JP2008135156A

JP2008135156A - System and method for discriminating problem of piezoelectric element of micro-actuator

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Publication number: JP2008135156A
Application number: JP2007281940A
Authority: JP
Inventors: Ming Gao Yao; 明高姚
Original assignee: SAE Magnetics HK Ltd
Current assignee: SAE Magnetics HK Ltd
Priority date: 2006-10-30
Filing date: 2007-10-30
Publication date: 2008-06-12
Also published as: CN101174415A

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a system and a method for discriminating a problem of a piezoelectric element of a micro-actuator. <P>SOLUTION: Vibration of a reference unit and a test unit is caused by applying voltage such as sine wave voltage to the reference unit (S602). Then, it is confirmed whether a problem exists in the test unit or not by comparison (e.g. using a processor) of corresponding resonance properties (e.g. frequency, amplitude, phase, or the like) (S604, S606, S608). The reference unit can possess a head gimbal assembly or a head suspension assembly of a hard disk drive device. Also, the test unit includes parts used for detection. A problem of the piezoelectric element can be detected by this technology even when only one piezoelectric element is included in each micro-actuator. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、情報記録ディスクドライブ装置に係り、特にディスクドライブ装置のヘッドサスペンションアセンブリに設置されたマイクロアクチュエータの圧電素子に係わる問題を識別するための技術に関する。 The present invention relates to an information recording disk drive device, and more particularly to a technique for identifying a problem related to a piezoelectric element of a microactuator installed in a head suspension assembly of a disk drive device.

ディスクドライブ装置は、磁気媒体を用いてデータを記録する装置としてよく利用されている。このディスクドライブ装置は、磁気媒体の上方に設けられた移動式の記録／再生ヘッドによって、この磁気媒体からのデータの記録／再生を選択的に行う装置である。 A disk drive device is often used as a device for recording data using a magnetic medium. This disk drive apparatus is an apparatus for selectively recording / reproducing data from / on a magnetic medium by a movable recording / reproducing head provided above the magnetic medium.

従来、ユーザは、ディスクドライブ装置に対し、高記録密度化、記録／再生操作の迅速化及び高精度化を要望してきた。このため、ディスクドライブ装置の各メーカは、例えば、磁気ディスクのトラック幅やトラックピッチを小さくして、間接的に磁気ディスクのトラックの記録容量を増やすことで、記録密度の高い磁気ディスクドライブ装置を鋭意開発してきた。ただし、トラック密度の増加に伴い高密度化したディスクドライブ装置に対して、迅速且つ高精度に記録／再生操作を行うために、記録／再生ヘッドに対する位置制御にも高精度化が要求されていた。しかしながら、従来の技術を利用して記録／再生ヘッドを迅速且つ高精度に磁気ディスクのトラックに配置させることは、トラック密度の増加に伴い極めて難しくなってきている。このようなトラック密度のますますの増加に伴い、記録／再生ヘッドの位置決め制御を改善する技術が検討されている。 Conventionally, users have requested disk drive devices to have higher recording density, faster recording / reproducing operations, and higher accuracy. For this reason, manufacturers of disk drive devices, for example, reduce the track width and track pitch of the magnetic disk and indirectly increase the recording capacity of the track of the magnetic disk, thereby increasing the recording density of the magnetic disk drive device. We have been intensively developing. However, in order to perform a recording / reproducing operation quickly and with high accuracy for a disk drive device that has been increased in density with an increase in track density, high accuracy has been required for position control for the recording / reproducing head. . However, it has become extremely difficult to quickly and highly accurately arrange a recording / reproducing head on a track of a magnetic disk using conventional techniques as the track density increases. With such an increase in track density, a technique for improving the positioning control of the recording / reproducing head is being studied.

各メーカは記録／再生ヘッドの位置決め制御を改善するために、第二駆動器（即ちマイクロアクチュエータ）を採用している。このマイクロアクチュエータは、１つの主駆動器と共に駆動することにより、記録／再生ヘッドの位置決め精度の向上、及び操作の迅速化を実現している。このマイクロアクチュエータが備えられたディスクドライブは二駆動器システムと呼ばれている。 Each manufacturer employs a second driver (i.e., microactuator) to improve the positioning control of the recording / reproducing head. This microactuator is driven together with one main driver to improve the recording / reproducing head positioning accuracy and speed up the operation. A disk drive equipped with this microactuator is called a two-driver system.

従来、記録／再生操作の速度を高め、高密度の磁気ディスクでの記録／再生ヘッドの位置決め制御の高精度化を実現するために、様々な二駆動器システムが開発されてきた。このような二駆動器システムは、１つの主駆動器であるボイスコイルモータ（ＶＣＭ）と、１つの副駆動器であるマイクロアクチュエータ（例えば、圧電素子マイクロアクチュエータ）と、を含む構成である。ボイスコイルモータはサーボ制御システムにより制御され、このサーボ制御システムは駆動アームを回転させる。駆動アームは、記録／再生ヘッドを搭載しており、これにより該記録／再生ヘッドを記録媒体の特定のトラック上に位置決めする。圧電素子（ＰＺＴ素子）マイクロアクチュエータはボイスコイルモータ駆動器と共に使用されることで、記録／再生操作の迅速化、及び記録／再生ヘッドの位置決め制御の高精度化を実現している。すなわち、ボイスコイルモータ駆動器は、記録／再生ヘッドの位置決めを低い精度で粗調整し、圧電素子マイクロアクチュエータは記録媒体に対する記録／再生ヘッドの位置決めを高い精度で微調整する。これら２つの駆動器を用いることにより、高密度の磁気ディスクから情報の記録／再生操作を迅速且つ高精度に行うことができる。 Conventionally, various two-driver systems have been developed in order to increase the speed of the recording / reproducing operation and to realize the high-precision positioning control of the recording / reproducing head on the high-density magnetic disk. Such a two-driver system includes a voice coil motor (VCM) that is one main driver and a microactuator (for example, a piezoelectric element microactuator) that is one sub-driver. The voice coil motor is controlled by a servo control system, which rotates the drive arm. The drive arm carries a recording / reproducing head, and thereby positions the recording / reproducing head on a specific track of the recording medium. A piezoelectric element (PZT element) microactuator is used together with a voice coil motor driver, thereby realizing a rapid recording / reproducing operation and a high-precision recording / reproducing head positioning control. That is, the voice coil motor driver coarsely adjusts the positioning of the recording / reproducing head with low accuracy, and the piezoelectric element microactuator finely adjusts the positioning of the recording / reproducing head with respect to the recording medium with high accuracy. By using these two drivers, information can be recorded / reproduced from a high-density magnetic disk quickly and accurately.

