JP2008130767A - Vibrator manufacturing method, vibrator, and vibration-type driving device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vibrator manufacturing method that enables to directly join an elastic body with an electromechanical energy conversion element without via an adhesive layer, and which enables making the thickness of the electromechanical energy conversion element very small. <P>SOLUTION: An AD method is used for manufacturing a piezoelectric element. A piezoelectric material made as a powder, having a particle size of 100 μm or smaller, is made into an aerosol with an agitation tank filled with an inert gas (an He gas) so as to spray it at high speed to a part, on which a film is desired to be formed, in a metal elastic body. Here, a stage mounted with the metal elastic body is moved, with respect to a nozzle for spraying the piezoelectric material powder. A nanoparticle powder 104 pulverized to a fine power with a particle size of about 10 μm is deposited on the surface of the metal elastic body 102. The spray temperature of the piezoelectric material is raised gradually from 500°C to 700°C which is the calcination temperature of the piezoelectric material so as to execute calcination for longer than one hour. A thin-film piezoelectric layer 101 comprising a piezoelectric element is formed directly on the surface of the metal elastic body 102. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、振動体の製造に用いられる振動体の製造方法、この製造方法により製造された振動体および振動型駆動装置に関する。   The present invention relates to a vibrating body manufacturing method used for manufacturing a vibrating body, a vibrating body manufactured by the manufacturing method, and a vibration type driving device.

近年、圧電材料からなる電気機械エネルギ変換素子は、種々の用途、例えば、物体の回転速度を検出するジャイロや、超音波モータや圧電アクチュエータ等の振動型駆動装置に用いられている。   2. Description of the Related Art In recent years, electromechanical energy conversion elements made of piezoelectric materials have been used in various applications, for example, gyroscopes that detect the rotational speed of objects, vibration-type drive devices such as ultrasonic motors and piezoelectric actuators.

例えば、超音波モータは、上ケースおよび下ケースを有し、それぞれのケースに設けられたベアリングによって出力軸を回転自在に支持する。出力軸の周りには、振動子を構成する金属弾性体が設けられている。金属弾性体の下面には、振動子の構成要素として、電気機械エネルギ変換素子である圧電素子の上面が接着している。また、圧電素子の下面には、フレキシブルプリント基板が接着している。フレキシブルプリント基板は、電源から供給された交番電圧を、圧電素子の表面に形成された電極に供給する。一方、金属弾性体の上面には、移動体が接触し、金属弾性体の表面に生じた進行波によって回転する。出力軸は皿バネに加圧されて移動体に固定されており、移動体とともに回転する。   For example, an ultrasonic motor has an upper case and a lower case, and rotatably supports an output shaft by a bearing provided in each case. Around the output shaft, a metal elastic body constituting the vibrator is provided. An upper surface of a piezoelectric element that is an electromechanical energy conversion element is bonded to the lower surface of the metal elastic body as a constituent element of the vibrator. A flexible printed board is bonded to the lower surface of the piezoelectric element. The flexible printed board supplies an alternating voltage supplied from a power source to an electrode formed on the surface of the piezoelectric element. On the other hand, the moving body comes into contact with the upper surface of the metal elastic body, and is rotated by a traveling wave generated on the surface of the metal elastic body. The output shaft is pressed by the disc spring and fixed to the moving body, and rotates together with the moving body.

図１１は従来の振動子の構造を示す断面図である。圧電素子３０１は、前述したように、金属弾性体３０２とフレキシブルプリント基板３０６の間に介在しており、その上面、下面にはそれぞれ電極３０３、３０５が形成されている。圧電素子３０１の上面は、接着剤３２０によって金属弾性体３０２の下面に接着して固定される。また、圧電素子３０１の下面は、前述したように、フレキシブルプリント基板３０６に固定されている。   FIG. 11 is a cross-sectional view showing the structure of a conventional vibrator. As described above, the piezoelectric element 301 is interposed between the metal elastic body 302 and the flexible printed board 306, and electrodes 303 and 305 are formed on the upper and lower surfaces, respectively. The upper surface of the piezoelectric element 301 is bonded and fixed to the lower surface of the metal elastic body 302 with an adhesive 320. The lower surface of the piezoelectric element 301 is fixed to the flexible printed board 306 as described above.

また、従来の電気機械エネルギ変換素子である圧電素子の製造方法は、非特許文献１に記載されている。即ち、圧電素子を製造する場合、一般的な工程順序は次のとおりである。例えば、３〜５μｍの微粉体を有機溶剤等のバインダと混ぜ、圧延やプレス等で成形する。その後、１３００℃〜１４００℃近傍で２日以上焼成を行う。この結果、バインダの蒸発した箇所には、５０〜１００μｍの空洞が生じる。この後、銀電極焼付け、蒸着、スパッタ成膜等により電極パターンを形成し、２ｋｖ〜４ｋｖ／ｍｍの電圧を印加して分極処理を施す。   Further, Non-Patent Document 1 describes a method for manufacturing a piezoelectric element that is a conventional electromechanical energy conversion element. That is, when manufacturing a piezoelectric element, the general process sequence is as follows. For example, a fine powder of 3 to 5 μm is mixed with a binder such as an organic solvent and formed by rolling or pressing. Thereafter, baking is performed at 1300 ° C. to 1400 ° C. for 2 days or more. As a result, a cavity of 50 to 100 μm is generated at the location where the binder has evaporated. Thereafter, an electrode pattern is formed by silver electrode baking, vapor deposition, sputtering film formation, or the like, and a polarization treatment is performed by applying a voltage of 2 kv to 4 kv / mm.

圧電素子が製造されると、金属弾性体にエポキシ系接着剤を塗布した後、その位置を合わせて圧電素子を加圧する。そして、その状態で加温接着することで、圧電素子は金属弾性体に接合される。こうして振動子は製造される。
見城尚志、指田年正著 「超音波モータ入門」 総合電子出版社、１９９１年２月２０日発行 When the piezoelectric element is manufactured, an epoxy adhesive is applied to the metal elastic body, and then the piezoelectric element is pressurized by matching the position. The piezoelectric element is bonded to the metal elastic body by heating and bonding in that state. Thus, the vibrator is manufactured.
Naoshi Mijo, Toshimasa Shida “Introduction to Ultrasonic Motors” General Electronic Publishing Company, published February 20, 1991

しかしながら、上記従来の振動体の製造方法では、以下に掲げる問題があった。即ち、圧電素子３０１と金属弾性体３０２の間には、接着剤３２０が介在しているので、圧電素子３０１で発生した振動は、接着剤３２０で減衰した状態で金属弾性体３０２に伝達される。その結果、振動エネルギの効率が低下してしまっていた。   However, the conventional vibrating body manufacturing method has the following problems. That is, since the adhesive 320 is interposed between the piezoelectric element 301 and the metal elastic body 302, vibration generated in the piezoelectric element 301 is transmitted to the metal elastic body 302 in a state attenuated by the adhesive 320. . As a result, the efficiency of vibration energy has been reduced.

