JP2008187101A - Semiconductor device and mounting structure of semiconductor device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、半導体装置、及び、これを回路基板に実装する実装構造に関する。 The present invention relates to a semiconductor device and a mounting structure for mounting the semiconductor device on a circuit board.
従来の半導体装置には、例えば特許文献1のように、略板状のステージ部の表面に半導体チップを搭載して樹脂モールド部で封止した構成のものがある。この構成の半導体装置においては、半導体チップから発生する熱を効率よく放熱することを目的として、ステージ部の裏面を樹脂モールド部の外方に露出させると共に半田で回路基板に接合させている。
ところで、このような構成の半導体装置には、保証温度が相互に異なる2つの半導体チップが設けられることもあり、従来では、これら2つの半導体チップを同一のステージ部の表面に搭載している。
By the way, the semiconductor device having such a configuration may be provided with two semiconductor chips having different guaranteed temperatures, and conventionally, these two semiconductor chips are mounted on the surface of the same stage portion.
しかしながら、これら2つの半導体チップの保証温度が相互に異なると、保証温度の高い一の半導体チップにおいて発生した熱がステージ部を介して保証温度の低い他の半導体チップに伝わることで、他の半導体チップの温度がその保証温度を超えてしまい、半導体装置に動作不良が生じることがある。 However, if the guaranteed temperatures of these two semiconductor chips are different from each other, the heat generated in one semiconductor chip having a high guaranteed temperature is transferred to another semiconductor chip having a low guaranteed temperature through the stage portion, so that other semiconductors The temperature of the chip may exceed the guaranteed temperature, and the semiconductor device may malfunction.
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、保証温度が相互に異なる2つの半導体チップ間の熱伝導を抑制して信頼性の向上を図ることができる半導体装置及びこれを回路基板に実装する実装構造を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and a semiconductor device capable of suppressing heat conduction between two semiconductor chips having different guaranteed temperatures and improving reliability, and a circuit therefor An object is to provide a mounting structure to be mounted on a substrate.
上記の目的を達するために、この発明は以下の手段を提供している。
本発明の半導体装置は、表面に半導体チップを1つずつ搭載した略板状のステージ部を複数備えると共に、これら複数の半導体チップ及びステージ部を樹脂モールド部によって封止してなり、一の半導体チップが、他の半導体チップの保証温度よりも高い発熱温度を生じる発熱回路を有し、少なくとも前記一の半導体チップを搭載した一のステージ部の裏面が、前記樹脂モールド部の外方に露出し、前記複数のステージ部が、その面方向に並べられると共に相互に離間して配置されていることを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention provides the following means.
The semiconductor device of the present invention includes a plurality of substantially plate-like stage portions each having a semiconductor chip mounted on the surface, and the plurality of semiconductor chips and the stage portions are sealed with a resin mold portion. The chip has a heat generation circuit that generates a heat generation temperature higher than the guaranteed temperature of the other semiconductor chip, and the back surface of at least one stage portion on which the one semiconductor chip is mounted is exposed to the outside of the resin mold portion. The plurality of stage portions are arranged in the surface direction and spaced apart from each other.
この発明に係る半導体装置によれば、保証温度が相互に異なる半導体チップを搭載するステージ部が相互に離間して配置されているため、一の半導体チップの発熱回路において発生した熱が他の半導体チップに伝わることを抑制することができる。すなわち、他の半導体チップの温度がその保証温度を超えることを抑制できる。
また、この半導体装置を回路基板に実装する際には、外方に露出する一のステージ部の裏面をはんだ付け等で回路基板に設けられた放熱用のパッドに接合しておくことで、一の半導体チップにおいて発生した熱を効率よく回路基板に逃がすことができる。
According to the semiconductor device of the present invention, since the stage portions on which the semiconductor chips having different guaranteed temperatures are mounted are arranged apart from each other, the heat generated in the heating circuit of one semiconductor chip is transferred to the other semiconductor. Transmission to the chip can be suppressed. That is, it can suppress that the temperature of another semiconductor chip exceeds the guaranteed temperature.
Also, when mounting this semiconductor device on a circuit board, the back surface of the one stage part exposed to the outside is bonded to a heat radiation pad provided on the circuit board by soldering or the like. The heat generated in the semiconductor chip can be efficiently released to the circuit board.
