JP2008178820A - Droplet ejection head-filling device and method for making article - Google Patents

Droplet ejection head-filling device and method for making article Download PDF

Info

Publication number
JP2008178820A
JP2008178820A JP2007015174A JP2007015174A JP2008178820A JP 2008178820 A JP2008178820 A JP 2008178820A JP 2007015174 A JP2007015174 A JP 2007015174A JP 2007015174 A JP2007015174 A JP 2007015174A JP 2008178820 A JP2008178820 A JP 2008178820A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid
flow path
channel
ejecting head
droplet ejecting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2007015174A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Haruhiko Ishihara
治彦 石原
Shizuo Kinoshita
静雄 木下
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP2007015174A priority Critical patent/JP2008178820A/en
Publication of JP2008178820A publication Critical patent/JP2008178820A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a droplet ejection head-filling device which can prevent generation of ejection failure due to residual bubbles. <P>SOLUTION: The droplet ejection head-filling device 1 is equipped with a means which inclines a droplet ejection head 2 having a fluid passage R1 composed of first internal passages 21 extending from a filling port H1 to a nozzle face M2, second internal passages 22 bending and extending from the first internal passages and communicating with a plurality of liquid chambers, and third internal passages 23 bending and extending from the second internal passages and communicating with a discharge port H2 so that the bending parts between the second internal passages 22 and the third internal passages 23 locate at the highest position in the fluid passage R1, and then supplies liquid to the fluid passage R1 of the droplet ejection head 2 in the above state, and inclines the droplet ejection head 2 in the above state so that the discharge port H2 is located at the highest position in the fluid passage R1 when an interface between the liquid advancing in the fluid passage R1 to make gas reach the bending parts. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、液滴を噴射する液滴噴射ヘッドに液体を充填する液滴噴射ヘッド充填装置及び液体が充填された液滴噴射ヘッドを用いる物品の製造方法に関する。   The present invention relates to a droplet ejecting head filling apparatus that fills a droplet ejecting head that ejects droplets and a method for manufacturing an article using the droplet ejecting head filled with the liquid.

液滴噴射ヘッド充填装置は、被塗布物に向けて液滴を噴射する液滴噴射ヘッドに液体を充填する装置である。液滴噴射ヘッドは、物品としての塗布物を製造するために用いる塗布装置である液滴噴射装置に搭載されて利用されている。この液滴噴射ヘッドとしては、例えばインクジェットヘッド等が挙げられる。なお、液滴噴射装置は、例えば、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置、電子放出表示装置、プラズマ表示装置及び電気泳動表示装置等の様々な表示装置を製造するために利用されている。   The droplet ejection head filling device is a device that fills a droplet ejection head that ejects droplets toward an object to be coated with liquid. The liquid droplet ejecting head is mounted and used in a liquid droplet ejecting apparatus that is a coating apparatus used for manufacturing a coated product as an article. Examples of the droplet ejecting head include an inkjet head. The liquid droplet ejecting apparatus is used to manufacture various display devices such as a liquid crystal display device, an organic EL (Electro Luminescence) display device, an electron emission display device, a plasma display device, and an electrophoretic display device. Yes.

液滴噴射ヘッドは、メインタンク等から供給される液体が流れる液体流路と、その液体流路から流入する液体をそれぞれ収容する複数の液室と、それらの液室にそれぞれ連通する複数のノズルを有するノズルプレートとを備えている（例えば、特許文献１参照）。この液滴噴射ヘッドは、圧電素子等を用いる圧電方式の液滴噴射ヘッドであり、液室内の容積変化に応じて、液室内の液体をノズルから液滴として噴射する。このような液滴噴射ヘッドでは、液体流路は複雑な構造になっているため、液体流路には、屈曲する箇所（屈曲部）が多数存在する。
特開２００５−２７０７４３号公報 The liquid droplet ejecting head includes a liquid channel through which a liquid supplied from a main tank or the like flows, a plurality of liquid chambers that respectively store the liquid flowing in from the liquid channel, and a plurality of nozzles that respectively communicate with the liquid chambers (For example, refer patent document 1). The liquid droplet ejecting head is a piezoelectric liquid droplet ejecting head using a piezoelectric element or the like, and ejects liquid in the liquid chamber from the nozzle as liquid droplets in accordance with the volume change in the liquid chamber. In such a liquid droplet ejecting head, since the liquid flow path has a complicated structure, the liquid flow path has many bent portions (bent portions).
JP-A-2005-270743

しかしながら、前述の液滴噴射ヘッド充填装置では、液体の充填中、液滴噴射ヘッドが固定されているため、気泡が溜まりやすい箇所（例えば、液体流路の屈曲部等の箇所）が生じる。気泡が液体流路内に残留すると、液滴の不噴射や噴射ヨレ等の噴射不良が発生してしまう。   However, in the above-described liquid droplet ejecting head filling apparatus, since the liquid droplet ejecting head is fixed during the liquid filling, there are places where bubbles tend to accumulate (for example, places such as bent portions of the liquid flow path). If bubbles remain in the liquid flow path, ejection failure such as non-ejection of droplets or ejection misalignment occurs.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、その目的は、気泡の残留による液滴の噴射不良の発生を防止することができる液滴噴射ヘッド充填装置及び物品の製造方法を提供することである。   The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide a droplet ejection head filling device and an article manufacturing method capable of preventing the occurrence of droplet ejection failure due to residual bubbles. It is.

本発明の実施の形態に係る第１の特徴は、液滴噴射ヘッド充填装置において、複数のノズルが形成されたノズル面と、複数のノズルにそれぞれ連通し、液体を収容する複数の液室と、充填口及び排出口が形成された面であってノズル面の反対面と、充填口からノズル面に向けて伸びる第１内部流路、第１内部流路から屈曲して伸び、複数の液室に連通する第２内部流路、及び第２内部流路から屈曲して伸び、排出口に連通する第３内部流路により構成された液体流路とを有するヘッドであって、液室内の液体をノズルから液滴として噴射する液滴噴射ヘッドを支持して傾ける支持傾斜部と、充填口から液体流路に液体を供給する液体供給部と、支持傾斜部により第２内部流路と第３内部流路との屈曲部が液体流路内で最も高い位置にある状態に液滴噴射ヘッドを傾け、屈曲部が液体流路内で最も高い位置にある状態になった液滴噴射ヘッドの液体流路に液体供給部により液体を供給し、液体流路を進行する液体における気体との界面が屈曲部に到達した場合、屈曲部が液体流路内で最も高い位置にある状態になった液滴噴射ヘッドを支持傾斜部により排出口が液体流路内で最も高い位置にある状態に傾ける制御手段とを備えることである。   A first feature according to an embodiment of the present invention is that, in the droplet ejecting head filling device, a nozzle surface on which a plurality of nozzles are formed, a plurality of liquid chambers that respectively communicate with the plurality of nozzles and store liquid A surface on which the filling port and the discharge port are formed, the opposite surface of the nozzle surface, a first internal channel extending from the filling port toward the nozzle surface, and a plurality of liquids bent from the first internal channel. A head having a second internal flow path communicating with the chamber and a liquid flow path formed by bending from the second internal flow path and communicating with the discharge port, A support inclined portion that supports and tilts a liquid droplet ejecting head that ejects liquid as droplets from a nozzle, a liquid supply portion that supplies liquid from the filling port to the liquid flow path, and a second inclined channel and (3) State in which the bent portion with the internal flow path is at the highest position in the liquid flow path The liquid ejecting head is tilted, and the liquid supply unit supplies the liquid to the liquid flow path of the liquid droplet ejecting head in which the bent portion is at the highest position in the liquid flow path. When the interface with the gas reaches the bent portion, the droplet ejection head that is in the state where the bent portion is at the highest position in the liquid channel is supported by the inclined support portion so that the discharge port is at the highest position in the liquid channel. And a control means for tilting to a certain state.

