突出部または溝の形成位置は、上記半導体装置から離れた位置に形成せざるを得なくなり、その分、半導体装置の収納用パッケージ全体が大型となってしまう。
したがって、上記危険性を考慮すると、上記突出部または溝の形成位置は、上記半導体装置から離れた位置に形成せざるを得なくなり、その分、半導体装置の収納用パッケージ全体が大型となってしまう。
本発明は、上記課題に鑑みて、上記センサーやMEMS機能を備えた半導体装置の表面に何らの加工を必要とせず、したがって何らの損傷を与えることがなく、液状封止樹脂が上記半導体装置表面の内のセンサー形成領域やMEMS形成領域に漏出することを防止する半導体装置の収納用パッケージをもたらすことを目的とする。
さらに、本発明は、小型の半導体装置の収納用パッケージをもたらすことを目的とする。
さらに、本発明は、小型の半導体装置の収納用パッケージをもたらすことを目的とする。
本発明実施態様1の半導体装置収納用パッケージは、上方露出面にセンサーやマイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム(MEMS)装置が形成された半導体装置を樹脂封止する半導体装置収納パッケージにおいて、前記半導体装置を装着する導電基板と、前記半導体装置の平面形状寸法より大きな中央開口部と、前記導電基板の少なくとも外周部を樹脂封止する外周封止部とを備えたプリモールド部と、前記プリモールド部の前記中央開口部に配置された前記半導体装置が前記導電基板上に装着された状態で、前記中央開口部内にて前記半導体装置の電極部および前記電極部と導通接続する前記導電基板の導電部を樹脂封止する封止部と、前記封止部を形成する際の当該封止用液状樹脂の流れを堰き止めるように前記半導体装置の前記上方露出面側に配置され、前記プリモールド部の前記中央開口部を横切って配置されたダム梁と、を備え、前記ダム梁は、前記半導体装置の表面と僅少な隙間を有して配置されており、前記僅少な隙間は、前記封止部の形成時に、前記封止用液状樹脂が前記隙間内に流れ込む寸法であるとともに、前記ダム梁と前記半導体装置の上面との表面張力により前記ダム梁より先方へほぼはみ出さない寸法に設定されていることを特徴とする。
上記本発明実施態様1の構成によれば、まず、前記プリモールド部の前記中央開口部に配置された前記半導体装置が前記導電基板上に装着された状態で、前記中央開口部内にて前記半導体装置の電極部および前記電極部と導通接続する前記導電基板の導電部を樹脂封止することから、前記半導体装置の電極部とこの電極部と導通接続する前記導電基板の導電部とを近づけることができ、平面スペースを小さくすることができ小型化が可能となる。
また上記プリモールド部を形成しておきその中央開口部に液状封止用樹脂を注入するので、半導体装置収納用パッケージの外部収納容器としての上記プリモールド部は、機械的強度等を確保する材料を選定するにしても、上記封止用液状樹脂は、上記プリモールド部とは異なった材質の樹脂材料を選定できるので、流動性や封止性で最適な樹脂材料を選定でき、また加熱硬化処理も最適に行うことが出来る。
また上記プリモールド部を形成しておきその中央開口部に液状封止用樹脂を注入するので、半導体装置収納用パッケージの外部収納容器としての上記プリモールド部は、機械的強度等を確保する材料を選定するにしても、上記封止用液状樹脂は、上記プリモールド部とは異なった材質の樹脂材料を選定できるので、流動性や封止性で最適な樹脂材料を選定でき、また加熱硬化処理も最適に行うことが出来る。
さらに本発明では、ダム梁が、前記プリモールド部の前記中央開口部を横切って配置され、しかも前記ダム梁は、前記半導体装置の表面と僅少な隙間を有して配置されており、前記僅少な隙間は、前記封止部の形成時に、前記封止用液状樹脂が前記隙間内に流れ込む寸法であるとともに、前記ダム梁と前記半導体装置の表面張力により前記ダム梁より先方へほぼはみ出さない寸法に設定されていることから、前記封止用液状樹脂が前記ダム梁まで確実に流れ込むことになる。したがって、前記封止用液状樹脂は、前記ダム梁により確実に堰き止められることになる。よって、前記半導体装置の前記ダム梁より先方には封止用液状樹脂が流れることはないので、前記半導体装置のセンサー用平面領域等の作用を損なうことがない。また前記ダム梁の下面にも前記封止用液状樹脂が流れ込んでいるので、前記半導体装置の電極部を確実に樹脂封止することができる。
上記ダム梁は、前記半導体装置の表面に形成するものではないことから、前記半導体装置の表面を損なうことがなく、前記半導体装置に不要な加工を施す工数をかけることもないので、前記半導体装置に損傷をもたらすことがなく前記半導体装置を汎用性あるものとすることができる。
上記ダム梁は、前記半導体装置の表面に形成するものではないことから、前記半導体装置の表面を損なうことがなく、前記半導体装置に不要な加工を施す工数をかけることもないので、前記半導体装置に損傷をもたらすことがなく前記半導体装置を汎用性あるものとすることができる。
上記センサーは、例えば光センサー(例えばCCD)、ガスセンサー、湿気センサー、気圧センサー、加速度センサー等である。上記MEMSは、LSIやIC等の半導体装置の上部に一体的に構成されたもので、半導体集積回路素子等の微細配線を形成する加工技術を応用する等により、極めて微細な電子機械機構を構成しているものである。
上記微細電子機械機構は、例えば光を反射するように微動回転可能なマイクロミラー群、圧電素子使用のマイクロアクチュエータ、電子スイッチ、インダクタンス、キャパシタ、共振器、アンテナ、マイクロリレー、光スイッチ、ハードディスク用磁気ヘッド、マイク、バイオセンサー、DNAチップ、マイクロリアクタ、加速度センサー、圧力センサー等である。