また、前記半導体装置においては、前記発熱回路を前記一の半導体チップのうち前記他の半導体チップから離れた領域に形成するとしてもよい。
この構成の場合には、発熱回路から他の半導体チップまでの距離をより長く設定することができるため、一の半導体チップから他の半導体チップへの熱伝導をさらに抑制することができる。
Further, in the semiconductor device, the heat generating circuit may be formed in a region away from the other semiconductor chip in the one semiconductor chip.
In the case of this configuration, since the distance from the heat generating circuit to the other semiconductor chip can be set longer, heat conduction from one semiconductor chip to another semiconductor chip can be further suppressed.
さらに、前記半導体装置においては、少なくとも相互に隣り合う前記一のステージ部及び前記他のステージ部が、これらの配列方向に直交する各ステージ部の幅寸法よりも幅狭の連結部によって一体に連結されるとしてもよい。
この発明に係る半導体装置の製造において樹脂モールド部を形成する際には、各半導体チップを個別のステージ部に配した状態で金型のキャビティ内に配置すると共に、樹脂モールド部をなす溶融樹脂を金型のキャビティ内に流し込む。
Further, in the semiconductor device, at least the one stage part and the other stage part adjacent to each other are integrally connected by a connecting part narrower than the width dimension of each stage part perpendicular to the arrangement direction. It may be done.
When forming the resin mold part in the manufacture of the semiconductor device according to the present invention, each semiconductor chip is arranged in an individual stage part and placed in the mold cavity, and the molten resin forming the resin mold part is used. Pour into the mold cavity.
ここで、ステージ部を樹脂モールド部の外方に露出させるためには、ステージ部をキャビティの内面に配置しておく必要があるが、前記連結部を設けておくことで、前記溶融樹脂の流動によってステージ部がキャビティの内面から浮き上がることも容易に防止でき、ステージ部の裏面を確実に樹脂モールド部の外方に露出させることが可能となる。
なお、この連結部はステージ部の幅寸法よりも幅狭に形成されているため、連結部を介して一の半導体チップから他の半導体チップに伝わる熱を小さくすることができる。
Here, in order to expose the stage part to the outside of the resin mold part, it is necessary to arrange the stage part on the inner surface of the cavity, but by providing the connecting part, the flow of the molten resin Therefore, it is possible to easily prevent the stage portion from being lifted from the inner surface of the cavity, and the back surface of the stage portion can be reliably exposed to the outside of the resin mold portion.
In addition, since this connection part is formed narrower than the width dimension of a stage part, the heat | fever transmitted from one semiconductor chip to another semiconductor chip via a connection part can be made small.
また、前記半導体装置においては、前記連結部が、前記ステージ部の裏面からその厚さ方向に窪む位置に形成されるとしてもよい。
この構成の場合には、連結部によって相互に連結されたステージ部の裏面が樹脂モールド部の外方に露出していても、連結部を樹脂モールド部の内部に埋設させることができる。したがって、半導体装置の回路基板への実装において、はんだを介してステージ部を回路基板の放熱用パッドに接合する際に、一のステージ部及び他のステージ部にわたってはんだが濡れ広がることを確実に防止することができるため、一の半導体チップから発生した熱がはんだを介して他の半導体チップに伝わることを確実に防止することができる。
In the semiconductor device, the connecting portion may be formed at a position recessed from the back surface of the stage portion in the thickness direction.
In the case of this configuration, even if the back surfaces of the stage portions connected to each other by the connecting portion are exposed to the outside of the resin mold portion, the connecting portion can be embedded in the resin mold portion. Therefore, when the semiconductor device is mounted on the circuit board, the solder is surely prevented from spreading over one stage portion and the other stage portion when the stage portion is joined to the heat dissipation pad of the circuit board via the solder. Therefore, it is possible to reliably prevent heat generated from one semiconductor chip from being transmitted to another semiconductor chip via solder.
また、前記半導体装置においては、前記連結部が相互に隣り合うステージ部の幅方向の端部を連結するとしてもよい。
この場合には、一の半導体チップから連結部を介して他の半導体チップに到達する熱伝導の経路をより長く設定することができるため、一の半導体チップから他の半導体チップへの熱伝導をさらに抑制することが可能となる。
In the semiconductor device, the connecting portion may connect end portions in the width direction of adjacent stage portions.
