JP2008128882A - コンタクトプローブおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】検査時にスムーズに動き、電極に対するズレが生じにくい多層構造のコンタクトプローブを提供する。
【解決手段】本発明のコンタクトプローブは、被測定面に接触する先端部と、先端部に接続するバネ部と、バネ部に接続して先端部とバネ部を支持する支持部とを備え、先端部とバネ部と支持部とは、支持部を固定して先端部を被測定面に押し当てると、先端部が被測定面に当接したままバネ部により弾性変形するように構成され、先端部は、複数の板状体を積層した多層構造体からなる部分を有し、積層した複数の板状体が、被測定面に押し当てる方向に沿って配向する。
【選択図】図1
【解決手段】本発明のコンタクトプローブは、被測定面に接触する先端部と、先端部に接続するバネ部と、バネ部に接続して先端部とバネ部を支持する支持部とを備え、先端部とバネ部と支持部とは、支持部を固定して先端部を被測定面に押し当てると、先端部が被測定面に当接したままバネ部により弾性変形するように構成され、先端部は、複数の板状体を積層した多層構造体からなる部分を有し、積層した複数の板状体が、被測定面に押し当てる方向に沿って配向する。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体ICチップまたは液晶デバイスなどの電子部品の電極に接触させて、電気的な検査を行なうために使用するコンタクトプローブおよびその製造方法に関する。
ICおよびLSIが高密度で実装された電子部品の電気的な検査をするために、多数のコンタクトプローブを配置したプローブカードが使用される。図6に、従来のカンチレバー型コンタクトプローブの基本構造を示す。図6(a)は、側面図であり、図6(b)は、平面図である。コンタクトプローブは、図6に示すように、先端部61と、バネ部62と、支持部63と、配線部64を有し、支持部63によりプローブカードに保持される。検査に際しては、コンタクトプローブの先端部61を電子部品の電極に押し付けて、電子部品から各種のデータを収集する。コンタクトプローブの先端部61は尖っており、電極の表面に形成された酸化被膜を破り、電気的な導通が得られる。また、検査対象である電子部品の反りおよび電極の高さのばらつきを吸収し、電極との確実な接触を得るため、バネ構造を有する。
カンチレバー型コンタクトプローブを取付けるプローブカードの基本構造を図7に例示する。図7(a)は、斜視図であり、VIIB−VIIBで切断した断面図が図7(b)である。図7(a)に示すように、プローブカードの上表面には、多数の配線などが半径方向に配列している。図7(a)には、その一部を示す。また、図7(b)に示すように、プローブカード70は、円板状の基板72と、基板72に組み込まれた針押え部74と、針押え部74に片持ち梁状に支持される複数のカンチレバー型コンタクトプローブ76とからなる。したがって、カンチレバー型コンタクトプローブは、バネ部が基板72に沿って横長に配置するため、プローブ同士が干渉しやすく、集積化が容易ではない。
今日、ICおよびLSIの高集積化が進行し、被検査対象である電極の配置密度が高くなるにつれて、コンタクトプローブの集積化および微細化が要求され、そのような情勢下、垂直型コンタクトプローブが開発されている。従来の垂直型コンタクトプローブとその実装状態を図5に例示する(特許文献1参照)。図5(a)は被検査対象である電極に接触するプランジャー51を示し、図5(b)はバネ52を示す。また、図5(c)はプランジャー51とバネ52とからなる垂直型コンタクトプローブを実装している状態を示す。図5(c)に示すように、多数の貫通孔53を形成した絶縁性のピン保持基板56に、配線57aを施した底蓋57を固着し、貫通孔53内にプランジャー51とバネ52を挿入した後、貫通孔53より少し小さめの孔を開けた上蓋55を接合する。この垂直型コンタクトプローブは、ピッチ80μm程度の集積化が可能であると紹介されているが、プランジャー(接触部分)51とバネ(弾性部分)52を別々に製造し、実装するため、コンタクトプローブ全体を一体成形する場合に比べて、部品コストおよび組み立てコストが高く、微細化も容易ではない。
