JP2008176145A - 平面光波回路 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】平面光波回路1は、出射ポート3に接続された出力導波路4と出射ポート側の導波路端面2aに接続されないアイドル導波路5の2つの出力導波路を含む光導波路がシリコン基板2上に形成されたものである。この平面光波回路1は、アイドル導波路5と90度未満の角度θ(θ<90°)で交差する溝10を備え、アイドル導波路5が溝10との交差部11で終端されている。
【選択図】図1
Description
本発明の第1実施形態に係る平面光波回路を、図1〜図3に基づいて説明する。
このような構成を有する平面光波回路( Planer Lightwave Circuit, PLC)1に形成された各光導波路は、シリコン基板2上に光ファイバ製造技術と半導体微細加工技術を組み合わせて作られた石英ガラス光導波路である。なお、各光導波路は、Si導波路等他のものであっても良い。
加熱してガラス膜を溶融透明化する。この後、半導体集積回路製造技術であるフォトリソグラフィと反応性イオンエッチング(Reactive Ion Etching, RIE)で所望の導波路パターンを形成し、再びFHD法により上部クラッドを形成する。
図4は第2実施形態に係る平面光波回路の主要部を示している。
図5は第3実施形態に係る平面光波回路の主要部を示している。
図6は第4実施形態に係る平面光波回路の主要部を示している。
図7は本発明の第5実施形態に係る平面光波回路の概略構成を示している。
図8は本発明の第6実施形態に係る平面光波回路の概略構成を示している。
図9(A)は第7実施形態に係る平面光波回路の概略構成を示しており、同図(B)は同平面光波回路の主要部を示している。
図10(A)は第8実施形態に係る平面光波回路の概略構成を示しており、同図(B)は同平面光波回路の主要部を示している。
4,41〜4n…出力導波路、5,51〜5n…アイドル導波路、5a…曲線導波路、
5b…伝播光放射用曲線導波路、6,7…入射ポート、71〜7n…入射ポート、
8,8A,9…入力導波路、8A1〜8An…入力導波路、91〜9n…入力導波路、
10,10A…溝、11…交差部、12…伝播光を吸収する材料、
15,16…方向性結合器、17,18…導波路、
20,201〜20n,221〜22n…2×2のマッハツェンダ干渉計回路、
30…位相調整器、40…入射ポート群、41…出射ポート群、
511〜51n,521〜52n…アイドル導波路。
Claims (13)
- 少なくとも、出射ポートに接続された出力導波路と出射ポート側の導波路端面に接続されないアイドル導波路の2つの出力導波路を含む光導波路が基板上に形成された平面光波回路において、
前記アイドル導波路と90度未満の角度で交差する溝を備え、
前記アイドル導波路が前記溝との交差部で終端されていることを特徴とする平面光波回路。 - 前記アイドル導波路と前記溝との交差角を小さくかつ前記交差部の断面積を大きくするように、前記交差部におけるアイドル導波路を曲線導波路としたことを特徴とする請求項1に記載の平面光波回路。
- 前記アイドル導波路は、前記溝との交差部直前に伝播光放射用曲線導波路を有することを特徴とする請求項1叉は2に記載の平面光波回路。
- 前記溝に、伝播光を吸収する材料が注入されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一つに記載の平面光波回路。
- 前記光導波路は、2つの入射ポートと、前記2つの入射ポートにそれぞれ接続された2つの入力導波路と、前記2つの入力導波路と前記2つの出力導波路との間に接続された2×2のマッハツェンダ干渉計回路とを備え、前記マッハツェンダ干渉計回路から分岐された一方の導波路が前記出射ポートに接続された出力導波路であり、その他方の導波路が前記アイドル導波路であり、PLC型光分岐結合器として構成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一つに記載の平面光波回路。
- 2つの入射ポートを1組とする複数組の入射ポートからなる入射ポート群と、前記入射ポート群の各組の前記2つの入射ポートにそれぞれ接続された2つの入力導波路を1組とする複数組の入力導波路からなる入力導波路群と、前記2つの出力導波路を1組とする複数組の出力導波路からなる出力導波路群と、前記入力導波路群と前記出力導波路群との間にそれぞれ接続された複数の2×2のマッハツェンダ干渉計回路からなるマッハツェンダ干渉計回路群と、前記出力導波路群の各組の出力導波路の一方の出力導波路にそれぞれ接続された複数の出射ポートからなる出射ポート群と、を備え、PLC型光分岐結合器アレイとして構成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一つに記載の平面光波回路。
