JP2008191107A - Surface temperature measuring instrument and method - Google Patents
Surface temperature measuring instrument and method Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008191107A JP2008191107A JP2007028502A JP2007028502A JP2008191107A JP 2008191107 A JP2008191107 A JP 2008191107A JP 2007028502 A JP2007028502 A JP 2007028502A JP 2007028502 A JP2007028502 A JP 2007028502A JP 2008191107 A JP2008191107 A JP 2008191107A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- infrared
- distribution
- infrared rays
- intensity
- surface temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
Description
本発明は、対象物の表面温度の分布を測定する技術に関する。 The present invention relates to a technique for measuring a surface temperature distribution of an object.
従来、対象物の表面温度を測定する方法として、非接触式の表面温度測定方法が知られている。非接触式の表面温度測定方法の代表例としては、対象物から放射される赤外線を検出することにより対象物の表面温度を測定する赤外線サーモグラフィが挙げられる。
赤外線サーモグラフィは、対象物の表面温度を非接触で測定できるという利点だけでなく、対象物表面の所定領域の温度(温度分布)をリアルタイムで測定できるという利点も有する。
Conventionally, a non-contact type surface temperature measuring method is known as a method for measuring the surface temperature of an object. A typical example of the non-contact type surface temperature measurement method is an infrared thermography that measures the surface temperature of an object by detecting infrared rays emitted from the object.
Infrared thermography not only has the advantage that the surface temperature of the object can be measured in a non-contact manner, but also has the advantage that the temperature (temperature distribution) of a predetermined region on the surface of the object can be measured in real time.
しかし、赤外線サーモグラフィにより測定された温度分布は、対象物の放射率や反射率、および周囲の温度により大きく変動するものであること、および、たとえ同一の対象物であっても、当該対象物の表面の状態等により放射率や反射率が大きく変動し得るものであることから、表面状態が時々刻々と変化する対象物については赤外線サーモグラフィによる対象物表面の温度分布測定の精度を確保することは困難であった。 However, the temperature distribution measured by infrared thermography greatly varies depending on the emissivity and reflectance of the object and the ambient temperature, and even if the object is the same, Since the emissivity and reflectivity can vary greatly depending on the surface condition, etc., it is necessary to ensure the accuracy of temperature distribution measurement on the object surface by infrared thermography for objects whose surface condition changes from moment to moment. It was difficult.
このような問題を解決する方法として、三色放射温度計を用いた赤外線サーモグラフィが提案されている。例えば、特許文献1、特許文献2および非特許文献1に記載の如くである。
As a method for solving such a problem, infrared thermography using a three-color radiation thermometer has been proposed. For example, as described in
三色放射温度計を用いた赤外線サーモグラフィは、波長帯の異なる三種類の赤外線を検出可能な赤外線カメラ(例えば、フィルターを交換することにより波長帯の異なる赤外線をそれぞれ検出する赤外線カメラ、あるいはそれぞれ波長帯の異なる赤外線を検出する三台の赤外線カメラ)によりそれぞれ対象物の表面温度の分布を測定し、当該測定値を用いて、(1)対象物の黒体温度(真の表面温度)、(2)対象物の放射率(反射率=1−放射率)、および(3)周囲の温度、の三つを変数とする三つの方程式(エネルギー保存則に基づく式)を取得し、これらの連立方程式を解くことにより対象物の黒体温度(真の表面温度)の分布を算出するものである。
三色放射温度計を用いた赤外線サーモグラフィは、精度良く測定することが困難な放射率や反射率、あるいは周囲の温度を必要とせずに対象物の表面温度の分布を測定することが可能であり、作業性に優れる。
Infrared thermography using a three-color radiation thermometer is an infrared camera that can detect three types of infrared rays with different wavelength bands (for example, an infrared camera that detects infrared rays with different wavelength bands by exchanging filters, or each wavelength). The distribution of the surface temperature of the object is measured by three infrared cameras that detect infrared rays with different bands, and the measured values are used to (1) the black body temperature (true surface temperature) of the object ( 2) Obtain three equations (equations based on the law of conservation of energy) with three as variables: the emissivity of the object (reflectance = 1-emissivity), and (3) the ambient temperature. The distribution of the black body temperature (true surface temperature) of the object is calculated by solving the equation.
Infrared thermography using a three-color radiation thermometer can measure the distribution of the surface temperature of an object without requiring emissivity, reflectance, or ambient temperature, which is difficult to measure accurately. Excellent workability.
特に、互いに異なる波長帯の赤外線を透過可能な三種類以上のフィルターを切り替えることにより同一の赤外線カメラでそれぞれ異なる波長の赤外線の強度分布を検出する形式の表面温度測定装置は、それぞれ波長帯の異なる赤外線を検出する三台の赤外線カメラを用いる表面温度測定装置と比較すると、(A)赤外線カメラの台数が少なく設備コストが小さい、(B)基本的には一つの固定された赤外線カメラを用いるため、赤外線カメラの校正に係る工数を相対的に少なくすることが可能であるとともに、赤外線カメラと対象物との相対的な位置関係が変化せず測定精度が向上する、といった利点を有する。 In particular, the surface temperature measuring device of the type that detects the intensity distribution of infrared rays of different wavelengths with the same infrared camera by switching three or more types of filters that can transmit infrared rays of different wavelength bands, has different wavelength bands. Compared with a surface temperature measuring device using three infrared cameras for detecting infrared rays, (A) the number of infrared cameras is small and the equipment cost is low, and (B) basically one fixed infrared camera is used. In addition, it is possible to relatively reduce the number of steps involved in calibration of the infrared camera, and the relative positional relationship between the infrared camera and the object does not change and the measurement accuracy is improved.
しかし、互いに異なる波長帯の赤外線を透過可能な三種類以上のフィルターを切り替えることにより同一の赤外線カメラでそれぞれ異なる波長の赤外線の強度分布を検出する形式の表面温度測定装置は、各波長帯の赤外線の強度分布の検出とフィルターの交換とを交互に行うため、各波長帯の赤外線の強度分布が取得される時間(検出時間)は異なる。
そして、対象物の温度が経時的に変化する場合には、各波長帯の赤外線の強度分布が取得される時間(検出時間)における対象物の表面温度もそれぞれ変化するため、上記(1)の対象物の黒体温度(真の表面温度)が各方程式で同じであるという三色放射温度計を用いた赤外線サーモグラフィの前提条件に反することとなり、表面温度の測定精度の低下の原因となる。
When the temperature of the object changes with time, the surface temperature of the object at the time (detection time) at which the infrared light intensity distribution in each wavelength band is acquired also changes. This is contrary to the precondition of the infrared thermography using the three-color radiation thermometer that the black body temperature (true surface temperature) of the object is the same in each equation, and causes a decrease in measurement accuracy of the surface temperature.
