JP2008168202A - Dust remover - Google Patents
Dust remover Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008168202A JP2008168202A JP2007003187A JP2007003187A JP2008168202A JP 2008168202 A JP2008168202 A JP 2008168202A JP 2007003187 A JP2007003187 A JP 2007003187A JP 2007003187 A JP2007003187 A JP 2007003187A JP 2008168202 A JP2008168202 A JP 2008168202A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotating brush
- power transmission
- transmission mechanism
- motor
- brush
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 title claims abstract description 68
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 105
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 73
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims abstract description 14
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 18
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 18
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 18
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 4
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 4
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 108010001267 Protein Subunits Proteins 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000005549 size reduction Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
- H05K3/26—Cleaning or polishing of the conductive pattern
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
- B08B1/30—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
- B08B1/30—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface
- B08B1/32—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface using rotary cleaning members
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2203/00—Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
- H05K2203/02—Details related to mechanical or acoustic processing, e.g. drilling, punching, cutting, using ultrasound
- H05K2203/0257—Brushing, e.g. cleaning the conductive pattern by brushing or wiping
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
Description
本発明は、ガラス基板等のワークに付着したダストを除去するダスト除去装置に関するものである。 The present invention relates to a dust removing device that removes dust attached to a workpiece such as a glass substrate.
従来、搬送されるワークに回転ブラシを接触させて、ワークに付着したダストを掻き出すように除去するダスト除去装置が知られている(例えば特許文献1及び2参照。)。特許文献2に記載のダスト除去装置は、回転専用のモータで回転ブラシをその軸心回りに回転させながら、さらに別のモータで回転ブラシをその軸方向に往復させる。このダスト除去装置では、回転ブラシは軸方向の一端側から回転動力が入力される一方、軸方向の他端側から往復動力が入力される。具体的には、回転専用のモータ及びその回転動力を伝達するスプライン等が回転ブラシの一端側に配置される一方、往復専用のモータ及びその往復動力を伝達する往復スライダクランク機構等が回転ブラシの他端側に配置される。
ところで、回転ブラシは使用により磨耗し得るものであるので、定期的に交換されることが望ましい。しかし、従来のダスト除去装置では、回転ブラシの交換については十分に検討されていなかった。特に、回転ブラシの軸方向の両側に動力伝達機構があるために、回転ブラシを交換するのに作業が煩雑となり易かった。また、回転ブラシの軸方向の両側のスペースが動力伝達機構によって大きく占有される結果、装置が回転ブラシの軸方向に大型化し易かった。さらに、回転ブラシの回転及び往復のために二つの専用のモータを設けている分、大型化及びコストアップとなっていた。 By the way, since the rotating brush can be worn by use, it is desirable to replace it periodically. However, in the conventional dust removing device, replacement of the rotating brush has not been sufficiently studied. In particular, since there is a power transmission mechanism on both sides of the rotating brush in the axial direction, it is easy to replace the rotating brush. Further, the space on both sides in the axial direction of the rotating brush is largely occupied by the power transmission mechanism, and as a result, the apparatus is easily increased in size in the axial direction of the rotating brush. Furthermore, since two dedicated motors are provided for rotating and reciprocating the rotating brush, the size and cost are increased.
本発明は、装置全体を小型化にしながら、回転ブラシを交換し易くできるダスト除去装置を提供することをその目的とする。 An object of the present invention is to provide a dust removing device that can easily replace a rotating brush while reducing the size of the entire device.
本発明のダスト除去装置は、ワークに付着したダストを除去する回転ブラシと、回転ブラシの動力源であるモータと、モータからの動力を回転ブラシに伝達して回転ブラシをその軸心を中心に回転させる回転動力伝達機構と、モータからの動力を回転ブラシの往復運動に変換して回転ブラシをその軸方向に往復させる往復動力伝達機構と、を備える。そして、モータ、回転動力伝達機構及び往復動力伝達機構が、回転ブラシの軸方向の一端側に配置されるものである。 The dust removing device of the present invention includes a rotating brush that removes dust adhered to a work, a motor that is a power source of the rotating brush, power transmitted from the motor to the rotating brush, and the rotating brush is centered on its axis. A rotating power transmission mechanism that rotates the power, and a reciprocating power transmission mechanism that converts power from the motor into reciprocating motion of the rotating brush to reciprocate the rotating brush in the axial direction. And a motor, a rotational power transmission mechanism, and a reciprocating power transmission mechanism are arrange | positioned at the one end side of the axial direction of a rotating brush.
この構成によれば、モータ、回転動力伝達機構及び往復動力伝達機構を回転ブラシの軸方向の一端側に集中配置できる。これにより、回転ブラシの軸方向の他端側に大きな設置スペースを確保しなくて済み、装置の小型化を図れる。また、集中配置することで、回転ブラシの軸方向の一端側から回転及び往復の動力を入力できる。これにより、回転ブラシの軸方向の各側から回転及び往復の動力を入力する場合に比べて、回転ブラシの交換性を高めることができる。さらに、このような動力の入力態様であるので、従来に比べて、構造上、回転ブラシに作用するねじりモーメントが緩和される。これにより、回転ブラシの軸の損傷を抑制できる。さらに、一つのモータで回転ブラシの回転用と往復用とを兼ねているので、それぞれ専用のモータを設ける場合に比べて、装置全体の小型化及びコストダウンを図ることができる。 According to this configuration, the motor, the rotational power transmission mechanism, and the reciprocating power transmission mechanism can be concentrated on one end side in the axial direction of the rotating brush. Thereby, it is not necessary to secure a large installation space on the other end side in the axial direction of the rotating brush, and the apparatus can be miniaturized. Further, by arranging them in a concentrated manner, rotational and reciprocating power can be input from one end side in the axial direction of the rotating brush. Thereby, compared with the case where rotational and reciprocating power is input from each side of the axial direction of a rotating brush, the exchangeability of a rotating brush can be improved. Furthermore, since it is such a power input mode, the torsional moment acting on the rotating brush is relieved structurally compared to the conventional case. Thereby, damage to the shaft of the rotating brush can be suppressed. Furthermore, since the single motor serves for both the rotation and reciprocation of the rotating brush, the entire apparatus can be reduced in size and cost compared to the case where a dedicated motor is provided.