上記微細電子機械機構は、例えば光を反射するように微動回転可能なマイクロミラー群、圧電素子使用のマイクロアクチュエータ、電子スイッチ、インダクタンス、キャパシタ、共振器、アンテナ、マイクロリレー、光スイッチ、ハードディスク用磁気ヘッド、マイク、バイオセンサー、DNAチップ、マイクロリアクタ、加速度センサー、圧力センサー等である。
本発明実施態様2の半導体装置収納パッケージは、実施態様1に記載された半導体装置収納パッケージにおいて、前記ダム梁は、前記プリモールド部の前記中央開口部の幅いっぱいに配置されていることを特徴とする。
上記構成によれば、前記ダム梁は、前記プリモールド部の前記中央開口部の幅いっぱいに配置されているので、前記封止用液状樹脂が前記ダム梁の幅方向の両端側から回りこんで先方側の前記半導体装置表面側に流れ込むことを防止することが出来る。したがって、封止樹脂が上記表面を被覆することがないので、センサー等の機能を遺憾なく発揮することが出来る。
本発明実施態様3の半導体装置収納パッケージは、実施態様1から実施態様2のいずれかに記載された半導体装置収納パッケージにおいて、前記ダム梁は、前記封止用液状樹脂が流れ込む側の下角には、前記封止用液状樹脂流れ込み案内面が形成されていることを特徴とする。
上記構成によれば、前記前記ダム梁は、前記封止用液状樹脂が流れ込む側の下角には、前記封止用液状樹脂流れ込み案内面が形成されているので、前記封止用液状樹脂が前記ダム梁の下面に流れ込みやすくなり、確実に前記半導体装置の電極を樹脂封止することができる。
なお、前記ダム梁の下面の先方側(前記封止用液状樹脂が流れ込む側とは反対側)の角は、上記案内面が形成されずに角ばった角部が形成されていると好ましい。この角部により、前記封止用液状樹脂がそれよりも先方に流れ出すことを防止する効果をもたらす。仮に、上記下面の先方側にも前記封止用液状樹脂流れ込み案内面のような案内面が形成されている場合には、その案内面に沿って前記封止用液状樹脂が流れ込むことになり、前記先方側にはみ出てしまう。このはみ出し位置は不安定になるから、先方側の前記半導体装置表面側、すなわちセンサー領域にはみだしやすくなり、センシング作用やMEMS動作に悪影響をもたらすことになりやすい。したがって、前記ダム梁の下面の先方側の側面は、その下面に対して鋭角な角部に形成されていると前記封止用液状樹脂が前記ダム梁の下面の先方側の角部にて流れ込み樹脂が留まることになって好ましい。
なお、前記ダム梁の下面の先方側(前記封止用液状樹脂が流れ込む側とは反対側)の角は、上記案内面が形成されずに角ばった角部が形成されていると好ましい。この角部により、前記封止用液状樹脂がそれよりも先方に流れ出すことを防止する効果をもたらす。仮に、上記下面の先方側にも前記封止用液状樹脂流れ込み案内面のような案内面が形成されている場合には、その案内面に沿って前記封止用液状樹脂が流れ込むことになり、前記先方側にはみ出てしまう。このはみ出し位置は不安定になるから、先方側の前記半導体装置表面側、すなわちセンサー領域にはみだしやすくなり、センシング作用やMEMS動作に悪影響をもたらすことになりやすい。したがって、前記ダム梁の下面の先方側の側面は、その下面に対して鋭角な角部に形成されていると前記封止用液状樹脂が前記ダム梁の下面の先方側の角部にて流れ込み樹脂が留まることになって好ましい。
本発明実施態様4の半導体装置収納パッケージは、実施態様1から実施態様3のいずれかに記載された半導体装置収納パッケージにおいて、前記封止部は、前記半導体装置の電極部と前記導電基板の導電部とその両者を導通するワイヤーを封止していることを特徴とする。
上記構成によれば、前記封止部は、前記半導体装置の電極部と前記導電基板の導電部とその両者を導通するワイヤーを封止するので、全ての導電経路部材が湿気や酸化等の影響をうけず、良好な導電性を確保することができるものである。
本発明実施態様5の半導体装置収納パッケージは、実施態様1から実施態様4のいずれかに記載された半導体装置収納パッケージにおいて、前記導電基板はリードフレームであり、前記リードフレームは、前記半導体装置を装着するタブと、外部接続用の接続リードとを備えており、前記タブの裏面は前記プリモールド部により封止されており、前記リードは前記プリモールド部外壁から突出していることを特徴とする。
上記構成によれば、リードフレームを用いているので、タブや外部接続用の接続リードが容易に形成され、金属フレームのため高強度が確保されるものである。上記リードフレームは、前記プリモールド部と前記封止部により封止されているので、酸化等の化学変化等が防止される。
本発明実施態様6の半導体装置収納パッケージは、実施態様1から実施態様5のいずれかに記載された半導体装置収納パッケージにおいて、前記封止部は、前記ダム梁より先方側に位置する前記中央開口部において前記半導体装置の外周側壁を封止していることを特徴とする。
上記構成によれば、前記封止部は、前記ダム梁より先方側に位置する前記中央開口部において前記半導体装置の外周側壁を封止しているので、半導体装置を湿気や有害なガスを遮断し、ショートや動作不良を防止することができる。
本発明実施態様7の半導体装置収納パッケージは、実施態様1から実施態様6のいずれかに記載された半導体装置収納パッケージにおいて、前記半導体装置は、センサーチップまたはMEMS装置であることを特徴とする。
上記構成によれば、半導体装置の上方露出面にセンサーが構成されており、上記センサーは、センシングの対象が上記上方露出面に存在するので、上記センサー形成領域が前記ダム梁により樹脂封止されないので上記センシングが確実に行われ、前記ダム梁の効果が有効に発揮されることになる。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
〔実施形態〕
〔実施形態〕