本発明の実施の形態に係る第２の特徴は、物品の製造方法において、複数のノズルが形成されたノズル面と、複数のノズルにそれぞれ連通し、液体を収容する複数の液室と、充填口及び排出口が形成された面であってノズル面の反対面と、充填口からノズル面に向けて伸びる第１内部流路、第１内部流路から屈曲して伸び、複数の液室に連通する第２内部流路、及び第２内部流路から屈曲して伸び、排出口に連通する第３内部流路により構成された液体流路とを有するヘッドであって、液室内の液体をノズルから液滴として噴射する液滴噴射ヘッドを、第２内部流路と第３内部流路との屈曲部が液体流路内で最も高い位置にある状態に傾け、屈曲部が液体流路内で最も高い位置にある状態になった液滴噴射ヘッドの液体流路に液体を供給し、液体流路を進行する液体における気体との界面が屈曲部に到達した場合、屈曲部が液体流路内で最も高い位置にある状態になった液滴噴射ヘッドを排出口が液体流路内で最も高い位置にある状態に傾け、液滴噴射ヘッドに液体を充填する充填工程と、液体が充填された液滴噴射ヘッドにより、液室内の液体をノズルから液滴として噴射し、液滴を被塗布物に塗布する塗布工程とを有することである。   A second feature according to the embodiment of the present invention is that, in the article manufacturing method, a nozzle surface on which a plurality of nozzles are formed, a plurality of liquid chambers that respectively communicate with the plurality of nozzles and store a liquid, and filling A surface formed with a mouth and a discharge port, which is opposite to the nozzle surface, a first internal channel extending from the filling port toward the nozzle surface, and a bent and extended from the first internal channel, into a plurality of liquid chambers A head having a second internal flow path communicating with the liquid flow path and a liquid flow path formed by bending from the second internal flow path and communicating with the discharge port; The liquid droplet ejection head that ejects liquid droplets from the nozzle is tilted so that the bent portion of the second internal flow path and the third internal flow path is at the highest position in the liquid flow path. Supply liquid to the liquid flow path of the liquid droplet ejecting head, which is in the highest position at When the interface with the gas in the liquid traveling through the body flow path reaches the bent portion, the liquid ejection head in the state where the bent portion is at the highest position in the liquid flow path By tilting to the highest position and filling the droplet ejection head with liquid, and the droplet ejection head filled with liquid, the liquid in the liquid chamber is ejected from the nozzle as droplets, and the droplets are covered. And an application step of applying to the application.

本発明によれば、気泡の残留による液滴の噴射不良の発生を防止することができる。   According to the present invention, it is possible to prevent the occurrence of defective ejection of droplets due to residual bubbles.

本発明の実施の一形態について図面を参照して説明する。   An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

図１に示すように、本発明の実施の形態に係る液滴噴射ヘッド充填装置１は、液滴を噴射する液滴噴射ヘッド２を支持して傾ける支持傾斜部３と、液滴噴射ヘッド２にインク等の液体を供給する液体供給部４と、それら各部の駆動を制御する制御部５とを備えている。   As shown in FIG. 1, a droplet ejecting head filling apparatus 1 according to an embodiment of the present invention includes a support inclined portion 3 that supports and tilts a droplet ejecting head 2 that ejects droplets, and a droplet ejecting head 2. A liquid supply unit 4 for supplying a liquid such as ink to the control unit 5 and a control unit 5 for controlling driving of each unit are provided.

液滴噴射ヘッド２は、箱型形状のヘッド本体２ａと、そのヘッド本体２ａに取り付けられたノズルプレート２ｂとを備えている。この液滴噴射ヘッド２としては、例えば、圧電素子を使用する圧電方式の液滴噴射ヘッドを用いる。   The droplet ejection head 2 includes a box-shaped head main body 2a and a nozzle plate 2b attached to the head main body 2a. As the droplet ejecting head 2, for example, a piezoelectric droplet ejecting head using a piezoelectric element is used.

ヘッド本体２ａの表面には、液体供給部４から供給される液体が流入する充填口Ｈ１と、液滴噴射ヘッド２から液体が流出する排出口Ｈ２とが設けられている。これらの充填口Ｈ１及び排出口Ｈ２は、ヘッド本体２ａの同一面であって、ノズルプレート２ｂが設けられた面の反対面Ｍ１に形成されている。   On the surface of the head main body 2a, a filling port H1 into which the liquid supplied from the liquid supply unit 4 flows and a discharge port H2 from which the liquid flows out from the droplet ejecting head 2 are provided. The filling port H1 and the discharge port H2 are formed on the same surface of the head main body 2a and on the surface M1 opposite to the surface on which the nozzle plate 2b is provided.

ヘッド本体２ａの内部には、図２に示すように、充填口Ｈ１から排出口Ｈ２まで伸びる液体流路Ｒ１と、その液体流路Ｒ１にそれぞれ連通し、液体流路Ｒ１から流入する液体を収容する複数の液室Ｅとが設けられている。   As shown in FIG. 2, the head main body 2a contains a liquid channel R1 extending from the filling port H1 to the discharge port H2, and a liquid flowing into the liquid channel R1 in communication with the liquid channel R1. A plurality of liquid chambers E are provided.

各液室Ｅは、ヘッド本体２ａにおけるノズルプレート２ｂ側に位置付けられ、ノズルプレート２ｂに平行に所定のピッチで２列に並べて設けられている。これらの液室Ｅには、液体流路Ｒ１から液体が流入して供給される。   The liquid chambers E are positioned on the nozzle plate 2b side of the head body 2a, and are arranged in two rows in parallel with the nozzle plate 2b at a predetermined pitch. A liquid flows into these liquid chambers E from the liquid flow path R1 and is supplied.

液体流路Ｒ１は、流路途中で分岐し、再度合流する構造になっており、第１液体流路Ｒ１ａ及び第２液体流路Ｒ１ｂから構成されている。第１液体流路Ｒ１ａは、ノズルプレート２ｂに向かって伸びる第１内部流路２１と、第１内部流路２１から屈曲して伸び、各液室Ｅに連通する第２内部流路２２と、第２内部流路２２から屈曲して伸び、排出口Ｈ２に連通する第３内部流路２３とにより構成されている。なお、第２液体流路Ｒ１ｂも、第１液体流路Ｒ１ａと同様である。第１内部流路２１及び第３内部流路２３はノズルプレート２ｂに対してほぼ垂直に伸びており、第２内部流路２４はノズルプレート２ｂに対して略平行に伸びている。なお、第１液体流路Ｒ１ａには、第１内部流路２１と第２内部流路２２との屈曲部Ｋ１が存在し、第２内部流路２２と第３内部流路２３との屈曲部Ｋ２が存在する。   The liquid flow path R1 has a structure that branches in the middle of the flow path and merges again, and includes a first liquid flow path R1a and a second liquid flow path R1b. The first liquid flow path R1a includes a first internal flow path 21 extending toward the nozzle plate 2b, a second internal flow path 22 that is bent and extends from the first internal flow path 21 and communicates with each liquid chamber E, The third internal flow path 22 is bent and extended from the second internal flow path 22 and communicates with the discharge port H2. The second liquid channel R1b is the same as the first liquid channel R1a. The first internal flow path 21 and the third internal flow path 23 extend substantially perpendicular to the nozzle plate 2b, and the second internal flow path 24 extends substantially parallel to the nozzle plate 2b. The first liquid channel R1a has a bent portion K1 between the first internal channel 21 and the second internal channel 22, and a bent portion between the second internal channel 22 and the third internal channel 23. K2 exists.

図１に戻り、ノズルプレート２ｂには、各液室Ｅにそれぞれ連通する複数のノズル（貫通孔）Ｎが設けられている。各ノズルＮは、ノズルプレート２ｂに所定のピッチで２列に並べて設けられている。例えば、ノズルＮの数は数十個から数百個程度であり、ノズルＮの直径は数μｍから数十μｍ程度であり、ノズルＮのピッチ（間隔）は数十μｍから数百μｍ程度である。なお、このノズルプレート２ｂの外面がノズル面Ｍ２となる。   Returning to FIG. 1, the nozzle plate 2b is provided with a plurality of nozzles (through holes) N communicating with the liquid chambers E, respectively. The nozzles N are arranged in two rows at a predetermined pitch on the nozzle plate 2b. For example, the number of the nozzles N is about several tens to several hundreds, the diameter of the nozzles N is about several μm to several tens of μm, and the pitch (interval) of the nozzles N is about several tens μm to several hundreds of μm. is there. The outer surface of the nozzle plate 2b is the nozzle surface M2.