In this case, it is possible to set a longer heat conduction path from one semiconductor chip to the other semiconductor chip via the connecting portion, so that the heat conduction from one semiconductor chip to the other semiconductor chip is reduced. Further suppression is possible.
また、本発明の半導体装置の実装構造は、前記半導体装置を回路基板に実装する実装構造であって、前記回路基板の表面に、前記樹脂モールド部から外方に露出する前記一のステージ部の裏面に接合するための放熱用パッドが形成され、該放熱用パッドが、前記一のステージ部の露出面積よりも大きい面積を有すると共に、前記一のステージ部の裏面に対向する領域を除いてレジスト膜によって覆われていることを特徴とする。 Further, the mounting structure of the semiconductor device of the present invention is a mounting structure for mounting the semiconductor device on a circuit board, wherein the one stage part exposed outward from the resin mold part on the surface of the circuit board. A heat dissipating pad for bonding to the back surface is formed, and the heat dissipating pad has an area larger than the exposed area of the one stage portion and resists except for a region facing the back surface of the one stage portion. It is characterized by being covered with a film.
このように構成することで、一の半導体チップにおいて発生した熱を一のステージ部の露出面積よりも大きい面積の放熱用パッドに拡散させることができるため、一の半導体チップの放熱を効率よく行うことができる。
また、放熱用パッドをレジスト膜で覆うことにより、他のステージ部の裏面が露出して放熱用パッドに対向する位置に配されたとしても、他のステージ部が放熱用パッドにはんだ付けされることを容易に防止できる。そして、このように構成することで、一の半導体チップにおいて発生した熱が放熱用パッドを介して他の半導体チップに伝わることを確実に防止することができる。
With this configuration, heat generated in one semiconductor chip can be diffused to a heat dissipation pad having an area larger than the exposed area of one stage portion, so that heat radiation from one semiconductor chip is efficiently performed. be able to.
Further, by covering the heat dissipation pad with a resist film, the other stage portion is soldered to the heat dissipation pad even if the back surface of the other stage portion is exposed and disposed at a position facing the heat dissipation pad. Can be easily prevented. And it can prevent reliably that the heat | fever generate | occur | produced in one semiconductor chip is transmitted to another semiconductor chip via a heat dissipation pad by comprising in this way.
本発明によれば、各半導体チップが相互に分離して設けられたステージ部にそれぞれ搭載されているため、保証温度の高い半導体チップから保証温度の低い半導体チップへの熱伝導を抑制して半導体装置の信頼性向上を図ることができる。 According to the present invention, since each semiconductor chip is mounted on a stage portion provided separately from each other, it is possible to suppress heat conduction from a semiconductor chip having a high guaranteed temperature to a semiconductor chip having a low guaranteed temperature. The reliability of the apparatus can be improved.
