JP2008180864A - Correcting method of color filter - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、カラーフィルタの欠陥の修正に関するものであり、特に、ＩＲスポットヒータを熱源として用いたカラーフィルタの欠陥の修正にて、焼成ムラ、或いは焼成不足を発生させず、修正部のみが良好に焼成、硬化されるカラーフィルタの修正方法に関する。 The present invention relates to correction of defects in a color filter, and in particular, correction of defects in a color filter using an IR spot heater as a heat source does not cause uneven baking or insufficient baking, and only the correction portion is good. The present invention relates to a method for correcting a color filter that is fired and cured.
液晶表示装置やプラズマディスプレイパネルにおいて、カラー表示、反射率の低減、コントラストの改善、分光特性制御などの目的にカラーフィルタを用いることは有用な手段となっている。この表示装置に用いるカラーフィルタは、多くの場合、画素として形成されて使用される。
図３は、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。また、図４は、図３に示すカラーフィルタのＸ−Ｘ’線における断面図である。
In a liquid crystal display device or a plasma display panel, it is a useful means to use a color filter for purposes such as color display, reflectance reduction, contrast improvement, and spectral characteristic control. In many cases, the color filter used in this display device is formed and used as a pixel.
FIG. 3 is a plan view schematically showing an example of a color filter used in the liquid crystal display device. 4 is a cross-sectional view of the color filter shown in FIG. 3 taken along line XX ′.
図３、及び図４に示すように、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタは、ガラス基板（５０）上にブラックマトリックス（５１）、着色画素（５２）が順次に形成されたものである。
図３、及び図４はカラーフィルタを模式的に示したもので、着色画素（５２）は１２個表されているが、実際のカラーフィルタにおいては、例えば、対角１７インチの画面に数百μｍ程度の着色画素が多数個配列されている。
As shown in FIGS. 3 and 4, the color filter used in the liquid crystal display device has a black matrix (51) and colored pixels (52) sequentially formed on a glass substrate (50).
3 and 4 schematically show a color filter, and 12 colored pixels (52) are shown. In an actual color filter, for example, several hundreds of pixels are displayed on a 17-inch diagonal screen. A large number of colored pixels of about μm are arranged.
ブラックマトリックス（５１）は、遮光性を有するマトリックス状のものであり、着色画素（５２）は、例えば、赤色、緑色、青色のフィルタ機能を有するものである。
ブラックマトリックスは、カラーフィルタの着色画素の位置を定め、大きさを均一なものとし、また、表示装置に用いられた際に、好ましくない光を遮蔽し、表示装置の画像をムラのない均一な、且つコントラストを向上させた画像にする機能を有している。
The black matrix (51) is a matrix having light shielding properties, and the colored pixels (52) have, for example, red, green, and blue filter functions.
The black matrix determines the position of the colored pixels of the color filter, makes the size uniform, and shields unwanted light when used in a display device, making the image of the display device uniform and uniform. In addition, it has a function of making an image with improved contrast.
このブラックマトリックス（５１）は、ガラス基板（５０）上にブラックマトリックスの材料として樹脂を用いた例である。
このブラックマトリックス（５１）は、ガラス基板（５０）上に、例えば、ブラックマトリックス形成用の黒色フォトレジストを用いてフォトリソグラフィ法によって形成されたものである。
This black matrix (51) is an example in which a resin is used as a black matrix material on a glass substrate (50).
The black matrix (51) is formed on the glass substrate (50) by, for example, a photolithography method using a black photoresist for forming a black matrix.
また、着色画素（５２）は、この樹脂ブラックマトリックス（５１）が形成されたガラス基板（５０）上に、例えば、顔料などの色素を分散させたネガ型の着色フォトレジストを用いたフォトリソグラフィ法によって、すなわち、着色フォトレジストの塗膜へのフォトマスクを介した露光、現像処理によって着色画素として形成されたものである。赤色、緑色、青色の着色画素は順次に形成されている。 The colored pixel (52) is a photolithography method using a negative colored photoresist in which a pigment such as a pigment is dispersed on the glass substrate (50) on which the resin black matrix (51) is formed. That is, it is formed as a colored pixel by exposure through a photomask to a coating film of a colored photoresist, and development processing. Red, green, and blue colored pixels are sequentially formed.
このようなカラーフィルタの製造プロセスにおいて、着色画素にピンホールや異物といった欠陥が発生した場合には、その欠陥には修正が施される。一般的な着色画素の大きさは、（６０〜１２０μｍ）×（１００〜３００μｍ）□の大きさであり、修正の対象となる欠陥の大きさは１０μｍφ程度以上となる。 In such a color filter manufacturing process, when a defect such as a pinhole or a foreign substance occurs in a colored pixel, the defect is corrected. The size of a general colored pixel is (60 to 120 μm) × (100 to 300 μm) □, and the size of a defect to be corrected is about 10 μmφ or more.