図1は、本発明実施形態のセンサー用半導体装置収納パッケージ1の平面図、図2は図1のA−A位置での断面図、図3は図1のB−B位置での断面図、図4は、図2のダム梁部周辺の拡大断面図である。
各図において、2は上方露出面にセンサー機能部が構成された半導体装置であるセンサーチップであり、光を検出する光センサー(例えばCCD)である。したがって、センサー用半導体装置収納パッケージ1は、光検出センサーチップ収納パッケージである。
なお、センサーチップ2は、光以外を検出するものであってもよく、例えばガスセンサー、湿気センサー、気圧センサー、加速度センサー等であってもよく、上方露出面にセンサー機能部が構成されているものである。
なお、センサーチップ2は、光以外を検出するものであってもよく、例えばガスセンサー、湿気センサー、気圧センサー、加速度センサー等であってもよく、上方露出面にセンサー機能部が構成されているものである。
3は、半導体装置である上記センサーチップ2を装着する導電基板としてのリードフレームである。なお、上記導電基板としては、リードフレーム以外のものでもよく、例えば、表面等に導電パターンが配線された回路基板であってもよい。この回路基板は、リジット基板であってもよく、フレキシブル基板であってもよい。
上記リードフレーム3は、鉄・ニッケル合金、銅合金等の導電性金属から構成されており厚さ0.1mm〜0.2mm程度であって、図1の二点鎖線で図示されているような左右の枠部と両枠部から中央側に突出形成されている部分とを有して形成されている。
詳述すれば、リードフレーム3は、ほぼ中央部に配置されて前記センサーチップ2を搭載して接着材で接合するタブ3a、タブ3aを前記左右の枠部3b、3bに連結しているタブリード3c、3c、右側枠部3bからセンサーチップ2側に突出形成されている複数のリード部3dを有して構成されている。前記タブ3aは、前記センサーチップ2よりも大きな平面形状に形成されている。各リード部3dにおけるセンサーチップ2側の先端は、センサーチップ2の右側辺より若干右側に離れて位置するように形成されている。
上記リードフレーム3は、鉄・ニッケル合金、銅合金等の導電性金属から構成されており厚さ0.1mm〜0.2mm程度であって、図1の二点鎖線で図示されているような左右の枠部と両枠部から中央側に突出形成されている部分とを有して形成されている。
詳述すれば、リードフレーム3は、ほぼ中央部に配置されて前記センサーチップ2を搭載して接着材で接合するタブ3a、タブ3aを前記左右の枠部3b、3bに連結しているタブリード3c、3c、右側枠部3bからセンサーチップ2側に突出形成されている複数のリード部3dを有して構成されている。前記タブ3aは、前記センサーチップ2よりも大きな平面形状に形成されている。各リード部3dにおけるセンサーチップ2側の先端は、センサーチップ2の右側辺より若干右側に離れて位置するように形成されている。
4は、プリモールド部で、センサーチップ2の平面外径形状寸法より大きな平面スペースを有して上方に開口している中央開口部4aと、リードフレーム3における前記タブ3aの少なくとも外周部を樹脂封止する外周封止部4bとを備え、さらに後述するダム梁5が上方から挿入できるダム梁挿入溝4cを備えている。
上記外周封止部4bについて詳述する。
この外周封止部4bは、外形平面形状が長方形であり、リードフレームのタブ3aの外周辺の上面と側面を覆っており、上方向の内形平面形状が前述した中央開口部4aとして前記センサーチップ2より大きく長方形に形成されている。
上記外周封止部4bについて詳述する。
この外周封止部4bは、外形平面形状が長方形であり、リードフレームのタブ3aの外周辺の上面と側面を覆っており、上方向の内形平面形状が前述した中央開口部4aとして前記センサーチップ2より大きく長方形に形成されている。
上記外周封止部4bは、前記中央開口部4aの周囲に構成されており、前記ダム梁挿入溝4cに挿入配置されたダム梁5よりリード部3d側、すなわち図1の右側に、図2、図3に図示されているように高さ方向に高い高外周封止部4baと、前記ダム梁5位置よりリード部3dとは反対側、すなわち図1の左側に、前記高外周封止部4baより低い低外周封止部4bbとが形成されている。上記低外周封止部4bbの高さは、前記タブ3aに接着固定された状態におけるセンサーチップ2の上表面よりも上方向に高く形成されている。前記高外周封止部4baと低外周封止部4bbは、図1にも見られるように前記中央開口部4aを挟んで図1の上側と下側の両方に対向して形成されている。
上記高外周封止部4baと低外周封止部4bbの境界付近は傾斜して傾斜面4dが形成されている。この傾斜面4dに近接した前記高外周封止部4baの各々の内壁には、前記ダム梁5が上側から挿入できるダム梁挿入溝4cが形成されている。
上記高外周封止部4baと低外周封止部4bbの境界付近は傾斜して傾斜面4dが形成されている。この傾斜面4dに近接した前記高外周封止部4baの各々の内壁には、前記ダム梁5が上側から挿入できるダム梁挿入溝4cが形成されている。
前記リード部3d付近の上記高外周封止部4baには、図2、図1に図示されているように、タブリード3cと各リード部3dが埋設されており、そのうちタブリード3cは上記高外周封止部4baの右外壁位置で切断されており、前記各リード部3dは上記高外周封止部4baから右方に突出しており、その先端が下方向に折り曲げされている。
前記ダム梁5を挟んで前記リード部3dとは反対側における上記低外周封止部4bb には、図2、図1に図示されているように上記タブリード3cが埋設されており、タブリード3cは上記低外周封止部4bbの左外壁位置で切断されている。
上記外周封止部4bには、リードフレーム3の下側、すなわち裏面側を覆うように裏側封止部4eが構成されているものである。