この問題に対し、接着剤３２０による振動の減衰を低下させるために、加温してから加圧接着を行うことで接着剤３２０の層を薄くすることも検討されている。ここで、超音波モータでは、圧電素子の厚さを薄くすることで、圧電素子に印加する駆動電圧を下げることができる。   In order to reduce the vibration attenuation caused by the adhesive 320, it has been studied to reduce the thickness of the adhesive 320 by applying pressure bonding after heating. Here, in the ultrasonic motor, the drive voltage applied to the piezoelectric element can be lowered by reducing the thickness of the piezoelectric element.

図１２は圧電素子の構造を拡大して示す図である。従来の製造方法では、圧電素子の粒子３０４のサイズが大きく、圧電素子３０１の内部には、５０〜１００μｍの空洞が生じてしまう。１００μｍ以下の膜を作成する場合、焼成前の材料の圧延時や振動体との接着時、この空洞から亀裂が発生するおそれがあった。   FIG. 12 is an enlarged view showing the structure of the piezoelectric element. In the conventional manufacturing method, the size of the particle 304 of the piezoelectric element is large, and a cavity of 50 to 100 μm is generated inside the piezoelectric element 301. When a film having a thickness of 100 μm or less is formed, there is a possibility that a crack may be generated from the cavity when the material before firing is rolled or bonded to the vibrating body.

さらに、電極を成膜する場合、厚さ方向に空洞が繋がっていると、表面の電圧が印加される電極とゼロ電位（ＧＮＤ）用の電極とが繋がってしまい、電界がかからなくなった。このため、リークを起こして圧電性能が上がらなくなる。従って、従来の製造方法では、圧電素子の厚さを１００μｍ以上にする必要があった。   Further, when forming electrodes, if cavities are connected in the thickness direction, the electrode to which the surface voltage is applied and the electrode for zero potential (GND) are connected, and the electric field is not applied. For this reason, leakage occurs and the piezoelectric performance does not improve. Therefore, in the conventional manufacturing method, the thickness of the piezoelectric element has to be 100 μm or more.

また、焼成後の圧電素子は非常に割れ易いので、接着により金属弾性体に接合するためには、金属弾性体の接合面と圧電素子の接合面を略同等の平面度で高精度に造らなければならなかった。   In addition, since the sintered piezoelectric element is very fragile, the bonding surface of the metal elastic body and the bonding surface of the piezoelectric element must be made with high accuracy with substantially the same flatness in order to bond to the metal elastic body by bonding. I had to.

また、圧電素子では、従来から電界強度と力が比例する関係にあることが知られている。圧電素子が厚くなると、電界強度を上げるために駆動電圧を上げる必要があった。この結果、低電圧化が阻害されていた。   In addition, it has been conventionally known that the electric field strength and the force are proportional to each other in the piezoelectric element. When the piezoelectric element becomes thicker, it is necessary to increase the driving voltage in order to increase the electric field strength. As a result, lowering of voltage has been hindered.

また、圧電素子の絶縁耐電圧は、隣接する電極間の距離で決まる。一方、圧電素子にかかる電界は、厚さ方向における、設置電位ゼロと印加電圧とで決まるので、設置電位ゼロと交番電流の電圧差とで決定されることになる。振動波モータの場合、ゼロ電位を中心に、交番電流がプラス側、マイナス側と交互に位相を異にして隣り合う電極間に供給される。印加電圧が絶縁耐電圧を越えないためには、隣圧電極間の距離を圧電素子の厚さの１．５倍程度に確保する必要があった。   In addition, the dielectric strength voltage of the piezoelectric element is determined by the distance between adjacent electrodes. On the other hand, since the electric field applied to the piezoelectric element is determined by the installation potential zero and the applied voltage in the thickness direction, it is determined by the installation potential zero and the voltage difference between the alternating currents. In the case of an oscillating wave motor, an alternating current is supplied between adjacent electrodes with a phase difference between the positive side and the negative side alternately with a zero potential as the center. In order for the applied voltage not to exceed the dielectric strength voltage, it was necessary to secure the distance between adjacent pressure electrodes to about 1.5 times the thickness of the piezoelectric element.

駆動電圧が高いほど、放電しないように隣り合う電極間の距離を長く設ける必要があるので、電極が形成されない領域、即ち、超音波モータを駆動するための振動の発生に寄与しない領域が増加してしまっていた。   The higher the drive voltage, the longer the distance between the adjacent electrodes must be so as not to discharge, so the area where the electrodes are not formed, that is, the area that does not contribute to the generation of vibration for driving the ultrasonic motor increases. It was.

そこで、本発明は、接着層を介さずに弾性体と電気機械エネルギ変換素子とを直接接合することができ、電気機械エネルギ変換素子の厚さを極めて薄くすることができる振動体の製造方法、振動体および振動型駆動装置を提供することを目的とする。   Therefore, the present invention can directly bond an elastic body and an electromechanical energy conversion element without using an adhesive layer, and a method for manufacturing a vibrating body capable of extremely reducing the thickness of the electromechanical energy conversion element. It is an object of the present invention to provide a vibrating body and a vibration type driving device.

上記目的を達成するために、本発明の振動体の製造方法は、弾性体および電気機械エネルギ変換素子から構成され、前記電気機械エネルギ変換素子の表面に形成された電極に交番電圧を供給することによって前記弾性体の表面に進行波を生じさせる振動体の製造に用いられる振動体の製造方法であって、前記弾性体の表面に薄膜として前記電気機械エネルギ変換素子を形成する工程を有することを特徴とする。   In order to achieve the above object, a method of manufacturing a vibrating body according to the present invention comprises an elastic body and an electromechanical energy conversion element, and supplies an alternating voltage to an electrode formed on the surface of the electromechanical energy conversion element. A method of manufacturing a vibrating body used for manufacturing a vibrating body that generates a traveling wave on the surface of the elastic body, the method including the step of forming the electromechanical energy conversion element as a thin film on the surface of the elastic body. Features.