ピンホールのように、着色画素の一部が欠落した欠陥に対しては、先端部を加工した針の先端に修正液を付着させて、その修正液をピンホールに押しつけて修正する方法、ディスペンサーによって修正液を必要量滴下する方法、インクジェットにより修正液を吐出させる方法、欠陥部にフィルムを転写させる方法などが提案されている。
また異物が付着、あるいは埋め込まれている場合には、針にて削り取ったり、レーザ光を照射して異物を除去した後に、上記針、ディスペンサー、インクジェット、フィルム転写等の方法により修正が行なわれる。
For a defect in which a part of a colored pixel is missing such as a pinhole, a correction liquid is attached to the tip of a needle whose tip has been processed, and the correction liquid is pressed against the pinhole to correct it, a dispenser A method of dropping a required amount of correction liquid by a method, a method of discharging correction liquid by inkjet, a method of transferring a film to a defective portion, and the like have been proposed.
When foreign matter is attached or embedded, correction is performed by a method such as the above-described needle, dispenser, inkjet, film transfer, etc. after scraping with a needle or irradiating a laser beam to remove the foreign matter.
この際、修正液の硬化には、ＵＶ硬化或いは熱硬化が用いられる。熱硬化としては、これまでにＩＲ（赤外）スポットヒータ、ＣＯ2 レーザー、半導体レーザー、熱風ヒータ、ホットプレート、オーブンなど、様々な熱硬化の方法が実施されていた。
上記熱硬化の方法は、ホットプレート、オーブンのように、１）カラーフィルタ全体を加熱して修正液を焼成、硬化させる方法と、ＩＲ（赤外）スポットヒータなどのように、２）局所的に加熱して修正液を焼成、硬化させる方法に区分される。
At this time, UV curing or heat curing is used for curing the correction liquid. As thermal curing, various thermal curing methods such as an IR (infrared) spot heater, a CO 2 laser, a semiconductor laser, a hot air heater, a hot plate, and an oven have been implemented so far.
The above-mentioned thermosetting methods are as follows: 1) Heating the entire color filter to bake and cure the correction liquid, and IR (infrared) spot heater, etc. The method is classified into a method of baking and curing the correction liquid by heating.
１）カラーフィルタ全体を加熱して修正液を焼成、硬化させる方法は、その焼成に長時間を要するために、多段式のオーブンを用い大量のカラーフィルタを一括して焼成することにより、生産能力を維持している。
しかし、多段式のオーブンを用いる方法は、広い設置スペースが必要となるといった問題を抱えている。また、多段式のオーブンを用いる方法は、修正作業中に異物が付着し、付着したまま焼成が行われ、新たな異物欠陥を発生させることがある。このような欠陥の発生を防止するために、修正作業後に、カラーフィルタには改めて洗浄を施すといった問題を抱えている。
1) The method of baking and curing the correction liquid by heating the entire color filter requires a long time for the baking. Therefore, a large number of color filters are baked in a batch using a multi-stage oven. Is maintained.
However, the method using a multistage oven has a problem that a large installation space is required. In the method using a multi-stage oven, foreign matters may adhere during the correction work, and firing may be performed while the foreign matters are attached, which may cause new foreign matter defects. In order to prevent the occurrence of such defects, there is a problem that the color filter is washed again after the correction work.
一方、２）局所的に加熱して修正液を焼成、硬化させる方法は、上記設置スペース、洗浄作業といった問題のない方法である。
しかし、修正部に限定した温度制御が困難であり、照射スポット径に準じた局所内で温度過剰による焼成ムラが発生し易いといった難点を有している。
On the other hand, 2) the method of locally heating and baking and curing the correction liquid is a method that does not have problems such as the installation space and the cleaning operation.
However, temperature control limited to the correction portion is difficult, and there is a problem that uneven firing due to excessive temperature tends to occur within a local area corresponding to the irradiation spot diameter.
例えば、熱源としてＩＲスポットヒータを用いる際には、ＩＲスポットヒータの強度を予め設定しておく。この強度の設定は、電圧を調節して行われるが、ＩＲスポットを修正部に照射した場合に、修正部に付与された修正液が良好に焼成、硬化される温度になるようにＩＲスポットヒータの強度を予め設定しておく。
そして、修正部への照射は、この設定した強度を一定して、すなわち、一定電圧で行われる。従って、実際の作業において、一定強度の照射が行われると、照射面が同一温度を長時間にわたって保持されることはない。
つまり、照射される熱量と消費される熱量の関係からして、上記修正液の焼成、硬化に好適な設定温度に対し、実温度は経時的に変動、乖離したものとなる。
For example, when using an IR spot heater as a heat source, the intensity of the IR spot heater is set in advance. The intensity is set by adjusting the voltage, but when the IR spot is irradiated to the correction section, the IR spot heater is set so that the correction liquid applied to the correction section is at a temperature at which the correction liquid is well baked and cured. Is set in advance.
The correction unit is irradiated with the set intensity constant, that is, at a constant voltage. Therefore, in actual work, when irradiation with a constant intensity is performed, the irradiated surface is not held at the same temperature for a long time.