現在、記録／再生ヘッドの位置決めに使用されるマイクロアクチュエータは圧電素子を有する構成である。このような圧電素子マイクロアクチュエータは、該マイクロアクチュエータ上の圧電素子を選択的に伸縮又は拡張するように、この圧電素子を駆動させる電子回路構造を有している。圧電素子マイクロアクチュエータは、このような構造を有することで、圧電素子の伸縮又は拡張によってマイクロアクチュエータを駆動させ、更には記録／再生ヘッドを動作させることができる。この記録／再生ヘッドの動作は、ボイスコイルモータ駆動器のみを使用している磁気ディスクドライブユニットと比べ、記録／再生ヘッドの位置をより迅速且つ高精度に調整することができる。このような従来例に関する圧電素子マイクロアクチュエータは、例えば以下の特許文献１乃至４に開示されている。ここで、これら特許文献の内容を組み合わせて説明する。 Currently, the microactuator used for positioning of the recording / reproducing head has a configuration including a piezoelectric element. Such a piezoelectric element microactuator has an electronic circuit structure for driving the piezoelectric element so as to selectively expand or contract the piezoelectric element on the microactuator. Since the piezoelectric element microactuator has such a structure, the microactuator can be driven by the expansion or contraction or expansion of the piezoelectric element, and the recording / reproducing head can be operated. The operation of the recording / reproducing head can adjust the position of the recording / reproducing head more quickly and with higher accuracy than a magnetic disk drive unit using only a voice coil motor driver. Such piezoelectric element microactuators related to the conventional example are disclosed in, for example, the following Patent Documents 1 to 4. Here, the contents of these patent documents will be described in combination.

図１及び図２は、従来のディスクドライブユニットを示す図であり、磁気ディスク１０１は、スピンドルモータ１０２上に装着され、このスピンドルモータ１０２の駆動により回転する。ボイスコイルモータアーム１０４にはヘッドジンバルアセンブリ(head gimbal assembly,ＨＧＡ)２２７が搭載されており、このヘッドジンバルアセンブリ２２７はスライダ２０３を備えたマイクロアクチュエータ１０５を含み、このスライダ２０３には記録／再生ヘッドが配置されている。ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）は、ボイスコイルモータアーム１０４の動作を制御し、更にはスライダ２０３が磁気ディスク１０１の表面で一つのトラックから他のトラックへ移動することを制御する。これにより、記録／再生ヘッドは磁気ディスク１０１に対して情報の記録／再生を行うことが可能となる。 FIGS. 1 and 2 are diagrams showing a conventional disk drive unit. A magnetic disk 101 is mounted on a spindle motor 102 and is rotated by driving the spindle motor 102. A head gimbal assembly (HGA) 227 is mounted on the voice coil motor arm 104. The head gimbal assembly 227 includes a microactuator 105 having a slider 203. The slider 203 includes a recording / reproducing head. Is arranged. The voice coil motor (VCM) controls the operation of the voice coil motor arm 104 and further controls the movement of the slider 203 from one track to another track on the surface of the magnetic disk 101. As a result, the recording / reproducing head can record / reproduce information with respect to the magnetic disk 101.

ただし、一つのサーボモータシステムのみを使用する場合、ボイスコイルモータ及びヘッドサスペンションアセンブリによる固有誤差のため、スライダの迅速且つ正確な位置決めが制御できなくなり、かえって磁気ディスクから情報の記録や再生を行う記録／再生ヘッドの精度性能に影響を及ぼしていた。そこで、マイクロアクチュエータを備えることによって、スライダ２０３及び記録／再生ヘッドの位置決め精度を向上させている。具体的には、圧電マイクロアクチュエータは、ボイスコイルモータと比べて、スライダの位置をより小さな幅度で調整させ、ボイスコイルモータまたはヘッドサスペンションアセンブリの共振誤差を補っている。この圧電マイクロアクチュエータによって、更に小さなトラックピッチへの応用が可能となり、またディスクドライブ装置のトラック密度（ＴＰＩ値、毎インチ当たりのトラック数）を５０％向上させるとともに、磁気ヘッドのシーク時間と位置決め時間を短くさせることもできる。これにより、圧電マイクロアクチュエータは記録ディスクの表面記録密度を大幅に高めることができる。 However, when only one servo motor system is used, due to the inherent error caused by the voice coil motor and head suspension assembly, the quick and accurate positioning of the slider cannot be controlled, and recording that records and reproduces information from the magnetic disk. / The accuracy performance of the playback head was affected. Therefore, by providing a microactuator, the positioning accuracy of the slider 203 and the recording / reproducing head is improved. Specifically, the piezoelectric microactuator adjusts the position of the slider with a smaller width than the voice coil motor to compensate for the resonance error of the voice coil motor or the head suspension assembly. This piezoelectric microactuator can be applied to a smaller track pitch, and the track density (TPI value, the number of tracks per inch) of the disk drive device is improved by 50%, and the seek time and positioning time of the magnetic head. Can be shortened. Thereby, the piezoelectric microactuator can significantly increase the surface recording density of the recording disk.

図２Ａは、従来のＵ字形のマイクロアクチュエータを示す斜視図である。図２Ａに示すように、マイクロアクチュエータ１０５はセラミックフレーム１００を有し、該セラミックフレーム１００にはサイドアーム１０７及び１０８が含まれている。このサイドアーム１０７及び１０８には圧電素子１０７ａ及び１０８ａがそれぞれ装着されている。マイクロアクチュエータ１０５は、このセラミックフレーム１００の底部を介してヘッドジンバルアセンブリのサスペンションタングと連結する。また、平行なギャップ（図示せず）が存在することによって、圧電素子１０７ａ、１０８ａの少なくとも一方に電圧を印加したとき、圧電マイクロアクチュエータ１０５がスライダ２０３をスムーズに移動させることができる。 FIG. 2A is a perspective view showing a conventional U-shaped microactuator. As shown in FIG. 2A, the microactuator 105 has a ceramic frame 100, and the ceramic frame 100 includes side arms 107 and 108. Piezoelectric elements 107a and 108a are mounted on the side arms 107 and 108, respectively. The microactuator 105 is connected to the suspension tongue of the head gimbal assembly through the bottom of the ceramic frame 100. Further, the presence of a parallel gap (not shown) allows the piezoelectric microactuator 105 to move the slider 203 smoothly when a voltage is applied to at least one of the piezoelectric elements 107a and 108a.