以下、図1から図4を参照し、本発明の第1実施形態に係る半導体装置について説明する。図1,2に示すように、この実施形態に係る半導体装置1は、例えば、スピーカを駆動するための電源やパルス電源(PW電源)等のように回路に電力を供給するものとして使用されるものであり、アナログチップとしての第1の半導体チップ(一の半導体チップ)3及びデジタルチップとしての第2の半導体チップ(他の半導体チップ)5を備えて構成されている。すなわち、この半導体装置1は、アナログ回路及びデジタル回路のいずれにも対応できるように構成されている。
The semiconductor device according to the first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. As shown in FIGS. 1 and 2, the
また、この半導体装置1は、表面7a,9aに前述の半導体チップ3,5を1つずつ搭載する2つのステージ部7,9と、これら2つのステージ部7,9の周囲に配されて各半導体チップ3,5に電気接続される複数のリード11,11,・・・と、これら半導体チップ3,5、ステージ部7,9及びリード11を封止する樹脂モールド部13とを備えている。なお、この実施形態における半導体装置は、リード11の一部が樹脂モールド部13の側部13bから突出するQFP(Quad Flat Package)として構成されている。
各リード11は、ステージ部7,9に向けて延びる細幅帯状に形成されており、各リード11のうち樹脂モールド部13に埋設された一端部11aは、ワイヤー15によって各半導体チップ3,5に電気接続されている。また、各リード11のうち樹脂モールド部13の外方に突出する他端部11bは、樹脂モールド部13の下面13aに向けて折り曲げられており、半導体装置1を実装する回路基板31に電気接続されるようになっている。
In addition, the
Each
2つのステージ部7,9は、それぞれ平面視略矩形の板状に形成されており、その面方向に並べられると共に相互に離間して配置されている。また、各ステージ部7,9は、その各辺が樹脂モールド部13の側部13bに沿うように配されている。
そして、各ステージ部7,9の裏面7b,9bは、樹脂モールド部13の下面13aと略同一平面をなしている、すなわち、樹脂モールド部13の外方に露出している。また、各ステージ部7,9の周縁には、その裏面7b,9bから厚さ方向に窪む環状の溝部7c,9cが形成されている。そして、この溝部7c,9cには樹脂モールド部13が入り込んでいるため、ステージ部7,9が樹脂モールド部13から剥離してしまうことを防止できる。
The two
The
そして、第1のステージ部(一のステージ部)7には、第2のステージ部(他のステージ部)9に搭載される第2の半導体チップ5よりも高い保証温度を有する第1の半導体チップ3が搭載されている。すなわち、この第1の半導体チップ3には、第2の半導体チップ5の保証温度よりも高い発熱温度を生じるPWM(Pulse Width Modulation)回路等の発熱回路が形成されている。
この発熱回路は、図3に示すように、第1の半導体チップ3のうち第2の半導体チップ5から離れた平面視領域S1(以下、形成領域S1と呼ぶ。)に形成されている、すなわち、2つの半導体チップ3,5の配列方向に関して第2の半導体チップ5から遠い側に寄せて配置されている。また、この実施形態における発熱回路は、2つの半導体チップ3,5の配列方向に沿う第1の半導体チップ3の長さ寸法の略半分の領域に形成されると共に、配列方向に直交する第1の半導体チップ3の幅方向の全体にわたって形成されている。
そして、これら2つの半導体チップ3,5は、図1,2に示すように、ワイヤー17によって相互に電気接続されている。
The first stage portion (one stage portion) 7 includes a first semiconductor having a guaranteed temperature higher than that of the
As shown in FIG. 3, the heat generating circuit is formed in a planar view region S <b> 1 (hereinafter referred to as a formation region S <b> 1) away from the
The two
以上のように構成された半導体装置1を製造する際には、はじめに、薄板状の銅材等からなる金属製薄板にプレス加工やエッチング加工を施して形成されるリードフレーム(不図示)を用意する。このリードフレームには、前述したステージ部7,9及びリード11の他に、リード11の他端部11b側に形成されて全てのリード11を一体に連結する環状のフレーム枠(不図示)と、フレーム枠にステージ部7,9を連結する吊りリード19,21とが形成されている。すなわち、このリードフレームは、ステージ部7,9及びリード11を一体に形成した構成をなしている。そして、吊りリード19,21は、2つのステージ部7,9の配列方向の外側に位置する各ステージ部7,9の一端部7d,9dに連結されている。
なお、リード11の折り曲げ加工はリードフレームの形成と同時に行われるとしても良いし、別途行われるとしても良い。
When manufacturing the
Note that the bending of the
このリードフレームの形成後には、2つの半導体チップ3,5をそれぞれ個別のステージ部7,9に搭載し、ワイヤー15により半導体チップ3,5をリード11の一端部11aに電気接続すると共にワイヤー17により半導体チップ3,5同士を相互に電気接続する。
