JP2008146026A - 発光装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】発光装置の製造方法であって、基板の上に、第1電極と、補助電極を形成する工程と、複数の前記第1電極の間に素子分離層を形成し、前記第1電極の上及び前記補助電極の上に開口を形成する工程と、前記素子分離層の上に前記補助電極の上の開口を覆うように、導電層を形成する工程と、前記導電層の上にシャドウマスクを当接させて、前記導電層よりも厚みの薄い発光媒体を形成する工程と、前記発光媒体、素子分離層及び導電層の上を覆うように前記第2電極を形成する工程と、を有する。
【選択図】図1
Description
基板の上に順に第1電極と、発光媒体と、第2電極とを有する発光素子を複数有し、
前記複数の発光素子の間に形成されており、各発光素子を区画する素子分離層と、
前記基板と前記素子分離層との間に形成されている補助電極と、を有する発光装置の製造方法であって、
前記基板の上に、前記第1電極と、前記補助電極を形成する工程と、
複数の前記第1電極の間に素子分離層を形成し、前記第1電極の上及び前記補助電極の上に開口を形成する工程と、
前記素子分離層の上に前記補助電極の上の開口を覆うように、導電層を形成する工程と、
前記導電層の上にシャドウマスクを当接させて、前記導電層よりも厚みの薄い発光媒体を形成する工程と、
前記発光媒体、素子分離層及び導電層の上を覆うように前記第2電極を形成する工程と、を有することを特徴とする。
各発光素子は、前記基板の上に順に、第1電極、前記複数の発光素子ごとにパターニングされている発光媒体、前記複数の発光素子の間を跨いで連続して形成されている第2電極、を有する、発光装置において、
前記素子分離層の上に導電層を有し、
前記導電層は前記素子分離層に形成されている開口を介して前記補助電極と接続されており、前記導電層を介して前記第2電極と前記補助電極とが接続されており、
前記導電層の厚みは、前記発光媒体の厚みよりも厚いことを特徴とする。
102 ソース領域
103 ドレイン領域
104 Poly−Si
105 ゲート電極
106 ゲート絶縁膜
107 層間絶縁膜
108 ドレイン電極
109 無機絶縁膜
110 平坦化層
200 TFT
300 第1電極
310 発光媒体
311 正孔輸送層
312 発光層
313 電子輸送層
320 第2電極
330 素子分離層
400 補助電極
410 導電層
Claims (6)
- 基板の上に順に第1電極と、発光媒体と、第2電極とを有する発光素子を複数有し、
前記複数の発光素子の間に形成されており、各発光素子を区画する素子分離層と、
前記基板と前記素子分離層との間に形成されている補助電極と、を有する発光装置の製造方法であって、
前記基板の上に、前記第1電極と、前記補助電極を形成する工程と、
複数の前記第1電極の間に素子分離層を形成し、前記第1電極の上及び前記補助電極の上に開口を形成する工程と、
前記素子分離層の上に前記補助電極の上の開口を覆うように、導電層を形成する工程と、
前記導電層の上にシャドウマスクを当接させて、前記導電層よりも厚みの薄い発光媒体を形成する工程と、
前記発光媒体、素子分離層及び導電層の上を覆うように前記第2電極を形成する工程と、を有することを特徴とする発光装置の製造方法。 - 発光媒体を形成する工程は、マスク開口パターンの異なる複数のシャドウマスクを用いて、複数の層を形成する工程を有することを特徴とする請求項1に記載の発光装置の製造方法。
- 前記導電層を形成する工程は、マスクを用いた蒸着法によって形成する工程であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の発光装置の製造方法。
- 基板と、前記基板の上に形成されている複数の発光素子と、前記複数の発光素子の間に形成されており、各発光素子を区画する素子分離層と、前記基板と前記素子分離層との間に形成されている補助電極と、を有し、
各発光素子は、前記基板の上に順に、第1電極、前記複数の発光素子ごとにパターニングされている発光媒体、前記複数の発光素子の間を跨いで連続して形成されている第2電極、を有する、発光装置において、
前記素子分離層の上に導電層を有し、
前記導電層は前記素子分離層に形成されている開口を介して前記補助電極と接続されており、前記導電層を介して前記第2電極と前記補助電極とが接続されており、
前記導電層の厚みは、前記発光媒体の厚みよりも厚いことを特徴とする発光装置。 - 前記導電層は、互いに離間して形成されている複数のドット状の部材であることを特徴とする請求項4に記載の発光装置。
- 前記補助電極は、前記第1電極と同一の平面に形成された層であることを特徴とする請求項4または請求項5に記載の発光装置。
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