JP2008168269A - Nozzle head and liquid discharge device - Google Patents

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誠一 横山
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Mimaki Engineering Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To appropriately enhance maintenability of a nozzle head. <P>SOLUTION: The nozzle head 12 discharges liquid droplets from a nozzle 302, and is provided with a chamber part 102 having the nozzle 302 discharging droplets and a liquid chamber 306 opened to a face different from a face formed with the nozzle 302; a diaphragm 202 covering at least the opening of the liquid chamber 306; a piezoelectric element 206 facing the opening of the liquid chamber 306 across the diaphragm 202; and a diaphragm pressing member 204 holding the piezoelectric element 206 and holding the diaphragm 202 between the chamber part 102 and itself. The chamber part 102 is fixed to the diaphragm pressing member 204 with screws 106 inserted toward the chamber part 102 from the diaphragm pressing member 204 side. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、ノズルヘッド及び液体吐出装置に関する。   The present invention relates to a nozzle head and a liquid ejection device.

従来、圧電素子の変位による圧力を利用してインク滴を吐出するインクジェットヘッドが知られている。また、従来、このようなインクジェットヘッドを構成する各部材をネジ止めにより固定する方法が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
特開２００５−２７０７４３号公報 2. Description of the Related Art Conventionally, inkjet heads that eject ink droplets using pressure generated by displacement of a piezoelectric element are known. Conventionally, a method of fixing each member constituting such an ink jet head by screwing is known (see, for example, Patent Document 1).
JP-A-2005-270743

特許文献１においては、ノズルプレート、インク室プレート、ダイヤフラム板、及びベース部材が、ノズルプレート側からベース部材に向かって挿入されるネジにより固定される。このような向きでネジが挿入されるのは、例えば、薄板状のノズルプレートと比べ、ベース部材の方が雌ネジ加工を行いやすいためである。   In Patent Document 1, a nozzle plate, an ink chamber plate, a diaphragm plate, and a base member are fixed by screws inserted from the nozzle plate side toward the base member. The reason why the screws are inserted in such a direction is that, for example, the base member is easier to perform female screw processing than a thin plate-like nozzle plate.

しかし、このような向きでネジを挿入する場合、ノズルプレートの表面に、ネジの頭部分が露出することとなる。そのため、例えばノズルのメンテナンスのためにチャンバ部の拭き取りを行う場合に、ネジの頭にワイパがあたり、スムースな拭き取りが出来なくなるおそれがある。また、この場合、ノズルプレートのノズルから吐出されたインクが、ネジの頭部分に付着しやすくなる。特に、ベース部材に対してノズルプレートが下側になる向きでインクジェットヘッドを使用する場合、ネジの頭部分へのインクの付着が顕著になる。   However, when the screw is inserted in such a direction, the head portion of the screw is exposed on the surface of the nozzle plate. Therefore, for example, when the chamber portion is wiped for maintenance of the nozzle, there is a possibility that the wiper hits the head of the screw and smooth wiping cannot be performed. In this case, the ink ejected from the nozzles of the nozzle plate is likely to adhere to the head portion of the screw. In particular, when the ink jet head is used with the nozzle plate facing downward with respect to the base member, ink adheres to the head portion of the screw.

そして、ネジの頭部分に付着したインクが乾燥すると、固化したインクがネジを固定してしまい、ネジを外すことが困難になる。また、例えば、固化したインクがネジの頭の溝を覆ってしまうと、ネジを回すことができなくなってしまう。そのため、従来の構成では、インクジェットヘッドの洗浄等のためにインクジェットヘッドを分解しようとする場合に、ネジを外すことが困難になる場合がある。   When the ink attached to the head portion of the screw dries, the solidified ink fixes the screw, making it difficult to remove the screw. For example, if the solidified ink covers the groove at the head of the screw, the screw cannot be turned. For this reason, in the conventional configuration, it may be difficult to remove the screw when disassembling the inkjet head for cleaning the inkjet head or the like.

そのため、従来、インクジェットヘッドのメンテナンスが困難になる場合があった。そこで、本発明は、上記の課題を解決できるノズルヘッド及び液体吐出装置を提供することを目的とする。   Therefore, conventionally, maintenance of the ink jet head may be difficult. SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is that it provides a nozzle head and a liquid ejection apparatus that can solve the above-described problems.

上記の課題を解決するために、本発明は、以下の構成を有する。
（構成１）ノズルから液滴を吐出するノズルヘッドであって、液滴を吐出するノズルと、ノズルが形成されている面とは異なる面に開口する液室とを有するチャンバ部と、液室の開口部を少なくとも覆うダイヤフラムと、ダイヤフラムを挟んで液室の開口部と対向する圧電素子と、圧電素子を保持しつつ、チャンバ部との間にダイヤフラムを挟むダイヤフラム押さえ部材とを備え、チャンバ部は、ダイヤフラム押さえ部材に対し、ダイヤフラム押さえ部材の側からチャンバ部に向かって挿入されるネジにより固定される。 In order to solve the above problems, the present invention has the following configuration.
(Configuration 1) A nozzle head that discharges droplets from a nozzle, the chamber having a nozzle that discharges droplets, and a liquid chamber that opens to a surface different from the surface on which the nozzle is formed, and a liquid chamber A diaphragm that covers at least the opening of the chamber, a piezoelectric element that faces the opening of the liquid chamber with the diaphragm interposed therebetween, and a diaphragm pressing member that holds the piezoelectric element and sandwiches the diaphragm between the chamber section and the chamber section. Is fixed to the diaphragm pressing member by screws inserted from the diaphragm pressing member side toward the chamber portion.

このように構成した場合、ネジの頭部分は、ダイアフラム押さえ部材側に位置する。そのため、ノズルのメンテナンスのためにチャンバ部の拭き取りを行う場合に、ネジの頭にワイパがあたることはない。従って、このように構成すれば、チャンバ部の拭き取りをスムースに行うことができる。また、これにより、ノズルヘッドのメンテナンス性を適切に高めることができる。また、このように構成した場合、ネジの頭の位置がチャンバ部から遠くなる。そのため、ノズルから吐出される液体がネジの頭に付着することを防ぐことができる。また、これにより、例えば、乾燥により固化した液体がネジの頭の溝を覆うことを防ぐことができる。そのため、このように構成すれば、ノズルヘッドのメンテナンス性を更に適切に高めることができる。   When configured in this manner, the head portion of the screw is located on the diaphragm pressing member side. Therefore, when wiping the chamber part for maintenance of the nozzle, the wiper does not hit the head of the screw. Therefore, if comprised in this way, the chamber part can be wiped off smoothly. Thereby, the maintainability of the nozzle head can be improved appropriately. Moreover, when comprised in this way, the position of the head of a screw will become far from a chamber part. Therefore, the liquid discharged from the nozzle can be prevented from adhering to the screw head. This can also prevent, for example, the liquid solidified by drying from covering the groove at the head of the screw. Therefore, if comprised in this way, the maintainability of a nozzle head can be improved further appropriately.