なお、上記プリモールド部4は、前記リードフレーム3を樹脂成形型にセットしてから成形用樹脂が挿入されて形成されるものであり、このプリモールド部4に構成された中央開口部4aの中に上方からセンサーチップ2を挿入し、挿入されたセンサーチップ2を前記タブ3a上に載せ、両者を接着材にて接合するものである。
プリモールド部4の材質は、エポキシ樹脂が好ましく、液晶ポリマー、ポリフェニレンサルファイド樹脂等、封止用樹脂であればどのような樹脂でも適用できる。
前記ダム梁5を挟んで前記リード部3dとは反対側における上記低外周封止部4bb には、図2、図1に図示されているように上記タブリード3cが埋設されており、タブリード3cは上記低外周封止部4bbの左外壁位置で切断されている。
上記外周封止部4bには、リードフレーム3の下側、すなわち裏面側を覆うように裏側封止部4eが構成されているものである。
なお、上記プリモールド部4は、前記リードフレーム3を樹脂成形型にセットしてから成形用樹脂が挿入されて形成されるものであり、このプリモールド部4に構成された中央開口部4aの中に上方からセンサーチップ2を挿入し、挿入されたセンサーチップ2を前記タブ3a上に載せ、両者を接着材にて接合するものである。
プリモールド部4の材質は、エポキシ樹脂が好ましく、液晶ポリマー、ポリフェニレンサルファイド樹脂等、封止用樹脂であればどのような樹脂でも適用できる。
上記リード部3dの先端(内端)の位置、すなわち図1では上記リード部3dの左先端の位置は、タブ3aの右側辺の近傍まで突出して配置されている。したがって、上記リード部3dの内端は、上記中央開口部4a内に配置されていることになる。
ダム梁5は、断面形状が図4のように略四角形で平面形状が図1のように上下方向に細長い長方形であり、アルミニューム、黄銅、ステンレススチール等の金属や合成樹脂、セラミック等から構成されている。
上記ダム梁5は、前記中央開口部4aを挟んで図1の上下方向に形成され互いに対向する上記外周封止部4b、4bに設けられた前述のダム梁挿入溝4cに上方から押し込められて上記外周封止部4b、4bに取り付けられている。
なお、上記ダム梁5が上記外周封止部4b、4bに取り付けられことは、上記押し込みに限定されるものではなく、要するに上記ダム梁5が上記外周封止部4b、4bの所定平面位置と所定断面方向位置に取り付けられればどのような方法や構造であってもよい。例えば、プリモールド部4の成形時に上記ダム梁5をインサート成形するようにしてもよい。またダム梁5を接着材により上記外周封止部4b、4bの所定平面位置と所定断面方向位置に接合して取り付けてもよい。
いずれにしても上記ダム梁5は、図4に図示されているように、前記プリモールド部4の前記中央開口部4aの幅いっぱいに配置されるものである。
上記ダム梁5は、前記中央開口部4aを挟んで図1の上下方向に形成され互いに対向する上記外周封止部4b、4bに設けられた前述のダム梁挿入溝4cに上方から押し込められて上記外周封止部4b、4bに取り付けられている。
なお、上記ダム梁5が上記外周封止部4b、4bに取り付けられことは、上記押し込みに限定されるものではなく、要するに上記ダム梁5が上記外周封止部4b、4bの所定平面位置と所定断面方向位置に取り付けられればどのような方法や構造であってもよい。例えば、プリモールド部4の成形時に上記ダム梁5をインサート成形するようにしてもよい。またダム梁5を接着材により上記外周封止部4b、4bの所定平面位置と所定断面方向位置に接合して取り付けてもよい。
いずれにしても上記ダム梁5は、図4に図示されているように、前記プリモールド部4の前記中央開口部4aの幅いっぱいに配置されるものである。
また前記ダム梁5は、前記封止部7を成形する際、封止用液状樹脂が流れ込む側、つまり前記リード部3d配置側の下角に前記封止用液状樹脂流れ込み案内面5aが形成されている。この案内面5aは、傾斜面に形成されても円弧面に形成されていてもよい。要は前記封止部7を成形する際にその液状樹脂が前記ダム梁5の下面5b側に流れやすくなるように流れ案内をなすならば、どのような断面形状を有していてもよいものである。
また前記ダム梁5の先方側、すなわち前記リード部3dとは反対側の側面である先方側面5cは、下面5bとの角度αが鋭角になるように傾斜して形成されている。
前記封止用液状樹脂流れ込み案内面5aにより上記液状樹脂が前記ダム梁5の下面5b側に流れやすくなり、先方側面5cが鋭角である上記角度αに形成されていることから上記液状樹脂が先方下端5d付近に前述の液状樹脂が留まることになって、それより先方に上記液状樹脂が流れこむことがない。つまり、上記液状樹脂は、前記ダム梁5の案内面5aに案内されると毛細管現象により下面5bとセンサーチップ表面2aとの隙間Hに流れ込みやすくなり、同時に上記先方下端5dが形成されていることにより上記下面5bの表面張力の作用によって上記先方下端5dより先方に流れることを防止するものである。
なお、上記角度αはほぼ直角でもよいが、前記先方下端5dは、上記案内面5aよりも角張っていればよいもので、例えば上記案内面5aより小さな傾斜面、小さな円弧に形成されていと好ましく上記先方下端5dより先方に流れることをより防止する。
また前記ダム梁5の先方側、すなわち前記リード部3dとは反対側の側面である先方側面5cは、下面5bとの角度αが鋭角になるように傾斜して形成されている。
前記封止用液状樹脂流れ込み案内面5aにより上記液状樹脂が前記ダム梁5の下面5b側に流れやすくなり、先方側面5cが鋭角である上記角度αに形成されていることから上記液状樹脂が先方下端5d付近に前述の液状樹脂が留まることになって、それより先方に上記液状樹脂が流れこむことがない。つまり、上記液状樹脂は、前記ダム梁5の案内面5aに案内されると毛細管現象により下面5bとセンサーチップ表面2aとの隙間Hに流れ込みやすくなり、同時に上記先方下端5dが形成されていることにより上記下面5bの表面張力の作用によって上記先方下端5dより先方に流れることを防止するものである。
