JP2008206251A - Vibrating actuator - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vibrating actuator capable of reducing abrasion caused by the rotation of a rotor. <P>SOLUTION: A lubricant G is stored in the recessed part 6 of a stator 2. A pre-load part 12 supported by a support member 11 abuts on the surface of the rotor 8, and the lubricant G is also stored in the recessed part 13 opened toward the lower side of the pre-load part 12. The surface of the rotor 8 is brought into contact with the lubricant G stored in the recessed part 6 of the stator 2 and inside the recessed part 13 of the pre-load part 12, allowing the lubricant G to be adhered on the surface of the rotor 8, and whenever the surface part of the rotor 8 having the lubricant G adhered thereupon is moved as the rotor 8 rotates, the lubricant G is supplied to the corner part 7 of the stator 2 and the pre-load surface 15 of the pre-load part 12, each in contact with the surface of the rotor 8. Thereby, the abrasion at the contact portions between the stator 2 and the pre-load part 12 and the rotor 8 can be reduced. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

この発明は、振動アクチュエータに係り、特にステータに超音波振動を発生させることによりステータに接触されたロータを回転駆動する振動アクチュエータに関する。
に関する。 The present invention relates to a vibration actuator, and more particularly to a vibration actuator that rotationally drives a rotor in contact with a stator by generating ultrasonic vibration in the stator.
About.

近年、超音波振動を利用してロータを回転させる振動アクチュエータが提案され、実用化されている。この振動アクチュエータは、圧電素子を用いてステータの表面に楕円運動または進行波を発生させ、ステータにロータを加圧接触させることによりこれら両者間の摩擦力を介してロータを移動させるものである。
例えば、特許文献１には、ロータ表面に固定された回転シャフトにベアリングを介してバネを連結することによりロータをステータに加圧接触させ、この状態で互いに重ね合わされた複数の圧電素子板に駆動電圧を印加してステータに超音波振動を発生させることでロータを回転させる振動アクチュエータが開示されている。 In recent years, vibration actuators for rotating a rotor using ultrasonic vibration have been proposed and put into practical use. In this vibration actuator, an elliptical motion or traveling wave is generated on the surface of the stator using a piezoelectric element, and the rotor is moved in a frictional force between the two by bringing the rotor into pressure contact with the stator.
For example, Patent Document 1 discloses that a rotor is pressed against a stator by connecting a spring to a rotating shaft fixed on the rotor surface via a bearing, and is driven by a plurality of piezoelectric element plates stacked on each other in this state. A vibration actuator that rotates a rotor by applying a voltage to generate ultrasonic vibration in a stator is disclosed.

特開２００４−３１２８０９号公報JP 2004-312809 A

しかしながら、上述の特許文献１のように、ロータがステータに接触すると共にロータの回転シャフトがベアリングに接触した状態でロータが回転されると、それらの接触部分に摩耗が生じるという問題があった。
この発明はこのような問題点を解消するためになされたもので、ロータの回転に伴う摩耗を低減することができる振動アクチュエータを提供することを目的とする。 However, as in Patent Document 1 described above, when the rotor is rotated while the rotor is in contact with the stator and the rotor rotating shaft is in contact with the bearing, there is a problem that wear occurs at the contact portions.
The present invention has been made to solve such problems, and an object of the present invention is to provide a vibration actuator that can reduce wear caused by rotation of a rotor.

この発明に係る振動アクチュエータは、ステータと、ステータに接触配置されるロータと、ステータに対してロータを加圧する予圧手段と、ステータに超音波振動を発生させることによりロータを回転させる振動手段と、ロータとステータとの接触部分及びロータと予圧手段との接触部分のうち少なくとも一方に潤滑剤を供給する潤滑剤供給手段とを有するものである。   The vibration actuator according to the present invention includes a stator, a rotor disposed in contact with the stator, preload means for pressurizing the rotor against the stator, vibration means for rotating the rotor by generating ultrasonic vibration in the stator, Lubricant supply means for supplying a lubricant to at least one of a contact portion between the rotor and the stator and a contact portion between the rotor and the preload means is provided.

潤滑剤供給手段は、ロータ、ステータ及び予圧手段のうち少なくとも１つに形成されると共にその内部に潤滑剤が収容された潤滑剤収容部を有するように構成することもできる。
また、潤滑剤供給手段は、ロータ、ステータ及び予圧手段のうち少なくとも１つに配置されると共に潤滑剤を含有する潤滑剤含有部材を有するように構成することもできる。
潤滑剤含有部材は、例えば、金属からなる多孔質部材に潤滑剤を含浸させたものから形成することができる。このように金属を用いると、樹脂等の材料を用いるよりも耐熱性が良くなるため、摩擦駆動に好適である。このとき、例えば潤滑油を潤滑剤として用いることができる。 The lubricant supply means may be configured to have a lubricant accommodating portion that is formed in at least one of the rotor, the stator, and the preload means and that contains the lubricant therein.
Further, the lubricant supply means can be configured to have a lubricant-containing member that is disposed in at least one of the rotor, the stator, and the preload means and contains the lubricant.
The lubricant-containing member can be formed, for example, by impregnating a porous member made of metal with a lubricant. When a metal is used in this way, the heat resistance is better than when a material such as a resin is used, which is suitable for friction driving. At this time, for example, lubricating oil can be used as a lubricant.

さらに、潤滑剤供給手段に対して潤滑剤を補給するための補給経路を備えてもよい。
また、潤滑剤供給手段は、ロータを密閉された空間に収容してこの空間内を潤滑剤で満たすものから構成することもできる。 Further, a supply path for supplying the lubricant to the lubricant supply means may be provided.
Further, the lubricant supply means may be configured to accommodate the rotor in a sealed space and fill the space with the lubricant.

この発明によれば、ロータの回転に伴う摩耗を低減することができる。   According to this invention, it is possible to reduce wear associated with the rotation of the rotor.