微細なコンタクトプローブを一体成形する従来の製造方法として、リソグラフィと電鋳を組合わせた、図4に示すような方法が実用化している(特許文献2と3参照)。まず、図4(a)に示すように、ステンレス製基板などの導電性基板41上に、ポリメタクリル酸メチルなどのレジスト42を形成する。つぎに、レジスト42上にマスク43を配置し、マスク43を介してUVまたはX線44などを照射する。マスク43は、コンタクトプローブの形状に応じて形成したUVまたはX線44などの吸収層43aと、透光性基材43bとからなるため、X線44などを照射すると、吸収層43aによりレジスト42のうちレジスト42aのみ露光される。このため、ポジ型レジストの場合、露光により変質(分子鎖が切断)した42aのみが現像で除去され、図4(b)に示すような樹脂型42bが得られる。
つぎに、電鋳を行ない、図4(c)に示すように、樹脂型42bに金属材料層45aを堆積する。電鋳とは、金属イオン溶液を用いて導電性基板上に金属材料層を形成することをいう。導電性基板41をめっき電極として電鋳を行なうことにより、樹脂型42bに金属材料層45aを堆積することができる。電鋳後、研磨または研削により所定の厚さに揃えると、図4(d)に示すような金属構造体45が得られる。その後、図4(e)に示すように、エッチングなどにより樹脂型を除去する。つづいて、ウェットエッチングなどにより導電性基板41を除去すると、図4(f)に示すような微細金属構造体45からなるコンタクトプローブが得られる。しかし、この方法により得られるコンタクトプローブは、単層構造であり、先端部とバネ部と支持部の厚さが同一となるため、被検査電極の割れを抑えるために電極への押し付け圧を低くしつつ、電極表面の酸化被膜を破り、電気的導通を得るために、先端部における電極との当接部を研磨などの別工程により尖らせる必要がある。
特開2001−21583号公報
特開2001−254193号公報
特開2001−316862号公報
本発明の課題は、被検査対象である電極に接触する先端部が、別途、先端加工を施すことなく、薄く鋭利な形状を有するコンタクトプローブを提供することにある。また、検査時にスムーズに動き、電極に対するズレが生じにくい多層構造のコンタクトプローブの製造方法を提供することにある。
本発明のコンタクトプローブは、被測定面に接触する先端部と、先端部に接続するバネ部と、バネ部に接続して先端部とバネ部を支持する支持部とを備え、先端部とバネ部と支持部とは、支持部を固定して先端部を被測定面に押し当てると、先端部が被測定面に当接したままバネ部により弾性変形するように構成され、先端部は、複数の板状体を積層した多層構造体からなる部分を有し、積層した複数の板状体が、被測定面に押し当てる方向に沿って配向する。
多層構造体は、中心部に積層した板状体の幅w1に比べて、周辺部に積層した板状体の幅w2が狭い態様が好ましい。また、先端部は、さらにその先端において被測定面に直接接触する当接部を有し、当接部が単層の板状構造体からなる態様が好ましい。さらに、先端部とバネ部と支持部とが直線状に配置した垂直型プローブにおいて特に本発明は有効である。
本発明のコンタクトプローブの製造方法は、上述したコンタクトプローブの製造方法であって、リソグラフィにより樹脂型を形成する工程と、導電性基板上で、樹脂型に金属材料層を電鋳により形成する工程と、研磨または研削により平坦化する工程とを備える第1層目の板状体を形成した後、第1層目の板状体上に、リソグラフィにより樹脂型を形成する工程と、樹脂型に金属材料層を電鋳により形成する工程と、研磨または研削により平坦化する工程とを備える板状体形成工程を1回実施し、または複数回繰返して実施し、第1層目の板状体上に2層目以降の板状体を積層する工程と、樹脂型を除去する工程と、導電性基板を除去する工程とを備えることを特徴とする。
