JP2008194560A - 膜分離装置被処理水の評価方法、水処理方法及び水処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】膜ファウリング物質を含む被処理水を、膜ファウリング物質処理装置1及び膜分離装置2で順次処理する。該膜分離装置2からの濃縮水中の膜ファウリング物質を膜ファウリング物質濃度測定装置3で測定し、この測定結果に基づいて、膜ファウリング物質処理装置1を制御器4で制御する。被処理水中の膜ファウリング物質濃度が低くても、濃縮水に膜ファウリング物質が濃縮されるため、濃縮水中の膜ファウリング物質を精度よく測定することができる。
【選択図】図1
Description
II. 半導体・液晶などの電子デバイス製造工場において、回収された電子デバイスの洗浄排水の水処理に、純水製造装置が用いられている。この純水製造装置内においても、塩類や有機物質(TOC)を除去するための装置として、逆浸透膜(RО)装置が用いられている。
<第1の運転例>
第2図の水処理装置のうちサブシステム16を省略したものを用いて、被処理水の水処理を行った。
オゾン酸化槽11において被処理水にオゾンを吹き込む量を減少させ、被処理水中に30mg/Lのオゾンガスを溶解させたこと以外は、第1の運転例と同じ条件で透過水を得た。
第2の運転例の直後に、運転条件を第1の運転例に戻した。
2 膜分離装置
3 膜ファウリング物質濃度測定装置
4 制御器
11 オゾン酸化槽
12 活性炭槽
13 凝集濾過器
14 イオン交換塔
15 逆浸透膜装置
16 サブシステム
17 蛍光分析計
Claims (8)
- 膜分離装置に供給される膜ファウリング物質を含む被処理水の水質を評価する方法であって、
該膜分離装置からの濃縮水中の膜ファウリング物質濃度を測定し、この測定結果に基づいて該被処理水の水質を評価することを特徴とする膜分離装置被処理水の評価方法。 - 請求項1において、前記濃縮水の蛍光強度を測定することにより、前記濃縮水中の膜ファウリング物質濃度の測定を行うことを特徴とする膜分離装置被処理水の評価方法。
- 請求項1又は2において、前記膜ファウリング物質は非イオン界面活性剤であることを特徴とする膜分離装置被処理水の評価方法。
- 請求項3において、前記非イオン界面活性剤がアルキルフェニルエーテル型非イオン界面活性剤であり、波長300〜400nmの範囲の蛍光強度を測定することを特徴とする膜分離装置被処理水の評価方法。
- 膜ファウリング物質を含む被処理水を膜ファウリング物質処理手段で処理した後、膜分離装置で膜分離処理して濃縮水と透過水とに分離する水処理方法において、
該膜分離装置からの濃縮水中に含有される膜ファウリング物質濃度を測定し、この測定結果に基づき、前記膜ファウリング物質処理手段を制御することを特徴とする水処理方法。 - 請求項5において、前記膜ファウリング物質処理手段は、酸化分解装置、凝集処理装置及び活性炭吸着装置よりなる群から選択される少なくとも1つであることを特徴とする水処理方法。
- 膜ファウリング物質を含む被処理水が導入される膜ファウリング物質処理手段と、
該膜ファウリング物質処理手段で処理された水を膜分離処理して濃縮水と透過水とに分離する膜分離装置と、
該膜分離装置からの濃縮水中に含有される膜ファウリング物質の濃度を測定する膜ファウリング物質濃度測定手段と、
この膜ファウリング物質濃度測定手段の測定結果に基づき、前記膜ファウリング物質処理手段を制御する制御手段と
を有することを特徴とする水処理装置。 - 請求項7において、前記膜ファウリング物質処理手段は、酸化分解装置、凝集処理装置及び活性炭吸着装置よりなる群から選択される少なくとも1つであることを特徴とする水処理装置。
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