ここで、ワークの種類としては、例えば、印刷配線板、液晶ガラス基板、フレキシブル基板、セラミック基板、プラスチック板、液晶表示パネル、真空トレー、レンズ、導光板、フィルム、および紙等が挙げられる。ワークの外形形状は、矩形形状であってもよいし、ウエハ等の円盤形状であってもよい。 Here, examples of the type of work include a printed wiring board, a liquid crystal glass substrate, a flexible substrate, a ceramic substrate, a plastic plate, a liquid crystal display panel, a vacuum tray, a lens, a light guide plate, a film, and paper. The outer shape of the workpiece may be a rectangular shape or a disk shape such as a wafer.
好ましくは、本発明のダスト除去装置は、回転ブラシ、モータ、回転動力伝達機構及び往復動力伝達機構を一つのユニットとして、取り外し可能に支持するクランプ機構を更に備えるとよい。 Preferably, the dust removing device of the present invention may further include a clamp mechanism that removably supports the rotating brush, the motor, the rotating power transmission mechanism, and the reciprocating power transmission mechanism as one unit.
この構成によれば、ユニット単位で回転ブラシを取付け・取外しできるので、回転ブラシの交換はもとより、ユニット単位でのメンテナンス等も容易となる。 According to this configuration, since the rotating brush can be attached / detached in units, maintenance and the like in units can be facilitated as well as replacement of the rotating brush.
より好ましくは、クランプ機構は、回転ブラシの軸方向にユニットを移動可能に支持しており、ユニットは、クランプ機構による支持を解除した状態で回転ブラシの軸方向の一方に移動されることにより、クランプ機構から取り外されるように構成されるとよい。 More preferably, the clamp mechanism supports the unit movably in the axial direction of the rotating brush, and the unit is moved to one of the axial directions of the rotating brush in a state where the support by the clamping mechanism is released, It may be configured to be removed from the clamping mechanism.
この構成によれば、ユニットの取付け・取外しの方向がクランプ機構によって方向付けられているので、ユニットの取付け・取外しの作業が容易となる。 According to this configuration, the unit mounting / removal direction is directed by the clamp mechanism, so that the unit mounting / removal operation is facilitated.
より好ましくは、クランプ機構は、ユニットが取付け位置で支持されるように、回転ブラシの軸方向の他方へのユニットの移動を規制するストッパを有するとよい。 More preferably, the clamp mechanism may include a stopper that restricts the movement of the unit in the axial direction of the rotating brush so that the unit is supported at the mounting position.
この構成によれば、ユニットの取付け時には、ユーザはユニットをストッパに突き当てるように移動させれば、ユニットを取付け位置に配置できる。これにより、簡易に且つ確実にユニットを取付け位置に配置できる。 According to this configuration, when the unit is mounted, the user can place the unit at the mounting position by moving the unit so as to abut against the stopper. Thereby, a unit can be arrange | positioned to an attachment position simply and reliably.
好ましくは、ユニットは、モータ、回転動力伝達機構及び往復動力伝達機構からなるサブユニットと、サブユニットと回転ブラシとを着脱可能に連結するカップリングと、を有するとよい。 Preferably, the unit may include a subunit including a motor, a rotational power transmission mechanism, and a reciprocating power transmission mechanism, and a coupling that detachably connects the subunit and the rotating brush.
この構成によれば、カップリングを有効に利用して、モータ等の他の要素に比べて交換頻度が高い回転ブラシのみを簡易に取り外すことができる。 According to this configuration, it is possible to easily remove only the rotating brush having a higher replacement frequency than other elements such as a motor by effectively using the coupling.
好ましくは、往復動力伝達機構は、クランプ機構に取り外し可能に支持される被クランプ部材と、被クランプ部材に固定されるカムフォロアと、カムフォロアが案内されるカム部を有する円筒カムと、を備えるとよい。そして、カムフォロアは、円筒カムの回転を許容しながらその回転を円筒カムの往復運動に変換するとよい。また、円筒カムは、モータの動力により回転ブラシと一体的に回転し且つ往復するように、回転ブラシに同軸で連結されているとよい。 Preferably, the reciprocating power transmission mechanism includes a clamped member that is removably supported by the clamp mechanism, a cam follower fixed to the clamped member, and a cylindrical cam having a cam portion that guides the cam follower. . The cam follower may convert the rotation into a reciprocating motion of the cylindrical cam while allowing the rotation of the cylindrical cam. The cylindrical cam may be coaxially connected to the rotating brush so as to rotate integrally with the rotating brush and reciprocate with the power of the motor.
この構成によれば、モータが回転すると、回転ブラシ及び円筒カムが回転しつつ、カムフォロアによって円筒カムが回転ブラシと一体的に往復する。このように、円筒カムを用いたカム機構という簡易な機構により、単一のモータで回転ブラシの回転と往復とを行うことができる。また、被クランプ部材を有効に利用してカムフォロアを固定できる。 According to this configuration, when the motor rotates, the rotating brush and the cylindrical cam rotate, and the cylindrical cam reciprocates integrally with the rotating brush by the cam follower. Thus, the rotating brush can be rotated and reciprocated with a single motor by a simple mechanism called a cam mechanism using a cylindrical cam. Further, the cam follower can be fixed by effectively using the clamped member.
より好ましくは、被クランプ部材には、モータが固定されているとよい。 More preferably, a motor is fixed to the member to be clamped.
この構成によれば、被クランプ部材を更に有効に利用できる。 According to this configuration, the clamped member can be used more effectively.
好ましくは、回転動力伝達機構は回転ブラシの往復を許容し、往復動力伝達機構は回転ブラシの回転を許容するとよい。 Preferably, the rotational power transmission mechanism allows reciprocation of the rotating brush, and the reciprocating power transmission mechanism allows rotation of the rotating brush.
好ましくは、本発明のダスト除去装置は、回転ブラシの磨耗度合いを検出する検出装置を更に備えるとよい。 Preferably, the dust removing device of the present invention may further include a detection device that detects the degree of wear of the rotating brush.
この構成によれば、回転ブラシの交換時期を客観的に判断できる。 According to this configuration, it is possible to objectively determine the replacement time of the rotating brush.