このような液滴噴射ヘッド２は、各液室Ｅに対応させて設けられた複数の圧電素子（図示せず）に対する駆動電圧の印加により、各液室Ｅの容積を変化させ、各液室Ｅに収容された液体を対応するノズルＮから液滴として被塗布物に向けて噴射し、被塗布物の表面に所定のドットパターンを形成する。   Such a liquid droplet ejecting head 2 changes the volume of each liquid chamber E by applying a driving voltage to a plurality of piezoelectric elements (not shown) provided corresponding to each liquid chamber E, and The liquid stored in E is ejected as droplets from the corresponding nozzle N toward the object to be coated to form a predetermined dot pattern on the surface of the object to be coated.

なお、ノズルプレート２ｂには、液滴噴射ヘッド２に対して液体の充填を行う際、全てのノズルＮを塞ぐキャップＣが取り付けられる。このキャップＣは、充填中の液体の垂れ流しを防止するための部材である。ここで、ノズルＮの直径が液体の垂れ流しが発生しない程度に小さい場合には、キャップＣを設ける必要はない。なお、充填中に液体の垂れ流しが発生しないノズルＮの直径は、液体の種類や粘度等の様々な要因に応じて変化する。   Note that a cap C that closes all the nozzles N is attached to the nozzle plate 2b when the liquid droplet ejection head 2 is filled with liquid. The cap C is a member for preventing the liquid from flowing down during filling. Here, when the diameter of the nozzle N is small enough to prevent the liquid from flowing down, the cap C need not be provided. It should be noted that the diameter of the nozzle N where no liquid dripping occurs during filling varies depending on various factors such as the type of liquid and viscosity.

キャップＣは、液滴噴射ヘッド２にノズルプレート２ｂの各ノズルＮを塞いでノズル面Ｍ２を覆うように着脱可能に形成されている。このキャップＣは、液滴噴射ヘッド２の側面を復元力により挟持し、ノズルプレート２ｂのノズル面Ｍ２を覆うようにヘッド本体２ａに取り付けられる。なお、キャップＣには、各ノズルＮに当接して塞ぐ部材として密着性を有する弾性体（例えば、シリコーン）が設けられている。この弾性体の表面には、ノズルＮから流出した液体による劣化を防止するためのフィルム（例えば、カプトンフィルム）が貼り付けられている。   The cap C is detachably formed so as to cover the nozzle surface M2 by closing the nozzles N of the nozzle plate 2b on the droplet ejection head 2. The cap C is attached to the head main body 2a so as to sandwich the side surface of the droplet ejecting head 2 with a restoring force and cover the nozzle surface M2 of the nozzle plate 2b. The cap C is provided with an elastic body (for example, silicone) having adhesiveness as a member that contacts and closes each nozzle N. A film (for example, Kapton film) for preventing deterioration due to the liquid flowing out from the nozzle N is attached to the surface of the elastic body.

支持傾斜部３は、液滴噴射ヘッド２を支持し、軸心Ｚを中心に回転可能に設けられた支持部材３ａと、その支持部材３ａを回動させるモータ等の駆動源３ｂと備えている。支持部材３ａには、液滴噴射ヘッド２がボルト等の締結部材により着脱可能に取り付けられる。この支持傾斜部３は、駆動源３ｂの駆動力により支持部材３ａを回動させ、液滴噴射ヘッド２を基準位置から所定角度だけ傾ける。   The support inclined portion 3 includes a support member 3a that supports the droplet ejecting head 2 and is rotatable about an axis Z, and a drive source 3b such as a motor that rotates the support member 3a. . The droplet ejecting head 2 is detachably attached to the support member 3a by a fastening member such as a bolt. The support inclined portion 3 rotates the support member 3a by the driving force of the drive source 3b, and tilts the droplet ejecting head 2 by a predetermined angle from the reference position.

液体供給部４は、インク等の液体を収容するメインタンク４ａと、水頭差ｈを調整するためのバッファタンク（中間タンク）４ｂと、そのバッファタンク４ｂ内の液体量を検出するセンサ４ｃと、液滴噴射ヘッド２に液体を供給するための送液ポンプＰ１と、液滴噴射ヘッド２から液体をメインタンク４ａに戻すための送液ポンプＰ２とを備えている。   The liquid supply unit 4 includes a main tank 4a for storing a liquid such as ink, a buffer tank (intermediate tank) 4b for adjusting the water head difference h, a sensor 4c for detecting the amount of liquid in the buffer tank 4b, A liquid feed pump P1 for supplying liquid to the liquid droplet ejecting head 2 and a liquid feed pump P2 for returning liquid from the liquid droplet ejecting head 2 to the main tank 4a are provided.

メインタンク４ａとバッファタンク４ｂとは、液体が流れる第１液体供給流路Ｒ２により接続されている。また、バッファタンク４ｂと液滴噴射ヘッド２の充填口Ｈ１とは、液体が流れる第２液体供給流路Ｒ３により接続されている。液滴噴射ヘッド２の排出口Ｈ２とメインタンク４ａとは、液滴噴射ヘッド２の排出口Ｈ２から流出した液体が流れる液体戻し流路Ｒ４により接続されている。これらの第１液体供給流路Ｒ２、第２液体供給流路Ｒ３及び液体戻し流路Ｒ４としては、例えば、可撓性を有するチューブやパイプ等を用いる。なお、第２液体供給流路Ｒ３及び液体戻し流路Ｒ４は、液滴噴射ヘッド２が支持傾斜部３により回動可能である十分な長さに形成されている。   The main tank 4a and the buffer tank 4b are connected by a first liquid supply channel R2 through which liquid flows. Further, the buffer tank 4b and the filling port H1 of the droplet jet head 2 are connected by a second liquid supply channel R3 through which a liquid flows. The discharge port H2 of the droplet ejecting head 2 and the main tank 4a are connected by a liquid return channel R4 through which the liquid flowing out from the discharge port H2 of the droplet ejecting head 2 flows. As the first liquid supply flow path R2, the second liquid supply flow path R3, and the liquid return flow path R4, for example, a flexible tube or pipe is used. The second liquid supply channel R3 and the liquid return channel R4 are formed to have a sufficient length that allows the droplet ejection head 2 to be rotated by the support inclined portion 3.

送液ポンプＰ１は第１液体供給流路Ｒ２の途中に設けられており、送液ポンプＰ２は液体戻し流路Ｒ４の途中に設けられている。これらの送液ポンプＰ１、Ｐ２が液体を送液するための駆動源となり、液体が各流路を流れる。   The liquid feed pump P1 is provided in the middle of the first liquid supply flow path R2, and the liquid feed pump P2 is provided in the middle of the liquid return flow path R4. These liquid feeding pumps P1 and P2 serve as driving sources for feeding liquid, and the liquid flows through the respective flow paths.

バッファタンク４ｂは、その内部に貯留した液体の液面と液滴噴射ヘッド２のノズル面Ｍ２との水頭差ｈを利用し、ノズル先端の液体の液面（メニスカス）を調整する。これにより、液体の漏れ出しや噴射不良が防止される。   The buffer tank 4b adjusts the liquid level (meniscus) of the liquid at the tip of the nozzle by utilizing the water head difference h between the liquid level of the liquid stored therein and the nozzle surface M2 of the droplet jet head 2. This prevents liquid leakage and ejection failure.