本発明の振動体は、弾性体および電気機械エネルギ変換素子から構成され、前記電気機械エネルギ変換素子の表面に形成された電極に交番電圧を供給することによって前記弾性体の表面に進行波を生じさせる振動体であって、前記弾性体の表面に薄膜として前記電気機械エネルギ変換素子が形成されたことを特徴とする。   The vibrating body of the present invention includes an elastic body and an electromechanical energy conversion element, and a traveling wave is generated on the surface of the elastic body by supplying an alternating voltage to an electrode formed on the surface of the electromechanical energy conversion element. The electromechanical energy conversion element is formed as a thin film on a surface of the elastic body.

請求項１に係る振動体の製造方法によれば、弾性体の表面に薄膜として電気機械エネルギ変換素子を形成するので、接着層を介さずに弾性体と電気機械エネルギ変換素子とを直接接合することができ、電気機械エネルギ変換素子の厚さを極めて薄くすることができる。従って、電気機械エネルギ変換素子を駆動する電圧の低電圧化を図ることができる。また、弾性体および電気機械エネルギ変換素子間の接合面の平面度を高精度にしないで済む。さらに、電気機械エネルギ変換素子の表面において、電極が形成されていない領域を減らすことができる。   According to the vibrating body manufacturing method of the first aspect, since the electromechanical energy conversion element is formed as a thin film on the surface of the elastic body, the elastic body and the electromechanical energy conversion element are directly joined without using an adhesive layer. The thickness of the electromechanical energy conversion element can be extremely reduced. Therefore, the voltage for driving the electromechanical energy conversion element can be reduced. In addition, the flatness of the joint surface between the elastic body and the electromechanical energy conversion element need not be highly accurate. Furthermore, the area | region where the electrode is not formed in the surface of the electromechanical energy conversion element can be reduced.

請求項２、３に係る振動体の製造方法によれば、弾性体に堆積する粉体の密度が高くなり、電気機械エネルギ変換素子の内部の空間が少なくなる。この結果、リークが発生しにくい構造とすることができる。   According to the method for manufacturing a vibrating body according to claims 2 and 3, the density of the powder deposited on the elastic body is increased, and the space inside the electromechanical energy conversion element is reduced. As a result, a structure in which leakage does not easily occur can be obtained.

請求項４に係る振動体の製造方法によれば、耐絶縁電圧を上げることが可能になり、高い駆動電圧を印加できるようになる。   According to the vibrating body manufacturing method of the fourth aspect, the withstand voltage can be increased, and a high driving voltage can be applied.

請求項５に係る振動体の製造方法によれば、電気機械エネルギ変換素子を平面状に形成することができる。請求項６に係る振動体の製造方法によれば、電気機械エネルギ変換素子を円筒状に形成することができる。   According to the method for manufacturing a vibrating body according to the fifth aspect, the electromechanical energy conversion element can be formed in a planar shape. According to the vibrating body manufacturing method of the sixth aspect, the electromechanical energy conversion element can be formed in a cylindrical shape.

請求項７に係る振動体の製造方法によれば、複数層積み上げることで、振動型モータの所望するトルクに適した厚さに形成することができる。   According to the method for manufacturing a vibrating body according to the seventh aspect, by stacking a plurality of layers, it is possible to form a thickness suitable for the torque desired by the vibration type motor.

請求項８に係る振動体の製造方法によれば、弾性体および電気機械エネルギ変換素子間の導電性を高めることができる。   According to the vibrating body manufacturing method of the eighth aspect, the conductivity between the elastic body and the electromechanical energy conversion element can be increased.

本発明の振動体の製造方法、振動体および振動型駆動装置における実施の形態について図面を参照しながら説明する。本実施形態の振動体の製造方法は、超音波モータに搭載される振動体の製造に用いられる。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Embodiments of a vibrating body manufacturing method, a vibrating body, and a vibration type driving apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings. The method for manufacturing a vibrating body according to the present embodiment is used for manufacturing a vibrating body mounted on an ultrasonic motor.

［第１の実施形態］
図１は第１の実施形態における超音波モータの構造を示す断面図である。超音波モータは、上ケース１１２および下ケース１１３を有し、それぞれのケースに設けられたベアリング１１０、１２０を介して回転自在に支持された出力軸１０９を有する。出力軸１０９の周りには、振動子を構成する金属弾性体１０２が設けられている。金属弾性体１０２の下面には、振動子の構成要素として、電気機械エネルギ変換素子である圧電素子１０１の上面が接着している。また、圧電素子１０１の下面には、フレキシブルプリント基板１０６が接着している。フレキシブルプリント基板１０６は、電源（図示せず）から供給された交番電圧を、圧電素子１０１の表面に形成された電極に供給する。一方、金属弾性体１０２の上面には、移動体１０７が接触し、金属弾性体１０２の表面に生じた進行波によって回転する。出力軸１０９は、皿バネ１１１に加圧されて移動体１０７に固定されており、移動体１０７とともに回転する。 [First Embodiment]
FIG. 1 is a cross-sectional view showing the structure of the ultrasonic motor in the first embodiment. The ultrasonic motor has an upper case 112 and a lower case 113, and has an output shaft 109 that is rotatably supported via bearings 110 and 120 provided in the respective cases. Around the output shaft 109, a metal elastic body 102 constituting a vibrator is provided. The upper surface of the piezoelectric element 101 which is an electromechanical energy conversion element is bonded to the lower surface of the metal elastic body 102 as a constituent element of the vibrator. A flexible printed circuit board 106 is bonded to the lower surface of the piezoelectric element 101. The flexible printed circuit board 106 supplies an alternating voltage supplied from a power supply (not shown) to the electrodes formed on the surface of the piezoelectric element 101. On the other hand, the moving body 107 comes into contact with the upper surface of the metal elastic body 102 and is rotated by a traveling wave generated on the surface of the metal elastic body 102. The output shaft 109 is pressed by the disc spring 111 and fixed to the moving body 107, and rotates together with the moving body 107.

図２は振動子の構造を示す断面図である。振動子は、金属弾性体１０２、圧電素子１０１および電極１０３からなる構造を有する。図３は圧電素子１０１の構造を拡大して示す図である。金属弾性体１０２の表面には、薄膜圧電層からなる圧電素子１０１が直接形成されており、この圧電素子（薄膜圧電層）１０１は、後述する製造方法によって粉砕された圧電材料の粉体１０４から構成される。   FIG. 2 is a cross-sectional view showing the structure of the vibrator. The vibrator has a structure including a metal elastic body 102, a piezoelectric element 101, and an electrode 103. FIG. 3 is an enlarged view showing the structure of the piezoelectric element 101. A piezoelectric element 101 made of a thin film piezoelectric layer is directly formed on the surface of the metal elastic body 102, and this piezoelectric element (thin film piezoelectric layer) 101 is made of a piezoelectric material powder 104 pulverized by a manufacturing method described later. Composed.