また、例えば印刷装置等の液体吐出装置にノズルヘッドが取り付けられた状態において、ダイヤフラム押さえ部材側は、チャンバ部側と比べ、空間的な余裕が大きい場合が多い。そのため、ダイヤフラム押さえ部材の側からネジを挿入する場合、液体吐出装置にノズルヘッドを取り付けたままの状態で、ネジを操作しやすくなる。そのため、例えば、液体吐出装置からノズルヘッドを取り外すことなく、ネジを一旦外し、チャンバ部をダイヤフラム押さえ部材等から分離できる。この場合、チャンバ部のみの洗浄や交換等が容易になるため、ノズルヘッドのメンテナンス性を更に適切に高めることができる。   Further, for example, in a state where the nozzle head is attached to a liquid ejection apparatus such as a printing apparatus, the diaphragm pressing member side often has a large space margin compared to the chamber part side. Therefore, when a screw is inserted from the diaphragm pressing member side, the screw can be easily operated with the nozzle head attached to the liquid ejection device. Therefore, for example, without removing the nozzle head from the liquid ejection device, the screws can be temporarily removed and the chamber portion can be separated from the diaphragm pressing member and the like. In this case, since only the chamber portion can be easily cleaned or replaced, the maintenance performance of the nozzle head can be further appropriately improved.

（構成２）チャンバ部は、ネジを止めるための雌ネジ加工がされたネジ孔を有する。このように構成すれば、ダイヤフラム押さえ部材に対するチャンバ部の固定を、ダイヤフラム押さえ部材の側からチャンバ部に向かって挿入されるネジにより適切に行うことができる。   (Configuration 2) The chamber portion has a screw hole in which a female screw is formed to stop the screw. If comprised in this way, fixation of the chamber part with respect to a diaphragm pressing member can be performed appropriately with the screw inserted toward the chamber part from the diaphragm pressing member side.

尚、雌ネジ加工可能を適切に行うために、チャンバ部は、例えば１ｍｍ以上の厚さを有することが好ましい。チャンバ部の厚さは、例えば１〜５ｍｍ、望ましくは２〜３ｍｍである。   Note that the chamber portion preferably has a thickness of, for example, 1 mm or more in order to appropriately perform internal thread machining. The thickness of the chamber portion is, for example, 1 to 5 mm, desirably 2 to 3 mm.

（構成３）チャンバ部のネジ孔は、止め孔である。ネジ孔が貫通孔である場合、チャンバ部の下面において、ネジ孔の部分は、ネジの長さが不足して凹状部となるか、ネジの足が露出して凸状部となるおそれがある。また、ネジの長さに過不足がないとしても、ネジとネジ孔の境界部が凹状部となってしまうおそれがある。   (Configuration 3) The screw hole of the chamber portion is a stop hole. When the screw hole is a through-hole, the screw hole portion on the lower surface of the chamber portion may be a concave portion due to insufficient screw length, or a screw leg may be exposed to become a convex portion. . Even if the length of the screw is not excessive or insufficient, the boundary between the screw and the screw hole may be a concave portion.

このような場合、その部分に液体が付着して、固化するおそれがある。また、チャンバ部の下面に凹凸があると、例えば、付着した液体を拭き取り等により除去することが困難になるおそれがある。これに対し、このように構成した場合、液体が付着しやすくなる凹凸が、ネジの影響によりチャンバ部の下面にできることはない。また、下面に液体が付着した場合であっても、例えば拭き取りにより、液体を容易に除去できる。   In such a case, there is a possibility that the liquid adheres to the portion and solidifies. Moreover, if the lower surface of the chamber portion is uneven, it may be difficult to remove the attached liquid by wiping or the like. On the other hand, when configured in this way, there is no unevenness on the lower surface of the chamber part due to the influence of screws, which makes it easy for liquid to adhere. Moreover, even when the liquid adheres to the lower surface, the liquid can be easily removed by wiping, for example.

（構成４）ノズルは、チャンバ部においてノズルヘッドの使用時に下方を向く面である下面から液滴を吐出し、チャンバ部の下面は、ノズルの開口部以外の領域が平滑な面である。   (Configuration 4) The nozzle discharges droplets from the lower surface, which is a surface facing downward when the nozzle head is used in the chamber portion, and the lower surface of the chamber portion is a surface that is smooth except for the nozzle opening.

チャンバ部の下面からノズルが液滴を吐出する場合、チャンバ部の下面に対する液体の付着が特に生じやすくなる。しかし、このように構成すれば、吐出された液体が下面に付着した場合でも、例えば拭き取りによって容易に除去できる。そのため、ノズルヘッドのメンテナンス性を更に適切に高めることができる。また、チャンバ部の下面は、撥水処理されていることが好ましい。このように構成すれば、液体の付着を更に適切に防ぐことができる。   In the case where the nozzle discharges droplets from the lower surface of the chamber portion, the liquid adheres particularly easily to the lower surface of the chamber portion. However, with this configuration, even when the discharged liquid adheres to the lower surface, it can be easily removed by, for example, wiping. Therefore, the maintenance performance of the nozzle head can be further improved appropriately. Moreover, it is preferable that the lower surface of the chamber part is subjected to water repellent treatment. If comprised in this way, adhesion of a liquid can be prevented further appropriately.

（構成５）液滴を吐出する液体吐出装置であって、構成１から４のいずれかに記載のノズルヘッドと、ノズルヘッドを制御する制御部とを備える。このように構成すれば、例えば、構成１から４と同様の効果を得ることができる。   (Configuration 5) A liquid discharge apparatus that discharges droplets, comprising the nozzle head according to any one of Configurations 1 to 4 and a control unit that controls the nozzle head. If comprised in this way, the effect similar to the structures 1 to 4 can be acquired, for example.

本発明によれば、例えば、ノズルヘッドのメンテナンス性を適切に高めることができる。   According to the present invention, for example, it is possible to appropriately improve the maintainability of the nozzle head.

以下、本発明に係る実施形態を、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る液体吐出装置１０の構成の一例を示す。液体吐出装置１０は、液滴の一例であるインク滴を被吐出部材５０に吐出する印刷装置であり、ノズルヘッド１２、テーブル１４、及び制御部１６を備える。   Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows an example of the configuration of a liquid ejection apparatus 10 according to an embodiment of the present invention. The liquid ejection device 10 is a printing device that ejects ink droplets, which are examples of droplets, to the ejection target member 50, and includes a nozzle head 12, a table 14, and a control unit 16.