本発明は以上の如き状況に鑑み、複数の異なる波長帯の赤外線の強度分布をそれぞれ異なる検出時間に検出する場合でも対象物の表面温度を精度良く測定することが可能な表面温度検査装置および表面温度検査方法を提供するものである。 In view of the situation as described above, the present invention provides a surface temperature inspection apparatus and surface capable of accurately measuring the surface temperature of an object even when detecting the intensity distribution of infrared rays in different wavelength bands at different detection times. A temperature inspection method is provided.
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。 The problem to be solved by the present invention is as described above. Next, means for solving the problem will be described.
即ち、請求項1においては、
対象物の表面から放射される赤外線のうち、波長帯が異なる三種類以上の赤外線の強度の分布をそれぞれ異なる検出時間に検出するとともに各波長帯について二回以上検出する赤外線分布検出手段と、
前記赤外線分布検出手段により検出された前記波長帯が異なる三種類以上の赤外線の強度または当該強度から算出される測定温度とそれぞれの検出時間との関係を求め、前記赤外線の強度または測定温度を前記波長帯が異なる三種類以上の赤外線のいずれかの検出時間における補正値に補正する補正手段と、
前記補正値に基づいて前記対象物の表面の温度の分布を算出する表面温度分布算出手段と、
を具備するものである。
That is, in
Among infrared rays radiated from the surface of the object, infrared distribution detection means for detecting the intensity distribution of three or more types of infrared rays having different wavelength bands at different detection times and detecting at least twice for each wavelength band;
Obtain the intensity of three or more types of infrared rays having different wavelength bands detected by the infrared distribution detection means or the relationship between the measurement temperature calculated from the intensity and the detection time thereof, and determine the intensity or measurement temperature of the infrared rays. Correction means for correcting to a correction value in the detection time of any of three or more types of infrared rays having different wavelength bands;
Surface temperature distribution calculating means for calculating the temperature distribution of the surface of the object based on the correction value;
It comprises.
請求項2においては、
前記赤外線分布検出手段は、
赤外線の強度分布を検出する赤外線カメラと、
それぞれ異なる波長帯の赤外線が透過可能な三種類以上のフィルターと、
前記三種類以上のフィルターのいずれが前記赤外線カメラの視野を覆うかを切り替える切り替え装置と、
を具備するものである。
In
The infrared distribution detection means includes
An infrared camera for detecting infrared intensity distribution;
Three or more types of filters that can transmit infrared rays in different wavelength bands,
A switching device for switching which of the three or more types of filters covers the field of view of the infrared camera;
It comprises.
請求項3においては、
対象物の表面から放射される赤外線のうち、波長帯が異なる三種類以上の赤外線の強度の分布をそれぞれ異なる検出時間に検出するとともに各波長帯について二回以上検出する赤外線分布検出工程と、
前記赤外線分布検出工程において検出された前記波長帯が異なる三種類以上の赤外線の強度または当該強度から算出される測定温度とそれぞれの検出時間との関係を求め、前記赤外線の強度または測定温度を前記波長帯が異なる三種類以上の赤外線のいずれかの検出時間における補正値に補正する補正工程と、
前記補正値に基づいて前記対象物の表面の温度の分布を算出する表面温度分布算出工程と、
を具備するものである。
In
Among infrared rays radiated from the surface of the object, an infrared distribution detection step of detecting the intensity distribution of three or more types of infrared rays having different wavelength bands at different detection times and detecting at least twice for each wavelength band;
Obtain the intensity of three or more types of infrared rays with different wavelength bands detected in the infrared distribution detection step or the relationship between the measurement temperature calculated from the intensity and the respective detection times, and determine the intensity or measurement temperature of the infrared rays A correction process for correcting to a correction value in any detection time of three or more types of infrared rays having different wavelength bands,
A surface temperature distribution calculating step of calculating a temperature distribution of the surface of the object based on the correction value;
It comprises.
請求項4においては、
前記赤外線分布検出工程において、
赤外線の強度分布を検出する赤外線カメラと、
それぞれ異なる波長帯の赤外線が透過可能な三種類以上のフィルターと、
前記三種類以上のフィルターのいずれが前記赤外線カメラの視野を覆うかを切り替える切り替え装置と、
を具備する赤外線分布検出手段を用いて前記波長帯が異なる三種類以上の赤外線の強度の分布を検出するものである。
In claim 4,
In the infrared distribution detection step,
An infrared camera for detecting infrared intensity distribution;
Three or more types of filters that can transmit infrared rays in different wavelength bands,
A switching device for switching which of the three or more types of filters covers the field of view of the infrared camera;
The intensity distribution of three or more types of infrared rays having different wavelength bands is detected using an infrared distribution detecting means comprising:
本発明は、複数の異なる波長帯の赤外線の強度分布をそれぞれ異なる検出時間に検出する場合でも対象物の表面温度を精度良く測定することが可能である、という効果を奏する。 The present invention has an effect that it is possible to accurately measure the surface temperature of an object even when detecting intensity distributions of infrared rays in different wavelength bands at different detection times.
以下では、図1乃至図3を用いて本発明に係る表面温度測定装置の実施の一形態である表面温度測定装置101について説明する。
Hereinafter, a surface
図1に示す如く、表面温度測定装置101は鍛造用金型102の表面、特にキャビティ面102aの温度の分布を測定するものである。表面温度測定装置101は主として赤外線分布検出装置110、制御装置120を具備する。
As shown in FIG. 1, the surface
鍛造用金型102は本発明に係る対象物の実施の一形態であり、その合わせ面には鍛造物(鍛造用金型102により所定の形状に鍛造されたもの)に対応する形状のキャビティ面102aが形成される。
The
鍛造用金型102のキャビティ面102aには、鍛造物を鍛造用金型102から取り出し容易とするために予め離型剤が塗布される。
離型剤を塗布するときのキャビティ面102aの温度が高すぎると離型剤がキャビティ面102aに強固に固着し、鍛造物を容易に取り出すことができなくなる場合がある。また、離型剤を塗布するときのキャビティ面102aの温度が低すぎると塗布された離型剤に水分が残留し、鍛造時にこれが蒸発して鍛造物の品質低下を招く場合がある。
従って、離型剤を塗布するときには、キャビティ面102aの温度が、離型剤がキャビティ面102aに強固に固着することがなく、かつ、塗布された離型剤から水分が十分に蒸発する所定の温度域にあることを確認する必要がある。
本実施例の表面温度測定装置101は、鍛造用金型102のキャビティ面102aに離型剤を塗布するときのキャビティ面102aの温度分布が所定の温度域にあるか否かを判定するために用いられる。
A release agent is applied to the
If the temperature of the
Therefore, when the release agent is applied, the temperature of the
The surface
なお、本発明に係る表面温度測定装置の用途は本実施例に限定されず、種々の対象物の表面の温度分布を測定する用途に広く適用可能である。 In addition, the use of the surface temperature measuring apparatus according to the present invention is not limited to the present embodiment, and can be widely applied to the use of measuring the temperature distribution on the surface of various objects.