センサ４ｃは、例えば、バッファタンク４ｂ内の液体の液面高さを検出する液面センサである。この液面センサとしては、例えば、超音波式のセンサ等を用いる。このようなセンサ４ｃにより、バッファタンク４ｂ内の液体量の減少、すなわち液面の低下が検出されると、液体がメインタンク４ａからバッファタンク４ｂに供給される。   The sensor 4c is, for example, a liquid level sensor that detects the liquid level of the liquid in the buffer tank 4b. For example, an ultrasonic sensor or the like is used as the liquid level sensor. When the sensor 4c detects a decrease in the amount of liquid in the buffer tank 4b, that is, a decrease in the liquid level, the liquid is supplied from the main tank 4a to the buffer tank 4b.

制御部５は、各部を制御するマイクロコンピュータ、さらに、制御プログラムや各種データ等を記憶する記憶部等を備えており、支持傾斜部３及び液体供給部４等の各部の駆動を制御する。この制御部５には、支持傾斜部３の駆動源３ｂ、液体供給部４の送液ポンプＰ１、Ｐ２及びセンサ４ｃが電気的に接続されている。なお、制御部５は、例えば、液滴噴射ヘッド２内に充填される液体の流量が一定になるように送液ポンプＰ１、Ｐ２等を制御する。これにより、液体の流動に起因する気泡の発生を抑えることができる。   The control unit 5 includes a microcomputer that controls each unit, a storage unit that stores a control program, various data, and the like, and controls driving of each unit such as the support inclined unit 3 and the liquid supply unit 4. The control unit 5 is electrically connected to a drive source 3b of the support inclined unit 3, liquid feed pumps P1 and P2 of the liquid supply unit 4, and a sensor 4c. Note that the control unit 5 controls, for example, the liquid feed pumps P1 and P2 so that the flow rate of the liquid filled in the droplet ejecting head 2 is constant. Thereby, generation | occurrence | production of the bubble resulting from the flow of a liquid can be suppressed.

次に、液滴噴射ヘッド充填装置１の液体充填動作について説明する。液滴噴射ヘッド充填装置１の制御部５が各種のプログラムに基づいて液体充填処理を実行する。   Next, the liquid filling operation of the droplet jet head filling device 1 will be described. The control unit 5 of the droplet jet head filling device 1 executes liquid filling processing based on various programs.

図３に示すように、制御部５は、支持傾斜部３の支持部材３ａを回動させ、液滴噴射ヘッド２を基準位置から傾けて第１停止位置に停止させる（ステップＳ１）。これにより、液滴噴射ヘッド２は、図４に示すように、第２内部流路２２と第３内部流路２３との屈曲部Ｋ２が液体流路Ｒ１（第１液体流路Ｒ１ａ及び第２液体流路Ｒ１ｂ）内で最も高い位置になる角度だけ基準位置から傾いた状態になる。第１停止位置は、屈曲部Ｋ２が液体流路Ｒ１内で最も高い位置になる停止位置である。   As shown in FIG. 3, the control unit 5 rotates the support member 3 a of the support inclined unit 3, and tilts the droplet ejecting head 2 from the reference position to stop it at the first stop position (step S <b> 1). As a result, as shown in FIG. 4, in the liquid droplet ejecting head 2, the bent portion K <b> 2 between the second internal flow path 22 and the third internal flow path 23 has the liquid flow path R <b> 1 (first liquid flow path R <b> 1 a and second liquid flow path The liquid channel R1b) is inclined from the reference position by an angle that is the highest position in the liquid channel R1b). The first stop position is a stop position where the bent portion K2 is the highest position in the liquid flow path R1.

ここで、図１に示す液滴噴射ヘッド２のノズル面Ｍ２が重力方向、すなわち真下を向いている状態の位置を支持部材３ａの回転角度が０度である基準位置とし、支持部材３ａの回転方向である図１中の時計回り方向をプラスにした場合には、図４に示す液滴噴射ヘッド２の第１停止位置は、支持部材３ａの回転角度が１３５度である位置となる。   Here, the position where the nozzle surface M2 of the liquid droplet ejecting head 2 shown in FIG. 1 is directed in the direction of gravity, that is, directly below, is defined as a reference position where the rotation angle of the support member 3a is 0 degree, and the rotation of the support member 3a. When the clockwise direction in FIG. 1 which is the direction is plus, the first stop position of the droplet ejecting head 2 shown in FIG. 4 is a position where the rotation angle of the support member 3a is 135 degrees.

その後、制御部５は、液体供給部４の送液ポンプＰ１、Ｐ２を駆動し、液滴噴射ヘッド２の液体流路Ｒ１に対する液体の供給を開始する（ステップＳ２）。これにより、図４に示すように、液体は、液滴噴射ヘッド２の充填口Ｈ１から液体流路Ｒ１、すなわち第１液体流路Ｒ１ａ及び第２液体流路Ｒ１ｂに供給され、それらの第１液体流路Ｒ１ａ及び第２液体流路Ｒ１ｂを進行していく。このとき、液体が第１液体流路Ｒ１ａ及び第２液体流路Ｒ１ｂの各々の第２内部流路２２に達すると、その一部が第２内部流路２２に連通する各液室Ｅに流入し、それらの液室Ｅ内に収容される。なお、液滴噴射ヘッド２が第１停止位置にあることによって、気泡が溜まりやすい箇所の発生が抑えられる。さらに、第１内部流路２１及び第２内部流路２２を進行する液体における気体との界面は重力に逆らう方向、すなわち上方に向かって移動するので、第１内部流路２１又は第２内部流路２２に残留する気泡は液体の流動及び浮力により液体流路Ｒ１に沿って移動することになる。   Thereafter, the control unit 5 drives the liquid feeding pumps P1 and P2 of the liquid supply unit 4 to start supplying the liquid to the liquid flow path R1 of the liquid droplet ejecting head 2 (step S2). Thereby, as shown in FIG. 4, the liquid is supplied from the filling port H1 of the droplet ejecting head 2 to the liquid flow path R1, that is, the first liquid flow path R1a and the second liquid flow path R1b. It proceeds in the liquid flow path R1a and the second liquid flow path R1b. At this time, when the liquid reaches the second internal flow path 22 of each of the first liquid flow path R 1 a and the second liquid flow path R 1 b, a part of the liquid flows into each liquid chamber E communicating with the second internal flow path 22. And stored in the liquid chamber E. In addition, since the liquid droplet ejecting head 2 is at the first stop position, occurrence of a portion where bubbles tend to accumulate can be suppressed. Furthermore, since the interface with the gas in the liquid traveling in the first internal channel 21 and the second internal channel 22 moves in the direction against gravity, that is, upward, the first internal channel 21 or the second internal channel Bubbles remaining in the path 22 move along the liquid flow path R1 due to the flow and buoyancy of the liquid.

次いで、制御部５は、液体が所定の充填量（すなわち、液体が２つの第１内部流路２１及び２つの第２内部流路２２を満たす量）だけ充填されたか否かを判断し（ステップＳ３）、所定の充填量の液体充填に待機する（ステップＳ３のＮＯ）。すなわち、図４に示すように、第２内部流路２２を進行する液体における気体との界面が屈曲部Ｋ２に到達することに待機する。ここで、制御部５は、液体流路Ｒ１に充填された液体の充填量に基づいて、液体流路Ｒ１を進行する液体における気体との界面が屈曲部Ｋ２に到達したか否かを判断している。   Next, the control unit 5 determines whether or not the liquid has been filled by a predetermined filling amount (that is, an amount by which the liquid fills the two first internal flow paths 21 and the two second internal flow paths 22) (Step S5). S3) Waits for liquid filling with a predetermined filling amount (NO in step S3). That is, as shown in FIG. 4, it waits for the interface with the gas in the liquid which advances the 2nd internal flow path 22 to reach the bending part K2. Here, the control unit 5 determines whether the interface with the gas in the liquid traveling in the liquid flow path R1 has reached the bent portion K2 based on the filling amount of the liquid filled in the liquid flow path R1. ing.