- 前記光導波路は、1つの入射ポートと、前記入射ポートに接続された入力導波路と前記入射ポートに接続されない入力導波路の2つの入力導波路と、前記2つの入力導波路と前記2つの出力導波路との間に接続された2×2のマッハツェンダ干渉計回路とを備え、
前記マッハツェンダー干渉計回路の2つの導波路の少なくとも一方に位相調整器が設けられており、PLC型可変光減衰器として構成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一つに記載の平面光波回路。 - 前記光導波路は、1つの入射ポートと、前記入射ポートに接続された入力導波路と、前記の入力導波路と前記2つの出力導波路との間に接続された1×2のマッハツェンダ干渉計回路とを備え、
前記マッハツェンダー干渉計回路の2つの導波路の少なくとも一方に位相調整器が設けられており、PLC型可変光減衰器として構成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一つに記載の平面光波回路。 - 複数の入射ポートからなる入射ポート群と、前記入射ポート群の各入射ポートにそれぞれ接続された入力導波路と前記入射ポートに接続されない入力導波路の2つの入力導波路を1組とする複数組の入力導波路からなる入力導波路群と、前記2つの出力導波路を1組とする複数組の出力導波路からなる出力導波路群と、前記入力導波路群と前記出力導波路群との間にそれぞれ接続された複数の2×2のマッハツェンダ干渉計回路からなるマッハツェンダ干渉計回路群と、前記出力導波路群の各組の出力導波路の一方の出力導波路にそれぞれ接続された複数の出射ポートからなる出射ポート群と、備え、前記複数のマッハツェンダー干渉計回路の2つの導波路の少なくとも一方に位相調整器がそれぞれ設けられており、PLC型可変光減衰器アレイとして構成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一つに記載の平面光波回路。
- 複数の入射ポートからなる入射ポート群と、前記入射ポート群の各入射ポートにそれぞれ接続された入力導波路からなる入力導波路群と、前記2つの出力導波路を1組とする複数組の出力導波路からなる出力導波路群と、前記入力導波路群と前記出力導波路群との間にそれぞれ接続された複数の1×2のマッハツェンダ干渉計回路からなるマッハツェンダ干渉計回路群と、前記出力導波路群の各組の出力導波路の一方の出力導波路にそれぞれ接続された複数の出射ポートからなる出射ポート群と、を備え、前記複数のマッハツェンダー干渉計回路の2つの導波路の少なくとも一方に位相調整器がそれぞれ設けられており、PLC型可変光減衰器アレイとして構成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一つに記載の平面光波回路。
- 前記マッハツェンダ干渉計回路群は、2段に縦接続された2つの2×2のマッハツェンダー干渉計回路をそれぞれ有し、
前記マッハツェンダ干渉計回路群の各2つのマッハツェンダー干渉計回路のうちの前段のマッハツェンダー干渉計回路から分岐された前記アイドル導波路と、後段の2×2のマッハツェンダー干渉計回路から分岐された前記アイドル導波路とは同じ前記溝との交差部で終端されており、PLC型2段可変光減衰器アレイとして構成されていることを特徴とする請求項9に記載の平面光波回路。 - 前記光導波路は、2つの入射ポートと、前記2つの入射ポートにそれぞれ接続された2つの入力導波路と、前記2つの入力導波路と前記2つの出力導波路との間に接続された2×2のマッハツェンダ干渉計回路とを備え、前記マッハツェンダ干渉計回路から分岐された一方の導波路が前記出射ポートに接続された出力導波路であり、その他方の導波路が前記アイドル導波路であり、PLC型2×1光スイッチとして構成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一つに記載の平面光波回路。
- 2つの入射ポートを1組とする複数組の入射ポートからなる入射ポート群と、前記入射ポート群の各組の前記2つの入射ポートにそれぞれ接続された2つの入力導波路を1組とする複数組の入力導波路からなる入力導波路群と、前記2つの出力導波路を1組とする複数組の出力導波路からなる出力導波路群と、前記入力導波路群と前記出力導波路群との間にそれぞれ接続された複数の2×2のマッハツェンダ干渉計回路からなるマッハツェンダ干渉計回路群と、前記出力導波路群の各組の出力導波路の一方の出力導波路にそれぞれ接続された複数の出射ポートからなる出射ポート群と、を備え、PLC型光スイッチアレイとして構成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一つに記載の平面光波回路。
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