より好ましくは、回転ブラシは、ブラシ本体と、ブラシ本体の周面に植毛されていてワークに接触する導電性繊維と、を有するとよい。そして、検出装置は、導電性繊維に臨む光電センサで構成されるとよい。 More preferably, the rotating brush has a brush body and conductive fibers that are implanted on the peripheral surface of the brush body and come into contact with the workpiece. And a detection apparatus is good to be comprised with the photoelectric sensor which faces a conductive fiber.
この構成によれば、導電性繊維の磨耗による減少を、光電センサが受光する光量の大小で確認できる。 According to this configuration, a decrease due to wear of the conductive fibers can be confirmed by the amount of light received by the photoelectric sensor.
本発明のダスト除去装置によれば、ダスト除去を効果的に行え、装置全体を小型化でき、しかも回転ブラシの交換性を高めることができる。 According to the dust removing device of the present invention, dust can be effectively removed, the entire device can be downsized, and the exchangeability of the rotating brush can be improved.
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態に係るダスト除去装置について説明する。このダスト除去装置は、各種の基板をワークとして、ワークの表面(上面)に付着したゴミ、塵、埃等の塵埃をブラシにより除去するものである。以下では、この種の塵埃の総称を「ダスト」として説明する。 Hereinafter, a dust removing device according to a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. This dust removing apparatus uses various types of substrates as a workpiece to remove dust, dust, dust and the like adhering to the surface (upper surface) of the workpiece with a brush. Hereinafter, a general term for this type of dust will be described as “dust”.
図1は、ダスト除去装置の要部を示す図であり、一部を断面で示す正面図である。図2は、ダスト除去装置の要部を示す平面図である。
ダスト除去装置1は、図示省略した架台上の下ベース2を有する。下ベース2の上側には、ワークW(基板)に対しダスト除去動作を行うワーク処理エリアが構成されている。
FIG. 1 is a view showing a main part of the dust removing device, and is a front view showing a part thereof in cross section. FIG. 2 is a plan view showing a main part of the dust removing device.
The dust removing device 1 has a
ワークWの種類としては、例えば、印刷配線板、液晶ガラス基板、フレキシブル基板、セラミック基板、プラスチック板、液晶表示パネル、真空トレー、レンズ、導光板、フィルム、および紙等が挙げられる。ここでは、全体として外形が矩形のワークWを用いた。 Examples of the type of the work W include a printed wiring board, a liquid crystal glass substrate, a flexible substrate, a ceramic substrate, a plastic plate, a liquid crystal display panel, a vacuum tray, a lens, a light guide plate, a film, and paper. Here, a workpiece W having a rectangular outer shape as a whole is used.
下ベース2には、第1支持スタンド3と第2支持スタンド4とが左右に離間して配設されている。第1支持スタンド3と第2支持スタンド4との間の上部には、これらに架け渡されるように上ベース5が位置する。上ベース5は、左右方向に延在する本体ベース51を有する。本体ベース51の右側下面には、垂直ベース52が垂下するように固定され、本体ベース51の左側下面には、後述するクランプ機構16のホルダー111が固定されている。
A first support stand 3 and a
第1支持スタンド3及び第2支持スタンド4は、ワーク処理エリア側の内壁に凹部3a及び凹部4aを有し、凹部3a及び凹部4aは、垂直ベース52及びホルダー111の上下方向へのスライドをガイドする。第1支持スタンド3及び第2支持スタンド4は、それぞれ、上端部に取り付けられた高さ調整機構6、6を有する。高さ調整機構6,6は、本体ベース51の左右の端部、垂直ベース52及びホルダー111を、凹部3a及び凹部4aにガイドさせながら、上ベース5を上下方向に移動させる。これにより、上ベース5に組み付けられた各種部品(例えば後述する回転ブラシ11)は、ワークWの厚みに対応して、上下方向の位置を調整できるようになっている。
The first support stand 3 and the second support stand 4 have a
ワーク処理エリアには、回転ブラシ11、ワーク搬送機構12、回転動力伝達機構13、往復動力伝達機構14、モータ15、及びクランプ機構16が配設されている。後述するように、回転ブラシ11、回転動力伝達機構13、往復動力伝達機構14及びモータ15は、一つのユニットとしてクランプ機構16に取り外し可能に支持されている。
In the work processing area, a
ダスト除去装置1によるダスト除去動作は、ワーク搬送機構12によりワークWを矢印A方向に搬送させ、ワークWに回転ブラシ11を上側から接触させる。そして、モータ15が回転動力伝達機構13及び往復動力伝達機構14の共通の駆動源になっていて、回転動力伝達機構13により回転ブラシ11を回転させると共に、往復動力伝達機構14により回転ブラシ11を矢印B方向に往復させる。このようなダスト除去動作によって、ワークWの表面全域に亘ってダストが除去される。
In the dust removing operation by the dust removing device 1, the work W is transported in the direction of arrow A by the