赤外線分布検出装置110は本発明に係る赤外線分布検出手段の実施の一形態であり、鍛造用金型102のキャビティ面102aから放射される赤外線のうち、波長帯が異なる三種類の赤外線の強度の分布をそれぞれ異なる検出時間に検出するとともに各波長帯について二回以上検出するものである。
赤外線分布検出装置110は、主として赤外線カメラ111、短波長フィルター112a、中波長フィルター112b、長波長フィルター112c、切り替え装置113等を具備する。
The infrared
The infrared
赤外線カメラ111は赤外線の強度分布を検出するものである。ここで、「強度分布」とは、対象物の表面における強度の分布を指す。
The
赤外線カメラ111は検出素子111a、レンズ111bを具備する。
本実施例の検出素子111aは5μm〜15μm程度の波長の赤外線、すなわち短波長帯から長波長帯までの全ての波長帯の赤外線を検出可能なHgCdTeからなる二次元アレイ型の半導体素子であり、赤外線カメラ111の視野内の所定領域における赤外線の強度の分布を検出することが可能である。
なお、本実施例の赤外線カメラ111における検出素子111aはHgCdTeからなる二次元アレイ型の半導体素子であるが、本発明はこれに限定されず、他の検出素子を用いても良い。
レンズ111bは所定の領域(視野)から放射される赤外線を検出素子111aに収束するものである。本実施例の場合、所定の領域(視野)内に鍛造用金型102のキャビティ面102aを配置することにより、鍛造用金型102のキャビティ面102aから放射される赤外線を検出素子111aに収束する。
The
The
The
The
短波長フィルター112a、中波長フィルター112b、長波長フィルター112cは本発明に係るフィルターの実施の一形態であり、それぞれ異なる波長帯の赤外線が透過可能なフィルターである。
本実施例の場合、短波長フィルター112aは波長が7.4μm〜9.0μmの赤外線、中波長フィルター112bは波長が9.3μm〜11.3μmの赤外線、長波長フィルター112cは波長が10.9μm〜14.3μmの赤外線を透過する。以下の説明では波長が7.4μm〜9.0μmの赤外線を「短波長帯の赤外線」、波長が9.3μm〜11.3μmの赤外線を「中波長帯の赤外線」、波長が10.9μm〜14.3μmの赤外線を「長波長帯の赤外線」と呼ぶこととする。
The
In this embodiment, the
なお、各フィルターの透過する波長帯は本実施例に限定されず、別の波長帯を透過する構成としても良い。また、各フィルターの透過する波長帯の一部が重複しても良い。
また、本実施例の赤外線分布検出装置110は三つの異なる波長帯の赤外線が透過するフィルター(短波長フィルター112a、中波長フィルター112b、長波長フィルター112c)を具備する構成としたが、本発明はこれに限定されず、四つ以上の異なる波長帯の赤外線を透過可能なフィルターを具備する構成としても良い。
In addition, the wavelength band which each filter permeate | transmits is not limited to a present Example, It is good also as a structure which permeate | transmits another wavelength band. Moreover, a part of wavelength band which each filter permeate | transmits may overlap.
In addition, the infrared
切り替え装置113は短波長フィルター112a、中波長フィルター112b、長波長フィルター112cのいずれが赤外線カメラ111の視野を覆うかを切り替えるものである。
切り替え装置113は主としてディスク113a、モータ113b等を具備する。
ディスク113aは略円盤状の部材であり、短波長フィルター112a、中波長フィルター112b、長波長フィルター112cをそれぞれ嵌め込むための孔が形成される。これらの孔は、それぞれディスク113aの中心からの距離が略同じとなる位置に形成される。
モータ113bは回転駆動するアクチュエータであり、その回転軸はディスク113aの中心に固定される。
The
The
The
The
ディスク113aは、これに嵌め込まれた短波長フィルター112a、中波長フィルター112b、長波長フィルター112cのいずれかがレンズ111bに対向する位置、すなわち、赤外線カメラ111の視野を覆う位置に配置される。
モータ113bを駆動するとディスク113aが回転し、短波長フィルター112a、中波長フィルター112b、長波長フィルター112cの三つのフィルターのうち、赤外線カメラ111の視野を覆う位置に配置されるものが切り替わる。
The
When the
なお、本実施例ではディスク113aにそれぞれ異なる波長帯の赤外線を透過可能な三つのフィルター(短波長フィルター112a、中波長フィルター112b、長波長フィルター112c)を嵌め込み、モータ113bでディスク113aを回転駆動することにより三つのフィルターのいずれが赤外線カメラ111の視野を覆うかを切り替える構成としたが、本発明はこれに限定されず、他の方法(例えば、三つ以上のフィルターを並べて嵌め込んだ部材をスライドする等)により赤外線カメラの視野を覆うフィルターを切り替える構成としても同様の効果を奏する。
In this embodiment, three filters (
赤外線カメラ111は短波長フィルター112a、中波長フィルター112b、長波長フィルター112cのいずれも視野を覆っていない状態において黒体校正される。
赤外線カメラ111の測定温度範囲は、対象物たる鍛造用金型102のキャビティ面102aの温度変動範囲に対する短波長フィルター112a、中波長フィルター112b、長波長フィルター112cによる見かけの温度変動に合わせて設定される。本実施例の場合、鍛造用金型102の温度の上限は約450℃であるが、短波長フィルター112a、中波長フィルター112b、長波長フィルター112cによる見かけの温度変動を考慮して赤外線カメラ111の測定温度範囲の上限(黒体校正温度の上限)は約250℃に設定される。
The
The measurement temperature range of the
制御装置120は主として制御部121、入力部122、表示部123等を具備する。
The
制御部121は表面温度測定装置101の一連の動作を制御するものである。
制御部121は、実体的には、種々のプログラム等(例えば、後述する検出動作制御プログラム、補正プログラム、表面温度分布算出プログラム、および各フィルターを用いた場合の見かけの測定温度(測定値)と赤外線強度との関係を示すデータテーブル等)を格納する格納手段、これらのプログラム等を展開する展開手段、これらのプログラム等に従って所定の演算を行う演算手段、演算結果等を保管する保管手段等を具備する。
The
The
制御部121は、より具体的には、CPU、ROM、RAM、HDD等がバスで接続される構成であっても良く、あるいはワンチップのLSI等からなる構成であっても良い。
本実施例の制御部121は専用品であるが、市販のパーソナルコンピュータやワークステーション等に上記プログラム群を格納したもので達成することも可能である。
More specifically, the
Although the
制御部121は赤外線分布検出装置110の赤外線カメラ111に接続され、赤外線カメラ111を動作させるための信号を送信可能であるとともに、赤外線カメラ111により検出された鍛造用金型102のキャビティ面102aから放射される各波長帯における赤外線の強度の分布に係る情報を受信(取得)することが可能である。