図２Ｂは、従来の他のＵ字形のマイクロアクチュエータを示す斜視図である。図２Ｂに示すように、マイクロアクチュエータ１０５'は金属フレーム２１３を含み、該金属フレーム２１３は、トップサポートアーム２１４と、ボトムサポートアーム２１５と、サイドアーム２１１、２１２とを含む構成である。このサイドアーム２１１及び２１２には、圧電素子２０７及び２０８がそれぞれ装着されている。またボトムサポートアーム２１５はサスペンションタングに装着されている。さらに、平行なギャップ（図示せず）が存在することによって、圧電素子２０７、２０８の少なくても一方に電圧を印加したとき、圧電マイクロアクチュエータ１０５'がスライダ２０３をスムーズに移動させることができる。 FIG. 2B is a perspective view showing another conventional U-shaped microactuator. As shown in FIG. 2B, the microactuator 105 ′ includes a metal frame 213, and the metal frame 213 includes a top support arm 214, a bottom support arm 215, and side arms 211 and 212. Piezoelectric elements 207 and 208 are mounted on the side arms 211 and 212, respectively. The bottom support arm 215 is attached to the suspension tongue. Further, the presence of a parallel gap (not shown) allows the piezoelectric microactuator 105 ′ to move the slider 203 smoothly when a voltage is applied to at least one of the piezoelectric elements 207 and 208.

図２Ｃは、図１及び図２に示した従来のディスクドライブユニットの二駆動器を含むヘッドジンバルアセンブリ２２７を示している。より具体的には、図２Ｃは、図１及び図２に示した従来のディスクドライブユニットのヘッドジンバルアセンブリを拡大して示す斜視図である。図２Ｂに示したマイクロアクチュエータは、ヘッドジンバルアセンブリによって位置決めされる。もちろん、図２Ａに示したマイクロアクチュエータもこのヘッドジンバルアセンブリに位置決めされるが、これについての詳細な説明は省略する。簡単に説明すると、マイクロアクチュエータ１０５'は、電気接続パッド１０９を介して各圧電素子２０７、２０８の一端にあるサスペンショントレース１１７に連結される。電気接続パッド１０９は、例えば金ボール接続（gold ball bonding,ＧＢＢ）、ハンダボール接続（solder ball bonding,ＳＢＢ）、或いはその他の類似する方法等によって適切に形成される。そしてスライダ２０３は、金属フレーム２１３のトップサポートアーム２１４に取付けられ、複数の電気接続パッド（金ボール接続、ハンダボール接続或いはその他の類似な方法によって接続される）を用いてこのスライダ２０３とサスペンショントレース１１０を連結させて、記録／再生トランスデューサ間の電気接続を実現する。サスペンショントレース１１７を介して駆動電圧を印加した場合、サイドアーム２１１、２１２における圧電素子２０７、２０８が拡張又は収縮することによって、サイドアーム２１１、２１２を同じ片側方向に沿って湾曲させる。このように、スライダ２０３が二つのサイドアームに連結されていることにより、スライダ２０３には側面方向の位置移動が発生する。これによりスライダの位置制御の微調整を実現することができる。 FIG. 2C shows a head gimbal assembly 227 including two drivers of the conventional disk drive unit shown in FIGS. More specifically, FIG. 2C is an enlarged perspective view showing a head gimbal assembly of the conventional disk drive unit shown in FIGS. The microactuator shown in FIG. 2B is positioned by a head gimbal assembly. Of course, the microactuator shown in FIG. 2A is also positioned on the head gimbal assembly, but a detailed description thereof will be omitted. Briefly, the microactuator 105 ′ is coupled to a suspension trace 117 at one end of each piezoelectric element 207, 208 via an electrical connection pad 109. The electrical connection pad 109 is appropriately formed by, for example, gold ball bonding (GBB), solder ball bonding (SBB), or other similar methods. The slider 203 is attached to the top support arm 214 of the metal frame 213, and the slider 203 and the suspension trace are connected using a plurality of electrical connection pads (connected by gold ball connection, solder ball connection, or other similar methods). 110 is coupled to provide an electrical connection between the recording / reproducing transducers. When a driving voltage is applied via the suspension trace 117, the piezoelectric elements 207 and 208 in the side arms 211 and 212 are expanded or contracted to bend the side arms 211 and 212 along the same one side direction. As described above, the slider 203 is connected to the two side arms, so that the slider 203 is moved in the lateral direction. Thereby, fine adjustment of the position control of the slider can be realized.

このようなマイクロアクチュエータは、産業の中で普遍性が高く、且つハードディスクドライブの機能としても非常に重要となるため、マイクロアクチュエータの圧電素子に係わる問題或いは故障をどのように識別するかを考慮する必要があった。この問題としては、例えば微小クラックの形成、圧電素子の変形などがあげられる。従来の技術では、圧電素子の問題を検知するために、圧電素子に対して目視検査を行っていた。しかしながら、この検査は欠点を有している。例えば、圧電素子及びヘッドジンバルアセンブリのサイズ及び複雑性による制限があるので、目視検査だけでは問題を検知することができないおそれがあった。 Such microactuators are highly universal in the industry and are also very important as hard disk drive functions, so consider how to identify problems or failures related to microactuators' piezoelectric elements. There was a need. Examples of this problem include formation of microcracks and deformation of piezoelectric elements. In the prior art, in order to detect a problem of the piezoelectric element, the piezoelectric element is visually inspected. However, this inspection has drawbacks. For example, since there is a limitation due to the size and complexity of the piezoelectric element and the head gimbal assembly, the problem may not be detected by visual inspection alone.

また、別の技術として、圧電素子に電圧をかけ、且つレーザドップラ振動計（Laser Doppler Vibrometers,ＬＤＶ）を用い、他の圧電素子に対して静電容量測定又は共振測定を行って機械共振特性を検定し、特に予定標準との偏差を検出することがあった。この技術に関しては特許文献５に例示されており、ここでは同特許文献の内容を参照して説明する。 As another technique, voltage is applied to the piezoelectric element and laser Doppler vibrometers (LDV) are used to measure the capacitance or resonance of other piezoelectric elements to obtain mechanical resonance characteristics. In some cases, a deviation from the planned standard was detected. This technique is exemplified in Patent Document 5, which will be described with reference to the contents of the same.

図３Ａは、二つの圧電素子を含むヘッドジンバルアセンブリのエラーを検知する先の試験装置３００を示す図である。この試験装置３００は、関連入力機構３１８及びディスプレイ３１６を備えたユーザ・インターフェース３１４と、試験制御処理機３１２と、信号発生器３０８及び信号解析器３１０とを含んでいる。その中で信号発生器３０８は、ヘッドジンバルアセンブリの第１サイドアームの第１マイクロアクチュエータ２０７に電気接続（３０４）されている。また信号解析器３１０は、第２サイドアームの第２マイクロアクチュエータ２０８に電気接続（３０６）されている。試験制御処理機３１２は信号発生器３０８を指示して、所定の電圧（例えば、掃引（swept）、正弦、ピリオド・チャープ（period chirp）、ランダム・ノイズ（random noise）など）で基準信号を出力するようにする。この基準信号は、圧電素子２０７を起動し、且つ第１サイドアームの湾曲を引き起こす。これら第１サイドアームと第２サイドアームは相互連結しており、且つ第２圧電素子がこの第２サイドアーム上に位置しているため、第２圧電素子２０８も湾曲されることになり、これにより圧電素子２０８の中には応答電圧が発生する。またマイクロアクチュエータの特性を予測するために、信号解析器３１０にて応答電圧を検出し、試験制御処理機３１２で基準信号の特性と応答信号の特性に対して比較操作を行う。 FIG. 3A is a diagram illustrating a test apparatus 300 that detects an error of a head gimbal assembly including two piezoelectric elements. The test apparatus 300 includes a user interface 314 with an associated input mechanism 318 and a display 316, a test control processor 312, a signal generator 308 and a signal analyzer 310. Among them, the signal generator 308 is electrically connected (304) to the first microactuator 207 of the first side arm of the head gimbal assembly. The signal analyzer 310 is electrically connected (306) to the second microactuator 208 of the second side arm. The test control processor 312 instructs the signal generator 308 to output a reference signal at a predetermined voltage (eg, sweep, sine, period chirp, random noise, etc.) To do. This reference signal activates the piezoelectric element 207 and causes the first side arm to bend. Since the first side arm and the second side arm are interconnected and the second piezoelectric element is located on the second side arm, the second piezoelectric element 208 is also curved, As a result, a response voltage is generated in the piezoelectric element 208. Further, in order to predict the characteristics of the microactuator, the response voltage is detected by the signal analyzer 310, and the test control processor 312 compares the reference signal characteristics and the response signal characteristics.