ノズルヘッド１２は、制御部１６の指示に応じて、被吐出部材５０へインク滴を吐出する。テーブル１４は、被吐出部材５０を上面に保持しており、制御部１６の指示に応じて移動することにより、ノズルヘッド１２と被吐出部材５０との相対位置関係を変化させる。制御部１６は、ノズルヘッド１２の吐出タイミング、及びテーブル１４の位置を制御する。本例によれば、例えば、予め設定された吐出パターンに応じて、被吐出部材５０へインク滴を適切に吐出できる。また、これにより、被吐出部材５０へ適切に印刷を行うことができる。   The nozzle head 12 ejects ink droplets to the ejection target member 50 in accordance with instructions from the control unit 16. The table 14 holds the discharge target member 50 on the upper surface, and changes the relative positional relationship between the nozzle head 12 and the discharge target member 50 by moving in accordance with an instruction from the control unit 16. The control unit 16 controls the ejection timing of the nozzle head 12 and the position of the table 14. According to this example, for example, ink droplets can be appropriately ejected onto the ejection target member 50 in accordance with a preset ejection pattern. In addition, it is possible to appropriately perform printing on the discharged member 50.

尚、液体吐出装置１０は、印刷装置以外の液体吐出装置であってもよい。例えば、液体吐出装置１０は、液晶カラーフィルタや、有機ＥＬ発光層等の材料を液滴として吐出してもよい。また、液体吐出装置１０は、例えば接着剤や絶縁樹脂等、又は各種薬液等の液滴を吐出してもよい。   The liquid ejecting apparatus 10 may be a liquid ejecting apparatus other than the printing apparatus. For example, the liquid ejection device 10 may eject materials such as a liquid crystal color filter and an organic EL light emitting layer as droplets. Further, the liquid ejection device 10 may eject droplets of, for example, an adhesive, an insulating resin, or various chemicals.

また、被吐出部材５０は、例えば紙やフィルム等の平坦な媒体に限らず、立体的形状を有する製品等であってもよい。例えば、被吐出部材５０は、ＩＣが実装された基板等であってよい。この場合、液体吐出装置１０は、例えば、実装されたＩＣの端子に絶縁樹脂を吐出してもよい。また、被吐出部材５０は、薬品の反応容器等であってもよい。この場合、液体吐出装置１０は、例えば、反応容器内に薬液を吐出してもよい。   Further, the discharged member 50 is not limited to a flat medium such as paper or film, but may be a product having a three-dimensional shape. For example, the discharged member 50 may be a substrate on which an IC is mounted. In this case, the liquid ejecting apparatus 10 may eject insulating resin to, for example, a mounted IC terminal. The discharged member 50 may be a chemical reaction container or the like. In this case, the liquid ejection device 10 may eject the chemical liquid into the reaction container, for example.

また、被吐出部材５０が立体的な形状を有する場合、液体吐出装置１０は、例えば平坦な媒体に液体を吐出する場合と比べて、より吐出距離の大きなノズルヘッド１２を備えることが好ましい。このように構成すれば、例えば、ノズルヘッド１２と被吐出部材５０との間の距離を大きく保つことにより、被吐出部材５０の表面に凹凸がある場合にも、適切に液体を目標位置へ吐出できる。この場合、ノズルヘッド１２と被吐出部材５０との間の距離は、１０ｍｍ以上、例えば１０〜３０ｍｍとすることが好ましい。また、ノズルヘッド１２と被吐出部材５０との間の距離をこのように大きくする場合、ノズルヘッド１２の一回あたりの液滴の吐出量を、平坦な媒体に液体を吐出する場合と比べて大きくすることが好ましい。例えば、一回あたりの液滴の吐出量は、１００ｐリットル以上、例えば１００〜２０００ｐリットルとすることが好ましい。   Moreover, when the member 50 to be ejected has a three-dimensional shape, it is preferable that the liquid ejecting apparatus 10 includes the nozzle head 12 having a larger ejection distance compared to, for example, ejecting liquid onto a flat medium. With this configuration, for example, by maintaining a large distance between the nozzle head 12 and the member to be discharged 50, even when the surface of the member to be discharged 50 has irregularities, the liquid is appropriately discharged to the target position. it can. In this case, the distance between the nozzle head 12 and the discharged member 50 is preferably 10 mm or more, for example, 10 to 30 mm. Further, when the distance between the nozzle head 12 and the member to be ejected 50 is increased in this way, the ejection amount of the liquid droplet per nozzle head 12 is smaller than that in the case of ejecting the liquid onto a flat medium. It is preferable to enlarge it. For example, it is preferable that the discharge amount of droplets per time is 100 pL or more, for example, 100 to 2000 pL.

図２は、ノズルヘッド１２の詳細な構成の第１の例を示す分解斜視図である。本例において、ノズルヘッド１２は、チャンバ部１０２、駆動部１０４、及び複数のネジ１０６を備える。   FIG. 2 is an exploded perspective view showing a first example of a detailed configuration of the nozzle head 12. In this example, the nozzle head 12 includes a chamber unit 102, a driving unit 104, and a plurality of screws 106.

チャンバ部１０２は、液滴を吐出する複数のノズル３０２と、ノズル３０２へ液体を供給するための流路３０４とが形成されたノズルプレートである。尚、本例において、液滴とは、インク滴である。また、ノズル３０２へ供給される液体とは、インクである。   The chamber unit 102 is a nozzle plate in which a plurality of nozzles 302 that discharge droplets and flow paths 304 for supplying liquid to the nozzles 302 are formed. In this example, the droplet is an ink droplet. The liquid supplied to the nozzle 302 is ink.

複数のノズル３０２は、ノズルヘッド１２の使用時に下方を向く面であるチャンバ部１０２の下面にエッチング等により形成された孔であり、例えば０．５〜３ｍｍ、望ましくは１〜２ｍｍの間隔で並べて形成される。これにより、チャンバ部１０２は、ノズル３０２から、下面方向へ液滴を吐出する。チャンバ部１０２において、ノズル３０２が液滴を吐出する面は、撥水処理されていることが好ましい。また、この面は、ノズル３０２の開口部以外の領域が平滑な面になっていることが好ましい。尚、本例のチャンバ部１０２において、駆動部１０４と対向する面は、ノズルヘッド１２の使用時に上方を向く上面である。また、駆動部１０４と対向する面と反対側の面は、チャンバ部１０２の下面である。   The plurality of nozzles 302 are holes formed by etching or the like on the lower surface of the chamber portion 102 that is a surface facing downward when the nozzle head 12 is used, and are arranged at intervals of, for example, 0.5 to 3 mm, preferably 1 to 2 mm. It is formed. Thereby, the chamber unit 102 ejects droplets from the nozzle 302 toward the lower surface. In the chamber portion 102, the surface from which the nozzle 302 discharges droplets is preferably subjected to water repellent treatment. Moreover, it is preferable that this area | region is a smooth surface other than the opening part of the nozzle 302. FIG. In the chamber unit 102 of this example, the surface facing the driving unit 104 is an upper surface facing upward when the nozzle head 12 is used. The surface opposite to the surface facing the drive unit 104 is the lower surface of the chamber unit 102.