That is, from the relationship between the amount of heat applied and the amount of heat consumed, the actual temperature fluctuates or deviates over time with respect to the set temperature suitable for baking and curing the correction liquid.
そこで、実際の作業において、修正液の焼成、硬化が十分に行われるように、上記一定強度を強めると、照射面の温度は高くなり焼成ムラが発生し易くなる。
また、逆に焼成ムラに対し十分に安全な、すなわち、焼成ムラが発生し難いように、上記一定強度を弱めると、照射面の温度は低くなり焼成不足が発生し易くなる。この焼成不足は、後工程において不具合を誘発するので好ましいことではない。
Therefore, in the actual operation, if the above-described constant strength is increased so that the correction liquid is sufficiently baked and cured, the temperature of the irradiated surface is increased and baking unevenness is likely to occur.
On the other hand, if the above-mentioned constant strength is weakened so that it is sufficiently safe against firing unevenness, that is, it is difficult for firing unevenness to occur, the temperature of the irradiated surface becomes low, and insufficient firing tends to occur. This lack of firing is not preferable because it induces problems in the subsequent process.
図１は、カラーフィルタに発生した焼成ムラを説明する平面図である。図１は、ガラス基板（５０）上に、幅（Ｗ）２０μｍ程度のブラックマトリックス（５１）、幅（ａ）１００μｍ程度の着色画素（５２）が形成された例である。着色画素（５２）の一隅の近傍に生じた径１０μｍφ程度のピンホールに修正液（５４）が付与され、５０μｍφ程度の一定の径を有するＩＲスポット（Ｓ）が照射されている状態を表したものである。 FIG. 1 is a plan view for explaining uneven firing that occurs in a color filter. FIG. 1 shows an example in which a black matrix (51) having a width (W) of about 20 μm and a colored pixel (52) having a width (a) of about 100 μm are formed on a glass substrate (50). The correction liquid (54) is applied to a pinhole having a diameter of about 10 μmφ generated in the vicinity of one corner of the colored pixel (52), and the IR spot (S) having a constant diameter of about 50 μmφ is irradiated. Is.
一定強度のＩＲスポットの照射により、修正液（５４）が前記設定温度に達していれば、修正部に付与された修正液（５４）は、良好に焼成、硬化される。また、ＩＲスポット（Ｓ）内のブラックマトリックス（５１）及び着色画素（５２）に悪影響を及ぼすことはない。
しかし、一定強度のＩＲスポットの照射において、経時により照射面の温度は高くなった際には、或いは前記のように、修正液の焼成、硬化が十分に行われるように、前記一定強度を強めた際には、図１中、符号（５３）で示すブラックマトリックス（５１）内の二重斜線部分が焼成ムラとなってしまう。
If the correction liquid (54) reaches the set temperature by irradiation with an IR spot having a constant intensity, the correction liquid (54) applied to the correction portion is well baked and cured. Further, the black matrix (51) and the colored pixels (52) in the IR spot (S) are not adversely affected.
However, when irradiating IR spot with a constant intensity, when the temperature of the irradiated surface increases with time, or as described above, the constant intensity is increased so that the correction liquid is sufficiently baked and cured. In this case, the double hatched portion in the black matrix (51) indicated by reference numeral (53) in FIG.
これは、ブラックマトリックス（５１）は黒色であるために、修正液（５４）及び着色画素（５２）よりも熱吸収が良く、温度の上昇が激しいことによるものと推量している。 This is presumed to be due to the fact that the black matrix (51) is black and therefore absorbs heat better than the correction liquid (54) and the colored pixels (52) and the temperature rises rapidly.
また、実際の作業において、熱源としてＩＲスポットヒータを用いる際には、修正液が良好に焼成、硬化される温度になるように、カラーフィルタの仕様の異なる品目毎に設定温度を予め求め、前記ＩＲスポットヒータの強度を設定し直すといった煩わしさがある。これは、カラーフィルタの仕様、すなわち、用いる黒色フォトレジスト及び着色フォトレジストの種類、塗膜の膜厚、着色画素のサイズなどにより、熱吸収量が異なってくるためである。従って、修正液を良好に焼成、硬化させるためには、カラーフィルタの仕様毎に最適なＩＲスポットヒータの強度に設定し直す必要があり、相応の煩わしさが伴う。 In actual work, when using an IR spot heater as a heat source, a set temperature is previously obtained for each item having different color filter specifications so that the correction liquid is baked and cured satisfactorily. There is an annoyance of resetting the intensity of the IR spot heater. This is because the amount of heat absorption varies depending on the specifications of the color filter, that is, the types of the black and colored photoresists used, the film thickness of the coating film, the size of the colored pixels, and the like. Therefore, in order to fire and harden the correction liquid satisfactorily, it is necessary to reset the intensity of the IR spot heater to an optimum value for each color filter specification, which is accompanied by corresponding troublesomeness.