本製造方法において、導電性基板は、TiまたはCuまたはAl製のコート層を有する金属製の基板が好適である。かかる導電性基板を使用して、コート層をエッチングすることにより基板を除去する態様、またはコート層を境にして機械的に引き剥がすことにより基板を除去する態様が好ましい。
先端加工を別途施すことなく、薄く鋭利な先端部を有するコンタクトプローブを提供することができる。また、検査時にスムーズに動き、電極に対するズレが生じにくいコンタクトプローブを提供することができる。
(コンタクトプローブ)
本発明のコンタクトプローブの斜視図を図1に例示する。図1に示すように、本発明のコンタクトプローブは、被測定面に接触する先端部1と、先端部1に接続するバネ部2と、バネ部2に接続して先端部1とバネ部2を支持する支持部3とを備え、先端部1とバネ部2と支持部3とは、支持部3を固定して先端部1を被測定面に押し当てると、先端部1が被測定面に当接したままバネ部2により弾性変形する。先端部1は、複数の板状体1a,1b,1cを積層した多層構造体からなる部分を有し、積層した複数の板状体が、被測定面に押し当てる方向(図1における矢印の方向)に沿って配向していることを特徴とする。図1には、先端部1とバネ部2と支持部3とが直線状に配置する垂直型コンタクトプローブを例示する。
本発明のコンタクトプローブの斜視図を図1に例示する。図1に示すように、本発明のコンタクトプローブは、被測定面に接触する先端部1と、先端部1に接続するバネ部2と、バネ部2に接続して先端部1とバネ部2を支持する支持部3とを備え、先端部1とバネ部2と支持部3とは、支持部3を固定して先端部1を被測定面に押し当てると、先端部1が被測定面に当接したままバネ部2により弾性変形する。先端部1は、複数の板状体1a,1b,1cを積層した多層構造体からなる部分を有し、積層した複数の板状体が、被測定面に押し当てる方向(図1における矢印の方向)に沿って配向していることを特徴とする。図1には、先端部1とバネ部2と支持部3とが直線状に配置する垂直型コンタクトプローブを例示する。
垂直型コンタクトプローブを実装するプローブカードの断面図を図2に例示する。図2に示すように、プローブカードの絶縁基板21には、被検査対象である回路24における電極25の配列ピッチに合わせて、複数のガイド孔22が形成され、各ガイド孔22にコンタクトプローブ20が挿入される。コンタクトプローブ20の先端部20aは、絶縁基板21における被検査基板24に対向する側の面から突出している。絶縁基板21における被検査基板24と反対側の面には、リード線としてフレキシブルプリント回路(flexible print circuit:FPC)23などを配設し、コンタクトプローブ20の支持部20bと接続し、層26により固定する。本発明は、垂直型コンタクトプローブに適用することができ、垂直型コンタクトプローブは、プローブカードの基板に対して、縦長で直線状に配置し、また、ガイド孔に挿入することにより実装するため、カンチレバー型コンタクトプローブに比べて、高密度実装が容易である。また、垂直型コンタクトプローブは、耐高周波性が大きく、針立てレイアウトの自由度が高い点でも有利である。
図2(a)において、IIB−IIBで先端部20aを切断したときの、1個の先端部の断面図を図2(b)に示す。本発明のコンタクトプローブの先端部は、多層構造であるため、図2(b)に示すような3段構造の場合、ガイド孔の内壁22aとの接点が8個ある。これに対して、図2(c)に示す単層構造の場合、ガイド孔の内壁22aとの接点は4個しかない。したがって、本発明のコンタクトプローブでは、ガイド孔の内壁との接点数が多いため、被検査対象である電極に先端部を押し当てたとき、先端部がガイド孔内をスムーズに摺動することができる。また、ガイド孔の内壁との接点数が多いため、先端部の太さに比べてガイド孔の直径が大きい場合でも、電極との接触時においてコンタクトプローブのズレが生じにくい。このような観点から、図2(b)に示すように、先端部における多層構造は、中心部に積層した板状体の幅w1に比べて、周辺部に積層した板状体の幅w2が狭い態様が好ましい。