流路３０４は、外部から供給される液体をノズル３０２まで導くための溝であり、その一部に、複数の導入口３０８及び複数の液室３０６を有する。導入口３０８は、ノズル３０２に供給される液体を外部から導入する開口部であり、チャンバ部１０２における駆動部１０４と対向する面に開口している。本例において、導入口３０８は、複数のノズル３０２に対して共通に、チャンバ部１０２の長手方向へ延伸するように形成されており、それぞれのノズル３０２に対応する液室３０６に液体を供給する。   The channel 304 is a groove for guiding the liquid supplied from the outside to the nozzle 302, and has a plurality of inlets 308 and a plurality of liquid chambers 306 in a part thereof. The introduction port 308 is an opening for introducing the liquid supplied to the nozzle 302 from the outside, and is opened on a surface of the chamber unit 102 facing the driving unit 104. In this example, the introduction port 308 is formed so as to extend in the longitudinal direction of the chamber portion 102 in common to the plurality of nozzles 302, and supplies a liquid to the liquid chamber 306 corresponding to each nozzle 302. .

液室３０６は、ノズル３０２の前段において液体を貯えるために幅広になっている領域であり、複数の導入口３０８に挟まれる領域において、チャンバ部１０２における駆動部１０４と対向する面にそれぞれ開口している。また、本例においては、複数のノズル３０２に対応して、複数の液室３０６が形成されている。流路３０４において、導入口３０８と液室３０６との間は、液室３０６のノズル３０２側の出口と同程度、又はこれよりも狭い溝で結ばれる。そして、導入口３０８及びこの溝を介して、液室３０６には、ノズル３０２に供給される液体が注入される。   The liquid chamber 306 is a wide area for storing liquid in the previous stage of the nozzle 302, and opens in a surface facing the drive unit 104 in the chamber unit 102 in a region sandwiched between the plurality of introduction ports 308. ing. In this example, a plurality of liquid chambers 306 are formed corresponding to the plurality of nozzles 302. In the channel 304, the inlet 308 and the liquid chamber 306 are connected by a groove that is the same as or narrower than the outlet of the liquid chamber 306 on the nozzle 302 side. The liquid supplied to the nozzle 302 is injected into the liquid chamber 306 through the inlet 308 and the groove.

また、チャンバ部１０２における駆動部１０４と対向する面には、駆動部１０４をチャンバ部１０２にネジ止めするための複数のネジ孔４２０が更に形成されている。各ネジ孔４２０は、チャンバ部１０２を貫通しない止め孔であり、各ネジ１０６を締結可能なように、雌ネジ加工されている。   Further, a plurality of screw holes 420 for screwing the drive unit 104 to the chamber unit 102 are further formed on the surface of the chamber unit 102 facing the drive unit 104. Each screw hole 420 is a stop hole that does not penetrate the chamber portion 102, and is internally threaded so that each screw 106 can be fastened.

尚、本例において、チャンバ部１０２は、例えばチタン又はステンレス等の金属で形成される。このように構成すれば、例えば、ネジ孔４２０の雌ネジ加工が容易になる。また、チャンバ部１０２の厚さは、１ｍｍ以上、例えば１〜５ｍｍ、望ましくは２〜３ｍｍであることが好ましい。このように構成すれば、ネジ孔４２０の雌ネジ加工をより適切に行うことができる。   In this example, the chamber portion 102 is formed of a metal such as titanium or stainless steel. If constituted in this way, female thread processing of screw hole 420 will become easy, for example. The thickness of the chamber portion 102 is preferably 1 mm or more, for example, 1 to 5 mm, and desirably 2 to 3 mm. If constituted in this way, female screw processing of screw hole 420 can be performed more appropriately.

ここで、例えば、ネジ孔４２０が止め孔ではなく、貫通孔であると、ネジ１０６の長さの過不足等により、チャンバ部１０２の下面におけるネジ孔４２０の部分が凹状又は凸状になってしまうおそれがある。しかし、チャンバ部１０２の下面には、ノズル３０２から吐出される液体が付着しやすい。そのため、ネジ孔４２０が貫通孔であると、下面における孔の箇所に液体が強固に付着してしまうおそれがある。また、チャンバ部１０２の下面に凹凸があると、例えば拭き取りによって下面の汚れを除去することが困難になり、ノズルヘッド１２を清浄に保つことが困難になるおそれもある。   Here, for example, if the screw hole 420 is not a stop hole but a through hole, the screw hole 420 on the lower surface of the chamber portion 102 becomes concave or convex due to excessive or insufficient length of the screw 106. There is a risk that. However, the liquid discharged from the nozzle 302 tends to adhere to the lower surface of the chamber portion 102. For this reason, if the screw hole 420 is a through-hole, the liquid may be firmly attached to the hole in the lower surface. In addition, if the lower surface of the chamber portion 102 is uneven, it may be difficult to remove dirt on the lower surface by wiping, for example, and it may be difficult to keep the nozzle head 12 clean.

これに対し、ネジ孔４２０を止め孔にした場合、チャンバ部１０２の下面を凹凸のない平滑面にできるため、液体が付着しにくくなる。また、平滑面であれば、拭き取り等が容易になる。そのため、本例によれば、ノズルヘッド１２のメンテナンス性を高めることができる。   On the other hand, when the screw hole 420 is used as a stop hole, the lower surface of the chamber portion 102 can be made a smooth surface without unevenness, so that the liquid is difficult to adhere. Moreover, if it is a smooth surface, wiping etc. will become easy. Therefore, according to this example, the maintenance property of the nozzle head 12 can be improved.

駆動部１０４は、ダイヤフラム２０２、ダイヤフラム押さえ部材（ドライブホルダ）２０４、複数のコマ２１０、複数の圧電素子２０６、複数のバックピース２１２、及び固定部材２０８を有する。ダイヤフラム２０２は、チャンバ部１０２における駆動部１０４と対向する面上において少なくとも液室３０６の開口部を覆う隔膜であり、各圧電素子２０６の発生する圧力を各液室３０６に伝達する。本例において、ダイヤフラム２０２は、チャンバ部１０２の複数の液室３０６のそれぞれとそれぞれ対向する複数の領域４１６において各コマ２１０と接触しており、各コマ２１０を介して各圧電素子２０６の圧力を受け取る。そして、各領域４１６に受ける圧力を、各液室３０６に伝達する。   The drive unit 104 includes a diaphragm 202, a diaphragm pressing member (drive holder) 204, a plurality of tops 210, a plurality of piezoelectric elements 206, a plurality of back pieces 212, and a fixing member 208. The diaphragm 202 is a diaphragm that covers at least the opening of the liquid chamber 306 on the surface of the chamber portion 102 facing the drive unit 104, and transmits the pressure generated by each piezoelectric element 206 to each liquid chamber 306. In this example, the diaphragm 202 is in contact with each piece 210 in a plurality of regions 416 respectively facing the plurality of liquid chambers 306 of the chamber portion 102, and the pressure of each piezoelectric element 206 is controlled via each piece 210. receive. Then, the pressure received in each region 416 is transmitted to each liquid chamber 306.