以下、この発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
実施の形態１．
図１に、この発明の実施の形態１に係る振動アクチュエータを示す。この振動アクチュエータは、超音波振動を利用して回転体を回転する超音波アクチュエータである。基部ブロック１とステータ２との間に円筒状の振動手段３が挟持されると共に、基部ブロック１とステータ２とが振動手段３内に通された連結ボルト４を介して互いに連結されており、振動アクチュエータ全体としてほぼ円柱状の外形を有している。ここで、説明の便宜上、基部ブロック１からステータ２へと向かう円柱状の外形の中心軸をＺ軸と規定し、Ｚ軸に対して垂直方向にＸ軸が、Ｚ軸及びＸ軸に対して垂直にＹ軸がそれぞれ延びているものとする。
振動手段３は、それぞれＸＹ平面上に位置し且つ互いに重ね合わされた平板状の第１〜第３の圧電素子部３１〜３３を有している。これら第１〜第３の圧電素子部３１〜３３がそれぞれ駆動回路５に電気的に接続されている。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
Embodiment 1 FIG.
FIG. 1 shows a vibration actuator according to Embodiment 1 of the present invention. This vibration actuator is an ultrasonic actuator that rotates a rotating body using ultrasonic vibration. A cylindrical vibration means 3 is sandwiched between the base block 1 and the stator 2, and the base block 1 and the stator 2 are connected to each other via a connecting bolt 4 passed through the vibration means 3. The vibration actuator as a whole has a substantially cylindrical outer shape. Here, for convenience of explanation, the central axis of the cylindrical outer shape from the base block 1 to the stator 2 is defined as the Z axis, and the X axis is perpendicular to the Z axis and the Z axis and the X axis are Assume that the Y-axis extends vertically.
The vibration means 3 includes flat plate-like first to third piezoelectric element portions 31 to 33 that are positioned on the XY plane and overlap each other. These first to third piezoelectric element portions 31 to 33 are electrically connected to the drive circuit 5 respectively.

ステータ２には、振動手段３に接する面とは反対側の面に、凹部６が形成されており、この凹部６内にグリス等の潤滑剤Ｇが収容されている。ステータ２の凹部６の開口端周縁部にはＸＹ平面上に位置する環状の角部７が形成されており、この角部７には、ステータ２の凹部６の内径よりも大きい直径を有する略球体状のロータ８が回転自在に接触配置されている。ここで、ロータ８の表面の一部がステータ２の凹部６内に位置すると共に、この凹部６内において潤滑剤Ｇはロータ８の表面に接する高さまで収容されている。
また、ステータ２には、凹部６に連通すると共にこの凹部６に潤滑剤Ｇを補給するための補給経路９が形成されており、補給経路９は凹部６からステータ２の側面まで延在してこの側面で開口している。補給経路９の開口部に栓部材１０が脱着可能に嵌合されている。 The stator 2 has a recess 6 formed on the surface opposite to the surface in contact with the vibration means 3, and a lubricant G such as grease is accommodated in the recess 6. An annular corner 7 located on the XY plane is formed on the peripheral edge of the opening end of the recess 6 of the stator 2. The corner 7 has a diameter larger than the inner diameter of the recess 6 of the stator 2. A spherical rotor 8 is rotatably disposed in contact. Here, a part of the surface of the rotor 8 is located in the recess 6 of the stator 2, and the lubricant G is accommodated in the recess 6 to a height in contact with the surface of the rotor 8.
In addition, the stator 2 is formed with a supply path 9 for communicating with the recess 6 and for supplying the lubricant G to the recess 6. The supply path 9 extends from the recess 6 to the side surface of the stator 2. Opened on this side. A plug member 10 is detachably fitted into the opening of the supply path 9.

ステータ２の上面の上には、ロータ８の上方にアーチ状に架け渡される支持部材１１が固定されており、支持部材１１のほぼ中央部には、予圧部１２がロータ８のほぼ頂部の表面に当接するように垂下支持されている。予圧部１２には、ロータ８に当接する面に、潤滑剤収容部としての下方に向かって開いた凹部１３が形成されており、この凹部１３内にもステータ２の凹部６と同様に、グリス等からなる潤滑剤Ｇが収容されている。ロータ８の表面の一部が予圧部１２の凹部１３内に位置すると共に、この凹部１３内において潤滑剤Ｇがロータ８の表面に接している。予圧部１２の側部には、凹部１３に連通すると共にこの凹部１３に潤滑剤Ｇを補給するための補給経路である開口部が形成されており、この開口部に栓部材１４が脱着可能に嵌合されている。   On the upper surface of the stator 2, a support member 11 that is bridged in an arch shape is fixed above the rotor 8, and a preload portion 12 is provided at a substantially central portion of the support member 11. Is supported so as to abut against. The preload portion 12 is formed with a concave portion 13 that opens downward as a lubricant accommodating portion on the surface that contacts the rotor 8. Like the concave portion 6 of the stator 2, grease is also formed in the concave portion 13. The lubricant G which consists of etc. is accommodated. A part of the surface of the rotor 8 is located in the recess 13 of the preload portion 12, and the lubricant G is in contact with the surface of the rotor 8 in the recess 13. In the side portion of the preload portion 12, an opening is formed that communicates with the recess 13 and is a supply path for supplying the lubricant G to the recess 13. The plug member 14 can be attached to and detached from the opening. It is mated.

また、予圧部１２は、凹部１３の開口周縁部に、ロータ８の表面形状に対応した形状を有する予圧面１５を有しており、この予圧面１５はロータ８の＋Ｚ軸方向の最高点である頂部付近に接触している。支持部材１１は弾性を有し、これにより予圧部１２の予圧面１５がロータ８に圧接され、ロータ８に−Ｚ軸方向の加圧力を付与している。したがって、予圧部１２によりロータ８がステータ２に対し加圧されている。これら予圧部１２と支持部材１１により、この発明の予圧手段が構成されている。   Further, the preloading portion 12 has a preloading surface 15 having a shape corresponding to the surface shape of the rotor 8 at the opening peripheral edge of the recess 13, and this preloading surface 15 is the highest point in the + Z-axis direction of the rotor 8. It is in contact near a certain top. The support member 11 has elasticity, so that the preload surface 15 of the preload portion 12 is pressed against the rotor 8 and applies a pressure in the −Z-axis direction to the rotor 8. Therefore, the rotor 8 is pressurized against the stator 2 by the preloading portion 12. The preload portion 12 and the support member 11 constitute the preload means of the present invention.

