JP2008185482A - 温度計測装置 - Google Patents
温度計測装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008185482A JP2008185482A JP2007019985A JP2007019985A JP2008185482A JP 2008185482 A JP2008185482 A JP 2008185482A JP 2007019985 A JP2007019985 A JP 2007019985A JP 2007019985 A JP2007019985 A JP 2007019985A JP 2008185482 A JP2008185482 A JP 2008185482A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- voltage
- semiconductor photocathode
- measured
- wavelength
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Radiation Pyrometers (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
【解決手段】 半導体光電陰極C1は、印加電圧に応じて波長に対する量子効率の特性が異なる。したがって、検出器駆動回路Eを制御して印加電圧を制御すると、波長特性が異なる出力(電子量:検出信号)を得ることができる。これら複数の出力は、被測定物体Aの温度と相関を有するので、解析装置Dは、被測定物体Aの温度を演算することができる。この装置では、機械的な回転フィルタではなく、半導体光電陰極C1への印加電圧制御により波長特性を変化させているため、高速の温度計測が可能となる。
【選択図】 図1
Description
・半導体基板11
(1)InP
(2)p型
(3)5×1015cm−3以上
(4)500μm
・光吸収層12
(1)InGaAs
(2)p型
(3)8×1015cm−3以上1×1017cm−3以下
(4)0.01μm〜5μm
・電子放出層13
(1)InP
(2)p型
(3)8×1015cm−3以上1×1017cm−3以下
(4)0.1μm〜2μm
・半導体層14
(1)InP
(2)n型
(3)1×1018cm−3以上
(4)0.05μm〜1μm
Claims (5)
- 被測定物体からの放射光が入射する半導体光電陰極と、
前記半導体光電陰極に電圧を印加する可変電圧印加手段と、
前記可変電圧印加手段を制御して前記電圧を変化させる制御手段と、
前記制御手段により前記電圧を変化させた場合に、前記半導体光電陰極から出力される電子量に基づいて、前記被測定物体の温度を演算する演算手段と、
を備えることを特徴とする温度計測装置。 - 前記放射光の短波長側を遮断するフィルタを、前記半導体光電陰極の光入射面側に配置したことを特徴とする請求項1に記載の温度計測装置。
- 前記半導体光電陰極からの電子を増倍する電子増倍部と、前記電子増倍部からの電子を収集する陽極と、を有する光電子増倍管を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の温度計測装置。
- 前記制御手段は、前記電圧を2段階以上変化させることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の温度計測装置。
- 前記演算手段は、
第1電圧における前記半導体光電陰極からの電子量を第1値、
第2電圧における前記半導体光電陰極からの電子量を第2値、
とした場合、
前記第1値と第2値の比率を演算し、
前記比率と温度との相関関係を予め記憶しておき、演算された比率に対応する温度を出力することを特徴とする請求項4に記載の温度計測装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007019985A JP4980088B2 (ja) | 2007-01-30 | 2007-01-30 | 温度計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007019985A JP4980088B2 (ja) | 2007-01-30 | 2007-01-30 | 温度計測装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008185482A true JP2008185482A (ja) | 2008-08-14 |
JP4980088B2 JP4980088B2 (ja) | 2012-07-18 |
Family
ID=39728632
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007019985A Expired - Fee Related JP4980088B2 (ja) | 2007-01-30 | 2007-01-30 | 温度計測装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4980088B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012074430A (ja) * | 2010-09-28 | 2012-04-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 熱処理装置および熱処理方法 |
JP2019184280A (ja) * | 2018-04-03 | 2019-10-24 | シャープ株式会社 | 赤外線検出システム |
WO2020184626A1 (ja) * | 2019-03-12 | 2020-09-17 | シャープ株式会社 | 赤外線検出装置、赤外線検出方法、コンピュータに実行させるためのプログラムおよびプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
US20200378833A1 (en) * | 2019-06-03 | 2020-12-03 | Sharp Kabushiki Kaisha | Infrared detection apparatus |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04269419A (ja) * | 1991-02-25 | 1992-09-25 | Hamamatsu Photonics Kk | 半導体光電子放出体 |
JPH04269637A (ja) * | 1991-02-25 | 1992-09-25 | Seiichi Okuhara | 光電変換装置 |
JPH05296848A (ja) * | 1992-04-23 | 1993-11-12 | Kawasaki Steel Corp | 放射温度計 |
JPH06102096A (ja) * | 1992-09-21 | 1994-04-12 | Seiichi Okuhara | 色温度計 |
JP3323636B2 (ja) * | 1994-03-18 | 2002-09-09 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電子放射陰極、光電変換電子管およびスペクトル測定装置 |
-
2007
- 2007-01-30 JP JP2007019985A patent/JP4980088B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04269419A (ja) * | 1991-02-25 | 1992-09-25 | Hamamatsu Photonics Kk | 半導体光電子放出体 |
JPH04269637A (ja) * | 1991-02-25 | 1992-09-25 | Seiichi Okuhara | 光電変換装置 |
JPH05296848A (ja) * | 1992-04-23 | 1993-11-12 | Kawasaki Steel Corp | 放射温度計 |
JPH06102096A (ja) * | 1992-09-21 | 1994-04-12 | Seiichi Okuhara | 色温度計 |