そして、これら半導体チップ3,5、ステージ部7,9、リード11及びワイヤー15,17を封止する樹脂モールド部13を形成する。この際には、樹脂モールド部13の外形をなす不図示の金型のキャビティ内に、半導体チップ3,5、ステージ部7,9、リード11及びワイヤー15,17を配置する。ここで、樹脂モールド部13から外方に露出させるステージ部7,9の裏面7b,9bはキャビティの内面に配され、リード11の他端部11b及びフレーム枠はキャビティの外側に配される。そして、この状態においてキャビティ内に溶融樹脂を流し込むことによって樹脂モールド部13が形成されることになる。
最後に、樹脂モールド部13を形成したリードフレームを金型から取り出し、樹脂モールド部13の外側に位置するフレーム枠及び吊りリード19,21を切り落とすことで半導体装置1の製造が完了する。
After the formation of the lead frame, the two
And the
Finally, the lead frame on which the
また、この半導体装置1を回路基板31に実装する場合には、例えば図2に示すように、複数の電極パッド33及び放熱用パッド34,35を形成した回路基板31の表面31aに樹脂モールド部13の下面13aを対向させた状態で、はんだ36を介してリード11の他端部11bを電極パッド33に接合すればよい。また、はんだ37を介して2つのステージ部7,9の裏面7b,9bをそれぞれ別個の放熱用パッド34,35に接合すればよい。
このように、2つのステージ部7,9を相互に離間して配された放熱用パッド34,35にそれぞれ接合することで、2つのステージ部7,9を接合するはんだ37,37が相互にくっついてしまうことを防止できる。
When the
In this way, by joining the two
次に、この半導体装置1について、2つの半導体チップ3,5の動作時における各半導体チップ3,5の温度をシミュレーションした結果について述べる。
このシミュレーションでは、2つの半導体チップ3,5間の距離を1.2mmとし、また、第1の半導体チップ3の保証温度を150℃、第2の半導体チップ5の保証温度を125℃としている。また、ステージ部7,9の熱伝導率を342W/mKとし、樹脂モールド部13の熱伝導率を0.95W/mKとしている。
Next, the result of simulating the temperatures of the
In this simulation, the distance between the two
そして、図3に示すように、各半導体チップ3,5における温度は、各半導体チップ3,5の表面に均等に配置された6つの測定点P1〜P6,P7〜P12において測定することとし、これら6つの測定点P1〜P6,P7〜P12は、2つの半導体チップ3,5の配列方向に2つ並べて配置されると共に、配列方向に直交する各半導体チップ3,5の幅方向に3つ並べて配置されている。
なお、このシミュレーションでは、上記構成の半導体装置1の比較例として、1つのステージ部に2つの半導体チップ3,5を搭載した構成についても同様の温度測定を実施し、その結果を表1及び表2に示す。
And as shown in FIG. 3, the temperature in each
In this simulation, as a comparative example of the
表1に示すように、第1の半導体チップ3のうち発熱回路の形成領域S1に配置された3つの測定点P1〜P3においては、実施例及び比較例の温度がほぼ等しい値(約150℃)を示している。また、第1の半導体チップ3のうち発熱回路の形成領域S1よりも第2の半導体チップ5に近い側に配置された3つの測定点P4〜P6においても、実施例及び比較例の温度はほぼ等しく、発熱回路の形成領域S1における温度よりも若干小さい値(約147℃)を示している。
As shown in Table 1, at the three measurement points P1 to P3 arranged in the heat generating circuit formation region S1 in the
一方、表2に示すように、比較例では第2の半導体チップ5における温度が約135℃となっており、第2の半導体チップ5の保証温度を10℃以上も上回っている。これは、第1の半導体チップ3の発熱回路において生じた熱が熱伝導率の高いステージ部を介して第2の半導体チップ5に伝わっているためである。
これに対し、実施例では第2の半導体チップ5における温度が約115℃となっており、第2の半導体チップ5の保証温度よりも約10℃程度下回っている。これは、各半導体チップ3,5を搭載するステージ部7,9が分離され、2つの半導体チップ3,5の間には熱伝導率の低い樹脂モールド部13のみが介在しているためであり、第1の半導体チップ3から第2の半導体チップ5への伝熱が抑制されていることを示している。
On the other hand, as shown in Table 2, in the comparative example, the temperature of the
On the other hand, in the embodiment, the temperature of the
上述したように、この実施形態に係る半導体装置1によれば、保証温度が相互に異なる2つの半導体チップ3,5を搭載するステージ部7,9が相互に離間して配置されているため、第1の半導体チップ3の発熱回路において発生した熱が第2の半導体チップ5に伝わることを抑制することができる。すなわち、第2の半導体チップ5の温度がその保証温度を超えることを防止できる。したがって、保証温度の高い第1の半導体チップ3から保証温度の低い第2の半導体チップ5への熱伝導を抑制して半導体装置1の信頼性向上を図ることができる。
また、この半導体装置1を回路基板31に実装する際には、外方に露出する第1のステージ部7の裏面7bをはんだ37により回路基板31の放熱用パッド34に接合しておくことで、第1の半導体チップ3において発生した熱を効率よく回路基板31に逃がすことができる。
As described above, according to the
