JP2008128679A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧力センサAは、弾性を有する材料により3次元立体配線基板の製造技術を用いて形成されたセンサ本体1を備える。センサ本体1は、下面の中央部に凹部2aが形成されたボディ2と、ボディ2の上面に突設された圧力導入管3とを一体に備えている。圧力導入管3の中心の圧力導入用孔4は凹部2aの天井部付近まで形成され、その底部には薄膜部5が形成されている。薄膜部5の表面(下面)には、金属めっき層からなる櫛歯状の第1電極パターン7aと第2電極パターン7bとが形成されており、両電極パターン7a,7bは互いに隙間を空けた状態で対向配置されている。流体の圧力変化に応じて薄膜部5が変形すると、両電極パターン7a,7b間の隙間が変化するので、両電極パターン7a,7b間の静電容量の変化から圧力変化を検出することができる。
【選択図】図1
Description
1 センサ本体
2 ボディ
2a 凹部
3 圧力導入管
4 圧力導入用孔
5 薄膜部
6 突出部
7a 第1電極パターン(圧力検出部)
7b 第2電極パターン(圧力検出部)
8a,8b 回路パターン
Claims (4)
- 弾性を有する材料により3次元立体配線基板の製造技術を用いて形成され、検出対象の流体が導入される圧力導入用孔が形成されるとともに、当該圧力導入用孔の底部に薄膜部が形成されたセンサ本体と、当該センサ本体の表面に形成され圧力変化に応じて発生する前記薄膜部の変形を電気信号に変換する圧力検出部とを備えて成ることを特徴とする圧力センサ。
- 前記圧力検出部は、前記薄膜部における圧力導入用孔と反対側の面に、互いに隙間を空けた状態で対向するように形成された第1電極パターンおよび第2電極パターンを有し、圧力変化を前記両電極パターン間の静電容量変化として検出することを特徴とする請求項1記載の圧力センサ。
- 前記センサ本体において前記両電極パターンが形成された一面に、前記両電極パターンにそれぞれ電気的に接続される回路パターンを形成したことを特徴とする請求項1又は2の何れか1項に記載の圧力センサ。
- 前記圧力導入用孔を有する圧力導入管をセンサ本体に設けるとともに、圧力導入管の外表面に、当該圧力導入管が挿入される検出用配管の内面と弾接することによって検出用配管の内面との隙間をシールする突出部を設けたことを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の圧力センサ。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006310792A JP4882692B2 (ja) | 2006-11-16 | 2006-11-16 | 圧力センサ |
CN200780035468.2A CN101517387B (zh) | 2006-10-02 | 2007-09-27 | 压力传感器 |
US12/441,620 US7992445B2 (en) | 2006-10-02 | 2007-09-27 | Pressure sensor |
KR1020097005435A KR101050334B1 (ko) | 2006-10-02 | 2007-09-27 | 압력센서 |
EP07828583A EP2056087A4 (en) | 2006-10-02 | 2007-09-27 | PRESSURE SENSOR |
PCT/JP2007/068837 WO2008041607A1 (fr) | 2006-10-02 | 2007-09-27 | Capteur de pression |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006310792A JP4882692B2 (ja) | 2006-11-16 | 2006-11-16 | 圧力センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008128679A true JP2008128679A (ja) | 2008-06-05 |
JP4882692B2 JP4882692B2 (ja) | 2012-02-22 |
Family
ID=39554670
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006310792A Expired - Fee Related JP4882692B2 (ja) | 2006-10-02 | 2006-11-16 | 圧力センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4882692B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6180024A (ja) * | 1984-09-27 | 1986-04-23 | Shimadzu Corp | 表面弾性波圧力センサ |
JPH09184779A (ja) * | 1995-12-28 | 1997-07-15 | Matsushita Electric Works Ltd | 圧力センサ |
JP2003130749A (ja) * | 2001-10-29 | 2003-05-08 | Matsushita Electric Works Ltd | 圧力センサ |
-
2006
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2003130749A (ja) * | 2001-10-29 | 2003-05-08 | Matsushita Electric Works Ltd | 圧力センサ |
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Publication number | Publication date |
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JP4882692B2 (ja) | 2012-02-22 |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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