また、ダイヤフラム２０２には、複数の貫通孔４１８及び複数の貫通孔４１４が形成されており、これらが形成されている以外の領域において、チャンバ部１０２における駆動部１０４と対向する面の全体を覆う。ダイヤフラム２０２は、例えばアルミ又はステンレス等の金属で形成されることが好ましい。また、ダイヤフラム２０２の厚さは、例えば１０〜５０μｍ、望ましくは１０〜３０μｍ、更に望ましくは１５〜２５μｍとすることが好ましい。   The diaphragm 202 has a plurality of through-holes 418 and a plurality of through-holes 414, and covers the entire surface of the chamber portion 102 that faces the drive unit 104 in a region other than those formed. . Diaphragm 202 is preferably formed of a metal such as aluminum or stainless steel. The thickness of the diaphragm 202 is, for example, 10 to 50 μm, desirably 10 to 30 μm, and more desirably 15 to 25 μm.

尚、このようなダイヤフラム２０２は、例えば、強い圧力を発生する圧電素子２０６と共に用いることができる。そのため、例えば、ノズルヘッド１２と被吐出部材５０（図１参照）との間の距離を１０ｍｍ以上とするノズルヘッド１２において、特に好適に用いることができる。また、例えば接着剤や絶縁樹脂等の、インクと比べて比重や粘度の大きな液体を吐出する場合にも、特に好適に用いることができる。   In addition, such a diaphragm 202 can be used with the piezoelectric element 206 which generate | occur | produces a strong pressure, for example. Therefore, for example, in the nozzle head 12 which makes the distance between the nozzle head 12 and the to-be-discharged member 50 (refer FIG. 1) 10 mm or more, it can use especially suitably. In addition, the present invention can be particularly preferably used when, for example, a liquid having a higher specific gravity or viscosity than ink, such as an adhesive or an insulating resin, is ejected.

複数の貫通孔４１８は、チャンバ部１０２の導入口３０８に供給される液体通す孔であり、導入口３０８の少なくとも一部と重なる位置にそれぞれ形成される。複数の貫通孔４１４は、ネジ１０６を通すための孔である。貫通孔４１４は、雌ネジ加工されていない孔であり、貫通孔４１４の直径は、ネジ１０６の直径よりも大きい。ダイヤフラム２０２は、貫通孔４１４を通るネジ１０６によって、ダイヤフラム押さえ部材２０４と共にチャンバ部１０２に固定される。   The plurality of through holes 418 are holes through which the liquid supplied to the introduction port 308 of the chamber portion 102 passes, and are formed at positions that overlap at least a part of the introduction port 308. The plurality of through holes 414 are holes through which the screws 106 are passed. The through hole 414 is a hole that is not female threaded, and the diameter of the through hole 414 is larger than the diameter of the screw 106. Diaphragm 202 is fixed to chamber portion 102 together with diaphragm pressing member 204 by screw 106 passing through through hole 414.

ダイヤフラム押さえ部材２０４は、金属又はセラミック等で形成されたベース部材であり、チャンバ部１０２と対向する面にダイヤフラム２０２を接合させて、ダイヤフラム２０２を押さえる。本例において、ダイヤフラム押さえ部材２０４は、接着剤により、ダイヤフラム２０２と一体に貼り合わされている。   The diaphragm pressing member 204 is a base member made of metal, ceramic, or the like, and presses the diaphragm 202 by joining the diaphragm 202 to a surface facing the chamber portion 102. In this example, the diaphragm pressing member 204 is bonded together with the diaphragm 202 with an adhesive.

また、ダイヤフラム押さえ部材２０４には、ダイヤフラム２０２との接合面と垂直な方向へダイヤフラム押さえ部材２０４をそれぞれ貫通する貫通孔４０６、複数の導入孔４０８、及び複数の貫通孔４１０が形成されている。貫通孔４０６は、ダイヤフラム２０２を挟んでチャンバ部１０２における複数の液室３０６の開口部と対向する位置に形成されており、複数の液室３０６に対応する複数のコマ２１０及び複数の圧電素子２０６を内部に収容する。これにより、ダイヤフラム押さえ部材２０４は、複数の圧電素子２０６を保持しつつ、チャンバ部１０２との間にダイヤフラム２０２を挟む。   In addition, the diaphragm pressing member 204 is formed with a through hole 406, a plurality of introduction holes 408, and a plurality of through holes 410 that respectively penetrate the diaphragm pressing member 204 in a direction perpendicular to the joint surface with the diaphragm 202. The through hole 406 is formed at a position facing the openings of the plurality of liquid chambers 306 in the chamber unit 102 with the diaphragm 202 interposed therebetween, and includes a plurality of pieces 210 and a plurality of piezoelectric elements 206 corresponding to the plurality of liquid chambers 306. Is housed inside. Accordingly, the diaphragm pressing member 204 holds the plurality of piezoelectric elements 206 and sandwiches the diaphragm 202 between the chamber portion 102.

複数の導入孔４０８は、ダイヤフラム２０２の各貫通孔４１８をそれぞれ介してチャンバ部１０２の導入口３０８とつながる孔であり、チャンバ部１０２へ液体を導入するための開口部となる。複数の貫通孔４１０は、ネジ１０６を通過させるための孔である。貫通孔４１０は、雌ネジ加工されていない孔であり、貫通孔４１０の直径は、ネジ１０６の直径よりも大きい。   The plurality of introduction holes 408 are holes connected to the introduction port 308 of the chamber portion 102 through the through holes 418 of the diaphragm 202, and serve as openings for introducing liquid into the chamber portion 102. The plurality of through holes 410 are holes for allowing the screw 106 to pass therethrough. The through-hole 410 is a hole that is not female threaded, and the diameter of the through-hole 410 is larger than the diameter of the screw 106.

複数のコマ２１０は、一方の面でダイヤフラム２０２と接触し、他方の面で各圧電素子２０６とそれぞれ接触するように、貫通孔４０６内に保持される。これにより、コマ２１０は、圧電素子２０６が発生する圧力を、ダイヤフラム２０２に伝達する。   The plurality of tops 210 are held in the through hole 406 so as to come into contact with the diaphragm 202 on one side and to come into contact with the piezoelectric elements 206 on the other side. Thereby, the top 210 transmits the pressure generated by the piezoelectric element 206 to the diaphragm 202.

