JP2008191352A - 露光装置、及び露光装置の負圧室の天板を交換する方法 - Google Patents

Abstract

【課題】負圧室の天板の交換を短時間で行い、生産性を向上する。
【解決手段】透明な天板２１は、マスクホルダ２０の開口の上方に設けられ、マスク及びマスクホルダ２０と共に負圧室を形成する。負圧室にマスクの単位面積当たりの質量を相殺する負圧をかけることによって、マスクのたわみが抑制される。Ｘステージ５は、チャック１０をマスクホルダ２０の下方から離れた受け渡し位置へ移動する。マスクホルダ２０は、開口を形成する複数の移動可能なホルダ部２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄを有し、ホルダ部２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄを移動して開口を天板２１より大きく広げる。マスク搬送ロボット５０は、天板搬送用パレット４１に搭載された天板２１を、マスクホルダ２０の広げた開口を通して、マスクホルダ２０の下方へ搬出し又はマスクホルダ２０の下方から搬入する。
【選択図】図５

Description

本発明は、液晶ディスプレイ装置等の表示用パネル基板の製造において、マスク上面に負圧室を設け、負圧室に負圧をかけてマスクのたわみを抑制しながら、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ方式の露光装置、及び該露光装置の負圧室の天板を交換する方法に関する。

表示用パネルとして用いられる液晶ディスプレイ装置のＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）基板やカラーフィルタ基板、プラズマディスプレイパネル用基板、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示パネル用基板等の製造は、露光装置を用いて、フォトリソグラフィー技術により基板上にパターンを形成して行われる。露光装置としては、レンズ又は鏡を用いてマスクのパターンを基板上に投影するプロジェクション方式と、マスクと基板との間に微小な間隙（プロキシミティギャップ）を設けてマスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ方式とがある。プロキシミティ方式は、プロジェクション方式に比べてパターン解像性能は劣るが、照射光学系の構成が簡単で、かつ処理能力が高く量産用に適している。

大型の基板を対象とした露光装置では、基板を水平に置いた状態で露光を行うのが一般的である。その場合、マスクは、マスクホルダにより、基板の上方に基板へ向き合わせて保持され、マスクには、重力によってたわみが発生する。特に、表示用パネルの大画面化に伴い基板が大型化する程、マスクも大型化して重力によるたわみが大きくなる。マスクにたわみが発生すると、基板へのパターンの焼付けが均一に行われない。

従来、例えば特許文献１に記載の様に、マスク上面に負圧室を設け、負圧室にマスクの単位面積当たりの質量を相殺する負圧をかけることによって、マスクのたわみを抑制する方法が行われている。負圧室は、マスクと、マスクホルダと、マスクホルダの露光光が通過する開口の上方に設けたガラス板等の透明な天板とで構成されている。
特開２００３−１３１３８８号公報

負圧室を構成するマスク及び天板に塵や汚れ等が付着すると、露光むらが発生するため、塵や汚れ等が付着したマスク又は天板は、きれいなマスク又は天板と交換して、洗浄する必要がある。通常、マスクは、マスクホルダの下面に真空吸着されて保持される。基板を搭載するチャックは、ステージにより、マスクホルダの下方の露光位置と基板の受け渡しを行う受け渡し位置とを移動する。チャックをマスクホルダの下方から移動させると、マスクホルダの下方には十分な空間が確保されるため、マスクの交換は、マスク搬送ロボットを用いて、マスクホルダの下方から行うことができる。

しかしながら、負圧室の天板は、マスクホルダの露光光が通過する開口の上方に設けられ、マスクホルダの上方にはさらに照射光学系が配置されている。マスクホルダの上方には十分な空間がないため、従来、天板の交換は、ロボットを用いて行うことができず、４人程の保守者が装置内に入って人手で行っていた。その際、天板を照射光学系等に衝突させて、天板又は照射光学系等の装置を破損する恐れがあった。また人手で行うため、天板の交換に時間と手間が掛かり、その間は生産ラインが停止して生産性が下がるという問題があった。