液体が所定の充填量だけ充填されたと判断した場合には（ステップＳ３のＹＥＳ）、支持傾斜部３の支持部材３ａを回動させ、液滴噴射ヘッド２を第１停止位置から傾けて第２停止位置に停止させる（ステップＳ４）。これにより、液滴噴射ヘッド２は、図５に示すように、排出口Ｈ２が液体流路Ｒ１（第１液体流路Ｒ１ａ及び第２液体流路Ｒ１ｂ）内で最も高い位置になる角度だけ基準位置から傾いた状態になる。なお、第２停止位置は、排出口Ｈ２が液体流路Ｒ１内で最も高い位置になる停止位置である。   When it is determined that the liquid is filled by a predetermined filling amount (YES in step S3), the support member 3a of the support inclined portion 3 is rotated, and the droplet ejecting head 2 is tilted from the first stop position to be the second. Stop at the stop position (step S4). As a result, as shown in FIG. 5, the liquid droplet ejecting head 2 has a reference at an angle at which the discharge port H2 is at the highest position in the liquid flow path R1 (the first liquid flow path R1a and the second liquid flow path R1b). It is tilted from the position. The second stop position is a stop position where the discharge port H2 is the highest position in the liquid flow path R1.

ここで、図１に示す液滴噴射ヘッド２のノズル面Ｍ２が真下を向いている状態の位置を支持部材３ａの回転角度が０度である基準位置とし、支持部材３ａの回転方向を図１中の時計回り方向にした場合には、図５に示す液滴噴射ヘッド２の第２停止位置は、支持部材３ａの回転角度が４５度である位置となる。   Here, the position where the nozzle surface M2 of the liquid droplet ejecting head 2 shown in FIG. 1 is directly below is set as a reference position where the rotation angle of the support member 3a is 0 degree, and the rotation direction of the support member 3a is shown in FIG. In the clockwise direction, the second stop position of the droplet ejecting head 2 shown in FIG. 5 is a position where the rotation angle of the support member 3a is 45 degrees.

この状態で、図５に示すように、液体は各第３内部流路２３を進行し、排出口Ｈ２から流出し、液体戻し流路Ｒ４を介してメインタンク４ａに戻る。なお、液滴噴射ヘッド２が第２停止位置にあることによって、気泡が溜まりやすい箇所の発生が抑えられる。さらに、第２内部流路２２内の液体は上方に向かって流動し、第３内部流路２３を進行する液体における気体との界面は上方に向かって移動するので、第２内部流路２２又は第３内部流路２３に残留する気泡は液体の流動及び浮力により液体流路Ｒ１に沿って移動することになる。   In this state, as shown in FIG. 5, the liquid travels through each third internal flow path 23, flows out from the discharge port H2, and returns to the main tank 4a via the liquid return flow path R4. In addition, since the liquid droplet ejecting head 2 is at the second stop position, the occurrence of a portion where bubbles tend to accumulate can be suppressed. Furthermore, the liquid in the second internal flow path 22 flows upward, and the interface with the gas in the liquid traveling through the third internal flow path 23 moves upward, so that the second internal flow path 22 or Bubbles remaining in the third internal flow path 23 move along the liquid flow path R1 due to the flow and buoyancy of the liquid.

次いで、制御部５は、液体が所定の充填量（すなわち、液体が２つの第３内部流路２３を満たす量）だけ充填されたか否かを判断し（ステップＳ５）、所定の充填量の液体充填に待機する（ステップＳ５のＮＯ）。すなわち、図５に示すように、第３内部流路２３を進行する液体における気体との界面が排出口Ｈ２に到達することに待機する。ここで、制御部５は、液体流路Ｒ１に充填された液体の充填量に基づいて、液体流路Ｒ１を進行する液体における気体との界面が排出口Ｈ２に到達したか否かを判断している。   Next, the control unit 5 determines whether or not the liquid has been filled by a predetermined filling amount (that is, the amount by which the liquid fills the two third internal flow paths 23) (Step S5), and the liquid having the predetermined filling amount. Wait for filling (NO in step S5). That is, as shown in FIG. 5, it waits for the interface with the gas in the liquid which advances the 3rd internal flow path 23 to reach the discharge port H2. Here, the control unit 5 determines whether the interface with the gas in the liquid traveling in the liquid flow path R1 has reached the discharge port H2 based on the filling amount of the liquid filled in the liquid flow path R1. ing.

液体が所定の充填量だけ充填されたと判断した場合には（ステップＳ５のＹＥＳ）、支持傾斜部３の支持部材３ａを回動させ、液滴噴射ヘッド２を第２停止位置から傾けて第３停止位置に停止させる（ステップＳ６）。これにより、液滴噴射ヘッド２は、図６に示すように、第２内部流路２２が重力方向と平行な状態になる角度だけ基準位置から傾いた状態になる。なお、第３停止位置は、第２内部流路２２が重力方向と平行な状態になる停止位置である。   When it is determined that the liquid is filled by a predetermined filling amount (YES in step S5), the support member 3a of the support inclined portion 3 is rotated, and the droplet ejecting head 2 is tilted from the second stop position to be the third. Stop at the stop position (step S6). Thereby, as shown in FIG. 6, the droplet ejecting head 2 is inclined from the reference position by an angle at which the second internal flow path 22 is in a state parallel to the direction of gravity. The third stop position is a stop position at which the second internal flow path 22 is in a state parallel to the gravity direction.

ここで、図１に示す液滴噴射ヘッド２のノズル面Ｍ２が真下を向いている状態の位置を支持部材３ａの回転角度が０度である基準位置とし、支持部材３ａの回転方向を図１中の時計回り方向にした場合には、図６に示す液滴噴射ヘッド２の第３停止位置は、支持部材３ａの回転角度が９０度である位置となる。   Here, the position where the nozzle surface M2 of the liquid droplet ejecting head 2 shown in FIG. 1 is directly below is set as a reference position where the rotation angle of the support member 3a is 0 degree, and the rotation direction of the support member 3a is shown in FIG. In the clockwise direction, the third stop position of the droplet ejecting head 2 shown in FIG. 6 is a position where the rotation angle of the support member 3a is 90 degrees.

次いで、制御部５は、所定時間が経過したか否かを判断し（ステップＳ７）、所定時間の経過に待機する（ステップＳ７のＮＯ）。このとき、液体は所定時間だけ循環する。これにより、液体流路Ｒ１内の液体は流動するので、液体流路Ｒ１に残留した気泡は排出口Ｈ２から排出されたり、液室Ｅを介してノズルＮ内に移動したりする。なお、液滴噴射ヘッド２が第３停止位置にあることによって、第２内部流路２２内の液体は上方に向かって移動するので、第２内部流路２２に残留する気泡は液体の流動及び浮力により移動することになる。   Next, the control unit 5 determines whether or not a predetermined time has elapsed (step S7), and waits for the elapse of the predetermined time (NO in step S7). At this time, the liquid circulates for a predetermined time. Thereby, since the liquid in the liquid flow path R1 flows, the bubbles remaining in the liquid flow path R1 are discharged from the discharge port H2 or moved into the nozzle N via the liquid chamber E. Since the liquid in the second internal flow path 22 moves upward when the liquid droplet ejecting head 2 is at the third stop position, the bubbles remaining in the second internal flow path 22 It moves by buoyancy.

所定時間が経過したと判断した場合には（ステップＳ７のＹＥＳ）、支持傾斜部３の支持部材３ａを回動させ、液滴噴射ヘッド２を第３停止位置から傾けて第４停止位置に停止させる（ステップＳ８）。これにより、液滴噴射ヘッド２は、図７に示すように、ノズル面Ｍ２が上方を向く状態になる角度だけ基準位置から傾いた状態になる。なお、第４停止位置は、ノズル面Ｍ２が上方に向いた状態になる停止位置である。   When it is determined that the predetermined time has elapsed (YES in step S7), the support member 3a of the support inclined portion 3 is rotated, and the droplet ejecting head 2 is tilted from the third stop position and stopped at the fourth stop position. (Step S8). As a result, as shown in FIG. 7, the droplet ejecting head 2 is inclined from the reference position by an angle at which the nozzle surface M2 faces upward. Note that the fourth stop position is a stop position at which the nozzle surface M2 faces upward.