複数の圧電素子２０６は、例えばピエゾアクチュエータであり、貫通孔４０６にそれぞれ収容されることにより、各コマ２１０及びダイヤフラム２０２を挟んでチャンバ部１０２の各液室３０６の開口部と対向してそれぞれ保持される。そして、各圧電素子２０６は、外部から受け取る電圧に応じて圧力を発生させ、各コマ２１０及びダイヤフラム２０２を介して各液室３０６に圧力を加える。これにより、圧電素子２０６は、液室３０６の液体をノズル３０２へ押しだし、ノズル３０２から液滴を吐出させる。バックピース２１２は、圧電素子２０６を安定に保持するための治具であり、各圧電素子２０６と固定部材２０８との間に挟まれる。固定部材２０８は、貫通孔４０６を塞ぐ蓋状部材（ピエゾ固定板）であり、貫通孔４０６におけるダイヤフラム２０２と反対側の開口部からバックピース２１２を介して圧電素子２０６を押さえることにより、貫通孔４０６内に圧電素子２０６及びコマ２１０を固定する。   The plurality of piezoelectric elements 206 are, for example, piezo actuators, and are held in the through holes 406 so as to be opposed to the openings of the liquid chambers 306 of the chamber unit 102 with the tops 210 and the diaphragm 202 interposed therebetween. Is done. Each piezoelectric element 206 generates a pressure according to a voltage received from the outside, and applies the pressure to each liquid chamber 306 via each piece 210 and the diaphragm 202. Thereby, the piezoelectric element 206 pushes the liquid in the liquid chamber 306 to the nozzle 302 and discharges the droplet from the nozzle 302. The back piece 212 is a jig for stably holding the piezoelectric element 206, and is sandwiched between each piezoelectric element 206 and the fixing member 208. The fixing member 208 is a lid-like member (piezo fixing plate) that closes the through hole 406, and by pressing the piezoelectric element 206 through the back piece 212 from the opening on the opposite side to the diaphragm 202 in the through hole 406, The piezoelectric element 206 and the top 210 are fixed in 406.

複数のネジ１０６は、例えば十字穴付きのなべ型の小ネジであり、ダイヤフラム押さえ部材２０４からチャンバ部１０２に向かって、ダイヤフラム押さえ部材２０４の貫通孔４１０、及びダイヤフラム２０２の貫通孔４１４を介してチャンバ部１０２のネジ孔４２０に挿入され、締結される。これにより、チャンバ部１０２は、駆動部１０４に対して、取り外し可能に固定される。   The plurality of screws 106 are, for example, pan-shaped small screws with cross holes, and are directed from the diaphragm pressing member 204 toward the chamber portion 102 through the through holes 410 of the diaphragm pressing member 204 and the through holes 414 of the diaphragm 202. It is inserted into the screw hole 420 of the chamber portion 102 and fastened. Thereby, the chamber part 102 is fixed to the drive part 104 so that removal is possible.

このように構成した場合、ネジ１０６の頭部分は、ダイヤフラム押さえ部材２０４側に位置する。そのため、ノズル３０２のメンテナンスのためにチャンバ部１０２の拭き取りを行う場合に、ネジ１０６の頭にワイパがあたることはない。従って、本例によれば、チャンバ部１０２の拭き取りをスムースに行うことができる。また、ネジ１０６の頭の位置がチャンバ部１０２から遠くなるため、ノズル３０２から吐出される液体がネジ１０６の頭に付着することを適切に防ぐことができる。これにより、例えば、吐出された液体が乾燥により固化して、ネジ１０６の頭の溝を覆うことを防ぐことができる。そのため、本例によれば、ノズルヘッド１２のメンテナンス性を適切に高めることができる。更には、本例において、ネジ１０６の頭の位置は、ノズル３０２よりも上方になる。そのため、本例において、ノズル３０２から吐出される液体がネジ１０６の頭に付着することを更に適切に防ぐことができる。   When configured in this manner, the head portion of the screw 106 is positioned on the diaphragm pressing member 204 side. Therefore, when wiping the chamber portion 102 for maintenance of the nozzle 302, the wiper does not hit the head of the screw 106. Therefore, according to this example, wiping of the chamber part 102 can be performed smoothly. Further, since the position of the head of the screw 106 is far from the chamber portion 102, it is possible to appropriately prevent the liquid discharged from the nozzle 302 from adhering to the head of the screw 106. Thereby, for example, it is possible to prevent the discharged liquid from solidifying by drying and covering the groove of the head of the screw 106. Therefore, according to this example, the maintenance property of the nozzle head 12 can be improved appropriately. Furthermore, in this example, the position of the head of the screw 106 is above the nozzle 302. Therefore, in this example, it is possible to more appropriately prevent the liquid discharged from the nozzle 302 from adhering to the head of the screw 106.

また、ダイヤフラム押さえ部材２０４の側からネジ１０６を挿入する場合、液体吐出装置１０にノズルヘッド１２を取り付けたままの状態で、ネジ１０６を操作しやすくなる。特に、本例のように、ノズルヘッド１２の上側からネジ１０６を挿入する場合、作業者はノズルヘッド１２の上側からアクセスしてネジ１０６を回せばよいため、更にネジ１０６を操作しやすくなる。これにより、例えば、液体吐出装置１０からノズルヘッド１２を取り外すことなく、ネジ１０６を一旦外し、チャンバ部１０２を駆動部１０４から分離できる。そのため、例えばチャンバ部１０２の流路３０４に異物が混入した場合や、流路３０４内等で、インク等の液体が乾燥により固化した場合に、チャンバ部１０２のみの洗浄や交換等が容易になる。従って、本例によれば、ノズルヘッド１２のメンテナンス性を更に適切に高めることができる。   Further, when the screw 106 is inserted from the diaphragm pressing member 204 side, it becomes easy to operate the screw 106 with the nozzle head 12 still attached to the liquid ejection apparatus 10. In particular, when the screw 106 is inserted from the upper side of the nozzle head 12 as in this example, the operator only has to access the upper side of the nozzle head 12 and turn the screw 106, so that the screw 106 can be operated more easily. Thereby, for example, the screw 106 can be temporarily removed and the chamber unit 102 can be separated from the driving unit 104 without removing the nozzle head 12 from the liquid ejection device 10. Therefore, for example, when foreign matter is mixed in the flow path 304 of the chamber section 102 or when a liquid such as ink is solidified by drying in the flow path 304 or the like, cleaning or replacement of only the chamber section 102 becomes easy. . Therefore, according to this example, the maintainability of the nozzle head 12 can be further appropriately improved.