ここで、矢印B方向は、回転ブラシ11の軸方向及び往復方向である。矢印A方向と矢印B方向とは直交するが、90度以外の角度で交差してもよい。なお、ダスト除去動作中は、図示省略したブローによりワークWにエアーが吹き付けられ、吹き付けられたエアーがダストと共にワーク処理エリア外に吸引排出されるようになっている。
Here, the arrow B direction is the axial direction and the reciprocating direction of the rotating
回転ブラシ11は、ワークWに付着したダストを除去するものである。回転ブラシ11は、いわゆる導電ブラシからなり、略円柱からなるブラシ本体の周面に、例えば数10μm程度の直径を有する導電性繊維が植毛されたものである。回転ブラシ11は、その植毛部分がワークWの表面に転接して、ワークWの表面に付着したダストを掻き出すように除去すると共にワークWの表面の静電気を除電する。
The rotating
回転ブラシ11は、上記の高さ調整機構6,6により高さ(ギャップ)を調整され、ワークWの異なる厚みに適宜対応可能となっている。また、回転ブラシ11は、幅の広いワークWに対応できるように左右方向に長く延在する。回転ブラシ11は、ブラシ本体の左右の端部に軸部41,42を有する。軸部41,42は、ブラシ本体よりも径の小さい突起状の部位であり、回転ブラシ11の軸心に位置する。軸部42には、回転動力伝達機構13により回転動力が伝達されると共に、往復動力伝達機構14により往復動力が伝達される。
The rotating
図3に示すように、軸部41は、軸受け21に回転可能に支持される。軸受け21は、ダスト除去装置1の組立て時や回転ブラシ11の交換時に軸部41を挿入し易いように、球面軸受けで構成される。軸受け21は、本体ベース51にボルト止めされた垂直ベース52に、二つのボルト22,23で固定される。軸受け21は、回転ブラシ11のB方向の往復の範囲内では、軸部41をB方向にスライド可能に支持する。一方、往復の範囲を超えて、回転ブラシ11を所定以上の長さだけ図3の左側にスライドさせると、軸部41は軸受け21から取り外される。なお、往復の範囲を超えて回転ブラシ11をスライドさせる場合とは、例えば、回転ブラシ11の交換の場合である。
As shown in FIG. 3, the
再び図1及び図2に戻って、ワーク搬送機構12について説明する。
ワーク搬送機構12は、モータ15に同期して、ワークWを一方向(矢印A方向)に搬送するものである。ワーク搬送機構12は、ワークWの両端部を各々支持してワークWを搬送する一対のベルトコンベア34a,34bと、ベルトコンベア34a,34bをそれぞれ駆動する駆動モータ35,35(図2にのみ記載)と、を有している。一対のベルトコンベア34a,34bは、ワークWを上方の回転ブラシ11に臨ませ、ワークWを回転ブラシ11に接触させながらここを通過させるように搬送する。
1 and 2 again, the
The
ワーク搬送機構12は、ベルトコンベア34a,34b間の幅を調節するワーク幅調整機構を有する。ワーク幅調整機構は、固定側のベルトコンベア34aに対し可動側のベルトコンベア34bを移動させる調節ノブ36と、ベルトコンベア34bの移動をガイドする下ベース2上のレール37、37と、を有する。調節ノブ36を任意に操作することで、ベルトコンベア34、34b間の幅をワークWの幅に対応できるようになっている。なお、手動式の調節ノブ36に代えて、モータ駆動によりベルトコンベア34、34b間の幅を調整するようにしてもよい。
The
他の実施態様では、ワークWは、例えば、シリコン半導体ウエハやCD(Compact Disk)等である円盤状のディスク媒体であってもよい。この場合には、ワーク搬送機構12に代えて、ワークWをその軸心回りに回転させるワーク回転機構を設けるとよい。また、ワークWを所定位置に不動状態でセットしておき、これに対し回転ブラシ11を回転及び往復させるようにしてもよい。
In another embodiment, the workpiece W may be a disk-shaped disk medium such as a silicon semiconductor wafer or a CD (Compact Disk). In this case, a work rotation mechanism that rotates the work W around its axis may be provided instead of the
図4及び図5を参照して、モータ15について説明する。
モータ15は、整流子・ブラシ付きのDCモータや、ステッピングモータで構成される。モータ15の出力軸61は、モータハウジング62の外側に延在して、カップリング63に固定されている。カップリング63は、出力軸61を、後述するスプライン軸74と同軸に連結する。モータハウジング62の端面は、棒状のブラケット64を介して取付けプレート65に固定されている。
The
The
取付けプレート65は、四隅に貫通形成されたボルト孔66aを介して、ブラケット64にボルト止めされる。取付けプレート65は、中央に開口67を有しており、この開口67に回転動力伝達機構13のスプラインボス73が挿通される。また、取付けプレート65は、開口67と同心に環状の凹部68を有しており、凹部68の前後左右の四箇所には、ボルト孔66bが貫通形成されている。凹部68には、スプラインボス73を回転可能に支持するベアリング70が装着される。ベアリング70には、4つのボルト孔66bに対応する位置に4つのボルト孔70aが形成されている。取付けプレート65及びベアリング70は、図示省略したボルトによって、ボルト孔66b及びボルト孔70aを介して駆動フレーム80に共締めされる。このような構成により、モータ15は、駆動フレーム80と一体化されている。
The mounting
図4を参照して、回転動力伝達機構13について説明する。
回転動力伝達機構13は、モータ15からの動力を回転ブラシ11に伝達して、回転ブラシ11をその軸心を中心に回転させるものである。回転動力伝達機構13は、回転ブラシ11の軸方向の一端側に配置される。具体的には、回転動力伝達機構13は、上記したカップリング63と、カップリング63にボルト止めされたスプラインボス73と、スプラインボス73に嵌合するスプライン軸74と、スプライン軸74と同軸に配設された伝達軸75と、を備える。伝達軸75は、駆動フレーム80に固定されたブッシュ77に、回転可能に且つ軸方向にスライド可能に支持されている。
The rotational
The rotary
スプライン軸74の一端は、取付け軸78によって円筒カム81内で固定される。伝達軸75の一端は、同様に、取付け軸79によって円筒カム81内で固定される一方、伝達軸75の他端は、カップリング76に取り外し可能に固定される。カップリング76は、回転ブラシ11の軸部42を取り外し可能に固定する。軸部42の先端部42aは、円形の一部を切り飛ばした断面形状、すなわちいわゆるDカットされた形状からなり、カップリング76の段部76aに装着され、固定される。これにより、軸部42は、カップリング76に対し回止め状態で固定される。
One end of the spline shaft 74 is fixed in the
このような構成により、モータ15の回転は、出力軸61からカップリング63に伝達され、さらにはスプラインボス73及びスプライン軸74からなる角形スプライン、円筒カム81、伝達軸75と伝達され、最終的に、カップリング76を介して回転ブラシ11に伝達される。この動力伝達により、回転ブラシ11が回転する。また、この角形スプラインにより、回転ブラシ11の回転中においては、往復動力伝達機構14による回転ブラシ11の軸方向の往復が許容される。