図２に示されるように、第１の圧電素子部３１は、それぞれ円板形状を有する電極板３１ａ、圧電素子板３１ｂ、電極板３１ｃ、圧電素子板３１ｄ及び電極板３１ｅが順次重ね合わされた構造を有している。同様に、第２の圧電素子部３２は、それぞれ円板形状を有する電極板３２ａ、圧電素子板３２ｂ、電極板３２ｃ、圧電素子板３２ｄ及び電極板３２ｅが順次重ね合わされた構造を有し、第３の圧電素子部３３は、それぞれ円板形状を有する電極板３３ａ、圧電素子板３３ｂ、電極板３３ｃ、圧電素子板３３ｄ及び電極板３３ｅが順次重ね合わされた構造を有している。これらの圧電素子部３１〜３３が絶縁シート３４〜３７を介してステータ２及び基部ブロック１から、また互いに絶縁された状態で配置されている。   As shown in FIG. 2, the first piezoelectric element section 31 has a structure in which an electrode plate 31a, a piezoelectric element plate 31b, an electrode plate 31c, a piezoelectric element plate 31d, and an electrode plate 31e each having a disk shape are sequentially stacked. have. Similarly, the second piezoelectric element portion 32 has a structure in which an electrode plate 32a, a piezoelectric element plate 32b, an electrode plate 32c, a piezoelectric element plate 32d, and an electrode plate 32e each having a disk shape are sequentially stacked. 3 has a structure in which an electrode plate 33a, a piezoelectric element plate 33b, an electrode plate 33c, a piezoelectric element plate 33d, and an electrode plate 33e each having a disk shape are sequentially stacked. These piezoelectric element portions 31 to 33 are arranged in a state of being insulated from the stator 2 and the base block 1 through insulating sheets 34 to 37 and from each other.

図３に示されるように、第１の圧電素子部３１の一対の圧電素子板３１ｂ及び３１ｄは、Ｙ軸方向に２分割された部分が互いに逆極性を有してそれぞれＺ軸方向（厚み方向）に膨張と収縮の反対の変形挙動を行うように分極されており、圧電素子板３１ｂと圧電素子板３１ｄは互いに裏返しに配置されている。
第２の圧電素子部３２の一対の圧電素子板３２ｂ及び３２ｄは、２分割されることなく全体がＺ軸方向（厚み方向）に膨張あるいは収縮の変形挙動を行うように分極されており、圧電素子板３２ｂと圧電素子板３２ｄは互いに裏返しに配置されている。
第３の圧電素子部３３の一対の圧電素子板３３ｂ及び３３ｄは、Ｘ軸方向に２分割された部分が互いに逆極性を有してそれぞれＺ軸方向（厚み方向）に膨張と収縮の反対の変形挙動を行うように分極されており、圧電素子板３３ｂと圧電素子板３３ｄは互いに裏返しに配置されている。 As shown in FIG. 3, the pair of piezoelectric element plates 31 b and 31 d of the first piezoelectric element portion 31 have portions that are divided into two in the Y-axis direction and have opposite polarities, and each has a Z-axis direction (thickness direction). The piezoelectric element plate 31b and the piezoelectric element plate 31d are disposed so as to be reversed with respect to each other.
The pair of piezoelectric element plates 32b and 32d of the second piezoelectric element portion 32 are polarized so as to be expanded or contracted in the Z-axis direction (thickness direction) as a whole without being divided into two. The element plate 32b and the piezoelectric element plate 32d are arranged inside out.
In the pair of piezoelectric element plates 33b and 33d of the third piezoelectric element portion 33, the portions divided into two in the X-axis direction have opposite polarities, and are opposite to expansion and contraction in the Z-axis direction (thickness direction), respectively. The piezoelectric element plate 33b and the piezoelectric element plate 33d are disposed so as to be reversed with respect to each other.

第１の圧電素子部３１の両面部分に配置されている電極板３１ａ及び電極板３１ｅと、第２の圧電素子部３２の両面部分に配置されている電極板３２ａ及び電極板３２ｅと、第３の圧電素子部３３の両面部分に配置されている電極板３３ａ及び電極板３３ｅがそれぞれ電気的に接地されている。また、第１の圧電素子部３１の一対の圧電素子板３１ｂ及び３１ｄの間に配置されている電極板３１ｃと、第２の圧電素子部３２の一対の圧電素子板３２ｂ及び３２ｄの間に配置されている電極板３２ｃと、第３の圧電素子部３３の一対の圧電素子板３３ｂ及び３３ｄの間に配置されている電極板３３ｃがそれぞれ駆動回路５に電気的に接続されている。   An electrode plate 31a and an electrode plate 31e disposed on both surface portions of the first piezoelectric element portion 31, an electrode plate 32a and an electrode plate 32e disposed on both surface portions of the second piezoelectric element portion 32, and a third The electrode plate 33a and the electrode plate 33e disposed on both surface portions of the piezoelectric element portion 33 are electrically grounded. Further, the electrode plate 31 c disposed between the pair of piezoelectric element plates 31 b and 31 d of the first piezoelectric element portion 31 and the pair of piezoelectric element plates 32 b and 32 d of the second piezoelectric element portion 32 are disposed. The electrode plate 32 c disposed between the pair of piezoelectric element plates 33 b and 33 d of the third piezoelectric element portion 33 is electrically connected to the drive circuit 5.

次に、この実施の形態１に係る振動アクチュエータの動作について説明する。
まず、振動手段３に対して、第１の圧電素子部３１の電極板３１ｃにステータ２の固有振動数に近い周波数の交流電圧を印加すると、第１の圧電素子部３１の一対の圧電素子板３１ｂ及び３１ｄの２分割された部分がＺ軸方向に膨張と収縮を交互に繰り返し、ステータ２にＹ軸方向のたわみ振動を発生する。同様に、第２の圧電素子部３２の電極板３２ｃに交流電圧を印加すると、第２の圧電素子部３２の一対の圧電素子板３２ｂ及び３２ｄがＺ軸方向に膨張と収縮を繰り返し、ステータ２にＺ軸方向の縦振動を発生する。さらに、第３の圧電素子部３３の電極板３３ｃに交流電圧を印加すると、第３の圧電素子部３３の一対の圧電素子板３３ｂ及び３３ｄの２分割された部分がＺ軸方向に膨張と収縮を交互に繰り返し、ステータ２にＸ軸方向のたわみ振動を発生する。 Next, the operation of the vibration actuator according to the first embodiment will be described.
First, when an alternating voltage having a frequency close to the natural frequency of the stator 2 is applied to the vibration means 3 to the electrode plate 31 c of the first piezoelectric element portion 31, a pair of piezoelectric element plates of the first piezoelectric element portion 31. The two divided portions 31b and 31d alternately expand and contract in the Z-axis direction, and generate flexural vibration in the Y-axis direction in the stator 2. Similarly, when an AC voltage is applied to the electrode plate 32c of the second piezoelectric element portion 32, the pair of piezoelectric element plates 32b and 32d of the second piezoelectric element portion 32 repeats expansion and contraction in the Z-axis direction, and the stator 2 In the Z axis direction. Further, when an AC voltage is applied to the electrode plate 33c of the third piezoelectric element portion 33, the two divided portions of the pair of piezoelectric element plates 33b and 33d of the third piezoelectric element portion 33 expand and contract in the Z-axis direction. Are alternately repeated to generate a flexural vibration in the X-axis direction in the stator 2.