なお、上記角度αはほぼ直角でもよいが、前記先方下端5dは、上記案内面5aよりも角張っていればよいもので、例えば上記案内面5aより小さな傾斜面、小さな円弧に形成されていと好ましく上記先方下端5dより先方に流れることをより防止する。
また、前記ダム梁5の下面5bは、上記液状樹脂が流れ込みやすい状態に形成されていることが好ましい。たとえば、上記下面5bの表面状態は、前記ダム梁5の他の面に比べて上記液状樹脂との濡れ性がよい表面状態、例えば表面仕上げがより良好、つまり表面凹凸高さが小さい状態であることが好ましい。あるいは、上記下面5bにおいて封止用液状樹脂が流れ込む側が高く、前記先方下端5d側は低くなるように多少傾斜して形成する、すなわち下面5bとセンサーチップ表面2aとの隙間Hは封止用液状樹脂が流れ込む側が高く、前記先方下端5d側は低くなるように形成すると上記液状樹脂が流れやすくなる。
上記隙間Hは、次の様に設定されている。
上記隙間Hは、前記封止部7の形成時に、前記封止用液状樹脂が前記隙間H内に流れ込むことが出来る寸法であるとともに、前記ダム梁5と前記センサーチップ表面2aとの表面張力により前記ダム梁5より先方へほぼはみ出さない寸法に設定されているものである。つまり、前記封止用液状樹脂が、前記隙間H内に流れ込んだ際に、前記ダム梁5の前記先方下端5d付近からは先方にはみ出さないように隙間Hが設定されているものである。
そこで上記隙間Hは、前記ダム梁5と前記センサーチップ2の材質、表面状況、前記ダム梁5の案内面5aの有無及びその大きさ、前記封止用液状樹脂の材質、粘度等様々な条件によって変化するものであるので、実情に応じて最適な寸法に設定する必要がある。
上記隙間Hは、前記封止部7の形成時に、前記封止用液状樹脂が前記隙間H内に流れ込むことが出来る寸法であるとともに、前記ダム梁5と前記センサーチップ表面2aとの表面張力により前記ダム梁5より先方へほぼはみ出さない寸法に設定されているものである。つまり、前記封止用液状樹脂が、前記隙間H内に流れ込んだ際に、前記ダム梁5の前記先方下端5d付近からは先方にはみ出さないように隙間Hが設定されているものである。
そこで上記隙間Hは、前記ダム梁5と前記センサーチップ2の材質、表面状況、前記ダム梁5の案内面5aの有無及びその大きさ、前記封止用液状樹脂の材質、粘度等様々な条件によって変化するものであるので、実情に応じて最適な寸法に設定する必要がある。
なお、前記ダム梁5と前記センサーチップ2は、次の様な関係に設定されているとより好ましい。
すなわち、前記ダム梁5の下面5bのうち平坦部分の長さLは、前記ダム梁5の下面5bとセンサーチップ表面2aとの上記隙間Hの寸法よりも長く形成されるようにすることである。この場合、上記平坦部分の長さLは、前記ダム梁5の下面5bにおいて前述の案内面5aの斜面や曲面部を除き、また前記先方下端5dに形成されている場合にはその斜面や曲面部を除いて、平面状態の部分をいうものである。
以上のような関係に設定されていると、前記封止用液状樹脂が、前記隙間H内に流れ込んだ際に、前記ダム梁5の前記先方下端5d付近からは先方にはみ出さないようになりやすい。それは、上記平坦部分の長さLが十分長いことから、前記ダム梁5の下面5bとセンサーチップ表面2aの両者における表面張力が適度に作用するためと考えられる。
なお、上記平坦部分の長さLが長すぎると前記封止用液状樹脂が、前記隙間H内に流れ込みにくくなることから、上記平坦部分の長さLは上記隙間Hの寸法に対して2倍程度までにとどめておくことが好ましい。
すなわち、前記ダム梁5の下面5bのうち平坦部分の長さLは、前記ダム梁5の下面5bとセンサーチップ表面2aとの上記隙間Hの寸法よりも長く形成されるようにすることである。この場合、上記平坦部分の長さLは、前記ダム梁5の下面5bにおいて前述の案内面5aの斜面や曲面部を除き、また前記先方下端5dに形成されている場合にはその斜面や曲面部を除いて、平面状態の部分をいうものである。
以上のような関係に設定されていると、前記封止用液状樹脂が、前記隙間H内に流れ込んだ際に、前記ダム梁5の前記先方下端5d付近からは先方にはみ出さないようになりやすい。それは、上記平坦部分の長さLが十分長いことから、前記ダム梁5の下面5bとセンサーチップ表面2aの両者における表面張力が適度に作用するためと考えられる。
なお、上記平坦部分の長さLが長すぎると前記封止用液状樹脂が、前記隙間H内に流れ込みにくくなることから、上記平坦部分の長さLは上記隙間Hの寸法に対して2倍程度までにとどめておくことが好ましい。
よって、前記ダム梁5より先方には封止用液状樹脂が流れることはないので、前記センサーチップ2のセンサー領域2dのセンシング作用を損なうことがない。また前記ダム梁5の下面5bにも前記封止用液状樹脂が流れ込んでいるので、前記センサーチップ2の電極形成領域2cを確実に樹脂封止することができる。
上記センサー領域2dは、前記ダム梁5に対して前記リード部3dとは反対側になり、図1では前記ダム梁5より左側のセンサーチップ2表面領域で、センサー機能部が構成されている領域である。
上記ダム梁5は、前記センサーチップ2の表面に直接に形成することはないことから、前記センサーチップ2の表面機能を損なうことがなく、前記センサーチップ2に不要な加工を施す工数をかけることもない等により前記センサーチップ2を汎用性あるものとすることができる。
上記センサー領域2dは、前記ダム梁5に対して前記リード部3dとは反対側になり、図1では前記ダム梁5より左側のセンサーチップ2表面領域で、センサー機能部が構成されている領域である。