With such a configuration, the rotation of the
なおもちろん、角形スプラインに代えてボールスプラインを用いてもよい。また、スプライン軸74と伝達軸75とを別個に構成するのではなく、一つの軸部材で構成してもよい。ただし、二つの軸部材とすることで、軸部材、円筒カム81及び回転ブラシ11の組み立て作業を容易にし得る。
Of course, a ball spline may be used instead of the square spline. Further, the spline shaft 74 and the
続いて、図4を参照して、往復動力伝達機構14について説明する。
往復動力伝達機構14は、上記の回転動力伝達機構13及びモータ15と同様に、回転ブラシ11の軸方向の一端側に配置される。往復動力伝達機構14は、モータ15からの動力を回転ブラシ11の往復運動に変換して、回転ブラシ11を軸方向に往復させるものである。往復動力伝達機構14は、上記した駆動フレーム80と、円筒カム81と、駆動フレーム80に固定された取付け具82と、取付け具81に固定されたピン状のカムフォロア83と、を有する。
Next, the reciprocating
The reciprocating
円筒カム81は、駆動フレーム80の内側に収納されるように位置する。円筒カム81の内部の軸心には、スプライン軸74及び伝達軸75が挿入され且つ固定されている。すなわち、円筒カム81は、二つのスプライン軸74及び伝達軸75を連結するカップリングとしても機能し、スプライン軸74及び伝達軸75と一体的に回転する。円筒カム81の周面には、カムフォロア83が案内されるカム溝(カム部)84が形成されている。円筒カム81及びカムフォロア83によって、カム機構が構成される。なお、カム部を、カム溝84に代えて突起で構成してもよい。
The
円筒カム81及びカムフォロア83の材質としては、硬質の樹脂や各種の金属を適用することができる。例えば、円筒カム81及びカムフォロア83の両方をナイロンなどのプラスチックで形成してもよく、一方をステンレスなどの金属で形成してもよい。材質にプラスチックを用いれば、装置の作動音を低減できる。ただし、カム溝84の磨耗の抑制という観点からすれば、円筒カム81及びカムフォロア83の両方をステンレスとすることが好ましい。
As the material of the
図6に示すように、駆動フレーム80(被クランプ部材)は、全体として筒状の部材からなり、アルマイト処理された表面を有する。駆動フレーム80の一方の端部には、ベアリング70の一部を装着する段部91が形成されていると共に、4つのボルト孔80aが形成されている。ボルト孔80aは、上記したボルト孔66b,70aに対応した位置にある。図示省略したボルトがボルト孔66b,70a,80aに螺入されることで、駆動フレーム80が、取付けプレート65及びベアリング70と一体化される。駆動フレーム80の他方の端部には、ブッシュ77の一部が挿入される開口92が貫通形成されていると共に、ブッシュ77をボルト止めするためのボルト孔80bが形成されている。
As shown in FIG. 6, the drive frame 80 (member to be clamped) is formed of a cylindrical member as a whole and has an anodized surface. At one end of the
駆動フレーム80の外周面の一部には、取付け具81を装着するための浅溝94が形成されている。浅溝94の底部には、取付け具81をボルト止めするための二つのボルト孔94a,94aが貫通形成され、二つのボルト孔94a,94aの間に窓部95が貫通形成されている。窓部95には、取付け具81の一部がほぼ隙間無く嵌合するように構成されており、取付け具81に固定されたカムフォロア83が、窓部95を介して駆動フレーム80の内側に突出し、カム溝84に係合するようになっている。後述するように、駆動フレーム80は、取付け具81と一体化された状態で、ホルダー111に取り外し可能に支持される。
A
このような構成により、カムフォロア83は、モータ15が回転したとしても動かないように、不動の位置に固定されている。モータ15が回転したときには、カムフォロア83は、カム溝84を案内され、円筒カム81の回転を許容しながらその回転を円筒カム81の往復運動に変換する。その結果、円筒カム81が、回転ブラシ11と一体的に回転し且つ往復する。
With such a configuration, the cam follower 83 is fixed at a non-moving position so as not to move even if the
カム溝84は、円筒カム81の回転数と往復の振幅数(往復回数)とが同じになるように設定されており、円筒カム81及び回転ブラシ11は、一回転するごとに往復運動を一回行うようになっている。
The
図7は、回転ブラシ11の往復運動を時間的に示す図であり、図4と同様の模式断面図である。
図7(A)に示す初期状態で、モータ15が1/4回転すると、円筒カム81及び回転ブラシ11は、回転しながら右方向に移動し、図7(B)に示す位置へと移動する。モータ15がさらに1/4回転すると、円筒カム81及び回転ブラシ11は、回転しながら右方向に最大限進出し、図7(C)に示す位置へと移動する。そして、モータ15がさらに回転すると、回転ブラシ11及び円筒カム81は、回転しながら左方向に進出を開始する。図7(C)に示す状態で、モータ15が1/2回転すると、円筒カム81及び回転ブラシ11は、回転しながら、図7(B)に示す位置を経た後、左方向に最大限進出して図7(A)に示す位置に戻る。
FIG. 7 is a diagram showing the reciprocating motion of the rotating
In the initial state shown in FIG. 7A, when the
このように、ダスト除去装置1によれば、搬送されていくワークWに対し、その表面に回転ブラシ11を転接させながら且つ回転ブラシ11をその軸方向に往復させるため、ワークWに付着したダストを好適に除去できる。特に、回転ブラシ11の進退数(往復回数)をその回転数と同じにすることができ、ダスト除去効果を高め得る。また、一つのモータ15で回転ブラシ11の回転と往復とを行うことができ、それぞれ専用のモータを設ける場合に比べて、装置全体の小型化及びコストダウンを図ることができる。
As described above, according to the dust removing device 1, the
続いて、図4及び図8を参照して、クランプ機構16について説明する。
クランプ機構16は、駆動フレーム80を取付け具81と共に支持するホルダー111と、ホルダー111の下部に取り付けられたレバー112と、ホルダー111の一方の端面113に取り付けられたストッパ114と、を有する。
Subsequently, the
The
レバー112は、ユーザやオペレータにより操作される操作部116と、操作部116の一端に連結されたおねじ部117と、おねじ部117の基部側に設けられた当接部118と、を備える。おねじ部117は、伝達軸75と直交する方向に延在し、ホルダー111の下部に形成されためねじ部121に螺合する。当接部118は、ホルダー111の側面119に離接可能に構成される。
The
ホルダー111は、略円筒状の金属製の部材からなる。ホルダー111は、上面にボルト孔111aを有し、ボルト孔111aに挿入されたボルト122により本体ベース51に固定される。ホルダー111は、中央部を貫通するように形成された略かぎ状の開口123を有する。開口123は、円形開口125と、開口125の下側に連続した方形開口126と、方形の開口126の下側に連続した縦長開口127と、で構成される。