そこで、例えば、駆動回路５から第１の圧電素子部３１の電極板３１ｃと第２の圧電素子部３２の電極板３２ｃとの双方に位相を９０度シフトさせた交流電圧をそれぞれ印加すると、Ｙ軸方向のたわみ振動とＺ軸方向の縦振動とが組み合わされて、ロータ８と接触するステータ２の角部７にＹＺ面内の楕円振動が発生し、摩擦力を介してロータ８がＸ軸回りに回転する。
同様に、駆動回路５から第２の圧電素子部３２の電極板３２ｃと第３の圧電素子部３３の電極板３３ｃとの双方に位相を９０度シフトさせた交流電圧をそれぞれ印加すると、Ｘ軸方向のたわみ振動とＺ軸方向の縦振動とが組み合わされて、ロータ８と接触するステータ２の角部７にＸＺ面内の楕円振動が発生し、摩擦力を介してロータ８がＹ軸回りに回転する。
さらに、駆動回路５から第１の圧電素子部３１の電極板３１ｃと第３の圧電素子部３３の電極板３３ｃとの双方に位相を９０度シフトさせた交流電圧をそれぞれ印加すると、Ｘ軸方向のたわみ振動とＹ軸方向のたわみ振動とが組み合わされて、ロータ８と接触するステータ２の角部７にＸＹ面内の楕円振動が発生し、摩擦力を介してロータ８がＺ軸回りに回転する。 Therefore, for example, when an AC voltage having a phase shifted by 90 degrees is applied from the drive circuit 5 to both the electrode plate 31c of the first piezoelectric element section 31 and the electrode plate 32c of the second piezoelectric element section 32, Y The axial flexural vibration and the vertical vibration in the Z-axis direction are combined to generate elliptical vibration in the YZ plane at the corner 7 of the stator 2 that is in contact with the rotor 8. Rotate around.
Similarly, when an AC voltage whose phase is shifted by 90 degrees is applied from the drive circuit 5 to both the electrode plate 32c of the second piezoelectric element portion 32 and the electrode plate 33c of the third piezoelectric element portion 33, the X axis Direction vibration and Z-axis longitudinal vibration are combined to generate elliptical vibration in the XZ plane at the corner 7 of the stator 2 that is in contact with the rotor 8, and the rotor 8 rotates about the Y-axis via frictional force. Rotate to.
Further, when an AC voltage having a phase shifted by 90 degrees is applied from the drive circuit 5 to both the electrode plate 31c of the first piezoelectric element portion 31 and the electrode plate 33c of the third piezoelectric element portion 33, the X-axis direction The flexural vibration in the Y-axis direction and the flexural vibration in the Y-axis direction combine to generate elliptical vibration in the XY plane at the corner 7 of the stator 2 that contacts the rotor 8, and the rotor 8 moves about the Z-axis through frictional force. Rotate.

このようにして振動手段３を駆動することにより、ロータ８をＸ、Ｙ、Ｚの３軸の回りにそれぞれ回転させることができる。   By driving the vibration means 3 in this way, the rotor 8 can be rotated around the three axes of X, Y, and Z, respectively.

ここで、ステータ２の凹部６及び予圧部１２の凹部１３の内部にそれぞれ収容されている潤滑剤Ｇにロータ８の表面が接して、ロータ８の表面に潤滑剤Ｇが付着する。このように潤滑剤Ｇが付着したロータ８の表面部分がロータ８の回転に伴って移動することにより、ロータ８の表面に接触するステータ２の角部７及び予圧部１２の予圧面１５にそれぞれ潤滑剤Ｇが供給され、これにより、ステータ２及び予圧部１２とロータ８とのそれぞれの接触部分における摩耗を低減することができる。また、それらの接触部分における騒音の発生等を抑制することもできる。
また、潤滑剤Ｇにより、ロータ８、ステータ２の角部７及び予圧部１２の予圧面１５における表面の凹凸や表面粗さが潤滑剤Ｇにより低減され、それらに起因したロータ８の回転方向のずれ及び蛇行等が抑制される。したがって、ロータ８を精度よく且つ安定して回転させることが可能である。 Here, the surface of the rotor 8 comes into contact with the lubricant G accommodated in the concave portion 6 of the stator 2 and the concave portion 13 of the preload portion 12, and the lubricant G adheres to the surface of the rotor 8. In this way, the surface portion of the rotor 8 to which the lubricant G adheres moves with the rotation of the rotor 8, whereby the corner portion 7 of the stator 2 and the preloading surface 15 of the preloading portion 12 that are in contact with the surface of the rotor 8, respectively. Lubricant G is supplied, whereby the wear at each contact portion between stator 2 and preload portion 12 and rotor 8 can be reduced. Moreover, generation | occurrence | production of the noise etc. in those contact parts can also be suppressed.
Further, the lubricant G reduces surface irregularities and surface roughness in the rotor 8, the corner portion 7 of the stator 2 and the preload surface 15 of the preload portion 12, and the lubricant G reduces the rotational direction of the rotor 8 caused by them. Misalignment and meandering are suppressed. Therefore, it is possible to rotate the rotor 8 accurately and stably.

また、予圧部１２の予圧面１５とロータ８の表面との間が潤滑されながら予圧部１２によりロータ８に加圧力を作用させるため、予圧部１２とロータ８との接触による摩擦損失を低減することができる。
また、ステータ２の栓部材１０を取り外して補給経路９の開口部に潤滑剤Ｇを注入することにより、補給経路９を介してステータ２の凹部６内に潤滑剤Ｇを補給することができる。
同様に、予圧部１２の栓部材１４を取り外して開口部に潤滑剤Ｇを注入することで予圧部１２の凹部１３内に潤滑剤Ｇを補給することができる。 Further, since the pressure is applied to the rotor 8 by the preload portion 12 while the space between the preload surface 15 of the preload portion 12 and the surface of the rotor 8 is lubricated, friction loss due to contact between the preload portion 12 and the rotor 8 is reduced. be able to.
Further, by removing the plug member 10 of the stator 2 and injecting the lubricant G into the opening of the supply path 9, the lubricant G can be supplied into the recess 6 of the stator 2 through the supply path 9.
Similarly, the lubricant G can be supplied into the recess 13 of the preload portion 12 by removing the plug member 14 of the preload portion 12 and injecting the lubricant G into the opening.