単層構造のコンタクトプローブをリソグラフィと電鋳により形成すると、前述のとおり、先端部とバネ部と支持部の厚さが同一となる。したがって、被検査電極の割れを抑えるために電極への押し付け圧を低くしつつ、電極表面の酸化被膜を破り、電気的導通を得るために、先端部における電極との当接部を、研磨などの別工程により尖らせる必要がある。本発明のコンタクトプローブの先端部は、多層構造体からなる部分を有するが、先端部のさらにその先端において被測定面に直接接触する当接部を単層の板状構造とすることにより、研磨などの別工程によることなく、薄く、鋭利な形状とすることができる点で有用である。
(コンタクトプローブの製造方法)
本発明のコンタクトプローブの製造方法は、前述のコンタクトプローブを製造する方法であって、リソグラフィと電鋳により第1層目の板状体を形成した後、同様にリソグラフィと電鋳により、第1層目の板状体上に、1層または2層以上の板状体を積層し、その後、樹脂型と導電性基板を除去する方法である。かかる方法により、多層構造のコンタクトプローブを容易に製造することができ、先端部とバネ部と支持部との間で板状体の積層数を変更することができる。このため、たとえば、先端部における当接部だけを薄く鋭利な単層構造とし、バネ部と支持部では板状体の積層数を増やし、弾性力と機械的強度を高めることができる。
本発明のコンタクトプローブの製造方法は、前述のコンタクトプローブを製造する方法であって、リソグラフィと電鋳により第1層目の板状体を形成した後、同様にリソグラフィと電鋳により、第1層目の板状体上に、1層または2層以上の板状体を積層し、その後、樹脂型と導電性基板を除去する方法である。かかる方法により、多層構造のコンタクトプローブを容易に製造することができ、先端部とバネ部と支持部との間で板状体の積層数を変更することができる。このため、たとえば、先端部における当接部だけを薄く鋭利な単層構造とし、バネ部と支持部では板状体の積層数を増やし、弾性力と機械的強度を高めることができる。
さらに、リソグラフィと電鋳により製造するため、当接部を自在に成形でき、アセンブリの容易な形状のコンタクトプローブを提供することができる。一方、先端部とバネ部と支持部を±1μmの高精度で一体成形できるから、部品点数を減らし、部品コストと組み立てコストを低減することが可能である。また、本発明のコンタクトプローブは、複数の板状体を積層した多層構造体からなる部分を有し、積層した板状体が、被測定面に押し当てる方向に沿って配向しているため、リソグラフィと電鋳により容易に製造することができる。
本発明のコンタクトプローブの製造方法を図3に例示する。まず、第1層目の板状体を形成する。第1層目の板状体の形成方法は、リソグラフィにより樹脂型を形成する工程と、導電性基板上で、樹脂型に金属材料層を電鋳により形成する工程と、研磨または研削により平坦化する工程とを備える。リソグラフィにより樹脂型を形成する工程は、図3(a)に示すように、導電性基板36上にレジスト33を形成する。導電性基板として、たとえば、Cu、Ni、ステンレス鋼などからなる金属製基板を使用することができる。また、Ti、Crなどの金属をスパッタリングしたSi基板などを用いることもできる。レジストには、ポリメタクリル酸メチル(PMMA)などのポリメタクリル酸エステルを主成分とする樹脂、または紫外線(UV)もしくはX線に感受性を有する化学増幅型樹脂などを用いる。レジストの厚さは、形成しようとする構造体の大きさに合せて任意に設定することができ、たとえば、40μm〜500μmとする。