上記構造を有する振動子の製造方法を示す。本実施形態では、エアロゾルデポジッション法（以下、ＡＤ法ともいう）が用いられる。圧電材料としては、ＰＺＴ等の周知の圧電性セラミック材料などが用いられる。ＡＤ法では、金属弾性体の表面に直接的に圧電素子からなる層を形成することで、金属弾性体と圧電素子との間に接着層が介在しなくなる。   A method for manufacturing a vibrator having the above structure will be described. In the present embodiment, an aerosol deposition method (hereinafter also referred to as AD method) is used. As the piezoelectric material, a known piezoelectric ceramic material such as PZT is used. In the AD method, by forming a layer made of a piezoelectric element directly on the surface of the metal elastic body, no adhesive layer is interposed between the metal elastic body and the piezoelectric element.

本実施形態のＡＤ法は、１００μｍ以下の大きさの微粒子を高速で基板に衝突させて薄膜を形成する方法である。また、本実施形態では、１００μｍ以下の大きさの粉体とした圧電材料を不活性ガス（Ｈｅガス）を充填した攪拌槽でエアロゾル化し、高速で金属弾性体の成膜したい個所に吹き付ける。このとき、圧電材料の粉体を吹き付けるノズルに対し、金属弾性体が搭載されたステージを移動させることで、成膜したい個所に高速で均一に圧電材料からなる粉体を吹き付けることができる。   The AD method of this embodiment is a method of forming a thin film by causing fine particles having a size of 100 μm or less to collide with a substrate at high speed. In the present embodiment, the piezoelectric material made into a powder having a size of 100 μm or less is aerosolized in a stirring tank filled with an inert gas (He gas) and sprayed onto a portion where the metal elastic body is desired to be formed at a high speed. At this time, by moving the stage on which the metal elastic body is mounted with respect to the nozzle for spraying the powder of the piezoelectric material, the powder made of the piezoelectric material can be sprayed uniformly at a high speed at the place where the film is to be formed.

また、圧電材料の吹き付け温度を５００℃から圧電材料の焼成温度７００℃まで徐々に上げていき、１時間以上焼成を行う。   Further, the piezoelectric material spraying temperature is gradually increased from 500 ° C. to the piezoelectric material firing temperature 700 ° C., and firing is performed for 1 hour or longer.

このように、ＡＤ法により圧電材料を高速で吹き付けることによって、１０μｍ程度にまで粉砕されたナノ粒子の粉体１０４は、金属弾性体１０２の表面に堆積される。圧電材料からなるナノ粒子の粉体１０４が金属弾性体１０２に堆積することで、その密度が高くなり、薄膜圧電層１０１の内部の空間が少なくなる。この結果、リークが発生しにくい構造とすることができる。   Thus, the nanoparticle powder 104 pulverized to about 10 μm is deposited on the surface of the metal elastic body 102 by spraying the piezoelectric material at a high speed by the AD method. By depositing the nanoparticle powder 104 made of a piezoelectric material on the metal elastic body 102, the density thereof is increased and the space inside the thin film piezoelectric layer 101 is reduced. As a result, a structure in which leakage does not easily occur can be obtained.

こうして接着剤を用いることなく、金属弾性体１０２の表面には、圧電素子である薄膜圧電層１０１が直接形成される。つまり、ＡＤ法によって製造された振動体（図２参照）では、金属弾性体１０２の表面に１００μｍ以下となる薄膜圧電層１０１が直接形成されている。   Thus, the thin film piezoelectric layer 101 which is a piezoelectric element is directly formed on the surface of the metal elastic body 102 without using an adhesive. That is, in the vibrating body manufactured by the AD method (see FIG. 2), the thin film piezoelectric layer 101 having a thickness of 100 μm or less is directly formed on the surface of the metal elastic body 102.

また、電極１０３は、薄膜圧電層１０１の表面に形成された導電性の薄膜からなる。この導電性の薄膜の形成は、蒸着、スパッタ、スクリーン印刷、電子ビームコ−ティング等の方法で行われる。また、導電材料として、白金、金、銀、銀パラ、銅、ニッケル等が用いられる。電極が形成されると、通常の分極処理が行われる。   The electrode 103 is made of a conductive thin film formed on the surface of the thin film piezoelectric layer 101. This conductive thin film is formed by a method such as vapor deposition, sputtering, screen printing, or electron beam coating. In addition, platinum, gold, silver, silver para, copper, nickel, or the like is used as the conductive material. When the electrode is formed, a normal polarization process is performed.

電極１０３には、給電基板であるフレキシブルプリント基板１０６が取り付けられており、超音波モータの外部から電極１０３に電流が供給される。なお、フレキシブルプリント基板１０６の取り付けには、圧接、半田、ワイヤーボンディング等の手段が用いられる。   A flexible printed circuit board 106, which is a power supply board, is attached to the electrode 103, and current is supplied to the electrode 103 from the outside of the ultrasonic motor. Note that the flexible printed circuit board 106 is attached by means such as pressure welding, soldering, or wire bonding.

第１の実施形態における振動体の製造方法によれば、接着層を介さずに、金属弾性体１０２と圧電材料からなる薄膜圧電層１０１とを直接接合することができ、圧電素子の厚さを極めて薄くすることができる。従って、圧電素子を駆動する電圧の低電圧化を図ることができる。   According to the method of manufacturing a vibrating body in the first embodiment, the metal elastic body 102 and the thin film piezoelectric layer 101 made of a piezoelectric material can be directly bonded without using an adhesive layer, and the thickness of the piezoelectric element can be reduced. It can be made very thin. Therefore, the voltage for driving the piezoelectric element can be reduced.

ここで、従来の方法で製造した振動体および本実施形態の方法で製造した振動体に対し、供給電圧を同等にした場合の出力を比較した。具体的に、従来の方法で厚さ２００μｍの圧電層が形成された振動体と、ＡＤ法で厚さ１５μｍの圧電層が形成された振動体に対し、略同一の交番電圧をそれぞれの振動子の電極に印加した状態で、その出力を測定した。この結果、ＡＤ法で圧電層が形成された振動体は、従来の方法によるものと比べ、２．８倍の出力が得られることを確認することができた。   Here, the output when the supply voltage was made equal was compared between the vibrator manufactured by the conventional method and the vibrator manufactured by the method of the present embodiment. Specifically, the vibrator having the piezoelectric layer having a thickness of 200 μm formed by the conventional method and the vibrator having the piezoelectric layer having a thickness of 15 μm formed by the AD method are supplied with substantially the same alternating voltage. The output was measured while applied to the electrode. As a result, it was confirmed that the vibrator having the piezoelectric layer formed by the AD method can obtain an output 2.8 times that obtained by the conventional method.