また、制御部121は切り替え装置113のモータ113bに接続され、モータ113bの駆動および停止に係る信号を送信することにより、モータ113bの動作を制御する、すなわち短波長フィルター112a、中波長フィルター112b、長波長フィルター112cのいずれが赤外線カメラ111の視野を覆うかを選択することが可能である。
The
The
入力部122は制御部121に接続され、制御部121に表面温度測定装置101の動作に係る種々の情報・指示等を入力するものである。
本実施例の入力部122は専用品であるが、市販のキーボード、マウス、ポインティングデバイス、ボタン、スイッチ等を用いても同様の効果を達成することが可能である。
The
Although the
表示部123は表面温度測定装置101の動作状況、入力部122から制御部121への入力内容、表面温度測定装置101による測定結果等を表示するものである。
本実施例の表示部123は専用品であるが、市販のモニターや液晶ディスプレイ等を用いても同様の効果を達成することが可能である。
The
Although the
また、市販のタッチパネル等を用いて入力部122としての機能と表示部123としての機能を一体化したものを達成することが可能である。
Moreover, it is possible to achieve what integrated the function as the
以下では、制御部121の詳細構成について説明する。
制御部121は、機能的には検出動作制御部121a、補正部121b、表面温度分布算出部121c等を具備する。
Below, the detailed structure of the
Functionally, the
検出動作制御部121aは、赤外線分布検出装置110、より詳細には赤外線カメラ111および切り替え装置113の動作を制御するものである。
実体的には、制御部121が、その格納手段に格納された検出動作制御プログラムに従って所定の演算等を行うことにより、検出動作制御部121aとしての機能を果たす。
The detection
Substantially, the
図2に示す如く、検出動作制御部121aは、切り替え装置113のモータ113bを駆動し、短波長フィルター112aが赤外線カメラ111の視野を覆う状態とする。
そして、時間t(1,1)において、短波長フィルター112aが赤外線カメラ111の視野を覆った状態で赤外線カメラ111により検出された鍛造用金型102のキャビティ面102aから放射される赤外線の強度Q(1,1)の分布(1回目の短波長帯の赤外線強度分布)を取得する。
ここで、Q(i,m)、T(i,m)における添字iはフィルター番号を表し、添字mは同じフィルター(赤外線の波長帯)における測定回数を表す。本実施例の場合、i=1が短波長フィルター112a、i=2が中波長フィルター112b、i=3が長波長フィルター112cにそれぞれ対応する。
As shown in FIG. 2, the detection
Then, at time t (1 , 1) , the intensity Q of infrared rays radiated from the
Here, the subscript i in Q (i, m) and T (i, m) represents the filter number, and the subscript m represents the number of measurements in the same filter (infrared wavelength band). In this embodiment, i = 1 corresponds to the
次に、検出動作制御部121aは、切り替え装置113のモータ113bを駆動し、中波長フィルター112bが赤外線カメラ111の視野を覆う状態とする。
そして、時間t(2,1)において、中波長フィルター112bが赤外線カメラ111の視野を覆った状態で赤外線カメラ111により検出された鍛造用金型102のキャビティ面102aから放射される赤外線の強度Q(2,1)の分布(1回目の中波長帯の赤外線強度分布)を取得する。
Next, the detection
Then, at time t (2 , 1) , the intensity Q of the infrared ray radiated from the
続いて、検出動作制御部121aは、切り替え装置113のモータ113bを駆動し、長波長フィルター112cが赤外線カメラ111の視野を覆う状態とする。
そして、時間t(3,1)において、長波長フィルター112cが赤外線カメラ111の視野を覆った状態で赤外線カメラ111により検出された鍛造用金型102のキャビティ面102aから放射される赤外線の強度Q(3,1)の分布(1回目の長波長帯の赤外線強度分布)を取得する。
Subsequently, the detection
Then, at time t (3 , 1) , the intensity Q of infrared rays radiated from the
同様に、検出動作制御部121aは、切り替え装置113のモータ113bを駆動し、赤外線カメラ111の視野を覆うフィルターを短波長フィルター112a→中波長フィルター112b→長波長フィルター112cの順に切り替え、時間t(1,2)において2回目の短波長帯の赤外線強度Q(1,2)の分布、時間t(2,2)において2回目の中波長帯の赤外線強度Q(2,2)の分布、時間t(3,2)において2回目の長波長帯の赤外線強度Q(3,2)の分布をそれぞれ取得する。
Similarly, the detection
本実施例では短波長フィルター112a(1回目)→中波長フィルター112b(1回目)→長波長フィルター112c(1回目)→短波長フィルター112a(2回目)→中波長フィルター112b(2回目)→長波長フィルター112c(2回目)の順に赤外線カメラ111の視野を覆う構成としたが、本発明はこれに限定されず、赤外線の強度分布の検出を行う波長帯の順序を任意に選択することが可能である。
In this embodiment, the
補正部121bは本発明に係る補正手段の実施の一形態であり、波長帯が異なる三種類の赤外線の強度とそれぞれの検出時間との関係を求め、当該赤外線の強度または測定温度を波長帯が異なる三種類以上の赤外線のいずれかの検出時間における補正値に補正するものである。
実体的には、制御部121が、その格納手段に格納された補正プログラムに従って所定の演算等を行うことにより、補正部121bとしての機能を果たす。
The
Substantially, the
まず、補正部121bは、取得された赤外線の強度の分布のうち、鍛造用金型102のキャビティ面102aの所定の測定点102bにおける赤外線の強度(Q(1,1)、Q(2,1)、Q(3,1)、Q(1,2)、Q(2,2)、Q(3,2))に基づいて、当該測定点における赤外線カメラ111による測定温度Trs(i,m)を算出する。
ここで、測定温度Trs(i,m)はQ(i,m)と同様に、添字iはフィルター番号を表し、添字mは測定回数(何回目)を表す。
本実施例の場合、制御部121の格納手段に予め格納されている各フィルターを用いた場合の見かけの測定温度(測定値)と赤外線強度との関係を示すデータテーブルを参照することにより、測定温度Trs(i,m)を求める。
First, the
Here, the measurement temperature Trs (i, m) is the same as Q (i, m) , the subscript i represents the filter number, and the subscript m represents the number of times of measurement (how many times).