尚、特開２００３−４３２３６号公報には、カラーフィルタの欠陥修正方法が開示されている。
この技法は、（ａ）レーザー照射等より、異物およびまたは欠陥部を含む範囲の着色層を必要に応じて除去する除去工程と、
（ｂ）カラーフィルタの白欠陥部分あるいは前記除去工程により、欠陥部あるいは欠陥部と欠陥部領域を含む範囲の着色層が除去された、本来着色層があるべき領域に、針状塗布部の先端に付着した着色インクを接触させて塗布し、塗布した着色インクを硬化させ、修正用の着色層を新たに形成する修正用着色層形成工程とを行うものである。
Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2003-43236 discloses a color filter defect correction method.
This technique includes (a) a removal step of removing a colored layer in a range including a foreign substance and / or a defective part as necessary from laser irradiation or the like;
(B) The tip of the needle-like application portion in the area where the colored layer should be originally removed, where the defective portion or the colored layer in the range including the defective portion and the defective portion region has been removed by the above-described removal process. The colored ink adhered to the substrate is applied in contact with the coating, the applied colored ink is cured, and a correcting colored layer forming step of newly forming a correcting colored layer is performed.
この技法は、前記修正用着色層形成工程において、着色インクを接触させて塗布後、硬化前に、カラーフィルタを形成する基板に振動または加速を与え、塗布部の膜厚を均一化する、塗布膜厚均一化処理を行う。すなわち、本願本願における上記問題を解決するものではない。
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、ＩＲスポットヒータを熱源として用いたカラーフィルタの欠陥の修正にて、長時間稼働させても照射面の温度の変化の少ない、すなわち、ブラックマトリックスの焼成ムラ、或いは修正液の焼成不足を発生させず、修正部の修正液のみが良好に焼成、硬化され、また、仕様の異なる品目毎に、ＩＲスポットヒータの強度を設定し直すといった煩わしさのないカラーフィルタの修正方法を提供することを課題とするものである。 The present invention has been made in view of the above-described problems. By correcting defects in a color filter using an IR spot heater as a heat source, the temperature of the irradiated surface is little changed even when operated for a long time. It does not cause uneven firing of the matrix or insufficient baking of the correction liquid, and only the correction liquid in the correction portion is well baked and cured, and the intensity of the IR spot heater is reset for each item with different specifications. It is an object of the present invention to provide a method for correcting a color filter without any problem.
本発明は、ガラス基板上に、黒色フォトレジストを用いたブラックマトリックス、着色フォトレジストを用いた着色画素が順次に形成されたカラーフィルタの欠陥の修正方法において、
Ａ）熱源として、
１）照射するＩＲ（赤外）スポット径を絞りによって調節することが可能で、
２）照射部の実温度のフィードバックにより、照射部の温度を任意な設定温度に保持するようにＩＲ（赤外）スポットヒータの強度を制御することが可能なＩＲ（赤外）スポットヒータを用い、
Ｂ）照射部の実温度の測定手段として、
１）その測定スポット径を絞りによって調節することが可能で、
２）ＩＲ（赤外）スポットの照射中に、非接触で照射部の実温度を測定することが可能なＩＲ（赤外）放射温度計を用い、
Ｃ）１）前記着色画素に発生したピンホール（修正部）或いは異物除去後の着色画素欠落部（修正部）に熱硬化型の修正液を付与し、
２）前記ＩＲ（赤外）スポット径を該ピンホール（修正部）或いは異物除去後の着色画素欠落部（修正部）のサイズに合わせて修正液（修正部）にＩＲ（赤外）スポットを照射し、
３）ＩＲ（赤外）スポットを照射中の修正液（修正部）の実温度を測定して、前記ＩＲ（赤外）スポットヒータにフィードバックし、
４）実温度のフィードバックによりＩＲ（赤外）スポットヒータの強度を制御して、修正液（修正部）の温度を設定温度に保持した状態で加熱して修正液を焼成、硬化することを特徴とするカラーフィルタの修正方法である。
The present invention provides a method for correcting defects in a color filter in which a black matrix using a black photoresist and a colored pixel using a colored photoresist are sequentially formed on a glass substrate.
A) As a heat source,
1) The IR (infrared) spot diameter to be irradiated can be adjusted by a diaphragm,
2) Using an IR (infrared) spot heater capable of controlling the intensity of the IR (infrared) spot heater so as to maintain the temperature of the irradiated part at an arbitrary set temperature by feedback of the actual temperature of the irradiated part. ,
B) As means for measuring the actual temperature of the irradiated part,
1) It is possible to adjust the measurement spot diameter by the aperture,
2) Using an IR (infrared) radiation thermometer capable of measuring the actual temperature of the irradiated part in a non-contact manner during irradiation of an IR (infrared) spot,
C) 1) Applying a thermosetting correction liquid to the pinhole (correction part) generated in the colored pixel or the colored pixel missing part (correction part) after removing the foreign matter,
2) The IR (infrared) spot diameter is adjusted to the size of the pinhole (correcting part) or the colored pixel missing part (correcting part) after removing the foreign matter, and the IR (infrared) spot is applied to the correcting liquid (correcting part). Irradiated,
3) Measure the actual temperature of the correction liquid (correction part) that is irradiating the IR (infrared) spot, and feed back to the IR (infrared) spot heater.