本発明の課題は、負圧室の天板を交換する際に、天板をマスクホルダの下方へ搬出し又はマスクホルダの下方から搬入して、天板又は照射光学系等の装置を破損する恐れをなくすことである。また、本発明の課題は、負圧室の天板の交換を短時間で行い、生産性を向上することである。

本発明の露光装置は、基板を搭載するチャックと、チャックを移動するステージと、露光光が通過する開口を有し、開口の下方にマスクを保持するマスクホルダと、マスクホルダの開口の上方に設けられ、マスク及びマスクホルダと共に負圧室を形成する透明な天板と、マスクホルダの上方に設けられ、天板を介して露光光をマスクへ照射する照射光学系とを備え、負圧室に負圧をかけてマスクのたわみを抑制しながら、照射光学系から照射した露光光により、マスクのパターンを基板へ転写する露光装置であって、天板を搭載するパレットと、パレットを移動して天板を搬送する搬送手段とを備え、ステージが、チャックをマスクホルダの下方から離れた位置へ移動し、マスクホルダが、開口を形成する複数の移動可能なホルダ部を有し、ホルダ部を移動して開口を天板より大きく広げ、搬送手段が、パレットに搭載された天板を、マスクホルダの広げた開口を通して、マスクホルダの下方へ搬出し又はマスクホルダの下方から搬入するものである。

また、本発明の露光装置の負圧室の天板を交換する方法は、基板を搭載するチャックと、チャックを移動するステージと、露光光が通過する開口を有し、開口の下方にマスクを保持するマスクホルダと、マスクホルダの開口の上方に設けられ、マスク及びマスクホルダと共に負圧室を形成する透明な天板と、マスクホルダの上方に設けられ、天板を介して露光光をマスクへ照射する照射光学系とを備え、負圧室に負圧をかけてマスクのたわみを抑制しながら、照射光学系から照射した露光光により、マスクのパターンを基板へ転写する露光装置の負圧室の天板を交換する方法であって、天板を搭載するパレットと、パレットを移動して天板を搬送する搬送手段とを設け、ステージにより、チャックをマスクホルダの下方から離れた位置へ移動し、マスクホルダを、開口を形成する複数の移動可能なホルダ部で構成し、ホルダ部を移動してマスクホルダの開口を天板より大きく広げ、搬送手段により、パレットに搭載された天板を、マスクホルダの広げた開口を通して、マスクホルダの下方へ搬出し又はマスクホルダの下方から搬入するものである。

ステージにより、チャックをマスクホルダの下方から離れた位置へ移動するので、マスクホルダの下方には十分な空間が確保される。マスクホルダを、開口を形成する複数の移動可能なホルダ部で構成し、ホルダ部を移動してマスクホルダの開口を天板より大きく広げるので、天板は、マスクホルダの広げた開口を通して、マスクホルダの下方へ移動が可能となる。そして、搬送手段により、パレットに搭載された天板を、マスクホルダの広げた開口を通して、マスクホルダの下方へ搬出し又はマスクホルダの下方から搬入するので、従来の人手で行う場合に比べて、天板の交換が短時間で済む。

さらに、本発明の露光装置は、天板を収納するケースを備え、搬送手段が、マスクホルダの下方へ搬出した天板をケースに収納するものである。また、本発明の露光装置の負圧室の天板を交換する方法は、天板を収納するケースを設け、搬送手段により、マスクホルダの下方へ搬出した天板をケースに収納するものである。塵や汚れ等が付着した天板を、ケースごと洗浄装置へ搬送することができる。

本発明によれば、ステージにより、チャックをマスクホルダの下方から離れた位置へ移動し、マスクホルダを、露光光が通過する開口を形成する複数の移動可能なホルダ部で構成し、ホルダ部を移動してマスクホルダの開口を負圧室の天板より大きく広げることにより、負圧室の天板を交換する際に、天板をマスクホルダの下方へ搬出し又はマスクホルダの下方から搬入して、天板又は照射光学系等の装置を破損する恐れをなくすことができる。そして、搬送手段により、パレットに搭載された天板を、マスクホルダの広げた開口を通して、マスクホルダの下方へ搬出し又はマスクホルダの下方から搬入することにより、負圧室の天板の交換を短時間で行い、生産性を向上することができる。