In the case of the present embodiment, the measurement is performed by referring to a data table showing the relationship between the apparent measurement temperature (measurement value) and the infrared intensity when each filter stored in advance in the storage means of the
次に、補正部121bは、算出された所定の測定点102bにおける測定温度Trs(i,m)(具体的には、Trs(1,1)、Trs(2,1)、Trs(3,1)、Trs(1,2)、Trs(2,2)、Trs(3,2))のうち、中波長帯および長波長帯について測定温度Trs(i,m)と検出時間t(i,m)との関係を求める。
本実施例では図2に示す如く、座標(t(2,1),Trs(2,1))と座標(t(2,2),Trs(2,2))とを通る直線の式、および座標(t(3,1),Trs(3,1))と座標(t(3,2),Trs(3,2))とを通る直線の式を求めることが、中波長帯および長波長帯について測定温度Trs(i,m)と検出時間t(i,m)との関係を求めることに相当する。
Next, the
In this embodiment, as shown in FIG. 2, an equation of a straight line passing through the coordinates (t (2,1) , Trs (2,1) ) and the coordinates (t (2,2) , Trs (2,2) ), And finding an equation of a straight line passing through the coordinates (t (3,1) , Trs (3,1) ) and the coordinates (t (3,2) , Trs (3,2) ) This corresponds to obtaining the relationship between the measurement temperature Trs (i, m) and the detection time t (i, m) for the wavelength band.
ここで、中波長帯および長波長帯について測定温度Trs(i,m)と検出時間t(i,m)との関係を直線近似することは、テストピースによる実験結果に基づいている。
すなわち、鋳造用金型のテストピースのキャビティ面近傍(キャビティ面から深さ0.5mmの位置)の異なる5箇所に熱電対を埋め込み、当該テストピースを用いて鋳造を行い、鋳造物を取り出した後の当該テストピースの温度変化を測定した。テストピースを構成する材料は一般的な金型用材料であるSKD61(JIS規格)であり、キャビティ面に市販の離型剤を塗布した場合と塗布しなかった場合の両方について実験を行った。
その結果、図3に示す如く、テストピースの温度変化は離型剤を塗布するか否かに関わらず約0.2℃/secで直線近似が可能である。なお、図3の実験結果は塗布しなかった場合を示す。
Here, linearly approximating the relationship between the measurement temperature Trs (i, m) and the detection time t (i, m) for the medium wavelength band and the long wavelength band is based on the experimental result of the test piece.
That is, a thermocouple was embedded in five different locations in the vicinity of the cavity surface (position at a depth of 0.5 mm from the cavity surface) of the test piece of the casting mold, casting was performed using the test piece, and the cast was taken out. The temperature change of the later test piece was measured. The material constituting the test piece is SKD61 (JIS standard), which is a general mold material, and experiments were conducted both when a commercially available release agent was applied to the cavity surface and when it was not applied.
As a result, as shown in FIG. 3, the temperature change of the test piece can be linearly approximated at about 0.2 ° C./sec regardless of whether or not the release agent is applied. In addition, the experimental result of FIG. 3 shows the case where it does not apply | coat.
続いて、補正部121bは、求められた二つの直線の式に基づいて、鍛造用金型102のキャビティ面102aの各測定点(赤外線カメラ111の視野内の測定領域全体)について、中波長帯の測定温度の検出時間t(1,1)における補正値Trs(2,0)、および長波長帯の測定温度の検出時間t(1,1)における補正値Trs(3,0)を算出する。
測定温度の補正値Trs(2,0)は、仮に検出時間t(1,1)に赤外線カメラ111の視野を中波長フィルター112bが覆っていたとすれば検出されたであろう所定の測定点から放射される中波長帯の赤外線の強度を表すものであり、測定温度の補正値Trs(3,0)は、仮に検出時間t(1,1)に赤外線カメラ111の視野を長波長フィルター112cが覆っていたとすれば検出されたであろう所定の測定点から放射される長波長帯の赤外線の強度を表すものである。
Subsequently, the
The correction value Trs (2, 0) of the measured temperature is calculated from a predetermined measurement point that would have been detected if the
なお、測定温度の補正値(Trs(2,0)およびTrs(3,0))を算出するための鍛造用金型102のキャビティ面102aの所定の測定点102bは、鍛造用金型102のキャビティ面102aの任意の位置に設定することが可能である。
ただし、測定精度を向上するという観点からは、キャビティ面102aのうち、赤外線カメラ111と測定点とを結ぶ線(光路)に対して略直交する面を成し、かつその表面性状が変化し難い(鋳造を繰り返すことにより損耗し難い)位置に設定することが望ましい。
The
However, from the viewpoint of improving the measurement accuracy, the
本実施例では鍛造用金型102のキャビティ面102aの所定の測定点102bにおける赤外線の強度に基づいて補正値を算出する構成としたが、本発明はこれに限定されない。
例えば、複数の測定点のそれぞれについて各波長帯の赤外線の強度と検出時間の関係式を求め、当該求められた複数の関係式のそれぞれについて算出された補正値の平均値を補正値の代表値として用いる構成としても良く、赤外線カメラにより測定された視野内の全ての測定点(画素)についてそれぞれ中波長帯および長波長帯についての測定温度Trs(i,m)と検出時間t(i,m)との関係(直線式)を求めた上で補正値を算出する構成としても良い。
In the present embodiment, the correction value is calculated based on the infrared intensity at the
For example, a relational expression between the intensity of infrared rays in each wavelength band and a detection time is obtained for each of a plurality of measurement points, and an average value of correction values calculated for each of the obtained relational expressions is a representative value of the correction value. The measurement temperature Trs (i, m) and the detection time t (i, m ) for each of the measurement points (pixels) in the field of view measured by the infrared camera for the medium wavelength band and the long wavelength band may be used. The correction value may be calculated after obtaining the relationship (linear equation).
本実施例では所定の測定点における各波長帯の赤外線の強度Qを測定温度Trsに変換し(測定温度Trsを算出し)、測定温度Trsと検出時間tとの関係を求め、当該関係に基づいて測定温度Trsの補正値を算出する構成としたが、本発明はこれに限定されるものではなく、所定の測定点における各波長帯の赤外線の強度Qと検出時間tとの関係を求め、当該関係に基づいて赤外線の強度Qの補正値を算出し、当該強度Qの補正値を測定温度Trsの補正値に変換する(測定温度Trsの補正値を算出する)構成としても同様の効果を奏する。 In this embodiment, the infrared intensity Q of each wavelength band at a predetermined measurement point is converted into the measurement temperature Trs (calculation of the measurement temperature Trs), the relationship between the measurement temperature Trs and the detection time t is obtained, and based on the relationship. Thus, the correction value of the measurement temperature Trs is calculated, but the present invention is not limited to this, and the relationship between the infrared intensity Q of each wavelength band at a predetermined measurement point and the detection time t is obtained. The same effect can be obtained by calculating a correction value of the intensity Q of infrared rays based on the relationship and converting the correction value of the intensity Q into a correction value of the measurement temperature Trs (calculating the correction value of the measurement temperature Trs). Play.