When the
さらに、第1の半導体チップ3の発熱回路を2つの半導体チップ3,5の配列方向に関して第2の半導体チップ5から遠い側に寄せて配置することにより、発熱回路から第2の半導体チップ5までの距離をより長く設定することができるため、第1の半導体チップ3から第2の半導体チップ5への熱伝導をさらに抑制することができる。
また、この実施形態に係る半導体装置1の実装構造によれば、2つのステージ部7,9を接合する放熱用パッド34,35を相互に離間して配することで、2つのステージ部7,9を接合するはんだ37,37が相互にくっついてしまうことも防止できるため、第1の半導体チップ3から発生した熱がはんだ37を介して第2の半導体チップ5に伝わることも確実に防止できる。
Further, by arranging the heat generating circuit of the
Further, according to the mounting structure of the
なお、上述した第1実施形態において、第2のステージ部9は放熱用パッド35に接合されるとしたが、第2の半導体チップ5の発熱が十分に小さい場合には特に接合しなくてもよい。この場合、回路基板31は、例えば第2のステージ部9を接合する放熱用パッド35を除いて構成されるとしても良い。また、半導体装置1は、上記実施形態の回路基板31に実装されることに限らず、例えば図4に示す構成の回路基板41に実装されるとしても構わない。
この回路基板41の表面41aには、第1のステージ部7の露出面積よりも大きい面積を有する放熱用パッド42が形成されている。すなわち、この放熱用パッド42は、第1のステージ部7の裏面7bに接合するためのものであり、例えば樹脂モールド部13の下面13a全体にわたって形成されている。
In the first embodiment described above, the
On the
また、この放熱用パッド42は、第1のステージ部7の裏面7bに対向する領域を除いてレジスト膜43によって覆われている。なお、レジスト膜43は、リード11の他端部11bに対向する領域を除く電極パッド44も覆っている。
さらに、この回路基板41の内部及び裏面41bには、回路基板41の面方向に延びる銅箔等の熱伝導率の高い熱伝導層45A〜45Cが複数形成されており、これら複数の熱伝導層45A〜45Cは、放熱用パッド42から回路基板41の裏面41bに向けて延びる複数のスルーホール46,46,・・・を介して放熱用パッド42に連結されている。
Further, the
Further, a plurality of heat
上記構成の回路基板41に半導体装置1を実装する際には、例えばスクリーン印刷により回路基板41の表面41aにはんだを塗布すればよい。この際、はんだ47は、電極パッド44や放熱用パッド42のうち外方に露出する部分のみに残存し、レジスト膜43を形成した部分には残存しない。
そして、この状態において半導体装置1を回路基板41の表面41aに載せてはんだリフローを実施することにより、リード11の他端部11bが電極パッド44に接合されると共に、第1のステージ部7が放熱用パッド42に接合されることになる。
When the
In this state, the
上記構成の回路基板41に実装する半導体装置1の実装構造によれば、第1の半導体チップ3において発生した熱を第1のステージ部7の露出面積よりも大きい面積の放熱用パッド42に拡散させることができる、また、放熱用パッド42からスルーホール46を介してさらに複数の熱伝導層45A〜45Cに伝えることができるため、第1の半導体チップ3の放熱を効率よく行うことができる。
また、放熱用パッド42をレジスト膜43で覆うことにより、回路基板41に対向して露出する第2のステージ部9の裏面9bが放熱用パッド42にはんだ付けされることを防止して、第1の半導体チップ3において発生した熱が放熱用パッド42を介して第2の半導体チップ5に伝わることを確実に防止することができる。
According to the mounting structure of the
Further, by covering the
次に、本発明による第2実施形態について図5,6を参照して説明する。なお、この第2実施形態の半導体装置のうち、第1実施形態の半導体装置1の構成要素と同一の部分については同一符号を付し、その説明を省略する。
Next, a second embodiment according to the present invention will be described with reference to FIGS. Note that, in the semiconductor device of the second embodiment, the same components as those of the
図5,6に示すように、この実施形態に係る半導体装置51を構成する2つのステージ部7,9は、これらの配列方向に直交する各ステージ部7,9の幅寸法よりも幅狭の連結部53によって一体に連結されている。なお、連結部53は、相互に対向する2つのステージ部7,9の他端部7e,9eのうち幅方向の両側部(端部)を連結するように一対形成されている。
また、各連結部53には、各ステージ部7,9の裏面7b,9bから厚さ方向に窪む凹部53aが形成され、その厚さ寸法が各ステージ部7,9の略半分となっている。このように構成することで、連結部53は樹脂モールド部13の内部に埋設され、2つのステージ部7,9の裏面7b,9bは相互に分離した状態で樹脂モールド部13の下面13aから外方に露出することになる。
As shown in FIGS. 5 and 6, the two
Further, each connecting