さらに、天板を収納するケースを設け、搬送手段により、マスクホルダの下方へ搬出した天板をケースに収納することにより、塵や汚れ等が付着した天板を、ケースごと洗浄装置へ搬送することができる。

図１は、本発明の一実施の形態による露光装置の概略構成を示す図である。また、図２は、本発明の一実施の形態による露光装置の上面図である。露光装置は、ベース３、Ｘガイド４、Ｘステージ５、Ｙガイド６、Ｙステージ７、θステージ８、Ｚ−チルト機構９、チャック１０、マスクホルダ２０、天板２１、エアシリンダ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ、照射光学系３０、マスクストッカー４０、天板搬送用パレット４１、天板ケース４２、及びマスク搬送ロボット５０を含んで構成されている。なお、図１では、エアシリンダ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄが省略されている。また、図２では、ベース３、Ｘガイド４、Ｘステージ５、Ｙガイド６、Ｙステージ７、θステージ８、Ｚ−チルト機構９、チャック１０、及び照射光学系３０が省略されている。露光装置は、これらの他に、基板１を搬入する搬入ユニット、基板１を搬出する搬出ユニット、装置内の温度管理を行う温度制御ユニット等を備えている。

図１において、チャック１０は、基板１の受け渡しを行う受け渡し位置にある。基板１は、受け渡し位置において、図示しない搬入ユニットによりチャック１０へ搭載され、また図示しない搬出ユニットによりチャック１０から回収される。チャック１０は、基板１を真空吸着して保持する。

チャック１０は、Ｚ−チルト機構９を介してθステージ８に搭載されており、θステージ８の下にはＹステージ７及びＸステージ５が設けられている。Ｘステージ５は、ベース３に設けられたＸガイド４に沿ってＸ方向（図面横方向）へ移動する。Ｙステージ７は、Ｘステージ５に設けられたＹガイド６に沿ってＹ方向（図面奥行き方向）へ移動する。θステージ８はθ方向へ回転し、Ｚ−チルト機構９はＺ方向（図面縦方向）へ移動及びチルトする。

受け渡し位置で基板１を搭載したチャック１０は、Ｘステージ５のＸ方向への移動によって、基板１の露光を行う露光位置へ移動する。露光位置の上空には、マスクホルダ２０によってマスク２が保持されている。露光位置において、Ｘステージ５のＸ方向への移動、Ｙステージ７のＹ方向への移動、及びθステージ８のθ方向への回転によって、基板１の位置決めが行われる。また、Ｚ−チルト機構９のＺ方向への移動及びチルトによって、マスク２と基板１とのギャップ制御が行われる。

マスクホルダ２０の上空には、照射光学系３０が配置されている。露光時、照射光学系３０からの露光光がマスク２を透過して基板１へ照射されることにより、マスク２のパターンが基板１の表面に転写され、基板１上にパターンが形成される。

図２において、マスクホルダ２０は、４つの移動可能なホルダ部２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄで構成されている。ホルダ部２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄには、エアシリンダ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄがそれぞれ取り付けられている。

図３は、本発明の一実施の形態によるマスクホルダの上面図である。図３に示す様に、マスクホルダ２０の中央部には、ホルダ部２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄで囲まれた開口が形成され、この開口を露光光が通過する。開口の上方には、ガラス板等から成る透明な天板２１が設置されている。また、開口の下方には、破線で示すマスク２が保持されている。

図４（ａ）は図３のＡ−Ａ部の断面図、図４（ｂ）は図３のＢ−Ｂ部の断面図である。図４（ａ），（ｂ）に示す様に、天板２１は、ホルダ部２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄの上面により四辺が支持されている。ホルダ部２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄの下面には、吸着溝２３が設けられている。ホルダ部２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄは、吸着溝２３によりマスク２の周辺部を真空吸着して保持する。本実施の形態では、マスク２と、マスクホルダ２０を構成するホルダ部２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄと、天板２１とによって負圧室が形成され、負圧室にマスク２の単位面積当たりの質量を相殺する負圧をかけることによって、マスク２のたわみが抑制される。