ここで、この実施の形態１の振動アクチュエータにおいて、シリコン系グリス及び鉱油系グリスをそれぞれ潤滑剤Ｇとして使用する場合と、潤滑剤Ｇの供給を行わないドライの場合に、予圧部１２によりロータ８に付与する加圧力を変化させたときの保持トルク及び駆動トルクをそれぞれ図４及び５に示す。
潤滑剤Ｇとしてシリコン系グリスを使用すれば、ドライの場合とほぼ同等の保持トルクが得られる。また、鉱油系グリスを潤滑剤Ｇとして使用すると、ドライの場合に比べて保持トルク及び駆動トルクが低下するが、予圧部１２による加圧力を大きくすることで、ドライの場合と同等の保持トルク及び駆動トルクを得ることができる。
このように予圧部１２による加圧力を大きくしても、潤滑剤Ｇの効果により、ステータ２及び予圧部１２とロータ８とのそれぞれの接触部分における摩耗を低減することができると共に、ロータ８の回転方向のズレ及び蛇行等を抑制することができる。 Here, in the vibration actuator according to the first embodiment, the rotor 8 is used by the preloading section 12 in the case of using silicon-based grease and mineral oil-based grease as the lubricant G and in the case of dry without supplying the lubricant G. FIGS. 4 and 5 show the holding torque and the driving torque when the applied pressure is changed, respectively.
If silicon-based grease is used as the lubricant G, a holding torque substantially equivalent to that in the dry case can be obtained. Further, when the mineral oil grease is used as the lubricant G, the holding torque and the driving torque are reduced as compared with the dry case. However, by increasing the pressurizing force by the preloading portion 12, A driving torque can be obtained.
Thus, even if the pressure applied by the preloading portion 12 is increased, the effect of the lubricant G can reduce wear at each contact portion between the stator 2 and the preloading portion 12 and the rotor 8. It is possible to suppress the displacement and meandering in the rotation direction.

実施の形態２．
次に、図６を参照して、この発明の実施の形態２に係る振動アクチュエータを説明する。この実施の形態２は、図１に示した実施の形態１の振動アクチュエータにおいて、ステータ２の凹部６及び予圧部１２の凹部１３内に収容された潤滑剤Ｇをロータ８の表面に直接接触させる代わりに、潤滑剤Ｇを含有した潤滑剤含有部材をロータ８の表面に接触させたものである。 Embodiment 2. FIG.
Next, a vibration actuator according to Embodiment 2 of the present invention will be described with reference to FIG. In the second embodiment, in the vibration actuator according to the first embodiment shown in FIG. 1, the lubricant G accommodated in the concave portion 6 of the stator 2 and the concave portion 13 of the preloading portion 12 is brought into direct contact with the surface of the rotor 8. Instead, a lubricant-containing member containing the lubricant G is brought into contact with the surface of the rotor 8.

ステータ２の凹部６の開口端周縁部に環状の潤滑剤含有部材２１が配置され、この潤滑剤含有部材２１により形成される環状の角部２４にロータ８が回転自在に接触配置されている。
また、支持部材１１のほぼ中央から垂下支持された予圧部２３の下端に凹状円錐面形状の予圧面を形成する潤滑剤含有部材２２が貼設され、この潤滑剤含有部材２２がロータ８の頂部付近の表面に当接している。このような凹状円錐面形状を有することで、略球体状のロータ８の表面に接触しやすくなる。支持部材１１の弾性により、予圧部２３の潤滑剤含有部材２２がロータ８に圧接され、ロータ８に−Ｚ軸方向の加圧力を付与しており、これによりロータ８がステータ２に対して加圧されている。 An annular lubricant-containing member 21 is disposed on the peripheral edge of the opening 6 of the concave portion 6 of the stator 2, and the rotor 8 is rotatably disposed in contact with an annular corner 24 formed by the lubricant-containing member 21.
In addition, a lubricant-containing member 22 that forms a concave conical surface-shaped preloading surface is attached to the lower end of the preloading portion 23 that is suspended from substantially the center of the support member 11, and this lubricant-containing member 22 is the top of the rotor 8. It is in contact with a nearby surface. By having such a concave conical surface shape, it becomes easy to contact the surface of the substantially spherical rotor 8. Due to the elasticity of the support member 11, the lubricant-containing member 22 of the preload portion 23 is pressed against the rotor 8 to apply a pressure in the −Z-axis direction to the rotor 8, whereby the rotor 8 applies pressure to the stator 2. It is pressed.

潤滑剤含有部材２１及び２２は、金属からなる多孔質部材に潤滑剤Ｇを含浸させたものであり、自己潤滑性を有している。この潤滑剤Ｇとして潤滑油を用いることが好ましい。
これらの潤滑剤含有部材２１及び２２を介してステータ２及び予圧部２３がそれぞれロータ８に接触しているため、ステータ２及び予圧部２３とロータ８とのそれぞれの接触部分における摩耗を低減することができる。また、これらの接触部分におけるロータ８、潤滑剤含有部材２１及び潤滑剤含有部材２２の表面の凹凸や表面粗さ等が潤滑剤Ｇにより低減され、ロータ８の回転方向のずれ及び蛇行等が抑制される。
したがって、実施の形態１と同様の効果が得られる。 The lubricant-containing members 21 and 22 are made by impregnating a porous member made of metal with the lubricant G, and have self-lubricating properties. It is preferable to use a lubricating oil as the lubricant G.
Since the stator 2 and the preload portion 23 are in contact with the rotor 8 through these lubricant-containing members 21 and 22, respectively, wear at the contact portions of the stator 2, the preload portion 23 and the rotor 8 is reduced. Can do. Moreover, the unevenness | corrugation of the surface of the rotor 8, the lubricant containing member 21, and the lubricant containing member 22 in these contact parts, surface roughness, etc. are reduced with the lubricant G, and the rotation direction deviation, meandering, etc. of the rotor 8 are suppressed. Is done.
Therefore, the same effect as in the first embodiment can be obtained.

なお、潤滑剤含有部材２１及び２２は、金属からなる多孔質部材に潤滑剤Ｇを含浸させたものから構成されていたが、その代わりに、焼結体等からなる多孔質部材に潤滑剤Ｇを含浸させたものから構成することもできる。   The lubricant-containing members 21 and 22 are made of a metal porous member impregnated with the lubricant G, but instead, the lubricant G is added to the porous member made of a sintered body or the like. It can also be composed of a material impregnated with.