The
円形開口125は、駆動フレーム80を挿通可能に形成される。円形開口125の中心には、伝達軸75及びブッシュ77が位置する。方形開口126は、取付け具82を挿通可能に形成される。縦長開口127は、めねじ部122を跨ぐように形成され、縦長開口127の一端は、ホルダー111の下面で開放している。円形開口125及び方形開口126は、駆動フレーム80及び取付け具82の外形より僅かに大きく形成されており、円形開口125及び方形開口126の縁部は、駆動フレーム80及び取付け具82との間に僅かな隙間を存する。そして、この隙間がレバー112の操作により埋められるようになっている。
The
具体的には、ねじを締め付ける方向にレバー112が操作されると、おねじ部117がめねじ部121に螺入され、当接部118が側面119に突き当たる。この状態からさらにレバー112が操作されると、縦長開口127の隙間が縮められ、円形開口125及び方形開口126の縁部(ホルダー111の内周面)の略全面が、駆動フレーム80及び取付け具82の外面に密接する。その結果、ホルダー111は、駆動フレーム80及び取付け具82を抜止め状態で支持する。
Specifically, when the
一方、レバー112が逆に操作されることで、この抜止め状態の支持が解除される。これにより、駆動フレーム80及び取付け具82をホルダー111から取り外すことが可能となる。なお、図4に示す符号129は、ホルダー111の周面に形成されたスリットである。スリット129は、レバー112の操作によってホルダー111が縮径するときに、ホルダー111が無理なく変形することを可能にする。
On the other hand, when the
ストッパ114は、板状の部材からなり、ホルダー111の一方端の円形開口125の上部にのみ臨む。ストッパ114の下面131は、伝達軸75及びブッシュ77を逃げるように、半円形に切りかかれた形状からなる。このため、ストッパ114は、駆動フレーム80の端面の上部にのみ当接可能に構成される。ストッパ114は、駆動フレーム80が所定の取付け位置で、つまりこの場合は駆動フレーム80の端面が端面113と面一になる位置で、駆動フレーム80がホルダー111に支持されるように、駆動フレーム80に当接する。このため、抜止め状態の支持が解除された状態で、駆動フレーム80をホルダー111内に挿入した場合、駆動フレーム80の軸方向への移動がストッパ114によって上記の取付け位置に規制される。
The
ここで、図9及び図10を参照して、回転ブラシ11の交換について説明する。
上記した構成により、回転ブラシ11、回転動力伝達機構13、往復動力伝達機構14及びモータ15は、一つのユニット200として、クランプ機構16に取り外し可能に支持される。このユニット200を単位として、回転ブラシ11の交換を行うことができるようになっている。
Here, replacement of the rotating
With the configuration described above, the
図9に示す状態は、ユニット200の一部を構成する駆動フレーム80を介して、ユニット200がホルダー111に不動に支持された状態であり、上記したワークWへのダスト除去動作を行うことが可能な状態である。この状態からユニット200を取り外す場合、先ず、レバー112を図9の二点差線の方向に操作する。すると、クランプ機構16のホルダー111による支持が解除される。これにより、ユニット200は回転ブラシ11の軸方向に移動可能となる。
The state shown in FIG. 9 is a state in which the
次いで、回転ブラシ11の軸部41を軸受け21から引き抜くように、ユニット200をこの軸方向の一方側に移動させる。すると、駆動フレーム80及び取付け具82がホルダー111から外れて、回転ブラシ11付きのユニット200がクランプ機構16から取り外される。これにより、ユニット200をワーク処理エリアから抜き出すことができ、ユニット200に含まれる部品をメンテナンスできる。
Next, the
そして、回転ブラシ11を交換する場合には、取り外したユニット200において、カップリング76から回転ブラシ11を取り外し、新たな回転ブラシ11をカップリング76に取り付ければよい。なお、このユニット200について別の見方をすれば、ユニット200は、回転動力伝達機構13、往復動力伝達機構14及びモータ15を含むサブユニット210と、回転ブラシ11と、サブユニット210と回転ブラシ11とを着脱可能に連結するカップリング76と、で構成されているといえる。
When the rotating
以上説明した本実施形態のダスト除去装置1の作用効果について述べる。
先ず、回転動力伝達機構13、往復動力伝達機構14及びモータ15を回転ブラシ11の軸方向の一端側に集中配置しているので、回転ブラシ11の軸方向の他端側に大きなスペースをとらなくて済む。これにより、ダスト除去装置1の小型化に供することができる。
また、集中配置することで、回転ブラシ11の一端側に回転及び往復の動力伝達機構を配置させなくて済む。これにより、回転ブラシ11を取り外す交換作業を行う際、回転ブラシ11の軸方向の一端側の作業を軽減できる。
The effects of the dust removing device 1 of the present embodiment described above will be described.
First, the rotational
Further, the centralized arrangement eliminates the need to arrange a rotary and reciprocating power transmission mechanism on one end side of the rotating
しかも、ユニット200を構成しているので、回転ブラシ11の交換はもとより、ユニット200単位でのメンテナンス等も容易となる。また、ユニット200の取付け時には、ユーザまたはオペレータは、ユニット200をストッパ114に突き当てるように移動させれば、ユニット200を所定の取付け位置に配置できるので、交換作業を簡易に且つ確実に行える。
In addition, since the
また、回転ブラシ11の軸方向の一端側からのみ、回転及び往復の動力を入力する態様であり、モータ15が円筒カム81の近くに配置される態様である。そのため、これとは逆の構成と比べて、構造上、回転ブラシ11に作用するねじりモーメントを緩和できる。これにより、回転ブラシ11の軸(ブラシ本体)の損傷を抑制できる。
Further, it is a mode in which rotational and reciprocating power is input only from one end side in the axial direction of the rotating
次に、本実施形態のダスト除去装置1の変形例について説明する。
この変形例は、回転ブラシ11の磨耗度合いを検出する検出装置300が設けられたものである。検出装置300は、図1及び図2に示すように、たとえば、本体ベース51に取り付けられる。検出装置300は、特に限定されるものではないが、ここでは光電センサ(光導電型センサ)を例に説明する。
Next, the modification of the dust removal apparatus 1 of this embodiment is demonstrated.