図２において、マスクホルダ２０の横には、マスク搬送ロボット５０が配置されている。マスク搬送ロボット５０は、２本のロボットアーム５１を有し、マスク２をロボットアーム５１に搭載して搬送する。マスク２を交換する際、図１のＸステージ５は、チャック１０を受け渡し位置へ移動する。Ｘステージ５により、チャック１０をマスクホルダ２０の下方から離れた受け渡し位置へ移動するので、マスクホルダ２０の下方には十分な空間が確保される。マスク搬送ロボット５０は、ロボットアーム５１をマスクホルダ２０の下方へ移動し、マスクホルダ２０に保持されていたマスク２をロボットアーム５１に搭載する。そして、マスク搬送ロボット５０は、マスク２を搭載したロボットアーム５１をマスクストッカー４０内へ移動し、マスク２をマスクストッカー４０に収容する。続いて、マスク搬送ロボット５０は、マスクストッカー４０に収容されている図示しない別のマスクを、ロボットアーム５１に搭載する。そして、マスク搬送ロボット５０は、別のマスクを搭載したロボットアーム５１をマスクホルダ２０の下方へ移動し、別のマスクをマスクホルダ２０へ装着する。

マスクストッカー４０には、図示しない別のマスクの他に、天板搬送用パレット４１及び天板ケース４２が収容されている。天板搬送用パレット４１の上面には、天板２１を支持するための４つの支持片４３が設けられている。また、天板ケース４２内には、天板２１を支持するための４つの支持片４４が設けられている。

天板２１を交換する際、図１のＸステージ５は、チャック１０を受け渡し位置へ移動する。Ｘステージ５により、チャック１０をマスクホルダ２０の下方から離れた受け渡し位置へ移動するので、マスクホルダ２０の下方には十分な空間が確保される。天板２１の交換の前に、マスク搬送ロボット５０は、ロボットアーム５１をマスクホルダ２０の下方へ移動し、マスクホルダ２０に保持されていたマスク２をロボットアーム５１に搭載する。そして、マスク搬送ロボット５０は、マスク２を搭載したロボットアーム５１をマスクストッカー４０内へ移動し、マスク２をマスクストッカー４０に収容する。

続いて、マスク搬送ロボット５０は、マスクストッカー４０に収容されている天板搬送用パレット４１を、ロボットアーム５１に搭載する。そして、マスク搬送ロボット５０は、天板搬送用パレット４１を搭載したロボットアーム５１を、マスクホルダ２０の下方へ移動する。図５は、天板搬送用パレットを搭載したロボットアームをマスクホルダの下方へ移動した状態を示す図である。この状態で、以下に説明するマスクホルダ２０及びロボットアーム５１の動作により、マスク２の搬出が行われる。

図６〜図１０は、マスクホルダ及びロボットアームの動作を説明する図である。なお、図６（ａ）、図７（ａ）、図８（ａ）、図９（ａ）及び図１０（ａ）は、図５のホルダ部２０ｄを取り除いて矢印ａ方向に見た状態を示し、図６（ｂ）、図７（ｂ）、図８（ｂ）、図９（ｂ）及び図１０（ｂ）は、図５のホルダ部２０ｂを取り除いて矢印ｂ方向に見た状態を示している。

図６（ａ），（ｂ）に示す様に、ロボットアーム５１に搭載された天板搬送用パレット４１が、マスクホルダ２０の下方に位置している。図６（ａ）に示す様に、天板搬送用パレット４１の上面に設けられた支持片４３は、上端部に段差を有し、段差の低くなった部分が天板２１の向かい合う二辺の底に接触する様に構成されている。本実施の形態では、４つの支持片４３が、天板２１のホルダ部２０ａで支持された辺及びホルダ部２０ｂで支持された辺を、それぞれ二箇所で支持する様に配置されている。

まず、エアシリンダ２２ａ，２２ｂによりホルダ部２０ａ，２０ｂを移動して、図７（ａ）に示す様に、ホルダ部２０ａとホルダ部２０ｂとの間を広げる。天板２１は、図７（ｂ）に示す様に、ホルダ部２０ｃ，２０ｄにより向かい合う二辺で支持される。