実施の形態３．
次に図７を参照して、この発明の実施の形態３に係る振動アクチュエータを説明する。この実施の形態３は、図１に示した実施の形態１の振動アクチュエータにおいて、ステータ２の凹部６及び予圧部１２の凹部１３内に収容された潤滑剤Ｇをロータ８の表面に直接接触させる代わりに、ロータ８の表面に接触させた多孔質部材を介して潤滑剤Ｇをロータ８の表面に供給するものである。 Embodiment 3 FIG.
Next, a vibration actuator according to Embodiment 3 of the present invention will be described with reference to FIG. In the vibration actuator according to the first embodiment shown in FIG. 1, the third embodiment directly contacts the lubricant G accommodated in the concave portion 6 of the stator 2 and the concave portion 13 of the preloading portion 12 with the surface of the rotor 8. Instead, the lubricant G is supplied to the surface of the rotor 8 through a porous member brought into contact with the surface of the rotor 8.

ステータ２の凹部６の開口端周縁部に環状の多孔質部材４１が配置され、この多孔質部材４１により形成される環状の角部４３にロータ８が回転自在に接触配置されている。多孔質部材４１の下部には多孔質部材４１を一面とする環状のチャンバ４４が形成され、チャンバ４４に、潤滑剤Ｇの補給経路としての供給管４５の一端部が接続されると共に、この供給管４５の他端部がステータ２の外部に引き出されて図示しない潤滑剤供給装置に接続されている。
また、予圧部１２の凹部１３の開口部に多孔質部材４２が配置されると共に凹部１３に、潤滑剤Ｇの補給経路としての供給管４６の一端部が接続されており、この供給管４６の他端部も上記の潤滑剤供給装置に接続されている。 An annular porous member 41 is disposed on the peripheral edge of the opening end of the recess 6 of the stator 2, and the rotor 8 is rotatably disposed in contact with an annular corner 43 formed by the porous member 41. An annular chamber 44 having the porous member 41 as one surface is formed below the porous member 41, and one end of a supply pipe 45 serving as a supply path for the lubricant G is connected to the chamber 44, and this supply The other end of the tube 45 is drawn out of the stator 2 and connected to a lubricant supply device (not shown).
In addition, a porous member 42 is disposed in the opening of the recess 13 of the preload portion 12, and one end of a supply pipe 46 serving as a lubricant G supply path is connected to the recess 13. The other end is also connected to the lubricant supply device.

図示しない潤滑剤供給装置により供給管４５及び４６を介してチャンバ４４及び凹部１３内にそれぞれ潤滑剤Ｇを圧送すると、潤滑剤Ｇが多孔質部材４１及び４２を浸透してロータ８の表面に供給される。
したがって、ステータ２及び予圧部１２とロータ８とのそれぞれの接触部分における摩耗を低減することができる。また、それらの接触部分におけるロータ８、ステータ２の角部４３及び予圧部１２の予圧面１５の表面の凹凸や表面粗さ等が潤滑剤Ｇにより低減され、ロータ８の回転方向のずれ及び蛇行等が抑制される。
これにより、実施の形態１と同様の効果が得られる。 When the lubricant G is pumped into the chamber 44 and the recess 13 through the supply pipes 45 and 46 by a lubricant supply device (not shown), the lubricant G penetrates the porous members 41 and 42 and is supplied to the surface of the rotor 8. Is done.
Therefore, wear at each contact portion between the stator 2 and the preload portion 12 and the rotor 8 can be reduced. Further, the unevenness and surface roughness of the rotor 8, the corner 43 of the stator 2 and the preloading surface 15 of the preloading portion 12 at those contact portions are reduced by the lubricant G, and the rotational direction deviation and meandering of the rotor 8 are reduced. Etc. are suppressed.
Thereby, the same effect as Embodiment 1 is acquired.

なお、上述の実施の形態１〜３における３種類の潤滑剤供給手段のうち必ずしも同じ種類のものをステータ２及び予圧部１２，２３の双方に設ける必要はなく、３種類の潤滑剤供給手段のうち互いに異なる２種類を選択してそれぞれステータ２及び予圧部１２，２３に設けることもできる。   In addition, it is not always necessary to provide the same type of the three types of lubricant supply means in the above-described first to third embodiments in both the stator 2 and the preload portions 12 and 23. Of these, two different types can be selected and provided in the stator 2 and the preload portions 12 and 23, respectively.

また、上述の実施の形態１〜３では、ステータ２と予圧部１２及び２３の双方に潤滑剤供給手段をそれぞれ設けていたが、ステータ２と予圧部１２及び２３の一方にだけ潤滑剤供給手段を設けることもできる。
例えば、実施の形態１〜３における予圧部１２及び２３にだけ潤滑剤供給手段を設けると共に、潤滑剤供給手段により予圧部１２及び２３とロータ８との接触部分に供給された潤滑剤Ｇがロータ８の回転に伴ってステータ２とロータ８との接触部分にまで到達しないようにロータ８の回転角度を規制する。このように構成すれば、ステータ２とロータ８との接触部分では摩擦力を介してロータ８に効果的に回転力を伝達しながら、予圧部１２及び２３とロータ８との接触部分における摩耗及び摩擦損失を低減することができ、これにより高トルクで高効率な振動アクチュエータを実現することができる。 In the first to third embodiments, the lubricant supply means is provided in both the stator 2 and the preload portions 12 and 23. However, the lubricant supply means is provided only in one of the stator 2 and the preload portions 12 and 23. Can also be provided.
For example, the lubricant supplying means is provided only in the preloading portions 12 and 23 in the first to third embodiments, and the lubricant G supplied to the contact portion between the preloading portions 12 and 23 and the rotor 8 by the lubricant supplying means is the rotor. The rotation angle of the rotor 8 is restricted so that the contact portion between the stator 2 and the rotor 8 does not reach with the rotation of 8. According to this structure, the contact portion between the stator 2 and the rotor 8 effectively transmits the rotational force to the rotor 8 via the frictional force, and the wear at the contact portion between the preload portions 12 and 23 and the rotor 8 is reduced. Friction loss can be reduced, whereby a vibration actuator with high torque and high efficiency can be realized.