表面温度分布算出部121cは本発明に係る表面温度分布算出手段の実施の一形態であり、検出時間t(1,1)における短波長帯の測定温度Trs(1,1)、中波長帯の測定温度の検出時間t(1,1)における補正値Trs(2,0)、および長波長帯の測定温度の検出時間t(1,1)における補正値Trs(3,0)に基づいて、鍛造用金型102のキャビティ面102aの表面温度の分布を算出するものである。
実体的には、制御部121が、その格納手段に格納された表面温度分布算出プログラムに従って所定の演算等を行うことにより、表面温度分布算出部121cとしての機能を果たす。
The surface temperature
Substantially, the
一般的な三色放射温度計を用いた赤外線サーモグラフィにおける対象物の黒体温度(真の表面温度)Tsの計算方法は、以下の数1乃至数3および数4乃至数6からそれぞれ乗数n1、n2、n3が同一とならないように一式ずつ選択し、二分法、ニュートン法あるいはニュートンプソン法等を適用して収束解を得る(F(Ts)=F(Ta)=0となるTsを求める)ことによりTsを決定するものである(非特許文献1参照)。
上記式の選択のパターンは計6通り(数1と数5、数1と数6、数2と数4、数2と数6、数3と数4、数3と数5)である。
ここで、Trsは(見かけの)測定温度、Taは周囲温度、乗数n1、n2、n3はそれぞれ赤外線の波長帯および赤外線カメラの検出素子の種類により決まる値、である。
The calculation method of the black body temperature (true surface temperature) Ts of an object in infrared thermography using a general three-color radiation thermometer is a multiplier n1, from the following
There are a total of 6 patterns for selecting the above formulas (
Here, Trs is the (apparent) measurement temperature, Ta is the ambient temperature, and multipliers n1, n2, and n3 are values determined by the infrared wavelength band and the type of detection element of the infrared camera, respectively.
本実施例の場合、表面温度分布算出部121cは数1乃至数6における測定温度Trs1乃至Trs3に、各画素(測定点)についてそれぞれ短波長帯の測定温度Trs(1,1)、中波長帯の測定温度の検出時間t(1,1)における補正値Trs(2,0)、および長波長帯の測定温度の検出時間t(1,1)における補正値Trs(3,0)を代入して計算を行うことにより、鍛造用金型102のキャビティ面102aの表面温度Tsの分布を算出する。
In the case of the present embodiment, the surface temperature
そして、鍛造用金型102のキャビティ面102aの表面温度の収束解を求める際に、(a)計算の繰り返し回数とともに表面温度Tsと周囲温度Taがともに収束する場合、(b)所定の計算の繰り返し回数(例えば10回)の時点で表面温度Tsは収束するが周囲温度Taが発散する場合、には算出された表面温度Tsが正常であると判定し、(c)所定の計算の繰り返し回数(例えば10回)の時点で周囲温度Taは収束するが表面温度Tsが発散する場合には算出された表面温度Tsが異常であると判定する。
本実施例の場合、上記6通りのパターンの全てについて計算を行い、異常であると判定された場合を除いた残りの表面温度Tsの計算結果に基づいてTsを決定する(例えば、正常であると判定されたTsの平均値または中央値を最終的なTsの計算値とする)。
When obtaining the convergence solution of the surface temperature of the
In the case of the present embodiment, calculation is performed for all of the above six patterns, and Ts is determined based on the calculation result of the remaining surface temperature Ts except when it is determined to be abnormal (for example, normal) The average value or median value of Ts determined to be the final calculated value of Ts).
以上の如く、表面温度測定装置101は、
鍛造用金型102のキャビティ面102aから放射される赤外線のうち、波長帯が異なる三種類の赤外線(短波長、中波長および長波長の赤外線)の強度の分布をそれぞれ異なる検出時間に検出するとともに各波長帯について二回以上検出する赤外線分布検出装置110と、
赤外線分布検出装置110により検出された前記波長帯が異なる三種類の赤外線の強度または当該強度から算出される測定温度とそれぞれの検出時間との関係(直線式)を求め、前記赤外線の強度または測定温度を短波長の赤外線の検出時間における補正値に補正する補正部121bと、
前記補正値に基づいて鍛造用金型102のキャビティ面102aの温度の分布を算出する表面温度分布算出部121cと、
を具備するものである。
このように構成することにより、複数の異なる波長帯の赤外線の強度分布をそれぞれ異なる検出時間に検出する場合でも、鍛造用金型102のキャビティ面102aの温度を精度良く測定することが可能である。
As described above, the surface
Among the infrared rays radiated from the
The intensity (measurement) calculated from the intensity of three types of infrared rays with different wavelength bands detected by the infrared
A surface temperature
It comprises.
With this configuration, it is possible to accurately measure the temperature of the
また、表面温度測定装置101の赤外線分布検出装置110は、
赤外線の強度分布を検出する赤外線カメラ111と、
それぞれ異なる波長帯の赤外線が透過可能な三種類のフィルター(短波長フィルター112a、中波長フィルター112b、長波長フィルター112c)と、
三種類以上のフィルターのいずれが赤外線カメラ111の視野を覆うかを切り替える切り替え装置113と、
を具備するものである。
このように構成することにより、既存の赤外線カメラを用いて本発明に係る表面温度測定装置を容易に達成することが可能である。
The infrared temperature
An
Three types of filters (
A
It comprises.
With this configuration, it is possible to easily achieve the surface temperature measuring device according to the present invention using an existing infrared camera.
以下では、図4を用いて本発明に係る表面温度測定方法の実施の一形態について説明する。
本発明に係る表面温度測定方法の実施の一形態は表面温度測定装置101を用いて鍛造用金型102の表面、特にキャビティ面102aの温度の分布を測定する方法であり、図4に示す如く、主として赤外線分布検出工程S1100、補正工程S1200、表面温度分布算出工程S1300を具備する。
Below, one Embodiment of the surface temperature measuring method which concerns on this invention is described using FIG.
One embodiment of the surface temperature measuring method according to the present invention is a method of measuring the temperature distribution of the surface of the forging
赤外線分布検出工程S1100は鍛造用金型102のキャビティ面102aから放射される赤外線のうち、波長帯が異なる三種類の赤外線の強度の分布をそれぞれ異なる検出時間に検出するとともに各波長帯について二回以上検出する工程である。
The infrared distribution detection step S1100 detects the intensity distributions of three types of infrared rays having different wavelength bands among the infrared rays emitted from the
赤外線分布検出工程S1100において、検出動作制御部121aは、切り替え装置113のモータ113bを駆動し、赤外線カメラ111の視野を覆うフィルターを短波長フィルター112a→中波長フィルター112b→長波長フィルター112c→短波長フィルター112a→中波長フィルター112b→長波長フィルター112cの順に切り替え、時間t(1,1)において1回目の短波長帯の赤外線強度Q(1,1)の分布、時間t(2,1)において1回目の中波長帯の赤外線強度Q(2,1)の分布、時間t(3,1)において1回目の長波長帯の赤外線強度Q(3,1)の分布、時間t(1,2)において2回目の短波長帯の赤外線強度Q(1,2)の分布、時間t(2,2)において2回目の中波長帯の赤外線強度Q(2,2)の分布、時間t(3,2)において2回目の長波長帯の赤外線強度Q(3,2)の分布をそれぞれ取得する。
赤外線分布検出工程S1100が終了したら、補正工程S1200に移行する。
In the infrared distribution detection step S1100, the detection
When the infrared distribution detection step S1100 is completed, the process proceeds to the correction step S1200.