つぎに、レジスト33上にマスク34を配置し、マスク34を介してUVまたはX線35などを照射する。厚さが100μmを超え、高いアスペクト比を有する構造体が必要な場合、または±2μm程度の高精度の構造体が必要な場合は、UV(波長200nm)より短波長であるX線(波長0.4nm)を使用するのが好ましい。また、X線の中でも指向性の高いシンクロトロン放射のX線(以下、「SR」という。)を使用する態様がより好ましい。SRを用いるLIGA法は、ディープなリソグラフィが可能であり、厚さ数100μmの構造体をミクロンオーダの高精度で大量に製造することができる。一方、UVを用いると、コスト面でメリットを追求することができる。
マスク34は、製造する構造体の形状に応じて形成した、UVまたはX線35などの吸収層34aと、透光性基材34bとからなる。透光性基材34bには、X線用マスクでは、窒化シリコン、シリコン、ダイヤモンド、チタンなどを用い、UV用マスクでは、石英ガラスなどを用いる。また、吸収層34aには、X線用マスクの場合は、金、タングステン、タンタルなどの重金属またはその化合物などを用い、UV用マスクの場合は、クロムなどを用いる。ポジレジストを使用する場合、X線35またはUVを照射すると、吸収層34aによりレジスト33のうちレジスト33aのみが露光して変質するため、現像によりレジスト33aが除去され、図3(b)に示すように、樹脂型33bが得られる。一方、ネガ型レジストを使用する場合は、逆に露光部が残り、非露光部が除去されるので、ポジ型レジストの場合とは逆のマスクパターンを使用する。
つぎに、図3(c)に示すように、導電性基板36上で、樹脂型33bに金属材料層31aを電鋳により形成し、研磨または研削により平坦化し、たとえば、30μm〜200μmの厚さの板状体に調製する。金属材料層の材質は、製造するコンタクトプローブに高い靭性および硬度が要求される場合には、NiまたはNi系合金が好ましく、NiまたはNi系合金は、LIGA法による製造に適している点でも好ましい。Ni系合金としては、NiMn,NiFe,NiCo,NiW,NiPdが好ましく、Ni系合金の中でも、製造するコンタクトプローブに高い耐熱性が要求される場合には、Ni−Mnが好適であり、Mnの含有量は3質量%以下がより好ましい。一方、電気的な特性が求められる場合には、CuまたはCu系合金が好ましく、CuおよびCu系合金もLIGA法による製造に適している。Cu系合金としては、Cu−SnまたはCu−Znなどがある。なお、本明細書において、M系合金とは、金属元素Mを40質量%以上含有する合金をいう。先端部のうち、被測定面に直接接触する当接部は、導電性に優れ、接触抵抗が小さく、摩耗しにくく、さらに、硬度と融点が高い点で、Pt、Ir、Ni−Pd、Pd−CoまたはRhが好適である。
このようにして、第1層目の板状体を形成した後、第1層目の板状体の上に、第2層目以降の板状体を積層する。第2層目以降の板状体の形成方法は、リソグラフィにより樹脂型を形成する工程と、樹脂型に金属材料層を電鋳により形成する工程と、研磨または研削により平坦化する工程とを備え、製造するコンタクトプローブにより、2層目以降の板状体形成工程を1回だけ実施して2層構造体を得、また複数回繰返して実施し、3層以上の構造体を得ることができる。
図3(h)に示すように、金属材料層31aよりも幅の広い金属材料層31bを形成するときは、樹脂型33bを保護するために、マスク層37を形成する(図3(d))。マスク層37には、Al,SiO2などが好ましく、厚さは0.05μm〜0.3μmが好ましい。その後、図3(a)と同様に、レジストを形成した後、リソグラフィによりUVなどを照射し(図3(e))、現像して樹脂型33cを形成する(図3(f))。その後、図3(g)に示すように、樹脂型33cの空孔内にあるマスク層37aをエッチングにより除去する。マスク層37aのエッチングは、Cl2,CF4,F2などを用いた、RIE(Reactive Ion Etching)またはECR(Electron Cyclotron Reasonance)励起により発生したプラズマにより行なうことができる。図3(f)に示すように、マスク層上には樹脂型33cが形成されているから、RIEなどのエッチングに際して、樹脂型33cがマスクとして機能し、マスク層37aが選択的にエッチングされる(図3(g))。