In this modification, a
図11ないし図13は、光電センサ300まわりの構造を拡大して示す図である。
光電センサ300は、透過型でもよいが、ここでは反射型で構成される。光電センサ300は、発光素子及び受光素子を内蔵したセンサヘッド310と、センサヘッド310の発光素子から発射された光を反射する反射板320と、センサヘッド310に接続されたコード330と、を備える。センサヘッド310は、ブラケット335を介して本体ベース51に取り付けられる。
11 to 13 are enlarged views showing the structure around the
The
センサヘッド310と反射板320とは、回転ブラシ11の軸方向に直交する方向において、回転ブラシ11を挟んで対向配置される。センサヘッド310から発射される光の光軸の中心340は、回転ブラシ11の表面、すなわち回転ブラシ11の導電性繊維を横切るように位置する。センサヘッド310の受光素子は、反射板320で反射された光を受光する。この受光素子での受光量の変化により、導電性繊維の磨耗度合い(摩滅度合い)が検出される。具体的には、受光量が当初の値よりも増えた場合には、導電性繊維の磨耗がすすんでいる旨が検出される。なお、コード330は、制御信号を伝達するものであり、制御装置に接続される。
The
このような光電センサ300をダスト除去装置1に設けることで、回転ブラシ11の交換時期を客観的に判断できる。ユーザやオペレータは、光電センサ300の検出結果により、回転ブラシ11の交換時期が到来した旨を知ることができる。なお、光電センサ300の受光量が当初の値よりも減った場合には、その原因として、回転ブラシ11等の取付け位置が正規の位置からずれたり、あるいは異物が侵入したりしたことが考えられる。つまり、この場合には、光電センサ300によって、ダスト除去装置1の異常であることが検出される。
By providing such a
図14は、光電センサ300を利用した回転ブラシ11の軸補正の方法を示す図である。
制御装置400には、光電センサ300のコード330が接続されると共に、モータ15や高さ調整機構6が接続される。そして、制御装置400は、光電センサ300の検出結果に基づいて、高さ調整機構6を制御するとよい。
FIG. 14 is a diagram illustrating a method for correcting the axis of the rotating
The
具体的には、光電センサ300の受光量が増した場合、導電性繊維が磨耗して目減りし、回転ブラシ11とワークWとの距離が所定値以上に大きくなる。この場合には、大きくなった回転ブラシ11とワークWとの距離をもとの所定値に戻すように、制御装置400が高さ調整機構6を制御し、回転ブラシ11の軸心を下方に下げるとよい。このような制御は、回転ブラシ11をすぐに交換できない場合等に有用である。
Specifically, when the amount of light received by the
なお、光電センサ300の配置箇所は、可動側のベルトコンベア34bよりも、固定側のベルトコンベア34aに近い方が好ましい。これについて詳述する。
It is preferable that the
ダスト除去装置1は複数幅のワークWを処理できるものであり、そのためにワーク搬送機構12にワーク幅調整機構を設けている。上記のとおり、ワーク幅調整機構はワークWの幅方向の一端側を基準として幅調整するので、複数幅のワークWはいずれも、その基準となった一端側のエリアを搬送される。上記したワーク搬送機構12の態様であれば、そのエリアが固定側のベルトコンベア34aの近傍となる。このエリアにある回転ブラシ11の部分は、例えば可動側のベルトコンベア34bに近いエリアにある回転ブラシ11の部分に比べて、使用頻度が高いので、導電性繊維が磨耗し易い。したがって、全ての幅のワークWが搬送されるエリアに、光電センサ300を配置することで、回転ブラシ11の磨耗度合いを確実性良く検出できる。
The dust removing apparatus 1 can process a workpiece W having a plurality of widths. For this purpose, the
1・・・ダスト除去装置、5・・・ベース、11・・・回転ブラシ、12・・・ワーク搬送機構、13・・・回転動力伝達機構、14・・・往復動力伝達機構、15・・・モータ、16・・・クランプ機構、76・・・カップリング、80・・・駆動フレーム(被クランプ部材)、81・・・円筒カム、83・・・カムフォロア、84・・・カム溝(カム部)、114・・・ストッパ、200・・・ユニット、210・・・サブユニット、300・・・光電センサ、W・・・ワーク DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Dust removal apparatus, 5 ... Base, 11 ... Rotating brush, 12 ... Work conveyance mechanism, 13 ... Rotational power transmission mechanism, 14 ... Reciprocating power transmission mechanism, 15 ... -Motor, 16 ... Clamp mechanism, 76 ... Coupling, 80 ... Drive frame (clamped member), 81 ... Cylindrical cam, 83 ... Cam follower, 84 ... Cam groove (Cam) Part), 114 ... stopper, 200 ... unit, 210 ... sub-unit, 300 ... photoelectric sensor, W ... work
Claims (10)
前記回転ブラシの動力源であるモータと、
前記モータからの動力を前記回転ブラシに伝達して、前記回転ブラシをその軸心を中心に回転させる回転動力伝達機構と、
前記モータからの動力を前記回転ブラシの往復運動に変換して、前記回転ブラシをその軸方向に往復させる往復動力伝達機構と、を備え、
前記モータ、前記回転動力伝達機構及び前記往復動力伝達機構が、前記回転ブラシの軸方向の一端側に配置された、ダスト除去装置。 A rotating brush that removes dust adhering to the workpiece;
A motor that is a power source of the rotating brush;
A rotational power transmission mechanism for transmitting power from the motor to the rotating brush and rotating the rotating brush about its axis;
A reciprocating power transmission mechanism for converting power from the motor into reciprocating motion of the rotating brush and reciprocating the rotating brush in its axial direction;
The dust removing apparatus, wherein the motor, the rotational power transmission mechanism, and the reciprocating power transmission mechanism are arranged on one end side in the axial direction of the rotary brush.
前記ユニットは、前記クランプ機構による支持を解除した状態で前記回転ブラシの軸方向の一方に移動されることにより、前記クランプ機構から取り外されるように構成されている、請求項2に記載のダスト除去装置。 The clamp mechanism supports the unit movably in the axial direction of the rotating brush,
The dust removal according to claim 2, wherein the unit is configured to be removed from the clamp mechanism by being moved to one of the axial directions of the rotary brush in a state where the support by the clamp mechanism is released. apparatus.
前記モータ、前記回転動力伝達機構及び前記往復動力伝達機構からなるサブユニットと、
前記サブユニットと前記回転ブラシとを着脱可能に連結するカップリングと、を有する、請求項2ないし4のいずれか一項に記載のダスト除去装置。 The unit is
A subunit comprising the motor, the rotational power transmission mechanism and the reciprocating power transmission mechanism;
The dust removing device according to any one of claims 2 to 4, further comprising a coupling that detachably connects the subunit and the rotating brush.