補正工程S1200は波長帯が異なる三種類の赤外線の強度とそれぞれの検出時間との関係を求め、当該赤外線の強度または測定温度を波長帯が異なる三種類以上の赤外線のいずれかの検出時間における補正値に補正する工程である。 The correction step S1200 obtains the relationship between the intensity of three types of infrared rays having different wavelength bands and the respective detection times, and corrects the intensity or measurement temperature of the infrared rays at the detection time of any of three or more types of infrared rays having different wavelength bands. This is a step of correcting the value.
補正工程S1200において、補正部121bは、取得された赤外線の強度の分布のうち、鍛造用金型102のキャビティ面102aの所定の測定点102bにおける赤外線の強度(Q(1,1)、Q(2,1)、Q(3,1)、Q(1,2)、Q(2,2)、Q(3,2))に基づいて、当該測定点における赤外線カメラ111による測定温度Trs(i,m)を算出し、中波長帯および長波長帯について測定温度Trs(i,m)と検出時間t(i,m)との関係(直線式)を求め、当該関係に基づいて鍛造用金型102のキャビティ面102aの各測定点(赤外線カメラ111の視野内の測定領域全体)について、中波長帯の測定温度の検出時間t(1,1)における補正値Trs(2,0)、および長波長帯の測定温度の検出時間t(1,1)における補正値Trs(3,0)を算出する。
補正工程S1200が終了したら、表面温度分布算出工程S1300に移行する。
In the correction step S1200, the
When the correction step S1200 is completed, the process proceeds to the surface temperature distribution calculation step S1300.
表面温度分布算出工程S1300は検出時間t(1,1)における短波長帯の測定温度Trs(1,1)、中波長帯の測定温度の検出時間t(1,1)における補正値Trs(2,0)、および長波長帯の測定温度の検出時間t(1,1)における補正値Trs(3,0)に基づいて、鍛造用金型102のキャビティ面102aの表面温度の分布を算出する工程である。
Surface temperature distribution calculating step S1300 is corrected value Trs in the measurement temperature Trs short wavelength band in the detection time t (1,1) (1,1), detection time measured temperature of the medium wavelength band t (1,1) (2 , 0) and the correction value Trs (3 , 0) in the detection time t (1, 1) of the measurement temperature in the long wavelength band, the surface temperature distribution of the
表面温度分布算出工程S1300において、表面温度分布算出部121cは数1乃至数6における測定温度Trs1乃至Trs3に、各画素(測定点)についてそれぞれ短波長帯の測定温度Trs(1,1)、中波長帯の測定温度の検出時間t(1,1)における補正値Trs(2,0)、および長波長帯の測定温度の検出時間t(1,1)における補正値Trs(3,0)を代入して計算を行うことにより、鍛造用金型102のキャビティ面102aの表面温度Tsの分布を算出する。
In the surface temperature distribution calculation step S1300, the surface temperature
以上の如く、本発明に係る表面温度測定方法の実施の一形態は、
鍛造用金型102のキャビティ面102aから放射される赤外線のうち、波長帯が異なる三種類の赤外線(短波長、中波長および長波長の赤外線)の強度の分布をそれぞれ異なる検出時間に検出するとともに各波長帯について二回以上検出する赤外線分布検出工程S1100と、
赤外線分布検出工程S1100において検出された波長帯が異なる三種類の赤外線の強度または当該強度から算出される測定温度とそれぞれの検出時間との関係(直線式)を求め、前記赤外線の強度または測定温度を短波長の赤外線の検出時間における補正値に補正する補正工程S1200と、
前記補正値に基づいて鍛造用金型102のキャビティ面102aの温度の分布を算出する表面温度分布算出工程S1300と、
を具備するものである。
このように構成することにより、複数の異なる波長帯の赤外線の強度分布をそれぞれ異なる検出時間に検出する場合でも、鍛造用金型102のキャビティ面102aの温度を精度良く測定することが可能である。
As described above, one embodiment of the surface temperature measurement method according to the present invention is as follows.
Among the infrared rays radiated from the
Infrared distribution detection step S1100 detects the intensities of three types of infrared rays having different wavelength bands or the relationship between the measurement temperatures calculated from the intensities and the respective detection times (linear equations), and the infrared intensity or measurement temperature. Correction step S1200 for correcting the correction value to the correction value in the detection time of the short wavelength infrared ray,
A surface temperature distribution calculating step S1300 for calculating a temperature distribution of the
It comprises.
With this configuration, it is possible to accurately measure the temperature of the
また、本発明に係る表面温度測定方法の実施の一形態は、
赤外線分布検出工程S1100において、
赤外線の強度分布を検出する赤外線カメラ111と、
それぞれ異なる波長帯の赤外線が透過可能な三種類のフィルター(短波長フィルター112a、中波長フィルター112b、長波長フィルター112c)と、
三種類以上のフィルターのいずれが赤外線カメラ111の視野を覆うかを切り替える切り替え装置113と、
を具備する赤外線分布検出装置110を用いて波長帯が異なる三種類の赤外線の強度の分布を検出するものである。
このように構成することにより、既存の赤外線カメラを用いて本発明に係る表面温度測定方法を容易に達成することが可能である。
One embodiment of the surface temperature measurement method according to the present invention is as follows:
In infrared distribution detection step S1100,
An
Three types of filters (
A
Is used to detect the intensity distribution of three types of infrared rays having different wavelength bands.
With this configuration, it is possible to easily achieve the surface temperature measurement method according to the present invention using an existing infrared camera.