4) The strength of the IR (infrared) spot heater is controlled by feedback of the actual temperature, and the correction liquid is baked and cured by heating while maintaining the temperature of the correction liquid (correction part) at the set temperature. This is a color filter correction method.
また、本発明は、上記発明によるカラーフィルタの修正方法において、前記ＩＲ（赤外）スポット径は、５μｍφ〜５０μｍφの範囲で調節することが可能で、前記測定スポット径は、１．５μｍφ〜１１．０μｍφの範囲で調節することが可能であることを特徴とするカラーフィルタの修正方法である。 In the color filter correction method according to the present invention, the IR (infrared) spot diameter can be adjusted in a range of 5 μmφ to 50 μmφ, and the measurement spot diameter is 1.5 μmφ to 11 The color filter correction method is characterized in that it can be adjusted within a range of 0.0 μmφ.
本発明は、Ａ）熱源として、１）照射するＩＲ（赤外）スポット径を絞りによって調節することが可能で、２）照射部の実温度のフィードバックにより、照射部の温度を任意な設定温度に保持するようにＩＲ（赤外）スポットヒータの強度を制御することが可能なＩＲ（赤外）スポットヒータを用い、
Ｂ）照射部の実温度の測定手段として、１）その測定スポット径を絞りによって調節することが可能で、２）ＩＲ（赤外）スポットの照射中に、照射部の実温度を測定することが可能なＩＲ（赤外）放射温度計を用い、
実温度のフィードバックによりＩＲ（赤外）スポットヒータの強度を制御して、修正液（修正部）の温度を設定温度に保持した状態で加熱して修正液を焼成、硬化するカラーフィルタの修正方法であるので、ブラックマトリックスの焼成ムラ、或いは修正液の焼成不足は発生せず、修正部の修正液のみを良好に焼成、硬化させるカラーフィルタの修正方法となる。
In the present invention, A) as a heat source, 1) the IR (infrared) spot diameter to be irradiated can be adjusted by a diaphragm, and 2) the temperature of the irradiation unit can be arbitrarily set by feedback of the actual temperature of the irradiation unit. Using an IR (infrared) spot heater that can control the intensity of the IR (infrared) spot heater so as to hold
B) As means for measuring the actual temperature of the irradiated part, 1) the measurement spot diameter can be adjusted by a diaphragm, and 2) the actual temperature of the irradiated part is measured during irradiation of an IR (infrared) spot. Using an IR (infrared) radiation thermometer capable of
A color filter correction method in which the intensity of the IR (infrared) spot heater is controlled by feedback of the actual temperature, and the correction liquid (correction part) is heated while the temperature of the correction liquid (correction part) is maintained at the set temperature, and the correction liquid is baked and cured. Therefore, there is no uneven firing of the black matrix or insufficient baking of the correction liquid, and this is a correction method for the color filter that only bakes and cures the correction liquid in the correction portion satisfactorily.
また、本発明は、照射部の実温度により赤外線の発熱量（強度）を制御するので、カラーフィルタの仕様の異なる品目毎に、ＩＲスポットヒータの強度を設定し直すといった煩わしさのないカラーフィルタの修正方法となる。 In addition, since the present invention controls the heat generation amount (intensity) of infrared rays according to the actual temperature of the irradiating unit, the color filter does not have the trouble of resetting the intensity of the IR spot heater for each item having a different color filter specification. It becomes the correction method.
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図２は、本発明によるカラーフィルタの修正方法において用いられる加熱装置の概略を示す説明図である。
図２に示すように、加熱装置には、熱源としてＩＲ（赤外）スポットヒータ（１０）、照射部の実温度の測定手段としてＩＲ（赤外）放射温度計（２０）が用いられている。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
FIG. 2 is an explanatory diagram showing an outline of a heating device used in the color filter correcting method according to the present invention.
As shown in FIG. 2, the heating apparatus uses an IR (infrared) spot heater (10) as a heat source, and an IR (infrared) radiation thermometer (20) as a means for measuring the actual temperature of the irradiation unit. .
ＩＲ（赤外）スポットヒータ（１０）は、筐体（１１）内に発光部（１２）及び集光用反射鏡（１３）が設けられ、赤外線は射出部に取り付けられた絞り（１４）を経て外部へ射出されるようになっている。ＩＲ（赤外）スポットヒータ（１０）は、発光部（１２）に流す電圧を調節して赤外線の発熱量（強度）を制御し、その強度を設定する。
絞り（１４）は、例えば、赤外線を通過させる開口部を設けた遮光板であり、照射するＩＲ（赤外）スポット径（φ１）を調節できるように、複数枚の遮光板が用意されている。ＩＲ（赤外）スポット径（φ１）は、５μｍφ〜５０μｍφの範囲で開口部の大きさを任意に設けた遮光板を交換することにより調節することが可能となっている。
The IR (infrared) spot heater (10) is provided with a light emitting part (12) and a condensing reflecting mirror (13) in a housing (11), and infrared rays are sent through a diaphragm (14) attached to the emitting part. After that, it is injected outside. The IR (infrared) spot heater (10) controls the amount of heat (intensity) of infrared rays by adjusting the voltage applied to the light emitting section (12), and sets the intensity.