つぎに、図3(h)に示すように、金属材料層31a上で、樹脂型33cに金属材料層31bを電鋳により形成し、研磨または研削により平坦化する。2層構造のコンタクトプローブが必要なときは、その後、ウェットエッチングまたはプラズマエッチングにより樹脂型33b,33cとマスク層37bを除去し、酸もしくはアルカリを用いたウェットエッチングにより、または機械的に引き剥がすことにより基板36を除去して、目的のコンタクトプローブを得る。
図3には、3層構造のコンタクトプローブを製造する例を示す。図3(i)に示すように、リソグラフィにより樹脂型33dを形成する(図3(j))。つぎに、図3(k)に示すように、樹脂型33dに金属材料層31cを電鋳により形成し、研磨または研削により平坦化する。つぎに、図3(l)に示すように、樹脂型33b,33c,33dとマスク層37bを除去し、図3(m)に示すように、基板36を除去すると、目的のコンタクトプローブ31が得られる。TiまたはCuまたはAl製のコート層を有する金属製の基板を用いると、基板上のコート層をエッチングすることにより基板を容易に除去でき、また、基板上のコート層を境にして機械的に引き剥がすことにより基板を容易に除去することができる。コート層の厚さは、0.1μm〜2μmが好適である。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
検査時にスムーズに動き、電極に対するズレが生じにくい多層構造のコンタクトプローブを提供することができる。
1 先端部、1a,1b,1c 板状体、2 バネ部、3 支持部、31a,31b,31c 金属材料層、33b,33c,33d 樹脂型、34 マスク、36 基板。
Claims (8)
- 被測定面に接触する先端部と、該先端部に接続するバネ部と、該バネ部に接続して前記先端部とバネ部を支持する支持部とを備え、前記先端部とバネ部と支持部とは、支持部を固定して先端部を被測定面に押し当てると、先端部が被測定面に当接したままバネ部により弾性変形するように構成され、前記先端部は、複数の板状体を積層した多層構造体からなる部分を有し、積層した前記複数の板状体が、前記被測定面に押し当てる方向に沿って配向するコンタクトプローブ。
- 前記多層構造体は、中心部に積層した板状体の幅w1に比べて、周辺部に積層した板状体の幅w2が狭い請求項1に記載のコンタクトプローブ。
- 前記先端部は、さらにその先端において前記被測定面に直接接触する当接部を有し、該当接部が、単層の板状構造体からなる請求項1に記載のコンタクトプローブ。
- 前記コンタクトプローブは、先端部とバネ部と支持部とが直線状に配置した垂直型プローブである請求項1に記載のコンタクトプローブ。
- 請求項1に記載のコンタクトプローブの製造方法であって、
リソグラフィにより樹脂型を形成する工程と、
導電性基板上で、前記樹脂型に金属材料層を電鋳により形成する工程と、
研磨または研削により平坦化する工程と
を備える第1層目の板状体を形成する工程と、
前記板状体上に、リソグラフィにより樹脂型を形成する工程と、
前記樹脂型に金属材料層を電鋳により形成する工程と、
研磨または研削により平坦化する工程と
を備える板状体形成工程を1回実施し、または複数回繰返して実施して、第1層目の前記板状体上に板状体を積層する工程と、
前記樹脂型を除去する工程と、
前記導電性基板を除去する工程と
を備えるコンタクトプローブの製造方法。 - 前記導電性基板は、TiまたはCuまたはAl製のコート層を有する金属製の基板である請求項5に記載のコンタクトプローブの製造方法。
- 前記導電性基板上のコート層をエッチングすることにより基板を除去する請求項6に記載のコンタクトプローブの製造方法。
- 前記導電性基板上のコート層を境にして機械的に引き剥がすことにより基板を除去する請求項6に記載のコンタクトプローブの製造方法。
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