以上のように構成された半導体装置51を製造する際には、はじめに、第1実施形態の構成に連結部53を加えたリードフレームを用意する。なお、連結部53の凹部53aは、例えばリードフレームを形成すると同時に、プレス加工により連結部53の裏面側を押し潰して形成されるとしてもよいし、エッチング加工により連結部53の裏面部分を除去して形成されるとしても構わない。また、この凹部53aの形成は、例えばリードフレームの形成後に実施されるとしても構わない。
上記リードフレームを形成した後には、第1実施形態と同様に、半導体チップ3,5をステージ部7,9に搭載し、半導体チップ3,5とリード11との間及び2つの半導体チップ3,5間にワイヤー15,17を配する。また、これら半導体チップ3,5、ステージ部7,9、リード11、ワイヤー15,17及び連結部53を封止する樹脂モールド部13を形成する。
When manufacturing the
After the lead frame is formed, the
この際には、第1実施形態と同様にして、ステージ部7,9の裏面7b,9bをキャビティの内面に配した状態でキャビティ内に溶融樹脂を流し込むことで、ステージ部7,9の裏面7b,9bが樹脂モールド部13の下面13aから外方に露出することになる。ここで、各ステージ部7,9の一端部7d,9dが吊りリード19,21によって支持されると共に他端部7e,9eが連結部53によって支持されるため、前述の溶融樹脂の流動によってステージ部7,9がキャビティの内面から浮き上がることを容易に防止できる。なお、この実施形態においては、一対の連結部53,53が2つのステージ部7,9の他端部7e,9eの両側部を連結しているため、ステージ部7,9の幅方向にわたってその他端部7e,9eが浮き上がることを確実に防止することができる。
なお、この樹脂モールド部13の形成後には、第1実施形態と同様に、樹脂モールド部13の外側に位置するフレーム枠及び吊りリード19,21を切り落とすことで半導体装置51の製造が完了する。
At this time, in the same manner as in the first embodiment, the molten resin is poured into the cavity with the
After the formation of the
以上のように製造される半導体装置51を回路基板31に実装する場合には、第1実施形態と同様に、はんだ36を介してリード11の他端部11bを電極パッド33に接合すると共に、はんだ37を介して2つのステージ部7,9の裏面7b,9bをそれぞれ別個の放熱用パッド34,35に接合すればよい。
ここで、2つのステージ部7,9は、連結部53によって相互に連結されているものの、これらの裏面7b,9bは相互に分離した状態で樹脂モールド部13の下面13aから外方に露出しているため、はんだ37が2つのステージ部7,9にわたって濡れ広がることを確実に防止することができる。
When the
Here, although the two
この実施形態に係る半導体装置51によれば、第1実施形態と同様の効果を奏する。なお、この半導体装置51においては、第1の半導体チップ3において発生した熱が連結部53を介して第2の半導体チップ5に伝わることもあるが、この連結部53はステージ部7,9の幅寸法よりも十分に幅狭に形成されているため、連結部53を介して第1の半導体チップ3から第2の半導体チップ5に伝わる熱を小さくすることができる。
また、連結部53を設けることで、樹脂モールド部13の形成時にステージ部7,9がキャビティの内面から浮き上がることを防止できるため、ステージ部7,9の裏面7b,9bを確実に樹脂モールド部13の下面13aから外方に露出させることができる。
The
Further, by providing the connecting
さらに、連結部53を樹脂モールド部13の内部に埋設しておくことで、回路基板31に接合するはんだ37が2つのステージ部7,9にわたって濡れ広がることを確実に防止できるため、第1の半導体チップ3において発生した熱がはんだ37を介して第2の半導体チップ5に伝わることも確実に防止できる。
また、連結部53は、2つのステージ部7,9の他端部7e,9eのうちステージ部7,9の幅方向の端部を連結しているため、第1の半導体チップ3から連結部53を介して第2の半導体チップ5に到達する熱伝導の経路をより長く設定することができ、第1の半導体チップ3から第2の半導体チップ5への熱伝導をさらに抑制することが可能となる。
Furthermore, by burying the connecting
Further, since the connecting
なお、上述した第2実施形態において、連結部53は、その厚さ寸法がステージ部7,9の略半分となるように形成されるとしたが、これに限ることはなく、樹脂モールド部13の内部に埋設さればよいため、少なくともステージ部7,9の裏面7b,9bから窪む位置に形成されていればよい。したがって、連結部53は、例えばステージ部7,9の表面7a,9a側から突出するように屈曲して形成されるとしても構わない。
In the second embodiment described above, the connecting
また、連結部53は樹脂モールド部13の内部に埋設されるとしたが、樹脂モールド部13の形成時におけるステージ部7,9の浮き上がり防止のみを考慮する場合には、ステージ部7,9の裏面7b,9bと共に樹脂モールド部13の下面13aに露出するとしてもよい。
さらに、連結部53は一対形成されるとしたが、これに限ることはなく、例えば1つだけ形成されるとしてもよいし、3つ以上形成されるとしてもよい。
In addition, the connecting
Furthermore, although the pair of connecting