The diaphragm (14) is, for example, a light shielding plate provided with an opening through which infrared rays pass, and a plurality of light shielding plates are prepared so that the IR (infrared) spot diameter (φ1) to be irradiated can be adjusted. . The IR (infrared) spot diameter (φ1) can be adjusted by exchanging a light shielding plate having an opening having an arbitrary size in the range of 5 μmφ to 50 μmφ.
また、ＩＲ（赤外）スポットヒータ（１０）は、ＩＲ（赤外）放射温度計（２０）からの照射部の実温度のフィードバックにより、実温度と設定温度を比較し、照射部の温度を設定温度に保持するように赤外線の発熱量（強度）を制御することが可能となっている。 The IR (infrared) spot heater (10) compares the actual temperature with the set temperature by feedback of the actual temperature of the irradiation unit from the IR (infrared) radiation thermometer (20), and sets the temperature of the irradiation unit. It is possible to control the heat generation amount (intensity) of infrared rays so as to maintain the set temperature.
ＩＲ（赤外）放射温度計（２０）は、非接触で照射部の表面の実温度を測定するものであり、測定された実温度をＩＲ（赤外）スポットヒータ（１０）にフィードバックするようになっている。照射部から放射される赤外線をレンズで集光し、熱電対が多数個直列に接続された構造の検出素子に焦点を結ばせ、電圧を発生させ照射部の温度を求めるものである。
ＩＲ（赤外）放射温度計（２０）の測定スポット径（φ２）は、１．５μｍφ〜１１．０μｍφの範囲で調節することが可能である。尚、ＩＲ（赤外）放射温度計（２０）としては、例えば、（株）キーエンス製：赤外放射温度計があげられる。
The IR (infrared) radiation thermometer (20) measures the actual temperature of the surface of the irradiated part in a non-contact manner, and feeds back the measured actual temperature to the IR (infrared) spot heater (10). It has become. Infrared rays emitted from the irradiating unit are collected by a lens and focused on a detection element having a structure in which a large number of thermocouples are connected in series to generate a voltage to obtain the temperature of the irradiating unit.
The measurement spot diameter (φ2) of the IR (infrared) radiation thermometer (20) can be adjusted in the range of 1.5 μmφ to 11.0 μmφ. Examples of the IR (infrared) radiation thermometer (20) include an infrared radiation thermometer manufactured by Keyence Corporation.
図５は、上記加熱装置における温度制御の一例を示す説明図である。図５（ａ）は、ＩＲ（赤外）放射温度計（２０）により測定された照射部の実温度の挙動を示した説明図である。また、図５（ｂ）は、ＩＲ（赤外）スポットヒータ（１０）における電圧の調節を示した説明図である。設定温度は１９０℃〜２００℃とし、赤外線の発熱量（強度）の制御は電圧の高低により行う例である。 FIG. 5 is an explanatory diagram showing an example of temperature control in the heating device. Fig.5 (a) is explanatory drawing which showed the behavior of the actual temperature of the irradiation part measured by IR (infrared) radiation thermometer (20). FIG. 5B is an explanatory diagram showing voltage adjustment in the IR (infrared) spot heater (10). In this example, the set temperature is 190 ° C. to 200 ° C., and the heat generation amount (intensity) of infrared rays is controlled by the voltage level.
ＩＲ（赤外）放射温度計（２０）からの実温度のフィードバックにより、実温度が常温から上昇して１９０℃を超えると、ＩＲ（赤外）スポットヒータ（１０）は、発光部（１２）に流す電圧をＶ1 からＶ3 に変更し、発熱量（強度）を抑える。また、ＩＲ（赤外）放射温度計（２０）からの実温度のフィードバックにより、実温度が降下して１９０℃に近づくと、ＩＲ（赤外）スポットヒータ（１０）は、発光部（１２）に流す電圧をＶ3 からＶ2 に変更し、発熱量（強度）を増加させる。つまり、ＩＲ（赤外）スポットヒータ（１０）は、照射部の実温度を設定温度に保持するように、発光部（１２）に流す電圧を変更し赤外線の発熱量（強度）を制御している。 When the actual temperature rises from room temperature and exceeds 190 ° C. by feedback of the actual temperature from the IR (infrared) radiation thermometer (20), the IR (infrared) spot heater (10) becomes the light emitting section (12). The voltage to be applied to is changed from V 1 to V 3 to suppress the heat generation amount (intensity). When the actual temperature drops and approaches 190 ° C. by feedback of the actual temperature from the IR (infrared) thermometer (20), the IR (infrared) spot heater (10) Is changed from V 3 to V 2 to increase the calorific value (intensity). In other words, the IR (infrared) spot heater (10) controls the heat generation amount (intensity) of infrared rays by changing the voltage applied to the light emitting unit (12) so that the actual temperature of the irradiation unit is maintained at the set temperature. Yes.