また、ロータ８に、実施の形態１〜３のいずれかの潤滑剤供給手段を設けてもよい。特に、ロータ８に、実施の形態３における潤滑剤供給手段を設ける場合には、例えばロータ８の表面の少なくとも一部に多孔質部材を配置すると共に、ロータ８の内部に多孔質部材に接続する補給経路を設け、この補給経路を介して多孔質部材に潤滑剤を圧送することにより、潤滑剤Ｇが多孔質部材を浸透してロータ８の表面に供給されるように構成することができる。
したがって、ロータ８、ステータ２及び予圧部１２，２３の少なくとも１つに潤滑剤供給手段を設けることができる。 Moreover, the rotor 8 may be provided with the lubricant supply means according to any one of the first to third embodiments. In particular, when the lubricant supply means in the third embodiment is provided in the rotor 8, for example, a porous member is disposed on at least a part of the surface of the rotor 8 and connected to the porous member inside the rotor 8. By providing a replenishment path and pumping the lubricant through the replenishment path to the porous member, the lubricant G can penetrate the porous member and be supplied to the surface of the rotor 8.
Therefore, lubricant supply means can be provided in at least one of the rotor 8, the stator 2, and the preload portions 12 and 23.

実施の形態４．
次に図８を参照して、この発明の実施の形態４に係る振動アクチュエータを説明する。この実施の形態４は、図１に示した実施の形態１の振動アクチュエータにおいて、ステータ２の凹部６及び予圧部１２の凹部１３内に収容された潤滑剤Ｇをロータ８の表面に直接接触させる代わりに、ロータ８を密閉された空間に収容してこの空間内を潤滑剤Ｇで満たすものである。 Embodiment 4 FIG.
Next, a vibration actuator according to Embodiment 4 of the present invention will be described with reference to FIG. In the fourth embodiment, in the vibration actuator according to the first embodiment shown in FIG. 1, the lubricant G accommodated in the concave portion 6 of the stator 2 and the concave portion 13 of the preloading portion 12 is brought into direct contact with the surface of the rotor 8. Instead, the rotor 8 is accommodated in a sealed space and the space is filled with the lubricant G.

ステータ２の上面の上に、ロータ８の周囲全体を覆う筐体状の支持部材５１が固定されて密閉されており、この支持部材５１内に潤滑剤Ｇが充填されている。支持部材５１の天井面のほぼ中央部に予圧部５２が垂下支持されており、予圧部５２はその下端に形成された凹状円錐面形状の予圧面５３でロータ８の頂部付近の表面に当接している。支持部材５１の弾性により、予圧部５２の予圧面５３がロータ８に圧接され、ロータ８に−Ｚ軸方向の加圧力を付与しており、これによりロータ８がステータ２に対して加圧されている。   A housing-like support member 51 that covers the entire periphery of the rotor 8 is fixed and sealed on the upper surface of the stator 2, and the support member 51 is filled with a lubricant G. A preloading part 52 is suspended and supported substantially at the center of the ceiling surface of the support member 51, and the preloading part 52 is in contact with the surface near the top of the rotor 8 with a concave conical preloading surface 53 formed at the lower end thereof. ing. Due to the elasticity of the support member 51, the preload surface 53 of the preload portion 52 is in pressure contact with the rotor 8 and applies a pressure force in the −Z-axis direction to the rotor 8, whereby the rotor 8 is pressurized against the stator 2. ing.

ロータ８の周囲全体が潤滑剤Ｇにより覆われているため、ステータ２及び予圧部５２とロータ８とのそれぞれの接触部分における摩耗を低減することができる。また、それらの接触部分におけるロータ８、ステータ２の角部７及び予圧部５２の予圧面５３の表面の凹凸や表面粗さ等が潤滑剤Ｇにより低減され、ロータ８の回転方向のずれ及び蛇行等が抑制される。
これにより、実施の形態１と同様の効果が得られる。 Since the entire periphery of the rotor 8 is covered with the lubricant G, wear at each contact portion between the stator 2 and the preload portion 52 and the rotor 8 can be reduced. Further, the unevenness and surface roughness of the rotor 8, the corner 7 of the stator 2, and the preload surface 53 of the preload portion 52 at the contact portions thereof are reduced by the lubricant G, and the rotor 8 is displaced in the rotational direction and meanders. Etc. are suppressed.
Thereby, the same effect as Embodiment 1 is acquired.

なお、上述の実施の形態１〜４における潤滑剤Ｇとして、各種のグリスの他、潤滑油等も用いることができる。
また、特に実施の形態２では、潤滑剤Ｇとして固体潤滑剤を潤滑剤含有部材２１及び２２に含有させることもできる。
また、実施の形態４では、潤滑油Ｇが充填された空間内でロータ８が回転するので、粘度の低い潤滑油を潤滑剤Ｇとして用いることが好ましい。 In addition, as the lubricant G in Embodiments 1 to 4 described above, lubricating oil or the like can be used in addition to various types of grease.
Particularly in the second embodiment, the lubricant containing members 21 and 22 may contain a solid lubricant as the lubricant G.
In Embodiment 4, since the rotor 8 rotates in a space filled with the lubricating oil G, it is preferable to use a lubricating oil having a low viscosity as the lubricant G.

上述の実施の形態１〜４では、支持部材１１及び５１により垂下支持された予圧部１２，２３，５２がロータ８の頂部付近に当接して加圧力を付与することでロータ８をステータ２に対し加圧する予圧手段を用いたが、これに限定されるものではなく、ロータ８をステータ２に対し加圧することができる各種の予圧手段を用いることが可能である。
例えば、ロータ８がその表面に突出形成される出力軸部材を有し、予圧手段がこの出力軸部材に接触してロータをステータに加圧するように構成することもできる。その場合にも、ロータの出力軸部材と予圧手段との接触部分にこの発明の潤滑剤供給手段を適用して潤滑剤を供給することができる。 In the above-described first to fourth embodiments, the preload portions 12, 23, and 52 that are suspended and supported by the support members 11 and 51 come into contact with the vicinity of the top of the rotor 8 to apply pressure, whereby the rotor 8 is applied to the stator 2. However, the present invention is not limited to this, and various preloading means that can pressurize the rotor 8 against the stator 2 can be used.
For example, the rotor 8 may have an output shaft member that protrudes from the surface, and the preload means may be configured to contact the output shaft member and press the rotor against the stator. Even in that case, the lubricant can be supplied by applying the lubricant supply means of the present invention to the contact portion between the output shaft member of the rotor and the preload means.

また、上記実施の形態において、ステ―タ２とロータ８との接触は角部７，２４，４３であったが、この構成に限らない。楕円運動が伝達できれば平面で接触するようにしても曲面で接触しても良いし、環状でなくてもよい。
また、上記各実施の形態では、ステータ２とロータ８との接触部分に楕円運動を発生させていたが、各軸方向の振幅を制御することで円運動を発生させても良い。 In the above embodiment, the contact between the stator 2 and the rotor 8 is the corners 7, 24, 43. However, the present invention is not limited to this configuration. If the elliptical motion can be transmitted, the contact may be made on a flat surface, the contact may be made on a curved surface, or may not be annular.
Further, in each of the above embodiments, the elliptical motion is generated at the contact portion between the stator 2 and the rotor 8, but the circular motion may be generated by controlling the amplitude in each axial direction.