ここで、ダイヤフラム押さえ部材２０４及びチャンバ部１０２の一方及び他方には、位置合わせ用の凸部及び凹部が形成されていてもよい。この凸部は、例えばダイヤフラム押さえ部材２０４におけるチャンバ部１０２側の面に、例えばピン又はビーズ等を埋設することにより形成される。この場合、チャンバ部１０２には、例えば、この凸部と係合する孔状の凹部が形成される。このように構成すれば、例えば洗浄後のチャンバ部１０２を再度取り付ける場合や、チャンバ部１０２を交換する場合等に、高い精度で位置決めを行うことができる。   Here, a convex portion and a concave portion for alignment may be formed on one and the other of the diaphragm pressing member 204 and the chamber portion 102. This convex part is formed, for example, by embedding pins or beads on the surface of the diaphragm pressing member 204 on the chamber part 102 side. In this case, for example, a hole-like concave portion that engages with the convex portion is formed in the chamber portion 102. If comprised in this way, when attaching the chamber part 102 after washing | cleaning again, for example, when replacing the chamber part 102, positioning can be performed with high precision.

また、本例において、ダイヤフラム押さえ部材２０４やダイヤフラム２０２には、ネジを通す孔として、雌ネジ加工されていない貫通孔４１０、４１４が形成される。そのため、ダイヤフラム押さえ部材２０４やダイヤフラム２０２における貫通孔４１０、４１４に液体が付着した場合でも、例えばメンテナンス時の拭き取り等により、容易に除去できる。拭き取り等による液体の除去をより容易にするためには、例えば、ダイヤフラム２０２においてチャンバ部１０２と対向する面を、平滑面とすることが好ましい。   In this example, the diaphragm pressing member 204 and the diaphragm 202 are formed with through holes 410 and 414 that are not threaded as female holes. Therefore, even when liquid adheres to the through-holes 410 and 414 in the diaphragm pressing member 204 and the diaphragm 202, it can be easily removed by, for example, wiping during maintenance. In order to make it easier to remove the liquid by wiping or the like, for example, the surface of the diaphragm 202 that faces the chamber portion 102 is preferably a smooth surface.

尚、液体吐出装置１０が印刷装置以外の液体吐出装置である場合、本例のように、ノズルヘッド１２の上側からネジ１０６を挿入する構成が特に好ましい。これは、液滴として、例えば接着剤や各種樹脂等を吐出する場合、吐出した液滴が固化してしまうと、特に除去が困難になるおそれがあるためである。   When the liquid ejection device 10 is a liquid ejection device other than the printing device, a configuration in which the screw 106 is inserted from the upper side of the nozzle head 12 as in this example is particularly preferable. This is because, for example, when an adhesive, various resins, or the like is discharged as a droplet, if the discharged droplet is solidified, it may be particularly difficult to remove.

図３は、ノズルヘッド１２の詳細な構成の第２の例を示す。尚、以下に説明する点、及び図から違いがわかる特徴等を除き、図３において、図２と同じ符号を付した構成は、図２における構成と同一又は同様のものである。   FIG. 3 shows a second example of the detailed configuration of the nozzle head 12. Note that, except for the points described below and features that are different from the drawings, the configuration denoted by the same reference numerals in FIG. 3 is the same as or similar to the configuration in FIG.

本例において、チャンバ部１０２には、１個のノズル３０２が形成される。ノズル３０２は、チャンバ部１０２において駆動部１０４と対向する面と垂直な側面にエッチング等により形成される。また、ノズルヘッド１２は、ノズル３０２の吐出方向が下向きになる状態で、液体吐出装置１０（図１参照）に取り付けられる。また、本例において、コマ２１０は、圧電素子２０６側の面がダイヤフラム２０２側の面よりも狭くなっているメサ形状の部材であり、圧電素子２０６との接触面よりも広い面積で、ダイヤフラム２０２と接触して、圧電素子２０６が発生する圧力を、ダイヤフラム２０２に伝達する。   In this example, one nozzle 302 is formed in the chamber portion 102. The nozzle 302 is formed by etching or the like on the side surface perpendicular to the surface facing the driving unit 104 in the chamber unit 102. The nozzle head 12 is attached to the liquid ejection apparatus 10 (see FIG. 1) in a state where the ejection direction of the nozzle 302 is downward. In this example, the top 210 is a mesa-shaped member whose surface on the piezoelectric element 206 side is narrower than the surface on the diaphragm 202 side, and has a larger area than the contact surface with the piezoelectric element 206, and has a diaphragm 202. , The pressure generated by the piezoelectric element 206 is transmitted to the diaphragm 202.

ノズルヘッド１２は、チャンバ部１０２、駆動部１０４、及び複数のネジ１０６を組み合わせた構成を、複数組備えてもよい。この場合、これらの構成は、例えば、並べて配置されて、それぞれのチャンバ部１０２のノズルから液体を吐出する。また、この場合、複数のチャンバ部１０２は、ノズル間の間隔が例えば０．５〜３ｍｍ、望ましくは１〜２ｍｍとなるように並べて配置されることが好ましい。   The nozzle head 12 may include a plurality of combinations of the chamber unit 102, the drive unit 104, and a plurality of screws 106. In this case, these structures are arranged side by side, for example, and a liquid is discharged from the nozzle of each chamber part 102. FIG. In this case, the plurality of chamber portions 102 are preferably arranged side by side so that the interval between the nozzles is, for example, 0.5 to 3 mm, and preferably 1 to 2 mm.

本例においても、図２を用いて説明した構成と同様に、ネジ１０６の頭部分は、ダイヤフラム押さえ部材２０４側に位置する。そのため、ノズル３０２のメンテナンスのためにチャンバ部１０２の拭き取りを行う場合に、ネジ１０６の頭にワイパがあたることはない。従って、本例においても、チャンバ部１０２の拭き取りをスムースに行うことができる。また、ネジ１０６の頭の位置がチャンバ部１０２から遠くなるため、ノズル３０２から吐出される液体がネジ１０６の頭に付着することを適切に防ぐことができる。更には、液体吐出装置１０にノズルヘッド１２を取り付けたままの状態で、ネジ１０６を操作しやすくなる。そのため、本例においても、ノズルヘッド１２のメンテナンス性を適切に高めることができる。   Also in this example, the head portion of the screw 106 is located on the diaphragm pressing member 204 side, as in the configuration described with reference to FIG. Therefore, when wiping the chamber portion 102 for maintenance of the nozzle 302, the wiper does not hit the head of the screw 106. Therefore, also in this example, wiping of the chamber part 102 can be performed smoothly. Further, since the position of the head of the screw 106 is far from the chamber portion 102, it is possible to appropriately prevent the liquid discharged from the nozzle 302 from adhering to the head of the screw 106. Furthermore, it becomes easy to operate the screw 106 with the nozzle head 12 still attached to the liquid ejection apparatus 10. Therefore, also in this example, the maintainability of the nozzle head 12 can be improved appropriately.