図３Ｂは、図３Ａに示された従来のシステムの出力状況を説明する図である。ここで、対照データは、電子フィルターの安定状態の周波数応答を反映するのに便利なボード線図（bode plot）により表すことができる。この図には、周波数対数に対する増益対数の曲線が示されている。図において、Ｒ１は圧電素子２０７又は２０８の電気信号の出力値であり、Ｒ２は予期した応答信号である。応答信号Ｒ１と予期した応答信号Ｒ２が適合しない場合（例えば、メインピーク周波数ドリフト、増益振幅の不一致など）、圧電素子の応答特性が既に変化したことを意味し、該圧電素子に破壊或いは欠陥が発生した可能性があることを示している。 FIG. 3B is a diagram for explaining the output status of the conventional system shown in FIG. 3A. Here, the control data can be represented by a bode plot useful for reflecting the steady state frequency response of the electronic filter. In this figure, a logarithm of increased profit versus logarithmic frequency is shown. In the figure, R1 is the output value of the electrical signal of the piezoelectric element 207 or 208, and R2 is the expected response signal. If the response signal R1 and the expected response signal R2 do not match (for example, main peak frequency drift, profit increase amplitude mismatch, etc.), it means that the response characteristics of the piezoelectric element have already changed, and the piezoelectric element is damaged or defective. Indicates that it may have occurred.

以上のように二つの圧電素子を含む構造のヘッドジンバルアセンブリでは、これら従来の静電容量測定及びレーザドップラ振動計による測定をうまく利用することができる。ただし、システムに一つしか圧電素子がない場合、それらは全く働かないおそれもあった。このような状況はハードディスクドライブセンサシステムにおいて発生する可能性がある。したがって、上記欠点を克服できるような改善されたシステムを提供することが要望されていた。
特開２００２−１３３８０３号公報米国特許公報第６６７１１３１号米国特許公報第６７００７４９号米国公開特許公報第２００３−０１６８９３５号米国公開特許公報第２００３−００７６１２１号 As described above, in the head gimbal assembly having the structure including the two piezoelectric elements, the conventional capacitance measurement and the measurement by the laser Doppler vibrometer can be used well. However, if there was only one piezoelectric element in the system, they could not work at all. Such a situation can occur in a hard disk drive sensor system. Therefore, it has been desired to provide an improved system that can overcome the above disadvantages.
JP 2002-133803 A US Pat. No. 6,671,131 US Patent Publication No. 6700749 US Published Patent Publication No. 2003-0168935 US Published Patent Publication No. 2003-0076121

本発明では、幾つかの実施形態に基づいて、ハードディスクドライブユニットに配設されたマイクロアクチュエータの圧電素子の欠陥を検知する技術、及びマイクロアクチュエータに少なくとも一つの圧電素子を装着した場合の欠陥を検知する技術を提供する。 In the present invention, based on some embodiments, a technique for detecting a defect of a piezoelectric element of a microactuator disposed in a hard disk drive unit, and a defect when at least one piezoelectric element is mounted on the microactuator are detected. Provide technology.

本発明は、マイクロアクチュエータの圧電素子の問題を識別するためのシステムを提供する。電圧分配器は、一つの参照用マイクロアクチュエータと連結することができて、この参照用マイクロアクチュエータを基準共振の状況で振動させる構造を有する。また試験用マイクロアクチュエータは、参照用マイクロアクチュエータからの振動に誘導されて被試験共振の状況で振動する。プロセッサは、基準共振の少なくとも一つの特性と被試験共振の少なくとも一つの相応な特性とを相互比較する構成である。 The present invention provides a system for identifying problems with piezoelectric elements of microactuators. The voltage distributor can be connected to one reference microactuator, and has a structure for causing the reference microactuator to vibrate in a state of standard resonance. The test microactuator is induced by vibration from the reference microactuator and vibrates in the state of the resonance under test. The processor is configured to compare at least one characteristic of the reference resonance with at least one corresponding characteristic of the resonance under test.

また、本発明の具体的な実施形態により、本発明に係るマイクロアクチュエータの圧電素子の問題を識別するための方法を提供する。まず、参照用マイクロアクチュエータと試験用マイクロアクチュエータを用意する。次に、参照用マイクロアクチュエータに電圧を印加させて、それが該参照用マイクロアクチュエータ内で誘導されて基準共振を形成するようにする。そして、基準共振及び被試験共振を測定する。さらに基準共振の少なくとも一つの特性と被試験共振の少なくとも一つの相応な特性に対して比較操作を行う。 Also, according to a specific embodiment of the present invention, a method for identifying a problem of a piezoelectric element of a microactuator according to the present invention is provided. First, a reference microactuator and a test microactuator are prepared. Next, a voltage is applied to the reference microactuator so that it is induced in the reference microactuator to form a reference resonance. Then, the reference resonance and the resonance under test are measured. Furthermore, a comparison operation is performed for at least one characteristic of the reference resonance and at least one corresponding characteristic of the resonance under test.