上記ダム梁5は、前記センサーチップ2の表面に直接に形成することはないことから、前記センサーチップ2の表面機能を損なうことがなく、前記センサーチップ2に不要な加工を施す工数をかけることもない等により前記センサーチップ2を汎用性あるものとすることができる。
6は、金線や銅線およびアルミニューム線等の導電ワイヤーであり、センサーチップの電極2bと前記リード部3dの内端とをワイヤーボンディング方法で導電接合するものである。
なお、センサーチップの電極2bと前記リード部3dの内端とを導電接合するものは、上記導電ワイヤー以外のどのようなものでもよい。あるいはセンサーチップの電極2b導電接合する構造は、上記以外のどのような構造でも良く、たとえばフレキシブル回路基板を用いその表面に形成された多数の導電パターンでセンサーチップの電極2bと導電接合するようにしてもよい。
上記センサーチップの電極2bは、前記ダム梁5より前記リード部3d側に位置するセンサーチップ2の表面に配設されている。したがって、センサーチップ2において前記ダム梁5より前記リード部3d側は、前記センサーチップの電極2bが配置形成された電極形成領域2cを形成していることになる。
上記導電ワイヤー6、上記センサーチップの電極2b(電極形成領域2c)、前記リード部3dは、上記中央開口部4a内にて後述する封止部7にて樹脂封止されることになる。
なお、センサーチップの電極2bと前記リード部3dの内端とを導電接合するものは、上記導電ワイヤー以外のどのようなものでもよい。あるいはセンサーチップの電極2b導電接合する構造は、上記以外のどのような構造でも良く、たとえばフレキシブル回路基板を用いその表面に形成された多数の導電パターンでセンサーチップの電極2bと導電接合するようにしてもよい。
上記センサーチップの電極2bは、前記ダム梁5より前記リード部3d側に位置するセンサーチップ2の表面に配設されている。したがって、センサーチップ2において前記ダム梁5より前記リード部3d側は、前記センサーチップの電極2bが配置形成された電極形成領域2cを形成していることになる。
上記導電ワイヤー6、上記センサーチップの電極2b(電極形成領域2c)、前記リード部3dは、上記中央開口部4a内にて後述する封止部7にて樹脂封止されることになる。
封止部7は、前記封止用液状樹脂を上記ダム梁5より前記リード部3d側の前記中央開口部4aに流し込んで硬化されて形成される。
上記封止用液状樹脂を上記のように流し込むと、上記ダム梁5より前記リード部3d側においては上記導電ワイヤー6、上記センサーチップの電極2b(電極形成領域2c)、前記リード部3dを埋設し硬化すると高位置封止部7aが形成される。また前述のように前記ダム梁5周辺においては、ダム梁5の下面5bに流れ込み、下面5bに対向するセンサーチップ2表面を覆うことになる。上記ダム梁5の先方下端5d付近にて前述の前記封止用液状樹脂は留まるから、それより先方にははみ出さないことになる。このダム梁5の下面5bと上記センサーチップ2の表面との間に挿入された封止用液状樹脂は、硬化すると中位置封止部7bを構成する。
上記封止用液状樹脂を上記のように流し込むと、上記ダム梁5より前記リード部3d側においては上記導電ワイヤー6、上記センサーチップの電極2b(電極形成領域2c)、前記リード部3dを埋設し硬化すると高位置封止部7aが形成される。また前述のように前記ダム梁5周辺においては、ダム梁5の下面5bに流れ込み、下面5bに対向するセンサーチップ2表面を覆うことになる。上記ダム梁5の先方下端5d付近にて前述の前記封止用液状樹脂は留まるから、それより先方にははみ出さないことになる。このダム梁5の下面5bと上記センサーチップ2の表面との間に挿入された封止用液状樹脂は、硬化すると中位置封止部7bを構成する。
一方、前記封止用液状樹脂は、上記中央開口部4a内でかつ上記センサーチップ2の周囲に流れ込み、硬化すると外周封止部7cが形成されるものである。
この外周封止部7cは、前記ダム梁5から前記リード部3dとは反対側、すなわち図1で前記ダム梁5より左側において上記センサーチップ2の側壁を囲むように形成されている。この外周封止部7cの高さは、センサーチップ2の表面とほぼ同程度に留められている。すなわち、外周封止部7cは、センサーチップ2の側面をほぼ覆うことになり、センサーチップ2の側面の封止を確実に行うとともに、センサーチップ2の表面に流れ込まないため、センサーチップ2のセンサー領域2dのセンシング動作を妨げることがない。外周封止部7cの高さが上記のように構成されるためには、前記封止用液状樹脂の注入量や注入圧力を制御するものである。
この外周封止部7cは、前記ダム梁5から前記リード部3dとは反対側、すなわち図1で前記ダム梁5より左側において上記センサーチップ2の側壁を囲むように形成されている。この外周封止部7cの高さは、センサーチップ2の表面とほぼ同程度に留められている。すなわち、外周封止部7cは、センサーチップ2の側面をほぼ覆うことになり、センサーチップ2の側面の封止を確実に行うとともに、センサーチップ2の表面に流れ込まないため、センサーチップ2のセンサー領域2dのセンシング動作を妨げることがない。外周封止部7cの高さが上記のように構成されるためには、前記封止用液状樹脂の注入量や注入圧力を制御するものである。
したがって、封止部7は、センサーチップ2のセンサー領域2dを除いて、電極形成領域2c、外周側面を封止することになる。
上記封止部7の材質は、シリコン樹脂、エポキシ樹脂等が好ましく、上記液状樹脂を注入後、加熱等により硬化させるものである。なお、封止部7の材質は、上記に限定されることはなく、実装体の樹脂封止材ならばどのような樹脂であってもよく、或いは合成樹脂以外の例えばセラミック封止材であってもよい。