次に、ロボットアーム５１により天板搬送用パレット４１を上昇させ、図８（ａ），（ｂ）に示す様に、天板搬送用パレット４１の支持片４３で天板２１をホルダ部２０ｃ，２０ｄから持ち上げる。

続いて、エアシリンダ２２ｃ，２２ｄによりホルダ部２０ｃ，２０ｄを移動して、図９（ｂ）に示す様に、ホルダ部２０ｃとホルダ部２０ｄとの間を広げる。マスクホルダ２０の開口は、先のホルダ部２０ａ，２０ｂの移動及び今回のホルダ部２０ｃ，２０ｄの移動により、図９（ａ），（ｂ）に示す様に、天板２１よりも大きく広がる。

続いて、ロボットアーム５１により天板搬送用パレット４１を下降させ、図１０（ａ），（ｂ）に示す様に、天板２１を、マスクホルダ２０の広げた開口を通して、マスクホルダ２０の下方へ搬出する。そして、天板搬送用パレット４１を搭載したロボットアーム５１をマスクストッカー４０に収容された天板ケース４２内へ移動し、天板２１を天板ケース４２に収納する。

図１１は、天板２１を天板ケース４２に収納した状態を示す図である。天板ケース４２内に設けられた支持片４４は、天板搬送用パレット４１の支持片４３と同様に、上端部に段差を有し、段差の低くなった部分が天板２１の向かい合う二辺の底に接触する様に構成されている。本実施の形態では、４つの支持片４４が、天板２１のホルダ部２０ｃで支持されていた辺及びホルダ部２０ｄで支持されていた辺を、それぞれ二箇所で支持する様に配置されている。

天板２１を天板ケース４２に収納した後、マスク搬送ロボット５０は、天板搬送用パレット４１を搭載したロボットアーム５１を、図示しない別の天板の下方へ移動し、別の天板を天板搬送用パレット４１に搭載する。そして、マスク搬送ロボット５０は、天板搬送用パレット４１に搭載された別の天板を、マスクホルダ２０の広げた開口を通して、マスクホルダ２０の下方から搬入する。このときのマスクホルダ２０及びロボットアーム５１の動作は、上記と逆の手順で行われる。天板ケース４２に収納された天板２１は、天板ケース４２ごと洗浄装置へ搬送され、洗浄が行われる。

以上説明した実施の形態によれば、Ｘステージ５により、チャック１０をマスクホルダ２０の下方から離れた受け渡し位置へ移動し、マスクホルダ２０を、露光光が通過する開口を形成する複数の移動可能なホルダ部２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄで構成し、ホルダ部２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄを移動してマスクホルダ２０の開口を負圧室の天板２１より大きく広げることにより、負圧室の天板２１を交換する際に、天板２１をマスクホルダ２０の下方へ搬出し又はマスクホルダ２０の下方から搬入して、天板２１又は照射光学系３０等の装置を破損する恐れをなくすことができる。そして、マスク搬送ロボット５０により、天板搬送用パレット４１に搭載された天板２１を、マスクホルダ２０の広げた開口を通して、マスクホルダ２０の下方へ搬出し又はマスクホルダ２０の下方から搬入することにより、負圧室の天板２１の交換を短時間で行い、生産性を向上することができる。

さらに、天板２１を収納する天板ケース４２を設け、マスク搬送ロボット５０により、マスクホルダ２０の下方へ搬出した天板２１を天板ケース４２に収納することにより、塵や汚れ等が付着した天板２１を、天板ケース４２ごと洗浄装置へ搬送することができる。

なお、以上説明した実施の形態では、マスク搬送ロボット５０を用いて天板２１を搬送していたが、マスク搬送ロボット５０とは別に天板２１を搬送するロボットを設けてもよい。また、以上説明した実施の形態では、天板搬送用パレット４１及び天板ケース４２をマスクストッカー４０に収容していたが、マスクストッカー４０とは別に天板搬送用パレット４１及び天板ケース４２を収容する場所を設けてもよい。