また他の実施形態において、ディスクドライブ装置におけるマイクロアクチュエータの圧電素子の問題を識別するための方法を提供する。ディスクドライブ装置は一組のヘッドジンバルアセンブリを有するヘッドサスペンションアセンブリを含み、この各ヘッドジンバルアセンブリは記録／再生ヘッドが設けられたスライダ及びヘッドジンバルアセンブリに連結された駆動アームを更に含んでいる。この方法は、ヘッドサスペンションアセンブリに電圧を印加させて、それが各マイクロアクチュエータ内で誘導されて共振を形成させるようにする。次に各マイクロアクチュエータ内の誘導共振を測定する。そして、基準共振を形成する。さらに基準共振の少なくとも一つの特性と被試験共振の少なくとも一つの相応な特性に対して比較操作を行う。 In yet another embodiment, a method for identifying a problem with a piezoelectric element of a microactuator in a disk drive device is provided. The disk drive apparatus includes a head suspension assembly having a set of head gimbal assemblies, each head gimbal assembly further including a slider provided with a recording / reproducing head and a drive arm connected to the head gimbal assembly. This method applies a voltage to the head suspension assembly so that it is induced in each microactuator to form a resonance. Next, the inductive resonance in each microactuator is measured. Then, a reference resonance is formed. Furthermore, a comparison operation is performed for at least one characteristic of the reference resonance and at least one corresponding characteristic of the resonance under test.

以下、図面を参照して、マイクロアクチュエータの圧電素子内に発生する問題（例えば、微小クラックの形成、変形など）を識別するための技術に関して、幾つかの実施形態を説明する。電圧（例えば正弦波電圧など）は参照ユニットに印加されることで、参照ユニット及び試験ユニットの振動を引き起こすことができる。そして、相応する共振特性（例えば周波、振幅、位相など）と比較する（例えば、プロセッサを用いる）ことによって、試験ユニットに問題があるか否かを確認することができる。この参照ユニットは、ハードディスクドライブ装置のヘッドジンバルアセンブリ或いはヘッドサスペンションアセンブリに配置されていてもよい。また試験ユニットは、検知に用いられる部品を含んでいる。このような技術によれば、各マイクロアクチュエータに圧電素子が一つだけ含まれる場合でも圧電素子に生じた問題を検知することが可能となる。 Hereinafter, with reference to the drawings, some embodiments will be described with respect to a technique for identifying problems (for example, formation of microcracks, deformation, etc.) occurring in a piezoelectric element of a microactuator. A voltage (such as a sinusoidal voltage) can be applied to the reference unit to cause vibration of the reference unit and the test unit. Then, by comparing (for example, using a processor) with corresponding resonance characteristics (for example, frequency, amplitude, phase, etc.), it can be confirmed whether there is a problem with the test unit. The reference unit may be disposed in a head gimbal assembly or a head suspension assembly of the hard disk drive device. The test unit also includes parts used for detection. According to such a technique, even if each microactuator includes only one piezoelectric element, it is possible to detect a problem that has occurred in the piezoelectric element.

図４Ａ、図４Ｂは、本発明の実施形態に係る試験システムの例示的なソース装置（source device）４０１を示す図であり、図４Ｃ、図４Ｄは本発明の実施形態に係る試験システムの例示的な受信装置を示す図である。ソース装置４０１は、参照用ヘッドジンバルアセンブリ４１１の参照用マイクロアクチュエータ４０３に電圧を提供するために用いられる電圧分配器４０２を含んでいる。また受信装置４０８は、センサ４０５と、プロセッサ４０７と、試験用ヘッドジンバルアセンブリ４１１'と連結した試験用マイクロアクチュエータ４０４を含む構成である。 4A and 4B are diagrams showing an exemplary source device 401 of the test system according to the embodiment of the present invention, and FIGS. 4C and 4D are illustrations of the test system according to the embodiment of the present invention. It is a figure which shows a typical receiver. The source device 401 includes a voltage distributor 402 that is used to provide a voltage to the reference microactuator 403 of the reference head gimbal assembly 411. The receiving device 408 includes a sensor 405, a processor 407, and a test microactuator 404 connected to the test head gimbal assembly 411 ′.

参照用ヘッドジンバルアセンブリ４１１の参照用マイクロアクチュエータ４０３がソース装置４０１により駆動する時、参照用マイクロアクチュエータ４０３の圧電素子は振動しながら固定周波数を有する振動波形を発生する。図４Ａに示すように、この振動波形は空気中を伝播する。そして、受信装置４０８と連結した試験用ヘッドジンバルアセンブリ４１１'における試験用マイクロアクチュエータ４０４の圧電素子により該波形を接収する。ここで、試験用ヘッドジンバルアセンブリ４１１'と参照用ヘッドジンバルアセンブリ４１１の周波数が同一になっているため、試験用ヘッドジンバルアセンブリ４１１'は波形を接収して、試験用マイクロアクチュエータ４０４の圧電素子内で応答共振を発生する。この応答共振は、ヘッドジンバルアセンブリ４１１'と試験用マイクロアクチュエータ４０４の特性を表すことになる。例えば、共振周波数の変化或いは振幅の増加／減少が発生した場合、試験用ヘッドジンバルアセンブリ４１１'における試験用マイクロアクチュエータ４０４の圧電素子が破損している、或いは欠陥があることを示すことになる（圧電素子の応答特性によって表示することが可能になる）。 When the reference microactuator 403 of the reference head gimbal assembly 411 is driven by the source device 401, the piezoelectric element of the reference microactuator 403 generates a vibration waveform having a fixed frequency while vibrating. As shown in FIG. 4A, this vibration waveform propagates in the air. Then, the waveform is received by the piezoelectric element of the test microactuator 404 in the test head gimbal assembly 411 ′ connected to the receiving device 408. Here, since the frequencies of the test head gimbal assembly 411 ′ and the reference head gimbal assembly 411 are the same, the test head gimbal assembly 411 ′ seizes the waveform, and within the piezoelectric element of the test microactuator 404. A response resonance occurs. This response resonance represents the characteristics of the head gimbal assembly 411 ′ and the test microactuator 404. For example, if a change in resonance frequency or an increase / decrease in amplitude occurs, it indicates that the piezoelectric element of the test microactuator 404 in the test head gimbal assembly 411 ′ is broken or defective ( It is possible to display by the response characteristic of the piezoelectric element).

図５Ａは、本発明の実施形態に係る試験システムから得られた試験データの一例を示す図である。参照用マイクロアクチュエータ４０３の圧電素子に正弦波の駆動電圧５０１を印加すると、この参照用マイクロアクチュエータ４０３は振動し且つ共振波形を発生する。本実施形態では、周波数を大体２５ｋＨｚに設定してあるが、勿論その他の周波数に設定してもよい。この波形は空気中を伝播する。また、受信装置４０８内に位置している試験用マイクロアクチュエータ４０４は波形を接収して、共振５０２に誘導にされて応答する。この誘導された共振５０２は、電圧分配器４０２で印加した駆動電圧及び参照用マイクロアクチュエータ４０３の共振周波数と同じ周波数を有している。 FIG. 5A is a diagram illustrating an example of test data obtained from the test system according to the embodiment of the present invention. When a sinusoidal drive voltage 501 is applied to the piezoelectric element of the reference microactuator 403, the reference microactuator 403 vibrates and generates a resonance waveform. In the present embodiment, the frequency is set to about 25 kHz, but of course, other frequencies may be set. This waveform propagates in the air. Further, the test microactuator 404 located in the receiving device 408 confines the waveform and is induced to respond to the resonance 502. The induced resonance 502 has the same frequency as the drive voltage applied by the voltage divider 402 and the resonance frequency of the reference microactuator 403.