なお、実施の形態１〜４では、ロータ８が略球体状であり、振動手段３によりステータ２を振動させてロータ８を複数の軸回りに回転させる多自由度の振動アクチュエータについて説明したが、これに限定されるものではなく、この発明は、ロータを単一の軸の回りに回転させる１自由度の振動アクチュエータにも適用することができる。   In the first to fourth embodiments, the rotor 8 has a substantially spherical shape, and the multi-degree-of-freedom vibration actuator that rotates the stator 8 around the plurality of axes by vibrating the stator 2 by the vibration unit 3 has been described. The present invention is not limited to this, and the present invention can also be applied to a one-degree-of-freedom vibration actuator that rotates a rotor around a single axis.

この発明の実施の形態１に係る振動アクチュエータを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the vibration actuator which concerns on Embodiment 1 of this invention. 実施の形態１で用いられた振動手段の構成を示す部分断面図である。2 is a partial cross-sectional view showing a configuration of a vibration unit used in Embodiment 1. FIG. 実施の形態１で用いられた圧電素子手段の３対の圧電素子板の分極方向を示す斜視図である。3 is a perspective view showing the polarization directions of three pairs of piezoelectric element plates of the piezoelectric element means used in Embodiment 1. FIG. 予圧部による加圧力の変化に対する保持トルクの関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship of the holding torque with respect to the change of the applied pressure by a preload part. 予圧部による加圧力の変化に対する駆動トルクの関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship of the drive torque with respect to the change of the applied pressure by a preload part. 実施の形態２に係る振動アクチュエータを示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing a vibration actuator according to a second embodiment. 実施の形態３に係る振動アクチュエータを示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing a vibration actuator according to a third embodiment. 実施の形態４に係る振動アクチュエータを示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing a vibration actuator according to a fourth embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

１ 基部ブロック、２ ステータ、３ 振動手段、４ 連結ボルト、５ 駆動回路、６，１３ 凹部、７，２４，４３ 角部、８ ロータ、９ 補給経路、１０，１４ 栓部材、１１，５１ 支持部材、１２，２３，５２ 予圧部、１３ 先端部材、１５，５３ 予圧面、２１，２２ 潤滑剤含有部材、３１ 第１の圧電素子部、３２ 第２の圧電素子部、３３ 第３の圧電素子部、３１ａ，３１ｃ，３１ｅ，３２ａ，３２ｃ，３２ｅ，３３ａ，３３ｃ，３３ｅ 電極板、３１ｂ，３１ｄ，３２ｂ，３２ｄ，３３ｂ，３３ｄ 圧電素子板、４１，４２ 多孔質部材、４４ チャンバ、４５，４６ 供給管、Ｇ 潤滑剤。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base block, 2 Stator, 3 Vibration means, 4 Connection bolt, 5 Drive circuit, 6,13 Recessed part, 7,24,43 Corner | angular part, 8 Rotor, 9 Supply path, 10,14 Plug member, 11,51 Support member , 12, 23, 52 Preload portion, 13 Tip member, 15, 53 Preload surface, 21, 22 Lubricant-containing member, 31 First piezoelectric element portion, 32 Second piezoelectric element portion, 33 Third piezoelectric element portion 31a, 31c, 31e, 32a, 32c, 32e, 33a, 33c, 33e Electrode plate, 31b, 31d, 32b, 32d, 33b, 33d Piezoelectric element plate, 41, 42 Porous member, 44 Chamber, 45, 46 Supply Tube, G Lubricant.

Claims (7)

ステータと、
前記ステータに接触配置されるロータと、
前記ステータに対して前記ロータを加圧する予圧手段と、
前記ステータに超音波振動を発生させることにより前記ロータを回転させる振動手段と、
前記ロータと前記ステータとの接触部分及び前記ロータと前記予圧手段との接触部分のうち少なくとも一方に潤滑剤を供給する潤滑剤供給手段と
を有することを特徴とする振動アクチュエータ。 A stator,
A rotor disposed in contact with the stator;
Preloading means for pressurizing the rotor against the stator;
Vibration means for rotating the rotor by generating ultrasonic vibration in the stator;
A vibration actuator comprising: a lubricant supplying means for supplying a lubricant to at least one of a contact portion between the rotor and the stator and a contact portion between the rotor and the preloading means. 前記潤滑剤供給手段は、前記ロータ、前記ステータ及び前記予圧手段のうち少なくとも１つに形成されると共にその内部に潤滑剤が収容された潤滑剤収容部を有する請求項１に記載の振動アクチュエータ。   2. The vibration actuator according to claim 1, wherein the lubricant supply unit includes a lubricant container that is formed in at least one of the rotor, the stator, and the preload unit and that contains a lubricant therein. 前記潤滑剤供給手段は、前記ロータ、前記ステータ及び前記予圧手段のうち少なくとも１つに配置されると共に潤滑剤を含有する潤滑剤含有部材を有する請求項１に記載の振動アクチュエータ。   The vibration actuator according to claim 1, wherein the lubricant supply unit includes a lubricant-containing member that is disposed in at least one of the rotor, the stator, and the preload unit and that contains a lubricant. 前記潤滑剤含有部材は、金属からなる多孔質部材に潤滑剤を含浸させたものである請求項３に記載の振動アクチュエータ。   The vibration actuator according to claim 3, wherein the lubricant-containing member is obtained by impregnating a porous member made of metal with a lubricant. 前記潤滑剤は、潤滑油である請求項４に記載の振動アクチュエータ。   The vibration actuator according to claim 4, wherein the lubricant is lubricating oil. 前記潤滑剤供給手段に対して潤滑剤を補給するための補給経路をさらに備える請求項１〜５のいずれか一項に記載の振動アクチュエータ。   The vibration actuator according to claim 1, further comprising a supply path for supplying a lubricant to the lubricant supply unit. 前記潤滑剤供給手段は、前記ロータを密閉された空間に収容して前記空間内を潤滑剤で満たすものである請求項１に記載の振動アクチュエータ。   2. The vibration actuator according to claim 1, wherein the lubricant supply unit is configured to house the rotor in a sealed space and fill the space with a lubricant. 3.
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