本発明によるカラーフィルタの修正方法は、先ず、着色画素に発生したピンホール（修正部）或いは異物除去後の着色画素欠落部（修正部）に熱硬化型の修正液を付与する。次に、上記加熱装置を用いて、ＩＲ（赤外）スポットを修正液（修正部）に照射し、修正液（修正部）を焼成、硬化させる。
ＩＲ（赤外）スポット径（φ１）は、ピンホール或いは異物除去後の着色画素欠落部のサイズに合わせるが、このサイズよりやや大きい方が位置合わせが容易である。サイズは、やや大きくても着色画素に悪影響を与えることはない。
In the color filter correction method according to the present invention, first, a thermosetting correction liquid is applied to a pinhole (correction part) generated in a colored pixel or a colored pixel missing part (correction part) after removing foreign matter. Next, using the heating device, an IR (infrared) spot is irradiated onto the correction liquid (correction part), and the correction liquid (correction part) is baked and cured.
The IR (infrared) spot diameter (φ1) is adjusted to the size of the missing portion of the colored pixel after removal of the pinhole or foreign matter, but positioning slightly larger than this size is easy to align. Even if the size is slightly larger, it does not adversely affect the colored pixels.
ＩＲ（赤外）放射温度計（２０）は、照射中の修正液（修正部）の実温度を測定して、ＩＲ（赤外）スポットヒータ（１０）に常時フィードバックしているので、ＩＲ（赤外）スポットヒータ（１０）は、実温度のフィードバックにより発光部（１２）に流す電圧を常時変更し赤外線の発熱量（強度）を制御している。
従って、修正液（修正部）の温度は設定温度に常時保持した状態にあり、この設定温度で
の加熱で修正液を焼成、硬化することになる。
尚、この焼成、硬化の処理時間は、３０〜１２０秒程度のものである。
The IR (infrared) radiation thermometer (20) measures the actual temperature of the correction liquid (correction part) during irradiation and constantly feeds back to the IR (infrared) spot heater (10). The infrared spot heater (10) controls the amount of heat (intensity) of infrared rays by constantly changing the voltage applied to the light emitting section (12) by feedback of the actual temperature.
Therefore, the temperature of the correction liquid (correction part) is always kept at the set temperature, and the correction liquid is baked and cured by heating at the set temperature.
The firing and curing treatment time is about 30 to 120 seconds.
上記のように、本発明によるカラーフィルタの修正方法は、熱源として、照射するＩＲ（赤外）スポット径を絞りによって調節することが可能で、照射部の実温度のフィードバックにより、照射部の温度を任意な設定温度に保持するようにＩＲ（赤外）スポットヒータの強度を制御することが可能なＩＲ（赤外）スポットヒータを用い、また、照射部の実温度の測定手段として、その測定スポット径を絞りによって調節することが可能で、ＩＲ（赤外）スポットの照射中に、照射部の実温度を測定することが可能なＩＲ（赤外）放射温度計を用いるので、ブラックマトリックスの焼成ムラ、或いは修正液の焼成不足は発生せず、修正部の修正液のみが良好に焼成、硬化される。 As described above, the color filter correction method according to the present invention can adjust the IR (infrared) spot diameter to be irradiated as a heat source by a diaphragm, and the temperature of the irradiation unit can be adjusted by feedback of the actual temperature of the irradiation unit. An IR (infrared) spot heater that can control the intensity of the IR (infrared) spot heater so as to maintain the temperature at an arbitrary set temperature is used, and the measurement is performed as a means for measuring the actual temperature of the irradiated part. The spot diameter can be adjusted by a diaphragm, and an IR (infrared) radiation thermometer that can measure the actual temperature of the irradiated part during IR (infrared) spot irradiation is used. No baking unevenness or insufficient baking of the correction liquid occurs, and only the correction liquid in the correction portion is fired and cured satisfactorily.
また、本発明によるカラーフィルタの修正方法は、照射部の実温度により赤外線の発熱量（強度）を制御するので、カラーフィルタの仕様の異なる品目毎に、ＩＲスポットヒータの強度を設定し直すといったことは不要なものとなる。 In addition, since the color filter correction method according to the present invention controls the heat generation amount (intensity) of infrared rays according to the actual temperature of the irradiation unit, the intensity of the IR spot heater is reset for each item having different color filter specifications. That is unnecessary.