図５Ｂは、本発明の実施形態に係る試験システムから得られた試験データの他の一例を示す図である。誘導電圧５０３と試験用ヘッドジンバルアセンブリ４１１'の共振は相互対応している。図５Ｂに示すように、誘導共振電圧５０３の周波数は１２．５ＫＨｚであり、この周波数は参照用マイクロアクチュエータ４０３の共振周波数より低くなっている。ここで、このマイクロアクチュエータ４０３が参照対象として用いられるので、上記のような相違は、試験用マイクロアクチュエータ４０４に微小クラック或いは別の欠陥が存在していることを意味している。 FIG. 5B is a diagram showing another example of test data obtained from the test system according to the embodiment of the present invention. The resonances of the induced voltage 503 and the test head gimbal assembly 411 ′ correspond to each other. As shown in FIG. 5B, the frequency of the induction resonance voltage 503 is 12.5 KHz, and this frequency is lower than the resonance frequency of the reference microactuator 403. Here, since this microactuator 403 is used as a reference object, the above difference means that a microcrack or another defect exists in the test microactuator 404.

図６は、本発明の実施形態に係るマイクロアクチュエータに対して試験操作を行う方法を示す例示的なフローチャートである。まず、ステップＳ６０２においては電圧を参照用マイクロアクチュエータに印加する。これにより参照用マイクロアクチュエータ内で共振を引き起し、この共振により試験用マイクロアクチュエータ内で共振を引き起す。次に、参照用マイクロアクチュエータ及び試験用マイクロアクチュエータ内で引き起された共振を、ステップＳ６０４において測定し、ステップＳ６０６において比較する。そしてこの比較に基づいて、ステップＳ６０８において試験用マイクロアクチュエータに問題があるか否かを確認することができる。この比較の対象としては、振幅、周波数、位相の変化などがあげられる。 FIG. 6 is an exemplary flowchart illustrating a method for performing a test operation on a microactuator according to an embodiment of the present invention. First, in step S602, a voltage is applied to the reference microactuator. This causes resonance in the reference microactuator, and this resonance causes resonance in the test microactuator. Next, resonances induced in the reference microactuator and the test microactuator are measured in step S604 and compared in step S606. Based on this comparison, it can be confirmed in step S608 whether there is a problem with the test microactuator. Examples of this comparison include changes in amplitude, frequency, and phase.

上記説明のように、電圧分配器は単一のヘッドジンバルアセンブリに適用しているが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、他の実施形態においては全体のヘッドサスペンションアセンブリに対して試験を行うこともできる。図７はヘッドサスペンションアセンブリ８００の局部斜視図である。本発明の実施形態に関する試験技術は、このようなヘッドサスペンションアセンブリにも用いられることができる。このヘッドサスペンションアセンブリ８００は磁気ヘッド（head）を含んでいるため、電圧分配器の運転時、ヘッドサスペンションアセンブリ８００の各ヘッドジンバルアセンブリ２７７ａ乃至ｅに位置している一部、或いは全部のマイクロアクチュエータ２０３ａ乃至ｅを誘導することができる。また各マイクロアクチュエータ２０３ａ乃至ｅにも応答共振が発生する。そして、各マイクロアクチュエータの圧電素子ごとの特性が識別されて、それぞれ別の対象として比較することもできる。このため本発明の他の実施形態において、全体のヘッドサスペンションアセンブリ８００を参照対象として良好的に適用することができる。また、本発明のその他の実施形態において（例えば図８を参照して以下に説明する）は、その他の比較も実施可能で、これにより上記の比較技術を補充し或いは代替することができる。 As described above, the voltage divider is applied to a single head gimbal assembly, but the present invention is not limited to this. For example, in other embodiments, the entire head suspension assembly can be tested. FIG. 7 is a local perspective view of the head suspension assembly 800. The testing techniques relating to embodiments of the present invention can also be used for such head suspension assemblies. Since the head suspension assembly 800 includes a magnetic head, a part or all of the microactuators 203a located in the head gimbal assemblies 277a to 277e of the head suspension assembly 800 when the voltage distributor is operated. To e can be induced. In addition, response resonance also occurs in each of the microactuators 203a to 203e. And the characteristic for every piezoelectric element of each microactuator is identified, and it can also compare as a different object, respectively. Therefore, in another embodiment of the present invention, the entire head suspension assembly 800 can be favorably applied as a reference object. Also, in other embodiments of the present invention (described below with reference to FIG. 8, for example), other comparisons can be performed, thereby supplementing or replacing the above-described comparison techniques.

図８は、本発明の実施形態に係る全体のヘッドサスペンションアセンブリのマイクロアクチュエータに対して試験を行う方法の例示的なフローチャートである。まず、ステップＳ８０２においては、電圧をヘッドサスペンションアセンブリに印加して、このヘッドサスペンションアセンブリのヘッドジンバルアセンブリにおける各マイクロアクチュエータ内に誘導して共振を引き起こす。次に、ステップＳ８０４において各マイクロアクチュエータ内で誘導した共振を測定し、ステップＳ８０６において誘導共振の一個或いは数個に対して比較操作を行う。これらの比較には、一連の一対比較、誘導共振の平均との比較、予定の基準共振との比較などが含まれる。なお好ましくは、一個或いは数個の共振を全て基準共振として指定して、検出されたその他の全ての共振がそれと比較されるようにする。また各誘導共振とその他の各誘導共振を相互比較することが含まれるように、基準共振を誘導共振をめぐって旋回させてもよい。続いて、上記比較に基づき、ステップＳ８０８において一個或いは数個のマイクロアクチュエータに問題があるか否かを確認することができる。 FIG. 8 is an exemplary flowchart of a method for testing a microactuator of an overall head suspension assembly according to an embodiment of the present invention. First, in step S802, a voltage is applied to the head suspension assembly to induce resonance in each microactuator in the head gimbal assembly of the head suspension assembly. Next, the resonance induced in each microactuator is measured in step S804, and a comparison operation is performed on one or several induction resonances in step S806. These comparisons include a series of paired comparisons, comparisons with the average of induction resonances, comparisons with scheduled reference resonances, and the like. Preferably, one or several resonances are all designated as reference resonances so that all other detected resonances are compared to it. In addition, the reference resonance may be swung around the induction resonance so as to include comparing each induction resonance with each other induction resonance. Subsequently, based on the comparison, it can be confirmed in step S808 whether there is a problem with one or several microactuators.