JP3323636B2 (ja) * | 1994-03-18 | 2002-09-09 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電子放射陰極、光電変換電子管およびスペクトル測定装置 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012074430A (ja) * | 2010-09-28 | 2012-04-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 熱処理装置および熱処理方法 |
US9025943B2 (en) | 2010-09-28 | 2015-05-05 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Heat treatment apparatus and heat treatment method for heating substrate by irradiating substrate with flashes of light |
JP2019184280A (ja) * | 2018-04-03 | 2019-10-24 | シャープ株式会社 | 赤外線検出システム |
US10866143B2 (en) | 2018-04-03 | 2020-12-15 | Sharp Kabushiki Kaisha | Infrared photodetection system |
WO2020184626A1 (ja) * | 2019-03-12 | 2020-09-17 | シャープ株式会社 | 赤外線検出装置、赤外線検出方法、コンピュータに実行させるためのプログラムおよびプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
CN113574351A (zh) * | 2019-03-12 | 2021-10-29 | 夏普株式会社 | 红外线检测装置、红外线检测方法、由计算机执行的程序以及记录程序的计算机可读取的记录介质 |
JPWO2020184626A1 (ja) * | 2019-03-12 | 2021-12-16 | シャープ株式会社 | 赤外線検出装置、赤外線検出方法、コンピュータに実行させるためのプログラムおよびプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
US20200378833A1 (en) * | 2019-06-03 | 2020-12-03 | Sharp Kabushiki Kaisha | Infrared detection apparatus |
JP2020197450A (ja) * | 2019-06-03 | 2020-12-10 | シャープ株式会社 | 赤外線検出装置 |
JP7061761B2 (ja) | 2019-06-03 | 2022-05-02 | シャープ株式会社 | 赤外線検出装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4980088B2 (ja) | 2012-07-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8669512B2 (en) | System and method for analyzing light by three-photon counting | |
US9234934B2 (en) | Inspecting device and inspecting method | |
EP0539984A2 (en) | Method and apparatus for precise temperature measurement | |
JP4980088B2 (ja) | 温度計測装置 | |
EP3388799A2 (en) | Infrared detection system | |
EP2840382B1 (en) | Inspection apparatus and inspection method | |
Fulvio et al. | A straightforward method for Vacuum-Ultraviolet flux measurements: The case of the hydrogen discharge lamp and implications for solid-phase actinometry | |
CN110657888B (zh) | 一种日盲紫外像增强器带外光谱灵敏度测量装置及方法 | |
JP5576162B2 (ja) | 量子型赤外線ガス濃度計 | |
US7282691B2 (en) | Method for determining wavelengths of light incident on a photodetector | |
CN204788657U (zh) | 基于红外辐射测量的激光功率计 | |
US9297764B2 (en) | Method for determining characteristics of a photoconverter without contact | |
US20220268635A1 (en) | Method and device for monitoring radiation | |
JP2007316044A (ja) | フォトキャパシタンス法を用いたテラヘルツ光センシングシステム | |
Fraß et al. | Calibration of the sensitivity of imaging atmospheric Cherenkov telescopes using a reference light source | |
Ahr et al. | Electrically calibrated cryogenic bolometers as primary detectors in the soft X-ray region | |
Kauppinen et al. | Characterization of seamless CdTe photon counting X-ray detector | |
US9779912B2 (en) | Inspection device and measurement device | |
CN216955721U (zh) | 一种大动态范围光谱透射率测量装置 | |
Avakyan et al. | Laboratory testing of a space patrol apparatus for solar ionizing radiation | |
Schönfelder et al. | Photoelectric Sensors | |
CN1164918C (zh) | 光电阴极多信息量测试*** | |
JP2018041941A (ja) | フォトダイオードを使用した分光計用光検知器ならびに分光計システム | |
WO2014069293A1 (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
Eichler et al. | Photodetectors |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091111 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111214 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120124 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120323 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120417 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120418 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150427 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |