JP2008131025A - ウエーハ裏面検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ラインセンサを撮像素子として備える撮像手段と、暗視野照明となるようにウエーハ裏面の撮像部位を照明する照明手段と、前記撮像手段および前記照明手段とウエーハとの間を一定方向に相対移動させる移動手段と、ウエーハの略円形の中心を回転中心として回転させるウエーハ回転手段とから成り、暗視野照明によりコントラスト高い欠陥画像が得られるとともに、ウエーハの異なる2方向のスキャン画像を得ることにより欠陥の方向に関係なく欠陥を観測できる。
【選択図】図1
Description
2 撮像手段
3 照明手段
4 ウエーハ載置台
5 リニアステージ
6 スライドガイド
7 ウエーハ
31 ライン状ライトガイド
32 シリンドリカルレンズ
33 照明手段取付台
34 ガイド孔
41 ウエーハ回転台
42 リングギア
43 リングギア保持ベアリング
44 モーター
61 スライドブッシュ
62 スライドシャフト
Claims (10)
- ウエーハ裏面の欠陥を検査するウエーハ裏面検査装置であって、
ラインセンサを撮像素子として備える撮像手段と、
暗視野照明となるようにウエーハ裏面の撮像部位を照明する照明手段と、
前記撮像手段および前記照明手段とウエーハとの間を一定方向に相対移動させる移動手段と、
ウエーハの略円形の中心を回転中心として回転させるウエーハ回転手段と
から構成されることを特徴とするウエーハ裏面検査装置。 - 前記照明手段は、ライン状のライトガイドとシリンドリカルレンズとから構成されることを特徴とする請求項1に記載のウエーハ裏面検査装置。
- 前記照明手段のライン状のライトガイドから拡散した照明光がシリンドカルレンズにより収束されて広角度で撮像手段の撮像位置に入射するようにライン状のライトガイドおよびシリンドリカルレンズが配置されていることを特徴とする請求項2に記載のウエーハ裏面検査装置。
- 前記ウエーハ回転手段により互いに異なる複数の方向にウエーハを配置して、それぞれの方向のスキャン画像を撮像することを特徴とする請求項1に記載のウエーハ裏面検査装置。
- 前記ウエーハ回転手段により互いに異なる複数の方向として互いに直交する2つの方向にウエーハを配置して、それぞれの方向のスキャン画像を撮像することを特徴とする請求項4に記載のウエーハ裏面検査装置。
- 前記移動手段は、ウエーハを保持して一定方向に移動させるリニアステージを備えることを特徴とする請求項1に記載のウエーハ裏面検査装置。
- 前記ウエーハ回転手段は、前記移動手段上に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のウエーハ裏面検査装置。
- 前記ウエーハ回転手段は、ウエーハを載置するウエーハ回転台にリングギヤを設け、駆動源の出力軸と前記リングギヤを噛み合わせることによりウエーハを回転させることを特徴とする請求項7に記載のウエーハ裏面検査装置。
- 前記照明手段は、ウエーハに対する角度を変更可能に構成されていることを特徴とする請求項1に記載のウエーハ裏面検査装置。
- ウエーハ裏面を複数の領域に分割し、それぞれの領域を照明する照明手段と対応する領域を撮像する撮像手段とを設けたことを特徴とする請求項1に記載のウエーハ裏面検査装置。
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