ここで、図１に示す液滴噴射ヘッド２のノズル面Ｍ２が真下を向いている状態の位置を支持部材３ａの回転角度が０度である基準位置とし、支持部材３ａの回転方向を図１中の時計回り方向にした場合には、図７に示す液滴噴射ヘッド２の第４停止位置は、支持部材３ａの回転角度が１８０度である位置となる。   Here, the position where the nozzle surface M2 of the liquid droplet ejecting head 2 shown in FIG. 1 is directly below is set as a reference position where the rotation angle of the support member 3a is 0 degree, and the rotation direction of the support member 3a is shown in FIG. In the clockwise direction, the fourth stop position of the droplet ejecting head 2 shown in FIG. 7 is a position where the rotation angle of the support member 3a is 180 degrees.

この状態で、図７に示すように、液滴噴射ヘッド２からキャップＣが取り外される（泡抜き）。このとき、液体流路Ｒ１内の液体は流動している。なお、液滴噴射ヘッド２が第４停止位置にあることによって、ノズル面Ｍ２が上方を向き、ノズルＮ内に残留した気泡が浮力及び液体の流動による圧力によりノズルＮの先端に移動することになる。これにより、ノズルＮから気泡を容易に排出することが可能となる。   In this state, as shown in FIG. 7, the cap C is removed from the droplet ejecting head 2 (foam removal). At this time, the liquid in the liquid flow path R1 is flowing. In addition, when the droplet ejecting head 2 is in the fourth stop position, the nozzle surface M2 faces upward, and the bubbles remaining in the nozzle N move to the tip of the nozzle N due to buoyancy and pressure due to liquid flow. Become. Thereby, it becomes possible to easily discharge bubbles from the nozzle N.

その後、制御部５は、液体流路Ｒ１に対する液体の充填を停止し（ステップＳ９）、処理を終了する。液体充填が完了した液滴噴射ヘッド２は、支持傾斜部３の支持部材３ａから取り外され、第２液体供給流路Ｒ３及びバッファタンク４ｂと共に、物品としての塗布物を製造するための液滴噴射装置等の塗布装置本体に取り付けられて使用される。なお、塗布装置は、液体が充填された液滴噴射ヘッド２を用いて、液滴噴射ヘッド２内の液体を液滴として噴射し、所定のドットパターンで被塗布物に液滴を塗布し、塗布物を製造する。   Thereafter, the controller 5 stops filling the liquid channel R1 with the liquid (step S9) and ends the process. The liquid droplet ejection head 2 that has been filled with liquid is removed from the support member 3a of the support inclined portion 3, and together with the second liquid supply flow path R3 and the buffer tank 4b, liquid droplet ejection for producing a coating as an article. It is used by being attached to a coating apparatus main body such as an apparatus. The coating apparatus uses the liquid droplet ejection head 2 filled with the liquid to eject the liquid in the liquid droplet ejection head 2 as liquid droplets, and applies the liquid droplets to the object to be coated with a predetermined dot pattern. A coating is produced.

以上説明したように、本発明の実施の形態によれば、液滴噴射ヘッド２を支持して傾ける支持傾斜部３を設け、液体流路Ｒ１を進行する液体における気体との界面が重力に逆らう方向、すなわち上方に向かって移動するように液体流路Ｒ１の構造に応じて支持傾斜部３により液滴噴射ヘッド２を傾け、傾けた液滴噴射ヘッド２の液体流路Ｒ１に液体供給部４により液体を供給することによって、気泡が溜まりやすい箇所の発生が抑えられつつ液体が充填されるので、液体流路Ｒ１から気泡を容易に排出することが可能になり、さらに、液体流路Ｒ１内の気泡は液体の流動及び浮力により液体流路Ｒ１に沿って移動することになるので、気泡が液体の流動だけで移動する場合に比べ、液体流路Ｒ１から気泡を容易に排出することが可能になる。これらのことから、気泡の残留による液滴の噴射不良の発生を防止することができる。また、インクの物性変化や液体流路Ｒ１の内壁状態等により気泡が残留した場合でも、その気泡も液体の流動及び浮力により液体流路Ｒ１に沿って容易に移動するので、液体流路Ｒ１から気泡を確実に排出することができる。   As described above, according to the embodiment of the present invention, the support inclined portion 3 that supports and inclines the droplet ejecting head 2 is provided, and the interface with the gas in the liquid traveling in the liquid flow path R1 opposes gravity. The droplet ejecting head 2 is tilted by the support inclined portion 3 in accordance with the structure of the liquid channel R1 so as to move in the direction, that is, upward, and the liquid supply unit 4 is supplied to the liquid channel R1 of the tilted droplet ejecting head 2. By supplying the liquid, the liquid is filled while suppressing the occurrence of locations where bubbles tend to accumulate, so that the bubbles can be easily discharged from the liquid channel R1, and further, the liquid channel R1 can be discharged. Bubbles move along the liquid flow path R1 due to the flow and buoyancy of the liquid, so that the bubbles can be easily discharged from the liquid flow path R1 as compared with the case where the bubbles move only by the flow of the liquid. become. For these reasons, it is possible to prevent the occurrence of liquid droplet ejection failure due to residual bubbles. Even if bubbles remain due to changes in the physical properties of the ink, the inner wall state of the liquid flow path R1, etc., the bubbles easily move along the liquid flow path R1 due to the flow and buoyancy of the liquid. Air bubbles can be reliably discharged.

特に、第２内部流路２２と第３内部流路２３との屈曲部Ｋ２が液体流路Ｒ１内で最も高い位置にある状態に液滴噴射ヘッド２を傾け、屈曲部Ｋ２が液体流路Ｒ１内で最も高い位置にある状態になった液滴噴射ヘッド２の液体流路Ｒ１に液体を供給し、液体流路Ｒ１を進行する液体における気体との界面が屈曲部Ｋ２に到達した場合、排出口Ｈ２が液体流路Ｒ１内で最も高い位置にある状態に液滴噴射ヘッド２を傾けることによって、気泡が溜まりやすい箇所の発生が確実に抑えられるので、液体流路Ｒ１から気泡を確実に排出することができ、さらに、液体流路Ｒ１内の気泡は液体の流動及び浮力により液体流路Ｒ１に沿って移動するので、気泡が液体の流動だけで移動する場合に比べ、液体流路Ｒ１から気泡を確実に排出することができる。   In particular, the liquid droplet ejecting head 2 is tilted so that the bent portion K2 between the second internal channel 22 and the third internal channel 23 is at the highest position in the liquid channel R1, and the bent portion K2 is in the liquid channel R1. When the liquid is supplied to the liquid flow path R1 of the liquid droplet ejecting head 2 that is in the highest position in the liquid and the interface with the gas in the liquid traveling through the liquid flow path R1 reaches the bent portion K2, By tilting the liquid droplet ejecting head 2 so that the outlet H2 is at the highest position in the liquid flow path R1, the occurrence of locations where bubbles tend to accumulate is reliably suppressed, so that the bubbles are reliably discharged from the liquid flow path R1. Furthermore, since the bubbles in the liquid flow path R1 move along the liquid flow path R1 due to the flow and buoyancy of the liquid, the bubbles from the liquid flow path R1 can be compared with the case where the bubbles move only by the flow of the liquid. Air bubbles can be discharged reliably

さらに、排出口Ｈ２が液体流路Ｒ１内で最も高い位置にある状態になった液滴噴射ヘッド２を第２内部流路２２が重力方向と平行である状態に傾け、第２内部流路２２が重力方向と平行である状態になった液滴噴射ヘッド２の液体流路Ｒ１内の液体を流動させることによって、第２内部流路２２に残留する気泡は液体の流動及び浮力により移動するので、気泡が液体の流動だけで移動する場合に比べ、液体流路Ｒ１から気泡を確実に排出することができる。なお、各液室Ｅに液体が流入する箇所等では、気泡が発生しやすいため、発生した気泡が第２内部流路２２内に留まることが多々ある。   Further, the droplet ejection head 2 in which the discharge port H2 is at the highest position in the liquid flow path R1 is tilted so that the second internal flow path 22 is parallel to the direction of gravity. Since the liquid in the liquid flow path R1 of the liquid droplet ejecting head 2 that is in a state parallel to the direction of gravity flows, the bubbles remaining in the second internal flow path 22 move due to the liquid flow and buoyancy. Compared with the case where the bubbles move only by the flow of the liquid, the bubbles can be reliably discharged from the liquid flow path R1. It should be noted that bubbles are likely to be generated at the location where the liquid flows into each liquid chamber E and the generated bubbles often remain in the second internal flow path 22.