上記封止部7の材質は、シリコン樹脂、エポキシ樹脂等が好ましく、上記液状樹脂を注入後、加熱等により硬化させるものである。なお、封止部7の材質は、上記に限定されることはなく、実装体の樹脂封止材ならばどのような樹脂であってもよく、或いは合成樹脂以外の例えばセラミック封止材であってもよい。
ここで、製造方法を説明する。
1ステップ:まず、リードフレーム3を図1のような平面形状に形成する。このリードフレーム3には、タブ3a、タブリード3c、複数本のリード部3dが一組を構成しているが、この組が複数個、並列状に配置形成されている。図1では、上記の組が上下方向に複数個形成されているものである。なお図1では、下側の組では、上記タブ3a、タブリード3c、複数本のリード部3dを詳細には図示せずプリモールド部4の外形線を図示してある。
2ステップ:次に、そのリードフレーム3をプリモールド成形型にセットし、液状成形用樹脂を注入し、加熱することによって前述のプリモールド部4を構成する。この場合は、プリモールド部4がリードフレーム3に前述のごとく複数個、形成されることになる。
3ステップ:次に、プリモールド部4に形成されている中央開口部4a内にセンサーチップ2を挿入し、センサーチップ2をリードフレーム3のタブ3aの所定位置に接着して取り付ける。
4ステップ:次に、センサーチップ2の電極2bとリード部3dとを導電ワイヤー6にて導通接合させる。この接合は、ワイヤーボンディングマシーンを用いても、その他の方法を用いてもよい。
5ステップ:しかる後、ダム梁5をプリモールド部4のダム梁挿入溝4cに上から挿入し、ダム梁挿入溝4cの底が所定位置に形成されているので、底まで挿入されたダム梁5の下面5bは、センサーチップ2の表面2aと所定の隙間Hを確保する。
上記ダム梁5は、ダム梁挿入溝4cに対して押し込みで挿入固定するようにしてもよく、あるいは接着材によりダム梁挿入溝4cに接合されるものでもよい。
1ステップ:まず、リードフレーム3を図1のような平面形状に形成する。このリードフレーム3には、タブ3a、タブリード3c、複数本のリード部3dが一組を構成しているが、この組が複数個、並列状に配置形成されている。図1では、上記の組が上下方向に複数個形成されているものである。なお図1では、下側の組では、上記タブ3a、タブリード3c、複数本のリード部3dを詳細には図示せずプリモールド部4の外形線を図示してある。
2ステップ:次に、そのリードフレーム3をプリモールド成形型にセットし、液状成形用樹脂を注入し、加熱することによって前述のプリモールド部4を構成する。この場合は、プリモールド部4がリードフレーム3に前述のごとく複数個、形成されることになる。
3ステップ:次に、プリモールド部4に形成されている中央開口部4a内にセンサーチップ2を挿入し、センサーチップ2をリードフレーム3のタブ3aの所定位置に接着して取り付ける。
4ステップ:次に、センサーチップ2の電極2bとリード部3dとを導電ワイヤー6にて導通接合させる。この接合は、ワイヤーボンディングマシーンを用いても、その他の方法を用いてもよい。
5ステップ:しかる後、ダム梁5をプリモールド部4のダム梁挿入溝4cに上から挿入し、ダム梁挿入溝4cの底が所定位置に形成されているので、底まで挿入されたダム梁5の下面5bは、センサーチップ2の表面2aと所定の隙間Hを確保する。
上記ダム梁5は、ダム梁挿入溝4cに対して押し込みで挿入固定するようにしてもよく、あるいは接着材によりダム梁挿入溝4cに接合されるものでもよい。
6ステップ:この状態で、封止部7用の液状樹脂を、上記ダム梁5に対して前記リード部3d側の中央開口部4aから注入する。すると高位置封止部7a相当箇所では液状樹脂が高く留まり、中位置封止部7b相当箇所では上記ダム梁5の下面5bとセンサーチップ表面2aとの隙間Hに流れ込んで上記ダム梁5の先端(先方下端5d)にて前述のように留まることになり、外周封止部7c相当箇所では前記中央開口部4a内でセンサーチップ2の外周側壁にも流れ込み、センサーチップ2のセンサーチップ表面2aに流れ込まないように留まる。前述したように各々流れ込むとともに前述したように各々留まるように、液状樹脂の粘度、注入圧、関係部材の寸法、その表面状態を調整する。しかる後に、加熱すると、上記高位置封止部7a、中位置封止部7b、外周封止部7cが形成され、よって封止部7が形成されることになる。
7ステップ:リードフレーム3のタブリード3cをプリモールド4の外端位置で切断し、各リード部3dをプリモールド4の外端位置より突出した所定突出位置にて切断し、その先端を所定位置と高さに折り曲げる。
すると、図1、図2、図3のようなセンサー用半導体装置収納パッケージ1が得られる。
なお、製造ステップは、上記に限定されることはなく、必要に応じて適宜変更することはできる。
例えば、5ステップを3ステップの前で行ってもよい、その場合は、ダム梁5をプリモールド部4に取り付ける作業が簡便になるが、3ステップのプリモールド部4に形成されている中央開口部4a内にセンサーチップ2を挿入する作業が困難になりやすい。
すると、図1、図2、図3のようなセンサー用半導体装置収納パッケージ1が得られる。
なお、製造ステップは、上記に限定されることはなく、必要に応じて適宜変更することはできる。
例えば、5ステップを3ステップの前で行ってもよい、その場合は、ダム梁5をプリモールド部4に取り付ける作業が簡便になるが、3ステップのプリモールド部4に形成されている中央開口部4a内にセンサーチップ2を挿入する作業が困難になりやすい。
なお、上記実施形態では、半導体装置をセンサーチップ2としたが、半導体装置をその表面側にMEMSを構成する場合は、上述のセンサー領域2dは、MEMSとしての微細な電子機械機構を構成したMEMS形成領域に置き換えて前述の構成を得るものである。すなわち、半導体装置表面のうち上記MEMS形成領域は、ダム枠5に対して前述のリード部3d側とは反対側の表面領域に形成されるもので、ダム枠5に対して前述のリード部側には前述の高位置封止部7aが形成されるものである。