図９に示すように、図７、８を組合せて説明した技術は、ハードディスクドライブ内に配置したヘッドサスペンションアセンブリにも応用できる。図９は、スピンドルモータ９０２に取付けられた磁気ディスク９０１を備えたディスクドライブユニットを示す図である。スピンドルモータ９０２は、磁気ディスク９０１を回転駆動させるために用いられる。ボイスコイルモータのアーム９０４は、一組のヘッドジンバルアセンブリを含むヘッドサスペンションアセンブリ８００を支持し、また各ヘッドジンバルアセンブリはマイクロアクチュエータ及びスライダを含んでいる。このスライダには、記録／再生ヘッドが組み込まれている。ボイスコイルモータ（voice coil motor，ＶＣＭ）はボイスコイルモータのアーム９０４の動作を制御して、スライダ９０３がディスク９０１表面のトラック間で移動するようにして、これにより記録／再生ヘッドのディスク９０１に対する情報の読取り及び書込み操作を行う。また次に、電圧を印加することで、各誘導共振の特性を検知して比較することができる。 As shown in FIG. 9, the technique described in combination with FIGS. 7 and 8 can also be applied to a head suspension assembly arranged in a hard disk drive. FIG. 9 is a diagram showing a disk drive unit including a magnetic disk 901 attached to a spindle motor 902. The spindle motor 902 is used for rotating the magnetic disk 901. The voice coil motor arm 904 supports a head suspension assembly 800 including a set of head gimbal assemblies, and each head gimbal assembly includes a microactuator and a slider. A recording / reproducing head is incorporated in this slider. A voice coil motor (VCM) controls the operation of the arm 904 of the voice coil motor so that the slider 903 moves between tracks on the surface of the disk 901, so that the recording / reproducing head is moved relative to the disk 901. Read and write information. Next, by applying a voltage, the characteristics of each induction resonance can be detected and compared.

以上、本発明について好ましい実施形態を説明したが、上記の実施形態に限定されず、本発明の精神から逸脱せずに様々な変形が可能であり、そして本発明は本明細書に記載した細部に限定されるものではないことは勿論である。 Although preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention, and the present invention has been described in detail. Of course, it is not limited to.

従来のディスクドライブユニットの斜視図である。It is a perspective view of the conventional disk drive unit. 図１に示された従来のディスクドライブユニットの局部斜視図である。FIG. 2 is a local perspective view of the conventional disk drive unit shown in FIG. 1. 従来のＵ字形のマイクロアクチュエータを示した図である。It is the figure which showed the conventional U-shaped microactuator. 従来の他のＵ字形のマイクロアクチュエータを示した図である。It is the figure which showed the other conventional U-shaped microactuator. 図１、２に示されたディスクドライブユニットにおける従来のヘッドジンバルアセンブリを拡大して示した斜視図である。FIG. 3 is an enlarged perspective view of a conventional head gimbal assembly in the disk drive unit shown in FIGS. 二つの圧電素子を含んだヘッドジンバルアセンブリのエラーを検知するための従来の試験装置を示した図である。It is the figure which showed the conventional test device for detecting the error of the head gimbal assembly containing two piezoelectric elements. 図３ａに示された従来のシステムの出力状況を説明した図である。It is the figure explaining the output condition of the conventional system shown by FIG. 3a. 本発明の実施形態に係る試験システムの例示的なソース装置を示した図である。1 is a diagram illustrating an exemplary source device of a test system according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係る試験システムの例示的なソース装置を示した図である。1 is a diagram illustrating an exemplary source device of a test system according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係る試験システムの例示的な受信装置を示した図である。It is the figure which showed the exemplary receiver of the test system which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る試験システムの例示的な受信装置を示した図である。It is the figure which showed the exemplary receiver of the test system which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る試験システムから得られた例示的な試験データの一例を示した図である。It is the figure which showed an example of the exemplary test data obtained from the test system which concerns on embodiment of this invention. 本発明の幾つかの実施形態に係るテストシステムから得られた例示的なテストデータの他の一例を示す図である。It is a figure which shows another example of the example test data obtained from the test system which concerns on some embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るマイクロアクチュエータに対して試験を行う例示的な方法のフローチャートである。4 is a flowchart of an exemplary method for testing a microactuator according to an embodiment of the present invention. ヘッドサスペンションアセンブリ（head stack assembly；ＨＳＡ）の局部斜視図である（本発明の実施形態に関する試験技術はこのヘッドサスペンションアセンブリにも適用できる）。1 is a local perspective view of a head stack assembly (HSA) (testing techniques relating to embodiments of the present invention are also applicable to this head suspension assembly). FIG. 本発明の実施形態に係るヘッドサスペンションアセンブリのマイクロアクチュエータに対して試験を行う例示的な方法のフローチャートである。4 is a flowchart of an exemplary method for testing a microactuator of a head suspension assembly according to an embodiment of the present invention. ディスクドライブユニットの斜視図である（本発明の幾つかの実施形態に係る試験技術はこのディスクドライブユニットにも適用できる）。1 is a perspective view of a disk drive unit (testing techniques according to some embodiments of the present invention are also applicable to this disk drive unit). FIG.

符号の説明Explanation of symbols

４０１：ソース装置、４０２：電圧分配器、４０３：参照用マイクロアクチュエータ、４０４：試験用マイクロアクチュエータ、４０５：センサ、４０７：プロセッサ、４０８：受信装置、４１１：参照用ヘッドジンバルアセンブリ、
８００：ヘッドサスペンションアセンブリ
９０１：磁気ディスク、９０２：スピンドルモータ、９０３：スライダ、９０４：アーム 401: Source device 402: Voltage distributor 403: Reference microactuator 404: Test microactuator 405: Sensor 407: Processor 408: Receiver device 411: Reference head gimbal assembly
800: head suspension assembly 901: magnetic disk, 902: spindle motor, 903: slider, 904: arm

Claims

一つの参照用マイクロアクチュエータと連結して、当該参照用マイクロアクチュエータを基準共振の状況で振動させる電圧分配器と、
前記参照用マイクロアクチュエータからの振動により誘導されて被試験共振の状況で振動する試験用マイクロアクチュエータと、
前記基準共振の少なくとも一つの特性と、この特性に相応する前記被試験共振の少なくとも一つの特性とを比較するためのプロセッサと、
を含むことを特徴とするマイクロアクチュエータの圧電素子の問題を識別するシステム。 A voltage distributor that is connected to one reference microactuator and vibrates the reference microactuator in a state of standard resonance;
A test microactuator that is induced by vibration from the reference microactuator and vibrates in a state of resonance under test;
A processor for comparing at least one characteristic of the reference resonance with at least one characteristic of the resonance under test corresponding to the characteristic;
A system for identifying problems with piezoelectric elements of microactuators, comprising:

前記電圧分配器は、前記参照用マイクロアクチュエータに正弦波電圧を印加させる構成であることを特徴とする請求項１に記載のシステム。 The system according to claim 1, wherein the voltage distributor is configured to apply a sine wave voltage to the reference microactuator.