なお、上述した全ての実施形態においては、2つのステージ部7,9の裏面7b,9bが樹脂モールド部13の外方に露出するとしたが、これに限ることはなく、少なくとも保証温度の高い第1の半導体チップ3を搭載した第1のステージ部7の裏面7bのみが樹脂モールド部13の外方に露出していればよい。
また、2つのステージ部7,9及び半導体チップ3,5を備える構成の半導体装置1,51について述べたが、これに限ることはなく、3つ以上のステージ部及び半導体チップを備える半導体装置についても同様に適用することができる。
さらに、リード11が樹脂モールド部13の外方に突出するQFPとしての半導体装置1,51について説明したが、これに限ることはなく、例えば、リード11が樹脂モールド部13の側部13b及び下面13aの両方に露出するQFN(Quad Flat Non-leaded package)としての半導体装置にも適用することができる。
In all the embodiments described above, the back surfaces 7b and 9b of the two
Moreover, although the
Further, the
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。 As mentioned above, although embodiment of this invention was explained in full detail with reference to drawings, the concrete structure is not restricted to this embodiment, The design change etc. of the range which does not deviate from the summary of this invention are included.
1,51・・・半導体装置、3・・・第1の半導体チップ(一の半導体チップ)、5・・・半導体チップ(他の半導体チップ)、7・・・第1のステージ部(一のステージ部)、7a,9a・・・表面、7b,9b・・・裏面、9・・・第2のステージ部(他のステージ部)、13・・・樹脂モールド部、41・・・回路基板、41a・・・表面、42・・・放熱用パッド、43・・・レジスト膜、53・・・連結部
DESCRIPTION OF
Claims (6)
一の半導体チップが、他の半導体チップの保証温度よりも高い発熱温度を生じる発熱回路を有し、
少なくとも前記一の半導体チップを搭載した一のステージ部の裏面が、前記樹脂モールド部の外方に露出し、
前記複数のステージ部が、その面方向に並べられると共に相互に離間して配置されていることを特徴とする半導体装置。 A plurality of substantially plate-like stage portions each having one semiconductor chip mounted on the surface, and the plurality of semiconductor chips and stage portions are sealed by a resin mold portion,
One semiconductor chip has a heat generation circuit that generates a heat generation temperature higher than the guaranteed temperature of the other semiconductor chip,
At least the back surface of one stage portion on which the one semiconductor chip is mounted is exposed to the outside of the resin mold portion,
The semiconductor device, wherein the plurality of stage portions are arranged in a plane direction and are spaced apart from each other.
前記回路基板の表面に、前記樹脂モールド部から外方に露出する前記一のステージ部の裏面に接合するための放熱用パッドが形成され、
該放熱用パッドが、前記一のステージ部の露出面積よりも大きい面積を有すると共に、前記一のステージ部の裏面に対向する領域を除いてレジスト膜によって覆われていることを特徴とする半導体装置の実装構造。 A mounting structure for mounting the semiconductor device according to any one of claims 1 to 5 on a circuit board,
On the surface of the circuit board, a heat dissipating pad for bonding to the back surface of the one stage part exposed outward from the resin mold part is formed,
The semiconductor device characterized in that the heat dissipating pad has an area larger than the exposed area of the one stage portion and is covered with a resist film except for a region facing the back surface of the one stage portion. Implementation structure.
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