前記クランプ機構に取り外し可能に支持される被クランプ部材と、
前記被クランプ部材に固定されるカムフォロアと、
前記カムフォロアが案内されるカム部を有し、前記モータの動力により回転する円筒カムと、を備え、
前記カムフォロアは、前記円筒カムの回転を許容しながらその回転を当該円筒カムの往復運動に変換し、
前記円筒カムは、前記回転ブラシと一体的に回転し且つ往復するように、前記回転ブラシに同軸で連結されている、請求項2ないし5のいずれか一項に記載のダスト除去装置。 The reciprocating power transmission mechanism is
A clamped member removably supported by the clamp mechanism;
A cam follower fixed to the clamped member;
A cam portion that guides the cam follower, and a cylindrical cam that rotates by the power of the motor;
The cam follower converts the rotation into a reciprocating motion of the cylindrical cam while allowing the rotation of the cylindrical cam.
6. The dust removing device according to claim 2, wherein the cylindrical cam is coaxially connected to the rotating brush so as to rotate integrally with the rotating brush and to reciprocate.
前記往復動力伝達機構は、前記回転ブラシの回転を許容する、請求項1ないし7のいずれか一項に記載のダスト除去装置。 The rotational power transmission mechanism allows the rotary brush to reciprocate;
The dust removal apparatus according to any one of claims 1 to 7, wherein the reciprocating power transmission mechanism allows rotation of the rotary brush.
前記検出装置は、前記導電性繊維に臨む光電センサで構成されている、請求項9に記載のダスト除去装置。 The rotating brush has a brush body, and conductive fibers that are planted on the peripheral surface of the brush body and come into contact with the workpiece,
The dust removing device according to claim 9, wherein the detection device is configured by a photoelectric sensor facing the conductive fiber.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007003187A JP2008168202A (en) | 2007-01-11 | 2007-01-11 | Dust remover |
PCT/JP2008/050099 WO2008084795A1 (en) | 2007-01-11 | 2008-01-09 | Dust removal device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007003187A JP2008168202A (en) | 2007-01-11 | 2007-01-11 | Dust remover |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008168202A true JP2008168202A (en) | 2008-07-24 |
Family
ID=39608685
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007003187A Pending JP2008168202A (en) | 2007-01-11 | 2007-01-11 | Dust remover |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008168202A (en) |
WO (1) | WO2008084795A1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022156911A (en) * | 2021-03-31 | 2022-10-14 | 株式会社サワーコーポレーション | Film washing device and film washing method |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5652382B2 (en) * | 2011-11-30 | 2015-01-14 | 井関農機株式会社 | Passenger management machine |
CN106076910A (en) * | 2016-07-18 | 2016-11-09 | 天津华北集团铜业有限公司 | A kind of equipment that copper coin is carried out dedusting |
CN106852006B (en) * | 2017-03-01 | 2019-04-23 | 江门市新光速电子有限公司 | A kind of circuit board printing and sealing equipment |
CN107351585B (en) * | 2017-08-03 | 2019-03-22 | 合肥利元杰信息科技有限公司 | A kind of computer hardware development marking press equipment |
CN110369348B (en) * | 2019-07-24 | 2020-09-01 | 南京林业大学 | Upright cylinder view lamps and lanterns descaling machine |
CN112827892A (en) * | 2020-12-22 | 2021-05-25 | 商丘医学高等专科学校 | Remove clean mechanism and librarray management dust removal device |
CN114867225B (en) * | 2021-02-03 | 2024-05-28 | 济南职业学院 | Chip mounting device for integrated circuit processing |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3949807B2 (en) * | 1998-03-09 | 2007-07-25 | 沖電気工業株式会社 | Substrate cleaning apparatus and substrate cleaning method |
JP2000108022A (en) * | 1998-08-06 | 2000-04-18 | Systemseiko Co Ltd | Surface treating method and device |
-
2007
- 2007-01-11 JP JP2007003187A patent/JP2008168202A/en active Pending
-
2008
- 2008-01-09 WO PCT/JP2008/050099 patent/WO2008084795A1/en active Application Filing
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022156911A (en) * | 2021-03-31 | 2022-10-14 | 株式会社サワーコーポレーション | Film washing device and film washing method |
JP7329867B2 (en) | 2021-03-31 | 2023-08-21 | 株式会社サワーコーポレーション | FILM CLEANING APPARATUS AND FILM CLEANING METHOD |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2008084795A1 (en) | 2008-07-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2008168202A (en) | Dust remover | |
JP4611900B2 (en) | Dust removal equipment | |
TWI619558B (en) | Oscillation equipment | |
US7395573B2 (en) | Dust remover and dust removal method | |
JP2004333573A (en) | Lens machining system | |
JP4355170B2 (en) | High speed flatbed scanner | |
JP2007200914A (en) | Head and apparatus for packaging component | |
KR102067982B1 (en) | Apparatus for cutting substrate | |
JP2005211722A (en) | Dust removal device and dust removal method | |
JP2010089234A (en) | Chuck table mechanism | |
JP6435036B2 (en) | Rotation holding device and substrate cleaning device | |
JP2011104731A (en) | Cutting device | |
CN113634558B (en) | Tire air-tight layer and tire mould laser cleaning device | |
EP1757459A3 (en) | Image generating apparatus | |
KR20100038594A (en) | Appratus for chamfering the terminal part of printed circuit board | |
KR20190059572A (en) | Apparatus for cutting substrate | |
KR20140038277A (en) | Component keeping head of surface mounting apparatus | |
JP2021098246A (en) | Roll cleaning device of rotary die cutter and rotary die cutter | |
US9616509B2 (en) | Apparatus for fixing knife plate with saw blade of saw machine | |
KR20090085724A (en) | Appratus for chamfering the terminal part of printed circuit board and printed circuit board chamfered thereby | |
JP4678165B2 (en) | Linear motion table device | |
JP5290593B2 (en) | Printer | |
KR20190059573A (en) | Apparatus for cutting substrate | |
US20060123780A1 (en) | Pump and engageable structure of operation rod thereof | |
JP2005191216A (en) | Substrate processing apparatus |