また、前述したように、印加電圧が絶縁耐電圧を越えないようにするためには、隣接する電極間の距離を圧電素子の厚さの１.５倍程度に確保する必要がある。つまり、薄膜圧電層の厚さが薄くなるほど、隣接する電極間の距離を短くできるので、電極が形成されない領域を減らすことができる。   Further, as described above, in order to prevent the applied voltage from exceeding the withstand voltage, it is necessary to secure the distance between adjacent electrodes to about 1.5 times the thickness of the piezoelectric element. That is, as the thickness of the thin film piezoelectric layer becomes thinner, the distance between adjacent electrodes can be shortened, so that the area where no electrode is formed can be reduced.

なお、上記実施形態に限らず、種々の態様の振動子を製造することが可能である。図４は他の薄膜圧電層１５１の構造を拡大して示す図である。薄膜圧電層１５１は、粉砕された圧電材料の粉体１０４間に生じる空孔が絶縁体１０５によって充填された構造を有する。ナノサイズの空孔を絶縁体１０５で充填する構造とすることで、さらに耐絶縁電圧を上げることが可能になり、高い電圧を印加できるようになる。また、電界強度と有効面積を増すことができ、圧電材料の力を増すことが可能となる。従って、出力の高い超音波モータを提供することが可能となる。   Note that the vibrator is not limited to the above-described embodiment, and various types of vibrators can be manufactured. FIG. 4 is an enlarged view showing the structure of another thin film piezoelectric layer 151. The thin film piezoelectric layer 151 has a structure in which holes generated between the powders 104 of the pulverized piezoelectric material are filled with the insulator 105. By adopting a structure in which nano-sized pores are filled with the insulator 105, it is possible to further increase the withstand voltage and to apply a high voltage. In addition, the electric field strength and the effective area can be increased, and the force of the piezoelectric material can be increased. Therefore, it is possible to provide an ultrasonic motor with high output.

図５は他の振動子の構造を示す断面図である。この振動子は、金属弾性体１０２、複数層の薄膜圧電層１０１ａ〜１０１ｄおよび電極１０３からなる構造を有する。ＡＤ法によって形成された薄膜圧電層を複数層積み上げることによって、所望する超音波モータのトルクに合わせて任意の厚さの薄膜圧電層１０１を形成することができる。   FIG. 5 is a cross-sectional view showing the structure of another vibrator. This vibrator has a structure including a metal elastic body 102, a plurality of thin film piezoelectric layers 101 a to 101 d, and an electrode 103. By stacking a plurality of thin film piezoelectric layers formed by the AD method, it is possible to form the thin film piezoelectric layer 101 having an arbitrary thickness in accordance with a desired ultrasonic motor torque.

図６は他の振動子の構造を示す断面図である。この振動子は、金属弾性体１０２の底面の一部に予め電極１１３を形成しておき、その上から薄膜圧電層１０１ｅ〜１０１ｈが積層された構造を有する。金属弾性体１０２の底面に電極１１３を形成しておくことによって、金属弾性体１０２および薄膜圧電層１０１間の導電性を高めることができる。   FIG. 6 is a cross-sectional view showing the structure of another vibrator. This vibrator has a structure in which an electrode 113 is formed in advance on a part of the bottom surface of the metal elastic body 102, and thin film piezoelectric layers 101e to 101h are laminated thereon. By forming the electrode 113 on the bottom surface of the metal elastic body 102, the conductivity between the metal elastic body 102 and the thin film piezoelectric layer 101 can be increased.

また、ＡＤ法では、金属弾性体に直に成膜するので、自由な曲面等に対しても、成膜が可能である。従って、振動波モータの小型化が可能である。   In addition, since the AD method forms a film directly on a metal elastic body, it can be formed even on a free curved surface. Therefore, the vibration wave motor can be reduced in size.

［第２の実施形態］
前記第１の実施形態では、弾性体の平坦な表面に形成された圧電素子を示したが、第２の実施形態では、円筒形状を有する弾性体の曲面に形成された圧電素子を示す。 [Second Embodiment]
Although the piezoelectric element formed on the flat surface of the elastic body is shown in the first embodiment, the piezoelectric element formed on the curved surface of the elastic body having a cylindrical shape is shown in the second embodiment.

図７は第２の実施形態における超音波モータの構造を示す断面図である。この超音波モータは、ケース２１２を挿通し、金属弾性体２０２の内側に設けられたベアリング２１０を介して回転自在に支持された出力軸２０９を有する。金属弾性体２０２は、ケース２１２に固定されており、中央部が小径である筒状に形成されている。出力軸２０９には、圧入、接着、溶接、ローレット接合等により移動体２０７が固定されている。移動体２０７は、進行波を生じさせる金属弾性体２０２の端面に、接触バネ２０８を介して接触している。金属弾性体２０２に生じた進行波による回転力を移動体２０７に伝達することで、移動体２０７は出力軸２０９とともに回転する。ここで、移動体２０７の金属弾性体２０２に対する加圧力を上げると、移動体２０７のトルクは大きくなり、一方、弱くすると、トルクは小さくなる。従って、任意のトルクが得られるように、加圧力を発生させるためのバネ（図示せず）を設けることで、種々の用途に適したトルクを発生する超音波モータを得ることが可能となる。   FIG. 7 is a cross-sectional view showing the structure of the ultrasonic motor according to the second embodiment. This ultrasonic motor has an output shaft 209 that is inserted through a case 212 and rotatably supported via a bearing 210 provided inside the metal elastic body 202. The metal elastic body 202 is fixed to the case 212 and formed in a cylindrical shape having a small diameter at the center. A movable body 207 is fixed to the output shaft 209 by press fitting, bonding, welding, knurling, or the like. The moving body 207 is in contact with the end surface of the metal elastic body 202 that generates traveling waves via a contact spring 208. By transmitting the rotational force generated by the traveling wave generated in the metal elastic body 202 to the moving body 207, the moving body 207 rotates together with the output shaft 209. Here, when the pressing force of the moving body 207 against the metal elastic body 202 is increased, the torque of the moving body 207 increases, whereas when the pressure is weakened, the torque decreases. Therefore, by providing a spring (not shown) for generating pressure so that an arbitrary torque can be obtained, it is possible to obtain an ultrasonic motor that generates a torque suitable for various applications.