本発明の半導体装置収納パッケージは、上方露出面にセンサーやマイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム(MEMS)装置が形成された半導体装置を樹脂封止する半導体装置収納パッケージに用いられる。
上記センサーは、例えば光センサー(例えばCCD)、ガスセンサー、湿気センサー、気圧センサー、加速度センサー等である。上記MEMSは、LSIやIC等の半導体装置の上部に一体的に構成されたもので、半導体集積回路素子等の微細配線を形成する加工技術を応用する等により、極めて微細な電子機械機構を構成しているものである。
上記微細電子機械機構は、例えば光を反射するように微動回転可能なマイクロミラー群、圧電素子使用のマイクロアクチュエータ、電子スイッチ、インダクタンス、キャパシタ、共振器、アンテナ、マイクロリレー、光スイッチ、ハードディスク用磁気ヘッド、マイク、バイオセンサー、DNAチップ、マイクロリアクタ、加速度センサー、圧力センサー等である。
上記センサーは、例えば光センサー(例えばCCD)、ガスセンサー、湿気センサー、気圧センサー、加速度センサー等である。上記MEMSは、LSIやIC等の半導体装置の上部に一体的に構成されたもので、半導体集積回路素子等の微細配線を形成する加工技術を応用する等により、極めて微細な電子機械機構を構成しているものである。
上記微細電子機械機構は、例えば光を反射するように微動回転可能なマイクロミラー群、圧電素子使用のマイクロアクチュエータ、電子スイッチ、インダクタンス、キャパシタ、共振器、アンテナ、マイクロリレー、光スイッチ、ハードディスク用磁気ヘッド、マイク、バイオセンサー、DNAチップ、マイクロリアクタ、加速度センサー、圧力センサー等である。
1:センサー用半導体装置収納パッケージ、2:センサーチップ、2a:センサーチップ表面、2b:センサーチップの電極、2c:電極形成領域、2d:センサー領域、3:リードフレーム、3a:タブ、3b:枠部、3c:タブリード、3d:リード部、4:プリモールド部、4a:中央開口部、4b:外周封止部、4ba:高外周封止部、4bb;低外周封止部、4c:ダム梁挿入溝、4d:傾斜面、4e:裏側封止部、5:ダム梁、5a:封止用液状樹脂流れ込み案内面、5b:下面、5c:先方側面、5d:先方下端、6:導電ワイヤー、7:封止部、7a:高位置封止部、7b:中位置封止部、7c:外周封止部、α:角度、H:隙間、L:平坦部分の長さ
Claims (7)
- 上方露出面にセンサーやマイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム(MEMS)装置が形成された半導体装置を樹脂封止する半導体装置収納パッケージにおいて、
前記半導体装置を装着する導電基板と、
前記半導体装置の平面形状寸法より大きな中央開口部と、前記導電基板の少なくとも外周部を樹脂封止する外周封止部とを備えたプリモールド部と、
前記プリモールド部の前記中央開口部に配置された前記半導体装置が前記導電基板上に装着された状態で、前記中央開口部内にて前記半導体装置の電極部および前記電極部と導通接続する前記導電基板の導電部を樹脂封止する封止部と、
前記封止部を形成する際の当該封止用液状樹脂の流れを堰き止めるように前記半導体装置の前記上方露出面側に配置され、前記プリモールド部の前記中央開口部を横切って配置されたダム梁と、を備え、
前記ダム梁は、前記半導体装置の表面と僅少な隙間を有して配置されており、
前記僅少な隙間は、前記封止部の形成時に、前記封止用液状樹脂が前記隙間内に流れ込む寸法であるとともに、前記ダム梁と前記半導体装置の上面との表面張力により前記ダム梁より先方へほぼはみ出さない寸法に設定されていることを特徴とする半導体装置収納パッケージ。 - 請求項1に記載された半導体装置収納パッケージにおいて、
前記ダム梁は、前記プリモールド部の前記中央開口部の幅いっぱいに配置されていることを特徴とする半導体装置収納パッケージ。 - 請求項1から請求項2のいずれかに記載された半導体装置収納パッケージにおいて、
前記ダム梁は、前記封止用液状樹脂が流れ込む側の下角には、前記封止用液状樹脂流れ込み案内面が形成されていることを特徴とする半導体装置収納パッケージ。 - 請求項1から請求項3のうちいずれかに記載された半導体装置収納パッケージにおいて、
前記封止部は、前記半導体装置の電極部と前記導電基板の導電部とその両者を導通するワイヤーを封止していることを特徴とする半導体装置収納パッケージ。 - 請求項1から請求項4のうちいずれかに記載された半導体装置収納パッケージにおいて、
前記導電基板はリードフレームであり、
前記リードフレームは、前記半導体装置を装着するタブと、外部接続用の接続リードとを備えており、前記タブの裏面は前記プリモールド部により封止されており、前記リードは前記プリモールド部外壁から突出していることを特徴とする半導体装置収納パッケージ。 - 請求項1から請求項5のうちいずれかに記載された半導体装置収納パッケージにおいて、
前記封止部は、前記ダム梁より先方側に位置する前記中央開口部において前記半導体装置の外周側壁を封止していることを特徴とする半導体装置収納パッケージ。 - 請求項1から請求項6のうちいずれかに記載された半導体装置収納パッケージにおいて、
前記半導体装置は、センサーチップまたはMEMS装置であることを特徴とする半導体装置収納パッケージ。
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