本発明の一実施の形態による露光装置の概略構成を示す図である。 本発明の一実施の形態による露光装置の上面図である。 本発明の一実施の形態によるマスクホルダの上面図である。 図４（ａ）は図３のＡ−Ａ部の断面図、図４（ｂ）は図３のＢ−Ｂ部の断面図である。 天板搬送用パレットを搭載したロボットアームをマスクホルダの下方へ移動した状態を示す図である。 マスクホルダ及びロボットアームの動作を説明する図である。 マスクホルダ及びロボットアームの動作を説明する図である。 マスクホルダ及びロボットアームの動作を説明する図である。 マスクホルダ及びロボットアームの動作を説明する図である。 マスクホルダ及びロボットアームの動作を説明する図である。 天板を天板ケースに収納した状態を示す図である。

符号の説明

１ 基板
２ マスク
３ ベース
４ Ｘガイド
５ Ｘステージ
６ Ｙガイド
７ Ｙステージ
８ θステージ
９ Ｚ−チルト機構
１０ チャック
２０ マスクホルダ
２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ ホルダ部
２１ 天板
２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ エアシリンダ
２３ 吸着溝
３０ 照射光学系
４０ マスクストッカー
４１ 天板搬送用パレット
４２ 天板ケース
４３，４４ 支持片
５０ マスク搬送ロボット
５１ ロボットアーム

Claims (4)

1. 基板を搭載するチャックと、
   前記チャックを移動するステージと、
   露光光が通過する開口を有し、開口の下方にマスクを保持するマスクホルダと、
   前記マスクホルダの開口の上方に設けられ、マスク及び前記マスクホルダと共に負圧室を形成する透明な天板と、
   前記マスクホルダの上方に設けられ、前記天板を介して露光光をマスクへ照射する照射光学系とを備え、
   負圧室に負圧をかけてマスクのたわみを抑制しながら、前記照射光学系から照射した露光光により、マスクのパターンを基板へ転写する露光装置であって、
   前記天板を搭載するパレットと、
   前記パレットを移動して前記天板を搬送する搬送手段とを備え、
   前記ステージは、前記チャックを前記マスクホルダの下方から離れた位置へ移動し、
   前記マスクホルダは、開口を形成する複数の移動可能なホルダ部を有し、該ホルダ部を移動して開口を前記天板より大きく広げ、
   前記搬送手段は、前記パレットに搭載された前記天板を、前記マスクホルダの広げた開口を通して、前記マスクホルダの下方へ搬出し又は前記マスクホルダの下方から搬入することを特徴とする露光装置。
2. 前記天板を収納するケースを備え、
   前記搬送手段は、前記マスクホルダの下方へ搬出した前記天板を前記ケースに収納することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
3. 基板を搭載するチャックと、
   チャックを移動するステージと、
   露光光が通過する開口を有し、開口の下方にマスクを保持するマスクホルダと、
   マスクホルダの開口の上方に設けられ、マスク及びマスクホルダと共に負圧室を形成する透明な天板と、
   マスクホルダの上方に設けられ、天板を介して露光光をマスクへ照射する照射光学系とを備え、
   負圧室に負圧をかけてマスクのたわみを抑制しながら、照射光学系から照射した露光光により、マスクのパターンを基板へ転写する露光装置の負圧室の天板を交換する方法であって、
   天板を搭載するパレットと、パレットを移動して天板を搬送する搬送手段とを設け、
   ステージにより、チャックをマスクホルダの下方から離れた位置へ移動し、
   マスクホルダを、開口を形成する複数の移動可能なホルダ部で構成し、ホルダ部を移動してマスクホルダの開口を天板より大きく広げ、
   搬送手段により、パレットに搭載された天板を、マスクホルダの広げた開口を通して、マスクホルダの下方へ搬出し又はマスクホルダの下方から搬入することを特徴とする露光装置の負圧室の天板を交換する方法。
4. 天板を収納するケースを設け、
   搬送手段により、マスクホルダの下方へ搬出した天板をケースに収納することを特徴とする請求項３に記載の露光装置の負圧室の天板を交換する方法。

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