101 表面温度測定装置
102 鋳造用金型(対象物)
102a キャビティ面(対象物の表面)
110 赤外線分布検出装置(赤外線分布検出手段)
111 赤外線カメラ
112a 短波長フィルター
112b 中波長フィルター
112c 長波長フィルター
113 切り替え装置
121b 補正部(補正手段)
121c 表面温度分布算出部(表面温度分布算出手段)
101 Surface
102a Cavity surface (surface of the object)
110 Infrared distribution detector (Infrared distribution detector)
DESCRIPTION OF
121c Surface temperature distribution calculation unit (surface temperature distribution calculation means)
Claims (4)
前記赤外線分布検出手段により検出された前記波長帯が異なる三種類以上の赤外線の強度または当該強度から算出される測定温度とそれぞれの検出時間との関係を求め、前記赤外線の強度または測定温度を前記波長帯が異なる三種類以上の赤外線のいずれかの検出時間における補正値に補正する補正手段と、
前記補正値に基づいて前記対象物の表面の温度の分布を算出する表面温度分布算出手段と、
を具備する表面温度測定装置。 Among infrared rays radiated from the surface of the object, infrared distribution detection means for detecting the intensity distribution of three or more types of infrared rays having different wavelength bands at different detection times and detecting at least twice for each wavelength band;
Obtain the intensity of three or more types of infrared rays having different wavelength bands detected by the infrared distribution detection means or the relationship between the measurement temperature calculated from the intensity and the detection time thereof, and determine the intensity or measurement temperature of the infrared rays. Correction means for correcting to a correction value in the detection time of any of three or more types of infrared rays having different wavelength bands;
Surface temperature distribution calculating means for calculating the temperature distribution of the surface of the object based on the correction value;
A surface temperature measuring device comprising:
赤外線の強度分布を検出する赤外線カメラと、
それぞれ異なる波長帯の赤外線が透過可能な三種類以上のフィルターと、
前記三種類以上のフィルターのいずれが前記赤外線カメラの視野を覆うかを切り替える切り替え装置と、
を具備する請求項1に記載の表面温度測定装置。 The infrared distribution detection means includes
An infrared camera for detecting infrared intensity distribution;
Three or more types of filters that can transmit infrared rays in different wavelength bands,
A switching device for switching which of the three or more types of filters covers the field of view of the infrared camera;
The surface temperature measuring device according to claim 1 comprising:
前記赤外線分布検出工程において検出された前記波長帯が異なる三種類以上の赤外線の強度または当該強度から算出される測定温度とそれぞれの検出時間との関係を求め、前記赤外線の強度または測定温度を前記波長帯が異なる三種類以上の赤外線のいずれかの検出時間における補正値に補正する補正工程と、
前記補正値に基づいて前記対象物の表面の温度の分布を算出する表面温度分布算出工程と、
を具備する表面温度測定方法。 Among infrared rays radiated from the surface of the object, an infrared distribution detection step of detecting the intensity distribution of three or more types of infrared rays having different wavelength bands at different detection times and detecting at least twice for each wavelength band;
Obtain the intensity of three or more types of infrared rays with different wavelength bands detected in the infrared distribution detection step or the relationship between the measurement temperature calculated from the intensity and the respective detection times, and determine the intensity or measurement temperature of the infrared rays A correction process for correcting to a correction value in any detection time of three or more types of infrared rays having different wavelength bands,
A surface temperature distribution calculating step of calculating a temperature distribution of the surface of the object based on the correction value;
A surface temperature measuring method comprising:
赤外線の強度分布を検出する赤外線カメラと、
それぞれ異なる波長帯の赤外線が透過可能な三種類以上のフィルターと、
前記三種類以上のフィルターのいずれが前記赤外線カメラの視野を覆うかを切り替える切り替え装置と、
を具備する赤外線分布検出手段を用いて前記波長帯が異なる三種類以上の赤外線の強度の分布を検出する請求項3に記載の表面温度測定方法。 In the infrared distribution detection step,
An infrared camera for detecting infrared intensity distribution;
Three or more types of filters that can transmit infrared rays in different wavelength bands,
A switching device for switching which of the three or more types of filters covers the field of view of the infrared camera;
The surface temperature measurement method according to claim 3, wherein the distribution of the intensity of three or more types of infrared rays having different wavelength bands is detected using an infrared distribution detection means comprising:
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007028502A JP2008191107A (en) | 2007-02-07 | 2007-02-07 | Surface temperature measuring instrument and method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007028502A JP2008191107A (en) | 2007-02-07 | 2007-02-07 | Surface temperature measuring instrument and method |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008191107A true JP2008191107A (en) | 2008-08-21 |
Family
ID=39751331
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007028502A Pending JP2008191107A (en) | 2007-02-07 | 2007-02-07 | Surface temperature measuring instrument and method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008191107A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014206418A (en) * | 2013-04-11 | 2014-10-30 | Jfeスチール株式会社 | Temperature measurement device and temperature measurement method |
JP2018179814A (en) * | 2017-04-14 | 2018-11-15 | 株式会社Uacj | Information processing device, temperature measurement system, control method for information processing device, and control program |
US11679462B2 (en) | 2019-12-24 | 2023-06-20 | Fanuc Corporation | Workpiece transfer system |
-
2007
- 2007-02-07 JP JP2007028502A patent/JP2008191107A/en active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014206418A (en) * | 2013-04-11 | 2014-10-30 | Jfeスチール株式会社 | Temperature measurement device and temperature measurement method |
JP2018179814A (en) * | 2017-04-14 | 2018-11-15 | 株式会社Uacj | Information processing device, temperature measurement system, control method for information processing device, and control program |
US11679462B2 (en) | 2019-12-24 | 2023-06-20 | Fanuc Corporation | Workpiece transfer system |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Su et al. | Synchronous full-field measurement of temperature and deformation of C/SiC composite subjected to flame heating at high temperature | |
JP2020034430A (en) | Temperature measurement method, and temperature measurement device | |
CN111492198B (en) | Object shape measuring apparatus and method, and program | |
JP5737210B2 (en) | Temperature measuring method and temperature measuring system using radiation thermometer | |
de Oliveira Moreira et al. | Temperature monitoring of milling processes using a directional-spectral thermal radiation heat transfer formulation and thermography | |
Tang et al. | Synchronous full-field measurement of temperature and deformation based on separated radiation and reflected light | |
JP2008292324A (en) | Surface temperature measuring method and surface temperature measuring device | |
JP2008191107A (en) | Surface temperature measuring instrument and method | |
JP2007192579A (en) | Temperature measuring device and method | |
Yue et al. | Color crosstalk correction for synchronous measurement of full-field temperature and deformation | |
JP2008215957A (en) | Film thickness measuring apparatus, surface temperature measuring apparatus, film thickness measuring method and surface temperature measuring method | |
JP2009047611A (en) | Method and apparatus of measuring surface temperature | |
JP2006098295A (en) | Emissivity measurement apparatus | |
WO2015037352A1 (en) | Multi-wavelength radiation thermometer and multi-wavelength radiation temperature measurement method | |
JP2008268106A (en) | Method of measuring temperature information | |
JP6570059B2 (en) | Non-contact temperature measurement method and measurement system | |
KR20150056269A (en) | Apparatus, method for processing substrate and apparatus, method for laser heat treatment using the same | |
Zhang et al. | An iterative algorithm to improve infrared thermographic systems’ accuracy in temperature field measurement of aluminum alloys | |
JP2007256099A (en) | Surface temperature measuring instrument and measuring method | |
CN106679818B (en) | Device and method for measuring temperature distribution of smooth surface | |
JP2010190729A (en) | Spectral sensitivity characteristic measuring device and spectral sensitivity characteristic measuring method | |
CN201464047U (en) | Three-CCD integration-based temperature field measurement device | |
JP4257436B2 (en) | Infrared dual wavelength processing method | |
CN111272296B (en) | Correction method and system for reducing influence of dust in light path on infrared temperature measurement | |
CN105333962B (en) | A kind of thermometry and system for correcting two waveband temperature measurement error |