加えて、第２内部流路２２が重力方向と平行である状態になった液滴噴射ヘッド２をノズル面Ｍ２が上方を向く状態に傾け、ノズル面Ｍ２が上方を向く状態になった液滴噴射ヘッド２の液体流路Ｒ１内の液体を流動させることによって、ノズルＮ内に残留した気泡が浮力及び液体の流動による圧力によりノズルＮの先端に移動することになるので、ノズルＮから気泡を容易に排出することができる。   In addition, the droplet ejecting head 2 in which the second internal flow path 22 is parallel to the direction of gravity is tilted so that the nozzle surface M2 faces upward, and the droplet in which the nozzle surface M2 faces upward. By causing the liquid in the liquid flow path R1 of the ejection head 2 to flow, the bubbles remaining in the nozzle N move to the tip of the nozzle N due to pressure due to buoyancy and liquid flow. It can be easily discharged.

（他の実施の形態）
なお、本発明は、前述の実施の形態に限るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。 (Other embodiments)
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention.

例えば、前述の実施の形態においては、第１液体供給流路Ｒ２、第２液体供給流路Ｒ３及び液体戻し流路Ｒ４等に、気泡を除去する脱気装置等の気泡除去部を設けていないが、これに限るものではなく、気泡除去部を設けるようにしてもよい。   For example, in the above-described embodiment, the first liquid supply flow path R2, the second liquid supply flow path R3, the liquid return flow path R4, and the like are not provided with a bubble removing unit such as a deaerator for removing bubbles. However, the present invention is not limited to this, and a bubble removing unit may be provided.

最後に、前述の実施の形態においては、各種の数値を挙げているが、それらの数値は例示であり、限定されるものではない。   Finally, in the above-described embodiment, various numerical values are listed, but these numerical values are merely examples and are not limited.

本発明の実施の一形態に係る液滴噴射ヘッド充填装置の概略構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows schematic structure of the droplet jet head filling apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 図１に示す液滴噴射ヘッド充填装置により液体が充填される液滴噴射ヘッドの概略構成を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view illustrating a schematic configuration of a liquid droplet ejecting head that is filled with liquid by the liquid droplet ejecting head filling apparatus illustrated in FIG. 1. 図１に示す液滴噴射ヘッド充填装置が行う液体充填動作の流れを示すフローチャートである。3 is a flowchart showing a flow of a liquid filling operation performed by the liquid droplet ejecting head filling apparatus shown in FIG. 1. 図３に示す液体充填動作の流れを説明するための第１停止位置に停止した液滴噴射ヘッドを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the droplet discharge head stopped in the 1st stop position for demonstrating the flow of the liquid filling operation | movement shown in FIG. 図３に示す液体充填動作の流れを説明するための第２停止位置に停止した液滴噴射ヘッドを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the droplet discharge head stopped in the 2nd stop position for demonstrating the flow of the liquid filling operation | movement shown in FIG. 図３に示す液体充填動作の流れを説明するための第３停止位置に停止した液滴噴射ヘッドを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the droplet discharge head stopped in the 3rd stop position for demonstrating the flow of the liquid filling operation | movement shown in FIG. 図３に示す液体充填動作の流れを説明するための第４停止位置に停止した液滴噴射ヘッドを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the droplet discharge head stopped in the 4th stop position for demonstrating the flow of the liquid filling operation | movement shown in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１…液滴噴射ヘッド充填装置、２…液滴噴射ヘッド、３…支持傾斜部、４…液体供給部、５…制御手段（制御部）、２１…第１内部流路、２２…第２内部流路、２３…第３内部流路、Ｅ…液室、Ｈ１…充填口、Ｈ２…排出口、Ｋ２…屈曲部、Ｎ…ノズル、Ｍ１…反対面、Ｍ２…ノズル面、Ｒ１…液体流路   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Droplet ejecting head filling apparatus, 2 ... Droplet ejecting head, 3 ... Support inclination part, 4 ... Liquid supply part, 5 ... Control means (control part), 21 ... 1st internal flow path, 22 ... 2nd inside Flow path, 23 ... third internal flow path, E ... liquid chamber, H1 ... filling port, H2 ... discharge port, K2 ... bent portion, N ... nozzle, M1 ... opposite surface, M2 ... nozzle surface, R1 ... liquid flow channel

Claims (4)