また、金属弾性体２０２が固定されたケース２１２は、移動体２０７および金属弾性体２０２を含む振動体全体を覆っており、樹脂や金属等で成形される。ケース２１２の出力軸２０９が挿通される箇所（隙間部分）は、回転に支障の出ない範囲（３０μm以下の隙間）で出力軸２０９と密接した構造になっている。このような構造は、外部からのゴミ、埃、水分、湿気、油等の侵入を防ぐとともに、内部の摺動部で発生する摩耗粉等を外部環境に放出することも防ぐ。なお、この隙間部分に、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイト）やＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）を主成分とする、摩耗に対して強い材料を用いることで、更に隙間を少なくする、あるいは接触(ゼロ隙間)させることも可能である。   The case 212 to which the metal elastic body 202 is fixed covers the entire vibrating body including the moving body 207 and the metal elastic body 202, and is formed of resin, metal, or the like. The portion (gap portion) through which the output shaft 209 of the case 212 is inserted has a structure that is in close contact with the output shaft 209 in a range that does not hinder rotation (gap of 30 μm or less). Such a structure prevents intrusion of dust, dirt, moisture, moisture, oil, and the like from the outside, and also prevents the release of wear powder and the like generated in the internal sliding portion to the external environment. In addition, the gap is further reduced by using a material that is resistant to wear, mainly composed of PPS (polyphenylene sulfite) or PTFE (polytetrafluoroethylene), or contact (zero gap). It is also possible to make it.

図８は振動子の構成を示す断面図である。振動子は、金属弾性体２０２、圧電素子２０１および電極２０３から構成される。金属弾性体２０２は、前述したように、中央部２０２ａの径が両端部２０２ｂ、２０２ｃの径よりも小さい円筒形状に形成されている。圧電素子２０１は、前記第１の実施形態と同様、ＡＤ法によって、金属弾性体２０２の中央部２０２ａの外周面に、薄膜圧電層として円筒形状に形成されている。   FIG. 8 is a cross-sectional view showing the configuration of the vibrator. The vibrator includes a metal elastic body 202, a piezoelectric element 201, and an electrode 203. As described above, the metal elastic body 202 is formed in a cylindrical shape in which the diameter of the central portion 202a is smaller than the diameters of both end portions 202b and 202c. The piezoelectric element 201 is formed in a cylindrical shape as a thin film piezoelectric layer on the outer peripheral surface of the central portion 202a of the metal elastic body 202 by the AD method, as in the first embodiment.

電極２０３は、後述するように、４つの領域に分割されており、薄膜圧電層２０１を伸縮させるために、薄膜圧電層２０１に電界を与えるものである。電極２０３は、前記第１の実施形態と同様、導電性の薄膜から構成され、蒸着、スパッタ、スクリーン印刷、電子ビームコ−ティング等の方法で形成される。導電材料としては、白金、金、銀、銀パラ、銅、ニッケル等が用いられる。電極２０３には、給電基板であるフレキシブルプリント基板２０６が取り付けられており、超音波モータの外部から電極２０３に電流が供給される。フレキシブルプリント基板２０６の取り付けは、圧接、半田、ワイヤーボンディング等で行われる。   The electrode 203 is divided into four regions as will be described later, and applies an electric field to the thin film piezoelectric layer 201 in order to expand and contract the thin film piezoelectric layer 201. The electrode 203 is composed of a conductive thin film, as in the first embodiment, and is formed by a method such as vapor deposition, sputtering, screen printing, or electron beam coating. As the conductive material, platinum, gold, silver, silver para, copper, nickel or the like is used. A flexible printed circuit board 206, which is a power supply board, is attached to the electrode 203, and current is supplied to the electrode 203 from the outside of the ultrasonic motor. The flexible printed circuit board 206 is attached by pressure welding, soldering, wire bonding, or the like.

図９は圧電素子の構成を示す図である。同図（Ａ）は円筒形状を有する圧電素子２０１の上面を示す。同図（Ｂ）は圧電素子２０１の外観を示す。圧電素子２０１の外周面には、前述したように、４つに分割された電極２０３が形成されており、Ａ相の交番電圧が印加されるＡ（＋）電極、Ａ（−）電極、およびＢ相の交番電圧が印加されるＢ（＋）電極、Ｂ（−）電極からなる。   FIG. 9 is a diagram showing the configuration of the piezoelectric element. FIG. 2A shows the upper surface of a piezoelectric element 201 having a cylindrical shape. FIG. 2B shows the appearance of the piezoelectric element 201. As described above, the electrode 203 divided into four parts is formed on the outer peripheral surface of the piezoelectric element 201, and an A (+) electrode, an A (−) electrode to which an A-phase alternating voltage is applied, and It consists of a B (+) electrode and a B (−) electrode to which a B-phase alternating voltage is applied.

Ａ（＋）電極が形成された圧電素子の領域とＡ（−）電極が形成された圧電素子の領域とでは、互いに径方向逆向きの分極処理が施されている。また、Ｂ（＋）電極が形成された圧電素子の領域とＢ（−）電極が形成された圧電素子の領域とでは、互いに径方向逆向きの分極処理が施されている。   The piezoelectric element region in which the A (+) electrode is formed and the piezoelectric element region in which the A (−) electrode is formed are subjected to polarization treatments that are opposite to each other in the radial direction. In addition, the piezoelectric element region in which the B (+) electrode is formed and the piezoelectric element region in which the B (−) electrode is formed are subjected to polarization treatments opposite in the radial direction.

Ａ相の交番電圧とＢ相の交番電圧の周波数を一致させ、かつ互いの位相を約９０度ずらして、それぞれに対応する電極に交番電圧を印加する。これにより、振動体は、時間的に位相をずらした状態で同時に２つの１次の曲げ振動を発生させる。この結果、金属弾性体２０２の端面には、１次の進行波が生じる。   The frequencies of the alternating voltage of the A phase and the alternating voltage of the B phase are matched and the phases are shifted by about 90 degrees, and the alternating voltage is applied to the corresponding electrodes. Thereby, the vibrating body generates two first-order bending vibrations at the same time with the phases shifted in time. As a result, a primary traveling wave is generated on the end face of the metal elastic body 202.