また、本発明によるカラーフィルタの修正方法は、設定温度を保持するように、赤外線の発熱量（強度）を制御するので、加熱作業を開始できる温度に達するまでの装置の立ち上げ時間は、従来の相応の時間に比較して短い立ち上げ時間（図５に示す符号（Ｔ0 ））となる。 In addition, since the color filter correction method according to the present invention controls the heat generation amount (intensity) of infrared rays so as to maintain the set temperature, the startup time of the apparatus until reaching the temperature at which the heating operation can be started is conventionally The start-up time is shorter than the corresponding time (sign (T 0 ) shown in FIG. 5).
１０・・・ＩＲ（赤外）スポットヒータ
１１・・・筐体
１２・・・発光部
１３・・・集光用反射鏡
１４・・・絞り
２０・・・ＩＲ（赤外）放射温度計
５０・・・ガラス基板
５１・・・ブラックマトリックス
５２・・・着色画素
５３・・・焼成ムラ
５４・・・修正液
Ｓ・・・ＩＲスポット
Ｔ・・・時間
Ｗ・・・ブラックマトリックスの幅
ａ・・・着色画素の幅
φ１・・・ＩＲ（赤外）スポット径
φ２・・・測定スポット径
DESCRIPTION OF
Claims (2)
Ａ）熱源として、
１）照射するＩＲ（赤外）スポット径を絞りによって調節することが可能で、
２）照射部の実温度のフィードバックにより、照射部の温度を任意な設定温度に保持するようにＩＲ（赤外）スポットヒータの強度を制御することが可能なＩＲ（赤外）スポットヒータを用い、
Ｂ）照射部の実温度の測定手段として、
１）その測定スポット径を絞りによって調節することが可能で、
２）ＩＲ（赤外）スポットの照射中に、非接触で照射部の実温度を測定することが可能なＩＲ（赤外）放射温度計を用い、
Ｃ）１）前記着色画素に発生したピンホール（修正部）或いは異物除去後の着色画素欠落部（修正部）に熱硬化型の修正液を付与し、
２）前記ＩＲ（赤外）スポット径を該ピンホール（修正部）或いは異物除去後の着色画素欠落部（修正部）のサイズに合わせて修正液（修正部）にＩＲ（赤外）スポットを照射し、
３）ＩＲ（赤外）スポットを照射中の修正液（修正部）の実温度を測定して、前記ＩＲ（赤外）スポットヒータにフィードバックし、
４）実温度のフィードバックによりＩＲ（赤外）スポットヒータの強度を制御して、修正液（修正部）の温度を設定温度に保持した状態で加熱して修正液を焼成、硬化することを特徴とするカラーフィルタの修正方法。 In a method for correcting defects in a color filter in which a black matrix using a black photoresist and a colored pixel using a colored photoresist are sequentially formed on a glass substrate,
A) As a heat source,
1) The IR (infrared) spot diameter to be irradiated can be adjusted by a diaphragm,
2) Using an IR (infrared) spot heater capable of controlling the intensity of the IR (infrared) spot heater so as to maintain the temperature of the irradiated part at an arbitrary set temperature by feedback of the actual temperature of the irradiated part. ,
B) As means for measuring the actual temperature of the irradiated part,
1) It is possible to adjust the measurement spot diameter by the aperture,
2) Using an IR (infrared) radiation thermometer capable of measuring the actual temperature of the irradiated part in a non-contact manner during irradiation of an IR (infrared) spot,
C) 1) Applying a thermosetting correction liquid to the pinhole (correction part) generated in the colored pixel or the colored pixel missing part (correction part) after removing the foreign matter,
2) The IR (infrared) spot diameter is adjusted to the size of the pinhole (correcting part) or the colored pixel missing part (correcting part) after removing the foreign matter, and the IR (infrared) spot is applied to the correcting liquid (correcting part). Irradiated,
3) Measure the actual temperature of the correction liquid (correction part) that is irradiating the IR (infrared) spot, and feed back to the IR (infrared) spot heater.
4) The strength of the IR (infrared) spot heater is controlled by feedback of the actual temperature, and the correction liquid is baked and cured by heating while maintaining the temperature of the correction liquid (correction part) at the set temperature. Color filter correction method.
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Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003057427A (en) * | 2001-08-09 | 2003-02-26 | Canon Inc | Color filter and method for manufacturing the same, liquid crystal element using the filter |
| JP2006011244A (en) * | 2004-06-29 | 2006-01-12 | V Technology Co Ltd | Defective correction method of color filter |
| JP2006350121A (en) * | 2005-06-17 | 2006-12-28 | Sharp Corp | Method and device for correcting defect in color filter |
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Patent Citations (3)
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|---|---|---|---|---|
| JP2003057427A (en) * | 2001-08-09 | 2003-02-26 | Canon Inc | Color filter and method for manufacturing the same, liquid crystal element using the filter |
| JP2006011244A (en) * | 2004-06-29 | 2006-01-12 | V Technology Co Ltd | Defective correction method of color filter |
| JP2006350121A (en) * | 2005-06-17 | 2006-12-28 | Sharp Corp | Method and device for correcting defect in color filter |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010175601A (en) * | 2009-01-27 | 2010-08-12 | Ntn Corp | Device and method for correcting defect of color filter |
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