前記基準共振の少なくとも一つの特性及び前記被試験共振の少なくとも一つの相応特性は、周波数、振幅及び位相から選ばれた一種或いは多種である、ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。 The system according to claim 1, wherein at least one characteristic of the reference resonance and at least one corresponding characteristic of the resonance to be tested are one or more selected from frequency, amplitude, and phase.

前記各マイクロアクチュエータが一つのディスクドライブ装置内に配置されており、当該ディスクドライブ装置は、一組のヘッドジンバルアセンブリを備えたヘッドサスペンションアセンブリと、ディスクと、スピンドルモータとを含み、その中で、
各ヘッドジンバルアセンブリは、記録／再生ヘッドが設けられたスライダ及び当該ヘッドジンバルアセンブリに連結された駆動アームを更に含んでおり、
前記ディスクは、前記記録／再生ヘッドを介してデータの記録又は再生を実施し、
前記スピンドルモータは、前記ディスクを駆動するために用いられる、ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。 Each of the microactuators is disposed in one disk drive device, and the disk drive device includes a head suspension assembly including a set of head gimbal assemblies, a disk, and a spindle motor.
Each head gimbal assembly further includes a slider provided with a recording / reproducing head and a drive arm connected to the head gimbal assembly.
The disk performs data recording or reproduction via the recording / reproducing head,
The system according to claim 1, wherein the spindle motor is used to drive the disk.

前記参照用マイクロアクチュエータは、前記ヘッドサスペンションアセンブリにおける一つのマイクロアクチュエータであり、それ以外のマイクロアクチュエータはすべて試験用マイクロアクチュエータである、ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。 The system according to claim 1, wherein the reference microactuator is one microactuator in the head suspension assembly, and all other microactuators are test microactuators.

参照用マイクロアクチュエータと試験用マイクロアクチュエータを用意するステップと、
前記参照用マイクロアクチュエータに電圧を印加させて、それが当該参照用マイクロアクチュエータ内で誘導されて基準共振を形成するようにして、当該基準共振により前記試験用マイクロアクチュエータ内で被試験共振を引き起こすステップと、
前記基準共振及び被試験共振を測定するステップと、
前記基準共振の少なくとも一つの特性及び前記被試験共振の少なくとも一つの相応特性に対して比較操作を行うステップと、
を含むことを特徴とするマイクロアクチュエータの圧電素子の問題を識別する方法。 Providing a reference microactuator and a test microactuator;
Causing a voltage to be applied to the reference microactuator so that it is induced in the reference microactuator to form a reference resonance, thereby causing a resonance under test in the test microactuator by the reference resonance When,
Measuring the reference resonance and the resonance under test;
Performing a comparison operation on at least one characteristic of the reference resonance and at least one corresponding characteristic of the resonance under test;
A method of identifying a problem with a piezoelectric element of a microactuator comprising:

前記比較ステップに基づいて、前記試験用マイクロアクチュエータに問題があるか否かを確認するステップを更に含む、ことを特徴とする請求項６に記載の方法。 The method according to claim 6, further comprising the step of checking whether there is a problem with the test microactuator based on the comparing step.

前記電圧は正弦波電圧である、ことを特徴とする請求項６に記載の方法。 The method of claim 6, wherein the voltage is a sinusoidal voltage.

前記基準共振の少なくとも一つの特性及び前記被試験共振の少なくとも一つの相応特性は、周波数、振幅及び位相から選ばれた一種或いは数種であることを特徴とする請求項６に記載の方法。 7. The method according to claim 6, wherein at least one characteristic of the reference resonance and at least one corresponding characteristic of the resonance under test are one or several selected from frequency, amplitude and phase.

ディスクドライブ装置におけるマイクロアクチュエータの圧電素子の問題を識別する方法において、
前記ディスクドライブ装置は、一組のヘッドジンバルアセンブリを備えたヘッドサスペンションアセンブリを含み、当該各ヘッドジンバルアセンブリは記録／再生ヘッドが設けられたスライダ、及びそのヘッドジンバルアセンブリに連結された駆動アームを更に含む装置であり、
前記方法が、
前記ヘッドサスペンションアセンブリに電圧を印加させて、それが各マイクロアクチュエータ内で誘導されて共振を形成するようにするステップと、
前記各マイクロアクチュエータ内の誘導共振を測定するステップと、
基準共振を形成するステップと、
前記誘導共振の少なくとも一つの特性を、基準共振の少なくとも一つの相応特性と比較するステップと、
を含むことを特徴とするディスクドライブ装置におけるマイクロアクチュエータの圧電素子の問題を識別する方法。 In a method for identifying a problem of a piezoelectric element of a microactuator in a disk drive device,
The disk drive apparatus includes a head suspension assembly including a set of head gimbal assemblies, each head gimbal assembly further including a slider provided with a recording / reproducing head, and a drive arm connected to the head gimbal assembly. A device comprising
The method comprises
Applying a voltage to the head suspension assembly such that it is induced in each microactuator to form a resonance;
Measuring inductive resonance in each microactuator;
Forming a reference resonance;
Comparing at least one characteristic of the inductive resonance with at least one corresponding characteristic of a reference resonance;
A method of identifying a problem of a piezoelectric element of a microactuator in a disk drive device comprising:

前記比較ステップに基づいて、前記一個又は数個のマイクロアクチュエータに問題があるか否かを確認するステップを更に含む、ことを特徴とする請求項１０に記載の方法。 11. The method of claim 10, further comprising the step of checking if there is a problem with the one or several microactuators based on the comparing step.

前記電圧は正弦波電圧である、ことを特徴とする請求項１０に記載の方法。 The method of claim 10, wherein the voltage is a sinusoidal voltage.

前記誘導共振の少なくとも一つの特性は、周波数、振幅及び位相から選ばれた一種或いは多種であることを特徴とする請求項１０に記載の方法。 The method according to claim 10, wherein at least one characteristic of the inductive resonance is one or more selected from frequency, amplitude, and phase.

前記印加される電圧の少なくとも一部に基づいて前記基準共振を推定するステップを更に含む、ことを特徴とする請求項１０に記載の方法。 The method of claim 10, further comprising estimating the reference resonance based on at least a portion of the applied voltage.

前記基準共振を得るように、前記誘導共振を平均化するステップを更に含む、ことを特徴とする請求項１０に記載の方法。 The method of claim 10, further comprising averaging the inductive resonance to obtain the reference resonance.

少なくとも一つの誘導共振を指定して基準共振とする、ことを特徴とする請求項１０に記載の方法。 The method according to claim 10, wherein at least one inductive resonance is designated as a reference resonance.

前記比較ステップに各誘導共振とその他の各誘導共振を相互比較することが含まれるように、前記基準共振を誘導共振をめぐって旋回させる、ことを特徴とする請求項１０に記載の方法。 The method of claim 10, wherein the reference resonance is swiveled around the inductive resonance such that the comparing step includes comparing each inductive resonance with each other inductive resonance.