尚、本例においては、ノズルヘッド１２を液体吐出装置１０に取り付けた状態で、ネジ１０６の足は、水平方向を向く。この場合、ネジ１０６の足がチャンバ部１０２から露出したとしても、液体の付着は生じにくい。そのため、本例において、ネジ孔４２０は、止め孔になっていない貫通孔であってもよい。   In this example, with the nozzle head 12 attached to the liquid ejection device 10, the foot of the screw 106 faces the horizontal direction. In this case, even if the foot of the screw 106 is exposed from the chamber portion 102, the liquid hardly adheres. Therefore, in this example, the screw hole 420 may be a through hole that is not a stop hole.

また、ノズル３０２が形成されているチャンバ部１０２の側面、及びこの側面から続くダイヤフラム２０２及びダイヤフラム押さえ部材２０４の側面は、チャンバ部１０２からダイヤフラム押さえ部材２０４に渡って、ノズル３０２の開口部を除いて平滑であることが望ましい。このように構成すれば、チャンバ部１０２の拭き取りをスムースに行うことができる。   Further, the side surface of the chamber portion 102 in which the nozzle 302 is formed and the side surfaces of the diaphragm 202 and the diaphragm pressing member 204 that continue from the side surface extend from the chamber portion 102 to the diaphragm pressing member 204 except for the opening portion of the nozzle 302. And smooth. If comprised in this way, the chamber part 102 can be wiped off smoothly.

以上、本発明を実施形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されない。上記実施形態に、多様な変更又は改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。   As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications or improvements can be added to the above embodiment. It is apparent from the description of the scope of claims that embodiments with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.

本発明は、例えばノズルヘッドに好適に利用できる。   The present invention can be suitably used for a nozzle head, for example.

本発明の一実施形態に係る液体吐出装置１０の構成の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a structure of the liquid discharge apparatus 10 which concerns on one Embodiment of this invention. ノズルヘッド１２の詳細な構成の第１の例を示す分解斜視図である。2 is an exploded perspective view showing a first example of a detailed configuration of a nozzle head 12. FIG. ノズルヘッド１２の詳細な構成の第２の例を示す図である。It is a figure which shows the 2nd example of a detailed structure of the nozzle head.

符号の説明Explanation of symbols

１０・・・液体吐出装置、１２・・・ノズルヘッド、１４・・・テーブル、１６・・・制御部、５０・・・被吐出部材、１０２・・・チャンバ部、１０４・・・駆動部、１０６・・・ネジ、２０２・・・ダイヤフラム、２０４・・・ダイヤフラム押さえ部材、２０６・・・圧電素子、２０８・・・固定部材、２１０・・・コマ、２１２・・・バックピース、３０２・・・ノズル、３０４・・・流路、３０６・・・液室、３０８・・・導入口、４０６・・・貫通孔、４０８・・・導入孔、４１０・・・貫通孔、４１２・・・貫通孔、４１４・・・貫通孔、４１６・・・領域、４１８・・・貫通孔、４２０・・・ネジ孔 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Liquid discharge apparatus, 12 ... Nozzle head, 14 ... Table, 16 ... Control part, 50 ... To-be-discharged member, 102 ... Chamber part, 104 ... Drive part, 106 ... Screws, 202 ... Diaphragm, 204 ... Diaphragm pressing member, 206 ... Piezoelectric element, 208 ... Fixing member, 210 ... Frame, 212 ... Back piece, 302 ...・ Nozzle, 304 ... channel, 306 ... liquid chamber, 308 ... introduction port, 406 ... through hole, 408 ... introduction hole, 410 ... through hole, 412 ... through Hole, 414 ... Through hole, 416 ... Area, 418 ... Through hole, 420 ... Screw hole

Claims (5)

ノズルから液滴を吐出するノズルヘッドであって、
液滴を吐出する前記ノズルと、前記ノズルが形成されている面とは異なる面に開口する液室とを有するチャンバ部と、
前記液室の開口部を少なくとも覆うダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムを挟んで前記液室の開口部と対向する圧電素子と、
前記圧電素子を保持しつつ、前記チャンバ部との間に前記ダイヤフラムを挟むダイヤフラム押さえ部材と
を備え、
前記チャンバ部は、前記ダイヤフラム押さえ部材に対し、前記ダイヤフラム押さえ部材の側から前記チャンバ部に向かって挿入されるネジにより固定されることを特徴とするノズルヘッド。 A nozzle head for discharging droplets from a nozzle,
A chamber part having the nozzle for discharging droplets and a liquid chamber opening on a surface different from the surface on which the nozzle is formed;
A diaphragm covering at least the opening of the liquid chamber;
A piezoelectric element facing the opening of the liquid chamber across the diaphragm;
A diaphragm pressing member that holds the piezoelectric element and sandwiches the diaphragm with the chamber portion;
The nozzle head according to claim 1, wherein the chamber portion is fixed to the diaphragm pressing member by a screw inserted toward the chamber portion from the diaphragm pressing member side. 前記チャンバ部は、前記ネジを止めるための雌ネジ加工がされたネジ孔を有することを特徴とする請求項１に記載のノズルヘッド。   The nozzle head according to claim 1, wherein the chamber portion has a screw hole in which a female screw is formed to stop the screw. 前記チャンバ部の前記ネジ孔は、止め孔であることを特徴とする請求項２に記載のノズルヘッド。   The nozzle head according to claim 2, wherein the screw hole of the chamber portion is a stop hole. 前記ノズルは、前記チャンバ部において前記ノズルヘッドの使用時に下方を向く面である下面から液滴を吐出し、
前記チャンバ部の前記下面は、前記ノズルの開口部以外の領域が平滑な面であることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のノズルヘッド。 The nozzle discharges droplets from a lower surface, which is a surface facing downward when the nozzle head is used in the chamber portion,
The nozzle head according to any one of claims 1 to 3, wherein the lower surface of the chamber portion is a surface having a smooth area other than the opening of the nozzle. 液滴を吐出する液体吐出装置であって、
請求項１から４のいずれかに記載のノズルヘッドと、
前記ノズルヘッドを制御する制御部と
を備えることを特徴とする液体吐出装置。 A liquid discharge device for discharging droplets,
A nozzle head according to any one of claims 1 to 4,
A liquid ejection apparatus comprising: a control unit that controls the nozzle head.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2011031177A (en) * 2009-07-31 2011-02-17 Casio Computer Co Ltd Discharge nozzle, discharging apparatus, coater and coating method

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