複数のノズルが形成されたノズル面と、前記複数のノズルにそれぞれ連通し、液体を収容する複数の液室と、充填口及び排出口が形成された面であって前記ノズル面の反対面と、前記充填口から前記ノズル面に向けて伸びる第１内部流路、前記第１内部流路から屈曲して伸び、前記複数の液室に連通する第２内部流路、及び前記第２内部流路から屈曲して伸び、前記排出口に連通する第３内部流路により構成された液体流路とを有するヘッドであって、前記液室内の液体を前記ノズルから液滴として噴射する液滴噴射ヘッドを支持して傾ける支持傾斜部と、
前記充填口から前記液体流路に液体を供給する液体供給部と、
前記支持傾斜部により前記第２内部流路と前記第３内部流路との屈曲部が前記液体流路内で最も高い位置にある状態に前記液滴噴射ヘッドを傾け、前記屈曲部が前記液体流路内で最も高い位置にある状態になった前記液滴噴射ヘッドの前記液体流路に前記液体供給部により前記液体を供給し、前記液体流路を進行する前記液体における気体との界面が前記屈曲部に到達した場合、前記屈曲部が前記液体流路内で最も高い位置にある状態になった前記液滴噴射ヘッドを前記支持傾斜部により前記排出口が前記液体流路内で最も高い位置にある状態に傾ける制御手段と、
を備えることを特徴とする液滴噴射ヘッド充填装置。 A nozzle surface on which a plurality of nozzles are formed, a plurality of liquid chambers that communicate with the plurality of nozzles, respectively, and store a liquid; a surface on which a filling port and a discharge port are formed; and a surface opposite to the nozzle surface A first internal flow path extending from the filling port toward the nozzle surface, a second internal flow path that bends and extends from the first internal flow path and communicates with the plurality of liquid chambers, and the second internal flow A head having a liquid flow path formed by a third internal flow path that bends and extends from the path and communicates with the discharge port, wherein the liquid in the liquid chamber is ejected as liquid droplets from the nozzle A support inclined portion that supports and tilts the head;
A liquid supply unit for supplying a liquid from the filling port to the liquid channel;
The liquid droplet ejecting head is tilted by the support inclined portion so that the bent portion of the second internal channel and the third internal channel is at the highest position in the liquid channel, and the bent portion is the liquid. The liquid supply unit supplies the liquid to the liquid flow path of the liquid droplet ejecting head that is in the highest position in the flow path, and an interface with the gas in the liquid traveling through the liquid flow path When the bent portion is reached, the discharge port is the highest in the liquid channel by the support inclined portion of the liquid droplet ejecting head in which the bent portion is at the highest position in the liquid channel. Control means for tilting to a position,
A liquid droplet ejecting head filling apparatus comprising: 前記制御手段は、前記排出口が前記液体流路内で最も高い位置にある状態になった前記液滴噴射ヘッドを前記支持傾斜部により前記第２内部流路が重力方向と平行である状態に傾け、前記第２内部流路が重力方向と平行である状態になった前記液滴噴射ヘッドの前記液体流路内の前記液体を前記液体供給部により流動させ、前記第２内部流路が重力方向と平行である状態になった前記液滴噴射ヘッドを前記支持傾斜部により前記ノズル面が上方を向く状態に傾け、前記ノズル面が上方を向く状態になった前記液滴噴射ヘッドの前記液体流路内の前記液体を前記液体供給部により流動させることを特徴とする請求項１記載の液滴噴射ヘッド充填装置。   The control means causes the liquid jet head to be in a state in which the discharge port is at the highest position in the liquid flow path so that the second internal flow path is parallel to the gravity direction by the support inclined portion. The liquid supply unit causes the liquid in the liquid channel of the droplet ejection head to be tilted and the second internal channel is parallel to the direction of gravity, and the second internal channel is The liquid in the liquid droplet ejecting head in which the nozzle surface is directed upward by tilting the liquid droplet ejecting head in a state parallel to the direction with the support inclined portion so that the nozzle surface faces upward. The liquid droplet ejection head filling device according to claim 1, wherein the liquid in the flow path is caused to flow by the liquid supply unit. 複数のノズルが形成されたノズル面と、前記複数のノズルにそれぞれ連通し、液体を収容する複数の液室と、充填口及び排出口が形成された面であって前記ノズル面の反対面と、前記充填口から前記ノズル面に向けて伸びる第１内部流路、前記第１内部流路から屈曲して伸び、前記複数の液室に連通する第２内部流路、及び前記第２内部流路から屈曲して伸び、前記排出口に連通する第３内部流路により構成された液体流路とを有するヘッドであって、前記液室内の液体を前記ノズルから液滴として噴射する液滴噴射ヘッドを、前記第２内部流路と前記第３内部流路との屈曲部が前記液体流路内で最も高い位置にある状態に傾け、前記屈曲部が前記液体流路内で最も高い位置にある状態になった前記液滴噴射ヘッドの前記液体流路に前記液体を供給し、前記液体流路を進行する前記液体における気体との界面が前記屈曲部に到達した場合、前記屈曲部が前記液体流路内で最も高い位置にある状態になった前記液滴噴射ヘッドを前記排出口が前記液体流路内で最も高い位置にある状態に傾け、前記液滴噴射ヘッドに前記液体を充填する充填工程と、
前記液体が充填された前記液滴噴射ヘッドにより、前記液室内の前記液体を前記ノズルから前記液滴として噴射し、前記液滴を被塗布物に塗布する塗布工程と、
を有することを特徴とする物品の製造方法。 A nozzle surface on which a plurality of nozzles are formed, a plurality of liquid chambers that communicate with the plurality of nozzles, respectively, and store a liquid; a surface on which a filling port and a discharge port are formed; and a surface opposite to the nozzle surface A first internal flow path extending from the filling port toward the nozzle surface, a second internal flow path that bends and extends from the first internal flow path and communicates with the plurality of liquid chambers, and the second internal flow A head having a liquid flow path formed by a third internal flow path that bends and extends from the path and communicates with the discharge port, wherein the liquid in the liquid chamber is ejected as liquid droplets from the nozzle The head is tilted so that the bent portion between the second internal channel and the third internal channel is at the highest position in the liquid channel, and the bent portion is at the highest position in the liquid channel. The liquid in the liquid flow path of the droplet ejecting head in a certain state The liquid droplet ejecting head that is in a state where the bent portion is at the highest position in the liquid channel when the interface with the gas in the liquid that is supplied and travels through the liquid channel reaches the bent portion Tilting the discharge port to the highest position in the liquid flow path, and filling the liquid into the liquid droplet ejecting head,
A coating step of spraying the liquid in the liquid chamber from the nozzle as the droplet by the droplet ejection head filled with the liquid, and applying the droplet to an object to be coated;
A method for producing an article comprising: 前記充填工程は、前記排出口が前記液体流路内で最も高い位置にある状態になった前記液滴噴射ヘッドを前記第２内部流路が重力方向と平行である状態に傾け、前記第２内部流路が重力方向と平行である状態になった前記液滴噴射ヘッドの前記液体流路内の前記液体を流動させ、前記第２内部流路が重力方向と平行である状態になった前記液滴噴射ヘッドを前記ノズル面が上方を向く状態に傾け、前記ノズル面が上方を向く状態になった前記液滴噴射ヘッドの前記液体流路内の前記液体を流動させることを特徴とする請求項３記載の物品の製造方法。   In the filling step, the liquid droplet ejecting head in which the discharge port is located at the highest position in the liquid channel is tilted so that the second internal channel is parallel to the direction of gravity, and the second The liquid in the liquid flow path of the liquid droplet ejecting head in a state where the internal flow path is parallel to the gravity direction is flowed, and the second internal flow path is in a state parallel to the gravity direction The liquid droplets in the liquid flow path of the liquid droplet ejecting head in which the liquid droplet ejecting head is tilted so that the nozzle surface faces upward and the nozzle surface is directed upward is flowed. Item 4. A method for producing an article according to Item 3.
JP2007015174A 2007-01-25 2007-01-25 Droplet ejection head-filling device and method for making article Pending JP2008178820A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007015174A JP2008178820A (en) 2007-01-25 2007-01-25 Droplet ejection head-filling device and method for making article

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007015174A JP2008178820A (en) 2007-01-25 2007-01-25 Droplet ejection head-filling device and method for making article

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008178820A true JP2008178820A (en) 2008-08-07

Family

ID=39723128

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007015174A Pending JP2008178820A (en) 2007-01-25 2007-01-25 Droplet ejection head-filling device and method for making article

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2008178820A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011125772A (en) * 2009-12-15 2011-06-30 Toshiba Corp Nozzle head loading device and the loading method
US8974046B2 (en) 2009-03-25 2015-03-10 Kabushiki Kaisha Toshiba Liquid circulation unit, liquid circulation apparatus and method of manufacturing coated body
JPWO2022029861A1 (en) * 2020-08-04 2022-02-10

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8974046B2 (en) 2009-03-25 2015-03-10 Kabushiki Kaisha Toshiba Liquid circulation unit, liquid circulation apparatus and method of manufacturing coated body
JP2011125772A (en) * 2009-12-15 2011-06-30 Toshiba Corp Nozzle head loading device and the loading method
JPWO2022029861A1 (en) * 2020-08-04 2022-02-10
WO2022029861A1 (en) * 2020-08-04 2022-02-10 株式会社 東芝 Application apparatus and application method
JP7170936B2 (en) 2020-08-04 2022-11-14 株式会社東芝 Coating device and coating method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4869155B2 (en) Manufacturing method of article
US7845784B2 (en) Ink supplying mechanism and ink supplying method
JP5737322B2 (en) Fluid ejecting apparatus and fluid supply method
US10569562B2 (en) Liquid ejecting apparatus and control method of liquid ejecting apparatus
JP2017065249A (en) Liquid discharge head, liquid discharge unit, and liquid discharge device
JP6004158B2 (en) Liquid ejector
JP2011073390A (en) Liquid jetting apparatus
JP2008068463A (en) Liquid discharge head
US20190077162A1 (en) Liquid ejecting apparatus and control method of liquid ejecting apparatus
JP2010052210A (en) Air bubble control unit, liquid ejection head, and liquid ejection device
JP2019130872A (en) Liquid ejection head, liquid ejection unit, and device ejecting liquid
JP2008178820A (en) Droplet ejection head-filling device and method for making article
JP2012210771A (en) Flow path forming member, liquid ejection head and liquid ejection device
US20070171265A1 (en) Ink supply apparatus of inkjet printing system
JP2016059863A (en) Coating applicator and method for removing bubble in coating head
JP2009274418A (en) Fluid jetting apparatus
JP4691943B2 (en) Bubble discharging method and droplet discharging method
JP5071196B2 (en) Fluid ejection device and maintenance method for fluid ejection device
JP5867557B2 (en) Liquid container
JP2008238414A (en) Liquid ejection head
JP2015112724A (en) Ink supply mechanism and ink supply method, and liquid droplet discharge device
JP2009247939A (en) Fluid jet device
JP2012192668A (en) Liquid injection head and liquid injection device
JP2011218595A (en) Liquid droplet discharging device
JP2004284277A (en) Ink jet recording head, ink jet recording device and method for supplying ink to ink jet recording head