図１０は電極２０３に交番電圧を印加するためのフレキシブルプリント基板２０６の構成を示す図である。フレキシブルプリント基板２０６には、Ａ（＋）電極およびＡ（−）電極に同一の交番電圧を印加するためのＡ相用電極パターン２２１、２２２が形成されている。また、Ｂ（＋）電極およびＢ（−）電極に同一の交番電圧を印加するためのＢ相用電極パターン２２６、２２８が形成されている。また、フレキシブルプリント基板２０６には、グランド用電極パターン２２３が形成されており、金属弾性体２０２に接合される。   FIG. 10 is a diagram showing a configuration of the flexible printed circuit board 206 for applying an alternating voltage to the electrode 203. The flexible printed circuit board 206 is formed with A-phase electrode patterns 221 and 222 for applying the same alternating voltage to the A (+) electrode and the A (−) electrode. B-phase electrode patterns 226 and 228 for applying the same alternating voltage to the B (+) electrode and the B (−) electrode are also formed. A ground electrode pattern 223 is formed on the flexible printed circuit board 206 and is bonded to the metal elastic body 202.

従って、薄膜圧電層２０１は、Ａ相用電極パターン２２１、２２２とグランド用電極パターン２２３の間、Ｂ相用電極パターン２２６、２２８とグランド用電極パターンの間に配置されることになる。   Therefore, the thin film piezoelectric layer 201 is disposed between the A-phase electrode patterns 221 and 222 and the ground electrode pattern 223, and between the B-phase electrode patterns 226 and 228 and the ground electrode pattern.

第２の実施形態では、円筒形状の振動子を製造する場合にも、ＡＤ法を用いることで、前記第１の実施形態と同様、金属弾性体２０２と圧電材料からなる薄膜圧電層２０１とを直接接合することができ、圧電素子の厚さを極めて薄くすることができる。   In the second embodiment, even when a cylindrical vibrator is manufactured, by using the AD method, similarly to the first embodiment, the metal elastic body 202 and the thin film piezoelectric layer 201 made of a piezoelectric material are formed. Direct bonding is possible, and the thickness of the piezoelectric element can be extremely reduced.

なお、各電極が形成された薄膜圧電層の分極方向、および各電極に印加される交番電圧の位相の組み合わせは、本実施形態に限定されるものでないことは勿論である。   Of course, the combination of the polarization direction of the thin film piezoelectric layer on which each electrode is formed and the phase of the alternating voltage applied to each electrode is not limited to this embodiment.

第１の実施形態における超音波モータの構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the ultrasonic motor in 1st Embodiment. 振動子の構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of a vibrator | oscillator. 圧電素子１０１の構造を拡大して示す図である。2 is an enlarged view showing the structure of a piezoelectric element 101. FIG. 他の薄膜圧電層１５１の構造を拡大して示す図である。It is a figure which expands and shows the structure of the other thin film piezoelectric layer 151. 他の振動子の構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of another vibrator | oscillator. 他の振動子の構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of another vibrator | oscillator. 第２の実施形態における超音波モータの構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the ultrasonic motor in 2nd Embodiment. 振動子の構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of a vibrator | oscillator. 圧電素子の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of a piezoelectric element. 電極２０３に交番電圧を印加するためのフレキシブルプリント基板２０６の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the flexible printed circuit board 206 for applying an alternating voltage to the electrode 203. FIG. 従来の振動子の構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the conventional vibrator | oscillator. 圧電素子の構造を拡大して示す図である。It is a figure which expands and shows the structure of a piezoelectric element.

符号の説明Explanation of symbols

１０１、１５１、２０１ 圧電素子（薄膜圧電層）
１０２、２０２ 金属弾性体
１０３、２０３ 電極
１０４ 粉体
１０５ 絶縁体
１０７ 移動体 101, 151, 201 Piezoelectric element (thin film piezoelectric layer)
102, 202 Metal elastic body 103, 203 Electrode 104 Powder 105 Insulator 107 Moving body

Claims (10)

弾性体および電気機械エネルギ変換素子から構成され、前記電気機械エネルギ変換素子の表面に形成された電極に交番電圧を供給することによって前記弾性体の表面に進行波を生じさせる振動体の製造に用いられる振動体の製造方法であって、
前記弾性体の表面に薄膜として前記電気機械エネルギ変換素子を形成する工程を有することを特徴とする振動体の製造方法。 Used for manufacturing a vibrating body that is composed of an elastic body and an electromechanical energy conversion element and generates a traveling wave on the surface of the elastic body by supplying an alternating voltage to an electrode formed on the surface of the electromechanical energy conversion element A method of manufacturing a vibrating body, comprising:
A method of manufacturing a vibrating body comprising a step of forming the electromechanical energy conversion element as a thin film on a surface of the elastic body. 前記工程では、エアロゾルデポジッション法によって、前記弾性体の表面に前記電気機械エネルギ変換素子を直接形成することを特徴とする請求項１記載の振動体の製造方法。   The method for manufacturing a vibrating body according to claim 1, wherein in the step, the electromechanical energy conversion element is directly formed on a surface of the elastic body by an aerosol deposition method. 前記工程では、１００μｍ以下の粉体とした圧電材料をエアロゾル化し、前記弾性体に吹き付けることで、１０μｍ程度にまで粉砕された粉体を前記弾性体の表面に堆積させることを特徴とする請求項２記載の振動体の製造方法。   In the step, the piezoelectric material made into a powder of 100 μm or less is aerosolized and sprayed onto the elastic body to deposit the powder pulverized to about 10 μm on the surface of the elastic body. 2. A method for manufacturing a vibrating body according to 2. 前記工程では、前記堆積する粉体間に生じる空孔を絶縁体で充填したことを特徴とする請求項３記載の振動体の製造方法。   4. The method for manufacturing a vibrating body according to claim 3, wherein in the step, pores generated between the deposited powders are filled with an insulator. 前記工程では、前記弾性体の平面に前記電気機械エネルギ変換素子を形成することを特徴とする請求項２記載の振動体の製造方法。   3. The method of manufacturing a vibrating body according to claim 2, wherein in the step, the electromechanical energy conversion element is formed on a plane of the elastic body. 前記工程では、前記弾性体の曲面に前記電気機械エネルギ変換素子を形成することを特徴とする請求項２記載の振動体の製造方法。   3. The method of manufacturing a vibrating body according to claim 2, wherein in the step, the electromechanical energy conversion element is formed on a curved surface of the elastic body. 前記工程では、前記堆積する粉体からなる前記電気機械エネルギ変換素子を複数層形成することを特徴とする請求項３記載の振動体の製造方法。   4. The method for manufacturing a vibrating body according to claim 3, wherein, in the step, a plurality of layers of the electromechanical energy conversion elements made of the deposited powder are formed. 前記工程では、一部に電極層が形成された前記弾性体の表面に前記粉体を堆積させることを特徴とする請求項３記載の振動体の製造方法。   4. The method for manufacturing a vibrating body according to claim 3, wherein, in the step, the powder is deposited on a surface of the elastic body partially formed with an electrode layer. 弾性体および電気機械エネルギ変換素子から構成され、前記電気機械エネルギ変換素子の表面に形成された電極に交番電圧を供給することによって前記弾性体の表面に進行波を生じさせる振動体であって、
前記弾性体の表面に薄膜として前記電気機械エネルギ変換素子が形成されたことを特徴とする振動体。 A vibrating body that includes an elastic body and an electromechanical energy conversion element, and generates a traveling wave on the surface of the elastic body by supplying an alternating voltage to an electrode formed on the surface of the electromechanical energy conversion element,
A vibrating body, wherein the electromechanical energy conversion element is formed as a thin film on a surface of the elastic body. 請求項９に記載の振動体と、前記弾性体に接触し、当該弾性体の表面に生じた進行波によって駆動される移動体とを備えた振動型駆動装置。   A vibration type driving device comprising: the vibrating body according to claim 9; and a moving body that is in contact with the elastic body and is driven by a traveling wave generated on a surface of the elastic body.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011004052A (en) * 2009-06-17 2011-01-06 Nec Corp Tactile information device, and electronic device with the same
CN106253740A (en) * 2015-06-05 2016-12-21 佳能株式会社 Easily carry out the oscillation actuator of electric conductivity inspection
CN106253739A (en) * 2015-06-05 2016-12-21 佳能株式会社 Be suitable to oscillation actuator and the medical system used in magnetic field environment
US20210305493A1 (en) * 2020-03-31 2021-09-30 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Method of manufacturing dielectric film

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63186572A (en) * 1987-01-28 1988-08-02 Canon Inc Ultrasonic motor
JPS63253880A (en) * 1987-04-07 1988-10-20 Canon Inc Power generating device
JPH02281769A (en) * 1989-04-24 1990-11-19 Oki Electric Ind Co Ltd Manufacture of porous piezoelectric material
JPH05336597A (en) * 1992-05-28 1993-12-17 Japan Vilene Co Ltd Compound piezoelectric body and its manufacture
JPH07231684A (en) * 1994-02-21 1995-08-29 Kanagawa Kagaku Gijutsu Akad Ultrasonic micromotor and manufacture of its stator
JPH11146673A (en) * 1997-11-10 1999-05-28 Nikon Corp Vibration actuator
JPH11330577A (en) * 1998-05-13 1999-11-30 Seiko Instruments Inc Piezoelectric actuator
JP2000200930A (en) * 1998-10-26 2000-07-18 Seiko Instruments Inc Piezoelectric device and its manufacture
JP2006173249A (en) * 2004-12-14 2006-06-29 Fuji Photo Film Co Ltd Piezoelectric actuator, its manufacturing process, and liquid ejection head
JP2006179856A (en) * 2004-11-25 2006-07-06 Fuji Electric Holdings Co Ltd Insulating substrate and semiconductor device
JP2006298747A (en) * 2005-03-22 2006-11-02 Fuji Photo Film Co Ltd Manufacturing method for crystal-aligned film and manufacturing method for liquid discharging head
JP2006297915A (en) * 2005-03-22 2006-11-02 Brother Ind Ltd Piezoelectric actuator, inkjet head and manufacturing method thereof
JP2007158167A (en) * 2005-12-07 2007-06-21 Nec Tokin Corp Ultrasonic motor element and method of manufacturing same

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63186572A (en) * 1987-01-28 1988-08-02 Canon Inc Ultrasonic motor
JPS63253880A (en) * 1987-04-07 1988-10-20 Canon Inc Power generating device
JPH02281769A (en) * 1989-04-24 1990-11-19 Oki Electric Ind Co Ltd Manufacture of porous piezoelectric material
JPH05336597A (en) * 1992-05-28 1993-12-17 Japan Vilene Co Ltd Compound piezoelectric body and its manufacture
JPH07231684A (en) * 1994-02-21 1995-08-29 Kanagawa Kagaku Gijutsu Akad Ultrasonic micromotor and manufacture of its stator
JPH11146673A (en) * 1997-11-10 1999-05-28 Nikon Corp Vibration actuator
JPH11330577A (en) * 1998-05-13 1999-11-30 Seiko Instruments Inc Piezoelectric actuator
JP2000200930A (en) * 1998-10-26 2000-07-18 Seiko Instruments Inc Piezoelectric device and its manufacture
JP2006179856A (en) * 2004-11-25 2006-07-06 Fuji Electric Holdings Co Ltd Insulating substrate and semiconductor device
JP2006173249A (en) * 2004-12-14 2006-06-29 Fuji Photo Film Co Ltd Piezoelectric actuator, its manufacturing process, and liquid ejection head
JP2006298747A (en) * 2005-03-22 2006-11-02 Fuji Photo Film Co Ltd Manufacturing method for crystal-aligned film and manufacturing method for liquid discharging head
JP2006297915A (en) * 2005-03-22 2006-11-02 Brother Ind Ltd Piezoelectric actuator, inkjet head and manufacturing method thereof
JP2007158167A (en) * 2005-12-07 2007-06-21 Nec Tokin Corp Ultrasonic motor element and method of manufacturing same

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011004052A (en) * 2009-06-17 2011-01-06 Nec Corp Tactile information device, and electronic device with the same
CN106253740A (en) * 2015-06-05 2016-12-21 佳能株式会社 Easily carry out the oscillation actuator of electric conductivity inspection
CN106253739A (en) * 2015-06-05 2016-12-21 佳能株式会社 Be suitable to oscillation actuator and the medical system used in magnetic field environment
CN106253739B (en) * 2015-06-05 2019-07-02 佳能株式会社 Suitable for the oscillation actuator used in magnetic field environment and medical system
US10363105B2 (en) 2015-06-05 2019-07-30 Canon Kabushiki Kaisha Vibration actuator suitable for use in magnetic field environment and medical system
US10396270B2 (en) 2015-06-05 2019-08-27 Canon Kabushiki Kaisha Vibration actuator that is easy in conduction inspection
CN106253740B (en) * 2015-06-05 2019-10-18 佳能株式会社 It is easy to carry out the oscillation actuator of electric conductivity inspection
US20210305493A1 (en) * 2020-03-31 2021-09-30 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Method of manufacturing dielectric film

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